JPH1073715A - カラーフイルタの製造方法 - Google Patents
カラーフイルタの製造方法Info
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- JPH1073715A JPH1073715A JP24681696A JP24681696A JPH1073715A JP H1073715 A JPH1073715 A JP H1073715A JP 24681696 A JP24681696 A JP 24681696A JP 24681696 A JP24681696 A JP 24681696A JP H1073715 A JPH1073715 A JP H1073715A
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- Japan
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- black mask
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 カラーフィルタ要素間にブラックマスクを隙
間なく形成してなるカラーフィルタ上面の平坦性を良く
する。 【解決手段】 カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１
２Ｂが形成された透明基板１１の全上面に、酸素存在下
での重合反応が進行しにくい感光性樹脂を含むブラック
マスク材料を塗布してブラックマスク形成用層１３を形
成し、レベリング・プリベイクを行う。次に、酸素存在
下において、カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２
Ｂ間の間隔よりも若干広い間隔の透過部１４ａを有する
フォトマスク１４を用いて露光を行う。すると、カラー
フィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの端部上に存在す
る薄いブラックマスク形成用層１３は露光されても重合
反応がほとんど進行しない。したがって、次に、現像す
ると、カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂ間に
のみブラックマスク１３ａが形成され、その上面の平坦
性を良くすることができる。
間なく形成してなるカラーフィルタ上面の平坦性を良く
する。 【解決手段】 カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１
２Ｂが形成された透明基板１１の全上面に、酸素存在下
での重合反応が進行しにくい感光性樹脂を含むブラック
マスク材料を塗布してブラックマスク形成用層１３を形
成し、レベリング・プリベイクを行う。次に、酸素存在
下において、カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２
Ｂ間の間隔よりも若干広い間隔の透過部１４ａを有する
フォトマスク１４を用いて露光を行う。すると、カラー
フィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの端部上に存在す
る薄いブラックマスク形成用層１３は露光されても重合
反応がほとんど進行しない。したがって、次に、現像す
ると、カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂ間に
のみブラックマスク１３ａが形成され、その上面の平坦
性を良くすることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、カラー液晶表示
装置等におけるカラーフィルタの製造方法に関する。
装置等におけるカラーフィルタの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばカラー液晶表示装置には、透明基
板の所定の面にＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の
カラーフィルタ要素及びブラックマスクをモザイク状、
トライアングル状、ストライプ状に設けてなるカラーフ
ィルタを備えたものがある。図２（Ｄ）は従来のこのよ
うなカラーフィルタの一例を示し、図３（Ｃ）は他の例
を示したものである。
板の所定の面にＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の
カラーフィルタ要素及びブラックマスクをモザイク状、
トライアングル状、ストライプ状に設けてなるカラーフ
ィルタを備えたものがある。図２（Ｄ）は従来のこのよ
うなカラーフィルタの一例を示し、図３（Ｃ）は他の例
を示したものである。
【０００３】図２（Ｄ）に示すカラーフィルタを製造す
る場合には、まず、図２（Ａ）に示すように、ガラス等
からなる透明基板１の上面にブラックマスク２を形成す
る。次に、図２（Ｂ）に示すように、全上面にＲ用感光
性樹脂層３を形成し、次いでこのＲ用感光性樹脂層３の
不要な部分をフォトリソグラフィにより除去することに
より、図２（Ｃ）に示すように、Ｒ用カラーフィルタ要
素３Ｒを形成する。以下、同様の方法により、図２
