JP2006240015A - パターン形成装置、アライメント装置、基板処理装置、パターン形成方法、基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の位置を補正し、パターン形成を高精度かつ効率的に行うことを可能とするパターン形成装置等を提供する。
【解決手段】パターン形成装置1は、移動カメラ13により登録対象の基板3の各アライメントマーク37を撮像し、各撮像画像を合成し、合成画像におけるアライメントマーク37間の相対位置、移動カメラ13の位置、X方向移動ステージ9の位置、アライメントマーク37の位置、回転角等を登録し、次の加工対象の基板3が投入されると、投入した基板3のアライメントマーク37を撮像して各撮像画像を合成し、θ方向移動ステージ7を回転させて、合成画像において、登録した相対位置と加工対象の基板のアライメントマーク37間の相対位置とを一致させる。パターン形成装置1は、個々のアライメントマーク37の位置ずれ量に基づいてX方向補正量及びY方向補正量を算出し、ヘッドユニット23による加工時の装置座標にオフセットする。
【選択図】図1
【解決手段】パターン形成装置1は、移動カメラ13により登録対象の基板3の各アライメントマーク37を撮像し、各撮像画像を合成し、合成画像におけるアライメントマーク37間の相対位置、移動カメラ13の位置、X方向移動ステージ9の位置、アライメントマーク37の位置、回転角等を登録し、次の加工対象の基板3が投入されると、投入した基板3のアライメントマーク37を撮像して各撮像画像を合成し、θ方向移動ステージ7を回転させて、合成画像において、登録した相対位置と加工対象の基板のアライメントマーク37間の相対位置とを一致させる。パターン形成装置1は、個々のアライメントマーク37の位置ずれ量に基づいてX方向補正量及びY方向補正量を算出し、ヘッドユニット23による加工時の装置座標にオフセットする。
【選択図】図1
Description
本発明は、表示装置におけるカラーフィルタ等のパターンを形成するパターン形成装置等に関する。より詳細には、インクジェット方式等によりパターンを形成するパターン形成装置等に関する。
近年、コンピュータのディスプレイとして、省スペース・低消費電力を特徴とする液晶カラーディスプレイの需要が高まっている。また、液晶カラーディスプレイは、液晶テレビ用途等としても需要が高まっており、画面の大型化が加速されてきている。
液晶パネルを構成するカラーフィルタの基材としては、従来、ガラス板を用いている。ガラス基材上に、ブラックマトリクスや、カラーフィルタを構成する赤色、緑色及び青色の3色のカラーフィルタ層を生成する。こうして生成されるカラーフィルタ基板と、別工程で生成されるTFT基板とを貼り合わせ、基板間に液晶を注入し偏向フィルムを貼り付けることで液晶パネルが完成する。
従来、基板上に液晶ディスプレイにおけるカラーフィルタ等のパターンを形成する方法として、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法などの各種方法がある。
しかしながら、上記の方法はいずれもR(赤)、G(緑)、B(青)の3色について同一工程を繰り返す必要があるので、コスト、歩留まり等の面で問題がある。
しかしながら、上記の方法はいずれもR(赤)、G(緑)、B(青)の3色について同一工程を繰り返す必要があるので、コスト、歩留まり等の面で問題がある。
そこで、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色のインクをインクジェット方式により基板上に吐出して着色層パターンを形成するパターン形成装置が提案されている(例えば、[特許文献1]参照。)。
このインクジェット方式によれば、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色のパターン形成を1度の工程で行い、製造工程を簡素化することができるので、コストの低減、歩留まりの向上等を図ることができる。
板状の基材にインク、光源等を用いてパターンを形成する場合、精密ステージ装置等を備えるパターン形成装置が用いられる。パターン形成装置は、基材面内にパターンを形成する際、加工部(インクジェットヘッド、レーザ照射ヘッド等)を基材に対して相対的にX方向(パターニング方向、塗布方向)、Y方向(パターニングピッチ方向、塗布幅方向)に走査させる。
近年では、基板に用いられるガラスは、厚さが薄くなると共に、生産性を向上させるため、ガラスサイズが大型化しており、例えば厚さ1mm以下、G6(1500mm×1800mm)、G7(1900mm×2200mm)等のサイズのものが用いられる。
そこで、大型基板に対する装置のコンパクト化を図るべく、基材、加工部を各軸一方向に走査させパターン形成を行う。また、加工タクトを稼ぐべく、加工部の大型化が試みられている。
そこで、大型基板に対する装置のコンパクト化を図るべく、基材、加工部を各軸一方向に走査させパターン形成を行う。また、加工タクトを稼ぐべく、加工部の大型化が試みられている。
また、ガラス基板の位置調整に関しては、基板用のカメラを回転させることにより位置調整を行う位置決め装置が提案されている(例えば、[特許文献2]参照。)。
しかしながら、従来の技術では、位置決めを行う場合、X方向及びY方向及び回転方向の調整を行う必要があり、加工タクトが長くなるという問題点がある。
また、従来の技術では、位置ずれ検出用の撮像装置を高精度に位置決めして設置する必要があるという問題点がある。
また、従来の技術では、位置ずれ検出用の撮像装置を高精度に位置決めして設置する必要があるという問題点がある。
また、[特許文献2]が示す技術では、基板の隅あるいはアライメントマークをカメラで撮影し、各基板の隅毎あるいは各アライメントマーク毎に角度のずれを検出するが、1つのカメラの視野長は、500μm程度であるので、基板の1つの隅あるいは1つのアライメントマークから、角度のずれを高精度に検出することが困難であるという問題点がある。
尚、[特許文献2]が示す技術における、「相対的な位置ずれ」とは、印刷用版とガラス基板との間の相対的な位置ずれを示す。
尚、[特許文献2]が示す技術における、「相対的な位置ずれ」とは、印刷用版とガラス基板との間の相対的な位置ずれを示す。
本発明は、このような問題を鑑みてなされたもので、基板の位置を補正し、パターン形成を高精度かつ効率的に行うことを可能とするパターン形成装置等を提供することを目的とする。
前述した目的を達成するための第1の発明は、基板に対して加工部による加工処理を行いパターンを形成するパターン形成装置であって、前記基板を支持する基板支持部を第1の方向に直線移動させる直線移動手段と、前記基板支持部を水平面内において回転させる回転手段と、移動可能に設けられ、前記基板上の複数のマークを撮像する少なくとも1つの移動カメラと、前記各マークの撮像画像を画像処理してマーク間仮想相対位置を算出するマーク間仮想相対位置算出手段と、登録対象の基板について、前記回転により前記第1の方向と処理基準方向とを平行にした時における、前記マーク間仮想相対位置を登録する登録手段と、加工対象の基板について、前記登録したマーク間仮想相対位置に対するずれを前記回転により補正するマーク間仮想相対位置補正手段と、
を具備することを特徴とするパターン形成装置である。
を具備することを特徴とするパターン形成装置である。
