CN108569042B - 工件加工装置、工件加工方法和计算机存储介质 - Google Patents

工件加工装置、工件加工方法和计算机存储介质 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种工件加工装置、工件加工方法和计算机存储介质，在对工件进行规定的加工的工件加工装置中，适当修正工件台相对于加工机的相对位置。液滴排出装置包括：载置工件(W)的工件台(20)；向载置在工件台(20)的工件(W)排出液滴的液滴排出头(34)；使工件台(20)移动的Y轴线性电动机(13)；测定Y轴线性电动机(13)的位置的Y轴线性标尺(16)；检测载置在工件台(20)的工件(W)的位置的检测器(160)；基于Y轴线性标尺(16)的测定结果和检测器(160)的检测结果，计算出工件台(20)的位置的修正量的修正器(161)。

Description

工件加工装置、工件加工方法和计算机存储介质
技术领域
本发明涉及对工件进行规定的加工的工件加工装置、使用该工件加工装置的工件加工方法、程序和计算机存储介质。
背景技术
在现有技术中，作为使用功能液对工件进行描绘的装置，已知有使该功能液成为液滴来排出的喷墨方式的液滴排出装置。液滴排出装置例如在制造有机EL装置、彩色滤光片、液晶显示装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)等的电光学装置(平板显示器：FPD)时等被广泛使用。
例如专利文献1所记载的液滴排出装置包括：排出功能液的液滴的功能液滴排出头(液滴排出头)；搭载工件的工件载置台(工件台)；和沿着引导用的一对支承基底延伸的方向(主扫描方向)使工件台移动的移动机构(线性电动机)。而且，一边利用工件台使工件相对于液滴排出头相对地移动，一边从液滴排出头对在工件上预先形成的堰堤排出功能液，由此来进行对工件的描绘。
在这样的液滴排出装置中，为了对工件上的所期望的位置正确地排出功能液，预先进行工件的对准。工件台构成为包含旋转动作在内能够在水平方向上自由移动，通过设置在工件台上方的对准用的摄像机拍摄工件的对准标记。而且，基于所拍摄的图像修正工件台的水平方向的位置，进行工件的对准。之后，使已对准的工件移动到预先决定的位置，从液滴排出头向工件的堰堤内排出功能液。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2010-198028号公报
发明内容
发明想要解决的技术问题
但是，在进行了工件的对准后，因各种的原因，存在液滴排出头和工件上的堰堤的位置关系发生变化的情况。其原因能够列举例如温度变化导致的构造物或工件的变形、设置在线性电动机的线性标度的热伸缩、机构的经时变化、用于设置液滴排出装置的地面、房屋的变形、工件台上的工件的载置状态的差异(工件的姿态偏差)等。并且，作为装置的精度恶化原因也能够列举线性电动机的位置和工件台的表面的阿贝误差(Abbe error)、使工件台往复时的反冲误差(Backlash error)、功能液排出头的位置偏移等。
另外，近年来，利用液滴排出装置制造的电视等的产品，大型且高精细(例如4K、8K)成为主流，要与工件的大型化对应的液滴排出装置也正大型化。因此，成为上述原因导致的液滴排出头和堰堤的位置偏移、即从液滴排出头排出的液滴落在工件上的堰堤时的位置偏移无法无视的状况。而且，因像素大小的影响，其位置偏移的容许范围例如能够变小为±2μm以下。
所以，如液滴排出装置那样在需要精密控制的载置台中，要求能够迅速地对应环境变化的工件台的位置修正的技术。另外，精密载置台，除了液滴排出装置以外，还能够用于例如工作机械、处理液的涂敷装置，在该装置中也需要工件台的位置修正的技术。而且，在现有技术中，在这样的精密载置台中，还没有达到准确地修正工件台的位置。
本发明是鉴于上述情况而完成的，目的在于在对工件进行规定的加工的工件加工装置中，准确地修正工件台相对于加工机的相对位置，并且高精度使该加工机和工件对准。
用于解决技术课题的技术方案
为了实现上述目的，即为了适当地进行工件台的位置修正，本发明者们，尝试利用修正表来修正线性电动机的位置(线性电动机的动子的位置)。以下，关于本发明者们尝试的具体的位置修正方法进行说明。图9表示用于实现该位置修正方法的位置修正装置500的构成。
如图9所示，通过线性电动机510，一边使载置有工件W的工件台511移动，一边从液滴排出头512对工件W上的堰堤排出功能液的液滴。在使工件台511移动时，通过线性标尺513测定线性电动机510的位置。
来自线性标尺513的编码器脉冲(脉冲信号)经分支转换器520被输出到控制线性电动机510的移动的移动控制器521、和对来自线性标尺513的脉冲信号进行逆转换的编码逆转换器522。
在移动控制器521中，使用修正表修正对线性电动机510的指令信号(脉冲列)并将其输出。修正表在位置修正装置500的启动时从计算机523安装于移动控制器521。另外，修正表表示线性电动机510的目标位置(指令位置)和修正位置的相关关系，例如相对于线性电动机510的目标位置，测定实际的线性电动机510的位置，能够在工件W的量产前预先取得。
