JP2006205004A - パターン形成装置、ヘッドユニット、ヘッドの位置決め方法 - Google Patents

Abstract

【課題】調整機構及び制御機構を簡素化すると共にパターン形成を高精度かつ効率的に行うことを可能とするパターン形成装置等を提供する。
【解決手段】ヘッドユニット３は、３色分（例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂ）の３つの第１ヘッドユニット５等から構成される。第１ヘッドユニット５は、複数のヘッド７（インクジェットヘッド）が板状部材のバー９に設けられて構成される。第１ヘッドユニット５−１、５−２、…は、それぞれ、回転機構１３−１、１３−２、…を介して板状部材のベース１１に取り付けられる。第１ヘッドユニット５−１、５−２、…は、それぞれ、回転機構１３−１、１３−２、…により中心点２３−１、２３−２、…を中心に回転し、位置決め制御される。
【選択図】図２

Description

本発明は、表示装置におけるカラーフィルタ等のパターンを形成するパターン形成装置等に関する。より詳細には、インクジェット方式等によりパターンを形成するパターン形成装置等に関する。

従来、基板上に液晶ディスプレイにおけるカラーフィルタのパターンを形成する方法として、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法等の各種方法がある。
しかしながら、上記の方法はいずれもＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色について同一工程を繰り返す必要があるので、コスト、歩留まり等の面で問題点がある。

そこで、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のインクをインクジェット方式により基板上に吐出して着色層パターンを形成するパターン形成装置が提案されている（例えば、［特許文献１］参照。）。
このインクジェット方式によれば、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のパターン形成を一度の工程により行い、製造工程を簡素化することができるので、コストの低減、歩留まりの向上等を図ることができる。

図１４及び図１５は、従来のインクジェット方式のパターン形成装置におけるインクジェットヘッドの配置及び位置決め方法を示す図である。
図１４に示すように、塗布幅（Ｙ方向）を拡大するためにインクジェットヘッドを複数配列する場合、千鳥足状に配列する方法が一般的である。この場合、例えば、複数のインクジェットヘッド５０１は、平行する２つの直線状に交互に配列される。ノズル孔５０２は、インクジェットヘッド５０１の左右端部には設けられないので、塗布方向（Ｘ方向）から見てノズル孔の全配列において空白部分が生じないようにするために交互に配列される。この従来のパターン形成装置は、各インクジェットヘッド５０１について、Ｙ方向の調整機構５０４及びθ方向の調整機構５０５とを備える。

図１５に示すように、従来のインクジェット方式のパターン形成装置は、パターン間ピッチが変更された場合、各インクジェットヘッド５０１をＹ方向（ｙ１、ｙ２、ｙ３、…）及びθ方向（φ）について調整し、ノズル孔５０２の位置を塗布対象である基板上の所定のパターン５０３の位置に調整する。

また、近年、基板に用いられるガラスは、厚さが薄くなると共に、生産性を向上させるため、ガラスサイズが大型化しており、例えば、厚さ１ｍｍ以下、１５００ｍｍ×１８００ｍｍ（Ｇ６）、１９００ｍｍ×２２００ｍｍ（Ｇ７）等のサイズのものが用いられる。

特開２００２−３６１８５２号公報

しかしながら、加工対象たる基板の大型化に伴い、塗布幅の拡大、変更に対応するためには、インクジェットヘッドを大規模化したりインクジェットヘッド数を増加する必要があるが、この場合、上記Ｙ方向及びθ方向の調整機構（旋回用及び列方向移動用のアクチュエータ）はインクジェットヘッド毎に個別に設ける必要があるので、調整機構の大規模化あるいは増設等を行う必要が生じてコスト的負担、維持管理負担等が増大するという問題点がある。また、各インクジェットヘッドに対する制御も困難かつ複雑化するという問題点がある。

本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、調整機構及び制御機構を簡素化すると共にパターン形成を高精度かつ効率的に行うことを可能とするパターン形成装置等を提供することを目的とする。

