JPS62109002A - 液晶表示用カラ−フイルタの製造方法 - Google Patents

液晶表示用カラ−フイルタの製造方法

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JPS62109002A
JPS62109002A JP60249214A JP24921485A JPS62109002A JP S62109002 A JPS62109002 A JP S62109002A JP 60249214 A JP60249214 A JP 60249214A JP 24921485 A JP24921485 A JP 24921485A JP S62109002 A JPS62109002 A JP S62109002A
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Japan
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color filter
ink
liquid crystal
crystal display
partition wall
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JP60249214A
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Yoshihiro Matsuo
嘉浩 松尾
Tokihiko Shimizu
清水 時彦
Kazuhisa Morimoto
和久 森本
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は表示品質の高い、低コストな液晶表示用カラー
フィルタの製造方法に関するものである。
従来の技術 液晶動画表示用カラーフィルタは、例えば赤。
緑、青の三原色の画素を一絵素とし、多数の絵素から構
成される。そして各画素間には、一定の幅をもつ無色透
光性あるいは黒色不透光性の境界領域が透明基板の上に
設けられる。
従来、カラーフィルタの製造には印刷法、ホトリソグラ
フィなどが用いられている。印刷法は低コストなカラー
フィルタを提供することができるが、カラーフィルタの
画素寸法が100μm以下と小さく、ミクロン以下の寸
法精度が要求される場合には適用することができない。
すなわち、印刷パターンのたれ9画素のにじみ2画素間
の重なり、印刷もれなどが表示品質が低いという欠点が
あった。しかし、印刷法の低コスト性を生かし、印刷パ
ターンのたれおよび画素のにじみをなくする改良発明(
特開昭60−101583号公報)がみられる。この発
明の製造方法は、カラーフィルタ画素間の境界領域予定
部分にホトレジスト層を設ける工程、カラーフィルタ画
素予定部分に印刷法によりカラーフィルタを形成する工
程、および前記ホトレジスト層を除去する工程からなる
。すなわちこの製造方法では、一度設けた画素間のホト
レジスト層を再び除去することによって表示品質の向上
をはかっている。しかし、この方法では印刷もれは完全
に無くすることはできない。一方、リソグラフィ法によ
るカラーフィルタの画素形成では、画素寸法が100μ
m以下の大きさで、サブミクロン精度の実現は容易であ
るが、リソグラフィ工程を数回繰シ返すため、高コスト
になるという欠点がある。
発明が解決しようとする問題点 この様に従来のカラーフィルタ製造方法ではミクロン以
下の高精度な画素形成と低コスト性とを同時に満すこと
が極めて困難であった。本発明は画素寸法が数100μ
m以下の、寸法精度がミクロン以下の画素形成を、しか
も低コストで行なうことを可能にするカラーフィルタの
製造方法を提供するものである。
問題点を解決するための手段 本発明の製造方法は、透明基板上にカラーフィルタの予
定部分の境界領域に仕切り壁をリソグラフィ法により形
成する工程と、カラーフィルタの予定部分内にカラーイ
ンキを所定量注入する工程と、注入したカラーインキを
上記予定部分内の全面に均一に広げることによりカラー
フィルタを形成する工程との少なくとも三工程からなる
作  用 透明基板上のカラー画素予定部分の境界領域に形成され
る無色透光性あるいは黒色不透光性の仕とができる。次
に、カラー画素予定部分内にカラーインキを所定量注入
した後注入したカラーインキを上記予定部分内の全面に
均一に広げることによってカラーフィルタを形成させる
ので、色ぬけ(印刷もれ)。
画素のにじみや他画素への重なりなどは起こらず表示品
質が高く、しかもリソグラフィ工程は最初の一回だけで
