JP2741111B2 - カラーフイルターの作成方法 - Google Patents
カラーフイルターの作成方法Info
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- JP2741111B2 JP2741111B2 JP6647591A JP6647591A JP2741111B2 JP 2741111 B2 JP2741111 B2 JP 2741111B2 JP 6647591 A JP6647591 A JP 6647591A JP 6647591 A JP6647591 A JP 6647591A JP 2741111 B2 JP2741111 B2 JP 2741111B2
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- color filter
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はカラー液晶用基板の製造
に使用されるカラーフイルターの作成方法に関する。
に使用されるカラーフイルターの作成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶用カラーフィルターの作成方法とし
ては、顏料分散法、印刷法、染色法等が知られており、
現在、その性能面から顏料分散法が注目されてきてい
る。顏料分散法は、透明ガラス基板上に赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）、青（Ｂ）、黒（ＢＬ）のモザイクあるいはスト
ライプパターンをフォトリソにより順次形成し、カラー
フィルターを作成する。この方法においては、特に各パ
ターンの位置精度が重要で位置精度が悪いと白抜け等の
欠陥が発生する。その位置精度を確保する為に通常、ガ
ラス基板上に位置合せマーク（アライメントマーク）を
形成し、そのアライメントマークとフォトマスクのアラ
イメントマークを顕微鏡等で観察しながら精度良く位置
合せし、露光し、現像する事により各色の位置精度の良
いカラーフィルターを作成している。
ては、顏料分散法、印刷法、染色法等が知られており、
現在、その性能面から顏料分散法が注目されてきてい
る。顏料分散法は、透明ガラス基板上に赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）、青（Ｂ）、黒（ＢＬ）のモザイクあるいはスト
ライプパターンをフォトリソにより順次形成し、カラー
フィルターを作成する。この方法においては、特に各パ
ターンの位置精度が重要で位置精度が悪いと白抜け等の
欠陥が発生する。その位置精度を確保する為に通常、ガ
ラス基板上に位置合せマーク（アライメントマーク）を
形成し、そのアライメントマークとフォトマスクのアラ
イメントマークを顕微鏡等で観察しながら精度良く位置
合せし、露光し、現像する事により各色の位置精度の良
いカラーフィルターを作成している。
【０００３】しかし、２色目以降のパターンニング工程
に於いて、フォトマスクと基板との位置合せの際に以下
の様な不都合が発生する。例えば透明ガラス基板にＲ色
で第１のパターンとアライメントマークを形成し、次に
Ｇ色着色層をロールコーターあるいはスピンコーターで
前記透明ガラス基板全面に塗布形成し、顕微鏡でＲ色ア
ライメントマークとフォトマスクのアライメントマーク
と位置合せする場合、前記透明ガラス基板全面に形成さ
れたＧ色着色層によってＲ色アライメントマークも覆わ
れ、顕微鏡に入射される前記透明基板上からの反射光と
透明基板上のＲ色アライメントマークからの反射光との
明暗比が低下し、Ｒ色アライメントマークが非常に観察
しにくくなり、正確に位置合せされず、結果としてカラ
ーフィルターとして白抜けの欠陥が発生してしまう。こ
の問題は１色目の色に関係無く、発生する。特に２色目
以降に黒色層を設ける場合はまったくアライメントマー
クは見えなくなってしまう。特開平３−２７０１５には
透明保護層を位置決めマーク以外に形成し、後のＩＴＯ
パターンニングの際のアライメントマークの位置合せに
関する記載が在るが、カラーフィルター作成時に関する
考察はいっさい無い。
に於いて、フォトマスクと基板との位置合せの際に以下
の様な不都合が発生する。例えば透明ガラス基板にＲ色
で第１のパターンとアライメントマークを形成し、次に
Ｇ色着色層をロールコーターあるいはスピンコーターで
前記透明ガラス基板全面に塗布形成し、顕微鏡でＲ色ア
ライメントマークとフォトマスクのアライメントマーク
と位置合せする場合、前記透明ガラス基板全面に形成さ
れたＧ色着色層によってＲ色アライメントマークも覆わ
れ、顕微鏡に入射される前記透明基板上からの反射光と
透明基板上のＲ色アライメントマークからの反射光との
明暗比が低下し、Ｒ色アライメントマークが非常に観察