パターン形成装置は、基板を支持する基板支持部を第1の方向(X方向、パターニング方向)に直線移動させる直線移動手段、基板支持部を水平面内において回転させる回転手段、移動可能に設けられ基板上のマークを撮像する移動カメラ等を備える。
パターン形成装置は、インクジェット方式等によりカラーフィルタ等を製造する装置である。カラーフィルタは、LCD(液晶ディスプレイパネル)、有機EL(Electroluminescence Display)等の表示装置に用いられる。
直線移動手段は、基板を支持する基板支持部(吸着テーブル等)を直線移動させる装置である。直線移動手段としては、スライド機構(スライダ、スライドレール等)、リニアモータ等を用いることができる。
直線移動手段は、固定部、可動部等を有する。固定部は、スライドレール等である。可動部は、固定部に沿って移動するスライダ(X方向移動ステージ)等である。尚、可動部をエア浮上させるエア浮上装置等を併せて設けるようにしてもよい。
直線移動手段は、基板を支持する基板支持部(吸着テーブル等)を直線移動させる装置である。直線移動手段としては、スライド機構(スライダ、スライドレール等)、リニアモータ等を用いることができる。
直線移動手段は、固定部、可動部等を有する。固定部は、スライドレール等である。可動部は、固定部に沿って移動するスライダ(X方向移動ステージ)等である。尚、可動部をエア浮上させるエア浮上装置等を併せて設けるようにしてもよい。
回転手段は、基板支持部の水平面内における回転方向(θ方向)の位置調整を行う装置である。回転手段としては、例えば、ステップモータ、サーボモータ、ダイレクトドライブモータ等を用いることができる。
移動カメラは、基板の所定箇所を撮像する装置であり、例えば、CCDカメラ(Charge Coupled Devices)である。撮像画像に画像処理を施し、基板に付されるマーク(アライメントマーク)の位置等を計測する。
加工部は、基板に加工処理を施しパターンを形成する装置であり、例えば、インクジェットヘッド、レーザ照射ヘッド等である。
移動カメラは、基板の所定箇所を撮像する装置であり、例えば、CCDカメラ(Charge Coupled Devices)である。撮像画像に画像処理を施し、基板に付されるマーク(アライメントマーク)の位置等を計測する。
加工部は、基板に加工処理を施しパターンを形成する装置であり、例えば、インクジェットヘッド、レーザ照射ヘッド等である。
パターン形成装置は、移動カメラにより基板上の複数のマークを撮像し、各マークの撮像画像を画像処理してマーク間仮想相対位置、マーク位置等を算出する。
尚、マーク間仮想相対位置は、マーク間の実際の相対的距離とする必要はない。移動カメラの撮像位置を登録した上で各マークの撮影画像を合成し、合成画像上におけるマーク間の相対的位置を算出するようにしてもよい。
尚、マーク間仮想相対位置は、マーク間の実際の相対的距離とする必要はない。移動カメラの撮像位置を登録した上で各マークの撮影画像を合成し、合成画像上におけるマーク間の相対的位置を算出するようにしてもよい。
パターン形成装置は、登録対象の基板(最初に投入する基板等)について、基板支持部を回転させ、第1の方向と基板の処理基準方向とを平行にし、マーク間仮想相対位置、マーク位置、マークの形状、移動カメラの位置、基板支持部の回転角、基板支持部の位置等を登録する。
パターン形成装置は、加工対象の基板(登録対象の基板以降に投入される基板等)について、登録したマーク間仮想相対位置に対するずれを、基板支持部を回転させることにより補正する。すなわち、パターン形成装置は、基板支持部を回転させることにより、加工対象の基板のマーク間仮想相対位置と登録したマーク間仮想相対位置とを一致させる。
パターン形成装置は、加工対象の基板(登録対象の基板以降に投入される基板等)について、登録したマーク間仮想相対位置に対するずれを、基板支持部を回転させることにより補正する。すなわち、パターン形成装置は、基板支持部を回転させることにより、加工対象の基板のマーク間仮想相対位置と登録したマーク間仮想相対位置とを一致させる。
また、パターン形成装置は、加工対象の基板において、登録した情報を初期値として基板支持部、移動カメラを移動あるいは回転させ、基板上のマークを移動カメラの視野に捉えるようにしてもよい。
また、パターン形成装置は、加工対象の基板において、登録したマーク位置に対する位置ずれ量に基づいて、加工処理の補正を行うようにしてもよい。パターン形成装置は、マークの位置ずれ量に基づいて、第2の方向(例えば、第1の方向と直交する方向、Y方向、塗布幅方向)についての加工部の位置、第1の方向(X方向、塗布方向)についての加工処理のタイミング(加工開始時点及び加工終了時点)等を補正する。
このように、パターン形成装置は、基板側では、回転方向(θ方向)の位置補正を行い、第1の方向(X方向)及び第2の方向(Y方向)の位置合わせについては、加工時に装置座標にオフセットするので、基板のアライメント時間を短縮することができ、加工タクトを向上させることができる。
第2の発明は、加工部による加工処理が行われる基板の位置補正を行うアライメント装置であって、前記基板を支持する基板支持部を第1の方向に直線移動させる直線移動手段と、前記基板支持部を水平面内において回転させる回転手段と、移動可能に設けられ、前記基板上の複数のマークを撮像する少なくとも1つの移動カメラと、前記各マークの撮像画像を画像処理してマーク間仮想相対位置を算出するマーク間仮想相対位置算出手段と、登録対象の基板について、前記回転により前記第1の方向と処理基準方向とを平行にした時における、前記マーク間仮想相対位置を登録する登録手段と、加工対象の基板について、前記登録したマーク間仮想相対位置に対するずれを前記回転により補正するマーク間仮想相対位置補正手段と、を具備することを特徴とするアライメント装置である。
第2の発明は、第1の発明のパターン形成装置における、基板のアライメント装置に関する発明である。
第3の発明は、基板に対して加工部による加工処理を行いパターンを形成するパターン形成方法であって、直線移動手段により前記基板を支持する基板支持部を第1の方向に直線移動させる直線移動ステップと、前記基板支持部を水平面内において回転させる回転ステップと、移動可能に設けられる少なくとも1つの移動カメラにより、前記基板上の複数のマークを撮像する撮像ステップと、前記各マークの撮像画像を画像処理してマーク間仮想相対位置を算出するマーク間仮想相対位置算出ステップと、登録対象の基板について、前記回転により前記第1の方向と処理基準方向とを平行にした時における、前記マーク間仮想相対位置を登録する登録ステップと、加工対象の基板について、前記登録したマーク間仮想相対位置に対するずれを前記回転により補正するマーク間仮想相対位置補正ステップと、を具備することを特徴とするパターン形成方法である。
第3の発明は、第1の発明であるパターン形成装置における、パターン形成方法に関する発明である。
第4の発明は、基板に対して相対的に移動可能であり所定の処理を行う処理部を備える基板処理装置であって、前記基板を支持する基板支持部を第1の方向に直線移動させる直線移動手段と、前記基板支持部を水平面内において回転させる回転手段と、移動可能に設けられ、前記基板上の複数のマークを撮像する少なくとも1つの移動カメラと、前記各マークの撮像画像を画像処理してマーク間仮想相対位置を算出するマーク間仮想相対位置算出手段と、登録対象の基板について、前記回転により前記第1の方向と処理基準方向とを平行にした時における、前記マーク間仮想相対位置を登録する登録手段と、処理対象の基板について、前記登録したマーク間仮想相対位置に対するずれを前記回転により補正するマーク間仮想相対位置補正手段と、を具備することを特徴とする基板処理装置である。