（Ｄ）に示すように、Ｇ用カラーフィルタ要素３Ｇ及び
Ｂ用カラーフィルタ要素３Ｂを順次形成する。かくし
て、この場合のカラーフィルタが製造される。
る場合には、まず、図２（Ａ）に示すように、ガラス等
からなる透明基板１の上面にブラックマスク２を形成す
る。次に、図２（Ｂ）に示すように、全上面にＲ用感光
性樹脂層３を形成し、次いでこのＲ用感光性樹脂層３の
不要な部分をフォトリソグラフィにより除去することに
より、図２（Ｃ）に示すように、Ｒ用カラーフィルタ要
素３Ｒを形成する。以下、同様の方法により、図２
（Ｄ）に示すように、Ｇ用カラーフィルタ要素３Ｇ及び
Ｂ用カラーフィルタ要素３Ｂを順次形成する。かくし
て、この場合のカラーフィルタが製造される。
【０００４】図３（Ｃ）に示すカラーフィルタを製造す
る場合には、まず、図３（Ａ）に示すように、透明基板
１の上面に３色のカラーフィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ
を図２に示す場合と同様の方法により順次形成する。次
に、図３（Ｂ）に示すように、全上面にブラックマスク
形成用層２ａを形成し、次いでこのブラックマスク形成
用層２ａの不要な部分をフォトリソグラフィにより除去
することにより、図３（Ｃ）に示すように、ブラックマ
スク２を形成する。かくして、この場合のカラーフィル
タが製造される。
る場合には、まず、図３（Ａ）に示すように、透明基板
１の上面に３色のカラーフィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ
を図２に示す場合と同様の方法により順次形成する。次
に、図３（Ｂ）に示すように、全上面にブラックマスク
形成用層２ａを形成し、次いでこのブラックマスク形成
用層２ａの不要な部分をフォトリソグラフィにより除去
することにより、図３（Ｃ）に示すように、ブラックマ
スク２を形成する。かくして、この場合のカラーフィル
タが製造される。
【０００５】ところで、図２（Ｄ）に示すカラーフィル
タの場合には、フォトリソグラフィの加工精度上の関係
から、ブラックマスク２間にのみカラーフィルタ要素３
Ｒ、３Ｇ、３Ｂを形成することができず、このためカラ
ーフィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの各端部がブラックマ
スク２上に位置するようにしている。一方、図３（Ｃ）
に示すカラーフィルタの場合には、同様の理由から、ブ
ラックマスク２の端部がカラーフィルタ要素３Ｒ、３
Ｇ、３Ｂ上に位置するようにしている。
タの場合には、フォトリソグラフィの加工精度上の関係
から、ブラックマスク２間にのみカラーフィルタ要素３
Ｒ、３Ｇ、３Ｂを形成することができず、このためカラ
ーフィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの各端部がブラックマ
スク２上に位置するようにしている。一方、図３（Ｃ）
に示すカラーフィルタの場合には、同様の理由から、ブ
ラックマスク２の端部がカラーフィルタ要素３Ｒ、３
Ｇ、３Ｂ上に位置するようにしている。
【０００６】このように、図２（Ｄ）及び図３（Ｃ）に
示すカラーフィルタの場合には、ブラックマスク２の端
部とカラーフィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの各端部とが
互いに重なることになるので、その上面の平坦性が悪く
なってしまう。この結果、ブラックマスク２及びカラー
フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの上面に形成される透明
電極に断線が生じやすくなり、また透明電極の上面に形
成される配向膜に配向不良が生じやすくなったり、コン
トラストの低下を招くという問題があった。この発明の
課題は、カラーフィルタ要素間にブラックマスクを隙間
なく形成してなるカラーフィルタ上面の平坦性を良くす
ることである。
示すカラーフィルタの場合には、ブラックマスク２の端
部とカラーフィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの各端部とが
互いに重なることになるので、その上面の平坦性が悪く
なってしまう。この結果、ブラックマスク２及びカラー
フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの上面に形成される透明
電極に断線が生じやすくなり、また透明電極の上面に形
成される配向膜に配向不良が生じやすくなったり、コン
トラストの低下を招くという問題があった。この発明の
課題は、カラーフィルタ要素間にブラックマスクを隙間
なく形成してなるカラーフィルタ上面の平坦性を良くす
ることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、透明基板上
に複数のカラーフィルタ要素を形成し、これらカラーフ
ィルタ要素表面を含む前記透明基板上全面に酸素存在下
での重合反応が進行しにくい感光性樹脂を含むブラック
マスク材料を塗布してブラックマスク形成用層を形成
し、前記複数のカラーフィルタ要素間よりも若干広い領
域に存在する前記ブラックマスク形成用層を露光し、次
いで現像することにより、前記複数のカラーフィルタ要
