JPH03136021A - カラー液晶パネルの製造方法 - Google Patents

カラー液晶パネルの製造方法

Info

Publication number
JPH03136021A
JPH03136021A JP1274445A JP27444589A JPH03136021A JP H03136021 A JPH03136021 A JP H03136021A JP 1274445 A JP1274445 A JP 1274445A JP 27444589 A JP27444589 A JP 27444589A JP H03136021 A JPH03136021 A JP H03136021A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
black matrix
top coat
coat layer
liquid crystal
crystal panel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1274445A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2797532B2 (ja
Inventor
Hideshi Yoshida
秀史 吉田
Takeshi Kamata
豪 鎌田
Kazutaka Hanaoka
一孝 花岡
Makoto Ohashi
誠 大橋
Takuya Yoshimi
琢也 吉見
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP27444589A priority Critical patent/JP2797532B2/ja
Publication of JPH03136021A publication Critical patent/JPH03136021A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2797532B2 publication Critical patent/JP2797532B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 カラー液晶パネルの製造方法に係り、特にカラー液晶パ
ネルのセル厚制御に関し、 画素部とブラックマトリクスの表面を平坦化することを
目的とし、 透明絶縁性基板上に、少なくとも赤、緑、青の画素パタ
ーン対応の色づき層を周期性をもってマトリクス状に配
列してなるカラーフィルタを具備し、各色づき層の境界
部上に非透光性のブラックマトリクスを構成したカラー
液晶パネルを製造するに際し、前記カラーフィルタ上に
トップコート層を形成し、次いで、前記ブラックマトリ
クスをマスクとする背面露光法により、トップコート層
を前記ブラックマトリクス上から除去し、各色づき層上
に残留するトップコート層とブラックマトリクスとをほ
ぼ面一にする工程を含む構成とする。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カラー液晶パネルの製造方法に係り、特にカ
ラー液晶パネルのセル厚制御に関する。
近年、CRTに対応して、液晶表示装置もカラー表示の
ものが求められ、これに伴い、カラーフィルタが用いら
れている。
〔従来の技術〕
従来のカラー液晶表示パネルの構成例を、第3図に示す
ガラス基板7の上に三原色R,G、Bの画素パターンに
対応する色づき層3,4.5を周期性をもって並べてカ
ラーフィルタ8を形成し、その上にトップコート層6が
設けられている。
液晶表示パネルでは、上記カラーフィルタ8上に球状の
スペーサ21を散布して、互いに対向するガラス基板7
.7′間隔をスペーサ21の径で規定し、液晶20の厚
さを制御している。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが、隣接する色づき層の端部を重ね合わせ、この
重なり合った部分は光を透過しないことを利用してブラ
ックマトリクス9を形成する構造では、このブラックマ
トリクス9の部分は凸状となり、その上に位置するスペ
ーサ21で、ガラス基板7,7′の間隔が決定されてし
まい、セル厚を所定の厚さに制御することができない。
この問題は、画素部10とブラックマトリクス9表面に
凹凸があることから生じる。
本発明は、画素部とブラックマトリクスの表面を平坦化
することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
第1図に本発明の構成を示す。
図中、1は露出用の光、2は光硬化性トップコート層、
3,4.5はR(赤)、G(緑)、B(青)の色づき層
、6は最終的に残留するトップコート層、7は透明絶縁
性基板、8はカラーフィルタ、9は色づき層3,4.5
が重なり合った非透光性部分で、ブラックマトリクスで
ある。
まず、(a)に示すように、端部を互いに重ね合わせて
形成した色づき層3,4.5からなるカラーフィルタ8
上に、トップコート層2として、光硬化性樹脂膜を形成
する。これに透明絶縁性基板7の裏面から光1を照射す
る。
この露光によりトップコート層2である光硬化性樹脂膜
は、色づき層のブラックマトリクス9上は感光せず、従
って硬化しないが、他の部分は感光して硬化する。そこ
で、これに対しエツチング処理を行なって、非感光部を
除去する。
これにより(b)に示す如く、画素部10にトップコー
ト層6を残留させる。
〔作 用〕
色づき層3,4.5の端部を重ね合わせてブラックマト
リクス9を形成した場合、ブラックマトリクス9は凸状
となり、画素部10は凹部となる。
この凸状部は光を透過しないので、カラーフィルタ8の
上に感光膜を形成して背面露光を施せば、この凸状部の
上の感光膜は露光されない。
本発明はこれを利用したものであって、カラーフィルタ
8が、3色の色づき層3. 4. 5の端部を重ね合わ
せた構造の場合に、背面露光により凸状部に自己整合し
た感光膜を形成し、これを用いてトップコート層を平坦
化する。
この凸状部に自己整合した感光膜を形成するには、前述
したように、トップコート層2自身を感光性膜としても
よく、後述する如く、トップコート層2の上にネガ型の
レジスト膜を形成し、同じく背面露光により、上記レジ
スト膜のうち、画素部10を感光させることにより、画
素部10のみにレジスト膜を残留させ、これをマスクと