前述した目的を達成するために第１の発明は、基板に対してヘッドによる加工処理を行いパターンを形成するパターン形成装置であって、１つまたは複数のヘッドが配置される複数の第１ヘッドユニットと、前記複数の第１ヘッドユニットを一体として所定の方向に直線移動させる直線移動手段と、前記第１ヘッドユニット毎に設けられ、前記複数の第１ヘッドユニットを個別に回転させる回転手段と、を具備することを特徴とするパターン形成装置である。

パターン形成装置は、インクジェット方式等によりカラーフィルタ等を製造する装置である。カラーフィルタは、ＬＣＤ（液晶ディスプレイパネル）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、有機ＥＬ（ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ Ｄｉｓｐｌａｙ）等の表示装置に用いられる。
ヘッドは、基板等にパターン形成を行う加工処理装置であり、インクジェットヘッド等である。

直線移動手段は、所定の方向に直線移動させる直線移動機構であり、スライド機構（スライドレール、スライダ（スライドブッシュ）等）、リニアモータ、ボールネジ及びサーボモータ等を用いることができる。所定の方向は、例えば、塗布幅方向（Ｙ方向）等である。
回転手段は、回転機構であり、ダイレクトドライブモータ等を用いることができる。

第１の発明では、パターン形成装置は、１つまたは複数のヘッドが配置される複数の第１ヘッドユニットを一体として所定の方向に直線移動させ、第１ヘッドユニット毎に回転手段を設け、当該回転手段により複数の第１ヘッドユニットを個別に回転させ、ヘッドの位置決め制御を行う。
例えば、複数の第１ヘッドユニットをそれぞれ別個の回転機構を介してベース等に取り付け、当該ベースを直線移動機構に取り付けて、パターン形成装置を構成することができる。

第１の発明では、直線移動機構を備えるヘッドユニットに設けられる複数の第１ヘッドユニットを、それぞれ個別に回転位置決め制御することができるので、回転位置決めに起因するパターンピッチ方向のズレ量を補正するためのストロークを設ける必要がなく、複数の第１ヘッドユニットの長尺方向長さを各々略同一とすることもできる。
また、回転機構は、第１ヘッドユニット毎に設けられるので、当該回転機構が支持すべき重量を軽減して、当該回転機構の装置構成を簡素化することができる。従って、位置決め精度を維持すると共に、装置規模、装置重量、装置生産工程等を簡素化して、費用的負担、維持管理負担等を軽減することができる。

また、回転角の大きさが小さいほどヘッド間ピッチが大きくなり、その分、調整作業、交換作業等の作業領域を確保することができる。
また、ヘッドユニットに第１ヘッドユニットを取り付けた後であっても、各第１ヘッドユニットを個別に回転位置決め制御することにより、各第１ヘッドユニット間の相対位置を調整することができ、ヘッド位置の調整に係る労力的負担を軽減することができる。

第２の発明は、基板上にヘッドによる加工処理を行いパターンを形成するヘッドユニットであって、１つまたは複数のヘッドが配置される複数の第１ヘッドユニットと、前記第１ヘッドユニット毎に設けられ、前記複数の第１ヘッドユニットを個別に回転させる回転手段と、を具備することを特徴とするヘッドユニットである。

第２の発明は、第１の発明のパターン形成装置のヘッドユニットに関する発明である。

第３の発明は、基板に対して加工処理を行いパターンを形成するヘッドの位置決め方法であって、１つまたは複数のヘッドが配置される複数の第１ヘッドユニットを一体として所定の方向に直線移動させる直線移動ステップと、前記複数の第１ヘッドユニットを個別に回転させる回転ステップと、を具備することを特徴とするヘッドの位置決め方法である。

第３の発明は、第１の発明及び第２の発明におけるヘッドの位置決め方法に関する発明である。

本発明によれば、調整機構及び制御機構を簡素化すると共にパターン形成を高精度かつ効率的に行うことを可能とするパターン形成装置等を提供することができる。

以下、添付図面を参照しながら、本発明に係るパターン形成装置等の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明及び添付図面において、略同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略することにする。

