JP2006136879A - 独立した横方向の動きをすることができるインクジェット・ヘッドを有するインクジェット・ヘッド支持体のための装置及び方法 - Google Patents

独立した横方向の動きをすることができるインクジェット・ヘッドを有するインクジェット・ヘッド支持体のための装置及び方法 Download PDF

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Abstract

【課題】高いスループットを保ちながら、基板上の滴下位置に精密に且つ正確にインクジェットヘッドを位置決めする。
【解決手段】第１の特徴において、第１の装置がインクジェット印刷のために設けられる。この第１の装置は複数のインクジェット・ヘッドを含むインクジェット・ヘッド支持体を含む。前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの第１のインクジェット・ヘッドは前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの第２のインクジェット・ヘッドに対して、横軸方向に沿って、両方向に独立に移動可能であるようになっている。また、第１の装置は前記第２のインクジェット・ヘッドに対する前記第１のインクジェット・ヘッドの独立の横方向の動きを制御するようになっている。
【選択図】図１

Description

優先権の主張
本件出願は、全ての目的のために、その全体が本明細書において参照され、組み込まれるところの、同じ出願人に譲渡され，継続中の「インクジェットを用いてフラット・パネル・ディスプレイのカラー・フィルタを形成するための装置及び方法」と題する、２００４年１１月４日に出願された、米国仮特許出願番号６０／６２５，５５０に基づく優先権主張するものである。
関連出願の参照
本発明は全ての目的のためにその全体が本明細書において参照され組み込まれるところの、以下の共通に譲渡され継続中の米国特許出願に関連するものである。
「インクジェット印刷のための装置及び方法」と題する、２００４年１２月２２日に出願された米国特許出願１１／０１９，９２９（アトニ−・ドケット番号９５２１−２）。
「印刷ヘッドを整列させるための方法及び装置」と題する、２００４年１２月２２日に出願された米国特許出願番号１１／０１９，９３０（アトニ−・ドケット番号９５２１−３）。
発明の分野
本発明は電子デバイス製造システムに関し、特に、独立した横方向の動きのためのインクジェット・ヘッドを含むインクジェット・ヘッド支持体のための装置及び方法に関する。
発明の背景
フラット・パネル・ディスプレイ産業は、表示デバイス、特にカラー・フィルタを製造するために、インクジェット印刷を用いるようになってきている。インクジェット印刷を効果的に用いることに伴う１つの問題は、高いスループットを保ちながら、基板上に正確に且つ精密にインク若しくは他の材料をインクジェットすることが困難であるということである。従って、（例えば、基板上にインクを堆積するために必要とされる印刷パスの数を減らすために）基板上に滴下位置の上に効率的にインクジェット・ヘッドを位置決めするための改善された方法及び装置が必要とされる。
発明の要約
本発明の第１の特徴において、第１の装置がインクジェット印刷のために提供される。第１の装置は複数のインクジェット・ヘッドを含むインクジェット・ヘッド支持体を含む。複数のインクジェット・ヘッドのうちの第１のインクジェット・ヘッドは、複数のインクジェット・ヘッドのうちの第２のインクジェット・ヘッドに対して、横方向軸に沿って両方の方向に独立に動くようになっている。また、この第１の装置は第２のインクジェット・ヘッドに対しての第１のインクジェット・ヘッドの独立した横方向の動きを制御するようになっている。
本発明の第２の特徴において、第２の装置がインクジェット印刷のために設けられる。第２の装置は複数のインクジェット・ヘッドを含むインクジェット・ヘッド支持体を含む。この複数のインクジェット・ヘッドのうちの第１のインクジェット・ヘッドは、複数のインクジェット・ヘッドのうちの第２のインクジェット・ヘッドに対して、横方向軸の両方向に独立に移動可能なようになっている。また、第１のインクジェット・ヘッドは前記インクジェット・ヘッド支持体に対して回転可能である。
本発明の第３の特徴において、第１の方法がインクジェット印刷のために設けられる。この第１の方法は（１）複数のインクジェット・ヘッドのうちの第１のインクジェット・ヘッドは、複数のインクジェット・ヘッドのうちの第２のインクジェット・ヘッドに対し、横方向の軸に沿って両方向に独立に移動可能になっている、複数のインクジェット・ヘッドを有するインクジェット・ヘッド支持体を設け、（２）第２のインクジェット・ヘッドに対して横方向に第１のインクジェット・ヘッドを独立に動かし、（３）第１のインクジェット・ヘッド及び第２のインクジェット・ヘッドを用いて、基板上で印刷動作を行うステップを含む。
