KR20230037745A - 액적 토출 장치, 액적 토출 방법 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

액적 토출 장치, 액적 토출 방법 및 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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토시나루 스즈키
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Abstract

액적 토출 장치는 제1 타겟 위치를 포함하는 기판을 제1 방향으로 이동시키는 이송 유닛, 이송 유닛 위에 배치되고, 기판의 제1 타겟 위치에 제1 액적을 토출하는 잉크젯 헤드, 잉크젯 헤드의 제1 방향에 반대되는 제2 방향에 위치하고, 기판의 제1 타겟 위치에 대응하는 제1 영상을 획득하는 제1 카메라, 잉크젯 헤드의 상기 제1 방향에 위치하고, 기판의 제1 타겟 위치에 대응하는 제2 영상을 획득하는 제2 카메라 및 제1 영상 및 제2 영상을 각각 수신하고, 제1 영상 및 제2 영상을 비교하여 제1 액적의 토출 상태를 검사하는 영상 처리부를 포함할 수 있다.

Description

액적 토출 장치, 액적 토출 방법 및 표시 장치의 제조 방법{DROPLET DISCHARGING APPARATUS, DROPLET DISCHARGING METHOD AND MANUFACTURING METHOD FOR DISPLAY DEVICE}
본 발명은 액적 토출 장치, 액적 토출 방법 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 프린팅 공정에서 활용되는 액적 토출 장치, 액적 토출 방법 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
표시 장치의 제조 과정에 있어서, 유기 발광층, 박막 봉지 구조물의 모노머층, 컬러 필터층 등이 프린팅 공정으로 형성될 수 있다.
상기 프린팅 공정은 기판과 일정 거리로 떨어진 2차원 평면 상에 배치되는 잉크젯 헤드가 상기 기판에 액적을 토출하는 방식으로 수행될 수 있다. 상기 기판에는 상기 액적을 담을 수 있는 개구부가 있을 수 있다. 상기 잉크젯 헤드로부터 토출된 상기 액적은 상기 개구부에 탄착되는 것이 바람직하다.
종래에는 상기 프린팅 공정을 수행하기 전에 미리 검사용 액적을 토출하여 상기 검사용 액적의 상태를 검사하였으나, 상기 프린팅 공정을 진행하는 중에는 상기 액적의 탄착 여부를 확인하지 못하는 문제가 있다.
본 발명의 일 목적은 프린팅 공정 중에 액적의 탄착 여부를 확인할 수 있는 액적 토출 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 프린팅 공정 중에 액적의 탄착 여부를 확인할 수 있는 액적 토출 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 액적 토출 방법을 포함하는 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
그러나, 본 발명이 상술한 목적들에 의해 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
전술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 액적 토출 장치는 제1 타겟 위치를 포함하는 기판을 제1 방향으로 이동시키는 이송 유닛, 상기 이송 유닛 위에 배치되고, 상기 기판의 상기 제1 타겟 위치에 제1 액적을 토출하는 잉크젯 헤드, 상기 잉크젯 헤드의 상기 제1 방향에 반대되는 제2 방향에 위치하고, 상기 기판의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 제1 영상을 획득하는 제1 카메라, 상기 잉크젯 헤드의 상기 제1 방향에 위치하고, 상기 기판의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 제2 영상을 획득하는 제2 카메라 및 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 각각 수신하고, 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 비교하여 상기 제1 액적의 토출 상태를 검사하는 영상 처리부를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 카메라는 제1 타이밍에 상기 제1 영상을 획득하고, 상기 잉크젯 헤드는 상기 제1 타이밍 보다 늦는 제2 타이밍에 상기 제1 액적을 토출하며, 상기 제2 카메라는 상기 제2 타이밍 보다 늦는 제3 타이밍에 상기 제2 영상을 획득할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 