在编码逆转换器522中，使用逆转换表，对来自线性标尺513的脉冲信号进行逆转换，输出到喷墨控制器524。喷墨控制器524用于控制液滴排出头512中的液滴的排出时刻，基于线性电动机510的位置设定液滴的排出时刻。逆转换表在位置修正装置500的启动时从计算机523安装到编码逆转换器522。另外，逆转换表用于将来自线性标尺513的脉冲信号转换为液滴排出头512的排出时刻，与修正表同样在工件W的量产前预先取得。
接着，说明以上的构成的位置修正装置500的动作。例如以工件台511的移动开始点为0mm，对该线性电动机510输出指令信号使线性电动机510移动到1000mm的目标位置的情况下，例如通过摄像机等外部的测量器判明作为该目标位置实际上900mm是正确的。在该情况下，从线性标尺513输出表示900mm的脉冲信号。
在移动控制器521中，基于修正表，将对线性电动机510的指令信号从当初的1000mm转换为900mm。而且，从移动控制器521对线性电动机510输出表示900mm的脉冲信号，来决定线性电动机510的位置。
另一方面，即使线性电动机510的位置被指令为900mm，液滴排出头512的排出时刻也保持为目标位置1000mm的状态。所以，在编码逆转换器522中，使用逆转换表将来自线性标尺513的表示900mm的脉冲信号逆转换为1000mm。而且，从编码逆转换器522对喷墨控制器524输出表示1000mm的脉冲信号，来控制液滴排出头512中的液滴的排出时刻。
如以上所述，在位置修正装置500中，使线性电动机510的位置和液滴排出头512中的液滴排出时刻一致。
但是，在位置修正装置500中，能够使用具有指令信号的修正功能的移动控制器521，但是，这样的移动控制器521并不通用，移动控制器521、线性电动机510、线性标尺513的选定存限制。另外，在使用市场销售的移动控制器521的情况下，线性电动机510的位置修正的分数受到制限，另外，也需要其位置修正的插补处理，设计的自由度存限制。
另外，在位置修正装置500中，需要进行线性电动机510的位置修正和液滴排出头512的排出时刻修正这两者，存在其控制复杂且无法取得两修正的同步的问题。另外，为了如上所述进行两修正，需要另外设置分支转换器520。并且，为了更新编码逆转换器522的逆转换表，每次更新需要重置位置修正装置500的电源。如上所述使用位置修正装置500的控制变得复杂麻烦。
所以，位置修正装置500在工件台511的位置修正方面是有用的，但是还存在改善的余地。
所以，本发明提供一种对工件进行规定的加工的工件加工装置，其特征在于，包括：载置所述工件的工件台；对载置在所述工件台的所述工件进行加工的加工机；使所述工件台与所述加工机相对地移动的移动机构；测定所述移动机构的位置的位置测定器；检测被载置在所述工件台的所述工件的位置的检测器；和基于所述位置测定器的测定结果和所述检测器的检测结果，计算所述工件台的位置的修正量的修正器。
根据本发明，首先，在通过移动机构使工件台与加工机相对移动时，通过位置测定器测定移动机构的位置。另一方面，在通过移动机构使工件台与加工机相对移动时，通过检测器检测载置在工件台的工件的位置。而且，通过修正器使用来自位置测定器的测定结果和来自检测器的检测结果，计算出工件台的位置的修正量。
在该情况下，即使因工件加工装置中的各部件的温度变化和经时变化之类的原因而产生工件的位置偏移，也能够使用位置测定器、检测器和修正器适当地修正工件台的位置。另外，在上述图9所示的位置修正装置中，存在无法取得线性电动机(移动机构)的位置修正和液滴排出头(加工机)的排出时刻修正的同步的问题，但是，在本发明中，仅通过修正器进行修正，能够准确地修正工件台的位置。所以，能够提高基于加工机进行的工件的加工精度。
另外，例如在基于加工机进行的工件的加工前，检测器检测工件的位置的情况下，使工件台和加工机相对地移动期间，能够在修正器中实时地修正工件台的位置。
而且，在修正工件台的位置时，本发明的工件加工装置的构成和加工方法非常简单。上述图9所示的位置修正装置中，移动控制器、线性电动机和线性标尺、即移动机构的选定存在限制，但是，在本发明中不存在该限制，移动机构的选择的自由度提高。
所述修正器使用表示所述移动机构的位置与所述修正量的相关关系的修正表。
所述检测器的检测结果为所述工件的位置、所述修正量或者所述修正表。
所述检测器在由所述加工机进行的所述工件的加工之前，检测所述工件的位置。
所述移动机构使所述工件台和所述加工机两者移动。
所述规定的加工是向所述工件排出功能液的液滴来进行描绘的加工。
本发明的另一方面提供一种工件加工方法，通过加工机对被载置在工件台的工件进行规定的加工，所述工件加工方法的特征在于，包括：在由移动机构使所述工件台与所述加工机相对地移动时，由位置测定器测定移动机构的位置的第1步骤；在由所述移动机构使所述工件台与所述加工机相对地移动时，由检测器检测被载置在所述工件台的所述工件的位置的第2步骤；和由修正器基于所述位置测定器的测定结果和所述检测器的检测结果，计算所述工件台的位置的修正量的第3步骤。