本発明の第４の特徴において、第２の方法が提供される。第２の方法は第１のディスプレイ体上に複数のインクジェット・ヘッドを同時に通過させ、第１のディスプレイ体上にインクを印刷するために複数のインクジェット・ヘッドを用いることにより、基板の第１のディスプレイ体上に第１の印刷パスを行い、（２）基板上の、第１のディスプレイ体の上に印刷を行うための位置から、第２のディスプレイ体の上に印刷を行うための位置へ、複数のインクジェット・ヘッドのうちの第１ものを横方向にずらせ、（３）第２のディスプレイ体上にインクを印刷するために、第１のインクジェット・ヘッドを用い、第１のディスプレイ体上にインクを印刷するために、複数のインクジェット・ヘッドのうちの、少なくとも第２のものを用いることにより、第１のディスプレイ体上での第２の印刷パス及び第２のディスプレイ体上での第１の印刷パスを同時に行うステップを有する。数多くの他の特徴がこれら及び他の本発明の特徴に従って提供される。
本発明の他の特徴及び特質は以下の詳細な説明、添付のクレーム及び添付の図面から十分に明らかとなるであろう。
詳細な説明
本発明は電子デバイス製造に関し、特に、他のインクジェット・ヘッドに対して左右両方向において独立な横方向の動きのためのインクジェット・ヘッドを含むインクジェット・ヘッド支持体のための装置及び方法に関する。例示的な一実施例において、インクジェット・ヘッド支持体は２つ若しくはそれ以上のインクジェット・ヘッドを含む。各インクジェット・ヘッドはインクジェット・ヘッド支持体に搭載される。１つ以上の例示的な実施例において、インクジェット・ヘッド支持体上のインクジェット・ヘッドのそれぞれはインクジェット・ヘッド支持体上の他のインクジェット・ヘッドに対して１つ以上の横方向に独立に移動可能である。更に、各インクジェット・ヘッドはインクジェット・ヘッド支持体に対して回動可能である。本発明は特に有機光発光ダイオード（ＯＬＥＤ）及び／又はポリマー光発光ダイオード（ＰＬＥＤ）技術を用いるフラット・パネル・ディスプレイのためのカラー・フィルタを製造するに有益である。
例示的な一実施例において、３つのインクジェット・ヘッドが用いられる。各インクジェット・ヘッドはいかなる色のインクも印刷することができる。例えば、各インクジェット・ヘッドは赤色のインク、緑色のインク、及び／又は、青色のインクを印刷するのに用いられ得る。各インクジェット・ヘッドはまた、これには限定されないが、シアン、黄色、マゼンタ、白、及び／又は透明インクなど他の色のインクを印刷するために用いられ得る。いくつかの実施例において、各インクジェット・ヘッドは異なる色のインクを印刷するのに用いられる。
別の例示的な実施例において、いかなる数のインクジェット・ヘッドも用いられ得る。
インクジェット印刷ヘッドの動作及び動きはシステム・コントローラによって制御され得る。このシステム・コントローラは１つ以上の横方向における各インクジェット・ヘッドの動きを制御する。また、システム・コントローラは他のインクジェット・ヘッド及びインクジェット・ヘッド支持体に対する各インクジェット・ヘッドの回転を制御する。
独立の横方向の動きは同時的に、及び／又は、連続的に１つ以上のインクジェット・ヘッドについて実行され得る。また、１つ以上のインクジェット・ヘッドの同時的な、及び／又は、連続的な回転は本発明によって実現され得る。例えば、混合の移動命令を処理することにおいて、又は混合の移動プログラム若しくはサブルーチンにおいて、システム・コントローラは２つ以上のインクジェット・ヘッドの独立の横方向の動き、及び／又は、回転を可能とする。
本発明は多くの効果をもたらす。例えば、本発明は基板内の１つ以上のディスプレイ体上に同時にインクを堆積するのに用いられ得る。ディスプレイ体はフラット・パネル・ディスプレイのためのカラー・フィルタを含み得る。本発明はまた、単一のディスプレイ体、及び／又は、複数のディスプレイ体に対し、より効果的で、独立の配列のインクジェット・ヘッドを提供するのに用いられ得る。１つ以上のディスプレイ体に対して独立のインクジェット・ヘッドの配列を提供する能力、及び、１つ以上のディスプレイ体上に同時に印刷動作を行う能力は所定の基板に対して印刷動作をするのに必要なインクジェット印刷パスの数を減らすのに役立つ。本発明は特に、単一の基板上の複数のカラー・フィルタ・ディスプレイ体を同時に印刷するのに有用である。
また、本発明は他のインクジェット・ヘッドの１つ以上に対して、インクジェット・ヘッドを動かしめる装置及び方法を提供し、その結果、ヘッド・クリーニング、ヘッド・ワイピングなど所定のメンテナンス・ステップが、インクジェット・ヘッド支持体上の他のインクジェット・ヘッドが印刷を継続する間においても、インクジェット・ヘッド上で実行可能である。