あるので製造が容易であり、低コストなカラーフィルタ
を提供することができる。すなわち、カラーフィルタの
でき上り画素寸法は、最初に形成した仕切り壁の寸法精
度で決まることが本発明のカラーフィルタの特徴である
実施例 実施例1 本発明の液晶表示用ガラ−フィルタの製造方法について
説明する。まずリソグラフィ法を用いて第1図にすよう
な仕切り壁14のみのパターンを透明基板15の上に形
成する。透明基板16の材質としては例えばガラスを用
い、このガラス基板の表面をシランカップリング剤で処
理し、親油性表面に改質する。仕切り壁14の材質とし
ては例えばゼラチンなどの感光性樹脂を用い、これをス
ピンナを用いて面積110m+nX 85 mmの、シ
ランカップリング処理したガラス基板上に全面に所定厚
みだけ均一に塗布し、ミクロン精度の6インチ大のマス
クを用いてアライメントし、仕切り壁予定領域部分(幅
2oμm)のみに紫外線露光を行ない、露光部分のみを
架橋反応させる。その後、水洗現像を行ない、非露光部
のゼラチンを除去し、幅20μmの無色透光性の仕切り
壁9面積100μmX100μmのカラーフィルタ画素
からなるパターンを形成した。この状態の断面図を第2
図(a)に示す。
次に、無色透光性の仕切り壁14で囲まれた赤色フィル
タ予定部分(100μmX100μm)内に第2図(b
)に示すように、親油性の赤インキ21をある一定量だ
け注入する。その注入方法としてスクリーン印刷法を用
いた。印刷の繰り返し位置決め精度が±30μmである
ので、カラーインキが通過するスクリーン印刷版の窓の
面積は40μmX40μmの大きさに設計した。この時
、印刷版の窓の位置は必ずカラーフィルタ予定部分の中
に入る。そこでスキージ−の押圧により所定量の赤イン
キを印刷版の窓から押出し、赤色フィルタ予定部分内に
注入した。第2図すは、一定量の赤インキ21がちょう
ど赤色フィルタ予定部分内の中央に注入された状態の断
面図である。この様に、カラーインキをカラーフィルタ
予定部分内のどこかに所定量だけ注入する工程は量産性
が高く、低コストなカラーフィルタを得る。ここで用い
た赤インキはブリリアントカーミン6Bの顔料をロジン
変性フェノール樹脂、あまに油1石油系溶剤からなるビ
ヒクルで混練した親油性のインキである。
次に、注入された所定量の赤インキ21(面積4oμm
X40μm)を赤色フィルタ予定部分内の全面(100
μmX100μm)に均一に広げた。
このインキを広げる工程で望ましいことは、カラーイン
キ21が透明基板16に対して良く濡れることであり、
仕切り壁14に対しては濡れ難いことである。注入され
た赤インキ21が乾燥する前にガラス基板を水平に保ち
つつ、60〜80℃の温度に加熱し、インキ粘性を下げ
て、シランカップリング処理した親油性の基板表面との
濡れ性を良くして、赤インキ21を赤色フィルタ予定部
内の全面に均一に熱拡散させた。この状態の断面図を第
2図(C)に示す。この様な均一拡散工程は極めて量産
性が高く、低コストなカラーフィルタを提供することが
できる。この様にして第1図に示すような無色透光性の
仕切り壁14と赤色フィルタ12とからなるパターンを
透明基板15の上に形成した。
同様にして、注入工程と熱拡散工程を繰り返して、緑色
フィルタ12.青色フィルタ13を逐次形成した。ここ
で用いた緑色インキはフタロシア二ングリーン顔料を前
記と同種類のビヒクルと混線調合したもの、また青色イ
ンキはフタロシアニンブルー顔料と前記と同種類のビヒ
クルと混練調合したものを用いた。またそれぞれのカラ
ーインキ注入に用いたスクリーン印刷版の窓の大きさは
同じ<40μmX40μmであった。この様にして第1
図に示す様な、無色透光性の仕切り壁14゜赤色フィル
タ11.緑色フィルタ12.青色フィルタ13.および
透明基板15からなるカラーフィルタを作成した。なお
、液晶表示の画質において明るさを重視する場合には、
カラーフィルタの仕切り壁としては、上記実施例のよう
に無色透光性の材質を選択することが望ましい。
実施例2 次に、電子線リソグラフィを用いて第1図に示すような
黒色不透光性の仕切り壁14のみのパターンを透明基板
15の上に形成した。透明基板15としてはシランカッ
プリング剤で表面処理した、面積250mmX190簡
のガラス基板を用いた。
黒色不透光性の仕切り壁14の材質としてはカーボンブ
ラックを混練した末端アクリル基をもつ電子線硬化樹脂
を用い、これをコータを用いて上記表面処理したガラス
基板上に所定厚みだけ全面に塗布し、乾燥させた。次に
3μm径の電子ビーム走査装置を用いて、コンピュータ
制御によるパターニングを行ない、3μm幅の仕切り壁