最初に、図１を参照しながら、本発明の実施の形態に係るパターン形成装置１の構成について説明する。
図１は、パターン形成装置１の概略斜視図である。
尚、θ軸は鉛直方向回転軸を示し、θ方向はその回転方向を示す。Ｙ軸は塗布幅方向を示し、Ｘ軸は塗布方向を示し、θ軸、Ｙ軸、Ｘ軸は、互いに直角をなす。

図１に示すパターン形成装置１は、ヘッドユニット３、吸着テーブル１０１、Ｘ軸移動ステージ１０２、θ軸移動ステージ１０３、アライメントカメラ１０４等により構成される。

パターン形成装置１は、インクジェット方式によりカラーフィルタを製造する装置である。パターン形成装置１は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の三色の色素を含有するインクをインクジェット方式で光透過性の基板上に吐出し、各インクを乾燥させて着色画素部を形成し、当該基板上にカラーフィルタパターンを形成する。

ヘッドユニット３は、インクジェットヘッドを有し、基板に対してインクを吐出してパターン形成を行う。ヘッドユニット３については、後述する。
吸着テーブル１０１は、カラーフィルタパターンを形成する対象となる基板１０５（ガラス基板、フィルム基板等）を吸着して固定するテーブルである。基板の吸着は、例えば、吸着テーブルと基板との間の空気を減圧、真空にすることにより行われる。この場合、吸着テーブルには、空気を吸引するための小孔（図示しない）が設けられ、吸着の際には当該孔を通じて真空ポンプ（図示しない）等により空気の吸引が行われる。

Ｘ軸移動ステージ１０２は、直線移動ステージであり、例えば、ステップモータ、サーボモータ等の制御可能なモータによって所定の軸方向に移動可能に支持される。Ｘ軸移動ステージ１０２は、アライメント部（図示しない）が出力する制御量に基づいて、吸着テーブル１０１をＸ軸方向に移動する。

尚、Ｙ方向に関しては、吸着テーブル１０１側に、Ｘ軸移動ステージ１０２と同様の機構を有するＹ軸移動ステージ（図示しない。）を設けてもよいし、ヘッドユニット３側にＹ軸移動機構１７（スライダ１５、スライドレール１６等）を設けるようにしてもよい。

θ軸移動ステージ１０３は、回転ステージであり、例えば、ステップモータ、サーボモータ等の制御可能なモータによって所定の回転軸に回転自在に支持される。θ軸移動ステージ１０３は、アライメント部（図示しない）が出力する制御量に基づいて、吸着テーブル１０１を回転する。

アライメントカメラ１０４は、吸着テーブル１０１に吸着固定された基板１０５のθ方向角度及びＸＹ座標を検出するために、基板１０５の所定箇所（基板上に形成されるアライメントマーク（図示しない）等）を撮像するカメラである。アライメントカメラ１０４の撮像画像は、パターン形成装置１のアライメント部（図示しない）に入力される。
尚、アライメントカメラ１０４は、パターン形成装置１のフレーム（図示しない）に固定支持される。

アライメント部（図示しない）は、撮像画像に基づいて基板１０５のθ方向角度及びＸＹ座標を抽出する処理を行う。アライメント部（図示しない）は、抽出したデータを所定のデータと比較してそれらの偏差を算出し、偏差を小さくするように制御量を演算する。アライメント部（図示しない）は、Ｘ軸移動ステージ１０２、θ軸移動ステージ１０３、Ｙ軸移動ステージ、Ｙ軸移動機構等に対してそれぞれの制御量を出力して各ステージの位置制御を行う。このように、アライメント部（図示しない）は、アライメントカメラ１０４の撮像画像に基づいて、基板１０５が所定のθ方向角度、所定のＸＹ座標となるように制御する。