図１は、参照番号１００により全体的に示される本発明の装置の平面図を図示する。例示的な一実施例において本発明の装置１００は、システム・コントローラ１０２の集積化された一部分であるか、若しくは、外部装置である、画像ファイル・データベース１０４を含む。また、装置１００はインクジェット・ヘッド支持体１０６を含む。システム・コントローラ１０２はインクジェット・ヘッド支持体１０６に接続される。
図１の例示的な一実施例において、インクジェット・ヘッド支持体１０６は左から右にそれぞれ参照番号１０８、１１０、及び１１２によってそれぞれ指定される３つのインクジェット・ヘッドを含み、及び／又は、それらに結合される。３つのインクジェット・ヘッドのみが用いられるように示されているが、いかなる数のインクジェット・ヘッドが搭載され、インクジェット・ヘッド支持体１０６に関連して用いられ得ることに留意することが重要である。
インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれはいかなる色のインクも印刷することができる。例示的な一実施例において、各インクジェット・ヘッドは赤色のインク、緑色のインク、及び／又は、青色のインクを印刷するために用いられ得る。また、各インクジェット・ヘッドが、それには限定されないが、シアン、黄色、マゼンタ、白、及び／又は、透明インクなどの他の色のインクを印刷するためにも用いられ得る。
１つ以上の例示的な実施例において、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれはインクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２の別のものに対して１つ以上の横方向において独立に移動可能である。他の例示的な実施例において、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれはインクジェット・ヘッド支持体１０６に対して独立に回動可能である。更に別の実施例において、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２は、基板１１４から離れる方向、若しくは、基板に向かう方向の、１つ以上の垂直な方向（例えば、Ｚ軸方向に沿って）に、独立に移動可能である。更に、横方向の動き、回転、及び垂直の動きは連続的に、及び／又は、実質的には同時的に独立に実行可能である。
システム・コントローラ１０２はインクジェット・ヘッド支持体１０６及びインクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれに接続可能であり、インクジェット・ヘッド支持体１０６及びインクジェット・ヘッド１０８、１１０及び１１２のそれぞれの動作及び動きを制御し、モニタする。
また、図１は製造時にインクジェットプロセスを用いてフラット・パネル・ディスプレイを製造する際に用いられる基板などの基板１１４を図示するものである。図１において、基板１１４は複数のディスプレイ体１１６を含むように示されている。一般に、基板１１４は１つ以上のディスプレイ・デバイス１１６を含む。
基板１１４はステージ１１８により支持され、ステージ１１８によりインクジェット・ヘッド支持体１０６の下において移動する。ステージ１１８はシステム・コントローラ１０２に接続され、ステージの動きをＸ軸方向及びＹ軸方向の両方向に制御し得る。
システム・コントローラ１０２は、それには限定されないが、メインフレーム・コンピュータ、ミニコンピュータ、ネットワーク・コンピュータ、パーソナル・コンピュータ、及び／又は、いかなる好適な処理デバイス、コンポーネント、若しくはシステムを含む適宜なコンピュータ若しくはコンピュータ・システムであり得る。例示的な一実施例において、システム・コントローラ１０２は矢印で示されるような２つの方向において、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２の横方向の動きを制御し得る。また、システム・コントローラ１０２はインクジェット・ヘッド支持体１０６に対して、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれの回転を制御し得る。
例示的な一実施例において画像ファイル・データベース１０４は装置１００により製造され得る基板１１４、及び／又は、ディスプレイ体１１６に関するデータ、及び／又は、情報を含む。例えば、画像ファイル・データベース１０４は、ディスプレイ体１１６、及び／又は、基板１１４上で、全ての必要な印刷パスを実行するように、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２及びステージ１１８のそれぞれの印刷動作と同様に、それらの動きを制御するために、システム・コントローラ１０２によって利用され得る情報を含む。例えば、システム・コントローラ１０２は画像ファイル・データベース１０４に保持された情報を用いることにより、所要のディスプレイ体１１６、及び／又は、基板１１４上において、それらのために全体の印刷動作を制御し得る。
