JP3120101B2 - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はカラー液晶表示装置の液
晶セル等に内設するのに好適なカラーフィルターの製造
方法に関するものである。より詳細には、特定構造を有
するシランカツプリング剤で処理を行ったガラス基板上
に、感光性転写材料の着色光重合性組成物層を転写し、
パターン露光し、現像する工程の繰り返しにより、作業
性よく、高精度のカラーフィルターを製造する方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】液晶を用いたフルカラー表示装置は薄型
軽量、低電圧駆動、低消費電力という特徴がある。これ
らの装置は基本的に液晶セルの内部または外部に設けら
れた、赤色、緑色、青色の３色のパターン化されたフィ
ルター層に対応して、液晶を光学的フィルターとして駆
動させてフルカラーを再現する方式である。フィルター
層のパターンニング法としては多くの方法が提案されて
いるが、大別してフォトリソグラフィーを利用したもの
と印刷によるものがある。前者には、いわゆる染色法、
顔料分散法、転写法があり、後者は凹版オフセット印刷
法が知られている。印刷法は工程が簡単であるが、着色
画素パターンの寸法精度及び平滑度の点で劣る。これに
反しフォトリソグラフィー利用の方法は印刷法に比べ寸
法精度が高く微細なパターンを形成できるという利点を
もつが、各色について感光性樹脂膜の塗布、乾燥、露
光、現像の各工程を繰り返す必要があり、工程数が多
く、スループットの点で問題があった。特に塗布工程で
の膜厚ムラに基づく、露光、現像工程の不安定は大きな
問題であった。この解決策として、仮支持体上に予め塗
布された感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用い
て、着色画像を形成するといういわゆる転写法の提案が
数多くなされた。例えば、特開昭４６−２１２１、特公
昭５６−４０８２４、特開昭６１−９９１０２、特開昭
６１−２５６３０３、特開昭６３−１８７２０３、特開
平２−８０３、特開平２−２３９２０５、特開平２−２
４４００５の各号明細書に記載されている。転写法に従
えば、ガラスではなく通常ウエッブ状の仮支持体上に高
精度で塗布できるため、膜厚や色濃度を精度良く作成で
きる。しかしながら、通常転写法の場合にはガラス基板
への感光性樹脂層の密着性が不十分であり、得られる着
色画素の解像力や密着性が、顔料分散法等のガラス板へ
の直接塗布法に比べて劣っていた。

【０００３】ガラス基板と感光性樹脂層の密着性を改良
するため、基板上にシランカツプリング剤の層を設ける
技術が知られている。特開昭６３−２３７００２号明細
書には、基板上にシランカップリング剤の単分子層を形
成し、その上に印刷法で製造したカラーフィルターが開
示されている。しかし、本願のようなフォトリソグラフ
ィー利用、即ち感光性樹脂層を転写し、この層の現像を
必須とする方法においても密着性が改良されること、も
しくは感光性樹脂層の現像時に支障を生じないことは何
等示唆されていない。特開平２−１６１４０２号明細書
中のシランカップリング剤を含有するインキを用いて印
刷法で製造されるカラーフィルターや特開平２−２０３
３２０号明細書中のシランンカップリング剤層を形成し
たカラーフィルター層を有する電気光学装置にも、印刷
法、染色法または顔料分散法での画素の密着向上効果し
か言及されていない。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ガラ
ス基板への密着性の優れた、解像力の高い、色かぶりの
無い鮮明な画素を有するカラーフイルターを、簡便に、
高いスループツト速度で製造する方法を提供することに
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、（１）
透明ガラス基板上にシランカップリング剤の層を設ける
工程、（２）仮支持体上に少なくともアルカリ現像型着
色光重合性組成物層を有する感光性転写材料の該アルカ
リ現像型着色光重合性組成物層を、該ガラス基板上に少
なくとも加熱しながら転写する工程、（３）少なくとも
該仮支持体を剥離して除去する工程、（４）該アルカリ
現像型着色光重合性組成物層にフォトマスクを介して露
光する工程、（５）該アルカリ現像型着色光重合性組成
物層の未露光部をアルカリ水溶液で除去する工程、
（６）上記（２）で使用したアルカリ現像型着色光重合
性組成物層とは異なる色に着色されたアルカリ現像型着
色光重合性組成物層を有する感光性転写材料を用いて
（２）から（５）の工程を繰り返す工程、を含む工程に
よりカラーフィルターを製造する方法において、分子中
にアミノ基を含有するシランカップリング剤の水溶液を
透明ガラス基板上に設けた後、乾燥させる前に水洗し、
乾燥することにより透明ガラス基板上にシランカツプリ
ング剤の層を設けることを特徴とするカラーフイルター
の製造方法により達成された。