しにくくなり、正確に位置合せされず、結果としてカラ
ーフィルターとして白抜けの欠陥が発生してしまう。こ
の問題は１色目の色に関係無く、発生する。特に２色目
以降に黒色層を設ける場合はまったくアライメントマー
クは見えなくなってしまう。特開平３−２７０１５には
透明保護層を位置決めマーク以外に形成し、後のＩＴＯ
パターンニングの際のアライメントマークの位置合せに
関する記載が在るが、カラーフィルター作成時に関する
考察はいっさい無い。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記問題点を
解決する為に位置精度良くカラーフィルターを作成する
方法を提供する事を目的とする。
解決する為に位置精度良くカラーフィルターを作成する
方法を提供する事を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、仮支持
体上に着色感光性樹脂層を設けた感光性転写シートの着
色感光性樹脂層と透明基板とを張合わせ、該仮支持体を
剥離除去し、該透明基板上に着色感光性樹脂層を形成
し、露光と現像を行い着色画像を形成する工程を繰り返
すことによりカラーフィルターを作成する方法におい
て、第１色目の着色画像作成と同時に着色アライメント
マークを作成し、該アライメントマークを避けて第２色
目以降の感光性転写シートを張合わせることを特徴とす
るカラーフィルターの作成方法により達成された。この
方法により透明基板上のアライメントマーク部分には、
着色樹脂層が形成されていないので透明基板上のアライ
メントマークからの反射光と透明基板上からの反射光の
明暗比が大きく、顕微鏡観察が非常にしやすくなる。こ
れによって位置合わせの良好なカラーフィルターを作成
する事が可能とする。
体上に着色感光性樹脂層を設けた感光性転写シートの着
色感光性樹脂層と透明基板とを張合わせ、該仮支持体を
剥離除去し、該透明基板上に着色感光性樹脂層を形成
し、露光と現像を行い着色画像を形成する工程を繰り返
すことによりカラーフィルターを作成する方法におい
て、第１色目の着色画像作成と同時に着色アライメント
マークを作成し、該アライメントマークを避けて第２色
目以降の感光性転写シートを張合わせることを特徴とす
るカラーフィルターの作成方法により達成された。この
方法により透明基板上のアライメントマーク部分には、
着色樹脂層が形成されていないので透明基板上のアライ
メントマークからの反射光と透明基板上からの反射光の
明暗比が大きく、顕微鏡観察が非常にしやすくなる。こ
れによって位置合わせの良好なカラーフィルターを作成
する事が可能とする。
【０００６】仮支持体は特願平３−９２９２、２−４０
００４７に記載されたいずれの物も使用可能であるが、
化学的および熱的に安定であって、また撓曲性の物質で
構成されるべきであり、具体的にはポリエチレンテレフ
タレート、ポリカーボネート等の薄いシートが特に好ま
しい。
００４７に記載されたいずれの物も使用可能であるが、
化学的および熱的に安定であって、また撓曲性の物質で
構成されるべきであり、具体的にはポリエチレンテレフ
タレート、ポリカーボネート等の薄いシートが特に好ま
しい。
【０００７】着色感光性樹脂層は少なくとも１５０℃以
下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましいの
で、熱可塑性である必要がある。公知の光重合層の大部
分はこの性質を有するが、公知層の一部はなお改質する
ことができる。これは簡単な方法で熱可塑性結合剤の添
加あるいは相溶性の可塑剤の添加によって行なうことが
できる。
下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましいの
で、熱可塑性である必要がある。公知の光重合層の大部
分はこの性質を有するが、公知層の一部はなお改質する
ことができる。これは簡単な方法で熱可塑性結合剤の添
加あるいは相溶性の可塑剤の添加によって行なうことが
できる。
【０００８】本発明で使用する感光性樹脂としては公知
であり、たとえば特願平３−９２９２に記載されている
感光性樹脂がすべて使用できる。具体的には、ネガ型ジ
アゾ樹脂とバインダーかなる感光性樹脂層、光重合性組
成物、アジド化合物とバインダーとからなる感光性樹脂
組成物、桂皮酸型感光性樹脂組成物等が挙げられる。そ
の中でも特に好ましいのは光重合性樹脂である。その光
重合性樹脂は光重合開始剤、光重合性モノマーおよびバ
インダーを基本構成要素として含む。
であり、たとえば特願平３−９２９２に記載されている
感光性樹脂がすべて使用できる。具体的には、ネガ型ジ
アゾ樹脂とバインダーかなる感光性樹脂層、光重合性組
成物、アジド化合物とバインダーとからなる感光性樹脂
組成物、桂皮酸型感光性樹脂組成物等が挙げられる。そ
の中でも特に好ましいのは光重合性樹脂である。その光