在所述第3步骤中，所述修正器使用表示所述移动机构的位置与所述修正量的相关关系的修正表。
在所述第2步骤中，所述检测器的检测结果是所述工件的位置、所述修正量或者所述修正表。
所述第2步骤在由所述加工机进行的所述工件的加工之前进行。
所述移动机构使所述工件台和所述加工机两者移动。
所述规定的加工是向所述工件排出功能液的液滴来进行描绘的加工。
根据本发明的另一方面，提供一种在工件加工装置的计算机上运行的程序，其通过工件加工装置执行所述工件加工方法。
根据本发明的另一方面，提供一种保存有所述程序的计算机可读存储介质。
发明效果
根据本发明，即使因工件加工装置中的各部件的温度变化和经时变化之类的原因而产生工件的位置偏移，也能够适当地修正工件台相对于加工机的相对位置，能够使该加工机与工件高精度对准。而且，在修正工件台的位置时，工件加工装置和加工方法能够非常简单。
附图说明
图1是表示本实施方式的液滴排出装置的构成的概略的侧面图。
图2是表示本实施方式的液滴排出装置的构成的概略的平面图。
图3是表示在工件上形成有堰堤和基准标记的状态的平面图。
图4是示意地表示控制部的构成的概略的说明图。
图5是表示修正表的一个例子的图。
图6(a)～图6(d)是表示在修正器中对脉冲信号进行转换的情况的说明图。
图7是表示使工件向液滴排出头移动的情况的说明图。
图8是示意地表示另一实施方式的控制部的构成的概略的说明图。
图9是示意地表示现有的位置修正装置的构成的概略的说明图。
附图标记说明
1 液滴排出装置
10 Y轴载置台
11 X轴载置台
12 Y轴导轨
13 Y轴线性电动机
14 X轴导轨
15 X轴线性电动机
16 Y轴线性标尺
20 工件台
21 台移动机构
22 Y轴滑动器
23 X轴线性标尺
24 旋转编码器
30 运载组件
33 承载器
34 液滴排出头
40 拍摄组件
41 第1拍摄部
42 第2拍摄部
100 堰堤
101 开口部
102 基准标记
150 控制部
160 检测器
161 修正器
162 移动控制器
163 喷墨控制器
170 计算机
W 工件。
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的实施方式。在本实施方式中，作为工件的加工，说明对工件排出功能液的液滴来进行描绘的情况。另外，本实施方式中，作为工件加工装置使用液滴排出装置。此外，本发明不限于以下所示的实施方式。
<液滴排出装置的构成>
首先，参照图1和图2说明本实施方式的液滴排出装置的构成。图1是表示液滴排出装置1的构成的概略的侧面图。图2是表示液滴排出装置1的构成的概略的平面图。此外，在以下中，令工件W的主扫描方向为Y轴方向，令与主扫描方向正交的副扫描方向为X轴方向，令与Y轴方向和X轴方向正交的铅垂方向为Z轴方向，令绕Z轴方向旋转的方向为θ方向。
另外，在本实施方式中所使用的工件W如图3所示形成作为划分壁的堰堤100。堰堤100例如通过进行光刻处理、蚀刻处理等图案化为规定的图案。在堰堤100，大致矩形形状的开口部101在行方向(Y轴方向)和列方向(X轴方向)上以规定的节距排列形成有多个。该开口部101的内部成为从液滴排出装置1排出的液滴着落的着落区域。此外，堰堤100例如能够使用感光性聚酰亚胺树脂。
在工件W的端部，沿Y轴方向以与开口部101相同的节距形成有多个基准标记102。基准标记102例如使用喷墨方式的绘图方法等描绘在工件W的上表面。此外，在图3中，作为基准标记102描绘有大致十字形的标记，但是，基准标记102的形状不限于本实施方式的内容，例如可以为圆形、三角形，只要能够识别就能够任意设定。另外，在图3中，描绘在工件W的X轴负方向侧的端部形成有基准标记102的状态，但是，基准标记102也可以形成在工件W的X轴正方向侧的端部。
液滴排出装置1包括：在主扫描方向(Y轴方向)延伸来使工件W在主扫描方向上移动的Y轴载置台10；和以跨Y轴载置台10的方式架设的、在副扫描方向(X轴方向)延伸的一对X轴载置台11、11。在Y轴载置台10的上表面，一对Y轴导轨12、12在Y轴方向上延伸地设置，在各Y轴导轨12设置有作为移动机构的Y轴线性电动机13。在各X轴载置台11的上表面，X轴导轨14在X轴方向上延伸地设置，在该X轴导轨14设置有X轴线性电动机15。此外，以下的说明中，在Y轴载置台10上，将比X轴载置台11靠Y轴负方向侧的区域称为搬入搬出区域A1，将一对X轴载置台11、11之间的区域称为处理区域A2，将比X轴载置台11靠Y轴正方向侧的区域称为待机区域A3。
在Y轴线性电动机13设置有测定该Y轴线性电动机13的位置的、作为位置测定器的Y轴线性标尺16。从Y轴线性标尺16输出表示Y轴线性电动机13的位置的编码器脉冲(脉冲信号)。此外，Y轴线性电动机13的位置是指Y轴线性电动机13的动子的位置。
在Y轴载置台10上设置有工件台20。在一对X轴载置台11、11设置有运载组件30和拍摄组件40。
