JP2829457B2 - カラーフイルターの作成方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶カラーディスプレ
ー等に使用する、カラーフィルターの作成方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】液晶用カラーフィルターは、ガラス等の
透明基板上に、赤色、緑色及び青色のドット状画像をそ
れぞれマトリックス状に配置し、それぞれの境界をブラ
ックマトリックスで区分した構造である。従来、カラー
フィルターの作成方法としては、支持体としてはガラス
等の透明基板を用い、１）染色法、２）印刷法、３）特
開昭６３─２９８３０４号、特開昭６３─３０９９１６
号あるいは特開平１─１５２４４９号等の明細書に記載
の着色した感光性樹脂液の塗布と露光、現像の繰り返し
による着色感光性樹脂液法（着色レジスト法）、４）特
開昭６１─９９１０３号、特開昭６１─２３３７０４号
あるいは特開昭６１─２７９８０２号明細書に記載のよ
うに、仮支持体上に形成した画像を順次、最終または仮
の支持体上に転写する方法、５）特開昭６１─９９１０
２号公報に記載の予め着色した感光性樹脂液を仮支持体
上に塗布することにより着色層を形成し、順次直接、透
明基板上にこの感光性着色層を転写し、露光、現像する
ことを繰り返す方法等により多色画像を形成することが
知られている。そのほかにも電着法、蒸着法等の方法も
知られている。

【０００３】次に、カラーフィルターの物理的化学的保
護と表面の平坦化を目的とする保護膜をその上に形成す
ることがある。保護膜としてはアクリル系、ウレタン
系、シリコーン系等の樹脂皮膜や酸化珪素等の金属酸化
物皮膜のような透明性の高い皮膜をスピンコート、ロー
ルコート、印刷法などにより塗布し、必要に応じて水平
放置、溶剤除去を行い、硬化させるといった方法が一般
的に用いられている。

【０００４】さらにその上に、スパッタリング法や真空
蒸着法等の真空成膜法を用いて、酸化インジウム錫（Ｉ
ＴＯ）や酸化錫のような透明導電性の皮膜を成膜させた
後、エッチング法等により電極パターン加工を行い、透
明電極層を形成する。透明電極層は、着色画像とブラッ
クマトリックス層の下で、透明基板の上に形成すること
もある。

【０００５】カラーフィルター製造に関する着色画像形
成の従来の主な方法において、１）染色法ではフォトレ
ジスト塗布、乾燥した透明な膜の部分的染色を繰り返す
ため防染層の形成と除去の反復が必要であり、製造工程
が煩雑であった。２）印刷法では、ガラスへの印刷イン
キの転写性が劣るため、着色パターンの形状不良や濃度
むらを生じやすく、さらに３色或いは４色のパターンの
位置合わせの点でも不利であり、この方法による品質の
よいフィルターの形成は困難であった。３）の方法で
は、着色層の濃度は着色層の厚みで決まるため、着色層
の濃度を一定にするためには精密な塗布技術を必要とし
た。さらに第１色目を形成後、第２色目の着色層を塗布
するのは第１の着色層に基づく表面の凹凸のため、実際
には均一な塗布層を得るのが困難であった。さらに４）
の方法は最終支持体への着色画像の転写時に各色の画像
を所望の位置に正しく配置する（以下、「位置合わせ」
と称する）ことが困難であった。５）の方法は着色画像
の形成の工程が簡略化され、露光、現像、濃度管理が容
易であり、さらに各着色画像の位置合わせに関して転写
操作でのずれを生成しないので本質的に優れている。ま
た予め一定の厚さで均一に塗布された着色感光性樹脂層
を転写することから、露光・現像特性も安定し、得られ
る最終着色画像の濃度管理も容易である。

