JPH03136021A - カラー液晶パネルの製造方法 - Google Patents
カラー液晶パネルの製造方法Info
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- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 abstract 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 7
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 102100029968 Calreticulin Human genes 0.000 description 1
- 101000793651 Homo sapiens Calreticulin Proteins 0.000 description 1
- 238000009125 cardiac resynchronization therapy Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- -1 for example Polymers 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
ネルのセル厚制御に関し、 画素部とブラックマトリクスの表面を平坦化することを
目的とし、 透明絶縁性基板上に、少なくとも赤、緑、青の画素パタ
ーン対応の色づき層を周期性をもってマトリクス状に配
列してなるカラーフィルタを具備し、各色づき層の境界
部上に非透光性のブラックマトリクスを構成したカラー
液晶パネルを製造するに際し、前記カラーフィルタ上に
トップコート層を形成し、次いで、前記ブラックマトリ
クスをマスクとする背面露光法により、トップコート層
を前記ブラックマトリクス上から除去し、各色づき層上
に残留するトップコート層とブラックマトリクスとをほ
ぼ面一にする工程を含む構成とする。
ラー液晶パネルのセル厚制御に関する。
ものが求められ、これに伴い、カラーフィルタが用いら
れている。
。
対応する色づき層3,4.5を周期性をもって並べてカ
ラーフィルタ8を形成し、その上にトップコート層6が
設けられている。
スペーサ21を散布して、互いに対向するガラス基板7
.7′間隔をスペーサ21の径で規定し、液晶20の厚
さを制御している。
重なり合った部分は光を透過しないことを利用してブラ
ックマトリクス9を形成する構造では、このブラックマ
トリクス9の部分は凸状となり、その上に位置するスペ
ーサ21で、ガラス基板7,7′の間隔が決定されてし
まい、セル厚を所定の厚さに制御することができない。
凹凸があることから生じる。
することを目的とする。
3,4.5はR(赤)、G(緑)、B(青)の色づき層
、6は最終的に残留するトップコート層、7は透明絶縁
性基板、8はカラーフィルタ、9は色づき層3,4.5
が重なり合った非透光性部分で、ブラックマトリクスで
ある。
形成した色づき層3,4.5からなるカラーフィルタ8
上に、トップコート層2として、光硬化性樹脂膜を形成
する。これに透明絶縁性基板7の裏面から光1を照射す
る。
は、色づき層のブラックマトリクス9上は感光せず、従
って硬化しないが、他の部分は感光して硬化する。そこ
で、これに対しエツチング処理を行なって、非感光部を
除去する。
ト層6を残留させる。
リクス9を形成した場合、ブラックマトリクス9は凸状
となり、画素部10は凹部となる。
上に感光膜を形成して背面露光を施せば、この凸状部の
上の感光膜は露光されない。
8が、3色の色づき層3. 4. 5の端部を重ね合わ
せた構造の場合に、背面露光により凸状部に自己整合し
た感光膜を形成し、これを用いてトップコート層を平坦
化する。
したように、トップコート層2自身を感光性膜としても
よく、後述する如く、トップコート層2の上にネガ型の
レジスト膜を形成し、同じく背面露光により、上記レジ
スト膜のうち、画素部10を感光させることにより、画
素部10のみにレジスト膜を残留させ、これをマスクと
してトップコート層2をエツチングして、凸状部上から
トップコート層2を除去してもよい。
光膜を形成し、これを用いて凹部にのみトップコート層
を残留させることにより、画素部10とブラックマトリ
クス9の表面を平坦化することもできる。
説明する。
リイミド樹脂を形成し、バターニングして色づき層4を
形成し、次いで、B、Rの色づき層5.3を引き続いて
形成して、カラーフィルタ8を構成する。
の重なり部分がブラックマトリクス9を形成している。
に凸状となる。この重なり部以外は、各色対応の画素部
10である。
トップコート層2を形成する。上記光硬化性樹脂として
は、例えば、ポリビニールアルコール(PVA)を使用
し得る。
する。ブラックマトリクス9は光を透過しないので、上
記光照射により、トップコート層2は、ブラックマトリ
クス9上の部分は感光しないので硬化せず、画素部10
は感光して硬化する。
硬化していない光硬化製樹脂を除去する。
たトップコート層2を、凸状のブラックマトリクス9で
は除去し、凹状の画素部10にのみ残留させ、画素部1
0とブラックマトリクス9の表面を平坦化することがで
きた。
る。
ーニングする例である。
にネガ型のレジスト膜22を形成し、ガラス基板7の裏
面側から光1を照射して、ブラックマトリクス9をマス
クとする背面露光を行なう。
が、ブラックマトリクス9上は感光しない。
部10上にのみレジスト膜22が残留する。
ト層をエツチングして、トップコート層の露出部を除去
し、同図(C1に示すように、画素部lOにのみトップ
コート層6を残留させる。
去する。
リクス9表面を平坦化することができる。
とブラックマトリクス9の表面を平坦化することができ
