JPH085813A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
- Publication number
- JPH085813A JPH085813A JP13308194A JP13308194A JPH085813A JP H085813 A JPH085813 A JP H085813A JP 13308194 A JP13308194 A JP 13308194A JP 13308194 A JP13308194 A JP 13308194A JP H085813 A JPH085813 A JP H085813A
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- color filter
- transparent resin
- resin
- black matrix
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Abstract
(57)【要約】
【目的】液晶パネルの製造時の品質維持のため、カラー
フィルター層表面に段差のないカラーフィルターを製造
する方法を提供すること。 【構成】透明基板上に感光性透明樹脂を塗布し、色画素
に当たる部分の形状にパターニングし、その上から遮光
層用の光硬化または熱硬化型樹脂を形成、硬化させ、透
明樹脂部表面まで研磨し、そののち色画素部にカラーフ
ィルター層を形成するカラーフィルターの製造方法。
フィルター層表面に段差のないカラーフィルターを製造
する方法を提供すること。 【構成】透明基板上に感光性透明樹脂を塗布し、色画素
に当たる部分の形状にパターニングし、その上から遮光
層用の光硬化または熱硬化型樹脂を形成、硬化させ、透
明樹脂部表面まで研磨し、そののち色画素部にカラーフ
ィルター層を形成するカラーフィルターの製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置等
に内蔵されるカラーフィルターに関する。
に内蔵されるカラーフィルターに関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置に内蔵されるカラーフィル
ターにおいて、樹脂ブラックを用いてブラックマトリッ
クス２を形成する場合、充分な遮光性を得るためにはブ
ラックマトリックス２の膜厚を厚くする必要がある。し
かしその場合、図１の如く、基板１の面とブラックマト
リックス２の上面とのあいだに大きな段差が生じ、カラ
ーフィルター層３形成時に、この段差のためにブラック
マトリックス２とカラーフィルター層３とが重なる部分
で結果的に突起が発生し、パネル形成時に問題が生ずる
ことがあった。
ターにおいて、樹脂ブラックを用いてブラックマトリッ
クス２を形成する場合、充分な遮光性を得るためにはブ
ラックマトリックス２の膜厚を厚くする必要がある。し
かしその場合、図１の如く、基板１の面とブラックマト
リックス２の上面とのあいだに大きな段差が生じ、カラ
ーフィルター層３形成時に、この段差のためにブラック
マトリックス２とカラーフィルター層３とが重なる部分
で結果的に突起が発生し、パネル形成時に問題が生ずる
ことがあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記のような
問題点に着目してなされたものであって、その課題とす
るところは、基板上へブラックマトリックスを形成後、
その表面に段差を生じさせない方法を提供することにあ
る。
問題点に着目してなされたものであって、その課題とす
るところは、基板上へブラックマトリックスを形成後、
その表面に段差を生じさせない方法を提供することにあ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の問題を解
決するためになされたものであって、以下のような方法
による。すなわち、本発明は、透明基板上に、色画素に
あたる部分の形状の感光性透明樹脂層をパターニングし
て形成し、その上から遮光用の光硬化または熱硬化型樹
脂を少なくとも前記感光性透明樹脂層の間隙に充填し、
硬化させ、次いで前記感光性透明樹脂層の上面まで研磨
を行ってブラックマトリックスを形成し、しかる後に色
画素部にカラーフィルター層を形成するものである。
決するためになされたものであって、以下のような方法
による。すなわち、本発明は、透明基板上に、色画素に
あたる部分の形状の感光性透明樹脂層をパターニングし
て形成し、その上から遮光用の光硬化または熱硬化型樹
