JP2021058883A - 液滴吐出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
先ず、本実施の形態に係る液滴吐出装置の構成について、図1及び図2を参照して説明する。図1は、液滴吐出装置1の構成の概略を示す側面図である。図2は、液滴吐出装置1の構成の概略を示す平面図である。なお、以下においては、ワークWの主走査方向をY軸方向、主走査方向に直交する副走査方向をX軸方向、Y軸方向及びX軸方向に直交する鉛直方向をZ軸方向、Z軸方向回りの回転方向をθ方向とする。
以上の液滴吐出装置1には、制御部150が設けられている。制御部150は、例えばコンピュータであり、データ格納部(図示せず)を有している。データ格納部には、例えばワークWに吐出される液滴を制御し、当該ワークWに所定のパターンを描画するための描画データ(ビットマップデータ)などが格納されている。また、制御部150は、プログラム格納部(図示せず)を有している。プログラム格納部には、液滴吐出装置1における各種処理を制御するプログラムなどが格納されている。
検出器160における基準マーク102の位置(中心位置)の検出方法は任意であるが、例えば特開2017−13011号公報に記載の方法を用いることができる。そして、検出器は、複数の基準マーク102の位置を検出することで、ワークWの位置を検出する。また、第1の撮像部41は、液滴吐出ヘッド34が取り付けられるX軸ステージ11に設けられるので、検出器160では、液滴吐出ヘッド34に対するワークWの位置を検出する。なお、第1の撮像部41で取得された撮像画像は、Y軸成分、X軸成分及びθ成分を含んでおり、検出器160で検出されるワークWの位置もY軸方向位置、X軸方向位置及びθ方向位置を含んでいる。
補正器161は、Y軸リニアスケール16からのパルス信号と、検出器160からの信号とに基づき、補正テーブルを用いてワークテーブル20の位置の補正量を算出する。そして、この補正量をモーションコントローラ162にフィードバックする。具体的には、以下のステップS1〜S3を行う。
モーションコントローラ162は、補正器161から受信したY軸方向のパルス信号(変換後のパルス信号)に基づいて、Y軸リニアモータ13に対して指令信号(パルス列)を出力して、Y軸リニアモータ13(ワークテーブル20)の移動を制御する。また、モーションコントローラ162は、補正器161から受信したX軸方向及びθ方向のパルス信号(変換後のパルス信号)に基づいて、テーブル移動機構21に対して指令信号(パルス列)を出力して、テーブル移動機構21の移動を制御する。なお、モーションコントローラ162は、Y軸、X軸、θ等に関するパルス信号を受信して、フルクローズ制御を構成している。
インクジェットコントローラ163は、補正器161から受信したY軸方向のパルス信号(変換後のパルス信号)に基づいて、液滴吐出ヘッド34に対して指令信号(パルス列)を出力して、液滴吐出ヘッド34における液滴の吐出タイミングを制御する。
次に、以上のように構成された液滴吐出装置1を用いて行われるワーク処理について説明する。本実施の形態では、製品ワークWに対する通常の処理を行うに先だって、補正テーブルを作成するために基準ワークWfに対して所定の処理を行う。
先ず、基準ワークWfに所定の処理を行う。搬入出エリアA1にワークテーブル20を配置し、搬送機構(図示せず)により液滴吐出装置1に搬入された基準ワークWfが当該ワークテーブル20に載置される。続いて、ワークアライメントカメラによってワークテーブル20上の基準ワークWfが撮像される。そして、当該撮像された画像に基づいて、テーブル移動機構21により、ワークテーブル20に載置された基準ワークWfのX軸方向及びθ方向の位置が補正され、基準ワークWfのアライメントが行われる(ステップT1)。
次に、製品用のワークWに所定の処理を行う。当該ワークWの処理においては、先ず、搬入出エリアA1において、ワークテーブル20に載置されたワークWのX軸方向及びθ方向の位置が補正され、ワークWのアライメントが行われる(ステップT5)。このステップT5は、上述したステップT1と同様である。
次に、本発明の他の実施の形態について説明する。
以上のように構成された液滴吐出装置1は、例えば特開2017−13011号公報に記載された、有機発光ダイオードの有機EL層を形成する基板処理システムに適用される。具体的に液滴吐出装置1は、ワークWとしてのガラス基板上に正孔注入層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置、ガラス基板(正孔注入層)上に正孔輸送層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置、ガラス基板(正孔輸送層)上に発光層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置に適用される。なお、基板処理システムにおいて、有機発光ダイオードの正孔注入層、正孔輸送層及び発光層を形成する他に、電子輸送層と電子注入層も形成する場合、液滴吐出装置1は、これら電子輸送層と電子注入層の塗布処理にも適用できる。
10 Y軸ステージ
11 X軸ステージ
12 Y軸ガイドレール
13 Y軸リニアモータ
14 X軸ガイドレール
15 X軸リニアモータ
16 Y軸リニアスケール
20 ワークテーブル
21 テーブル移動機構
22 Y軸スライダ
23 X軸リニアスケール
24 ロータリエンコーダ
30 キャリッジユニット
33 キャリッジ
34 液滴吐出ヘッド