【０００６】しかしながら、転写時に透明ガラス基板と
着色感光性樹脂層の間に小さな塵や異物を挟み込むと、
現像時にその部分の着色感光性樹脂層は剥がれてしま
い、画素の抜けた（白抜けと称する）カラーフィルター
になる。これは着色レジスト溶液の塗布によるカラーフ
ィルター作成にはあまり見られない現象である。カラー
フィルターを形成するためには赤色、緑色、青色、黒色
と４回の処理が必要になるため、第１番目に形成した着
色画像では４回、２番目に形成した着色画像では３回、
３番目に形成した着色画像で２回と複数回現像処理され
ることになる。転写時に透明ガラス基板と着色感光性樹
脂層の間にごく小さな塵を挟んだ場合には、１回の現像
で感光性樹脂層が剥がれることは稀で、２回目、３回目
と他色の感光性樹脂層の現像時に剥がれてしまうことが
多い。クリーンルーム内での作業とは言っても、ラミネ
ーター、作業者、画像形成材料等からの発塵は皆無では
なく、高歩留りを得るのは困難であった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、画像
形成材料の転写によりカラーフィルターを形成する方法
において、画素の抜け（白抜け）の少ないカラーフィル
ターを得ることが出来る作成方法を提供することであ
る。

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、（１）
着色された感光性樹脂層を仮支持体に設けた画像形成材
料の、該感光性樹脂層を透明基板に加熱しながら密着さ
せる工程、（２）該仮支持体を剥離する工程、（３）該
感光性樹脂層にパターン露光する工程、（４）該感光性
樹脂層を現像する工程、（５）パターン形成された該感
光性樹脂層を設けた基板に該感光性樹脂層を硬化しうる
波長域を含む光を照射する工程、（６）上記（１）〜
（５）を、異なる色相に着色された画像形成材料につい
て繰り返す工程、を含むことを特徴とするカラーフィル
ターの作成方法により達成された。以下、本発明につい
て詳細に説明する。

【０００８】先ず、着色された感光性樹脂層を仮支持体
上に設けた画像形成材料について述べる。本発明で用い
る着色した感光性樹脂層のための仮支持体としては、可
撓性を有し加圧、もしくは加圧及び加熱下においても著
しい変形、収縮もしくは伸びを生じないことが必要であ
る。そのような支持体の例としては、ポリエチレンテレ
フタレートフィルム、トリ酢酸セルローズフィルム、ポ
リスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルムをあげ
ることができる。２軸延伸ポリエチレンテレフタレート
フィルムが特に好ましい。

【０００９】該支持体の上には、着色した感光性樹脂層
を直接、もしくは紫外線透過性を有し酸素透過性が低い
中間層を介して設ける。さらに、転写時の気泡混入を避
ける目的で、熱可塑性樹脂層を設けるのが好ましい。そ
の場合は、仮支持体、熱可塑性樹脂層、中間層、感光性
樹脂層の順に積層するのが好ましい。

【００１０】中間層は、着色した感光性樹脂層を透明基
板に密着した後で、仮支持体を剥離し、パターン露光す
るに際し、着色した感光性樹脂層中での光硬化反応を阻
害する空気中からの酸素の拡散を防止するためと、３つ
の層を積層する場合に熱可塑性樹脂層と感光性樹脂層が
混じり合わないようにするためのバリアー層として設け
られる。そのため、着色した感光性樹脂層からは機械的
に剥離できないようにし、かつ酸素の遮断能が高いこと
が好ましい。このような中間層はポリマーの溶液を仮支
持体上に直接、または熱可塑性樹脂層を介して塗布する
ことにより形成される。適当なポリマーとして、特公昭
４６─３２７１４号及び特公昭５６─４０８２４号の各
公報に記載されているポリビニルエーテル／無水マレイ
ン酸重合体、カルボキシアルキルセルロースの水溶性
塩、水溶性セルロースエーテル類、カルボキシアルキル
澱粉の水溶性塩、ポリビニルアルコール、ポリビニルピ
ロリドン、各種のポリアクリルアミド類、各種の水溶性
ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エ
チレンオキサイド重合体、各種の澱粉及びその類似物か
らなる群の水溶性塩、スチレン／マレイン酸の共重合
体、及びマレイネート樹脂、さらにこれらの２種以上の
組合せがあげられる。 特に好ましいのは、ポリビニル
アルコールとポリビニルピリドンの組合せである。ポリ
ビニルアルコールは鹸化率が８０％以上であるものが好
ましく、ポリビニルピロリドンの含有量は中間層固形分
の１重量％〜７５重量％が好ましく、より好ましくは１
重量％〜６０重量％、さらに好ましくは１０重量％〜５
０重量％である。１重量％未満では感光性樹脂層との十
分な密着が得られず、７５重量％を超えると、酸素遮断
能が低下する。中間層の厚みは非常に薄く、約０．１〜
５μｍ、特に０．２〜２μｍである。０．１μｍ未満だ
と酸素の透過性が高すぎ、５μｍを超えると、現像時ま
たは中間層除去時に時間が掛かり過ぎる。