重合性樹脂は光重合開始剤、光重合性モノマーおよびバ
インダーを基本構成要素として含む。
【０００９】感光性樹脂層と仮支持体の間に転写性を向
上させる為に特願平３−９２９２に記載されている様な
熱可塑性樹脂層−分離層あるいは特願平２−４０００４
７に記載されている様な分離層を設けても良い。
上させる為に特願平３−９２９２に記載されている様な
熱可塑性樹脂層−分離層あるいは特願平２−４０００４
７に記載されている様な分離層を設けても良い。
【００１０】感光性樹脂層の支持体に相対する側には、
貯蔵の際の汚れや損傷から保護するために薄い被覆シー
トを設けることが好ましい。被覆シートは支持体と同じ
かまたは類似の材料からなっても良いが、感光性樹脂層
から容易に分離されねばならない。被覆シート材料とし
ては例えばシリコーン紙、ポリオレフィンもしくはポリ
テトラフルオルエチレンシートが適当である。
貯蔵の際の汚れや損傷から保護するために薄い被覆シー
トを設けることが好ましい。被覆シートは支持体と同じ
かまたは類似の材料からなっても良いが、感光性樹脂層
から容易に分離されねばならない。被覆シート材料とし
ては例えばシリコーン紙、ポリオレフィンもしくはポリ
テトラフルオルエチレンシートが適当である。
【００１１】本発明で使用する転写シートは、支持体上
に分離層材料の溶液を塗布し、乾燥し、その後感光性樹
脂層を分離層を溶解しない溶剤で塗布、乾燥して設ける
か、あるいは被覆シート上に光重合層を設けて、両方の
シートを相互に貼り合わせることにより製造される。本
発明において転写シートは以下の様にして使用される。
転写シートの被覆シートを取除き、光重合性層を少なく
とも加温下で基体上に貼り合わせる。この際同時に加圧
しても良い。これは特願平３−９２９２の明細書に記載
されている方法で行なうことができる。その後仮支持体
を剥がし、所定のマスクを介して露光し、次いで現像す
る。現像は同様に公知の方法で溶剤もしくは現像液、特
にアルカリ水溶液で処理することにより行なわれる。具
体的には特願平３−９２９２明細書に記載されている方
法で行なうことができる。さらに同様な工程を複数回繰
り返しカラーフイルターが形成される。
に分離層材料の溶液を塗布し、乾燥し、その後感光性樹
脂層を分離層を溶解しない溶剤で塗布、乾燥して設ける
か、あるいは被覆シート上に光重合層を設けて、両方の
シートを相互に貼り合わせることにより製造される。本
発明において転写シートは以下の様にして使用される。
転写シートの被覆シートを取除き、光重合性層を少なく
とも加温下で基体上に貼り合わせる。この際同時に加圧
しても良い。これは特願平３−９２９２の明細書に記載
されている方法で行なうことができる。その後仮支持体
を剥がし、所定のマスクを介して露光し、次いで現像す
る。現像は同様に公知の方法で溶剤もしくは現像液、特
にアルカリ水溶液で処理することにより行なわれる。具
体的には特願平３−９２９２明細書に記載されている方
法で行なうことができる。さらに同様な工程を複数回繰
り返しカラーフイルターが形成される。
【００１２】本発明の方法においては、予め作成した感
光性転写シートを用いるので、アライメントマークの位
置の異なる基板を用いても容易にその位置を避けて着色
感光性樹脂層を設けることが可能であり、基板上に直接
塗布を行う方法に比べ、工程を単純化できる特徴があ
る。以下、実施例に基づいて本発明を更に詳細に説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。
光性転写シートを用いるので、アライメントマークの位
置の異なる基板を用いても容易にその位置を避けて着色
感光性樹脂層を設けることが可能であり、基板上に直接
塗布を行う方法に比べ、工程を単純化できる特徴があ
る。以下、実施例に基づいて本発明を更に詳細に説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００１３】
【実施例】実施例１ 特願平３−９２９２の実施例５に記載のＲ色感光性樹脂
シートを用い、保護フィルムを剥離し、１．１ｍｍ厚さ
のガラス板の上に該感光性樹脂層層が、ガラス板に接す
るように重ね合わせた後、ラミネーター（ファーストラ
ミネーター８Ｂ−５５０−８０、大成商事（株）社製）
を用いて圧力２ｋｇ／ｍ2、ローラー温度１０５℃、ラ
ミネート速度０．９ｍ／ｍｉｎの条件でラミネートを行
った。その後赤色の感光性樹脂シートの仮支持体を剥す
事により、赤色の感光性樹脂層をガラス板上に転写し
た。ついで、この赤色の感光性樹脂層側から所定のマス
クを介して露光した。続いて露光済みの赤色感光性樹脂
層を下記組成の現像液を用いて３５℃の温度で２０秒間
現像した。引き続く水洗、乾燥によりガラス板上に赤色
の画像が得られた。 現像液 炭酸ナトリウム １５ｇ ブチルセロソルブ １ｇ 水 １ｇ アライメントマークはガラス基板中央線の左右両端、幅