基板処理装置は、処理部により基板に対して所定の処理を行う装置である。基板処理装置は、例えば、パターン形成装置、基板検査装置等である。
所定の処理は、例えば、インク塗布、レーザ照射、検査画像の撮像等の処理である。
処理部は、基板に対して所定の処理を行う装置であり、例えば、基板に対してパターン形成を行うヘッド(インクジェットヘッド、レーザ照射ヘッド等)、基板の画像を撮像するカメラ等である。
基板または処理部の少なくともいずれかが水平方向に移動することにより、処理部による基板の走査が行われる。すなわち、処理部は、基板に対して相対的に移動可能である。
所定の処理は、例えば、インク塗布、レーザ照射、検査画像の撮像等の処理である。
処理部は、基板に対して所定の処理を行う装置であり、例えば、基板に対してパターン形成を行うヘッド(インクジェットヘッド、レーザ照射ヘッド等)、基板の画像を撮像するカメラ等である。
基板または処理部の少なくともいずれかが水平方向に移動することにより、処理部による基板の走査が行われる。すなわち、処理部は、基板に対して相対的に移動可能である。
基板処理装置は、移動カメラにより基板上の複数のマークを撮像し、各マークの撮像画像を画像処理してマーク間仮想相対位置、マーク位置等を算出する。
尚、マーク間仮想相対位置は、マーク間の実際の相対的距離とする必要はない。移動カメラの撮像位置を登録した上で各マークの撮影画像を合成し、合成画像上におけるマーク間の相対的位置を算出するようにしてもよい。
尚、マーク間仮想相対位置は、マーク間の実際の相対的距離とする必要はない。移動カメラの撮像位置を登録した上で各マークの撮影画像を合成し、合成画像上におけるマーク間の相対的位置を算出するようにしてもよい。
基板処理装置は、登録対象の基板(最初に投入する基板等)について、基板支持部を回転させ、第1の方向と基板の処理基準方向とを平行にし、マーク間仮想相対位置、マーク位置、マークの形状、移動カメラの位置、基板支持部の回転角、基板支持部の位置等を登録する。
基板処理装置は、処理対象の基板(登録対象の基板以降に投入される基板等)について、登録したマーク間仮想相対位置に対するずれを、基板支持部を回転させることにより補正する。すなわち、基板処理装置は、基板支持部を回転させることにより、処理対象の基板のマーク間仮想相対位置と登録したマーク間仮想相対位置とを一致させる。
基板処理装置は、処理対象の基板(登録対象の基板以降に投入される基板等)について、登録したマーク間仮想相対位置に対するずれを、基板支持部を回転させることにより補正する。すなわち、基板処理装置は、基板支持部を回転させることにより、処理対象の基板のマーク間仮想相対位置と登録したマーク間仮想相対位置とを一致させる。
また、基板処理装置は、処理対象の基板において、登録した情報を初期値として基板支持部、移動カメラを移動あるいは回転させ、基板上のマークを移動カメラの視野に捉えるようにしてもよい。
また、基板処理装置は、処理対象の基板において、登録したマーク位置に対する位置ずれ量に基づいて、処理の補正を行うようにしてもよい。基板処理装置は、マークの位置ずれ量に基づいて、第2の方向(Y方向)についての加工部の位置、第1の方向(X方向)についての処理のタイミング(処理開始時点及び処理終了時点)等を補正する。
このように、基板処理装置は、基板側では、回転方向(θ方向)の位置補正を行い、第1の方向(X方向)及び第2の方向(Y方向)の位置合わせについては、処理時に装置座標にオフセットするので、基板のアライメント時間を短縮することができ、加工タクトを向上させることができる。
第5の発明は、基板に対して相対的に移動可能であり所定の処理を行う処理部を備える基板処理装置における基板処理方法であって、前記基板を支持する基板支持部を第1の方向に直線移動させる直線移動ステップと、前記基板支持部を水平面内において回転させる回転ステップと、移動可能に設けられ、前記基板上の複数のマークを撮像する少なくとも1つの移動カメラと、前記各マークの撮像画像を画像処理してマーク間仮想相対位置を算出するマーク間仮想相対位置算出ステップと、登録対象の基板について、前記回転により前記第1の方向と処理基準方向とを平行にした時における、前記マーク間仮想相対位置を登録する登録ステップと、処理対象の基板について、前記登録したマーク間仮想相対位置に対するずれを前記回転により補正するマーク間仮想相対位置補正ステップと、を具備することを特徴とする基板処理方法である。
第5の発明は、第4の発明の基板処理装置における基板処理方法に関する発明である。
本発明によれば、基板の位置を補正し、パターン形成を高精度かつ効率的に行うことを可能とするパターン形成装置等を提供することができる。
以下、添付図面を参照しながら、本発明に係るパターン形成装置等の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明及び添付図面において、略同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略することにする。
最初に図1を参照しながら、本発明の実施の形態に係るパターン形成装置1の構成について説明する。
図1は、パターン形成装置1の概略斜視図である。
尚、θ軸は鉛直方向回転軸を示し、θ方向はその回転方向を示す。Y軸は塗布幅方向、パターニングピッチ方向を示し、X軸は塗布方向、パターニング方向を示し、θ軸、Y軸、X軸は、互いに直角をなす。
図1は、パターン形成装置1の概略斜視図である。
尚、θ軸は鉛直方向回転軸を示し、θ方向はその回転方向を示す。Y軸は塗布幅方向、パターニングピッチ方向を示し、X軸は塗布方向、パターニング方向を示し、θ軸、Y軸、X軸は、互いに直角をなす。
パターン形成装置1は、インクジェット方式によりカラーフィルタを製造する装置である。パターン形成装置1は、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色の色素を含有するインクをインクジェット方式で光透過性の基板上に吐出し、各インクを硬化させて着色画素部を形成し、当該基板上にカラーフィルタパターンを形成する。
パターン形成装置1は、吸着テーブル5、θ方向移動ステージ7、X方向移動ステージ9、定盤11、移動カメラ13、移動機構15(スライド部17、スライドレール19)、ガントリ21、ヘッドユニット23、回転機構25、Y方向移動機構27(スライド部29、スライドレール31等)、ガントリ33等から構成される。
吸着テーブル5は、カラーフィルタ等のパターンが形成される基板3を吸着して固定するテーブルである。基板3の吸着は、例えば吸着テーブル5と基板3との間の空気を減圧、真空にすることにより実現される。この場合、吸着テーブル5には空気を吸引するための小孔(図示しない)が設けられ、吸着の際には当該孔を通じて真空ポンプ(図示しない)等により空気の吸引が行われる。
θ方向移動ステージ7は、回転ステージであり、例えばステップモータ、サーボモータ、ダイレクトドライブモータ等の制御可能なモータによって所定の回転軸に回転自在に支持される。θ方向移動ステージ7は、制御部101(後述の図2参照。)が出力する制御量に基づいて、吸着テーブル5をθ方向に回転させる。
X方向移動ステージ9は、直線移動ステージであり、例えば、ステップモータ、サーボモータ、リニアモータ等の制御可能なモータによって所定の軸方向に移動可能に支持される。
