JPS6033507A - 色フィルタの製造方法 - Google Patents

色フィルタの製造方法

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JPS6033507A
JPS6033507A JP58143229A JP14322983A JPS6033507A JP S6033507 A JPS6033507 A JP S6033507A JP 58143229 A JP58143229 A JP 58143229A JP 14322983 A JP14322983 A JP 14322983A JP S6033507 A JPS6033507 A JP S6033507A
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JP
Japan
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film
color filter
paint
forming
resist pattern
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JP58143229A
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Inventor
Kazufumi Ogawa
一文 小川
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/201Filters in the form of arrays

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Optical Filters (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Color Television Image Signal Generators (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、カラー撮像デバイスやカラーディスプレーに
用いるモザイク状あるいはストライプ状の分光色フィル
タの製造方法に関するものである。
従来例の構成とその問題点 従来より、色フィルタの製造方法には大きくわけて2つ
の方法があった。
2〆、−:゛ すなわち、あらかじめ染色ベースパターンを形成し、必
要とする分光特性に染色する工程をくり返し作る方法、
あるいは、染色ベースを全面に形成し、必要な部分を残
して他を脱色する方法があるO ところが、前者の方法では第1図四〜(Diに示すよう
な方法が一般的に用いられていた。すなわち、光学研磨
を施したガラス基板1上に、ポリビニルアルコール、グ
リユー、ゼラチン、カゼイン等に、重クロム酸アンモン
等で感光性を付与した感光液ヲ、ローラーコート、ティ
ソヒング、スピンナー等で均一に塗布し、乾燥した後マ
スク露光法で1色目のパターン部分だけ光硬化させて現
像して必要なパターン以外を除去して染色ベース膜2を
形成した後に、所定の分光特性を有する染料で、1色目
のパターンを染色する。次に染料で染色されることのな
い透明な防染膜3を全面に塗布する(第1図(A))。
次に、同様にして第1図@)に示すように前記と同じ感
光液を均一に塗布し、乾燥した後マスク露3・・−二 先決で露光現像して、2色目の染色ベース膜4を形成後
所定の分光特性を有する第2の染11で染色する。さら
に、前記透明々防染膜5を全面に塗布する。
次に同様にして、第1図(C)に示すように、前記と同
じ感光液を均一に塗布し、乾燥した後、マスク露光法で
露光現像して、3色目の染色ベース膜6を形成し、所定
の分光特性を有する第3の染料で染色する。
最後に、トップコート7を塗布して、第1図(DJに示
すような色フィルタが製造される。
従って、このような色フィルタの製造方法では、各層の
染色ベース膜を形成した後染色して色フイルタ部を形成
するため、色フィルタの分光特性を制御性良く製造する
ためには、染色ベース膜厚を非常に高精度に制御する必
要があった。
すなわち、染色ベース膜厚が設定値より薄すぎた場合に
は所定の濃度の染色が得られないし、厚すぎだ場合には
染色されやすいため、染色濃度制御すなわち分光特性の
制御がむつかしくなる等色特開昭GO−33507(2
) フィルタ製造」二大きな欠点であった。
また、後者においても、色フィルタを染色して形成する
点では前者と同じ欠点を持っていた。
発明の目的 本発明は、以上に述べてきた従来の色フイルタ製造工程
における分光特性制御の不安定さを解消する目的でなさ
れたものであり、所定の分光特性を持つ色フィルタを、