図２Ａは、初期の配向（オリエンテーション）における、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれを示すインクジェット・ヘッド支持体１０６の平面図を示している。図２Ａに示されるように、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれはＸ軸方向の横方向に相互にそれらが整列するように方向づけられている。例示的な一実施例において、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれは本明細書に記載される印刷動作の全てを実行するために、回転すると同様に、左右両方向の横方向に動くよう各インクジェット・ヘッドに十分な空間を提供するように、隣接するインクジェット・ヘッドから所定の距離だけ離れて位置し得る。例示的な一実施例において、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２は他の離間値が用いられてもよいが、およそ１００ｍｍだけ離間し得る。
また、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれは（以下に記載されるように）基板１１４及び各ディスプレイ体上において、インクジェット・ヘッド支持体１０６の単一のＹ軸方向の印刷パスの中で、基板１１４上の異なるディスプレイ体１１６上での印刷動作を、隣接するインクジェット・ヘッドに可能ならしめるように、隣接するインクジェット・ヘッドから所定の距離だけ離間して位置し得る。
図２Ｂは、インクジェット・ヘッドに対して横方向に動くか、若しくは、ずれた位置における、及び／又は、インクジェット・ヘッド支持体１０６に対して回転した位置における、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれを示す、図２Ａのインクジェット・ヘッド支持体１０６の平面図を示す。
図２Ｂにおいて、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれの初期状態の位置は破線により示されている。図２Ｂを参照すると、インクジェット・ヘッド１０８は初期状態の位置の左横方向に移動し、インクジェット・ヘッド１１０及びインクジェット・ヘッド１１２のそれぞれに対して横方向に動いている。図２Ｂは、インクジェット・ヘッド１１０がインクジェット・ヘッド支持体１０６に対して矢印により示される方向に回転していることを図示している。図示の位置において、インクジェット１１０は横方向に動いたのではなく、インクジェット・ヘッド支持体１０６に対して単純に回転したことに留意されたい。
また、図２Ｂはインクジェット・ヘッド１１２がインクジェット・ヘッド１０８及びインクジェット・ヘッド１１０のそれぞれに対して、初期状態の位置から右横方向に動いていることを示す。図２Ｂはまた、インクジェット・ヘッド支持体１０６に対して、矢印により示される方向に回転したインクジェット・ヘッド１１２を図示している。各インクジェット・ヘッドの横方向の動き、垂直方向の動き、及び／又は、回転はいかなる順序においても独立して、及び／又は、実質的に同時に起こり得ることに留意されたい。例えば、各インクジェット・ヘッドは（１）横方向に動き、その後に回転する、（２）各インクジェット・ヘッドは回転し、その後、横方向に動く、及び／又は、（３）各インクジェット・ヘッドは同時に回転し横方向に動き得る。同様に、インクジェット・ヘッドの垂直方向の動きは、インクジェット・ヘッドの横方向の動き、及び／又は、回転の前若しくは後、または、その間に起こり得る。いずれの場合においても、横方向の動き、垂直方向の動き、及び／又は、回転は残りのインクジェット・ヘッドが止まっている状態のときに起こり得る。
別の例示的な実施例において、インクジェット・ヘッド支持体１０６はＸ方向の動き及びＹ軸方向の動きの両方向に動き得る。これに関して、インクジェット・ヘッドが所定の位置に横方向に動くか、及び／又は、所定の角度に回転すると、インクジェット・ヘッド支持体１０６は、各ディスプレイ体１１６に対して、そのように位置決めされた、及び／又は、方向づけられたインクジェット・ヘッドをディスプレイ体１１６上において、動かし、若しくは、通過させ、インク印刷が可能となる。
例示的な一実施例において、システム・コントローラ１０２はインクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれの動き、及び／又は、回転、及び／又は、印刷動作を制御し、及び／又は、モニタし得、インクジェット・ヘッド支持体１０６の動き、及び／又は、印刷動作を制御し、及び／又は、モニタすることができる。
