TWI750336B - 工件加工裝置、工件加工方法及電腦記憶媒體 - Google Patents

工件加工裝置、工件加工方法及電腦記憶媒體 Download PDF

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TWI750336B
TWI750336B TW107106759A TW107106759A TWI750336B TW I750336 B TWI750336 B TW I750336B TW 107106759 A TW107106759 A TW 107106759A TW 107106759 A TW107106759 A TW 107106759A TW I750336 B TWI750336 B TW I750336B
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尾上幸太朗
倉永康史
田島和樹
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日商東京威力科創股份有限公司
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Abstract

[課題] 在對工件進行特定加工的工件加工裝置中，適當地補正工件台對加工機的相對位置。 　　[解決手段] 液滴吐出裝置具有：載置工件(W)之工件台(20)；對被載置於工件台(20)之工件(W)吐出液滴的液滴吐出頭(34)；使工件台(20)移動之Y軸線性馬達(13)；測量Y軸線性馬達(13)之位置的Y軸線性標尺(16)；檢測出被載置於工件台(20)之工件W之位置的檢測器(160)；及根據Y軸線性標尺(16)之測量結果和檢測器(160)之檢測結果，算出工件台(20)之位置之補正量的補正器(161)。

Description

工件加工裝置、工件加工方法及電腦記憶媒體
本發明係關於對工件進行特定加工之工件加工裝置、使用該工件加工裝置之工件加工方法、程式及電腦記憶媒體。
以往，作為使用機能液而對工件進行描繪之裝置，所知的有使該機能液成為液滴而吐出的噴墨方式之液滴吐出裝置。液滴吐出裝置廣泛使用於製作例如有機EL裝置、彩色濾光器、液晶顯示裝置、電漿顯示器(PDP裝置)、電子發射裝置(FED裝置、SED裝置)等之光電裝置(平板面板顯示器：FPD)之時等。
例如，記載於專利文獻1之液滴吐出裝置具備有吐出機能液之液滴的機能液滴吐出頭(液滴吐出頭)，和搭載工件之工件載台(工件台)，和沿著引導用之一對支持座延伸之方向(主掃描方向)使工件台移動的移動機構(線性馬達)。而且，一面藉由工件台使工件對液滴吐出頭相對性地移動，一面從液滴吐出頭對事先被形成於工件上之堤部，吐出機能液，依此進行對工件的描繪。
在如此之液滴吐出裝置中，為了對工件上之期待位置正確地吐出機能液，事先進行工件之對準。工件台包含旋轉動作被構成為在水平方向移動自如，藉由被設置在工件台上方之對準用之攝影機，攝影工件之對準標記。而且，根據被攝影到之畫像，補正工件台之水平方向之位置，依此進行工件之對準。之後，使被對準之工件移動至事先預定之位置，從液滴吐出頭吐出機能液至工件之堤部內。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本特開2010-198028號公報
[發明所欲解決之課題]
但是，在進行工件之對準之後，由於各種主要原因，有液滴吐出頭和工件上之堤部之位置關係變化之情況。作為主要原因，可舉出例如因溫度變化所致的構造物或工件變形、被設置在線性馬達之線性標尺之熱伸縮、機構之時間經過變化、設置液滴吐出裝置之地板或建築物變形、工件台上之工件之載置狀態之差(工件之姿勢偏移)等。並且，線性馬達之位置和工件台之表面的阿貝誤差(Abbe error)、使工件台往返之時的反衝誤差、機能液吐出頭之位置偏移等亦可舉出作為裝置的精度惡化主要原因。
再者，近年來，以液滴吐出裝置製造的電視等之製品，大型且高精細(例如，4K、8K)成為主流，為了對應於工件之大型化，液滴吐出裝置也大型化。因此，成為無法忽視上述主要原因所致的液滴吐出頭和堤部之位置偏移，即是從液滴吐出頭被吐出之液滴彈著於工件上之堤部之時的位置偏移的狀況。而且，由於畫素尺寸之影響，其位置偏移之容許範圍亦變小為例如±2μm以下。
於是，在如液滴吐出裝置般，需要精密控制之載台中，要求可以穩健地對應於環境變化之工件台之位置補正的技術。再者，精密載台除液滴吐出裝置以外，也被使用於例如工作機械或處理液之塗佈裝置，即使如此之裝置也需要工件台之位置補正的技術。但是，在現狀中，在如此之精密載台中，還未達到適當地補正工件台之位置。
本發明係鑒於如此之問題點而創作出，其目的在於在對工件進行特定加工之工件加工裝置中，適當地補正工件台對加工機的相對位置，使該加工機和工件高精度地對位。 [用以解決課題之手段]
為了達成上述目的，即是，為了適當地進行工件台之位置補正，本發明者們嘗試利用補正表，補正線性馬達之位置(線性馬達之可動件之位置)。以下，針對本發明者們嘗試的具體位置補正方法進行說明。圖9表示用以實現該位置補正方法之位置補正裝置500之構成。
如圖9所示般，一面藉由線性馬達510，使載置有工件W之工件台511移動，一面從液滴吐出頭512對工件W上之堤部吐出機能液之液滴。於使工件台511移動之時，藉由線性標尺513，測量線性馬達510之位置。