素間にのみブラックマスクを隙間なく形成するようにし
たものである。
に複数のカラーフィルタ要素を形成し、これらカラーフ
ィルタ要素表面を含む前記透明基板上全面に酸素存在下
での重合反応が進行しにくい感光性樹脂を含むブラック
マスク材料を塗布してブラックマスク形成用層を形成
し、前記複数のカラーフィルタ要素間よりも若干広い領
域に存在する前記ブラックマスク形成用層を露光し、次
いで現像することにより、前記複数のカラーフィルタ要
素間にのみブラックマスクを隙間なく形成するようにし
たものである。
【０００８】この発明によれば、酸素存在下においてカ
ラーフィルタ要素の端部上に存在する薄いブラックマス
ク形成用層を露光しても重合反応がほとんど進行せず、
この結果複数のカラーフィルタ要素間にのみブラックマ
スクが形成されることになる。したがって、カラーフィ
ルタ要素及びブラックマスクの上面の平坦性を良くする
ことができる。
ラーフィルタ要素の端部上に存在する薄いブラックマス
ク形成用層を露光しても重合反応がほとんど進行せず、
この結果複数のカラーフィルタ要素間にのみブラックマ
スクが形成されることになる。したがって、カラーフィ
ルタ要素及びブラックマスクの上面の平坦性を良くする
ことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１（Ａ）〜（Ｄ）はそれぞれこ
の発明の一実施形態におけるカラーフィルタの各製造工
程を示したものである。そこで、これらの図を順に参照
しながら、この実施形態におけるカラーフィルタの製造
方法について説明する。
の発明の一実施形態におけるカラーフィルタの各製造工
程を示したものである。そこで、これらの図を順に参照
しながら、この実施形態におけるカラーフィルタの製造
方法について説明する。
【００１０】まず、図１（Ａ）に示すように、ガラス等
からなる透明基板１１の上面に３色のカラーフィルタ要
素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂを図２に示す場合と同様の方
法により順次形成する。次に、図１（Ｂ）に示すよう
に、全上面に、酸素存在下での重合反応が進行しにくい
メタクリル系樹脂等からなる感光性樹脂を含むブラック
マスク材料をスピンコートによりカラーフィルタ要素１
２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの膜厚よりも薄く塗布することに
より、ブラックマスク形成用層１３を形成する。
からなる透明基板１１の上面に３色のカラーフィルタ要
素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂを図２に示す場合と同様の方
法により順次形成する。次に、図１（Ｂ）に示すよう
に、全上面に、酸素存在下での重合反応が進行しにくい
メタクリル系樹脂等からなる感光性樹脂を含むブラック
マスク材料をスピンコートによりカラーフィルタ要素１
２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの膜厚よりも薄く塗布することに
より、ブラックマスク形成用層１３を形成する。
【００１１】次に、レベリング・プリベイクを行うと、
図１（Ｃ）に示すように、カラーフィルタ要素１２Ｒ、
１２Ｇ、１２Ｂ上に塗布されたブラックマスク材料がカ
ラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂ間に適宜に流
れ込むことにより、カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２
Ｇ、１２Ｂ間に存在するブラックマスク形成用層１３の
膜厚がカラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの膜
厚に近くなるとともに、カラーフィルタ要素１２Ｒ、１
２Ｇ、１２Ｂの端部上に存在するブラックマスク形成用
層１３の表面の傾斜角度が緩やかになって当該部分の膜
厚が薄くなる。
図１（Ｃ）に示すように、カラーフィルタ要素１２Ｒ、
１２Ｇ、１２Ｂ上に塗布されたブラックマスク材料がカ
ラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂ間に適宜に流
れ込むことにより、カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２
Ｇ、１２Ｂ間に存在するブラックマスク形成用層１３の
膜厚がカラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの膜
厚に近くなるとともに、カラーフィルタ要素１２Ｒ、１
２Ｇ、１２Ｂの端部上に存在するブラックマスク形成用
層１３の表面の傾斜角度が緩やかになって当該部分の膜
厚が薄くなる。
【００１２】ここで、具体的数値の一例について説明す
る。カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの膜厚
を１．３μｍ程度とし、そのピッチを３００μｍ程度と
し、その間の間隔を２０μｍ程度とした。そして、黒色
顔料分散のメタクリル系樹脂からなるブラックマスク材
料をスピンコートにより塗布した。ただし、この場合の