X方向移動ステージ9は、制御部101(後述の図2参照。)が出力する制御量に基づいて、吸着テーブル5をX方向(パターニング方向、塗布方向)に移動させる。
X方向移動ステージ9は、制御部101(後述の図2参照。)が出力する制御量に基づいて、吸着テーブル5をX方向(パターニング方向、塗布方向)に移動させる。
尚、Y方向に関しては、吸着テーブル5側に、X方向移動ステージ9と同様の機構を有するY方向移動ステージ(図示しない。)を設けてもよいし、ヘッドユニット3側にY方向移動機構27(スライド部29、スライドレール31等)を設けるようにしてもよい。
定盤11は、石製、セラミック製等の高平坦精度を要する盤である。尚、図示しないが、吸着テーブル5、θ方向移動ステージ7、X方向移動ステージ9等をエア浮上させて、定盤11上を移動させる機構を設けることが望ましい。
移動カメラ13は、吸着テーブル5に吸着固定された基板3のθ方向角度及びXY座標を検出するために、基板3の所定箇所(基板上に形成されるアライメントマーク37等)を撮像するカメラである。移動カメラ13の撮像画像は、パターン形成装置1の制御部101(後述の図2参照。)に入力され、画像処理を経て計測が行われる。尚、移動カメラ13としては、例えば、CCD(Charge Coupled Devices)カメラ等を用いることができる。
移動カメラ13は、所定の方向(例えば、Y方向)に移動可能に設けられる。移動カメラ13は、移動機構15(スライド部17、スライドレール19)を介してガントリ21に連結され、所定の方向(例えば、Y方向)に直線移動可能である。ガントリ21は、定盤11に固定される門型フレームである。
移動カメラ13は、所定の方向(例えば、Y方向)に移動可能に設けられる。移動カメラ13は、移動機構15(スライド部17、スライドレール19)を介してガントリ21に連結され、所定の方向(例えば、Y方向)に直線移動可能である。ガントリ21は、定盤11に固定される門型フレームである。
尚、移動カメラ13は、所定の平面内(例えば、水平面内)を移動可能に設けるようにしてもよい。
また、基板3の所定箇所を撮像可能であり、移動カメラ13の撮像位置を記録可能であれば、移動カメラ13、移動機構15の設置位置に関しては、特段の精度を要しない。すなわち、スライドレール19は、厳密にY方向に敷設する必要はない。また、移動機構15により、1つの移動カメラ13で基板3の所定箇所を全て撮像可能であれば、複数の移動カメラ13を設ける必要はなく、1つの移動カメラ13を設ければよい。
また、基板3の所定箇所を撮像可能であり、移動カメラ13の撮像位置を記録可能であれば、移動カメラ13、移動機構15の設置位置に関しては、特段の精度を要しない。すなわち、スライドレール19は、厳密にY方向に敷設する必要はない。また、移動機構15により、1つの移動カメラ13で基板3の所定箇所を全て撮像可能であれば、複数の移動カメラ13を設ける必要はなく、1つの移動カメラ13を設ければよい。
移動機構15に関しては、例えば、リニアモータ、スライド機構等を用いることができる。スライド機構15のスライドレール19際にリニアスケール等の精密測長手段を配置し、スライド機構15のスライド部17側に設けられるリニアスケールヘッドによりリニアスケールの目盛を読み取り、当該リニアスケールの検出値で移動機構15を駆動するモータをフィードバック制御する。
ヘッドユニット23は、位置調整の行われた少なくとも1つのヘッド(インクジェットヘッド、レーザ照射ヘッド等)が配列されたユニットであり、基板3に対してインク吐出、レーザ照射等を行い、パターン形成を行う。
ヘッドユニット23は、回転機構25、Y方向移動機構27(スライド部29、スライドレール31等)等を介してガントリ33に連結され、θ方向に回転可能であり、Y方向(パターニングピッチ方向、塗布幅方向)に直線移動可能である。
ヘッドユニット23は、回転機構25、Y方向移動機構27(スライド部29、スライドレール31等)等を介してガントリ33に連結され、θ方向に回転可能であり、Y方向(パターニングピッチ方向、塗布幅方向)に直線移動可能である。
回転機構25は、ヘッドユニット23のθ方向の位置調整を行う機構である。回転機構25としては、例えば、ステップモータ、サーボモータ、ダイレクトドライブモータ等を用いることができる。
尚、ヘッドユニット23をθ軸鉛直方向に上下移動させる上下移動機構を設けるようにしてもよい。
尚、ヘッドユニット23をθ軸鉛直方向に上下移動させる上下移動機構を設けるようにしてもよい。
Y方向移動機構27は、ヘッドユニット23のY方向の位置調整を行う機構である。Y方向移動機構27としては、例えば、リニアモータ、スライド機構等を用いることができる。
尚、エア浮上機構を用いて、スライド部29をスライドレール31に沿って移動させることが望ましい。スライドレール31際に、リニアスケール等の精密測長手段を配置し、スライド部29側に設けられるリニアスケールヘッドによりリニアスケールの目盛を読み取り、当該リニアスケールの検出値でY方向移動機構27を駆動するモータをフィードバック制御する。
尚、エア浮上機構を用いて、スライド部29をスライドレール31に沿って移動させることが望ましい。スライドレール31際に、リニアスケール等の精密測長手段を配置し、スライド部29側に設けられるリニアスケールヘッドによりリニアスケールの目盛を読み取り、当該リニアスケールの検出値でY方向移動機構27を駆動するモータをフィードバック制御する。
ガントリ33は、定盤11に固定される門型フレームである。尚、ヘッドユニット23をX方向に移動させながらパターニングを行う場合等、ガントリ33上部にスライドレール、駆動等を設けて塗布方向に直線移動させるようにしてもよい。
制御部101は、移動カメラ13の撮像画像に基づいて基板3のθ方向角度及びXY座標を抽出する処理を行う。制御部101は、抽出したデータを所定のデータと比較してそれらの偏差を算出し、偏差を小さくするように制御量を演算する。
制御部101は、X方向移動ステージ9、θ方向移動ステージ7、Y方向移動ステージ等に対してそれぞれの制御量を出力して各ステージの位置制御を行う。このように、制御部101は、移動カメラ13の撮像画像に基づいて、基板3が所定のθ方向角度、所定のXY座標となるように制御する。
制御部101は、X方向移動ステージ9、θ方向移動ステージ7、Y方向移動ステージ等に対してそれぞれの制御量を出力して各ステージの位置制御を行う。このように、制御部101は、移動カメラ13の撮像画像に基づいて、基板3が所定のθ方向角度、所定のXY座標となるように制御する。
パターン形成装置1は、X軸移動ステージ9、θ軸移動ステージ7、Y軸移動ステージ等により、所定のXY座標、所定のθ方向角度となるように、基板3の位置決めを行う。
パターン形成装置1は、基板3の位置決め後、X方向移動ステージ9をX方向に移動させ、基板3をヘッドユニット23の下の所定の位置に搬送する。
パターン形成装置1は、Y方向についてヘッドユニット23の位置決めを行い、基板3とヘッドユニット23とをX方向に相対的に移動させながら、所定のタイミングでヘッドユニット23のノズル孔からインクを吐出させて基板3上にパターンを形成する。
パターン形成装置1は、基板3の位置決め後、X方向移動ステージ9をX方向に移動させ、基板3をヘッドユニット23の下の所定の位置に搬送する。
パターン形成装置1は、Y方向についてヘッドユニット23の位置決めを行い、基板3とヘッドユニット23とをX方向に相対的に移動させながら、所定のタイミングでヘッドユニット23のノズル孔からインクを吐出させて基板3上にパターンを形成する。
