JP2017013011A - 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
前記基準マークを検出する位置と前記液滴吐出ヘッドとの間の距離は、前記基準マークを検出する周期の間に前記ワークが移動する距離のn倍(n=正の整数)に設定されており、前記液滴吐出位置における前記ワークの位置の補正は、前記基準マークの検出を行った後の(n−1)回目に行われる前記基準マークの検出と、n回目に行われる前記基準マークの検出と、の間に行われてもよい。
先ず、本発明の第1の実施の形態に係る液滴吐出装置の構成について、図1及び図2を参照して説明する。図1は、液滴吐出装置1の構成の概略を示す模式側面図である。図2は、液滴吐出装置1の構成の概略を示す模式平面図である。なお、以下においては、ワークWの主走査方向をX軸方向、主走査方向に直交する副走査方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向に直交する鉛直方向をZ軸方向、Z軸方向回りの回転方向をθ方向とする。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。なお、第2の実施の形態において用いられる液滴吐出装置1は、第1の実施の形態で用いられる液滴吐出装置1と同様である。
次に、以上のように構成された液滴吐出装置1の適用例について説明する。図15は、液滴吐出装置1を備えた基板処理システム200の構成の概略を示す説明図である。基板処理システム200では、有機発光ダイオードの有機EL層が形成される。
10 X軸テーブル
11 Y軸テーブル
12 X軸ガイドレール
13 Y軸ガイドレール
20 ワークステージ
21 ステージ回転機構
22 X軸スライダ
23 移動量検出機構
30 キャリッジユニット
33 キャリッジ
34 液滴吐出ヘッド
40 撮像ユニット
41 第1の撮像部
42 第2の撮像部
100 バンク
101 開口部
102 基準マーク
150 制御部
200 基板処理システム
240、260、280 塗布装置
300 有機発光ダイオード
330 有機EL層
331 正孔注入層
332 正孔輸送層
333 発光層
334 電子輸送層
335 電子注入層
G ガラス基板
W ワーク
Claims (14)
- ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、
液滴吐出位置に配置された前記ワークに対して、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワークを載置するワークステージと、
前記液滴吐出ヘッドと前記ワークを、主走査方向、前記主走査方向に直交する方向及び回転方向に相対的に移動させるワーク移動機構と、
前記ワーク移動機構による、前記ワークステージの主走査方向への移動量を検出する移動量検出機構と、
前記ワークの主走査方向における前記液滴吐出ヘッドの上流側における、移動中の前記ワークの上面に予め形成された基準マークを検出するマーク検出ユニットと、
前記ワークが前記主走査方向に沿って所定の距離移動したときに前記移動量検出機構で検出される移動量に基づいて、前記基準マークの位置を推定するマーク位置推定部と、
前記ワークが前記所定の距離移動したときに前記マーク検出ユニットにより検出された前記基準マークの位置と、前記ワークが前記所定の距離移動したときに前記マーク位置推定部で推定される前記基準マークの位置と、の相関関係に基づいて、前記液滴吐出位置における前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとの相対的な位置を補正するように前記ワーク移動機構を制御するワーク移動制御部と、を有することを特徴とする、液滴吐出装置。 - 前記相関関係は、前記ワークが前記所定の距離移動したときに前記マーク検出ユニットにより検出された前記基準マークの位置と、前記ワークが前記所定の距離移動したときに前記マーク位置推定部で推定される前記基準マークの位置と、の差分であり、
前記ワーク移動制御部による前記液滴吐出位置における前記ワークの位置の補正は、前記液滴吐出位置において前記差分がゼロとなるように行われることを特徴とする、請求項1に記載の液滴吐出装置。 - 前記基準マークは、前記液滴吐出ヘッドから吐出された液滴を着弾させる着弾領域を規定するように形成されたバンク、または前記着弾領域の外部に形成された識別記号であることを特徴とする、請求項1または2のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
- 前記ワーク上には、前記着弾領域が複数形成され、
前記ワーク移動制御部は、前記各着弾領域ごとに前記液滴吐出位置における前記ワークの位置を補正することを特徴とする、請求項3に記載の液滴吐出装置。 - 前記マーク検出ユニットによる前記基準マークの検出は所定の周期で行われ、
前記マーク検出ユニットと前記液滴吐出ヘッドとの間の距離は、前記基準マークを検出する周期の間に前記ワークステージが移動する距離のn倍(n=正の整数)に設定されており、
前記液滴吐出位置における前記ワークの位置の補正は、前記マーク検出ユニットで前記基準マークの検出を行った後の(n−1)回目の前記基準マークの検出と、n回目の前記基準マークの検出と、の間に行われることを特徴とする、請求項4に記載の液滴吐出装置。 - 前記ワークの主走査方向における前記液滴吐出ヘッドの下流側に配置された撮像部をさらに有し、
前記ワークには、液滴により所定のパターンが描画される着弾領域が形成され、
前記ワーク移動制御部は、