40 撮像ユニット
41 第1の撮像部
42 第2の撮像部
100 バンク
101 開口部
102 基準マーク
150 制御部
160 検出器
161 補正器
162 モーションコントローラ
163 インクジェットコントローラ
170 エンコーダ逆変換器
L1〜L5 走査ライン
W ワーク
Wf 基準ワーク
Claims (14)
- ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、
前記ワークを載置するワークテーブルと、
前記ワークテーブルに載置された前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向、及び主走査方向に直交する副走査方向に相対的に移動させる移動機構と、
主走査方向に延伸し、副走査方向に複数並べて設定される走査ラインに沿って、前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワークテーブルに載置された前記ワークの位置、又は前記ワークテーブルの位置を検出し、当該検出結果に基づいて、前記移動機構の位置と、前記ワークテーブルの位置の補正量との相関を示す補正テーブルを作成する制御部と、を有することを特徴とする、液滴吐出装置。 - 前記制御部は、前記走査ライン毎に前記補正テーブルを複数作成することを特徴とする、請求項1に記載の液滴吐出装置。
- 複数の前記走査ラインは、前記補正テーブルが作成された第1の走査ラインと、前記補正テーブルが作成されていない第2の走査ラインと、を有し、
前記制御部は、前記第1の走査ラインの前記補正テーブルを補間して、前記第2の走査ラインの前記補正テーブルを作成することを特徴とする、請求項2に記載の液滴吐出装置。 - 前記制御部は、前記ワークの位置又は前記ワークテーブルの位置を検出する際、当該ワーク又はワークテーブルに予め形成された基準マークの位置を用いることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
- 前記基準マークは、主走査方向に複数並べて形成され、且つ、副走査方向に少なくとも1つ以上並べて形成されていることを特徴とする、請求項4に記載の液滴吐出装置。
- 前記ワークテーブルに載置された前記ワーク又は前記ワークテーブルの撮像画像を取得する撮像部をさらに有し、
前記撮像部は副走査方向に移動自在に構成され、
前記制御部は、前記撮像部で取得された撮像画像に基づいて、前記ワークの位置又は前記ワークテーブルの位置を検出することを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。 - ワークテーブルに載置されたワークに対し、液滴吐出ヘッドから機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、
移動機構により、主走査方向に延伸し、主走査方向に直交する副走査方向に複数並べて設定される走査ラインに沿って、前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを相対的に移動させる第1の工程と、
前記第1の工程において、前記ワークテーブルに載置された前記ワークの位置、又は前記ワークテーブルの位置を検出する第2の工程と、
前記第2の工程における検出結果に基づいて、前記移動機構の位置と、前記ワークテーブルの位置の補正量との相関を示す補正テーブルを作成する第3の工程と、を有することを特徴とする、液滴吐出方法。 - 前記第3の工程において、前記走査ライン毎に前記補正テーブルを複数作成することを特徴とする、請求項7に記載の液滴吐出方法。
- 複数の前記走査ラインは、前記補正テーブルが作成された第1の走査ラインと、前記補正テーブルが作成されていない第2の走査ラインと、を有し、
前記第3の工程において、前記第1の走査ラインの前記補正テーブルを補間して、前記第2の走査ラインの前記補正テーブルを作成することを特徴とする、請求項8に記載の液滴吐出方法。 - 前記第2の工程において、前記ワーク又は前記ワークテーブルに予め形成された基準マークの位置を用いて、当該ワークの位置又はワークテーブルの位置を検出することを特徴とする、請求項7〜9のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
- 前記基準マークは、主走査方向に複数並べて形成され、且つ、副走査方向に少なくとも1つ以上並べて形成されていることを特徴とする、請求項10に記載の液滴吐出方法。
- 前記第2の工程において、撮像部によって、前記ワークテーブルに載置された前記ワーク又は前記ワークテーブルの撮像画像を取得し、当該撮像画像に基づいて、前記ワークの位置又は前記ワークテーブルの位置を検出し、
前記撮像部は副走査方向に移動自在に構成されていることを特徴とする、請求項7〜11のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。 - 請求項7〜12のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を液滴吐出装置によって実行させるように、当該液滴吐出装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項13に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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