るので、2枚のガラス基板間を所望の間隔に制御できる
。
トリクス間の段差を、従来は0.4μmあったものが、
0.1 μm以下とすることができた。
来±0.5μm程度あったものが、±0.1μm程度に
まで改善された。
.5はそれぞれR,G、Bに対する色づき層、7.7°
は透明絶縁性基板(ガラス基板)、8はカラーフィルタ
、9はブラックマトリクス、10は画素部、20は液晶
、21はスペーサ、22はレジスト膜を示す。 −一フー?ノfd’tす(p 、$発明m11絶例tt朗図 第1図 第 図
Claims (3)
- (1)透明絶縁性基板(7)上に、少なくとも赤、緑、
青の画素パターン対応の色づき層(3、4、5)を周期
性をもってマトリクス状に配列してなるカラーフィルタ
(8)を具備し、各色づき層の境界部上に非透光性のブ
ラックマトリクス(9)を構成したカラー液晶パネルを
製造するに際し、前記カラーフィルタ上にトップコート
層(2)を形成し、次いで、前記ブラックマトリクスを
マスクとする背面露光法により、トップコート層を前記
ブラックマトリクス上から除去し、各色づき層上に残留
するトップコート層(6)とブラックマトリクスとをほ
ぼ面一にする工程を含むことを特徴とするカラー液晶パ
ネルの製造方法。 - (2)トップコート層(2)を感光性樹脂膜とし、前記
背面露光法により、該感光性樹脂膜をブラックマトリク
ス(9)上は感光させずにおき、後処理により該非感光
部を除去することを特徴とする請求項1記載のカラー液
晶パネルの製造方法。 - (3)前記トップコート層(2)上にレジストを塗布し
て形成したレジスト膜に、前記背面露光法を施してレジ
ストパターンを形成し、該レジストパターンをマスクと
して、前記ブラックマトリクスをトップコート層(2)
上から除去することを特徴とする請求項1記載のカラー
液晶パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27444589A JP2797532B2 (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | カラー液晶パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27444589A JP2797532B2 (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | カラー液晶パネルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03136021A true JPH03136021A (ja) | 1991-06-10 |
JP2797532B2 JP2797532B2 (ja) | 1998-09-17 |
Family
ID=17541786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27444589A Expired - Lifetime JP2797532B2 (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | カラー液晶パネルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2797532B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000147239A (ja) * | 1998-11-16 | 2000-05-26 | Toshiba Corp | 液晶表示装置用カラーフィルタ基板、液晶表示装置、およびそれらの製造方法 |
JP2002082630A (ja) * | 2000-05-12 | 2002-03-22 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 電気光学装置 |
US6414739B2 (en) | 1997-11-13 | 2002-07-02 | Nec Corporation | Method of manufacturing a liquid crystal display device |
-
1989
- 1989-10-20 JP JP27444589A patent/JP2797532B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6414739B2 (en) | 1997-11-13 | 2002-07-02 | Nec Corporation | Method of manufacturing a liquid crystal display device |
US6509948B2 (en) | 1997-11-13 | 2003-01-21 | Nec Corporation | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
JP2000147239A (ja) * | 1998-11-16 | 2000-05-26 | Toshiba Corp | 液晶表示装置用カラーフィルタ基板、液晶表示装置、およびそれらの製造方法 |
JP2002082630A (ja) * | 2000-05-12 | 2002-03-22 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 電気光学装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP2797532B2 (ja) | 1998-09-17 |
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