來自線性標尺513之編碼器脈衝(脈衝訊號)，經由分歧板520，而被輸出至控制線性馬達510之移動的移動控制器521，和將來自線性標尺513之脈衝訊號逆轉換的編碼逆轉換器522。
在移動控制器521中，使用補正表，補正朝線性馬達510的指令訊號(脈衝列)而輸出。補正表係於位置補正裝置500之啟動時，從電腦523被安裝至移動控制器521。再者，補正表表示線性馬達510之目標位置(指令位置)和補正位置之相關，例如藉由對線性馬達510之目標位置，測量實際的線性馬達510之位置，於工件W之量產前事先被取得。
在編碼逆轉換器522中，使用逆轉換表，將來自線性標尺513之脈衝訊號逆轉換，輸出至噴墨控制器524。噴墨控制器524係控制在液滴吐出頭512之液滴之吐出時序者，根據線性馬達510之位置，設定液滴之吐出時序。逆轉換表係於位置補正裝置500之啟動時，從電腦523被安裝至編碼逆轉換器522。再者，逆轉換表係將來自線性標尺513之脈衝訊號，轉換成液滴吐出頭512之吐出時序者，與補正表相同於工件W之量產前事先被取得。
接著，針對上述構成之位置補正裝置500之動作進行說明。例如，作為在將工件台511之移動起點設為0mm，指令訊號被輸出至該線性馬達510，使得線性馬達510移動至1000mm之目標位置之情況中，藉由例如攝影機等之外部的測量器，判明實際上以900mm作為該目標位置才正確。在如此之情況，從線性標尺513輸出表示900 mm之脈衝訊號。
在移動控制器521中，根據補正表，將相對於線性馬達510之指令訊號從當初的1000mm轉換至900 mm。而且，表示900mm之脈衝訊號從移動控制器521被輸出至線性馬達510，決定線性馬達510的位置。
另外，即使線性馬達510之位置被下指令為900mm，液滴吐出頭512之吐出時序仍舊是目標位置1000 mm。於是，在編碼逆轉換器522中，使用逆轉換表，將來自線性標尺513之表示900mm之脈衝訊號逆轉換成1000 mm。而且，表示1000mm之脈衝訊號從編碼逆轉換器522被輸出至噴墨控制器524，在液滴吐出頭512的液滴之吐出時序被控制。
如上述般，在位置補正裝置500中，使線性馬達510之位置和在液滴吐出頭512之液滴的吐出時序一致。
但是，在位置補正裝置500中，雖然使用具有指令訊號之補正機能的移動控制器521，但是如此之移動控制器521並非泛用性，在移動控制器521、線性馬達510、線性標尺513之選擇上出現限制。再者，在使用市售的移動控制器521之情況，線性馬達510之位置補正之點數被限制，再者，也變得需要其位置補正之內插處理，在設計之自由度上出現限制。
再者，在位置補正裝置500中，須要進行線性馬達510之位置補正和液滴吐出頭512之吐出時序補正之雙方，有其控制複雜且無法取得兩補正的同步之虞。再者，為了如此地進行兩補正，變得另外需要分歧板520。而且，為了更新編碼逆轉換器522之逆轉換表，每次更新，須要重設位置補正裝置500之電源。如此一來，使用位置補正裝置500之控制成為繁瑣。
因此，位置補正裝置500雖然有用於工件台511之位置補正，但有改善之空間。
於是，本發明係一種工件加工裝置，其係對工件進行特定加工，該工件加工裝置之特徵在於，具有： 　　工件台，其係載置上述工件； 　　加工機，其對被載置於上述工件台之上述工件進行加工； 　　移動機構，其係使上述工件台和上述加工機相對性地移動； 　　位置測量器，其係測量上述移動機構之位置； 　　檢測器，其係檢測被載置於上述工件台之上述工件的位置；及 　　補正器，其係根據上述位置測量器之測量結果和上述檢測器之檢測結果，算出上述工件台之位置之補正量。
若根據本發明，首先在藉由移動機構使工件台和加工機相對性地移動之時，藉由位置測量器測量動機構之位置。另外，在藉由移動機構使工件台和加工機相對性地移動之時，藉由檢測器，檢測被載置於工件台之工件的位置。而且，藉由補正器，使用來自位置測量器之測量結果，和來自檢測器之檢測結果，算出工件台之位置的補正量。
在如此之情況，即使由於在工件加工裝置之各構件之溫度變化或時間經過變化這樣的主要原因，產生工件之位置偏移，亦可以使用位置測量器、檢測器及補正器，適當地補正工件台之位置。再者，在上述圖9所示之位置補正裝置中，雖然有無法取得線性馬達(移動機構)之位置補正和液滴吐出頭(加工機)之吐出時序補正的同步之虞，但是在本發明中，可僅以補正器，進行補正，且適當地補正工件台之位置。因此，可以提高加工機所致之工件之加工精度。
再者，例如於加工機所致之工件之加工前，檢測器檢測工件之位置之情況，在使工件台和加工機相對性地移動之期間，在補正器中可以即時地補正工件台之位置。
而且，在補正工件台之位置的時候，本發眀之工件加工裝置之構成及加工方法係非常簡單。在上述圖9所示之位置補正裝置中，雖然在移動控制器、線性馬達及線性標尺，即是移動機構之選擇上有限制，但是在本發明中無如此之限制，移動機構之選擇自由度提升。
上述補正器即使使用表示上述移動機構之位置和上述補正量之相關的補正表亦可。
上述檢測器之檢測結果即使係上述工件之位置、上述補正量或上補正表亦可。
上述檢測器即使於上述加工機所致之上述工件之加工前，檢測上述工件之位置亦可。
上述移動機構即使使上述工件台和上述加工機雙方移動亦可。
上述特定加工即使係對上述工件吐出機能液之液滴而進行描繪的加工亦可。