脂を少なくとも前記感光性透明樹脂層の間隙に充填し、
硬化させ、次いで前記感光性透明樹脂層の上面まで研磨
を行ってブラックマトリックスを形成し、しかる後に色
画素部にカラーフィルター層を形成するものである。
【０００５】さらに、本発明を図面を用いて詳述する。
図２〜図３のように、まず基板１上に感光性透明樹脂４
を塗布し、色画素部に当たる部分のみが残るようにマス
ク露光し、パターニングする。ここで色画素部とは、遮
光部以外の、色選択が行われる画素部分をいう。次い
で、その上から遮光部（ブラックマトリックス２）用の
光または熱硬化型樹脂をスピンコートまたは印刷法によ
り、図４のように全面、もしくは図５のように透明樹脂
に一部重なるように形成し、硬化させる。
図２〜図３のように、まず基板１上に感光性透明樹脂４
を塗布し、色画素部に当たる部分のみが残るようにマス
ク露光し、パターニングする。ここで色画素部とは、遮
光部以外の、色選択が行われる画素部分をいう。次い
で、その上から遮光部（ブラックマトリックス２）用の
光または熱硬化型樹脂をスピンコートまたは印刷法によ
り、図４のように全面、もしくは図５のように透明樹脂
に一部重なるように形成し、硬化させる。
【０００６】その後、図６のように透明樹脂部上面まで
研磨を行い、ブラックマトリックス２のパターンを形成
する。しかる後、図７のようにブラックマトリックス２
の形成された平滑面上にカラーフィルター層３を形成す
る。カラーフィルター層３は、図７に示すように、ブラ
ックマトリックス２とその端部がオーバーラップしてい
ても差し支えない。
研磨を行い、ブラックマトリックス２のパターンを形成
する。しかる後、図７のようにブラックマトリックス２
の形成された平滑面上にカラーフィルター層３を形成す
る。カラーフィルター層３は、図７に示すように、ブラ
ックマトリックス２とその端部がオーバーラップしてい
ても差し支えない。
【０００７】
【作用】本発明の方法によれば、平坦なブラックマトリ
ックス形成面ができ、その上に形成されるカラーフィル
ター層には従来のような突起は発生しなくなる。
ックス形成面ができ、その上に形成されるカラーフィル
ター層には従来のような突起は発生しなくなる。
【０００８】
【実施例】図２のように、透明基板１上に感光性透明樹
脂４（例えば日本化薬（株）製商品名「ＲＯＣ−３
（ａ）」）を塗布し、カラーフィルター層３に相当する
部分のみが残るようにフォトマスク５を介して露光し、
パターニングする。ここで、感光性透明樹脂４の塗布条
件は、1000rpm、15秒間、膜厚に関しては、後に研磨を
行うので多少厚めがよく、1.0〜1.5μｍ、プレベーク温
度は80℃、５分間（ホットプレートにて）、マスク露光
量は200mJ／cm2 、現像はNa2CO3の0.03重量％水溶液で6
0秒間（常温）、ポストベークは230℃、60分である。
脂４（例えば日本化薬（株）製商品名「ＲＯＣ−３
（ａ）」）を塗布し、カラーフィルター層３に相当する
部分のみが残るようにフォトマスク５を介して露光し、
パターニングする。ここで、感光性透明樹脂４の塗布条
件は、1000rpm、15秒間、膜厚に関しては、後に研磨を
行うので多少厚めがよく、1.0〜1.5μｍ、プレベーク温
度は80℃、５分間（ホットプレートにて）、マスク露光
量は200mJ／cm2 、現像はNa2CO3の0.03重量％水溶液で6
0秒間（常温）、ポストベークは230℃、60分である。
【０００９】このようにしてできた図３に示す透明樹脂
層の上から遮光層（ブラックマトリックス２）用の感光
性樹脂ブラック２（例えば日本化薬（株）製商品名「Ｂ
ＫＲ−２２０」）を、スピンコートにより図４のように
全面にコートし、硬化させる。ここで、感光性樹脂ブラ
ック２の塗布条件は、1000rpm、15秒間、膜厚は1.0〜1.
5μｍ（これは基板１を基準とした厚さである。なお、
光学濃度(OD)値は1.0μｍで1.9程度、1.2μｍで2.3程度
である。）、プレベーク温度は100℃、５分間、全面露
光量は200mJ／cm2 、ポストベークは230℃、60分間であ
る。次いで、図６のように、膜厚が1.0μｍ程度にな
り、透明樹脂ＲＯＣ−３（ａ)層４が現われるまで研磨
を行い、ブラックマトリックス２のパターンを形成する
ものである。
層の上から遮光層（ブラックマトリックス２）用の感光
性樹脂ブラック２（例えば日本化薬（株）製商品名「Ｂ
ＫＲ−２２０」）を、スピンコートにより図４のように
全面にコートし、硬化させる。ここで、感光性樹脂ブラ
ック２の塗布条件は、1000rpm、15秒間、膜厚は1.0〜1.