安定且つ容易に製造する技術を提供することを目的とす
るものである。
発明の構成 本発明は、所定の基板上へITO等の透明導電膜を形成
する工程と、透明導電膜上にレジストパターンを形成す
る工程と、所定の分光特性を有する電着塗料を用い、透
明導電膜と他の電極の間に直流電流を通じてレジストパ
ターン開口部の透明導電膜上に塗料を凝固析出させる工
程と、レジストパターンを除去する工程と、さらにレジ
ストパターン形成工程以降をくり返えすことにより、モ
ザイク状あるいはストライプ状の色フィルタを形成する
方法より々る。
5Iミージ 実施例の説明 本発明の実施例を第2図を用いて説明する。
まず、あらかじめ、光学研磨を施したガラス基板21上
に、蒸着法あるいは塗布法で透明導電膜2またとえばI
TO膜を形成する(第2図A)。
次に、全面にホトレジスト23例えばポジ型であればA
Z1350J (シプレー社)ネガ型であれば、KMR
747(コダソク社)等を塗布し、所定のホトマスク2
4を用いて露光しく第2図B)、さらに現像して第1の
レジストパターン25を形成する(第2図C)。第2図
Cはポジ型レジストを用いた場合を示しである。
次に、第3図に示すように、電着塗料26を入れた電着
槽27に基板21を浸漬し、透明導電膜22と陰極28
の間に直流電界を印加し、前記レジストパターン開口部
の透明導電膜22に電着塗料を析出凝固させる。このと
き用いる電着塗料9色すなわち透過の分光特性を所定の
もの例えば赤なら赤色にしておけば、ガラス基板表面に
赤色フィルタとなる着色パターン30を形成できる(第
6ページ 2図D)。
次に、レジストパターン25を除去した後、再び第2の
レジストパターン31を同じ方法で形成し、1回目と同
じ方法で第2の電着塗料例えば緑色を第2のレジストパ
ターン開口部の透明導電膜32上に形成する(第2図E
)。
以下同じ方法をくり返して、必要とする着色パターンを
形成して、目的とするモザイク状あるいはストライプ状
の色フィルタを製造できる。
なお、上述の電着塗料としては、マレイン化油。
ビニル変性マレイン化油、シクロペンタジェン変性マレ
イン化油、アルキッド樹脂、アクリル樹脂。
フェノール樹脂、メラミン樹脂等々に所定の分光特性を
示す顔料や染料を混ぜて用いることができる。例えば、
青色顔料であればフタロシアニンブルー、緑色顔料であ
ればフタロシアニングリーン。
赤色染料であればオラゾールピンク582G(チバガイ
ギー商品名)でも良い。また、液体でなく微粉末の静電
トナーを用い、このトナーを直接ふりかけるようにして
もよい〇 7、、7 発明の効果 本発明の方法を用いると、分光特性は電着塗装の塗装厚
のみで制御できるので分光特性の制御が容易である。ま
た、電界は、基板内で均一に印加できるので大面積の色
フィルタを製造する場合にも基板内での分光特性のバラ
ツキも少くなる。さらにまた、塗布後硬化した塗膜は電
気絶縁性を持つので、2回目、3回目以降の塗装・1が
前工程の塗膜の上に乗ることがなく、電型なりは全く生
じ々い。以上述べてきた効果により、バラツキの々い高
性能な色フィルタを容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図(A)〜FC+は従来より用いられている色フィ
ルタの製造方法を説明するだめの工程断面図、同図中)
は出来上った色フィルタの上面図、第2図A〜Eは本発
明の一実施例のカラーフィルターの製造方法を説明する
だめの工程断面図、第3図は本発明の方法に用いた場合
の電着塗装の概念図である。 21・・・・・・ガラス基板、22.32・・・・・・
透明導電膜、23・・・・・・ホトレジス)、25.3
1・・・・・・レジストパターン、26・・・・・・電
着塗料、30・・・・・・着色パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第 
1 図 第2図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 所定の基板上へ透明導電膜を形成する工程と、前記透明
    導電膜上にレジストパターンを形成する工程と、所定の
    分光特性を有する電着塗料を用い、前記導電膜と他の電
    極の間に直流電流を通じて前記レジストパターン開口部
    の前記透明導電膜上に前記塗料を凝固析出させる工程と
    、前記レジストパターンを除去する工程を含むことを特
    徴とする色フィルタの製造方法。
JP58143229A 1983-08-04 1983-08-04 色フィルタの製造方法 Granted JPS6033507A (ja)

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