另外之觀點所致之本發明係一種工件加工方法，其係對被載置於工件台之工件，藉由加工機進行特定加工，該工件加工方法之特徵在於，具有： 　　第1工程，其係在藉由移動機構使上述工件台和上述加工機相對性地移動之時，藉由位置測量器測量移動機構之位置； 　　第2工程，其係在藉由上述移動機構使上述工件台和上述加工機相對性地移動之時，藉由檢測器，檢測被載置於上述工件台之上述工件的位置；及 　　第3工程，其係藉由補正器，根據上述位置測量器之測量結果和上述檢測器之檢測結果，算出上述工件台之位置之補正量。
在上述第3工程中，即使上述補正器使用表示上述移動機構之位置和上述補正量之相關的補正表亦可。
在上述第2工程中，即使上述檢測器之檢測結果係上述工件之位置、上述補正量或上補正表亦可。
上述第2工程即使於上述加工機所致之上述工件之加工前被進行亦可，
上述移動機構即使使上述工件台和上述加工機雙方移動亦可。
上述特定加工即使係對上述工件吐出機能液之液滴而進行描繪的加工亦可。
再者，若根據另外之觀點所致之本發明，則提供一種在該工件加工裝置之電腦上進行動作的程式，使得藉由工件加工裝置實行上述工件加工方法。
並且，若根據另外之觀點所致之本發明，則提供一種儲存有上述程式之可讀取的電腦記憶媒體。 [發明效果]
若根據本發明，即使由於在工件加工裝置之各構件之溫度變化或時間經過變化這樣的主要原因，產生工件對加工機的位置偏移，亦可以適當地補正工件台對加工機的相對位置，使該加工機和工件高精度地對位。而且，在該相對位置之補正的時候，工件加工裝置及加工方法係可設為非常簡單。
以下，參照附件圖面針對本發明之實施型態進行說明。在本實施型態中，作為工件之加工，針對對工件吐出機能液之液滴而進行描繪之情況進行說明。再者，在本實施型態中，作為工件加工裝置使用液滴吐出裝置。另外，並不藉由以下所示之實施型態限定該發明。
(液滴吐出裝置之構成) 　　首先，針對與本實施型態有關之液滴吐出裝置之構成，參照圖1及圖2進行說明。圖1為表示液滴吐出裝置1之構成之概略的側面圖。圖2為表示液滴吐出裝置1之構成之概略的俯視圖。另外，在以下中，將工件W之主掃描方向設為Y軸方向，將與主掃描方向正交之副掃描方向設為X軸方向，將與Y軸方向及X軸方向正交之垂直方向設為Z軸方向，將繞Z軸方向旋轉之方向設為θ方向。
再者，在本實施型態中所使用之工件W如圖3所示般形成區劃壁亦即堤部100。堤部100係藉由進行例如光微影處理或蝕刻處理等，被圖案製作成特定圖案。在堤部100，以特定間距在行方向(Y軸方向)和列方向(X軸方向)排列複數而被形成略矩形狀之開口部101。該開口部101之內部成為藉由液滴吐出裝置1被吐出之液滴彈著的彈著區域。另外，堤部100使用例如感光性聚醯亞胺樹脂。
在工件W之端部沿著Y軸方向以與開口部101相同之間距形成複數基準標記102。基準標記102係使用例如噴墨方式之描繪方法等而被描繪在工件W之上面。另外，在圖3中，雖然描繪略十字形之標記作為基準標記102，但是基準標記102之形狀並不限定於本實施型態之內容，即使為例如圓形或三角形亦可，若為能夠辨識者則可以任意地設定。再者，在圖3中，雖然描繪在工件W之X軸負方向側之端部被形成基準標記102之狀態，但是基準標記102即使被形成在工件W之X軸正方向側之端部亦可。
液滴吐出裝置1具有在主掃描方向(Y軸方向)延伸，使工件W在主掃描方向移動之Y軸載台10，和以跨越Y軸載台10之方式被跨架，在副掃描方向(X軸方向)延伸之一對X軸載台11、11。在Y軸載台10之上面，一對Y軸導軌12、12在Y軸方向延伸而被設置，在各Y軸導軌12，設置有Y軸線性馬達13作為移動機構。在各X軸載台11之上面，X軸導軌14在X軸方向延伸而被設置，在該X軸導軌14設置有X軸線性馬達15。另外，在以下之說明中，在Y軸載台10上，將較X軸載台11靠Y軸負方向側的區域稱為搬入搬出區域A1，將一對X軸載台11、11間之區域稱為處理區域A2，將較X軸載台11靠Y軸正方向側之區域稱為待機區域A3。
在Y軸線性馬達13設置有測量該Y軸線性馬達13之位置的Y軸線性標尺16。從Y軸線性標尺16輸出有表示Y軸線性馬達13之位置的編碼器脈衝(脈衝訊號)。另外，Y軸線性馬達13之位置意味著Y軸線性馬達13之可動件的位置。
在Y軸載台10上設置有工件台20。在一對X軸載台11、11設置有拖架單元30和攝影單元40。
工件台20係例如真空吸附台，吸附並載置工件W。工件台20係藉由被設置在該工件台20之下面側的平台移動機構21，被支持成在X軸方向移動自如同時在θ方向旋轉自如。工件台20和平台移動機構21被支持於被設置在平台移動機構21之下面側的Y軸滑件22。Y軸滑件22被安裝於Y軸導軌12，被構成為藉由Y軸線性馬達13在Y軸方向移動自如。因此，在載置工件W之狀態下，藉由Y軸滑件22使工件台20沿著Y軸導軌12在Y軸方向移動，依此可以使工件W在Y軸方向移動。另外，在本實施型態中，平台移動機構21使工件台20在X軸方向移動，並且在θ方向旋轉，但是即使使工件台20在X軸方向移動之機構和在θ方向旋轉之機構係分別不同亦可。
在平台移動機構21設置有測量該平台移動機構21之X軸方向之位置的X軸線性標尺23，和測量平台移動機構21之θ方向之位置的旋轉編碼器24。從X軸線性標尺23和旋轉編碼器24分別輸出表示平台移動機構21(工件台20)之X軸方向之位置和θ方向之位置的編碼器脈衝(脈衝訊號)。