【００１１】熱可塑性樹脂層を構成する樹脂は、実質的
な軟化点が８０℃以下であることが好ましい。軟化点が
８０℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、
エチレンとアクリル酸エステルの共重合体の鹸化物、ス
チレンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体の鹸化
物、ビニルトルエンと（メタ）アクリル酸エステル共重
合体の鹸化物、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、（メ
タ）アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の（メタ）アクリ
ル酸エステル共重合体の鹸化物等からすくなくとも１つ
選ばれるのが好ましいが、さらに「プラスチック性能便
覧」（日本プラスチック工業連盟、全日 本プラスチッ
ク成形工業連合会編著、工業調査会発行、１９６８年１
０月２５日発行）による軟化点が約８０℃以下の有機高
分子のうち、アルカリ水溶液に可溶なものを使用するこ
とが出来る。また軟化点が８０℃以上の有機高分子物質
においてもその有機高分子物質中に該高分子物質と相溶
性のある各種の可塑剤を添加して実質的な軟化点を８０
℃以下に下げることも可能である。また、これらの有機
高分子物質中に仮支持体との接着力を調節するために、
実質的な軟化点が８０℃を超えない範囲で各種のポリマ
ーや過冷却物質、密着改良剤あるいは界面活性剤、離型
剤等を加えることが可能である。好ましい可塑剤の具体
例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレン
グリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレ
ート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェー
ト、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジ
フェニルフォスフェートをあげることが出来る。

【００１２】熱可塑性樹脂層の厚みは６μｍ以上が好ま
しい。この理由としては熱可塑性樹脂層の厚みが５μｍ
以下であると１μｍ以上の下地の凹凸を完全に吸収する
ことが出来ず、転写時に下地との間に気泡を生じやすく
なるためである。また上限については、現像性、製造適
性から１００μｍ以下、好ましくは５０μｍ以下であ
る。

【００１３】感光性樹脂層はすくなくとも１５０℃以下
の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱
可塑性であることが好ましい。公知の光重合性組成物を
用いた層の大部分はこの性質を有するが、公知層の一部
は、熱可塑性結合剤の添加あるいは相溶性の可塑剤の添
加によってさらに改質することが出来る。本発明の感光
性樹脂層の素材としては公知の、例えば特開平３−２８
２４０４に記載されている感光性樹脂全てが使用でき
る。具体的には、ネガ型ジアゾ樹脂とバインダーからな
る感光性樹脂層、光重合性組成物、アジド化合物とバイ
ンダーからなる感光性樹脂組成物、桂皮酸型感光性樹脂
組成物等があげられる。その中でも特に好ましいのは光
重合性樹脂である。その光重合性樹脂は光重合開始剤、
光重合性モノマー及びバインダーを基本構成要素として
含む。