工件台20例如是真空吸附台，通过吸附来载置工件W。工件台20通过设置在该工件台20的下表面侧的台移动机构21在X轴方向自由移动并以在θ方向可旋转的方式被支承。工件台20和台移动机构21由设置在台移动机构21的下表面侧的Y轴滑动器22支承。Y轴滑动器22安装在Y轴导轨12上，构成为通过Y轴线性电动机13在Y轴方向能够自由移动。所以，在载置有工件W的状态下使工件台20通过Y轴滑动器22沿Y轴导轨12在Y轴方向移动，由此能够使工件W在Y轴方向上移动。此外，本实施方式中，台移动机构21使工件台20在X轴方向上移动并且在θ方向上旋转，但是，使工件台20在X轴方向上移动的机构和在θ方向上旋转的机构可以分别不同。
在台移动机构21设置有测定该台移动机构21的X轴方向的位置的X轴线性标尺23，和测定台移动机构21的θ方向的位置的旋转编码器24。从X轴线性标尺23和旋转编码器24分别输出表示台移动机构21(工件台20)的X轴方向的位置和θ方向的位置的编码器脉冲(脉冲信号)。
此外，在搬入搬出区域A1中的工件台20的上方设置有拍摄工件台20上的工件W的工件对准摄像机(未图示)。而且，基于由工件对准摄像机所拍摄的图像，通过Y轴滑动器22和台移动机构21，根据需要修正载置于工件台20的工件W的Y轴方向、X轴方向和θ方向的位置。由此，将工件W对准来设定为规定的初始位置。
运载组件30在X轴载置台11设置多个例如是10个。各运载组件30包括承载板31、承载器保持机构32、承载器33、作为加工机的液滴排出头34。承载器保持机构32设置在承载板31的下表面的中央部，在该承载器保持机构32的下端部可拆卸地安装有承载器33。
承载板31安装在X轴导轨14，通过X轴线性电动机15在X轴方向上自由移动。此外，能够使多个承载板31作为一体在X轴方向上移动。
在承载器33安装有电动机(未图示)。通过该电动机，承载器33能够在X轴方向和θ方向上自由移动。此外，承载器33的X轴方向和θ方向的移动例如可以通过承载器保持机构32进行。
在承载器33的下表面，在Y轴方向和X轴方向上排列设置有多个液滴排出头34。在本实施方式中，例如在Y轴方向设置6个、X轴方向设置2个、即合计设置12个的液滴排出头34。液滴排出头34的下表面、即喷嘴面形成有多个排出喷嘴(未图示)。而且，从该排出喷嘴能够对液滴排出头34正下方的液滴排出位置排出功能液的液滴。
拍摄组件40配置在在俯视时与通过Y轴线性电动机13使工件台20在Y轴方向上移动时的、工件W上的基准标记102的轨迹大致重叠的位置。具体来讲，例如如图2所示，在从X轴方向的负方向一侧下方起第二个承载板31a的配置与使工件W在Y轴方向上移动时的基准标记102的轨迹大致重合的情况下，拍摄组件40设置在承载板31a。此外，拍摄组件40可以构成为能够在X轴方向上移动。
拍摄组件40包括隔着承载器33(液滴排出头34)在Y轴方向上相对设置的第1拍摄部41和第2拍摄部42。作为第1拍摄部41和第2拍摄部42例如能够使用CCD摄像机，在工件台20的移动中、停止中、工件处理中(液滴排出中)的任一者时，都能够拍摄载置在该工件台20的工件W。第1拍摄部41相对于承载器33配置在Y轴负方向侧，第2拍摄部42相对于承载器33配置在Y轴正方向侧。
第1拍摄部41拍摄形成在工件W的基准标记102。第1拍摄部41由一对X轴载置台11、11中的、设置在Y轴负方向侧的X轴载置台11的侧面的基座43支承。而且，工件W从搬入搬出区域A1向处理区域A2移动，当工件台20被引导到第1拍摄部41的正下方时，第1拍摄部41以规定的周期拍摄载置在工件台20上的工件W。所取得的拍摄图像被输入后述的控制部150的检测器160。此外，由第1拍摄部41进行拍摄的时刻，可以基于例如从后述的修正器161输出的转换后的脉冲信号决定，或者可以在工件处理前预先设定。
第2拍摄部42由一对X轴载置台11、11中的、设置在Y轴正方向侧的X轴载置台11的侧面的基座44支承。而且，当工件台20被引导到第2拍摄部42的正下方时，第2拍摄部42拍摄载置在工件台20上的工件W，由此能够拍摄到着落在工件W的上表面的液滴。
此外，在工件台20的去程路径(Y轴正方向)中，第1拍摄部41和第2拍摄部42中的工件W的拍摄图像如上所述，但是，在工件台20的回程路径(Y轴负方向)中，第1拍摄部41和第2拍摄部42中的拍摄图像与其相反。
<控制部>
在以上的液滴排出装置1设置有控制部150。控制部150例如是计算机，具有数据保存部(未图示)。在数据保存部保存有例如用于控制向工件W排出的液滴、在该工件W描绘规定的图案的描绘数据(位图数据)等。另外，控制部150具有程序保存部(未图示)。在程序保存部保存有控制液滴排出装置1中的各种处理的程序等。
此外，上述数据和上述程序例如可以被保存在计算机可读取的硬盘(HD)、软盘(FD)、光盘(CD)、磁盘(MO)、存储器卡等的计算机可读取的存储介质中，从该存储介质安装到控制部150。
如图4所示，控制部150包括：处理由第1拍摄部41所取得的拍摄图像，根据该拍摄图像检测基准标记102的位置的检测器160；对工件台20的位置(Y轴线性电动机13和台移动机构21的位置)进行修正的修正器161；控制Y轴线性电动机13和台移动机构21的移动的移动控制器162(运动驱动器)；和控制液滴排出头34的排出时刻的喷墨控制器163。