このように、パターン形成装置１は、Ｘ軸移動ステージ１０２、θ軸移動ステージ１０３、Ｙ軸移動ステージ、Ｙ軸移動機構等により、所定のＸＹ座標、所定のθ方向角度となるように、基板１０５の位置決めを行う。

次に、図２を参照しながら、ヘッドユニット３について説明する。
図２は、ヘッドユニット３の外観斜視図である。
図２に示すヘッドユニット３は、３色分（例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂ）の３つの第１ヘッドユニット５等から構成される。

ヘッドユニット３は、複数の第１ヘッドユニット５−１、５−２、…を備え、Ｙ軸移動機構１７（スライダ１５、スライドレール１６）を介して、定盤（図示しない）に固定されるガントリ１９に取り付けられる。
Ｙ軸移動機構１７による位置制御により、ヘッドユニット３全体のＹ方向の位置調整を行うことができる。
尚、Ｙ軸移動機構１７としては、汎用のものを用いることができ、例えば、リニアモータ、ＬＭガイド（ＴＨＫ株式会社製）等を用いることができる。

第１ヘッドユニット５は、少なくとも１つのヘッド７（インクジェットヘッド）が板状部材のバー９に設けられて構成される。
第１ヘッドユニット５−１、５−２、…は、それぞれ、回転機構１３−１、１３−２、…を介して板状部材のベース１１に取り付けられる。
尚、回転機構１３としては、ダイレクトドライブモータ等を用いることができる。

次に、図３〜図８を参照しながら、パターン形成装置１の動作について説明する。
図３及び図４は、パターン形成装置１のヘッドユニット３を下方から見た図である。
図５及び図６は、ヘッドユニット３の比較対象たるヘッドユニット３ａを下方から見た図である。
図７及び図８は、ノズル孔位置とパターン位置との関係図である。
図３、図５、図７は、回転角θ＝０の場合を示す。
図４、図６、図８は、回転角θ＝φ（φ≠０）の場合を示す。

図３及び図４に示すヘッドユニット３では、パターン形成装置１は、回転機構１３−１、１３−２、…により、それぞれ、中心点２３−１、２３−２、…を中心に第１ヘッドユニット５−１、５−２、…を回転させて位置決めを行う。

ノズル孔間ピッチ２０１（ａ）とパターン間ピッチ２０２（ｂ）（ノズル孔８間の距離）が一致する場合（図７参照。）、図３に示すように、パターン形成装置１は、回転機構１３−１、１３−２、…により、第１ヘッドユニット５−１、５−２、…を回転角θ＝０の位置に回転させる。
ノズル孔間ピッチ２０１（ａ）とパターン間ピッチ２０２（ｂ）（ノズル孔８間の距離）が一致しない場合（図８参照）、図４に示すように、パターン形成装置１は、回転機構１３−１、１３−２、…により、第１ヘッドユニット５−１、５−２、…を回転角θ＝φ（ｂ＝ａ×ｃｏｓφ）の位置に回転させる。

一方、図５及び図６に示す、ヘッドユニット３の比較対象たるヘッドユニット３ａは、複数の第１ヘッドユニット５ａ−１、５ａ−２、…が回転機構を介さずに直接ベース１１ａに取り付けられる。また、ヘッドユニット３ａには、ベース１１ａ全体を回転させる回転機構１３ａが設けられる。
ヘッドユニット３ａでは、回転機構１３ａにより、中心点２３ａを中心にベース１１ａ全体を回転させて、すなわち、第１ヘッドユニット５ａ−１、５ａ−２、…を一体として回転させて位置決めが行われる。