スピンコート装置の回転速度は、カラーフィルタ要素が
形成されていないガラス素板上に、ブラックマスク材料
のプリベーク後の膜厚が１．０μｍ程度となるように調
整する。次に、加熱温度を５０℃程度から１００℃程度
まで徐々に上げながら３０秒程度のレベリングを行っ
た。このようにして、カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２
Ｇ、１２Ｂ上に存在するブラックマスク形成用層１３の
レベリング・プリベーク後の最大膜厚を０．３μｍ程度
とする。
る。カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの膜厚
を１．３μｍ程度とし、そのピッチを３００μｍ程度と
し、その間の間隔を２０μｍ程度とした。そして、黒色
顔料分散のメタクリル系樹脂からなるブラックマスク材
料をスピンコートにより塗布した。ただし、この場合の
スピンコート装置の回転速度は、カラーフィルタ要素が
形成されていないガラス素板上に、ブラックマスク材料
のプリベーク後の膜厚が１．０μｍ程度となるように調
整する。次に、加熱温度を５０℃程度から１００℃程度
まで徐々に上げながら３０秒程度のレベリングを行っ
た。このようにして、カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２
Ｇ、１２Ｂ上に存在するブラックマスク形成用層１３の
レベリング・プリベーク後の最大膜厚を０．３μｍ程度
とする。
【００１３】次に、図１（Ｃ）に示すように、大気中
（酸素存在下）において、カラーフィルタ要素１２Ｒ、
１２Ｇ、１２Ｂ間の間隔よりも若干広い間隔の透過部１
４ａを有するフォトマスク１４を用いて露光を行う。こ
のようなフォトマスク１４を使用するから、アライメン
ト精度の許容幅を大きく見込め、アライメント作業が簡
単となる。露光されたブラックマスク形成用層１３の表
面は、酸素の存在により重合反応がほとんど進行せず、
この表面下の部分は酸素が存在しないことにより露光さ
れて重合反応が進行することになる。したがって、カラ
ーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの端部上に存在
する薄いブラックマスク形成用層１３は酸素の存在によ
り露光されても重合反応がほとんど進行せず硬化しな
い。よって、次に、現像すると、図１（Ｄ）に示すよう
に、カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂ間にの
みブラックマスク１３ａが隙間なく形成されることにな
る。
（酸素存在下）において、カラーフィルタ要素１２Ｒ、
１２Ｇ、１２Ｂ間の間隔よりも若干広い間隔の透過部１
４ａを有するフォトマスク１４を用いて露光を行う。こ
のようなフォトマスク１４を使用するから、アライメン
ト精度の許容幅を大きく見込め、アライメント作業が簡
単となる。露光されたブラックマスク形成用層１３の表
面は、酸素の存在により重合反応がほとんど進行せず、
この表面下の部分は酸素が存在しないことにより露光さ
れて重合反応が進行することになる。したがって、カラ
ーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの端部上に存在
する薄いブラックマスク形成用層１３は酸素の存在によ
り露光されても重合反応がほとんど進行せず硬化しな
い。よって、次に、現像すると、図１（Ｄ）に示すよう
に、カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂ間にの
みブラックマスク１３ａが隙間なく形成されることにな
る。
【００１４】このように、このカラーフィルタの製造方
法では、カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂ間
の間隔よりも若干広い間隔の透過部１４ａを有するフォ
トマスク１４を用いて露光を行っても、カラーフィルタ
要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂ間にのみブラックマスク１
３ａを隙間なく形成することができる。すなわち、フォ
トリソグラフィの加工精度に制約されることなく、カラ
ーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂ間にのみブラッ
クマスク１３ａを隙間なく形成することができる。この
結果、ブラックマスク１３ａ及びカラーフィルタ要素１
２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの上面の平坦性を良くすることが
できる。したがって、ブラックマスク１３ａ及びカラー
フィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの上面に形成され
る透明電極に断線が生じにくいようにすることができ、
また透明電極の上面に形成される配向膜に配向不良が生
じにくいようにすることができるとともに、コントラス
トの低下を防止することができる。
法では、カラーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂ間