【０００６】特開平２−２３９２０５号には、転写法に
よるカラーフィルターの製造法において、シランカップ
リング剤の感光性樹脂中への添加や、ガラス基板への下
塗りが感光性樹脂層とガラス基板との密着向上に有効で
あるとの記載があるが、例示して有るシランカップリン
グ剤には、分子中にアミノ基を含有するシランカップリ
ング剤は含まれていない。

【０００７】既述の通り、本発明においては、分子中に
アミノ基を含有するシランカツプリング剤を使用するこ
とを特徴とする。アミノ基を含有するシランカップリン
グ剤を使用することにより、層転写法においてもガラス
基板との十分な密着が得られる。また特開平２−２３９
２０５明細書中の感光性転写材料は支持体上に着色され
た感光性樹脂層をもつ構成のものであり、まだまだ、感
光性樹脂層の先行画素に基づく凹凸に十分追従しないの
で得られる画像は十分な密着が得られていないし、シラ
ンカップリング剤としてアミノ基含有シランカップリン
グ剤を使用することや、その水溶液中に浸漬し、その後
水洗し、乾燥することの記載はない。

【０００８】本発明において、ガラス基板上にアミノ基
を含有するシランカップリング剤の層を設けるには、該
シランカツプリング剤の水溶液を噴霧液として用いる方
法、スピナー・バーコーター等公知の方法で塗布する方
法、水溶液中にガラス板を浸漬する方法等があるが、工
程の容易さから、水溶液中に浸漬した後で、該液が乾燥
する前に水洗し、乾燥することが好ましい。

【０００９】本発明に使用するアミノ基を含有するシラ
ンカップリング剤の例としては、下記一般式（Ｉ）の、
分子中に少なくとも１個のアミノ基を有する有機シラン
化合物を挙げることができる。

【００１０】

【化１】

【００１１】ここで、Ｙは２価の有機基、Ｒはアルキル
基、ｎは２もしくは３を表す。具体的例としては、γ−
アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピ
ルメチルジメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ
−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノ
エチル）γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、
γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプ
ロピルメチルジエトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチ
ル）γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−β
（アミノエチル）γ−アミノプロピルメチルジエトキシ
シラン等を挙げることができる。

【００１２】本発明で使用する、アミノ基含有シランカ
ップリング剤の水溶液は、濃度が０．０１重量％〜９０
重量％が好ましい。０．０１重量％未満では十分な密着
が得られず、９０重量％を越えると次工程での水洗時に
シランカップリング剤の損失が増大するので好ましくな
い。該水溶液のｐＨとしては５〜１２が好ましく、５未
満では密着が劣り、１２を越えると作業安全性の点で好
ましくない。

【００１３】以下、便宜上シランカツプリング剤の水溶
液中にガラス板を浸漬する方法について詳述するが、噴
霧法、塗布法においても、同様の観点から適宜条件を選
択することができる。基板の浸漬時間は１秒以上必要で
ある。１秒未満では十分な密着が得られない。他方、浸
漬時間を長くしても密着力に問題は無く、生産性に影響
が無い範囲で適宜選択することができる。浸漬時の温度
は室温付近から５０℃付近が好ましい。室温より余り低
いと密着が劣り、５０℃を余り越えても密着が低下す
る。浸漬時に攪拌しても良いが、攪拌無しでも十分な密
着が得られる。浸漬法の他に、噴霧液でも行うことがで
きるが、浴液への浸漬が単純でありより好ましい。