(检测器)
检测器160中的基准标记102的位置(中心位置)的检测方法是任意的，例如能够使用日本特开2017-13011号公报所记载的方法。而且，检测器160通过检测多个基准标记102的位置来检测工件W的位置。另外，第1拍摄部41设置在安装有液滴排出头34的X轴载置台11，所以，在检测器160中，检测工件W相对液滴排出头34的位置。此外，由第1拍摄部41所取得的拍摄图像包括Y轴成分、X轴成分和θ成分，由检测器160检测的工件W的位置也包括Y轴方向位置、X轴方向位置和θ方向位置。
此外，在检测器160中，基于所检测的工件W的位置，进一步计算出工件W的与目标位置的位置偏移量。该工件W的位置偏移量的计算方法是任意的，例如能够使用日本特开2017-13011号公报记载的方法。即，使用该方法，基于由Y轴线性标尺16所测定的Y轴线性电动机13的位置，推测工件W的目标位置。并且，比较所计算出的工件W的目标位置与由检测器160检测出的工件W的位置，计算出位置偏移量。此外，工件W的位置偏移量包括Y轴方向位置、Y轴方向节距、Y轴方向Yaw、Y轴方向位置基准的X轴方向位置、Y轴方向位置基准的θ方向位置。
另外，在检测器160中，可以基于如上述方式所计算出的工件W的位置偏移量，作成图5所示的修正表。该修正表按Y轴线性电动机13的1个行程、例如每100mm节距对于该Y轴线性电动机13的位置标绘工件W的Y轴方向的位置偏移量而作成。该工件W的位置偏移量表示工件W的位置的修正量、即工件台20的位置的修正量。所以，修正表中，其横轴为Y轴线性电动机13的位置，纵轴为工件台20的位置的修正量，即表示在由Y轴线性标尺16所测定的Y轴线性电动机13的位置中，使该工件台20的位置移动多少即可。此外，图5所示的修正表是表示工件台20的Y轴方向位置的修正量的一个例子，但是另外也能够分别相对于Y轴方向节距、Y轴方向Yaw、Y轴方向位置基准的X轴方向位置、Y轴方向位置基准的θ方向位置作成修正表。所以，通过在Y轴方向上修正Y轴线性电动机13的位置，在X轴方向和θ方向修正台移动机构21的位置，能够修正工件台20的姿势。并且，图5所示的修正表是对标绘曲线进行二维插补的表，也可以进行多维插补。
如上所述在检测器160中，计算出工件W的位置、工件W的位置偏移量、或者修正表的任一者。并且，检测器160中的检测结果的信号被输出到修正器161。此外，从检测器160向修正器161输出工件W的位置或者工件W的位置偏移量时，在修正器161中作成修正表。
此外，在上述说明中，检测器160使用第1拍摄部41的拍摄图像检测工件W的位置，但是，这是工件台20(Y轴线性电动机13)从搬入搬出区域A1向处理区域A2移动的情况(去程路径)。另一方面，在工件台20从待机区域A3向处理区域A2移动的情况(回程路径)，检测器160使用第2拍摄部42的拍摄图像检测工件W的位置。
另外，在检测器160中，使用由第1拍摄部41拍摄的工件W的拍摄图像检测工件W的位置，但是，例如也可以在工件台20设置基准标记，使用包括该基准标记的工件台20的拍摄图像。
另外，在检测器160中，基于由CCD摄像机即第1拍摄部41取得的拍摄图像检测工件W的位置，但是例如也可以使用激光干涉仪(未图示)或者激光位移计(未图示)检测工件W的位置。在使用激光干涉仪或者激光位移计的情况下，对液滴排出头34和工件台20或者工件W照射激光，来检测工件W相对液滴排出头34的位置。在该情况下，例如在用1排的测长器(激光干涉仪或者激光位移计)测定工件W的位置的情况下，作为该工件W的位置检测Y轴方向位置，例如在使用2排测长器的情况下，能够检测Y轴方向位置和θ方向位置。
(修正器)
修正器161基于来自Y轴线性标尺16的脉冲信号和来自检测器160的信号，使用修正表计算出工件台20的位置的修正量。并且，将该修正量反馈到移动控制器162。具体来讲，进行以下的步骤S1～S3。
首先，在修正器161中，接收来自Y轴线性标尺16的脉冲信号并进行计数，掌握Y轴线性电动机13的当前位置。另外，为了在后述的步骤S3中对脉冲信号进行转换，对来自Y轴线性标尺16的脉冲信号的形状(脉冲形状)进行解析(步骤S1)。在步骤S1中，在修正器161中，也接收来自X轴线性标尺23的脉冲信号和来自旋转编码器24的脉冲信号。
接着，在修正器161中，接收来自检测器160的检测结果的信号。来自检测器160的信号如上述所述为工件W的位置、工件W的位置偏移量、或者修正表的任一者。另外，在来自检测器160的信号为工件W的位置或者工件W的位置偏移量的情况下，在修正器161中作成修正表。并且，基于在步骤S1中所掌握的Y轴线性电动机13的位置，使用修正表计算出工件台20的位置的修正量。具体来讲，对修正表进行2维插补或者多维插补。此外，图5所示的修正表是进行了2维插补的表。该修正量的计算在Y轴线性电动机13(工件台20)的移动中进行，对应于时刻变化的Y轴线性电动机13的位置计算出修正量。所以，在修正器161中，实时地计算出在当前位置的工件台20的位置的修正量(步骤S2)。