另外，在搬入搬出區域A1之工件台20之上方，設置有攝影工件台20上之工件W的工件對準攝影機(無圖示)。而且，根據以工件對準攝影機攝影到的畫像，藉由Y軸滑件22及平台移動機構21，因應所需補正被載置於工件台20之工件W之Y軸方向、X軸方向及θ方向之位置。依此，工件W被對準而被設定成特定的初期位置。
拖架單元30係在X軸載台11中設置複數例如10個。各拖架單元30具有拖架板31，和拖架保持機構32，和拖架33，和作為加工機的液滴吐出頭34。拖架保持機構32被設置在拖架板31之下面的中央部，在該拖架保持機構32之下端部拆卸自如地被安裝有拖架33。
拖架板31被安裝於X軸導軌14，藉由X軸線性馬達15在X軸方向移動自如。另外，也能夠將複數拖架板31設為一體在X軸方向移動。
在拖架33安裝有馬達(無圖示)。藉由該馬達，拖架33被構成為在X軸方向及θ方向移動自如。另外，拖架33之X軸方向及θ方向之移動即使藉由例如拖架保持機構32進行亦可。
在拖架33之下面，於Y軸方向及X軸方向排列設置有複數液滴吐出頭34。在本實施型態中，在例如Y軸方向設置有6個，在X軸方向設置有2個，即是合計12個的液滴吐出頭34。在液滴吐出頭34之下面，即是噴嘴面形成有複數吐出噴嘴(無圖示)。而且，成為從該吐出噴嘴對液滴吐出頭34之正下方之液滴吐出位置，吐出機能液之液滴。
攝影單元40被配置在與藉由Y軸線性馬達13使工件台20在Y軸方向移動之時的工件W上之基準標記102之軌跡，在俯視觀看下大概重疊的位置。具體而言，例如圖2所示般，從X軸方向之負方向側之下方算起第2個的拖架板31a之配置，與使工件W在Y軸方向移動之時的基準標記102之軌跡大概重疊之情況，攝影單元40被設置在拖架板31a。另外，即使攝影單元40被構成為能夠在X軸方向移動亦可。
攝影單元40具有夾著拖架33(液滴吐出頭34)與Y軸方向相向而被設置的第1攝影部41和第2攝影部42。作為第1攝影部41及第2攝影部42，使用例如CCD攝影機，即使在工件台20之移動中、停止中、工件處理中(液滴吐出中)之任一者，亦可以攝影被載置於該工件台20之工件W。第1攝影部41相對於拖架33被配置於Y軸負方向側，第2攝影部42相對於拖架33被設置於Y軸正方向側。
第1攝影部41攝影被形成在工件W之基準標記102。第1攝影部41被支持於一對X軸載台11、11中，被設置在Y軸負方向側之X軸載台11之側面的基座43。而且，工件W從搬入搬出區域A1朝向處理區域A2移動，工件台20被引導至第1攝影部41之正下方之時，第1攝影部41以特定週期攝影被載置於工件台20上之工件W。所取得的攝影畫像被輸入至後述控制部150之檢測器160。另外，第1攝影部41所致之攝影時序，即使根據從例如後述補正器161被輸出的轉換後之脈衝訊號而被決定亦可，或是即使於工件處理前事先被設定亦可。
第2攝影部42被支持於一對X軸載台11、11中，被設置在Y軸正方向側之X軸載台11之側面的基座44。而且，於工件台20被引導至第2攝影部42之正下方之時，藉由第2攝影部42攝影被載置於工件台20上之工件W，可以攝影彈著於工件W之上面的液滴。
另外，在工件台20之往路路徑(Y軸正方向)中，雖然在第1攝影部41和第2攝影部42的工件W之攝影畫像成為如上述般，但是在工件台20之返路路徑(Y軸負方向)中，在第1攝影部41和第2攝影部42的攝影畫像成為相反。
(控制部) 　　在以上之液滴吐出裝置1設置有控制部150。控制部150係例如電腦，具有程式儲存部(無圖示)。在資料儲存部中，儲存有控制被吐出至例如工件W之液滴，用以在該工件W描繪特定圖案之描繪資料(位元對映資料)等。再者，控制部150具有程式儲存部(無圖示)。在程式儲存部儲存有控制在液滴吐出裝置1之各種處理的程式等。
並且，上述資料或上述程式即使為被記錄於例如電腦可讀取之硬碟(HD)、軟碟(FD)、光碟(CD)、光磁碟(MO)、記憶卡等之於電腦可讀取之記憶媒體者，即使為自該記憶媒體被安裝於控制部150者亦可。
控制部150如圖4所示般具有：檢測器160，其係對以第1攝影部41所取得之攝影畫像進行處理而從該攝影畫像檢測基準標記102之位置；補正器161，其係補正工件台20之位置(Y軸線性馬達13及平台移動機構21之位置)；移動控制器162(移動驅動器)，其係控制Y軸線性馬達13及平台移動機構21之移動；和噴墨控制器163，其係控制液滴吐出頭34之吐出時序。
(檢測器) 　　在檢測器160之基準標記102之位置(中心位置)之檢測方法雖然為任意，但是可以使用例如日本特開2017-13011號公報所記載之方法。而且，檢測器160係藉由檢測複數基準標記102之位置，檢測工件W之位置。再者，由於第1攝影部41被設置在安裝液滴吐出頭34之X軸載台11，故在檢測器160中，檢測工件W對液滴吐出頭34的位置。另外，以第1攝影部41所取得的攝影畫像包含Y軸成分、X軸成分及θ成分，以檢測器160檢測的工件W之位置也包含Y軸方向位置、X軸方向位置及θ方向位置。
另外，在檢測器160中，即使根據被檢測的工件W之位置，進一步算出工件W之從目標位置的偏移量亦可。雖然該工件W之位置偏移量之算出方法為任意，但是可以使用例如日本特開2017-13011號公報所記載之方法。即是，使用該方法，根據以Y軸線性標尺16所測量到之Y軸線性馬達13之位置，推定工件W之目標位置。而且，比較所算出的工件W之目標位置， 和以檢測器160所檢測之工件W之位置，算出位置偏移量。另外，工件W之位置偏移量包含Y軸方向位置、Y軸方向間距、Y軸方向Yaw、Y軸方向位置基準之X軸方向位置、Y軸方向位置基準之θ方向位置。