【００１４】感光性樹脂としては、アルカリ水溶液によ
り現像可能なものと、有機溶剤により現像可能なものが
知られているが、公害防止、労働安全性の確保の観点か
ら、アルカリ水溶液現像可能なものが好ましい。

【００１５】感光性樹脂層にはさらにカラーフィルター
の構成色である赤色、緑色、青色、黒色の顔料を添加す
るが、これらの好ましい具体例としては、カーミン６Ｂ
（Ｃ．Ｉ．１２４９０）、フタロシアニングリーン
（Ｃ．Ｉ．７４２６０）、フタロシアニンブルー（Ｃ．
Ｉ．７４１６０）、カーボンブラック等をあげることが
出来る。着色された感光性樹脂中の顔料の含有量は、１
〜３０重量％であることが好ましい。より好ましくは５
〜２０重量％である。

【００１６】本発明に用いる画像形成材料は、仮支持体
上に着色された感光性樹脂溶液を施し、乾燥することに
よって得られる。さらに、必要に応じて、熱可塑性樹脂
層、及び中間層を設けるが、その場合にはまず、熱可塑
性樹脂層溶液を施し、乾燥することにより、熱可塑性樹
脂層を設け、その後該熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹脂
層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶液を塗布
し、乾燥し、その後感光性樹脂層を中間層を溶解しない
溶剤で塗布乾燥して設ける。次に、上述したような方法
で作成した画像形成材料を用いて、カラーフィルターを
製造する方法を説明する。

【００１７】本発明の画像形成材料を用いてカラーフィ
ルターを製造する場合、ブラックマトリックス遮光層の
形成方法により２通りの工程を選択することが出来る。
その１つはブラックマトリックス遮光層を金属薄膜で形
成する方法で、もう１つは赤色、緑色、青色の各画素同
様画像形成材料の転写により設ける方法である。金属薄
膜を用いる場合は赤色、緑色、青色の各画素形成に先立
って、金属薄膜によるブラックマトリックス遮光層を形
成するのが好ましく、一方画像形成材料の転写によりブ
ラックマトリックス遮光層を形成する場合には、赤色、
緑色、青色の各画素形成後に設けるのが好ましい。金属
薄膜によるブラックマトリックス遮光層は、約１ｍｍ厚
のガラス基板にスパッタリング、真空蒸着等の方法によ
り、１００〜３００ｎｍのＣｒを形成し、フォトリソグ
ラフィーによりマトリックス状にパターニングすること
により得られる。金属薄膜としてはＣｒ以外にも種々の
材料を用いることが可能であるが、膜が黒色であるこ
と、さらにガラス基板との密着性、膜の緻密性、光遮断
能からＣｒが好ましい。先ず、約１ｍｍ厚の透明ガラス
基板（もしくは、Ｃｒブラックマトリックス遮光層形成
基板）の上に画像形成材料の感光性樹脂層を加圧加温下
で貼り合わせる。この場合、予め透明ガラス基板にシラ
ンカップリング剤等の下塗を施すことにより、感光性樹
脂層と透明ガラス基板との密着力が向上し、好ましい。
貼り合わせには、従来公知のラミネーター、真空ラミネ
ーターが使用でき、より生産性を高めるためには、オー
トカットラミネーターの使用も可能である。その後仮支
持体を剥がした後で、所定のフォトマスク、熱可塑性樹
脂層、及び中間層を介して露光し、現像する。ここで、
仮支持体を剥がす場合に熱可塑性樹脂層も一緒に剥がす
のが高い解像度を得るためにも、また現像時間を短縮す
るためにも好ましい。仮支持体、熱可塑性樹脂層、中間
層、感光性樹脂層各層間の密着バランスをコントロール
することでこれは可能である。また、仮支持体を剥がす
前に露光し、その後仮支持体を剥がして現像することも
可能であるが、高解像度を得るためには、露光前に剥が
すのが好ましい。