【００１４】本発明の工程において、シランカップリン
グ剤水溶液への浸漬後の水洗は、シランカップリング剤
水溶液が乾燥しないうちに行うのが好ましく、乾燥後で
は着色光重合性組成物層の現像性が低下するので好まし
くない。水洗後の乾燥は、好ましくは室温から２００℃
で行う。室温未満では乾燥に時間がかかり、２００℃を
越えるとシランカップリング剤の分解により、不都合な
着色が起こると共に十分な密着性が得られない。乾燥時
間は、水分が十分に蒸発するまで行えば良いが、密着を
より高めるためには、５０℃〜１９０℃で１分以上６０
分までの条件が好ましい。

【００１５】本発明で使用するガラス基板は、特に指定
はないが、少なくともシランカツプリング剤と結合する
反応基が該表面に存在することが必要である。好ましい
基板としては、ソーダライムガラスの表面に酸化珪素を
薄層にスパツタ・蒸着・もしくは液相析出した基板、硼
珪酸ガラス等を挙げることができる。更に、該表面が清
浄で、シランカツプリング剤との反応を妨げるような物
質が無いことが望ましい。

【００１６】本発明で使用する、仮支持体上に少なくと
もアルカリ現像型着色光重合性組成物層を有する感光性
転写材料は、仮支持体上にアルカリ現像型光重合性組成
物層を直接設けたもの、熱可塑性中間層及び／または水
溶性酸素遮断性剥離層を介して、該アルカリ現像型光重
合性組成物層を設けたもの等を用いることができる。仮
支持体上に熱可塑性中間層及び水溶性酸素遮断性剥離層
を介してアルカリ現像型着色光重合性組成物層を有する
感光性転写材料は、特願平３−９２９２号明細書に記載
されている。該感光性転写材料は、仮支持体上に順に、
熱可塑性樹脂層と水またはアルカリ水可溶な酸素遮断性
分離層を設けその上に感光性樹脂層、さらに場合により
その上に被覆シートを有する層構造であり、被覆シート
が最も弱く感光性樹脂層に接着しており、該剥離層は隣
接する２層のうち該感光性樹脂層に対し、より強く接着
し、該熱可塑性樹脂層には弱く接着しており、且つ、該
熱可塑性樹脂層と該仮支持体との間で最も強く接着して
いる感光性転写材料である。この感光性転写材料は永久
支持体上に多色画像を形成するのに好適に使用される。
その材料を用いた画像形成方法とは、先ず保護シートが
あればこれを剥離した後で、該感光性樹脂層と永久支持
体を少なくとも加熱しながら密着させた後、該仮支持体
と熱可塑性樹脂層を剥離し、該感光性樹脂層に該剥離層
を介してパターン露光し、現像して該永久支持体上に画
像を形成することを特徴とする。

【００１７】本発明で使用する感光性転写材料の仮支持
体としては、化学的および熱的に安定であって、また可
撓性の物質で構成されるべきであり、具体的にはポリエ
チレンテレフタレート、ポリカーボネート等の厚みが５
μｍ〜１５０μｍのシートが特に好ましい。