尚、パターン形成方向に関しては、+X方向(プラス)の向きのみ、あるいは、−X方向(マイナス)の向きのみにおいて行うようにしてもよいし、±X方向の両向きにおいて行うようにしてもよい。
パターン形成装置1は、以上の処理工程を繰り返して基板3全体にパターン形成を行う。
パターン形成装置1は、以上の処理工程を繰り返して基板3全体にパターン形成を行う。
次に、図2〜図6を参照しながら、本発明の実施の形態に係るパターン形成装置1の動作について説明する。
図2は、パターン形成装置1の構成を制御の観点から示すブロック図である。
パターン形成装置1は、制御部101、位置決め部102、計測手段103、加工手段104等から構成される。
パターン形成装置1は、制御部101、位置決め部102、計測手段103、加工手段104等から構成される。
制御部101は、パターン形成装置1を構成する各装置の動作制御、演算処理等を行う装置であり、例えばコンピュータ等を用いることができる。制御部101は、CPU(Central Processing Unit)111、メモリ112、記憶装置113等を備える。
CPU111は、記憶装置113、ROM(Read Only Memory:図示しない)、記憶媒体(図示しない)等に格納されるプログラムをメモリ112に呼び出して実行し、演算処理、動作制御処理を行う。
メモリ112は、ROM(図示しない)、RAM(Random Access Memory:図示しない)等であり、恒久的或いは一時的に各種情報を保持する。
記憶装置113は、ハードディスクなどの記憶装置であり、登録データ114、補正データ115、各種設定値やパターン形成履歴等の各種データを保持する。尚、登録データ114、補正データ115については、後述する。
記憶装置113は、ハードディスクなどの記憶装置であり、登録データ114、補正データ115、各種設定値やパターン形成履歴等の各種データを保持する。尚、登録データ114、補正データ115については、後述する。
位置決め部102は、基板3及びヘッドユニット23を、所定の位置に配置する装置である。
位置決め部102は、図1では、基板3を移動させるθ方向移動ステージ7、X方向移動ステージ9、ヘッドユニット23を移動させる回転機構25、Y方向移動機構27(スライド部29、スライドレール31等)等に相当する。
位置決め部102は、図1では、基板3を移動させるθ方向移動ステージ7、X方向移動ステージ9、ヘッドユニット23を移動させる回転機構25、Y方向移動機構27(スライド部29、スライドレール31等)等に相当する。
計測手段103は、基板3、ヘッドユニット23の位置情報を計測する装置である。
計測手段103は、図1では、基板3の計測を行う移動カメラ13等に相当する。
。
加工手段104は、基板3に加工処理を行いパターンを形成する装置であり、例えば、インクジェットヘッド、レーザ照射ヘッド等である。
加工手段104は、図1では、ヘッドユニット23等に相当する。
計測手段103は、図1では、基板3の計測を行う移動カメラ13等に相当する。
。
加工手段104は、基板3に加工処理を行いパターンを形成する装置であり、例えば、インクジェットヘッド、レーザ照射ヘッド等である。
加工手段104は、図1では、ヘッドユニット23等に相当する。
図3は、パターン形成装置1の動作を示すフローチャートである。
図4は、X方向移動ステージ9、移動カメラ13、パターン35、アライメントマーク37等の位置関係図である。
図4は、X方向移動ステージ9、移動カメラ13、パターン35、アライメントマーク37等の位置関係図である。
尚、パターン形成装置1の制御部101は、CPU111が記憶装置113等に格納するプログラム(実行プログラム、OSのプログラム等)や、プログラムの実行に必要な各種データ等をメモリ112上にロードして、以下のステップを実行する。
また、図4に示すように、パターン形成装置1は、2つの移動カメラ13−1、1−2を備え、基板3は、パターン35を挟んで、2つのアライメントマーク37−1、37−2が付され、移動カメラ13−1、13−2は、それぞれ、アライメントマーク37−1、37−2を撮像するものとして説明する。
また、図4に示すように、パターン形成装置1は、2つの移動カメラ13−1、1−2を備え、基板3は、パターン35を挟んで、2つのアライメントマーク37−1、37−2が付され、移動カメラ13−1、13−2は、それぞれ、アライメントマーク37−1、37−2を撮像するものとして説明する。
パターン形成装置1の制御部101は、登録対象の基板3(最初の基板3等)が投入されると(ステップ201)、移動カメラ13−1、13−2の視野に、それぞれ、アライメントマーク37−1、37−2を捉える(ステップ202)。
制御部101は、θ方向移動ステージ7を回転させて、基板3の処理基準方向36とX方向移動ステージ9の移動方向39とを平行にする(ステップ203)。尚、パターン35がブラックマトリクス(BM)等の格子状のパターンである場合、図4に示すように、パターン35のX方向の周縁部分を処理基準方向36としてもよい。
パターン形成装置1は、処理基準方向36と移動方向39とを平行にした時点において、移動カメラ13−1、13−2により、それぞれ、アライメントマーク37−1、37−2を撮像して計測し、θ方向移動ステージ7の回転角(θx0)、X方向移動ステージ9の位置、移動カメラ13−1、13−2の位置、アライメントマーク37−1、37−2の形状、アライメントマーク37−1、37−2の位置、アライメントマーク37−1、37−2間の仮想相対位置47(Δx0,Δy0)等を登録データ114として記憶装置113に登録する(ステップ204)。
尚、アライメントマーク37−1、37−2間の仮想相対位置47に関しては、基板3における実際の相対的距離を算出することも可能であるが、図5に示すように、各アライメントマーク37−1、37−2の撮影画像43−1、43−2の合成画像45における相対位置を算出することが望ましい。
制御部101は、アライメントマーク37−1、37−2の位置(x1,y1)、(x2,y2)のずれ量に基づいて、X方向補正量、Y方向補正量を算出し、補正データ115として記憶装置113に保持する(ステップ205)。
制御部101は、補正データ115に基づいて、ヘッドユニット23の位置(Y方向位置等)、基板3の位置(X方向位置等)、加工タイミング(インク吐出開始及び終了のタイミング等)等を調整し、ヘッドユニット23により基板3に対して加工処理を行う(ステップ206)。
制御部101は、補正データ115に基づいて、ヘッドユニット23の位置(Y方向位置等)、基板3の位置(X方向位置等)、加工タイミング(インク吐出開始及び終了のタイミング等)等を調整し、ヘッドユニット23により基板3に対して加工処理を行う(ステップ206)。
パターン形成装置1の制御部101は、次の加工対象の基板3が投入されると(ステップ207のYes、ステップ208)、登録データ114を初期値として、登録したθ方向移動ステージ7の回転角、登録したX方向移動ステージ9の位置、登録した移動カメラ13−1、13−2の位置に基づいて、θ方向移動ステージ7、X方向移動ステージ9、移動カメラ13−1、13−2を移動させ、移動カメラ13−1、13−2の視野に、それぞれ、アライメントマーク37−1、37−2を捉える(ステップ209)