타이밍, 상기 제2 타이밍 및 상기 제3 타이밍에서 상기 이송 유닛은 상기 기판을 상기 제1 방향으로 이동시키는 중일 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 영상은 상기 제1 액적이 토출되기 전의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 영상이고, 상기 제2 영상은 상기 제1 액적이 토출된 후의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 영상일 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 기판은 상기 제1 타겟 위치로부터 상기 제2 방향으로 떨어진 제2 타겟 위치를 더 포함하고, 상기 제1 카메라는 상기 기판의 상기 제2 타겟 위치에 대응하는 제3 영상을 획득하며, 상기 잉크젯 헤드는 상기 기판의 상기 제2 타겟 위치에 제2 액적을 토출하고, 상기 제2 카메라는 상기 기판의 상기 제2 타겟 위치에 대응하는 제4 영상을 획득하며, 상기 영상 처리부는 상기 제3 영상 및 상기 제4 영상을 각각 수신하고, 상기 제3 영상 및 상기 제4 영상을 비교하여 상기 제2 액적의 토출 상태를 검사할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 카메라는 상기 제1 타이밍 보다 늦는 제4 타이밍에 상기 제3 영상을 획득하고, 상기 잉크젯 헤드는 상기 제4 타이밍 보다 늦는 제5 타이밍에 상기 제2 액적을 토출하며, 상기 제2 카메라는 상기 제5 타이밍 보다 늦는 제6 타이밍에 상기 제4 영상을 획득할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 카메라, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 제2 카메라는 서로 연결되어 고정될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 카메라 및 상기 제2 카메라는 각각 라인단위로 촬영하는 라인스캔카메라일 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 카메라 및 상기 제2 카메라는 각각 영역단위로 촬영하는 영역스캔카메라일 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 영상 처리부와 통신하고, 상기 제1 액적이 상기 제1 타겟 위치에 안착되지 않은 것으로 판단되면 프린팅 공정을 중지하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 카메라 및 제2 카메라가 각각 촬영하는 방향은 상기 기판에 수직한 제3 방향일 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 액적 토출 장치는 상기 제3 방향과 교차하는 방향으로 광을 조사하는 광원 및 상기 광을 상기 제3 방향으로 반사하는 하프미러를 포함하는 조명을 더 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제2 카메라는 상기 광이 상기 기판에 반사된 상기 제1 반사광 및 상기 광이 상기 제1 액적에 반사된 제2 반사광을 받고, 상기 제1 반사광은 제1 강도를 가지며, 상기 제2 반사광은 상기 제1 강도보다 큰 제2 강도를 가질 수 있다.
전술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 액적 토출 방법은 제1 타겟 위치를 포함하는 기판을 제1 방향으로 이동시키는 단계, 상기 기판의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 제1 영상을 제1 타이밍에 획득하는 단계, 상기 기판의 상기 제1 타겟 위치으로 제1 액적을 제2 타이밍에 토출하는 단계, 상기 기판의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 제2 영상을 제3 타이밍에 획득하는 단계 및 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 비교하여 상기 제1 액적의 토출 상태를 검사하는 단계를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 타이밍, 상기 제2 타이밍 및 상기 제3 타이밍에서 상기 기판은 상기 제1 방향으로 이동되는 중일 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 영상은 상기 제1 액적이 토출되기 전의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 영상이고, 상기 제2 영상은 상기 제1 액적이 토출된 후의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 