図３は、本発明の装置１００を用いた印刷動作の例示的な実施例のフローチャートである。ディスプレイ体１１６を含む基板１１４が印刷チャンバー（図示せず）のステージ１１８に置かれると、装置１００の動作はステップ３００において開始する。ステップ３０１においてシステム・コントローラ１０２が起動される。ステップ３０２において、システム・コントローラ１０２は画像ファイル・データベース１０４から処理されるべき、基板の画像ファイル・データを取得する。また、ステップ３０２において、システム・コントローラは基板１１４の画像ファイル・データを処理する。
ステップ３０３において、システム・コントローラ１０２は基板１１４の「ホーム」又は「開始」の位置に、基板１１４、及び／又は、インクジェット・ヘッド支持体１０６を動かす。例えば、ステージ１１８はホーム若しくは開始の位置に動かされる。同様にして、ヘッド支持体１０６が動いている間に、ステージ１１８が止まっていると、ヘッド支持体１０６はホーム若しくは開始の位置に動かされる。ステップ３０４においてシステム・コントローラ１０２はインクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２を（例えば、インクジェット・ヘッドにインクを供給したり、インクジェット・ヘッドを印刷のために準備させることにより）起動する。
ステップ３０５において、システム・コントローラ１０２は（例えば、ディスプレイ体のディスプレイ・ピクセル、及び／又は、ディスプレイ・サブピクセルにインクを印刷する間の適切な位置決めのために）インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれの横方向の位置を調整することにより、印刷プロセスを開始する。また、このステップの間、システム・コントローラ１０２は基板１１４に対して適切な配向角度をつけるために、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、１１２、のうちの一つ、及び／又は、インクジェット・ヘッドのそれぞれを回転させる。
ステップ３０６において、システム・コントローラ１０２はインクジェット・ヘッド支持体１０６及びインクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれのプリント動作を開始する。この印刷パス動作は、基板１１４上の１つ以上のディスプレイ体１１６上の全ての適用可能なディスプレイ・ピクセル、及び／又は、ディスプレイ・サブピクセルにインクをプリントするように、開始の端から、終了の端まで、Ｙ軸方向にインクジェット・ヘッド支持体１０６の下の所で基板１１４を通過させることを含む。
例示的な一実施例において、インクジェット・ヘッド支持体１０６が基板１１４の開始の端から、基板１１４の終了の端までＹ軸方向に完全な通過を行わしめるようにステージ１１８は動かされる。ステージ１１８は横方向にシフトし、及び／又は、開始の端まで基板１１４を戻し、そこで、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のいずれもが横方向に独立に動き、各インクジェット・ヘッドは次の印刷パスのための適切な位置に位置することとなる。
上述のプロセスは基板１１４の全てについて印刷動作が行われるまで繰り返される。すなわち、基板１１４について印刷プロセスが完遂されるまで、ステップ３０６における印刷動作は（例えば、画像ファイル・データに基づいて）、システム・コントローラ１０２の制御の下に続けられる。
インクジェット・ヘッドがディスプレイ体の通過を終了した場合、第４Ａ−Ｄ図を参照して以下に説明されるように、基板１１４上の次のディスプレイ体１１６についての印刷パスの位置まで独立に横方向にインクジェット・ヘッドは動かされる。このようにして、インクジェット・ヘッド支持体１０６は１つのパスにおいて２つ以上のディスプレイ体１１６を跨ぐようにして処理することができる。
図４Ａないし図４Ｄは、図３のフローチャートの例示的なステップ３０６の間の装置１００の簡略化された平面図を図示する。図４Ａにおいて、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２の全ては左側のディスプレイ体１１６Ａ上の印刷パスのために位置決めされる。左側のオブジェクト１１６Ａの印刷パスを完了すると、インクジェット・ヘッド１１２は各インクジェット・ヘッド１０８及び１１０に対して独立に横方向に動かされ、インクジェット・ヘッド１１２は図４Ｂに示されるように右側のディスプレイ体１１６Ｂの印刷パスのために位置決めされる。すなわち、インクジェット・ヘッド１１２は、インクジェット・ヘッド１０８、１１０が左側のディスプレイ体１１６上に印刷を行っているところの同じ印刷パスの間に、右側のディスプレイ体１１６Ｂ上に印刷することができる。