接着，在修正器161中，基于在步骤S1中所解析的脉冲形状和在步骤S2中所计算出的工件台20的Y轴方向的修正量，对从Y轴线性标尺16所接收的脉冲信号进行转换。图6(a)～图6(d)表示对脉冲信号进行转换的情况，左图表示来自Y轴线性标尺16的脉冲信号，右图表示转换后向移动控制器162输出的脉冲信号。例如多个基准标记102的位置相对于脉冲信号整体偏移了的情况下，如图6(a)所示插入脉冲或者如图6(b)所示削除脉冲。另外，例如在工件W从多个基准标记102的位置伸缩了时，想要对脉冲信号赋予倾斜的情况下，如图6(c)所示使脉冲节距伸长或者如图6(d)所示缩短脉冲节距。并且，如上述所述转换了的脉冲信号被输出到移动控制器162(步骤S3)。
如上所述在步骤S3中转换后的脉冲信号，也被输出到喷墨控制器163。喷墨控制器163用于控制液滴排出头34中的液滴的排出时刻，基于Y轴线性电动机13的位置设定液滴的排出时刻。本实施方式中，将从修正器161输出的脉冲信号输出到喷墨控制器163，由此能够从液滴排出头34在适当的时刻排出液滴。
此外，在步骤S3中，在修正器161中，基于在步骤S2中计算出的工件台20的X轴方向和θ方向的修正量，对来自X轴线性标尺23的脉冲信号和来自旋转编码器24的脉冲信号分别进行转换。转换后的脉冲信号被输出到移动控制器162。
另外，在Y轴线性电动机13以高速进行移动的情况下，实时地计算修正量的修正器161，需要进行高速信号处理。因此，修正器161优选利用ASIC(特定应用集成电路)、现场可编程门阵列(FPGA)进行功能安装。
(移动控制器)
移动控制器162基于从修正器161所接收的Y轴方向的脉冲信号(转换后的脉冲信号)，对Y轴线性电动机13输出指令信号(脉冲列)，来控制Y轴线性电动机13(工件台20)的移动。另外，移动控制器162基于从修正器161所接收的X轴方向和θ方向的脉冲信号(转换后的脉冲信号)，对台移动机构21输出指令信号(脉冲列)，来控制台移动机构21的移动。此外，移动控制器162接收关于Y轴、X轴、θ等的脉冲信号，构成全闭(full-closed)位置控制。
(喷墨控制器)
喷墨控制器163基于从修正器161接收的Y轴方向的脉冲信号(转换后的脉冲信号)，对液滴排出头34输出指令信号(脉冲列)，控制液滴排出头34中的液滴的排出时刻。
<液滴排出装置中的工件处理>
接着，对使用如以上所述构成的液滴排出装置1进行的工件处理进行说明。
首先，将工件台20配置在搬入搬出区域A1，通过搬送机构(未图示)将被搬入到液滴排出装置1的工件W载置在该工件台20。接着，通过工件对准摄像机拍摄工件台20上的工件W。并且，基于该拍摄的图像，通过台移动机构21来修正载置在工件台20的工件W的X轴方向和θ方向的位置，进行工件W的对准(步骤T1)。
之后，通过Y轴线性电动机13，使工件台20从搬入搬出区域A1移动到处理区域A2。在处理区域A2中，从该液滴排出头34对移动到液滴排出头34的下方的工件W排出液滴。并且，如图7所示，进一步使工件台20向待机区域A3侧移动以使得工件W的整个面通过液滴排出头34的下方。并且，使工件W在Y轴方向上往复移动并且适当地在X轴方向上移动，由此在工件W上描绘规定的图案(步骤T2)。
在此，在步骤T2中，在工件台20的往复路径中，在使该工件台20从搬入搬出区域A1向处理区域A2移动时，即在处理区域A2中从液滴排出头34对工件W排出液滴前，通过Y轴线性标尺16实时地测定Y轴线性电动机13的位置。Y轴线性标尺16中的脉冲信号被输出到修正器161。另外，通过X轴线性标尺23和旋转编码器24分别测定台移动机构21的X轴方向的位置和θ方向的位置，并将来自上述X轴线性标尺23的脉冲信号和来自旋转编码器24的脉冲信号也输出到修正器161。
另一方面，此时，在第1拍摄部41中，以规定的周期拍摄载置在工件台20上的工件W，在检测器160中检测工件W的位置。在检测器160中，可以进一步计算出工件W的位置偏移量或者修正表。检测器160中的检测结果的信号被输出到修正器161。
在修正器161中，进行上述步骤S1～S3。即，修正器161基于来自Y轴线性标尺16的脉冲信号和来自检测器160的信号，使用修正表计算出工件台20的位置的修正量。并且，将基于该修正量转换后的脉冲信号从修正器161输出到移动控制器162。另外，其中Y轴方向的脉冲信号也被输出到喷墨控制器163。
移动控制器162基于从修正器161所接收的Y轴方向的脉冲信号(转换后的脉冲信号)，对Y轴线性电动机13输出指令信号(脉冲列)，来修正该Y轴线性电动机13的位置。另外，移动控制器162基于从修正器161所接收的X轴方向和θ方向的脉冲信号(转换后的脉冲信号)，对台移动机构21输出指令信号(脉冲列)，来控制台移动机构21的移动。另一方面，喷墨控制器163也对液滴排出头34输出指令信号，来控制该液滴排出头34中的液滴的排出时刻。这样一来，相对于液滴排出头34，载置在工件台20的工件W被配置在适当的位置。
此外，在工件台20的回程路径中，使该工件台20从待机区域A3向处理区域A2移动时，检测器160使用第2拍摄部42的拍摄图像检测工件W的位置。