制御部101は、θ方向移動ステージ7を回転させ、アライメントマーク37−1、37−2間の仮想相対位置47(Δx,Δy)と登録データ114の仮想相対位置47(Δx0,Δy0)とを一致させる(ステップ210)。
制御部101は、アライメントマーク37−1、37−2の位置(x1,y1)、(x2,y2)のずれ量に基づいて、X方向補正量、Y方向補正量を算出し、補正データ115として記憶装置113に保持する(ステップ205)。
制御部101は、補正データ115に基づいて、ヘッドユニット23の位置(Y方向位置等)、基板3の位置(X方向位置等)、加工タイミング(インク吐出開始及び終了のタイミング等)等を調整し、ヘッドユニット23により基板3に対して加工処理を行う(ステップ206)。
制御部101は、次の基板3が投入された場合(ステップ207のYes、ステップ208)、ステップ209からの処理を繰り返す。
制御部101は、アライメントマーク37−1、37−2の位置(x1,y1)、(x2,y2)のずれ量に基づいて、X方向補正量、Y方向補正量を算出し、補正データ115として記憶装置113に保持する(ステップ205)。
制御部101は、補正データ115に基づいて、ヘッドユニット23の位置(Y方向位置等)、基板3の位置(X方向位置等)、加工タイミング(インク吐出開始及び終了のタイミング等)等を調整し、ヘッドユニット23により基板3に対して加工処理を行う(ステップ206)。
制御部101は、次の基板3が投入された場合(ステップ207のYes、ステップ208)、ステップ209からの処理を繰り返す。
尚、ステップ205の処理において、X方向補正量及びY方向補正量の算出に関しては、事前に設定したアライメントマーク37の位置からのずれ量を基準として算出するようにしてもよいし、ステップ204の処理において、登録対象の基板3のアライメントマーク37の位置を併せて登録し、登録対象の基板3以降に投入される加工対象の基板3について、登録したアライメントマーク37の位置とステップ210の処理後のアライメントマーク37の位置との差異に基づいて、X方向補正量及びY方向補正量を算出するようにしてもよい。尚、パターン形成装置1は、算出したX方向補正量及びY方向補正量をヘッドユニット23による加工時の装置座標にオフセットする。
図5は、パターン形成装置1の動作の流れを示す図である。
図5では、登録対象の基板3として基板3aを投入し、以降投入される加工対象の基板3として基板3bを投入するものとして説明する。
図5では、登録対象の基板3として基板3aを投入し、以降投入される加工対象の基板3として基板3bを投入するものとして説明する。
S301は、図3のステップ201〜ステップ204の処理に相当する。
登録対象の基板3a「A」が投入されると、パターン形成装置1は、移動カメラ13−1、13−2の視野に、それぞれ、基板3aのアライメントマーク37a−1、37a−2を捉え、θ方向移動ステージ7を回転させて、基板3aの処理基準方向36とX方向移動ステージ9の移動方向39とを平行にする。
登録対象の基板3a「A」が投入されると、パターン形成装置1は、移動カメラ13−1、13−2の視野に、それぞれ、基板3aのアライメントマーク37a−1、37a−2を捉え、θ方向移動ステージ7を回転させて、基板3aの処理基準方向36とX方向移動ステージ9の移動方向39とを平行にする。
画像43a−1、43a−2は、それぞれ、移動カメラ13−1、13−2により基板3aのアライメントマーク37a−1、37a−2を撮像した画像である。
合成画像45aは、画像43a−1、43a−2を合成した画像である。
パターン形成装置1は、合成画像45aにおいて、アライメントマーク37a−1、37a−2間の仮想相対位置47a(Δx0,Δy0)を算出し、θ方向移動ステージ7の回転角、X方向移動ステージ9の位置、移動カメラ13−1、13−2の位置、アライメントマーク37−1、37−2の位置等と共に登録データ114として保持する。
合成画像45aは、画像43a−1、43a−2を合成した画像である。
パターン形成装置1は、合成画像45aにおいて、アライメントマーク37a−1、37a−2間の仮想相対位置47a(Δx0,Δy0)を算出し、θ方向移動ステージ7の回転角、X方向移動ステージ9の位置、移動カメラ13−1、13−2の位置、アライメントマーク37−1、37−2の位置等と共に登録データ114として保持する。
S302は、図3のステップ208〜ステップ209の処理に相当する。
加工対象の次の基板3b「B」が投入されると、パターン形成装置1は、登録データ114を初期値として、登録したθ方向移動ステージ7の回転角、登録したX方向移動ステージ9の位置、登録した移動カメラ13−1、13−2の位置に基づいて、θ方向移動ステージ7、X方向移動ステージ9、移動カメラ13−1、13−2を移動させ、移動カメラ13−1、13−2の視野に、それぞれ、基板3bのアライメントマーク37b−1、37b−2を捉える。
加工対象の次の基板3b「B」が投入されると、パターン形成装置1は、登録データ114を初期値として、登録したθ方向移動ステージ7の回転角、登録したX方向移動ステージ9の位置、登録した移動カメラ13−1、13−2の位置に基づいて、θ方向移動ステージ7、X方向移動ステージ9、移動カメラ13−1、13−2を移動させ、移動カメラ13−1、13−2の視野に、それぞれ、基板3bのアライメントマーク37b−1、37b−2を捉える。
S303は、図3のステップ210の処理に相当する。
画像43b−1、43b−2は、それぞれ、移動カメラ13−1、13−2により基板3bのアライメントマーク37b−1、37b−2を撮像した画像である。
合成画像45bは、画像43b−1、43b−2を合成した画像である。
パターン形成装置1は、合成画像45bにおいて、アライメントマーク37b−1、37b−2間の仮想相対位置47b(Δx,Δy)を算出する。
パターン形成装置1は、θ方向移動ステージ7を回転させることにより、合成画像45bにおいて、アライメントマーク37b−1、37b−2間の仮想相対位置47b(Δx,Δy)と登録データ114に保持した仮想相対位置47a(Δx0,Δy0)とを一致させる。
画像43b−1、43b−2は、それぞれ、移動カメラ13−1、13−2により基板3bのアライメントマーク37b−1、37b−2を撮像した画像である。
合成画像45bは、画像43b−1、43b−2を合成した画像である。
パターン形成装置1は、合成画像45bにおいて、アライメントマーク37b−1、37b−2間の仮想相対位置47b(Δx,Δy)を算出する。
パターン形成装置1は、θ方向移動ステージ7を回転させることにより、合成画像45bにおいて、アライメントマーク37b−1、37b−2間の仮想相対位置47b(Δx,Δy)と登録データ114に保持した仮想相対位置47a(Δx0,Δy0)とを一致させる。
以上の過程を経て、パターン形成装置1は、移動カメラ13により登録対象の基板3の各アライメントマーク37を撮像し、各撮像画像を合成し、合成画像におけるアライメントマーク37間の相対位置、移動カメラ13の位置、X方向移動ステージ9の位置、アライメントマーク37の位置、回転角等を登録する。パターン形成装置1は、次の加工対象の基板3が投入されると、投入した基板3のアライメントマーク37を撮像して各撮像画像を合成し、θ方向移動ステージ7を回転させて、合成画像において、登録した相対位置と加工対象の基板のアライメントマーク37間の相対位置とを一致させる。パターン形成装置1は、個々のアライメントマーク37の位置ずれ量に基づいてX方向補正量及びY方向補正量を算出し、ヘッドユニット23による加工時の装置座標にオフセットする。