再者，在檢測器160中，即使根據如上述般被算出之工件W之位置偏移量，進一步作成圖5所示之補正表亦可。該補正表係在Y軸線性馬達13之1行程，例如每100mm間距，對該Y軸線性馬達13之位置，描繪工件W之Y軸方向之位置偏移量而作成。該工件W之位置偏移量表示工件W之位置之補正量，即是工件台20之位置的補正量。因此，補正表係其橫軸為Y軸線性馬達13之位置，縱軸為工件台20之位置的補正量，表示在以Y軸線性標尺16所測量到之Y軸線性馬達13之位置中，要使該工件台20之位置移動多少才可。另外，圖5所示之補正表雖然表示工件台20之Y軸方向位置之補正量之一例，但是其他也對Y軸方向間距、Y軸方向Yaw、Y軸方向位置基準之X軸方向位置、Y軸方向位置基準之θ方向位置，分別作成補正表。因此，在Y軸方向補正Y軸線性馬達13之位置，在X軸方向及θ方向補正平台移動機構21之位置，依此可以補正工件台20之姿勢。並且，圖5所示之補正表雖然為2次內插描繪者，但是即使進行多次元內插亦可。
如上述般，在檢測器160中，算出工件W之位置、工件W之位置偏移量或補正表中之任一者。而且，在檢測器160中之檢測結果之訊號被輸出至補正器161。另外，從檢測器160對補正器161，輸出工件W之位置或工件W之位置偏移量之情況，在補正器161作成補正表。
另外，在上述說明中，檢測器160使用第1攝影部41之攝影畫像而檢測工件W之位置，但此係工件台20(Y軸線性馬達13)從搬入搬出區域A1移動至處理區域A2之情況(往路路徑)。另外，在工件台20從待機區域A3移動至處理區域A2之情況(返路路徑)，檢測器160使用第2攝影部42之攝影畫像而檢測工件W之位置。
再者，在檢測器160中，雖然使用以第1攝影部41攝影的工件W之攝影畫像，檢測工件W之位置，但是例如即使在工件台20設置基準標記，使用包含基準標記之工件台20之攝影畫像亦可。
再者，在檢測器160中，雖然根據以CCD攝影機亦即第1攝影部41所取得之攝影畫像而檢測工件W之位置，但是即使使用例如雷射干涉計(無圖示)或雷射位移計(無圖示)檢測工件W之位置亦可。於使用雷射干涉計或雷射位移計之情況，對液滴吐出頭34、工件台20或工件W照射雷射，檢測工件W對液滴吐出頭34之位置。在如此之情況。於以例如1列之測長器(雷射干涉計或雷射位移計)測量工件W之位置之情況，檢測Y軸方向位置作為該工件W之位置，於使用例如2列之測長器之情況，檢測Y軸方向位置及θ方向位置。
(補正器) 　　補正器161根據來自Y軸線性標尺16之脈衝訊號，和來自檢測器160之訊號，使用補正表算出工件台20之位置的補正量。而且，將該補正量反饋於移動控制器162。具體而言，進行以下的步驟S1～S3。
首先，在補正器161中，接收來自Y軸線性標尺16之脈衝訊號而計數，掌握Y軸線性馬達13之現在位置。再者，為了在後述步驟S3中轉換脈衝訊號，先解析來自Y軸線性標尺16之脈衝訊號的形狀(脈衝形狀)(步驟S1)。在步驟S1中，在補正器161中，也接收來自X軸線性標尺23之脈衝訊號和來自旋轉編碼器24之脈衝訊號。
接著，在補正器161中，接收來自檢測器160之檢測結果的訊號。來自檢測器160之訊號如上述般係工件W之位置、工件W之位置偏移量或是補正表中之任一者。再者，來自檢測器160之訊號為工件W之位置或工件W之位置偏移量之情況，在補正器161中作成補正表。而且，根據在步驟S1掌握到的Y軸線性馬達13之位置，使用補正表，算出工件台20之位置的補正量。具體而言，2次元內插或多次元內插補正表。另外，圖5所示之補正表為2次元內插者。該補正量之算出係於Y軸線性馬達13(工件台20)之移動中進行，對應於時時刻刻變化之Y軸線性馬達13之位置而算出補正量。因此，在補正器161中，即時地算出於現在位置的工件台20之位置的補正量(步驟S2)。
接著，在補正器161中，根據在步驟S1解析的脈衝形狀，和在步驟S2算出的工件台20之Y軸方向之補正量，轉換從Y軸線性標尺16接受到的脈衝訊號。圖6表示轉換脈衝訊號之樣子，左圖表示來自Y軸線性標尺16之脈衝訊號，右圖表示轉換後，輸出至移動控制器162之脈衝訊號。例如，在複數基準標記102之位置對脈衝訊號全體性地偏移之情況，如圖6(a)所示般，插入脈衝，或如圖6(b)所示般刪除脈衝。再者，例如於在工件W從複數基準標記102之位置伸縮之情況中，對脈衝訊號賦予傾斜之情況，如圖6(c)所示般，伸長脈衝間距，或如圖6(d)所示般縮小脈衝間距。而且，如此被轉換的脈衝訊號被輸出至移動控制器162(步驟S3)。
如此在步驟S3被轉換的脈衝訊號也被輸出至噴墨控制器163。噴墨控制器163係控制在液滴吐出頭34之液滴之吐出時序者，根據Y軸線性馬達13之位置，設定液滴之吐出時序。在本實施型態中，藉由從補正器161被輸出之脈衝訊號被輸出至噴墨控制器163，可以從液滴吐出頭34在適當的時序吐出液滴。
另外，在步驟S3中，在補正器161中，根據在步驟S2算出的工件台20之X軸方向及θ方向之補正量，分別轉換來自X軸線性標尺23之脈衝訊號和來自旋轉編碼器24之脈衝訊號。被轉換的脈衝訊號被輸出至移動控制器162。