インクジェット・ヘッド１１０が左側のディスプレイ体１１６Ａに対して最終の印刷パスを行った後、インクジェット・ヘッド１１０は各インクジェット・ヘッド１０８及び１１２に対して独立に横方向に動き、インクジェット・ヘッド１１２に向けて、その結果、それは図４Ｃに示されるように右側のディスプレイ体１１６Ｂに対する印刷パスのための位置となる。その後、同じ印刷パスの間、インクジェット・ヘッド１０８は左側のディスプレイ体１１６Ａ上に印刷を行うと同時に、インクジェット・ヘッド１１０、１１２は右側のディスプレイ体１１６Ｂ上に印刷を行うことができる。インクジェット・ヘッド１０８が左側のディスプレイ体１１６Ａにかけての最後の印刷パスを行った後、インクジェット・ヘッド１０８は右に動かされ、インクジェット・ヘッド１０８は図４Ｄに示されるように右側のディスプレイ体１１６Ｂ上に対する第１の印刷パスのために位置決めされる。インクジェット・ヘッド１０８、１１０及び１１２はいかなる引き続く印刷パスの間も、右側のディスプレイ体１１６Ｂ上にプリントすることができる。システム・コントローラ１０２はインクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のそれぞれの独立の横方向の動きを制御し起動する。別のインクジェット・ヘッドとは独立に、インクジェット・ヘッドを横方向に動かすことにより、装置１００は最小限の数の印刷パスにおいて最大限の印刷動作を行うことができる。
本発明の装置１００はインクジェット・ヘッドが第１のディスプレイ体の印刷を完了するときに、インクジェット・ヘッドをシャットダウンすることなしにインクを分配することができる。代わりに、装置１００は残りのインクジェット・ヘッドが第１のディスプレイ体上でのそれらの印刷動作を完了する間に、基板上において次の横方向の異なる部位にあるディスプレイ体へのインクジェット・ヘッドの独立の横方向の動きを可能とする。
また、装置１００はインクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び１１２のための混合の命令を実行することができる。混合の命令は２つ以上のインクジェット・ヘッドが別のインクジェット・ヘッドとは独立に横方向に動くときに用いられ得る。例えば、左側のインクジェット・ヘッド１０８がディスプレイ体上での最後の印刷パスを行ったときに、左から右への印刷動作において、中間のインクジェット・ヘッド１１０及び右側のインクジェット・ヘッド１１２は（上述されたように）横方向の異なる部位にあるディスプレイ体上での印刷パスを実行しているかもしれない。インクジェット・ヘッド１０８がディスプレイ体上の最後の印刷パスを完了した後、インクジェット・ヘッド１０８はインクジェット・ヘッド１１０及び１１２によって、印刷されている横方向に異なる部位にあるディスプレイ体（例えば、インクジェット・ヘッド１８０が印刷を行っているディスプレイ体の右へディスプレイ体）上での印刷パスを実行するような位置にまで動かされる。
必要であるならば、複合の命令はインクジェット・ヘッド１０８が右のディスプレイ体まで動かされる前に、インクジェット・ヘッド１１２はまずインクジェット・ヘッド１０８から独立に横方向に動かされる。この後、インクジェット・ヘッド１１０はインクジェット・ヘッド１０８から離れて横方向に独立に動かされる。また、インクジェット・ヘッド１１０、１１２は必要であるならば、インクジェット・ヘッド１０８から同時に離れる。
別の例示的な一実施例において、装置１００はメンテナンス、ヘッドのクリーニング、ヘッドの拭き取り若しくは他の類似の動作が行われるような場所１２０に各ヘッドが動くことができるように、インクジェット・ヘッド１０８、１１０、及び／又は、１１２の本明細書に記載されるような横方向の独立な動きを可能とする。また、２つ以上のインクジェット・ヘッドが連続的に若しくは同時的に横方向に動かし得るという複合命令は、１つ以上のインクジェット・ヘッドのメンテナンス動作の前に、または、それを行うために実行されうる。
上述の説明は本発明の特定の実施例のみを開示するものであり、本発明の範囲内に入る、上記開示された方法及び装置の変更用例は本技術分野の当業者にとって容易であろう。例えば、いくつかの実施例において、本発明の装置及び方法は半導体処理、及び／又は、電子デバイス製造に適用可能である。例えば、レジストのパターンはガラス、ポリマー、半導体、及び／又は、実施可能な他の適宜な材料を含む基板へのジェッティングであるかもしれない。このように、噴射される物質はインク、ポリマー、又は実施可能な他の適宜な材料であってもよい。
従って、本発明は特定の実施例に関連づけて開示されてきたが、他の実施例が以下のクレームに定義されるような本発明の精神及び範囲内に入ることが理解されるべきである。