【００１８】現像は公知の方法で、溶剤もしくは水性の
現像液、特にアルカリ水溶液に浸漬するか、スプレーか
らの現像液噴射を与えること、さらにブラシでのこす
り、または超音波を照射しつつ処理することで行われ
る。

【００１９】次に、現像処理後の基板に着色感光性樹脂
層を硬化しうる波長域、即ち３６５ｎｍ、４０５ｎｍを
含む光を照射する。（以降ポスト露光と称する）照射は
カラーフィルター形成面、その反対面、またはその両側
から行ってもよい。形成画素そのものがこれらの光を吸
収するためカラーフィルター形成面の反対側から照射す
る方がより効果的であり、両側から照射すればなお効果
的である。照射量は片側５ｍｊ以上、好ましくは５０ｍ
ｊ以上、更に好ましくは２００ｍｊ以上であり、上限は
特に無いが、製造適性を考慮すれば、３０００ｍｊ程度
である。５ｍｊより少ない照射量では、白抜け防止に対
する効果が少なく、３０００ｍｊを超えると装置の大型
化や、処理時間が長時間になる等の問題点が生ずる。照
射の方法は、超高圧水銀灯からの光を１枚ずつ一括露光
する方法、画素形成基板をコンベアで搬送しながら上方
から、または下方から、あるいは両方から光を照射する
方法等、公知の技術が利用できる。画像形成材料貼り合
わせからポスト露光までの工程を赤色、緑色、青色、黒
色について繰り返せばカラーフィルターを形成すること
が出来る。当然、金属薄膜により予めブラックマトリッ
クス遮光層を形成したガラス基板を用いた場合は黒色画
像形成工程は省くことが出来る。

【００２０】透明ガラス基板と、着色感光性樹脂層の界
面に小さな塵が挟み込まれてはいるが、１回の現像処理
では白抜けにつながらなかった場合において、ポスト露
光を実施することで感光性樹脂層の硬化が進み、その後
に行われる他色の現像処理時にその部分の膜剥がれ、即
ち白抜けが発生するのを防止する事が出来る。パターン
露光時の露光量を増加しても、白抜けを減少させること
は出来るが、その場合には光の回り込みによって画像が
必要以上に太ってしまうため、この方法は採用できな
い。

【００２１】次に、本発明がもたらす他の効果について
述べる。上述したように複数回現像処理されると過現像
となり、画素の周縁部が溶出し、（サイドエッチと称す
る）画素の形状が崩れてしまう。特に緑色の感光性樹脂
の場合は着色材料がパターン露光用の紫外線を強く吸収
するため、内部まで充分に硬化させるのが困難になり、
複数回現像処理すると画素の周縁部の膜厚ががサイドエ
ッチで薄くなってしまう。他色の感光性樹脂層について
も程度の差はあるが、同じ事が言える。そこで、各色の
感光性樹脂層の現像処理後、特に緑色の感光性樹脂層の
現像処理後ポスト露光を実施することで、サイドエッチ
の増加を防止することが出来る。この場合の適性な露光
量も前述の通りである。

【００２２】転写法によるカラーフィルター形成におい
ては、黒色画素は最後に形成するのが一般的であって、
その後に画素が現像処理されることは基本的には無く、
したがって白抜けやサイドエッチ防止の観点では最後の
黒色画素形成後のポスト露光は不要であるが、黒色の感
光性樹脂層は緑色の感光性樹脂層以上に紫外線透過性が
低く、現像処理後も半硬化の状態である。これを充分に
硬化させるという目的で、最後の黒色画素形成後もポス
ト露光を実施するのが好ましい。金属薄膜でブラックマ
トリックスを形成した場合には、黒色画素を形成するこ
とはなく、最終画素形成後のポスト露光は不要である。