ノズル孔間ピッチ２０１（ａ）とパターン間ピッチ２０２（ｂ）（ノズル孔８間の距離）が一致する場合（図７参照。）、図５に示すように、回転機構１３ａは、ベース１１ａ全体を回転させて、すなわち、第１ヘッドユニット５ａ−１、５ａ−２、…を一体として回転角θ＝０の位置に回転させる。
ノズル孔間ピッチ２０１（ａ）とパターン間ピッチ２０２（ｂ）（ノズル孔８間の距離）が一致しない場合（図８参照。）、図６に示すように、回転機構１３ａは、ベース１１ａ全体を回転させて、すなわち、第１ヘッドユニット５ａ−１、５ａ−２、…を一体として回転角θ＝φ（ｂ＝ａ×ｃｏｓφ）の位置に回転させる。

以上説明したように、図３及び図４に示すヘッドユニット３では、第１ヘッドユニット５−１、５−２、…は、それぞれ、回転機構１３−１、１３−２、…により中心点２３−１、２３−２、…を中心に回転し、位置決め制御される。そして、この回転に起因する、各第１ヘッドユニット５の長尺方向（Ｗ方向）に関するヘッド７の位置ズレの補正量は、ノズル孔間ピッチ２０１（ａ）に満たないものである。
従って、図３及び図４に示すヘッドユニット３では、上記回転に起因するＹ方向ズレ量を補正するために、第１ヘッドユニット５のバー９の長さに関して特段の配慮は必要なく、複数の第１ヘッドユニット５に関して、同一長のバー９を用いることもできる。

また、回転機構１３は、第１ヘッドユニット５毎に設けられるので、当該回転機構１３が支持すべき重量を軽減して、当該回転機構１３の装置構成を簡素化することができる。
このように、ヘッドユニット３では、装置規模、装置重量、装置生産工程等を簡素化して費用的負担、維持管理負担等を軽減することができる。

一方、図５及び図６に示す、ヘッドユニット３の比較対象たるヘッドユニット３ａでは、第１ヘッドユニット５ａ−１、５ａ−２、…は、ベース１１ａに直接取り付けられ、回転機構１３ａは、当該ベース１１ａ全体を回転させる。すなわち、第１ヘッドユニット５ａ−１、５ａ−２、…は、中心点２３ａを中心に一体となって回転する。そして、この回転に起因するＹ方向ズレ量を補正するために、主として両外側の第１ヘッドユニット５−１、第１ヘッドユニット５−３において、それぞれ、ヘッド７ａを矢印２７ａ−１方向、矢印２７ａ−３方向に移動させる必要がある。
従って、図５及び図６に示すヘッドユニット３ａでは、上記回転に起因するＹ方向ズレ量を補正するために、主として中央部の第１ヘッドユニット５ａ−２以外の第１ヘッドユニット５ａ−１、５ａ−３に関して、バー９ａの長尺方向の長さを、それぞれ、ストローク２５ａ−１、２５ａ−３の分、長くする必要がある。

また、図３及び図４に示すヘッドユニット３では、第１ヘッドユニット５−１、５−２、…は、それぞれ、中心点２３−１、２３−２、…を中心に回転するので、回転角θの大きさが小さいほどヘッド間ピッチ２１が大きくなり、その分、調整作業、交換作業等の作業領域を確保することができる。
一方、図５及び図６に示すヘッドユニット３ａでは、第１ヘッドユニット５ａ−１、５ａ−２、…は、中心点２３ａを中心に一体となって回転し、回転角θの大きさに関わらず、ヘッド間ピッチ２１ａが変わらないので、作業領域を確保することが困難な場合がある。

図９及び図１１は、パターン形成装置１のヘッドユニット３ｂを下方から見た図である。
図９は、回転角θ＝０の場合を示す。図１１は、回転角θ＝ψ（ψ≠０）の場合を示す。
図１０は、図９に示すヘッドユニット３ｂを水平方向から見た図である。

図３及び図４に示すヘッドユニット３では、第１ヘッドユニット５−１、５−２、…の重心近傍を回転機構１３−１、１３−２、…の中心点２３−１、２３−２、…としているが、回転機構１３の中心点２３の位置は、特に限定されない。
第１ヘッドユニット５の重心近傍のみならず、例えば、バー９上の任意の位置を回転機構１３の中心点２３とすることができる。