영상일 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 액적 토출 방법은 상기 제1 액적이 상기 제1 타겟 위치에 안착되지 않은 것으로 판단되면 프린팅 공정을 중지하는 단계를 더 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 기판은 상기 제1 타겟 위치로부터 상기 제1 방향과 반대되는 제2 방향으로 떨어진 제2 타겟 위치를 더 포함하고, 상기 액적 토출 방법은, 상기 기판의 상기 제2 타겟 위치에 대응하는 제3 영상을 획득하는 단계, 상기 기판의 상기 제2 타겟 위치로 제2 액적을 토출하는 단계, 상기 기판의 상기 제2 타겟 위치에 대응하는 제4 영상을 획득하는 단계 및 상기 제3 영상 및 상기 제4 영상을 비교하여 상기 제2 액적의 토출 상태를 검사하는 단계를 더 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 전술한 본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치의 제조 방법은 베이스 기판 상에 애노드 전극을 형성하는 단계, 상기 베이스 기판 상에 상기 애노드 전극을 노출하는 개구부를 갖는 화소 정의막을 형성하는 단계, 상기 베이스 기판을 제1 방향으로 이동시키는 단계, 상기 베이스 기판의 상기 개구부에 대응하는 제1 영상을 획득하는 단계, 상기 베이스 기판의 상기 개구부 내에 유기 발광 물질을 포함하는 액적을 토출하여 발광층을 형성하는 단계, 상기 베이스 기판의 상기 개구부에 대응하는 제2 영상을 획득하는 단계 및 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 비교하여 상기 액적의 토출 상태를 검사하는 단계를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 영상은 상기 액적이 토출되기 전의 상기 개구부에 대응하는 영상이고, 상기 제2 영상은 상기 액적이 토출된 후의 상기 개구부에 대응하는 영상일 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 액적 토출 장치, 액적 토출 방법 및 표시 장치의 제조 방법에 따르면, 프린팅 공정이 수행되는 시간대에 있어서, 타겟 위치에 액적이 토출되기 직전에 상기 타겟 위치에 대응하는 일 영상을 획득하고, 상기 타겟 위치에 상기 액적이 토출된 직후에 상기 타겟 위치에 대응하는 다른 영상을 획득하며, 상기 일 영상 및 상기 다른 영상을 비교할 수 있다. 이에 따라, 상기 프린팅 공정이 수행되는 중에 상기 액적의 탄착 여부를 실시간으로 확인할 수 있다.
또한, 상기 액적이 상기 타겟 위치에 안착되지 않은 것으로 판단되면 상기 프린팅 공정을 중지할 수 있다. 이에 따라, 탄착 불량에 해당되어 버려지는 제품을 최소화하고, 불필요한 공정을 수행하지 않을 수 있다.
다만, 본 발명의 효과들이 상술한 효과들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 액적 토출 장치에 포함되는 이송 유닛 및 잉크젯 헤드의 일 예를 타내는 사시도이다.
도 3은 도 2의 이송 유닛의 일 예를 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 1의 액적 토출 장치에 포함되는 조명의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 5 내지 도 7은 도 1의 액적 토출 장치의 동작을 설명하기 위한 도면들이다.
도 8은 도 5의 제1 카메라가 획득한 제1 영상을 나타내는 도면이다.
도 9는 도 7의 제2 카메라가 획득한 제2 영상을 나타내는 도면이다.
도 10은 도 8의 제1 영상을 포함하는 제1 전체 영상의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 11은 도 9의 제2 영상을 포함하는 제2 전체 영상의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 12 내지 14는 도 1의 액적 토출 장치의 추가적인 동작을 설명하기 위한 도면들이다.
도 15는 도 12의 제1 카메라가 획득한 제3 영상을 나타내는 도면이다.
도 16은 도 14의 제2 카메라가 획득한 제4 영상을 나타내는 도면이다.
도 17은 도 15의 제3 영상을 더 포함하는 제1 전체 영상의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 18은 도 16의 제4 영상을 더 포함하는 제2 전체 영상의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 19 내지 도 22는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 도면들이다.