２８０ｍｍの所に位置し、赤色画像はその中に形成され
た。さらに特願平３−９２９２の実施例５に記載のＧ色
感光性樹脂シートを用い、前記方法と同様にしてガラス
基板全面に転写したが、その際にＧ色感光性樹脂シート
は幅２７０ｍｍの物を用い、赤色アライメントマーク部
にはＧ色感光性樹脂シートを張り付けず、パターン部を
覆うように該シートを張り付けた。その後、所定のフォ
トマスクの位置決めを行ない、露光し、現像してＲ、Ｇ
の画像をガラス基板上に作成した。同様な工程を特願平
３−９２９２の実施例５の青色感光性樹脂シートを用い
て行ない、最終的にはＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィルターを
作成した。ガラス基板上のアライメントマークは非常に
見やすく、したがってフォトマスクの位置合せがしやす
く、結果として位置精度の良い、白抜けの無いカラーフ
ィルターが作成された。
シートを用い、保護フィルムを剥離し、１．１ｍｍ厚さ
のガラス板の上に該感光性樹脂層層が、ガラス板に接す
るように重ね合わせた後、ラミネーター（ファーストラ
ミネーター８Ｂ−５５０−８０、大成商事（株）社製）
を用いて圧力２ｋｇ／ｍ2、ローラー温度１０５℃、ラ
ミネート速度０．９ｍ／ｍｉｎの条件でラミネートを行
った。その後赤色の感光性樹脂シートの仮支持体を剥す
事により、赤色の感光性樹脂層をガラス板上に転写し
た。ついで、この赤色の感光性樹脂層側から所定のマス
クを介して露光した。続いて露光済みの赤色感光性樹脂
層を下記組成の現像液を用いて３５℃の温度で２０秒間
現像した。引き続く水洗、乾燥によりガラス板上に赤色
の画像が得られた。 現像液 炭酸ナトリウム １５ｇ ブチルセロソルブ １ｇ 水 １ｇ アライメントマークはガラス基板中央線の左右両端、幅
２８０ｍｍの所に位置し、赤色画像はその中に形成され
た。さらに特願平３−９２９２の実施例５に記載のＧ色
感光性樹脂シートを用い、前記方法と同様にしてガラス
基板全面に転写したが、その際にＧ色感光性樹脂シート
は幅２７０ｍｍの物を用い、赤色アライメントマーク部
にはＧ色感光性樹脂シートを張り付けず、パターン部を
覆うように該シートを張り付けた。その後、所定のフォ
トマスクの位置決めを行ない、露光し、現像してＲ、Ｇ
の画像をガラス基板上に作成した。同様な工程を特願平
３−９２９２の実施例５の青色感光性樹脂シートを用い
て行ない、最終的にはＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィルターを
作成した。ガラス基板上のアライメントマークは非常に
見やすく、したがってフォトマスクの位置合せがしやす
く、結果として位置精度の良い、白抜けの無いカラーフ
ィルターが作成された。
【００１４】比較例１ 実施例１と同様にＲ、Ｂ、Ｇのカラーフィルターを作成
したが、ただし２色目以降の感光性シートの幅を３００
ｍｍとし、赤色アライメントマーク部にも感光性樹脂層
を転写した。この場合、ガラス基板上のアライメントマ
ークは非常に観察しづらく、したがってフォトマスクと
の位置合せもしづらく、結果として位置精度の悪い白抜
けのあるカラーフィルターが作成された。
したが、ただし２色目以降の感光性シートの幅を３００
ｍｍとし、赤色アライメントマーク部にも感光性樹脂層
を転写した。この場合、ガラス基板上のアライメントマ
ークは非常に観察しづらく、したがってフォトマスクと
の位置合せもしづらく、結果として位置精度の悪い白抜
けのあるカラーフィルターが作成された。
【００１５】
【発明の効果】本発明の方法に依れば透明基板上のアラ
イメントマークとフォトマスクのアライメントマークの
位置合せを行なう際に前記透明基板上のアライメントマ
ーク部には着色層が形成されていないので、透明基板上
のアライメントマークとフォトマスクのアライメントマ
ークのコントラストが大きく、位置合せを行ないやすく
なり、結果として位置精度の良い、白抜けの無いカラー
フィルターが作成可能である。
イメントマークとフォトマスクのアライメントマークの
位置合せを行なう際に前記透明基板上のアライメントマ
ーク部には着色層が形成されていないので、透明基板上
のアライメントマークとフォトマスクのアライメントマ
ークのコントラストが大きく、位置合せを行ないやすく
なり、結果として位置精度の良い、白抜けの無いカラー