予定部分のみに電子線照射を行ない、照射部分のみを重
合反応させ、基板全面にパターン形成を行なった。
その後、溶剤で現像し、非照射部分のアクリル系オリゴ
マ(七ツマ−)を除去し、幅3μmの黒色仕切壁149
面積100μmX100μmのカラーフィルタ画素から
なるパターンを形成した。また、黒色不透光性の仕切り
壁14の形成には、感光性樹脂あるいは電子線硬化性樹
脂の塗膜を作り、リソグラフィによるバターニングによ
り仕切シ壁を作った後、黒色色素でもって黒色に染色1
着色させてもよい。
次K、黒色不透光性の仕切シ壁14で囲まれた赤色フィ
ルタ予定部分(100μmX100μm)に赤色インキ
を所定量だけ注入した。用いた赤インキは実施例1で用
いた親油性インキと同種のものであり、注入にはオフセ
ット印刷法を利用した。
なお、注入には他に凸版印刷法、凹版印刷法、熱転写印
刷法、インクジェット印刷法、および静電印刷法などを
利用することができる。用いたオフセット凸版印刷の繰
り返し位置決め精度は±20μmであるので、オフセッ
ト凸版の画線部の面積を60μm X 60μmの大き
さに設計した。この時、凸版の画線部(インキが付着す
る部分)の位置は必ずカラーフィルタ予定部分の中に入
る。したがってオフセット印刷により、所定量の赤イン
キが赤色フィルタ予定部分内の基板上に注入されたこと
になる。
次に、注入された所定量の赤インキ21(面積6oμm
 X 60μm)を赤色フィルタ予定部分内の全面(1
00μmX100μm)に均一に広げた。その広げる方
法は押圧法によった。表面が平滑な硬い板(剛体)を透
明基板16と平行に重ねて、押圧し、面積60μm×6
0μmの赤インキ21を面積1ooμmX100μmの
赤色フィルタ11にした。
この時、赤インキ21を軟らかくし、変形し易いように
加熱することは広げる上に有効な手段であった。さらに
均一に押圧する方法としては、上記赤インキ21を抑制
した透明基板16と硬い板を重ねたものを軟かいプラス
チックフィルムの袋の、中に入れ真空中でその袋を密封
した後、それらを大気圧下の雰囲気に置くことによって
ほぼ1気圧の圧力で押圧する方法が有効な手段であった
同様にじて、オフセット凸版印刷法を利用した注入工程
と押圧法によるインキを広げる工程とを繰り返して、緑
色フィルタ12.青色フィルタ13を逐次形成した。こ
こで用いた緑色インキおよび青色インキはそれぞれ実施
例1で用いたものと同種類の親油性インキであった。
以上のカラーフィルタの製造方法はりソグラフィによる
黒色仕切り壁の形成−赤インキ注入−押圧−緑インキ注
入−押圧−青インキ注入−押圧の各工程の順に行なわれ
たものであるが、量産的には抑圧によるインキを広げる
工程は最後にまとめて行なう製造工程が望ましい。した
がって、リソグラフィによる仕切り壁の形成−赤インキ
注入。
緑インキ注入−青インキ注入−抑圧の各工程順に従って
前記と同様のカラーフィルタを作成した。
なお、赤インキ、緑インキ、および青インキの注入工程
の順序はカラーフィルタの設計に従って適宜変更するこ
とができる。
この様にして第1図に示すような、黒色不透光性の仕切
り壁14.赤色フィルタ11.緑フィルタ12.青色フ
ィルタ13.および透明基板16からなるカラーフィル
タを作成した。なお液晶表示の画質において色再現性、
コントラストを重視する場合には、カラーフィルタの仕
切り壁としては、上記実施例のように黒色不透光性の材
質を選択することが望ましい。
発明の効果 三原色の多数画素1画素間の仕切り壁(無色透光性ある
いは黒色不透光性)から成るカラーフィルタを製造する
だめの本発明の方法は、基本的にはリソグラフィ工程が
1回、インキ注入工程が3回、注入インキを広げる工程
が1回(最大3回まで)である。したがって、ミクロン
以下の高精度な画素から成る表示品質の高いカラーフィ
ルタを低コストで提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のカラーフィルタの部分的構成を示しく
a)はその平面図、(b)はその断面図、第2図(a)
、 (b)、 (C)は本発明のカラーフィルタの製造
方法を説明するための各工程での仕かかり品の一画素部
分の構成を示す断面図である。 11・・・・・赤色フィルタ、12・・・・緑色フィル
タ、13・・・・・・青色フィルタ、14・・・・・・
仕切り壁、15・・・・・・透明基板、21・・・・・
圧入された赤インキ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名ノ/