이하, 본 발명의 실시예들에 따른 액적 토출 장치, 액적 토출 방법 및 표시 장치의 제조 방법에 대하여 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치를 나타내는 도면이다. 도 2는 도 1의 액적 토출 장치에 포함되는 이송 유닛 및 잉크젯 헤드의 일 예를 타내는 사시도이다. 도 3은 도 2의 이송 유닛의 일 예를 나타내는 평면도이다. 도 4는 도 1의 액적 토출 장치에 포함되는 조명의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 일 실시예에 따른 액적 토출 장치(1000)는 이송 유닛(100), 잉크젯 헤드(200), 제1 카메라(300), 제2 카메라(400), 영상 처리부(500), 제어부(600) 및 조명(700)을 포함할 수 있다.
상기 이송 유닛(100)은 상기 기판(50)을 제1 방향(D1)으로 이송할 수 있다. 상기 이송 유닛(100)이 상기 기판(50)을 상기 제1 방향(D1)으로 이송할 수 있다고 하였으나, 이에 한정되지 아니한다. 예를 들어, 상기 이송 유닛(100)은 상기 기판(50)을 상기 제1 방향(D1)과 상이한 방향으로 이송할 수 있다. 예를 들어, 상기 이송 유닛(100)은 상기 기판(50)을 상기 제1 방향(D1) 및 상기 제1 방향(D1)과 반대되는 제2 방향(D2)으로 왕복 이송할 수 있다.
상기 잉크젯 헤드(200)는 상기 이송 유닛(100) 위에 배치될 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(200)는 상기 이송 유닛(100)에 의해 이송되는 상기 기판(50)에 액적을 토출할 수 있다.
상기 기판(50)은 제1 영역(51a)을 포함할 수 있다. 상기 제1 영역(51a)은 상기 이송 유닛(100)이 상기 기판(50)을 상기 제1 방향(D1)으로 1회 이동시키는 동안에 상기 잉크젯 헤드(200)가 상기 기판(50)에 상기 액적을 토출하는 대상 영역일 수 있다.
상기 기판(50)은 상기 제1 영역(51a)과 상이한 제2 영역(51b)을 더 포함할 수 있다. 상기 제2 영역(51b)은 상기 이송 유닛(100)이 상기 기판(50)을 상기 제2 방향(D2)으로 1회 이동시키는 동안에 상기 잉크젯 헤드(200)가 상기 기판(50)에 액적을 토출하는 대상 영역일 수 있다.
도 2에는 상기 제1 영역(51a) 및 제2 영역(51b)이 상기 기판(50)의 상면(51)을 구성하는 것이 도시되나 이에 제한되지 아니한다. 예를 들어, 상기 상면(51)은 더 많은 영역과 함께 구성될 수 있다.
이하에서, 이해의 편의를 위해 상기 이송 유닛(100)이 상기 기판(50)을 상기 제1 방향(D1)으로 이동시키는 것을 전제로 설명하기로 한다. 이에 따라, 상기 잉크젯 헤드(200)가 상기 기판(50)의 상기 제2 영역(51b)에 상기 액적을 토출하는 과정을 설명하지 않을 것이나, 통상의 기술자는 상기 과정을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.
상기 잉크젯 헤드(200)가 상기 액적을 토출하면 상기 기판(50)이 상기 액적을 수용할 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(200)는 상기 이송 유닛(100)이 상기 기판(50)을 상기 제1 방향(D1)으로 이동시키는 동안 상기 액적을 복수 회 토출할 수 있다.
상기 액적은 제1 액적(10)을 포함할 수 있다. 상기 제1 액적(10)은 상기 잉크젯 헤드(200)가 상기 복수 회 중 어느 한 회에 토출하는 액적일 수 있다. 또한, 상기 제1 액적(10)은 복수일 수 있다.
상기 기판(50)은 제1 타겟 위치(60)를 포함할 수 있다. 상기 제1 타겟 위치(60)는 상기 기판(50)의 상기 제1 영역(51a) 내에 위치할 수 있다. 상기 제1 타겟 위치(60)는 상기 기판(50)이 상기 제1 액적(10)를 수용할 수 있는 위치일 수 있다. 상기 제1 액적(10)이 복수이면 상기 제1 타겟 위치(60)도 복수일 수 있다. 이 경우, 상기 제1 타겟 위치(60)는 상기 제1 방향(D1)과 교차하는 방향으로 나란한 위치들을 의미할 수 있다.