5μｍ（これは基板１を基準とした厚さである。なお、
光学濃度(OD)値は1.0μｍで1.9程度、1.2μｍで2.3程度
である。）、プレベーク温度は100℃、５分間、全面露
光量は200mJ／cm2 、ポストベークは230℃、60分間であ
る。次いで、図６のように、膜厚が1.0μｍ程度にな
り、透明樹脂ＲＯＣ−３（ａ)層４が現われるまで研磨
を行い、ブラックマトリックス２のパターンを形成する
ものである。
【００１０】その後、図７のようにブラックマトリック
ス２の形成された平滑面上に、例えばフジハント社製顔
料分散フォトレジスト商品名「CR-2000、CG-2000、CB-2
000」を用い、フォトリソグラフィーによりカラーフィ
ルター層３のR(赤)、G(緑)、B(青)各色をパターニング
する。ここで、顔料分散フォトレジストの塗布条件は10
00rpm、10秒間、膜厚は1.2μｍ程度、プレベーク温度は
70℃、20分、マスク露光量は120mJ／cm2、現像は上記レ
ジストの専用現像液を用い、ポストベークは230℃、60
分の条件である。 なお、R、G、B各色の形成方法に
は、染色法、顔料分散法、印刷法などがあげられる。
ス２の形成された平滑面上に、例えばフジハント社製顔
料分散フォトレジスト商品名「CR-2000、CG-2000、CB-2
000」を用い、フォトリソグラフィーによりカラーフィ
ルター層３のR(赤)、G(緑)、B(青)各色をパターニング
する。ここで、顔料分散フォトレジストの塗布条件は10
00rpm、10秒間、膜厚は1.2μｍ程度、プレベーク温度は
70℃、20分、マスク露光量は120mJ／cm2、現像は上記レ
ジストの専用現像液を用い、ポストベークは230℃、60
分の条件である。 なお、R、G、B各色の形成方法に
は、染色法、顔料分散法、印刷法などがあげられる。
【００１１】
【発明の効果】本発明の方法によれば、カラーフィルタ
ー層表面に段差のないカラーフィルターを製造すること
ができ、パネル形成時にセルギャップが一定し、液晶表
示装置の表示品質の向上と安定化を図ることができる。
ー層表面に段差のないカラーフィルターを製造すること
ができ、パネル形成時にセルギャップが一定し、液晶表
示装置の表示品質の向上と安定化を図ることができる。
【００１２】
【図１】従来の技術によるカラーフィルター層３の様子
を示した説明図である。
を示した説明図である。
【図２】本発明のカラーフィルターの製造方法の一実施
例を工程順に示す説明図である。
例を工程順に示す説明図である。
【図３】本発明のカラーフィルターの製造方法の一実施
例を工程順に示す説明図である。
例を工程順に示す説明図である。
【図４】本発明のカラーフィルターの製造方法の一実施
例を工程順に示す説明図である。
例を工程順に示す説明図である。
【図５】本発明のカラーフィルターの製造方法の一実施
例を工程順に示す説明図である。
例を工程順に示す説明図である。
【図６】本発明のカラーフィルターの製造方法の一実施
例を工程順に示す説明図である。
例を工程順に示す説明図である。
【図７】本発明のカラーフィルターの製造方法の一実施
例を工程順に示す説明図である。
例を工程順に示す説明図である。
１ 基板 ２ ブラックマトリックス ３ カラーフィルター層 ４ 透明樹脂 ５ フォトマスク
Claims (1)
- 【請求項１】ブラックマトリックスを有するカラーフィ
ルターにおいて、 透明基板上に、色画素にあたる部分の形状の感光性透明
樹脂層をパターニングして形成し、その上から遮光用の
光硬化または熱硬化型樹脂を少なくとも前記感光性透明
樹脂層の間隙に充填し、硬化させ、次いで前記感光性透
明樹脂層の上面まで研磨を行ってブラックマトリックス
を形成し、しかる後に色画素部にカラーフィルター層を
形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13308194A JPH085813A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | カラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13308194A JPH085813A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | カラーフィルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085813A true JPH085813A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15096410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13308194A Pending JPH085813A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | カラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085813A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100433660B1 (ko) * | 1996-12-18 | 2004-12-29 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정표시소자및그제조방법 |
| GB2420001A (en) * | 2004-11-04 | 2006-05-10 | Lg Philips Lcd Co Ltd | Method for fabricating a light-shielding layer for a liquid crystal display device |
| CN100443932C (zh) * | 2006-12-13 | 2008-12-17 | 北京京东方光电科技有限公司 | 一种彩色滤光片结构及其制造方法 |
| CN104407504A (zh) * | 2014-11-28 | 2015-03-11 | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 | 彩色滤光片中拼接曝光方法 |
| CN104614893A (zh) * | 2015-03-03 | 2015-05-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板及其制作方法、显示装置 |
-
1994
- 1994-06-15 JP JP13308194A patent/JPH085813A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100433660B1 (ko) * | 1996-12-18 | 2004-12-29 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정표시소자및그제조방법 |
| GB2420001A (en) * | 2004-11-04 | 2006-05-10 | Lg Philips Lcd Co Ltd | Method for fabricating a light-shielding layer for a liquid crystal display device |
| GB2420001B (en) * | 2004-11-04 | 2007-03-21 | Lg Philips Lcd Co Ltd | Liquid crystal display device and method for fabricating the same |
| CN100378534C (zh) * | 2004-11-04 | 2008-04-02 | Lg.菲利浦Lcd株式会社 | 液晶显示器件及其制造方法 |
| US8189140B2 (en) | 2004-11-04 | 2012-05-29 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device having common electrode being formed on color filter patterns |
| US8421963B2 (en) | 2004-11-04 | 2013-04-16 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device with a transparent material layer and a light-shielding layer of same height and method for fabricating the same |
| CN100443932C (zh) * | 2006-12-13 | 2008-12-17 | 北京京东方光电科技有限公司 | 一种彩色滤光片结构及其制造方法 |
| CN104407504A (zh) * | 2014-11-28 | 2015-03-11 | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 | 彩色滤光片中拼接曝光方法 |
| CN104614893A (zh) * | 2015-03-03 | 2015-05-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板及其制作方法、显示装置 |
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