前記液滴吐出位置における前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとの相対的な位置を補正した状態で、前記着弾領域の外部の予め定められた所定の位置に対して前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出し、
前記撮像部で撮像された撮像画像に基づいて、前記液滴吐出ヘッドから吐出された液滴の位置を特定し、
前記特定された液滴の位置と、前記着弾領域の外部の予め定められた所定の位置とのずれ量を算出し、
次回以降の前記液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出において、当該算出されたずれ量に基づいて、前記液滴吐出位置における前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとの相対的な位置をさらに補正することを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に液滴吐出装置。 - ワークを主走査方向に移動させるワーク移動機構を備えた液滴吐出装置を用いて、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、
前記ワーク移動機構により主走査方向に沿って前記ワークを液滴吐出ヘッドに向けて移動させる際の、当該ワークの移動量を移動量検出機構により検出し、
前記ワークの主走査方向における前記液滴吐出ヘッドの上流側における、移動中の前記ワークの上面に予め形成された基準マークを検出し、
前記ワークが前記主走査方向に沿って所定の距離移動したときに前記移動量検出機構により検出される移動量に基づいて、前記基準マークの位置を推定し、
前記ワークが前記所定の距離移動したときに検出された前記基準マークの位置と、前記ワークが前記所定の距離移動したときに前記移動量検出機構により検出される移動量に基づいて推定される前記基準マークの位置と、の相関関係に基づいて、前記液滴吐出ヘッドから前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出位置における、前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとの相対的な位置を補正することを特徴とする、液滴吐出方法。 - 前記相関関係は、前記ワークが前記所定の距離移動したときに検出された前記基準マークの位置と、前記ワークが前記所定の距離移動したときに前記移動量検出機構により検出される移動量に基づいて推定される前記基準マークの位置と、の差分であり、
前記液滴吐出位置における前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとの相対的な位置を補正は、前記液滴吐出位置において前記差分がゼロとなるように行われることを特徴とする、請求項7に記載の液滴吐出方法。 - 前記基準マークは、前記液滴吐出ヘッドから吐出された液滴を着弾させる着弾領域を規定するように形成されたバンク、または前記着弾領域の外部に形成された識別記号であることを特徴とする、請求項7または8のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
- 前記ワーク上には、前記着弾領域が複数形成され、
前記液滴吐出位置における前記ワークの位置を補正は、前記各着弾領域ごとに行われることを特徴とする、請求項9に記載の液滴吐出方法。 - 前記液滴吐出ヘッドの上流側における前記基準マークの検出は所定の周期で行われ、
前記基準マークを検出する位置と前記液滴吐出ヘッドとの間の距離は、前記基準マークを検出する周期の間に前記ワークが移動する距離のn倍(n=正の整数)に設定されており、
前記液滴吐出位置における前記ワークの位置の補正は、前記基準マークの検出を行った後の(n−1)回目に行われる前記基準マークの検出と、n回目に行われる前記基準マークの検出と、の間に行われることを特徴とする、請求項10に記載の液滴吐出方法。 - 前記ワークには、液滴により所定のパターンが描画される着弾領域が形成されており、
前記液滴吐出位置における前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとの相対的な位置を補正した状態で、前記着弾領域の外部の予め定められた所定の位置に対して前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出し、
前記ワークの主走査方向における前記液滴吐出ヘッドの下流側において、前記着弾領域の外部の予め定められた所定の位置に対して吐出された液滴の位置を検出し、
前記検出された液滴の位置と、前記着弾領域の外部の予め定められた所定の位置とのずれ量を算出し、
次回以降の前記液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出において、当該算出されたずれ量に基づいて、前記液滴吐出位置における前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとの相対的な位置をさらに補正することを特徴とする、請求項7〜11のいずれか一項に液滴吐出方法。 - 請求項7〜12のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を液滴吐出装置によって実行させるように、当該液滴吐出装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項13に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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