【００１８】熱可塑性樹脂層の軟化点は１００℃以下が
好ましい。熱可塑性樹脂層として用いる有機高分子物質
としてはヴイカーＶｉｃａｔ法（具体的にはアメリカ材
料試験法エーエステーエムデーＡＳＴＭＤ１２３５によ
るポリマー軟化点測定法）による軟化点が約８０℃以下
の有機高分子物質より選ばれることが好ましい。この理
由は軟化点の低いポリマーを用いることにより、転写シ
ートを凹凸のある基板上に熱と圧で転写する際に下地の
凹凸を完全に吸収し、気泡残りが全く無い状態で転写で
きるためである。軟化点が高いポリマーを用いた場合
は、高い温度で転写する必要が有り、作業実質上不利で
ある。この様な点で熱可塑性樹脂層に用いられる有機高
分子物質としてはＶｉｃａｔ法による軟化点が好ましく
は約８０℃以下のもの、より好ましくは６０℃以下、特
に好ましくは５０℃以下のものである。軟化点が８０℃
以下のものとしては、ポリエチレン、ポリプロピレンな
どのポリオレフィン、エチレンと酢酸ビニルあるいはそ
のケン化物の様なエチレン共重合体、エチレンとアクリ
ル酸エステルあるいはそのケン化物、ポリ塩化ビニル、
塩化ビニルと酢酸ビニルおよびそのケン化物の様な塩化
ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン
共重合体、ポリスチレン、スチレンと（メタ）アクリル
酸エステルあるいはそのケン化物の様なスチレン共重合
体、ポリビニルトルエン、ビニルトルエンと（メタ）ア
クリル酸エステルあるいはそのケン化物のようなビニル
トルエン共重合体、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、
（メタ）アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の（メタ）ア
クリル酸エステル共重合体、酢酸ビニル共重合体ナイロ
ン、共重合ナイロン、Ｎ−アルコキシメチル化ナイロ
ン、Ｎ−ジメチルアミノ化ナイロンの様なポリアミド樹
脂等の有機高分子から少なくとも１つ選ばれるのが好ま
しいが、さらに「プラスチック性能便覧」（日本プラス
チック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編
著、工業調査会発行、１９６８年１０月２５日発行）に
よる軟化点が約８０℃以下の有機高分子を使用すること
ができる。これらの有機高分子物質中には該高分子物質
と相溶性のある各種の可塑剤を添加して実質的な軟化点
を下げることも可能である。また軟化点が８０℃以上の
有機高分子物質においてもその有機高分子物質中に該高
分子物質と相溶性のある各種の可塑剤を添加して実質的
な軟化点を８０℃以下に下げることも可能である。これ
ら有機高分子物質の溶解特性は着色感光性樹脂層の溶解
特性と実質上一致させてもよいし、感光性樹脂層が全く
溶解しない溶剤に可溶な溶解特性を持っていてもよい。
またこれらの有機高分子物質中に仮支持体との接着力を
調節するために実質的な軟化点が８０℃を越えない範囲
で各種のポリマーや過冷却物質、密着改良剤あるいは界
面活性剤や離型剤を加えることが可能である。また熱可
塑性樹脂層の厚みは６μｍ以上が好ましい。この理由と
しては剥離層の厚みが５μｍ以下であると１μｍ以上の
下地の凹凸を完全に吸収することが不可能となるためで
ある。また熱可塑性樹脂層の厚みの上限は特にないが製
造上の理由から、１００μｍまでが好ましく、特に好ま
しくは５０μｍまでである。

【００１９】剥離層としては水またはアルカリ水溶液に
分散または溶解し、低い酸素透過性を示すものであれば
良く、公知のものが使用できる。例えば、特開昭４６−
２１２１号や特公昭５６−４０８２４号の各明細書に記
載のポリビニルエーテル／無水マレイン酸重合体、カル
ボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロー
スエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポ
リビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポ
リアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリア
クリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重
合体、各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性
塩、スチレン／マレイン酸の共重合体、およびマレイネ
ート樹脂が挙げられる。剥離離層の厚みは非常に薄く、
約０．１〜５μｍ、特に０．５〜２μｍである。約０．
１μｍ未満だと酸素の透過性が高すぎ、約５μｍを越え
ると、現像時または剥離層除去時に時間がかかりすぎ
る。

【００２０】アルカリ現像型着色感光性樹脂層は少なく
とも１５０℃以下の温度で軟化もしくは粘着性になる必
要があるので、熱可塑性であることが好ましい。公知の
光重合性層の大部分はこの性質を有するが、公知層の一
部は、熱可塑性結合剤の添加あるいは相溶性の可塑剤の
添加により容易に、更に改質することができる。本発明
で使用できる感光性樹脂としては、公知の、例えば特願
平２−８２２６２に記載されている感光性樹脂をすべて
使用できる。具体的には、ネガ型ジアゾ樹脂とバインダ
ーからなる感光性組成物、光重合性組成物、アジド化合
物とバインダーからなる感光性樹脂組成物、桂皮酸型感
光性樹脂組成物等が挙げられる。その中でも特に好まし
いのは光重合性組成物であり、光重合開始剤、少なくと
も１つのエチレン性不飽和結合を有する重合性モノマ
ー、及びバインダーを基本構成要素として含む。