并且，在工件台20移动到搬入搬出区域A1时，描绘处理结束了的工件W被从液滴排出装置1搬出。接着，下一个工件W被搬入液滴排出装置1。接着，进行上述步骤T1的工件W的对准，接着进行步骤T2。
如以上所述对各工件W进行步骤T1～T2，一系列的工件处理结束。
根据以上的实施方式，即使由于液滴排出装置1中的各部件的温度变化和经时变化之类的原因而产生工件W的位置偏移，也能够使用Y轴线性标尺16、检测器160和修正器161适当地修正工件台20的位置。所以，能够将液滴排出头34和工件W高精度地对准，能够提高从液滴排出头34向工件W排出液滴的排出精度(着落精度)。
此外，根据本实施方式，不仅液滴排出装置1中的工件W的位置偏移，即使在液滴排出头34侧产生位置偏移，也能够对工件台20的位置适当地进行修正。作为在液滴排出头34侧产生位置偏移的原因，能够举例例如工件W的厚度变动导致的排出时刻的偏差、液滴排出头34和工件W的间隙变动、温度变化和经时变化导致的液滴的着落时刻的变动、液滴排出头34的固定的位置偏差、液滴排出头34的温度变化和经时变化等。
另外，由Y轴线性标尺16进行的Y轴线性电动机13的位置测定和由检测器160进行的工件W的位置检测，在从液滴排出头34对工件W排出液滴之前实时地进行。并且，在修正器161中使用的修正表，能够对应于液滴排出装置1中的各部件的变化自由地作成，而且，在Y轴线性电动机13(工件台20)的移动中能够更新。所以，能够适当地修正工件台20的位置。
而且，控制部150的构成(检测器160和修正器161)、工件台20的位置修正的方法非常简单。另外，在上述图9所示的位置修正装置500中，移动控制器、线性电动机和线性标尺的构成的选定存在限制，但是，在本实施方式中不存在该限制。作为移动机构不限于Y轴线性电动机13，在电动机系统中也能够应用。另外，位置测定器也不限于Y轴线性标尺16，只要是位置测定用途的编码器就能够应用。所以，装置选择的自由度提高。
<另一实施方式>
接着，对本发明的另一实施方式进行说明。
以上的实施方式的修正表基于从检测器160所检测出的工件W的位置作成，但是也可以使用另外的修正表。
例如如图8所示在计算机170中预先保存修正表，从计算机170向修正器161安装该修正表也可以。例如在已知某液滴排出装置1的固有的特征、例如特定部件的温度变化和经时变化的情况下，可以在计算机170基于该特征预先作成修正表。
另外，在制作修正表时，可以使在基座表叠加变动表。座表例如是基于液滴排出装置1的固有的特征的修正表。该特征随时间并不较大地变动，因此，在装置的启动时制成。变动表例如是基于从上述检测器160检测出的工件W的位置作成的修正表。即，根据每天发生变动的原因而作成的修正表。
并且，例如在液滴排出装置1设置温度计(未图示)，可以基于该温度计的温度测定结果作成修正表。在该情况下，例如使在上述实施方式中根据工件W的位置作成的修正表中叠加根据该温度测定结果作成的修正表，重新作成修正表。
以上的实施方式中，在计算修正表时，从液滴排出头34向工件W排出液滴前，使用由第1拍摄部41(第2拍摄部42)拍摄的工件W的拍摄图像，但是，也可以使用从液滴排出头34对工件W排出液滴后的工件W的拍摄图像。
在上述步骤T2的工件台20的去程路径中，使该工件台20从搬入搬出区域A1向处理区域A2移动后，在该处理区域A2中，从液滴排出头34向工件W的堰堤100内排出液滴时，进一步对基准标记102排出液滴。而且，使工件台20从处理区域A2向待机区域A3移动时，在第2拍摄部42中，以规定的周期拍摄载置在工件台20上的工件W，在检测器160中检测工件W的位置。该工件W中的基准标记102的位置(中心位置)的检测方法是任意的，例如能够使用日本特开2017-13012号公报所记载的方法。而且，检测器160中的检测结果的信号被输出到修正器161。
在修正器161中，进行上述步骤S1～S3。即，修正器161基于来自Y轴线性标尺16的脉冲信号和来自检测器160的信号，使用修正表计算出工件台20的Y轴方向的修正量。并且，将基于该修正量转换后的Y轴方向的脉冲信号从修正器161输出到移动控制器162。另外，计算出工件台20的X轴方向和θ方向的修正量。并且，将基于该修正量转换后的X轴方向和θ方向的脉冲信号也从修正器161输出到移动控制器162。
移动控制器162基于从修正器161所接收的Y轴方向的脉冲信号(转换后的脉冲信号)，对Y轴线性电动机13输出指令信号(脉冲列)，来修正该Y轴线性电动机13的位置。另外，移动控制器162基于从修正器161所接收的X轴方向和θ方向的脉冲信号(转换后的脉冲信号)，对台移动机构21输出指令信号(脉冲列)，来控制台移动机构21的移动。这样一来，下次在对以后的工件W排除液滴时，能够将液滴排出头34和工件W高精度地对准。
此外，在工件台20的回程路径中，使该工件台20从待机区域A3向处理区域A2移动时，检测器160使用第1拍摄部41的拍摄图像检测工件W的位置。
另外，如上所述代替第2拍摄部42(第1拍摄部41)，可以使用设置在液滴排出装置1的外部的检查装置。在检查装置中，拍摄液滴排出后的工件W来进行检查。修正器161中的工件台20的位置的修正量计算可以使用该检查装置中的拍摄图像。