再者，於Y軸線性馬達13以高速移動之情況，即時算出補正量的補正器161需要高速訊號處理。因此，補正器161以ASIC(特殊應用積體電路)或現場可程式邏輯閘陣列(FPGA)進行機能安裝為佳。
(移動控制器) 　　移動控制器162係根據自補正器161接收到的Y軸方向之脈衝訊號(轉換後之脈衝訊號)，對Y軸線性馬達13輸出指令訊號(脈衝列)，控制Y軸線性馬達13(工件台20)之移動。再者，移動控制器162係根據自補正器161接收到的X軸方向及θ方向之脈衝訊號(轉換後之脈衝訊號)，對平台移動機構21輸出指令訊號(脈衝列)，控制平台移動機構21之移動。另外，移動控制器162係接收與Y軸、X軸、θ等有關之脈衝訊號，構成全封閉控制。
(噴墨控制器) 　　噴墨控制器163係根據自補正器161接收到的Y軸方向之脈衝訊號(轉換後之脈衝訊號)，對液滴吐出頭34輸出指令訊號(脈衝列)，控制在液滴吐出頭34之液滴之吐出時序。
(在液滴吐出裝置之工件處理) 　　接著，針對使用如上述般構成之液滴吐出裝置1而進行的工件處理進行說明。
首先，在搬入搬出區域A1配置工件台20，藉由搬運機構(無圖示)被搬入至液滴吐出裝置1之工件W被載置於該工件台20。接著，藉由工件對準攝影機攝影工件台20上之工件W。而且，根據該被攝影之畫像，藉由平台移動機構21，補正被載置於工件台20之工件W之X軸方向及θ方向之位置，進行工件W之對準(步驟T1)。
之後，藉由Y軸線性馬達13，使工件台20從搬入搬出區域A1移動至處理區域A2。在處理區域A2中，對於移動至液滴吐出頭34之下方的工件W，從該液滴吐出頭34吐出液滴。並且，如圖7所示般，以工件W之全面通過液滴吐出頭34之下方之方式，使工件台20進一步移動至待機區域A3側。而且，使工件W在Y軸方向往返移動，同時適當地使在X軸方向移動，在工件W描繪特定圖案(步驟T2)。
在此，在步驟T2中，在工件台20之往路路徑，使該工件台20從搬入搬出區域A1移動至處理區域A2之時，即是在處理區域A2，於從液滴吐出頭34對工件W吐出液滴之前，藉由Y軸線性標尺16，即時地測量Y軸線性馬達13之位置。在Y軸線性標尺16之脈衝訊號被輸出至補正器161。再者，也藉由X軸線性標尺23和旋轉編碼器24，分別測量平台移動機構21之X軸方向和θ方向之位置，該些來自X軸線性標尺23之脈衝訊號和來自旋轉編碼器24之脈衝訊號也被輸出至補正器161。
另外，在此時，在第1攝影部41中，以特定週期攝影被載置於工件台20上之工件W，在檢測器160中檢測工件W之位置。在檢測器160中，即使進一步算出工件W之位置偏移量或補正表亦可。在檢測器160中之檢測結果之訊號被輸出至補正器161。
在補正器161中，進行上述步驟S1～S3。即是補正器161根據來自Y軸線性標尺16之脈衝訊號，和來自檢測器160之訊號，使用補正表算出工件台20之位置的補正量。而且，將根據該補正量轉換後的脈衝訊號，從補正器161輸出至移動控制器162。再者，其中，Y軸方向之脈衝訊號也被輸出至噴墨控制器163。
移動控制器162係根據自補正器161接收到的Y軸方向之脈衝訊號(轉換後之脈衝訊號)，對Y軸線性馬達13輸出指令訊號(脈衝列)，補正該Y軸線性馬達13之位置。再者，移動控制器162係根據自補正器161接收到的X軸方向及θ方向之脈衝訊號(轉換後之脈衝訊號)，對平台移動機構21輸出指令訊號(脈衝列)，控制平台移動機構21之移動。另外，噴墨控制器163也對液滴吐出頭34輸出指令訊號，控制在該液滴吐出頭34之液滴的吐出時序。如此一來，相對於液滴吐出頭34，被載置於工件台20之工件W被配置在適當的位置。
另外，在工件台20之返路路徑中，使該工件台20從待機區域A3移動至處理區域A2之時，檢測器160使用第2攝影部42之攝影畫像而檢測工件W之位置。
而且，當工件台20移動至搬入搬出區域A1時，描繪處理結束後的工件W從液滴吐出裝置1被搬出。接著，下一個工件W被搬入至液滴吐出裝置1。接著，進行上述步驟T1之工件W的對準，接著進行步驟T2。
如此一來，對各工件W，進行步驟T1～T2，一連串的工件處理結束。
若根據上述實施型態，即使由於在液滴吐出裝置1之各構件之溫度變化或時間經過變化這樣的主要原因，產生工件W之位置偏移，亦可以使用Y軸線性標尺16、檢測器160及補正器161，適當地補正工件台20之位置。因此，可以使液滴吐出頭34和工件W高精度地對位，可以提高液滴從液滴吐出頭34朝工件W之吐出精度(彈著精度)。
另外，若根據本實施型態，不僅在液滴吐出裝置1之工件W之位置偏移，即使在液滴吐出頭34側產生位置偏移，亦可以適當地補正工件台20之位置。作為在液滴吐出頭34側產生位置偏移之主要原因，可舉出例如起因於工件W之厚度變動的吐出時序之偏移、或液滴吐出頭34和工件W之間隙變動、起因於溫度變化或時間經過變化的液滴之彈著時序之變動、液滴吐出頭34之固定性的位置偏差、液滴吐出頭34之溫度變化或時間經過變化等。
再者，Y軸線性標尺16所致之Y軸線性馬達13之位置測量，和檢測器160所致之工件W之位置檢測，於從液滴吐出頭34對工件W吐出液滴之前即時地進行。而且，在補正器161所使用的補正表，可以配合在液滴吐出裝置1之各構件的變化而自由自在地作成，並且亦能夠在Y軸線性馬達13(工件台20)之移動中更新。因此，可以適當地補正工件台20之位置。