また、図９〜図１１に示すヘッドユニット３ｂのように、回転機構１３が第１ヘッドユニット５からオフセットしていてもよい。この場合、中心点２３は、バー９の外側に位置する。
ヘッドユニット３ｂでは、第１ヘッドユニット５−１、５−２…の長尺方向の一方の端部が回転機構１３−１、１３−２、…に連結される。この場合、第１ヘッドユニット５−１、５−２、…は、片持状態となるので、長尺方向の他方の端部には、案内部材（ガイド）（図示しない。）を設けて、姿勢を保持するようにしてもよい。

また、図２等では、ヘッドユニット３は、３つの第１ヘッドユニット５を備えるものとして説明したが、ヘッドユニット３に設ける第１ヘッドユニット５の数、色等に特段の制限はなく、２つあるいは４つ以上であってもよい。
また、第１ヘッドユニット５に関しては、種々の形態を採ることができる。１つの第１ヘッドユニット５に設けるヘッド７の数、色、配置形態等については、図２等に示すものに限定されない。

図１２は、第１ヘッドユニット５ｂの一態様を示す図である。
図１２に示す第１ヘッドユニット５ｂは、複数の第２ヘッドユニット３１ｂを有する。第２ヘッドユニット３１ｂは、スライド機構（図示しないスライドブッシュ、スライドレール３５）を介してバー９に取り付けられ、バー９の長尺方向（Ｗ方向）を移動可能である。
第２ヘッドユニット３１ｂには、複数のヘッド７が位置決めブロック３３を介して隣接配置される。また、当て止め機構３７、押し付け機構３９を設けて、第２ヘッドユニット３１ｂのＷ方向についての位置調整を行うこともできる。

図１３は、第１ヘッドユニット５ｃの一態様を示す図である。
図１３に示す第１ヘッドユニット５ｃは、１つの第２ヘッドユニット３１ｃを有する。第２ヘッドユニット３１ｃは、スライド機構（図示しないスライドブッシュ、スライドレール３５）を介してバー９に取り付けられ、バー９の長尺方向（Ｗ方向）を移動可能である。
第２ヘッドユニット３１ｃでは、位置決めブロック３３が取り付けられた１つのヘッド７が配置される。また、当て止め機構３７、押し付け機構３９を設けて、第２ヘッドユニット３１ｃのＷ方向についての位置調整を行うこともできる。

尚、当て止め機構３７は、当て止めにより位置調整を行う機構である。当て止め位置の調整に関しては、スペーサとしての位置決めブロックをヘッド装着前に装着して、当て止め機構に設けられる調整機構（マイクロメータ等）により微調整を行うことができる。押し付け機構３９は、当て止め手段からの押圧力を受け止める機構であり、例えば、バネ機構等を用いることができる。
また、スライド機構に関しては、例えば、スライドレール、当該スライドレールに着脱可能なスライダ（スライドブッシュ）、サーボモータ及びボールネジ、アクチュエータとしてのシャフト式リニアモータ等を用いることができる。この場合、サーボモータ等、それ自身で、位置決め機能を有しているものは、当て止め手段、押し付け手段は必要ない。

以上説明したように、本発明によれば、パターン形成装置は、Ｙ軸移動機構を備える１つのヘッドユニットに設けられる複数の第１ヘッドユニットを、それぞれ個別に回転位置決め制御することができるので、回転位置決めに起因するＹ方向ズレ量を補正するためのストロークを設ける必要がない。また、回転機構は、第１ヘッドユニット毎に設けられるので、当該回転機構が支持すべき重量を軽減して、当該回転機構の装置構成を簡素化することができる。従って、位置決め精度を維持すると共に、装置規模、装置重量、装置生産工程等を簡素化して、費用的負担、維持管理負担等を軽減することができる。