−−−、(ト色フィIL/il )?−−− 線色フ41レタ (α) 第 2 図 (α) (b) ア、5 (C)

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)透明基板上におけるカラーフィルタの予定部分の
    境界領域に仕切り壁をリソグラフィ法により形成する工
    程と、前記カラーフィルタの予定部分内にカラーインキ
    を所定量注入する工程と、注入した前記カラーインキを
    上記予定部分内の全面に均一に広げることによりカラー
    フィルタを形成する工程との少なくとも三工程を含む液
    晶表示用カラーフィルタの製造方法。
  2. (2)仕切り壁が、無色透光性であることを特徴とする
    特許請求の範囲第1項記載の液晶表示用カラーフィルタ
    の製造方法。
  3. (3)仕切り壁が、黒色不透光性であることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の液晶表示用カラーフィル
    タの製造方法。
  4. (4)カラーフィルタの予定部分内にカラーインキを所
    定量注入する工程において、注入する方法として、オフ
    セット印刷、凸版印刷、凹版印刷、スクリーン印刷、熱
    転写印刷、インキジェット印刷、および静電印刷からな
    る印刷法のうち一つの印刷法を用いることを特徴とする
    特許請求の範囲第1項記載の液晶表示用カラーフィルタ
    の製造方法。
  5. (5)カラーフィルタの予定部分内に注入したカラーイ
    ンキを上記予定部分内の全面に均一に広げる工程におい
    て、インキを均一に広げる方法が熱拡散法であることを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載の液晶表示用カラ
    ーフィルタの製造方法。
  6. (6)カラーフィルタの予定部分内に注入したカラーイ
    ンキを上記予定部分内の全面に均一に広げる工程におい
    て、インキを均一に広げる方法が押圧法であることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項記載の液晶表示用カラー
    フィルタの製造方法。
  7. (7)上記押圧法が、表面が平滑な硬い板を用い、その
    表面をすでに注入したカラーインキと対向させ、かつ表
    面が平滑な硬い板とカラーインキを注入した透明基板と
    を平行に重ねた後、軟かい耐真空性の袋の中に入れ、減
    圧雰囲気下に置き、その袋を密封した後、再び大気圧雰
    囲気下に置くことによって、ほぼ大気圧の圧力で押圧す
    ることを特徴とする特許請求の範囲第6項記載の液晶表
    示用カラーフィルタの製造方法。
  8. (8)カラーインキが、透明基板に対して良く濡れ、一
    方仕切り壁に対して濡れ難いことを特徴とする特許請求
    の範囲第1項記載の液晶表示用カラーフィルタの製造方
    法。
  9. (9)仕切り壁が光照射重合・架橋体からなることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項記載の液晶表示用カラー
    フィルタの製造方法。
  10. (10)仕切り壁が電子線照射重合・架橋体からなるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の液晶表示用
    カラーフィルタの製造方法。
  11. (11)仕切り壁をリソグラフィ法により形成する工程
    において、架橋・重合性物質と黒色色材との少なくとも
    二種以上からなる混合物を透明基板上に塗布し、マスキ
    ング露光法によりカラーフィルタの予定部分の境界領域
    のみを架橋・重合させて、黒色不透光性の仕切り壁を形
    成することを特徴とする特許請求の範囲第3項記載の液
    晶表示用カラーフィルタの製造方法。
  12. (12)仕切り壁をリソグラフィ法により形成する工程
    において、まず架橋・重合性物質を透明基板上に塗布し
    、マスキング露光法によりカラーフィルタの予定部分の
    境界領域のみを架橋・重合させて仕切り壁を形成し、次
    に、少なくとも一種以上の色素からなる黒色色素を用い
    て上記仕切り壁を着色させて、黒色不透光性の仕切り壁
    を形成することを特徴とする特許請求の範囲第3項記載
    の液晶表示用カラーフィルタの製造方法。
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