而且，控制部150之構成(檢測器160及補正器161)、工件台20之位置補正之方法非常簡單。再者，在上述圖9所示的位置補正裝置500中，雖然在移動控制器、線性馬達及線性標尺之構成的選擇上受到限制，但是在本實施型態中並無如此的限制。作為移動機構，並不限定於Y軸線性馬達13，即使在馬達系統中也可以適用。再者，位置測量器也並不限定於Y軸線性標尺16，若為位置測量用途之編碼器則能用。因此，裝置選擇之自由度提升。
(其他實施型態) 　　接著，針對本發明之其他實施型態進行說明。
以上之實施型態之補正表雖然根據從檢測器160被檢測之工件W之位置而作成，但是即使使用其他補正表亦可。
例如圖8所示般，即使在電腦170先儲存補正表，從電腦170將該補正表安裝至補正器161亦可。例如，在知道某液滴吐出裝置1的固有癖性，例如特定構件的溫度變化或時間經過變化之情況，在電腦170，即使根據該癖性事先作成補正表亦可。
再者，在作成補正表的時候，即使在基準表重疊變動表亦可。基準表係例如根據液滴吐出裝置1之固有癖性的補正表。由於該癖性非隨時間經過地大幅變動，故在裝置之啟動時先作成。變動表係例如根據從上述檢測器160被檢測之工件W之位置而作成的補正表。即是，依每天變動的主要原因而作成的補正表。
而且，即使例如在液滴吐出裝置1設置溫度計(無圖示)，根據該溫度計所致之溫度測量結果作成補正表亦可。在如此之情況，即使例如於在上述實施型態中從工件W之位置所作成的補正表，重疊從該溫度測量結果所作成的補正表，重新作成補正表亦可。
在以上之實施型態中，在算出補正表的時候，雖然於從液滴吐出頭34對工件W吐出液滴之前，使用以第1攝影部41(第2攝影部42)所攝影到之工件W之攝影畫像，但是即使使用從液滴吐出頭34對工件W吐出液滴之後的工件W之攝影畫像亦可。
在上述之步驟T2之工件台20之往路路徑中，於使該工件台20從搬入搬出區域A1移動至處理區域A2之後，在該處理區域A2中，將液滴從液滴吐出頭34吐出至工件W之堤部100內之時，進一步對基準標記102吐出液滴。而且，使工件台20從處理區域A2移動至待機區域A3之時，在第2攝影部42中，以特定週期攝影被載置於工件台20上之工件W，在檢測器160中檢測工件W之位置。在該工件W之基準標記102之位置(中心位置)之檢測方法雖然為任意，但是可以使用例如日本特開2017-13012號公報所記載之方法。而且，在檢測器160之檢測結果之訊號被輸出至補正器161。
在補正器161中，進行上述步驟S1～S3。即是，補正器161根據來自Y軸線性標尺16之脈衝訊號，和來自檢測器160之訊號，使用補正表算出工件台20之Y軸方向的補正量。而且，將根據該補正量轉換後的Y軸方向之脈衝訊號，從補正器161輸出至移動控制器162。再者，算出工件台20之X軸方向及θ方向之補正量。而且，將根據該補正量轉換後的X軸方向及θ方向之脈衝訊號，也從補正器161輸出至移動控制器162。
移動控制器162係根據自補正器161接收到的Y軸方向之脈衝訊號(轉換後之脈衝訊號)，對Y軸線性馬達13輸出指令訊號(脈衝列)，補正該Y軸線性馬達13之位置。再者，移動控制器162係根據自補正器161接收到的X軸方向及θ方向之脈衝訊號(轉換後之脈衝訊號)，對平台移動機構21輸出指令訊號(脈衝列)，控制平台移動機構21之移動。如此一來，在下一個之後的對工件W吐出液滴中，可以使液滴吐出頭34和工件W高精度地對位。
另外，在工件台20之返路路徑中，使該工件台20從待機區域A3移動至處理區域A2之時，檢測器160使用第1攝影部41之攝影畫像而檢測工件W之位置。
再者，即使如此般地使用被設置在液滴吐出裝置1之外部的檢查裝置，取代第2攝影部42(第1攝影部41)亦可。在檢查裝置中，攝影液滴吐出後之工件W而進行檢查。在補正器161之工件台20之位置的補正量算出，即使使用在該檢查裝置的攝影畫像亦可。
在以上之實施型態中，雖然使工件台20在Y軸方向移動，但是即使使液滴吐出頭34在Y軸方向移動亦可。在如此之情況，補正器161補正使液滴吐出頭34移動的Y軸線性馬達(無圖示)之位置。
再者，即使使工件台20和液滴吐出頭34之雙方在Y軸方向移動亦可。如此之情況，補正器161補正使工件台20移動之Y軸線性馬達13之位置，和使液滴吐出頭34移動(無圖示)的位置。
以上實施型態雖針對使用液滴吐出裝置1作為工件加工裝置之情況進行說明，但是本發明若為具備使工件移動之精密載台的裝置，亦可以適用於其他工件加工裝置。作為其他工件加工裝置，有例如對工件進行加工的工作機械，或在工件塗佈處理液的塗佈裝置等。
另外，本發眀係如液滴吐出裝置1般，在加工機和工件台之雙方移動之情況特別有用。在如此之情況，若在以往，有補正加工機之移動和工件台之移動雙方無法取得同步之虞，但是本發明僅以補正器161進行補正，可以適當地補正工件台20之位置。
(液滴吐出裝置之適用例) 　　如上述般被構成的液滴吐出裝置1適用於例如日本特開2017-13011號公報所記載的形成有機發光二極體之有機EL層之基板處理系統。具體而言，液滴吐出裝置1適用於塗佈用以在作為工件W之玻璃基板上形成電洞注入層之有機材料的塗佈裝置、塗佈用以在玻璃基板(電洞注入層)上形成電洞輸送層之有機材料的塗佈裝置、塗佈用以在玻璃基板(電洞輸送層)上形成發光層之有機材料的塗佈裝置。另外，在基板處理系統中，於除形成有機發光二極體之電洞注入層、電洞輸送層及發光層之外，也形成電子輸送層和電子注入層之情況，液滴吐出裝置1亦可以適用於該些電子輸送層和電子注入層之塗佈處理。