また、回転角の大きさが小さいほどヘッド間ピッチが大きくなり、その分、調整作業、交換作業等の作業領域を確保することができる。
また、ヘッドユニットに第１ヘッドユニットを取り付けた後であっても、各第１ヘッドユニットを個別に回転位置決め制御することにより、各第１ヘッドユニット間の相対位置を調整することができ、ヘッド位置の調整に係る労力的負担を軽減することができる。
また、インクの吐出は、インクジェットヘッドに限られず、例えば、ディスペンサ等を用いることもできる。
また、パターン形成装置のヘッドに関しては、インクジェットヘッドに限られず、レーザ照射ヘッド等、様々な加工装置を適用することができる。

以上、添付図面を参照しながら、本発明にかかるパターン形成装置等の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

パターン形成装置１の概略斜視図 ヘッドユニット３の外観斜視図 パターン形成装置１のヘッドユニット３を下方から見た図（回転角θ＝０の場合） パターン形成装置１のヘッドユニット３を下方から見た図（回転角θ＝φの場合） ヘッドユニット３の比較対象たるヘッドユニット３ａを下方から見た図（回転角θ＝０の場合） ヘッドユニット３の比較対象たるヘッドユニット３ａを下方から見た図（回転角θ＝φの場合） ノズル孔位置とパターン位置との関係図（回転角θ＝０の場合） ノズル孔位置とパターン位置との関係図（回転角θ＝φの場合） パターン形成装置１のヘッドユニット３ｂを下方から見た図（回転角θ＝０の場合） 図９に示すヘッドユニット３ｂを水平方向から見た図 パターン形成装置１のヘッドユニット３ｂを下方から見た図（回転角θ＝ψの場合） 第１ヘッドユニット５ｂの一態様を示す図 第１ヘッドユニット５ｃの一態様を示す図 従来のインクジェット方式のパターン形成装置におけるインクジェットヘッドの配置及び位置決め方法 従来のインクジェット方式のパターン形成装置におけるインクジェットヘッドの配置及び位置決め方法

符号の説明

１………パターン形成装置
３、３ｂ………ヘッドユニット
５−１、５−２、５−３、………第１ヘッドユニット、
７………ヘッド
８………ノズル孔
９………バー
１１………ベース
１３−１、１３−２、１３−３、………回転機構
１５………スライダ
１６………スライドレール
１７………Ｙ軸移動機構
１９………ガントリ
２１………ヘッド間ピッチ
２３−１、２３−２、２３−３、………中心点
２５………ストローク
２０１………ノズル孔間ピッチ
２０２………パターン間ピッチ

Claims (5)

1. 基板に対してヘッドによる加工処理を行いパターンを形成するパターン形成装置であって、
   １つまたは複数のヘッドが配置される複数の第１ヘッドユニットと、
   前記複数の第１ヘッドユニットを一体として所定の方向に直線移動させる直線移動手段と、
   前記第１ヘッドユニット毎に設けられ、前記複数の第１ヘッドユニットを個別に回転させる回転手段と、
   を具備することを特徴とするパターン形成装置。
2. 前記複数の第１ヘッドユニットの長尺方向長さは、それぞれ、略同一であることを特徴とする請求項１に記載のパターン形成装置。
3. 基板上にヘッドによる加工処理を行いパターンを形成するヘッドユニットであって、
   １つまたは複数のヘッドが配置される複数の第１ヘッドユニットと、
   前記第１ヘッドユニット毎に設けられ、前記複数の第１ヘッドユニットを個別に回転させる回転手段と、
   を具備することを特徴とするヘッドユニット。
4. 前記複数の第１ヘッドユニットの長尺方向長さは、略同一であることを特徴とする請求項３に記載のヘッドユニット。
5. 基板に対して加工処理を行いパターンを形成するヘッドの位置決め方法であって、
   １つまたは複数のヘッドが配置される複数の第１ヘッドユニットを一体として所定の方向に直線移動させる直線移動ステップと、
   前記複数の第１ヘッドユニットを個別に回転させる回転ステップと、
   を具備することを特徴とするヘッドの位置決め方法。

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