【００２１】感光性樹脂組成物としてはアルカリ水溶液
により現像可能なものと、有機溶剤により現像可能なも
のが知られているが、公害防止、労働安全性の確保の観
点からアルカリ水溶液現像可能なものが好ましい。本発
明では、特願平２−２３２８５４に記載された感光性樹
脂組成物の中から適宜選択してしようすることができ
る。

【００２２】感光性樹脂組成物層には更に、染料、顔料
を添加することができる。すべての顔料は感光性樹脂組
成物層中に実質上均一に分散されており、５μｍ以下の
粒径、好ましくは１μｍ以下の粒径を有していなければ
ならない。カラーフィルターの作成に当たっては、顔料
としては０．５μｍ以下の粒径のものが特に好ましい。
適当な染料ないし顔料の具体例としては、ビクトリア・
ピュアーブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミ
ン（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファット・ブラックＨＢ
（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、モノライト・エローＧＴ
（Ｃ．Ｉ．ピグメントエロー１２）、パーマネント・エ
ローＧＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１７）、パーマ
ネント・エローＨＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー８
３）、パーマネント・カーミンＦＢＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメ
ント・レッド１４６）、ホスターバームレッドＥＳＢ
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット１９）、パーマネ
ント・ルビーＦＢＨ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１
１）ファステル・ピンクＢスプラ（Ｃ．Ｉ．ピグメント
・レッド８１）モナストラル・ファースト・ブルー
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５）、モノライト・フ
ァースト・ブラックＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック
１）及びカーボン。さらにカラーフィルターを形成する
のに適当な顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド
９７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピ
グメント・レッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド
１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７、Ｃ．Ｉ．
ピグメント・レッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッ
ド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２１５、Ｃ．
Ｉ．ピグメント・グリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グ
リーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：１、
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ント・ブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー２
２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ント・ブルー６４等を挙げることができる。

【００２３】また、感光性樹脂組成物層は貯蔵の際に支
持体に相対する側に汚染や損傷に対して保護するために
薄い被覆シートを有することが好ましい。被覆シートは
仮支持体と同じかまたは類似の材料からなっても良い
が、感光性樹脂組成物層から容易に分離されねばならな
い。被覆シート材料としては例えばシリコーン紙、ポリ
オレフィンもしくはポリテトラフルオルエチレンシート
が適当である。被覆シートの厚みは約５から１００μｍ
であるのが好ましい。特に好ましくは１０〜３０μｍ厚
のポリエチレンまたはポリプロピレンフィルムである。