フィルターが作成可能である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−295503（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−27015（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−99102（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−256303（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−11826（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−295504（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】 仮支持体上に着色感光性樹脂層を設けた
感光性転写シートの着色感光性樹脂層と透明基板とを張
合わせ、該仮支持体を剥離除去し、該透明基板上に着色
感光性樹脂層を形成し、露光と現像を行い着色画像を形
成する工程を繰り返すことによりカラーフィルターを作
成する方法において、第１色目の着色画像作成と同時に
着色アライメントマークを作成し、該アライメントマー
クを避けて第２色目以降の感光性転写シートを張合わせ
ることを特徴とするカラーフィルターの作成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6647591A JP2741111B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | カラーフイルターの作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6647591A JP2741111B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | カラーフイルターの作成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04301602A JPH04301602A (ja) | 1992-10-26 |
| JP2741111B2 true JP2741111B2 (ja) | 1998-04-15 |
Family
ID=13316847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6647591A Expired - Fee Related JP2741111B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | カラーフイルターの作成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2741111B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6791648B2 (en) * | 2001-03-15 | 2004-09-14 | Seiko Epson Corporation | Liquid crystal device, projection display device and, manufacturing method for substrate for liquid crystal device |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6199102A (ja) * | 1984-10-17 | 1986-05-17 | Sanyo Kokusaku Pulp Co Ltd | カラ−フイルタ−の製法 |
| JPS61251823A (ja) * | 1985-03-28 | 1986-11-08 | Stanley Electric Co Ltd | カラ−表示素子の製造方法 |
| JPS61256303A (ja) * | 1985-05-10 | 1986-11-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPS61295503A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-26 | Seikosha Co Ltd | カラ−フィルタの製造方法 |
| JPH0327015A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-02-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラー液晶用基板の製造方法 |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP6647591A patent/JP2741111B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04301602A (ja) | 1992-10-26 |
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