상기 액적은 제2 액적(예컨대, 도 13의 제2 액적(20))을 더 포함할 수 있다. 상기 제2 액적은 상기 잉크젯 헤드(200)가 상기 복수 회 중 다른 한 회에 토출하는 액적일 수 있다. 또한, 상기 제2 액적은 복수일 수 있다.
상기 기판(50)은 제1 타겟 위치(60)로부터 상기 제2 방향(D2)으로 떨어진 제2 타겟 위치(70)를 더 포함할 수 있다. 상기 제2 타겟 위치(70)는 상기 기판(50)의 상기 제1 영역(51a) 내에 위치할 수 있다. 상기 제2 타겟 위치(70)는 상기 기판(50)이 상기 제2 액적을 수용할 수 있는 위치일 수 있다. 상기 제2 액적이 복수이면 상기 제2 타겟 위치(70)도 복수일 수 있다. 이 경우, 상기 제2 타겟 위치(70)는 상기 제1 방향(D1)과 교차하는 방향으로 나란한 다른 위치들을 의미할 수 있다.
상기 제1 카메라(300)는 상기 잉크젯 헤드(200)의 상기 제2 방향(D2)에 위치할 수 있다. 상기 제1 카메라(300)는 상기 기판(50)의 상기 제1 타겟 위치(60)에 대응하는 제1 영상(예컨대, 도 8의 제1 영상(301a))을 획득할 수 있다. 상기 제1 영상은 상기 제1 액적(10)이 토출되기 전의 상기 제1 타겟 위치(60)에 대응하는 영상일 수 있다.
상기 제2 카메라(400)는 상기 잉크젯 헤드(200)의 상기 제1 방향(D1)에 위치할 수 있다. 상기 제2 카메라(400)는 상기 기판(50)의 상기 제1 타겟 위치(60)에 대응하는 제2 영상(예컨대, 도 9의 제2 영상(401a))을 획득할 수 있다. 상기 제2 영상은 상기 제1 액적(10)이 토출된 후의 상기 제1 타겟 위치(60)에 대응하는 영상일 수 있다. 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상에 대하여는 상세히 후술한다.
일 실시예에서, 상기 잉크젯 헤드(200), 상기 제1 카메라(300) 및 상기 제2 카메라(400)는 서로 연결되어 고정될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 카메라(300), 상기 잉크젯 헤드(200) 및 제2 카메라(400)는 지지대(미도시)에 의해 지지될 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 잉크젯 헤드(200), 상기 제1 카메라(300) 및 상기 제2 카메라(400)는 서로 분리된 채 각각 고정될 수 있다. 예를 들어, 상기 잉크젯 헤드(200)는 일 지지대(미도시)에 의해 지지되고, 상기 제1 카메라(300)는 다른 지지대(미도시)에 의해 지지되며, 상기 제2 카메라(400)는 또 다른 지지대(지지대)에 의해 지지될 수 있다.
상기 제1 카메라(300) 및 제2 카메라(400)가 각각 촬영하는 방향은 상기 기판(50)에 수직한 제3 방향(D3)일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 카메라(300) 및 상기 제2 카메라(400)는 각각 라인단위로 촬영하는 라인스캔카메라일 수 있다. 이때, 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상은 각각 상기 라인단위로 촬영된 것일 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 제1 카메라(300) 및 상기 제2 카메라(400)는 각각 영역단위로 촬영하는 영역스캔카메라일 수 있다. 이때, 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상은 각각 상기 영역단위로 촬영된 것일 수 있다.