してトップコート層2をエツチングして、凸状部上から
トップコート層2を除去してもよい。
いずれも、凸状のブラックマトリクスに自己整合した感
光膜を形成し、これを用いて凹部にのみトップコート層
を残留させることにより、画素部10とブラックマトリ
クス9の表面を平坦化することもできる。
〔実 施 例〕
まず本発明の一実施例を第1図(a)、 (b)により
説明する。
ガラス基板7の上に、Gに対応する顔料を分散させたポ
リイミド樹脂を形成し、バターニングして色づき層4を
形成し、次いで、B、Rの色づき層5.3を引き続いて
形成して、カラーフィルタ8を構成する。
これら各色づき層3.4.5は、端部を重ね合わせ、そ
の重なり部分がブラックマトリクス9を形成している。
上記色づき層3,4.5の重なり部分は、図示したよう
に凸状となる。この重なり部以外は、各色対応の画素部
10である。
次いで、カラーフィルタ8上に光硬化性樹脂を塗布し、
トップコート層2を形成する。上記光硬化性樹脂として
は、例えば、ポリビニールアルコール(PVA)を使用
し得る。
このトップコート層2に対し、基板7背面から光を照射
する。ブラックマトリクス9は光を透過しないので、上
記光照射により、トップコート層2は、ブラックマトリ
クス9上の部分は感光しないので硬化せず、画素部10
は感光して硬化する。
このあと、水洗を行なって、ブラックマトリクス9上の
硬化していない光硬化製樹脂を除去する。
以上で画素部10にトップコート層6が残留する。
このように本実施例では、カラーフィルタ8上に塗布し
たトップコート層2を、凸状のブラックマトリクス9で
は除去し、凹状の画素部10にのみ残留させ、画素部1
0とブラックマトリクス9の表面を平坦化することがで
きた。
次に第2図(a)〜(d)により、他の実施例を説明す
る。
本実施例はレジスト膜を用いてトップコート層2をバタ
ーニングする例である。
まず同図(a)に示すように、トップコート層2上全面
にネガ型のレジスト膜22を形成し、ガラス基板7の裏
面側から光1を照射して、ブラックマトリクス9をマス
クとする背面露光を行なう。
これにより、レジスト膜22は、画素部10は感光する
が、ブラックマトリクス9上は感光しない。
次いで現像処理を施せば、同図(b)に示す如く、画素
部10上にのみレジスト膜22が残留する。
そこでこのレジスト膜22をマスクとして、トップコー
ト層をエツチングして、トップコート層の露出部を除去
し、同図(C1に示すように、画素部lOにのみトップ
コート層6を残留させる。
このあと同図(d)に示すように、レジスト膜22を除
去する。
以上で本実施例においても、画素部10とブラックマト
リクス9表面を平坦化することができる。
上記一実施例および他の実施例のいずれも、画素部10
とブラックマトリクス9の表面を平坦化することができ
るので、2枚のガラス基板間を所望の間隔に制御できる
〔発明の効果〕
以上説明した如く本発明によれば、画素部とブラックマ
トリクス間の段差を、従来は0.4μmあったものが、
0.1 μm以下とすることができた。
従って、セル厚の精度が向上し、セル厚のバラツキは従
来±0.5μm程度あったものが、±0.1μm程度に
まで改善された。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明一実施例説明図、 第2図は本発明の詳細な説明図、 第3図は従来の問題点説明図である。 図において、1は光、2,6はトップコート層、3.4
.5はそれぞれR,G、Bに対する色づき層、7.7°
は透明絶縁性基板(ガラス基板)、8はカラーフィルタ
、9はブラックマトリクス、10は画素部、20は液晶
、21はスペーサ、22はレジスト膜を示す。 −一フー?ノfd’tす(p 、$発明m11絶例tt朗図 第1図 第 図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)透明絶縁性基板(7)上に、少なくとも赤、緑、
    青の画素パターン対応の色づき層(3、4、5)を周期
    性をもってマトリクス状に配列してなるカラーフィルタ
    (8)を具備し、各色づき層の境界部上に非透光性のブ
    ラックマトリクス(9)を構成したカラー液晶パネルを
    製造するに際し、前記カラーフィルタ上にトップコート
    層(2)を形成し、次いで、前記ブラックマトリクスを
    マスクとする背面露光法により、トップコート層を前記
    ブラックマトリクス上から除去し、各色づき層上に残留
    するトップコート層(6)とブラックマトリクスとをほ
    ぼ面一にする工程を含むことを特徴とするカラー液晶パ
    ネルの製造方法。
  2. (2)トップコート層(2)を感光性樹脂膜とし、前記
    背面露光法により、該感光性樹脂膜をブラックマトリク
    ス(9)上は感光させずにおき、後処理により該非感光
    部を除去することを特徴とする請求項1記載のカラー液
    晶パネルの製造方法。
  3. (3)前記トップコート層(2)上にレジストを塗布し
    て形成したレジスト膜に、前記背面露光法を施してレジ
    ストパターンを形成し、該レジストパターンをマスクと
    して、前記ブラックマトリクスをトップコート層(2)
    上から除去することを特徴とする請求項1記載のカラー
    液晶パネルの製造方法。
JP27444589A 1989-10-20 1989-10-20 カラー液晶パネルの製造方法 Expired - Lifetime JP2797532B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27444589A JP2797532B2 (ja) 1989-10-20 1989-10-20 カラー液晶パネルの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27444589A JP2797532B2 (ja) 1989-10-20 1989-10-20 カラー液晶パネルの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03136021A true JPH03136021A (ja) 1991-06-10
JP2797532B2 JP2797532B2 (ja) 1998-09-17