再者，液滴吐出裝置1除如上述般適用於形成有機發光二極體之有機EL層之時，即使亦適用於製造例如彩色濾光器、液晶顯示裝置、電漿顯示器(PDP裝置)、電子放射裝置(FED裝置、SED裝置)等之光電裝置(平板面板顯示器：FPD)之時亦可，或是即使亦適用於製造金屬配線形成、透鏡形成、光阻形成及光擴散體形成等之時亦可。
以上，雖然一面參照附件圖面一面針對本發明之較佳實施形態進行說明，但是本發明並不限定於如此之例。若為發明所屬技術領域中具有通常知識者在記載於申請專利範圍之思想範疇內能夠思及各種變更例或是修正例係不言自明，即使針對該些變更例或修正例亦當然地屬於本發明之技術範圍。
1‧‧‧液滴吐出裝置10‧‧‧Y軸載台11‧‧‧X軸載台12‧‧‧Y軸導軌13‧‧‧Y軸線性馬達14‧‧‧X軸導軌15‧‧‧X軸線性馬達16‧‧‧Y軸線性標尺20‧‧‧工件台21‧‧‧平台移動機構22‧‧‧Y軸滑件23‧‧‧X軸線性標尺24‧‧‧旋轉編碼器30‧‧‧拖架單元33‧‧‧拖架34‧‧‧液滴吐出頭40‧‧‧攝影單元41‧‧‧第1攝影部42‧‧‧第2攝影部100‧‧‧堤部101‧‧‧開口部102‧‧‧基準標記150‧‧‧控制部160‧‧‧檢測器161‧‧‧補正器162‧‧‧移動控制器163‧‧‧噴墨控制器170‧‧‧電腦W‧‧‧工件
圖1為表示與本實施形態有關之液滴吐出裝置之構成之概略的側面圖。 　　圖2為表示與本實施形態有關之液滴吐出裝置之構成之概略的俯視圖。 　　圖3為表示在工件上形成堤部和基準標記之狀態的俯視圖。 　　圖4為示意性地表示控制部之構成之概略的說明圖。 　　圖5為表示補正表之一例的圖。 　　圖6為表示在補正器中轉換脈衝訊號之樣子的說明圖。 　　圖7為表示使工件朝向液滴吐出頭移動之樣子的說明圖。 　　圖8為示意性地表示與其他實施形態有關之控制部之構成之概略的說明圖。 　　圖9為示意性地表示以往之位置補正裝置之構成之概略的說明圖。
13‧‧‧Y軸線性馬達
16‧‧‧Y軸線性標尺
20‧‧‧工件台
21‧‧‧平台移動機構
23‧‧‧X軸線性標尺
24‧‧‧旋轉編碼器
34‧‧‧液滴吐出頭
41‧‧‧第1攝影部
150‧‧‧控制部
160‧‧‧檢測器
161‧‧‧補正器
162‧‧‧移動控制器
163‧‧‧噴墨控制器
W‧‧‧工件

Claims (13)

  1. 一種工件加工裝置，其係對工件進行特定加工，該工件加工裝置之特徵在於，具有：工件台，其係載置上述工件；加工機，其對被載置於上述工件台之上述工件進行加工；移動機構，其係使上述工件台和上述加工機相對性地移動；位置測量器，其係測量上述移動機構之位置；檢測器，其係檢測被載置於上述工件台之上述工件的位置；及補正器，其係根據上述位置測量器之測量結果和上述檢測器之檢測結果，算出上述工件台之位置之補正量，上述補正器係在上述工件台和上述加工機之相對性的移動中，作成表示上述移動機構之位置和上述補正量之相關的補正表，使用作成後的補正表而算出上述工件台之位置的補正量，上述移動機構係補正上述移動中的工件台之位置。
  2. 如請求項1所記載之工件加工裝置，其中上述補正器係藉由對上述補正表進行2次元內插或多次元內插，算出在現在位置的補正量。
  3. 如請求項1或2所記載之工件加工裝置，其中上述檢測器之檢測結果係上述工件之位置或上述補正量。
  4. 如請求項1或2所記載之工件加工裝置，其中上述檢測器係於上述加工機所致之上述工件之加工前，檢測上述工件之位置。
  5. 如請求項1或2所記載之工件加工裝置，其中上述移動機構使上述工件台和上述加工機雙方移動。
  6. 如請求項1或2所記載之工件加工裝置，其中上述特定加工係對上述工件吐出機能液之液滴而進行描繪的加工。
  7. 一種工件加工方法，其係對被載置於工件台之工件，藉由加工機進行特定加工，該工件加工方法之特徵在於，具有：第1工程，其係在藉由移動機構使上述工件台和上述加工機相對性地移動之時，藉由位置測量器測量移動機構之位置；第2工程，其係在藉由上述移動機構使上述工件台和上述加工機相對性地移動之時，藉由檢測器，檢測被載置於上述工件台之上述工件的位置；及 第3工程，其係藉由補正器，根據上述位置測量器之測量結果和上述檢測器之檢測結果，算出上述工件台之位置之補正量，在上述第3工程中，上述補正器係在上述工件台和上述加工機之相對性的移動中，作成表示上述移動機構之位置和上述補正量之相關的補正表，使用作成後的補正表而算出上述工件台之位置的補正量，上述移動機構係補正上述移動中的工件台之位置。
  8. 如請求項7所記載之工件加工方法，其中在上述第3工程中，藉由對上述補正表進行2次元內插或多次元內插，算出在現在位置的補正量。
  9. 如請求項7或8所記載之工件加工方法，其中在上述第2工程中，上述檢測器之檢測結果係上述工件之位置或上述補正量。
  10. 如請求項7或8所記載之工件加工方法，其中上述第2工程係於上述加工機所致之上述工件之加工前被進行。
  11. 如請求項7或8所記載之工件加工方法，其中上述移動機構使上述工件台和上述加工機雙方移動。
  12. 如請求項7或8所記載之工件加工方法，其中上述特定加工係對上述工件吐出機能液之液滴而進行描繪的加工。
  13. 一種電腦可讀取的記憶媒體，儲存有在該工件加工裝置之電腦上動作的程式，使得藉由工件加工裝置實行如請求項7或8所記載之工件加工方法。
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