【００２４】本発明で使用する感光性転写材料は、仮支
持体上に熱可塑性樹脂層溶液を塗布、乾燥することによ
り熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱
可塑性樹脂層を溶解しない溶剤からなる剥離層材料の溶
液を塗布、乾燥し、更に感光性樹脂組成物層を剥離層を
溶解しない溶剤で塗布、乾燥して設ける。または別の被
覆シート上に感光性樹脂組成物層を設けて、前記の仮支
持体上に熱可塑性樹脂層及び剥離層を有するシートの両
方のシートを剥離層と感光性樹脂層が接するように相互
に貼り合わせることまたは、別の被覆シートとして、熱
可塑性樹脂層を有する仮支持体を用意し、この熱可塑性
樹脂層を、被覆シート上の感光性樹脂層及び分離層から
なるシートの分離層とを貼り合わせることにより有利に
製造される。また、熱可塑性樹脂層を有する仮支持体の
代わりに、熱可塑性樹脂のシートと仮支持体シートの接
着した２層または多層シート上に該剥離層を設けた後で
該感光性樹脂組成物層を形成してもよい。熱可塑性樹脂
のシートは前記の熱可塑性樹脂層用の材料を使用できる
が、この場合はポリエチレンフィルムやポリプロピレン
フィルムが特に好ましい。仮支持体上にポリエチレンや
ポリプロピレンフィルムシートを設ける方法としては、
仮支持体上にポリ酢酸ビニル、ポリ塩化ビニル、エポキ
シ樹脂、ポリウレタン、天然ゴム、合成ゴム等の溶液を
塗布乾燥することにより接着剤層として設け、この上に
ポリエチレン、ポリプロピレンフィルム等を加圧加熱下
に張り合わせる方法、エチレン／酢酸ビニル共重合体、
エチレン／アクリル酸エステル共重合体、ポリアミド樹
脂、石油樹脂、ロジン類、ワックス類の混合物からなる
接着剤を加熱溶融して仮支持体上に塗布した後で直ちに
ポリエチレン、ポリプロピレンフィルム等を貼り合わせ
る方法、ポリエチレン、ポリプロピレン等を溶融状態に
し、押出し機によりフィルム状に押出し、溶融状態のま
ま、仮支持体を圧着してラミネートする方法等が挙げら
れる。さらに滑り性を良化するため、該感光性樹脂組成
物層の仮支持体裏面との不都合な接着を防止するため、
更に帯電防止等の目的で、仮支持体の裏面に公知の微粒
子含有滑り性組成物や、シリコーン化合物を含有する離
型剤組成物、帯電防止剤組成物などを塗布することも有
効である。

【００２５】本発明において、感光性転写材料は以下の
様にして使用される。感光性転写材料の被覆シートを取
除き、感光性樹脂組成物層を加温下で基体上に貼り合わ
せる。この際、加熱と同時に加圧しても良い。貼り合わ
せには、従来公知のラミネーター、真空ラミネーターが
使用でき、更に生産性を高めるためにオートカットラミ
ネーターの使用も可能である。その後仮支持体と熱可塑
性樹脂層を剥がした後で、所定のマスクを介して露光
し、次いで現像する。現像は、同様に公知の方法で、溶
剤もしくは特にアルカリ水溶液に浸漬するか、これら現
像液のスプレーからの噴霧を与えること、さらにブラシ
を用いたこすりまたは超音波を照射しつつ処理すること
で行なわれる。異なる色相に着色した感光性樹脂組成物
層を有する感光性転写材料を用いて、同様な工程を複数
回繰り返しカラーフイルターを製造することができる。
以下、本発明を実施例を用いて更に詳細に説明するが、
本発明はこれら実施例に限定されるものではない。

【００２６】

【実施例】

実施例１ 仮支持体として厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタ
レートフィルムの上に下記の処方からなる塗布液を塗
布、乾燥させ、乾燥膜厚が２０μｍの熱可塑性樹脂層を
設けた。 熱可塑性樹脂層処方Ｈ１ 塩化ビニル／酢酸ビニル共重合体（重量比：塩ビ／酢ビ＝ ２９０ｇ ７５／２５、重合度：約４００、日信化学（株）製Ｍ ＰＲ−ＴＳＬ） 塩化ビニル−酢酸ビニル−マレイン酸共重合体（重量比： ７６．０ｇ 塩ビ／酢ビ／マレイン酸＝８６／１３／１、重合度： 約４００、日信化学（株）製ＭＰＲ−ＴＭ ） フタル酸ジブチル ８８．５ｇ フッ素系界面活性剤（大日本インキ（株）製Ｆ−１７７Ｐ） ５．４ｇ メチルエチルケトン ９７５．０ｇ

【００２７】次に上記熱可塑性樹脂層上に次の剥離層塗
液Ｂ１を塗布し、１．６μｍ厚の剥離層を設けた。 剥離層塗布液Ｂ１ ポリビニルアルコール １７３．２ｇ （クラレ（株）製ＰＶＡ２０５、鹸化率＝８０％） 弗素系界面活性剤 ８ｇ 蒸留水 ２８００ｇ