の間隔よりも若干広い間隔の透過部１４ａを有するフォ
トマスク１４を用いて露光を行っても、カラーフィルタ
要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂ間にのみブラックマスク１
３ａを隙間なく形成することができる。すなわち、フォ
トリソグラフィの加工精度に制約されることなく、カラ
ーフィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂ間にのみブラッ
クマスク１３ａを隙間なく形成することができる。この
結果、ブラックマスク１３ａ及びカラーフィルタ要素１
２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの上面の平坦性を良くすることが
できる。したがって、ブラックマスク１３ａ及びカラー
フィルタ要素１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの上面に形成され
る透明電極に断線が生じにくいようにすることができ、
また透明電極の上面に形成される配向膜に配向不良が生
じにくいようにすることができるとともに、コントラス
トの低下を防止することができる。
【００１５】なお、上記実施形態では、カラーフィルタ
材料として予め着色された感光性樹脂を用いた場合につ
いて説明したが、これに限らず、予め着色された非感光
性樹脂（エッチング法）を用いてもよく、また透明な感
光性樹脂（染色法）を用いるようにしてもよい。また、
上記実施形態では、ＲＧＢの３色のカラーフィルタ要素
を形成する場合について説明したが、これに限らず、Ｃ
ＭＹ（シアン、マゼンタ、イエロー）の３色のカラーフ
ィルタ要素を形成するようにしてもよい。
材料として予め着色された感光性樹脂を用いた場合につ
いて説明したが、これに限らず、予め着色された非感光
性樹脂（エッチング法）を用いてもよく、また透明な感
光性樹脂（染色法）を用いるようにしてもよい。また、
上記実施形態では、ＲＧＢの３色のカラーフィルタ要素
を形成する場合について説明したが、これに限らず、Ｃ
ＭＹ（シアン、マゼンタ、イエロー）の３色のカラーフ
ィルタ要素を形成するようにしてもよい。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、簡単な工程でカラーフィルタ要素間にのみブラック
マスクを隙間なく形成することができるので、カラーフ
ィルタ要素及びブラックマスクの上面つまり透明電極や
配向膜を形成する下地面の平坦性を良くすることができ
る。その結果、液晶表示素子に用いた場合には、配向不
良の発生やコントラストの低下を防止することができ
る。
ば、簡単な工程でカラーフィルタ要素間にのみブラック
マスクを隙間なく形成することができるので、カラーフ
ィルタ要素及びブラックマスクの上面つまり透明電極や
配向膜を形成する下地面の平坦性を良くすることができ
る。その結果、液晶表示素子に用いた場合には、配向不
良の発生やコントラストの低下を防止することができ
る。
【図１】（Ａ）〜（Ｄ）はそれぞれこの発明の一実施形
態におけるカラーフィルタの各製造工程を示す断面図。
態におけるカラーフィルタの各製造工程を示す断面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｄ）はそれぞれ従来のカラーフィル
タの一例の各製造工程を示す断面図。
タの一例の各製造工程を示す断面図。
【図３】（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれ従来のカラーフィル
タの他の例の各製造工程を示す断面図。
タの他の例の各製造工程を示す断面図。
【符号の説明】 １１ 透明基板 １２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂ カラーフィルタ要素 １３ ブラックマスク形成用層 １３ａ ブラックマスク
Claims (5)
- 【請求項１】 透明基板上に複数のカラーフィルタ要素
を形成し、これらカラーフィルタ要素表面を含む前記透
明基板上全面に酸素存在下での重合反応が進行しにくい
感光性樹脂を含むブラックマスク材料を塗布してブラッ
クマスク形成用層を形成し、前記複数のカラーフィルタ
要素間よりも若干広い領域に存在する前記ブラックマス
ク形成用層を露光し、次いで現像することにより、前記
複数のカラーフィルタ要素間にのみブラックマスクを隙
間なく形成することを特徴とするカラーフィルタの製造
方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の発明において、前記ブラ
ックマスク材料をスピンコートにより塗布した後、レベ
リングを行うことにより、前記複数のカラーフィルタ要
素の端部上に存在する前記ブラックマスク形成用層の膜
厚を薄くするとともに、前記複数のカラーフィルタ要素
間に存在する前記ブラックマスク形成用層の膜厚を厚く
することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項３】 請求項２記載の発明において、前記カラ
ーフィルタ要素の膜厚は１．３μｍ程度であり、前記カ
ラーフィルタ要素上に存在する前記ブラックマスク形成
用層のレベリング後の最大膜厚は０．３μｍ程度である