本発明の実施例によるインクジェット印刷のための装置の平面図である。 本発明の１実施例による、初期状態での向きのインクジェット・ヘッドを示すインクジェット・ヘッド支持体の平面図である。 インクジェット・ヘッドに対して横方向に動くか、若しくは、ずれた位置にあるインクジェット・ヘッド、及び／又は、インクジェット・ヘッド支持体に対して回転した位置にあるインクジェット・ヘッドの各々を示す図２Ａのインクジェット・ヘッド支持体の平面図である。 本発明の装置を用いて例示的な印刷動作のフローチャートである。 〜 図３のフローチャートの例示的なステップ３０６の間の、図１−図２Ｂの装置の簡略化された平面図である。

Claims (29)

  1. 複数のインクジェット・ヘッドであって、前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの第１のインクジェット・ヘッドは、前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの第２のインクジェット・ヘッドに対して横方向の軸に沿って両方向に独立に移動可能であるような複数のインクジェット・ヘッド
    を含むインクジェット・ヘッド支持体と、
    システム・コントローラであって、前記システム・コントローラは前記第２のインクジェット・ヘッドに対して前記第１のインクジェット・ヘッドの独立の横方向の動きを制御するようになっているシステム・コントローラと
    を含むインクジェット印刷装置。
  2. 前記インクジェット・ヘッド支持体はＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能である請求項１記載のインクジェット印刷装置。
  3. 前記インクジェット・ヘッド支持体は３つのインクジェット・ヘッドを含む請求項１記載のインクジェット印刷装置。
  4. 前記複数のインクジェット・ヘッドのうちのそれぞれのインクジェット・ヘッドは赤色のインク、緑色のインク、青色のインク、シアン色のインク、黄色のインク、マゼンタ色のインク、白色のインク、及び透明色のインクのうちの少なくとも１つを印刷することができる請求項１記載のインクジェット印刷装置。
  5. 前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの少なくとも１つのインクジェット・ヘッドは前記インクジェット・ヘッド支持体に対して回転可能である請求項１記載のインクジェット印刷装置。
  6. 前記第１のインクジェット・ヘッドは前記インクジェット・ヘッド支持体に対して回転可能となっている請求項５記載の装置。
  7. 前記システム・コントローラは前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの少なくとも１つのインクジェット・ヘッドの回転を制御する請求項５記載の装置。
  8. 前記システム・コントローラは２つ以上のインクジェット・ヘッドの同時の動きを制御する請求項１記載の装置。
  9. 前記システム・コントローラは２つ以上のインクジェット・ヘッドを連続的に動かすことを制御する請求項１記載の装置。
  10. 前記装置は基板上に置かれた複数の横方向の異なる部位にあるディスプレイ体上にインクを同時に印刷する請求項１記載の装置。
  11. 前記複数のインクジェット・ヘッドの少なくとも１つのインクジェット・ヘッドに対し、インクジェットのメンテナンス動作、ヘッドのクリーニング動作、ヘッドの拭き取り動作のうちの少なくとも１つを実行するための手段を
    更に含む請求項１記載の装置。
  12. 前記システム・コントローラは印刷動作に先立ち、前記複数のインクジェット・ヘッドの１つのインクジェット・ヘッドを横方向に位置調整するか、または、回転するかのいずれか少なくとも一つを行う請求項１記載の装置。
  13. 前記システム・コントローラは画像データ・ファイルから取得される情報に基づいて、前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの１つのインクジェット・ヘッドを横方向に位置調整するか、または、回転するかのいずれか少なくとも一つを行う請求項１２記載の装置。
  14. 前記システム・コントローラはメンテナンス動作が少なくとも１つのインクジェット・ヘッドに対して行われる場所に前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの少なくとも１つのインクジェット・ヘッドを動かす請求項１記載の装置。
  15. 複数のインクジェット・ヘッドであって、前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの第１のインクジェット・ヘッドは、前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの第２のインクジェット・ヘッドに対して、横方向軸に沿って２つの方向に独立に移動可能であるようになっており、更に、前記第１のインクジェット・ヘッドは前記インクジェット・ヘッド支持体に対して回転可能になっている複数のインクジェット・ヘッドを