【００２８】次に、着色感光性樹脂層形成用の塗布液と
して、黒色（遮光層用）、赤色（Ｒ層用）、緑色（Ｇ層
用）及び青色（Ｂ層用）の４色の感光性溶液を表１に示
す組成となるようにそれぞれ調製した。

【００２９】

【表１】

【００３０】前記の剥離層の上に上記のＲ層、Ｂ層、Ｇ
層及びＢｌ層塗液をそれぞれ塗布乾燥し、乾燥膜厚が２
μｍになるように着色感光性樹脂層を形成した。さらに
上記感光性樹脂層の上にポリプロピレン（厚さ１２μ
m）のカバーフィルムを圧着し、赤色、青色、緑色およ
び黒色感光性エレメントを作成した。上記の様に作成し
た感光性エレメントを用いて次の様にカラーフィルター
を作成した。

【００３１】酸化珪素を表面に３００オングストローム
の厚みでスパッタにより形成した１．１ｍｍ厚のソーダ
ガラス板を、１重量％のシランカップリング剤ＫＢＭ６
０３（Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリ
メトキシシラン：信越化学工業（株）製）水溶液に、室
温下１分間浸漬した後で、直ちに流水で３０秒間水洗
し、表面に残る過剰のＫＢＭ６０３を除去し、１００℃
で５分間乾燥し、室温まで放冷した。

【００３２】赤色感光性エレメントのカバーフィルムを
剥離し、感光性樹脂層面を上記処理済みの透明ガラス基
板にラミネーター（大成ラミネータ（株）製ＶＰ−Ｉ
Ｉ）を用いて加圧（０．８ｋｇ／ｃｍ２）、加熱（１３
０℃）して貼り合わせ、続いて剥離層と熱可塑性樹脂層
との界面で剥離し、仮支持体と熱可塑性樹脂層を同時に
除去した。次に所定のフォトマスクを介して露光し、液
温３０℃の１重量％炭酸水素ナトリウム水溶液に１分間
浸漬後水洗して不要部を除去し、ガラス基板上に赤色画
素パターンを形成した。

【００３３】次に、その上に緑色感光性エレメントを用
い、上記と同様にして貼り合わせ、、剥離、露光、現像
を行ない、緑色画素パターンを形成した。同様な工程を
青色、黒色感光性エレメントで繰り返し、透明ガラス基
板上にカラーフィルターを形成した。得られたカラーフ
ィルターは画素の欠落やピンホールがなく、下地との密
着性も良好であった。

【００３４】実施例２ シランカツプリング剤として、ＫＢＭ６０３（Ｎ−β
（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラ
ン）の代わりにＫＢＭ９０３（γ−アミノプロピルトリ
メトキシシラン：信越化学工業（株）製）を用いた以外
は実施例１と同様にしてカラーフイルターの作成・評価
を行ったところ、得られたカラーフィルターは画素の欠
落やピンホールがなく、下地との密着性も良好であっ
た。

【００３５】実施例３ シランカツプリング剤として、ＫＢＭ６０３（Ｎ−β
（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラ
ン）の代わりにＫＢＭ９０２（γ−アミノプロピルメチ
ルジメトキシシラン：信越化学工業（株）製）を用いた
以外は実施例１と同様にしてカラーフイルターの作成・
評価を行ったところ、得られたカラーフィルターは画素
の欠落やピンホールがなく、下地との密着性も良好であ
った。

【００３６】実施例４ シランカツプリング剤として、ＫＢＭ６０３（Ｎ−β
（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラ
ン）の代わりにＫＢＭ６０２（Ｎ−β（アミノエチル）
γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン：信越化学
工業（株）製）を用いた以外は実施例１と同様にしてカ
ラーフイルターの作成・評価を行ったところ、得られた
カラーフィルターは画素の欠落やピンホールがなく、下
地との密着性も良好であった。

【００３７】実施例５ シランカツプリング剤として、ＫＢＭ６０３（Ｎ−β
（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラ
ン）の代わりにＫＢＥ９０３（γ−アミノプロピルトリ
エトキシシラン：信越化学工業（株）製）を用いた以外
は実施例１と同様にしてカラーフイルターの作成・評価
を行ったところ、得られたカラーフィルターは画素の欠
落やピンホールがなく、下地との密着性も良好であっ
た。