【００２３】さらに、必要に応じて、カラーフィルター
表面の物理的化学的保護と平坦化を目的とする保護層を
カラーフィルターに積層して設けてもよい。保護層とし
ては、アクリル系、ウレタン系、シリコーン系等の樹脂
皮膜や、酸化珪素等の金属酸化物のような透明性の高い
皮膜が用いられるが、その形成方法としては樹脂皮膜
は、スピンコート、ロールコート、印刷法等のほか、上
述した画像形成材料のように転写により形成することも
できる。また、金属酸化物等の無機皮膜については、ス
パッタリング法、真空蒸着法等によって設ける事が出来
る。

【００２４】

【実施例】

実施例１ 厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮
支持体の上に下記の処方Ｈ１からなる塗布液を塗布、乾
燥させ、乾燥膜厚が２０μｍの熱可塑性樹脂層を設け
た。

【００２５】 熱可塑性樹脂層処方Ｈ１： メチルメタクリレート／２─エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリ レート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比） ＝５５／２８．８／１１．７／４．５、重量平均分子量＝９００００） １５重量部 ポリプロピレングリコールジアクリレート（平均分子量＝８２２） ６．５重量部 テトラエチレングリコールジメタクリレート １．５重量部 ｐ−トルエンスルホンアミド ０．５重量部 ベンゾフェノン １．０重量部 メチルエチルケトン ３０重量部

【００２６】次に上記熱可塑性樹脂層上に下記処方Ｂ１
からなる塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が１．６μ
ｍ厚の中間層を設けた。

【００２７】 中間層処方Ｂ１： ポリビニルアルコール（クラレ（株）製ＰＶＡ２０５、鹸化率＝８０％） １３０重量部 ポリビニルピロリドン（ＧＡＦコーポレーション社製ＰＶＰ、Ｋ−９０） ６０重量部 フッ素系界面活性剤（旭硝子（株）社製サーフロンＳ−１３１） １０重量部 蒸留水 ３３５０重量部

【００２８】上記熱可塑性樹脂層及び中間層を有する仮
支持体の上に、それぞれ表１の処方を有する、赤色（Ｒ
層用）、緑色（Ｇ層用）、青色（Ｂ層用）及び黒色（Ｂ
Ｌ層用）の４色の感光性溶液を塗布、乾燥させ、乾燥膜
厚が２μｍの着色感光性樹脂層を形成した。

【００２９】 表１：着色感光層用塗布液の組成 赤 緑 青 黒 （ｇ） （ｇ） （ｇ） （ｇ） ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― ベンジルメタクリレート／ メタクリル酸共重合体 60 60 60 60 （モル比＝73/27 , 粘度＝0.12） ペンタエリスリトールテトラアクリレー 43.2 43.2 43.2 43.2 ト ミヒラーズケトン 2.4 2.4 2.4 2.4 ２−（ｏ−クロロフエニル）−４，５− 2.5 2.5 2.5 2.5 ジフェニルイミダゾール二量体 イルガジン・レッドＢＰＴ（赤色） 5.4 − − − スーダンブルー（青色） − 5.2 − − 銅フタロシアニン（緑色） − − 5.6 − カーボンブラック（黒色） − − − 5.6 メチルセロソルブアセテート 560 560 560 560 メチルエチルケトン 280 280 280 280 ――――――――――――――――――――――――――――――――――――