Family

ID=17541786

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27444589A Expired - Lifetime JP2797532B2 (ja) 1989-10-20 1989-10-20 カラー液晶パネルの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2797532B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000147239A (ja) * 1998-11-16 2000-05-26 Toshiba Corp 液晶表示装置用カラーフィルタ基板、液晶表示装置、およびそれらの製造方法
JP2002082630A (ja) * 2000-05-12 2002-03-22 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 電気光学装置
US6414739B2 (en) 1997-11-13 2002-07-02 Nec Corporation Method of manufacturing a liquid crystal display device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6414739B2 (en) 1997-11-13 2002-07-02 Nec Corporation Method of manufacturing a liquid crystal display device
US6509948B2 (en) 1997-11-13 2003-01-21 Nec Corporation Liquid crystal display device and method of manufacturing the same
JP2000147239A (ja) * 1998-11-16 2000-05-26 Toshiba Corp 液晶表示装置用カラーフィルタ基板、液晶表示装置、およびそれらの製造方法
JP2002082630A (ja) * 2000-05-12 2002-03-22 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 電気光学装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2797532B2 (ja) 1998-09-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4011668B2 (ja) ギャップ制御機能付きカラーフィルターの製造方法
JP2797532B2 (ja) カラー液晶パネルの製造方法
JPH0443562B2 (ja)
JPH07120613A (ja) カラーフィルターの製造方法
JP3003271B2 (ja) カラーフィルタとその製造方法
JPH08334754A (ja) 液晶表示装置用電極基板の製造方法およびそれを用いた液晶表示装置
JPH085813A (ja) カラーフィルターの製造方法
JPS59226305A (ja) 光学フイルタの製造方法
JP3188288B2 (ja) カラーフィルタ及びその製造方法並びに液晶表示パネル
JPH10282331A (ja) カラーフィルターおよびその製造方法
JPH0954209A (ja) カラーフィルタの形成方法
JPH10133012A (ja) カラーフィルタの製造方法
JPH01307703A (ja) カラーフィルタの製造法
JPH0327015A (ja) カラー液晶用基板の製造方法
JPH07294722A (ja) カラーフィルタの製造方法
JP2745544B2 (ja) Tft型液晶表示装置の製造方法
JP2001235616A (ja) 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法およびそれに用いるフォトマスク
JP2000347021A (ja) カラーフィルタおよびその製造方法
JPH09159817A (ja) カラーフィルタパネルおよびその製造方法
JPH06100684B2 (ja) カラーフィルタの製造方法
JPH08271714A (ja) カラーフィルターの製造方法
JPH07287112A (ja) カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法
JPH04223402A (ja) カラーフィルタの製造方法
JPH02902A (ja) カラーフィルタの製造方法
JPS6177015A (ja) カラ−フイルタの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070703

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080703

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090703

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100703

Year of fee payment: 12

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100703

Year of fee payment: 12