【００３８】実施例６ 実施例１に記載の処方Ｈ１よりなる厚さ１５μmの熱可
塑性樹脂層を用いた以外は実施例１と同じ方法でカラー
フイルターを形成したが、その際の各色の転写時におけ
る気泡のこりは全く認められず、いずれの画像形状にも
欠陥がなく、またピンホールも認められないカラーフイ
ルターが得られた。

【００３９】比較例１ ガラス基板のシランカップリング剤処理を省略した以外
は実施例１と同様にしてカラーフイルターを作成したと
ころ、感光性樹脂層の基板への密着が不十分なため、微
小な画素が剥離され、不完全なパターンしか得られなか
った。

【００４０】比較例２ 実施例１と同様であるが、但しシランカップリング剤水
溶液に浸漬した後で、水洗を行わずに乾燥した。得られ
たパターン画像は、基板への密着性は優れていたが、未
露光の非重合部の現像性が不十分で、非画像部に顔料に
よるカブリが発生し、カラーフイルターとして使用でき
るものではなかつた。

【００４１】比較例３ 実施例１と同様であるが、但しシランカップリング剤と
して、アミノ基を含まない、γ−（２，３−エポキシプ
ロピルオキシ）プロピルトリメトキシシラン（ＫＢＭ４
０３：信越化学工業（株）製）を用いた。得られたパタ
ーン画像は、基板への密着性に劣るものであった。

【００４２】比較例４ 実施例１と同様であるが、但しシランカップリング剤と
して、アミノ基を含まない、γ−メタクリロイルオキシ
プロピルトリメトキシシラン（ＫＢＭ５０３：信越化学
工業（株）製）を用いた。得られたパターン画像は、基
板への密着性に劣るものであった。

【００４３】比較例５ 実施例１と同様であるが、但しシランカップリング剤と
して、アミノ基を含まない、β−（３，４−エポキシシ
クロヘキシル）エチルトリメトキシシラン（ＫＢＭ３０
３：信越化学工業（株）製）を用いた。得られたパター
ン画像は、基板への密着性に劣るものであった。

【００４４】比較例６ 実施例１と同様であるが、但しシランカップリング剤と
して、アミノ基を含まない、クロロプロピルトリメトキ
シシラン（ＫＢＭ７０３：信越化学工業（株）製）を用
いた。得られたパターン画像は、基板への密着性に劣る
ものであった。

【００４５】

【発明の効果】本発明によると、ガラス基板と感光性樹
脂層との密着性及び現像性が優れた、画素の欠落、ピン
ホール、色かぶり等の無いカラーフイルターを、簡便な
方法で作成することができる。

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−239205（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−99102（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−237002（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （１）透明ガラス基板上にシランカップ
   リング剤の層を設ける工程、（２）仮支持体上に少なく
   ともアルカリ現像型着色光重合性組成物層を有する感光
   性転写材料の該アルカリ現像型着色光重合性組成物層
   を、該ガラス基板上に少なくとも加熱しながら転写する
   工程、（３）少なくとも該仮支持体を剥離して除去する
   工程、（４）該アルカリ現像型着色光重合性組成物層に
   フォトマスクを介して露光する工程、（５）該アルカリ
   現像型着色光重合性組成物層の未露光部をアルカリ水溶
   液で除去する工程、（６）上記（２）で使用したアルカ
   リ現像型着色光重合性組成物層とは異なる色に着色され
   たアルカリ現像型着色光重合性組成物層を有する感光性
   転写材料を用いて（２）から（５）の工程を繰り返す工
   程、を含む工程によりカラーフィルターを製造する方法
   において、分子中にアミノ基を含有するシランカップリ
   ング剤の水溶液を透明ガラス基板上に設けた後、乾燥さ
   せる前に水洗し、乾燥することにより透明ガラス基板上
   にシランカツプリング剤の層を設けることを特徴とする
   カラーフイルターの製造方法。