在以上的实施方式中，使工件台20在Y轴方向上移动，但是也可以使液滴排出头34在Y轴方向上移动。在该情况下，修正器161对使液滴排出头34移动的Y轴线性电动机(未图示)的位置进行修正。
另外，也可以使工件台20和液滴排出头34这两者在Y轴方向上移动。在该情况下，修正器161修正使工件台20移动的Y轴线性电动机13的位置和使液滴排出头34移动的(未图示)位置。
以上的实施方式，对作为工件加工装置使用液滴排出装置1的情况进行了说明，但是，本发明只要是具有使工件移动的精密载置台的装置，就能够应用于其它的工件加工装置。作为其它的工件加工装置，例如具有加工工件的工作机械、对工件涂敷处理液的涂敷装置等。
此外，本发明如液滴排出装置1所示，在加工机和工件台这两者移动的情况下特别有用。在该情况下，在现有技术中，存在对加工机的移动和工件台的移动这两者进行修正而无法取得同步的担心，本发明仅在修正器161中进行修正，能够将工件台20的位置适当地修正。
<液滴排出装置的应用例>
如以上所述构成的液滴排出装置1适用于例如在日本特开2017-13011号公报中记载的、形成有机发光二极管的有机EL层的基板处理系统。具体来讲，液滴排出装置1适用于向作为工件W的玻璃基板上涂敷用于形成空穴注入层的有机材料的涂敷装置、向玻璃基板(空穴注入层)上涂敷用于形成空穴输送层的有机材料的涂敷装置、在玻璃基板(空穴输送层)上涂敷用于形成发光层的有机材料的涂敷装置。此外，在基板处理系统中，除了形成有机发光二极管的空穴注入层、空穴输送层和发光层之外，还在形成电子输送层和电子注入层的情况下，液滴排出装置1也能够应用于上述电子输送层和电子注入层的涂敷处理。
另外，液滴排出装置1除了在如上所述形成有机发光二极管的有机EL层时适用，例如还可以在制造彩色滤光片、液晶显示装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)等的电光学装置(平板显示器：FPD)时适用，或者，也可以在制造金属配线形成、透镜形成、抗蚀剂形成和光扩散体形成等时适用。
以上，参照附图对本发明的适当的实施方式进行了说明，但是，本发明不限于该例。对于本领域技术人员而言，在专利申请的范围所记载的思想的范畴内，当然能够想到各种的变形例或修正例，它们当然也属于本发明的技术的范围。

Claims (11)

1.一种对工件进行规定的加工的工件加工装置，其特征在于，包括：
载置所述工件的工件台；
对载置在所述工件台的所述工件进行加工的加工机；
使所述工件台与所述加工机相对地移动的移动机构；
测定所述移动机构的位置的位置测定器；
检测被载置在所述工件台的所述工件的位置的检测器；和
基于所述位置测定器的测定结果和所述检测器的检测结果，计算所述工件台的位置的修正量的修正器，
所述修正器使用表示所述移动机构的位置与所述修正量的相关关系的修正表，在所述工件台的移动中实时地计算所述工件台的位置的修正量。
2.如权利要求1所述的工件加工装置，其特征在于：
所述检测器的检测结果为所述工件的位置、所述修正量或者所述修正表。
3.如权利要求1或2任一项所述的工件加工装置，其特征在于：
所述检测器在由所述加工机进行的所述工件的加工之前，检测所述工件的位置。
4.如权利要求1或2所述的工件加工装置，其特征在于：
所述移动机构使所述工件台和所述加工机两者移动。
5.如权利要求1或2所述的工件加工装置，其特征在于：
所述规定的加工是向所述工件排出功能液的液滴来进行描绘的加工。
6.一种工件加工方法，通过加工机对被载置在工件台的工件进行规定的加工，所述工件加工方法的特征在于，包括：
在由移动机构使所述工件台与所述加工机相对地移动时，由位置测定器测定移动机构的位置的第1步骤；
在由所述移动机构使所述工件台与所述加工机相对地移动时，由检测器检测被载置在所述工件台的所述工件的位置的第2步骤；和
由修正器基于所述位置测定器的测定结果和所述检测器的检测结果，计算所述工件台的位置的修正量的第3步骤，
在所述第3步骤中，所述修正器使用表示所述移动机构的位置与所述修正量的相关关系的修正表，在所述工件台的移动中实时地计算所述工件台的位置的修正量。
7.如权利要求6所述的工件加工方法，其特征在于：
在所述第2步骤中，所述检测器的检测结果是所述工件的位置、所述修正量或者所述修正表。
8.如权利要求6或7所述的工件加工方法，其特征在于：
所述第2步骤在由所述加工机进行的所述工件的加工之前进行。
9.如权利要求6或7所述的工件加工方法，其特征在于：
所述移动机构使所述工件台和所述加工机两者移动。
10.如权利要求6或7所述的工件加工方法，其特征在于：
所述规定的加工是向所述工件排出功能液的液滴来进行描绘的加工。
11.一种计算机可读存储介质，其特征在于：
保存有在工件加工装置的计算机上运行的程序，该程序使所述工件加工装置执行权利要求6～10中任一项所述的工件加工方法。
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