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の発明に
おいて、前記感光性樹脂はメタクリル系樹脂であること
を特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載の発明に
おいて、前記複数のカラーフィルタ要素はＲＧＢあるい
はＣＭＹの３色のカラーフィルタ要素であることを特徴
とするカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24681696A JPH1073715A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | カラーフイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24681696A JPH1073715A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | カラーフイルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1073715A true JPH1073715A (ja) | 1998-03-17 |
Family
ID=17154124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24681696A Pending JPH1073715A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | カラーフイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1073715A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005005419A (ja) * | 2003-06-11 | 2005-01-06 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子 |
| KR100502157B1 (ko) * | 1998-03-28 | 2005-10-19 | 삼성전자주식회사 | 엘씨디 장치의 칼라 필터 기판 제조용 마스크 |
| KR100735215B1 (ko) | 2005-08-18 | 2007-07-03 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정표시장치의 컬러필터 기판 제조방법 |
| JP2013068731A (ja) * | 2011-09-21 | 2013-04-18 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタおよび表示装置 |
| KR101274877B1 (ko) * | 2005-12-20 | 2013-06-14 | 엘지디스플레이 주식회사 | 컬러필터기판 제조방법 및 그 리페어 방법 |
| CN115097675A (zh) * | 2022-07-21 | 2022-09-23 | 合肥京东方显示技术有限公司 | 一种阵列基板及其制作方法、液晶显示面板、显示装置 |
-
1996
- 1996-08-30 JP JP24681696A patent/JPH1073715A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100502157B1 (ko) * | 1998-03-28 | 2005-10-19 | 삼성전자주식회사 | 엘씨디 장치의 칼라 필터 기판 제조용 마스크 |
| JP2005005419A (ja) * | 2003-06-11 | 2005-01-06 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子 |
| KR100735215B1 (ko) | 2005-08-18 | 2007-07-03 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정표시장치의 컬러필터 기판 제조방법 |
| KR101274877B1 (ko) * | 2005-12-20 | 2013-06-14 | 엘지디스플레이 주식회사 | 컬러필터기판 제조방법 및 그 리페어 방법 |
| JP2013068731A (ja) * | 2011-09-21 | 2013-04-18 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタおよび表示装置 |
| CN115097675A (zh) * | 2022-07-21 | 2022-09-23 | 合肥京东方显示技术有限公司 | 一种阵列基板及其制作方法、液晶显示面板、显示装置 |
| CN115097675B (zh) * | 2022-07-21 | 2024-04-16 | 合肥京东方显示技术有限公司 | 一种阵列基板及其制作方法、液晶显示面板、显示装置 |
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