このように、パターン形成装置1は、基板3側では、θ方向の位置補正のみを行い、X方向及びY方向の位置合わせについては、加工時に装置座標にオフセットするので、基板3のアライメント時間を短縮することができ、加工タクトを向上させることができる。
尚、パターン形成装置1は、各アライメントマーク37の撮像画像を合成した合成画像において、アライメントマーク37間の相対位置を合わせることにより基板3のθ方向の位置合わせを行うので、アライメントマーク37を撮像する移動カメラ13の設置位置に関しては、基板3の所定箇所を撮像可能であり移動カメラ13の撮像位置を記録可能であれば、移動カメラ13、移動機構15の設置位置に関しては、特段の精度を要しない。例えば、スライドレール19は、厳密にY方向に敷設する必要はない。従って、装置の製作、調整等に係る費用的負担、労力的負担等を軽減することができる。
また、移動機構15により、1つの移動カメラ13で基板3の所定箇所を全て撮像可能であれば、複数の移動カメラ13を設ける必要はなく、1つの移動カメラ13を設ければよい。この場合、移動カメラ13の各撮像位置を記憶するようにすればよい。
図6は、格子状パターン以外のパターン35が形成された基板3を示す図である。
図3のステップ203の処理において、処理基準方向36と移動方向39とを平行にする場合、パターン35のX方向周縁部分を処理基準方向36として処理を行うことについて説明したが、パターン35がブラックマトリクス等の格子状パターンでない場合であっても、ステップ203の処理を行うことができる。
図6に示すように、パターン35が回路パターン等である場合、処理基準方向を示す基準となる基準パターン49を取り出して設定し、この基準パターン49を検出し、当該基準パターン49の方向を処理基準方向36として、ステップ203の処理を行うことができる。
図3のステップ203の処理において、処理基準方向36と移動方向39とを平行にする場合、パターン35のX方向周縁部分を処理基準方向36として処理を行うことについて説明したが、パターン35がブラックマトリクス等の格子状パターンでない場合であっても、ステップ203の処理を行うことができる。
図6に示すように、パターン35が回路パターン等である場合、処理基準方向を示す基準となる基準パターン49を取り出して設定し、この基準パターン49を検出し、当該基準パターン49の方向を処理基準方向36として、ステップ203の処理を行うことができる。
また、アライメントマーク37は、基板3の複数箇所に付してこれらを計測することが望ましい。基板3全体について精度を維持するためには、パターン35を挟んで複数のアライメントマーク37を付することが望ましい。
図6に示すように、例えば、基板3の対角隅部に付される2つのアライメントマーク37−1、37−2を付してこれらを計測することにより、精度を維持するようにしてもよい。
図6に示すように、例えば、基板3の対角隅部に付される2つのアライメントマーク37−1、37−2を付してこれらを計測することにより、精度を維持するようにしてもよい。
以上説明したように、本発明によれば、パターン形成装置は、移動可能な移動カメラを設け、基板の複数箇所に付される各アライメントマークを撮像して合成し、θ方向について基板を回転させて、合成画像におけるアライメントマーク間の相対位置を、登録した相対位置に合わせる。パターン形成装置は、θ方向についてのみ基板の位置調整を行い、X方向補正量及びY方向補正量については、ヘッドユニット側に送り加工時の装置座標にオフセットするので、位置調整に係る負担を軽減し、基板のアライメント時間を短縮して加工タクトを向上させることができる。
以上、添付図面を参照しながら、本発明にかかるパターン形成装置等の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
1………パターン形成装置
3………基板
5………吸着テーブル
7………θ方向移動ステージ
9………X方向移動ステージ
11………定盤
13−1、13−2………移動カメラ
15………移動機構
23………ヘッドユニット
35………パターン
36………処理基準方向
37………アライメントマーク
39………移動方向
41………回転角
43………画像
45………合成画像
47………相対位置
49………基準パターン
101………制御部
102………位置決め手段
103………計測手段
104………加工手段
111………CPU
112………メモリ
113………記憶装置
114………登録データ
115………補正データ
3………基板
5………吸着テーブル
7………θ方向移動ステージ
9………X方向移動ステージ
11………定盤
13−1、13−2………移動カメラ
15………移動機構
23………ヘッドユニット
35………パターン
36………処理基準方向
37………アライメントマーク
39………移動方向
41………回転角
43………画像
45………合成画像
47………相対位置
49………基準パターン
101………制御部
102………位置決め手段
103………計測手段
104………加工手段
111………CPU
112………メモリ
113………記憶装置
114………登録データ
115………補正データ
Claims (19)
- 基板に対して加工部による加工処理を行いパターンを形成するパターン形成装置であって、
前記基板を支持する基板支持部を第1の方向に直線移動させる直線移動手段と、
前記基板支持部を水平面内において回転させる回転手段と、
移動可能に設けられ、前記基板上の複数のマークを撮像する少なくとも1つの移動カメラと、
前記各マークの撮像画像を画像処理してマーク間仮想相対位置を算出するマーク間仮想相対位置算出手段と、
登録対象の基板について、前記回転により前記第1の方向と処理基準方向とを平行にした時における、前記マーク間仮想相対位置を登録する登録手段と、
加工対象の基板について、前記登録したマーク間仮想相対位置に対するずれを前記回転により補正するマーク間仮想相対位置補正手段と、
を具備することを特徴とするパターン形成装置。 - 前記登録手段は、さらに、前記回転により前記第1の方向と前記処理基準方向とを平行にした時における、回転角、前記移動カメラの位置、前記基板支持部の位置の少なくともいずれかを登録し、
前記加工対象の基板について、前記登録した回転角、前記登録した移動カメラの位置、前記登録した基板支持部の位置の少なくともいずれかに基づいて、前記基板、前記移動カメラの少なくともいずれかを移動させ、前記マークを前記移動カメラの視野に捉えることを特徴とする請求項1に記載のパターン形成装置。 - 前記登録手段は、さらに、前記回転により前記第1の方向と前記処理基準方向とを平行にした時における、マーク位置を登録し、
前記加工対象の基板について、前記登録したマーク位置に対する位置ずれ量に基づいて、前記加工処理の補正を行う加工処理補正手段を具備することを特徴とする請求項1に記載のパターン形成装置。 - 前記加工処理補正手段は、前記マーク位置のずれ量に基づいて、第2の方向についての前記加工部の位置、前記第1の方向についての前記加工処理のタイミングの少なくともいずれかを補正することを特徴とする請求項3に記載のパターン形成装置。
- 加工部による加工処理が行われる基板の位置補正を行うアライメント装置であって、
前記基板を支持する基板支持部を第1の方向に直線移動させる直線移動手段と、
前記基板支持部を水平面内において回転させる回転手段と、