    更に含むインクジェット・ヘッド支持体を含むインクジェット印刷装置。
  16. 前記インクジェット・ヘッド支持体は３つのインクジェット・ヘッドを含む請求項１５記載のインクジェット印刷装置。
  17. システム・コントローラであって、前記システム・コントローラは前記第２のインクジェット・ヘッドに対する前記第１のインクジェット・ヘッドの独立の横方向の動きを制御するシステム・コントローラを
    更に含む請求項１５記載の装置。
  18. システム・コントローラであって、前記システム・コントローラは前記インクジェット・ヘッド支持体に対する前記第１のインクジェット・ヘッドの回転を制御するシステム・コントローラを
    更に含む請求項１５記載の装置。
  19. システム・コントローラであって、前記システム・コントローラは前記第１のインクジェット・ヘッド及び第２のインクジェット・ヘッドのうちの少なくとも１つの印刷動作を制御するシステム・コントローラを
    更に含む請求項１５記載の装置。
  20. 複数のインクジェット・ヘッドのうちの第１のインクジェット・ヘッドが、前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの第２のインクジェット・ヘッドに対して横方向軸に沿って２つの方向に独立に移動可能である複数のインクジェット・ヘッドを有するインクジェット・ヘッド支持体を設け、
    前記第２のインクジェット・ヘッドに対して横方向に前記第１のインクジェット・ヘッドを独立に動かし、
    前記第１のインクジェット・ヘッド及び前記第２のインクジェット・ヘッドを用いて、基板上に印刷動作を行う
    インクジェット印刷方法。
  21. 前記インクジェット・ヘッド支持体に対して、前記第１のインクジェット・ヘッド及び前記第２のインクジェット・ヘッドのうちの少なくとも１つを回転させることを
    更に含む請求項２０記載の方法。
  22. 前記インクジェット・ヘッド支持体に対して、横方向に独立に前記第１のインクジェット・ヘッド及び前記第２のインクジェット・ヘッドを独立に動かすことを
    更に含む請求項２０記載の方法。
  23. 前記インクジェット・ヘッド支持体に対して、横方向に独立に且つ同時に、前記第１のインクジェット・ヘッド及び前記第２のインクジェット・ヘッドを動かすことを
    更に含む請求項２０記載の方法。
  24. 基板上の横方向に異なる位置にある複数のディスプレイ体に対し、印刷動作を同時に行うことを
    更に含む請求項２０記載の方法。
  25. 印刷動作の間、前記第１のインクジェット・ヘッドは第１のディスプレイ体に印刷を行い、前記第２のインクジェット・ヘッドは前記第１のディスプレイ体から横方向に離れた位置にある第２のディスプレイ体に印刷を行う請求項２４記載の方法。
  26. 印刷動作に先立ち、前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの１つのインクジェット・ヘッドを横方向に位置調整するか、回転させるかの少なくとも一つを行うことを
    更に含む請求項２０記載の方法。
  27. メンテナンスの場所まで前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの１つのインクジェット・ヘッドを動かすことを
    更に含む請求項２０記載の方法。
  28. 第１のディスプレイ体に対して複数のインクジェット・ヘッドを同時に通過させ、前記第１のディスプレイ体上にインクを印刷するために前記複数のインクジェット・ヘッドを用いることにより、基板の第１のディスプレイ体上での第１の印刷パスを実行し、前記第１のディスプレイ体上での印刷のための位置から、前記基板上の第２のディスプレイ体上での印刷のための位置へ前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの第１のものを横方向にずらし、
    前記第２のディスプレイ体上にインクをプリントするために前記第１のインクジェット・ヘッドを用い、前記第１のディスプレイ体上へのインクを印刷するために前記複数のインクジェット・ヘッドのうちの少なくとも第２のものを用いることによって、前記第１のディスプレイ体上での第２の印刷パス及び前記第２のディスプレイ体上での第１の印刷パスを同時に実行する方法。
  29. 前記基板は各印刷パスの間、前記インクジェット・ヘッドの下を動く請求項２８記載の方法。
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