【００３０】さらに上記感光性樹脂層の上にポリプロピ
レン（厚さ１２μｍ）の被覆シートを圧着し、赤色、青
色、緑色及び黒色画像形成材料料を作成した。この画像
形成材料を用いて、以下の方法でカラーフィルターを作
成した。厚さ１．１ｍｍ、４００ｍｍ×３００ｍｍの透
明ガラス基板（コーニング社＃７０５９）を洗浄し、シ
ランカップリング剤（信越化学ＫＢＭ−６０３）１％水
溶液に３分間浸漬後、３０秒間純水洗浄して過剰なシラ
ンカップリング剤を洗い落とし、水切りしてオーブンで
１１０℃２０分間熱処理した。赤色画像形成材料の被覆
シートを剥離し、感光性樹脂層面をシランカップリング
剤処理した透明ガラス基板にラミネーター（ソマール
（株）製オートカットラミネーターＡＳＬ−２４）を用
いて加圧（１０ｋｇ／ｃｍ）、加熱して貼り合わせ、続
いて仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支
持体を除去した。次に所定のフォトマスクを介して露光
し、現像し、不要部を除去した後、超高圧水銀灯を用い
てカラーフィルター形成面の反対側から紫外線を３００
ｍｊ照射し、透明ガラス基板上に赤色画素パターンを形
成した。続いて、赤色画素パターンが形成されたガラス
基板上に緑色画像形成材料を上記と同様にして貼り合わ
せ、剥離、露光、現像、ポスト露光を行い、緑色画素パ
ターンを形成した。同様な工程を青色、黒色画像形成材
料で繰り返し、透明ガラス基板上にカラーフィルターを
形成した。黒色画素形成後はカラーフィルター形成面及
び反対面から同光量ポスト露光した。転写、露光、現
像、ポスト露光の各条件は表２に示すとおりである。

【００３１】 表２：転写、露光、現像、ポスト露光条件 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――― 転写 転写速度 露 光 現像１ 現像２ ポスト露光 色 温度 （℃） （ｍ／分） （ｍｊ） （秒） （秒） （ｍｊ） ――――――――――――――――――――――――――――――――― 赤 １３０ ０．２ ２０ ７０ ５０ ３００ 緑 １４０ ０．２ ２０ ７０ ２５ ３００ 青 １５０ ０．２ ２０ ７０ ６０ ３００ 黒 １３０ ０．２ ３００ ７０ ２５ １０００（裏表） ――――――――――――――――――――――――――――――――――――

【００３２】その他の条件、表２の補足説明は次のとお
り。 １．現像１は、熱可塑性樹脂層、中間層を溶解除去する
ための現像で、現像液としてトリエタノールアミン１％
水溶液を用い、３３℃でシャワー現像した。 ２．現像２では、着色感光性樹脂層を現像し、現像液と
してカラーモザイク現像液ＣＤ−１０００（富士ハント
エレクトロニクステクノロジー社製）１％水溶液を用
い、３３℃でシャワー現像した。 上述の条件により形成したカラーフィルターは画素の抜
け（白抜け）が無く、各画素のサイドエッチも小さく、
カラーフィルターとして充分な性能を有していた。

【００３３】比較例１ ポスト露光を実施しない以外は実施例と全く同じ条件で
カラーフィルターを形成した。その結果、各色画素に白
抜けが発生し、カラーフィルターとしての使用は不可で
あった。

【００３４】

【発明の効果】本発明では、仮支持体上に設けた着色感
光性樹脂層を透明ガラス基板に転写し、仮支持体を剥離
し、パターン露光、現像を行った後、着色感光性樹脂層
を硬化しうる波長域を含む光を照射するという工程を、
異なる色相に着色された画像形成材料について繰り返す
ことにより、画素の抜け（白抜け）がなく、画素のサイ
ドエッチが少ないパターン形状のよい優れたカラーフィ
ルターを製造することが出来る。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （１）着色された感光性樹脂層を仮支持
   体に設けた画像形成材料の、該感光性樹脂層を、透明基
   板に加熱しながら密着させる工程、（２）該仮支持体を
   剥離する工程、（３）該感光性樹脂層にパターン露光す
   る工程、（４）該感光性樹脂層を現像する工程、（５）
   パターン形成された該感光性樹脂層を設けた基板に該感
   光性樹脂層を硬化しうる波長域をふくむ光を照射する工
   程、（６）上記（１）〜（５）を、異なる色相に着色さ
   れた画像形成材料について繰り返す工程、を含むことを
   特徴とするカラーフィルターの作成方法。