移動可能に設けられ、前記基板上の複数のマークを撮像する少なくとも1つの移動カメラと、
前記各マークの撮像画像を画像処理してマーク間仮想相対位置を算出するマーク間仮想相対位置算出手段と、
登録対象の基板について、前記回転により前記第1の方向と処理基準方向とを平行にした時における、前記マーク間仮想相対位置を登録する登録手段と、
加工対象の基板について、前記登録したマーク間仮想相対位置に対するずれを前記回転により補正するマーク間仮想相対位置補正手段と、
を具備することを特徴とするアライメント装置。 - 前記登録手段は、さらに、前記回転により前記第1の方向と前記処理基準方向とを平行にした時における、回転角、前記移動カメラの位置、前記基板支持部の位置の少なくともいずれかを登録し、
前記加工対象の基板について、前記登録した回転角、前記登録した移動カメラの位置、前記登録した基板支持部の位置の少なくともいずれかに基づいて、前記基板、前記移動カメラの少なくともいずれかを移動させ、前記マークを前記移動カメラの視野に捉えることを特徴とする請求項5に記載のアライメント装置。 - 前記登録手段は、さらに、前記回転により前記第1の方向と前記処理基準方向とを平行にした時における、マーク位置を登録し、
前記加工対象の基板について、前記登録したマーク位置に対する位置ずれ量を前記加工部に送ることを特徴とする請求項5に記載のアライメント装置。 - 基板に対して加工部による加工処理を行いパターンを形成するパターン形成方法であって、
直線移動手段により前記基板を支持する基板支持部を第1の方向に直線移動させる直線移動ステップと、
前記基板支持部を水平面内において回転させる回転ステップと、
移動可能に設けられる少なくとも1つの移動カメラにより、前記基板上の複数のマークを撮像する撮像ステップと、
前記各マークの撮像画像を画像処理してマーク間仮想相対位置を算出するマーク間仮想相対位置算出ステップと、
登録対象の基板について、前記回転により前記第1の方向と処理基準方向とを平行にした時における、前記マーク間仮想相対位置を登録する登録ステップと、
加工対象の基板について、前記登録したマーク間仮想相対位置に対するずれを前記回転により補正するマーク間仮想相対位置補正ステップと、
を具備することを特徴とするパターン形成方法。 - 前記登録ステップは、さらに、前記回転により前記第1の方向と前記処理基準方向とを平行にした時における、回転角、前記移動カメラの位置、前記基板支持部の位置の少なくともいずれかを登録し、
前記加工対象の基板について、前記登録した回転角、前記登録した移動カメラの位置、前記登録した基板支持部の位置の少なくともいずれかに基づいて、前記基板、前記移動カメラの少なくともいずれかを移動させ、前記マークを前記移動カメラの視野に捉えることを特徴とする請求項8に記載のパターン形成方法。 - 前記登録ステップは、さらに、前記回転により前記第1の方向と前記処理基準方向とを平行にした時における、マーク位置を登録し、
前記加工対象の基板について、前記登録したマーク位置に対する位置ずれ量に基づいて、前記加工処理の補正を行う加工処理補正ステップを具備することを特徴とする請求項8に記載のパターン形成方法。 - 前記加工処理補正ステップは、前記マーク位置のずれ量に基づいて、第2の方向についての前記加工部の位置、前記第1の方向についての前記加工処理のタイミングの少なくともいずれかを補正することを特徴とする請求項8に記載のパターン形成方法。
- 基板に対して相対的に移動可能であり所定の処理を行う処理部を備える基板処理装置であって、
前記基板を支持する基板支持部を第1の方向に直線移動させる直線移動手段と、
前記基板支持部を水平面内において回転させる回転手段と、
移動可能に設けられ、前記基板上の複数のマークを撮像する少なくとも1つの移動カメラと、
前記各マークの撮像画像を画像処理してマーク間仮想相対位置を算出するマーク間仮想相対位置算出手段と、
登録対象の基板について、前記回転により前記第1の方向と処理基準方向とを平行にした時における、前記マーク間仮想相対位置を登録する登録手段と、
処理対象の基板について、前記登録したマーク間仮想相対位置に対するずれを前記回転により補正するマーク間仮想相対位置補正手段と、
を具備することを特徴とする基板処理装置。 - 前記登録手段は、さらに、前記回転により前記第1の方向と前記処理基準方向とを平行にした時における、回転角、前記移動カメラの位置、前記基板支持部の位置の少なくともいずれかを登録し、
前記処理対象の基板について、前記登録した回転角、前記登録した移動カメラの位置、前記登録した基板支持部の位置の少なくともいずれかに基づいて、前記基板、前記移動カメラの少なくともいずれかを移動させ、前記マークを前記移動カメラの視野に捉えることを特徴とする請求項12に記載の基板処理装置。 - 前記登録手段は、さらに、前記回転により前記第1の方向と前記処理基準方向とを平行にした時における、マーク位置を登録し、
前記処理対象の基板について、前記登録したマーク位置に対する位置ずれ量に基づいて、前記処理の補正を行う処理補正手段を具備することを特徴とする請求項12に記載の基板処理装置。 - 前記処理補正手段は、前記マーク位置のずれ量に基づいて、第2の方向についての前記処理部の位置、前記第1の方向についての前記処理のタイミングの少なくともいずれかを補正することを特徴とする請求項14に記載の基板処理装置。
- 基板に対して相対的に移動可能であり所定の処理を行う処理部を備える基板処理装置における基板処理方法であって、
前記基板を支持する基板支持部を第1の方向に直線移動させる直線移動ステップと、
前記基板支持部を水平面内において回転させる回転ステップと、
移動可能に設けられ、前記基板上の複数のマークを撮像する少なくとも1つの移動カメラと、
前記各マークの撮像画像を画像処理してマーク間仮想相対位置を算出するマーク間仮想相対位置算出ステップと、
登録対象の基板について、前記回転により前記第1の方向と処理基準方向とを平行にした時における、前記マーク間仮想相対位置を登録する登録ステップと、
処理対象の基板について、前記登録したマーク間仮想相対位置に対するずれを前記回転により補正するマーク間仮想相対位置補正ステップと、
を具備することを特徴とする基板処理方法。 - 前記登録ステップは、さらに、前記回転により前記第1の方向と前記処理基準方向とを平行にした時における、回転角、前記移動カメラの位置、前記基板支持部の位置の少なくともいずれかを登録し、
前記処理対象の基板について、前記登録した回転角、前記登録した移動カメラの位置、前記登録した基板支持部の位置の少なくともいずれかに基づいて、前記基板、前記移動カメラの少なくともいずれかを移動させ、前記マークを前記移動カメラの視野に捉えることを特徴とする請求項16に記載の基板処理方法。 - 前記登録ステップは、さらに、前記回転により前記第1の方向と前記処理基準方向とを平行にした時における、マーク位置を登録し、
前記処理対象の基板について、前記登録したマーク位置に対する位置ずれ量に基づいて、前記処理の補正を行う処理補正ステップを具備することを特徴とする請求項16に記載の基板処理方法。 - 前記処理補正ステップは、前記マーク位置のずれ量に基づいて、第2の方向についての前記処理部の位置、前記第1の方向についての前記処理のタイミングの少なくともいずれかを補正することを特徴とする請求項18に記載の基板処理方法。
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