상기 영상 처리부(500)는 상기 잉크젯 헤드(200)에서 토출되는 상기 액적의 토출 상태를 검사할 수 있다. 상기 영상 처리부(500)는 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 각각 수신하고, 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 비교하여 상기 제1 액적(10)의 토출 상태(예컨대, 탄착 여부)를 검사할 수 있다.
상기 제어부(600)는 상기 영상 처리부(500)와 통신할 수 있다. 상기 제어부(600)는 상기 이송 유닛(100) 및 상기 잉크젯 헤드(200)를 제어할 수 있다. 이에 따라, 상기 이송 유닛(100) 및 상기 잉크젯 헤드(200)에 의해 수행되는 프린팅 공정을 제어할 수 있다.
상기 조명(700)은 상기 기판(50)에 광을 조사할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 조명(700)은 상기 제1 카메라(300)와 연결되는 제1 조명(700a) 및 상기 제2 카메라(400)와 연결되는 제2 조명(700b)을 포함할 수 있다.
상기 조명(700)은 광원(710) 및 하프미러(720)를 포함할 수 있다. 상기 광원(710)은 상기 제1 조명(700a)에 설치되는 제1 광원(710a) 및 상기 제2 조명(700b)에 설치되는 제2 광원(710b)을 포함할 수 있다. 상기 하프미러(720)는 상기 제1 조명(700a)에 설치되는 제1 하프미러(720a) 및 상기 제2 조명(700b)에 설치되는 제2 하프미러(720b)를 포함할 수 있다.
상기 제1 광원(710a)은 상기 제3 방향(D3)과 교차하는 방향으로 광을 조사할 수 있다. 상기 제1 하프미러(720a)는 상기 광을 상기 제3 방향(D3)으로 반사할 수 있다. 상기 광은 상기 기판(50)에 반사되어 상기 제1 카메라(300)에 도달할 수 있다. 상기 제1 카메라(300)는 상기 기판(50)에 반사된 제1 반사광을 받을 수 있다. 상기 제1 카메라(300)는 제1 이미지 센서를 구비할 수 있다. 상기 제1 이미지 센서는 상기 제1 반사광을 센싱할 수 있다.
마찬가지로, 상기 제2 광원(710b)은 상기 제3 방향(D3)과 교차하는 방향으로 상기 광을 조사할 수 있다. 상기 제2 하프미러(720b)는 상기 광을 상기 제3 방향(D3)으로 반사할 수 있다. 상기 광은 상기 기판(50) 또는 상기 액적에 반사되어 상기 제2 카메라(400)에 도달할 수 있다. 상기 제2 카메라(400)는 상기 기판(50) 또는 상기 액적에 반사된 제2 반사광을 받을 수 있다. 상기 제2 카메라(400)는 제2 이미지 센서를 구비할 수 있다. 상기 제2 이미지 센서는 상기 제2 반사광을 센싱할 수 있다.
상기 제2 반사광은 상기 기판(50)에 반사된 제2-1 반사광 및 상기 액적에 반사된 제2-2 반사광으로 나뉠 수 있다.
상기 제1 카메라(300)는 상기 광이 상기 기판(50)에 반사된 상기 제1 반사광을 받을 수 있다. 또한, 상기 제2 카메라(400)는 상기 광이 상기 기판(50)에 반사된 상기 제2-1 반사광 및 상기 광이 상기 액적에 반사된 상기 제2-2 반사광을 받을 수 있다. 상기 제2-2 반사광은 상기 제1 액적(10) 또는 상기 제2 액적에 반사된 광일 수 있다.
상기 기판(50)에 반사된 상기 제1 반사광 및 상기 제2-1 반사광은 각각 제1 강도를 가질 수 있다. 상기 제1 강도는 상기 광원(710)에서 조사되는 상기 광의 파장에 따라 달라질 수 있다.
상기 액적에 반사된 상기 제2-2 반사광은 제2 강도를 가질 수 있다. 상기 제2 강도는 상기 광원(710)에서 조사되는 상기 광의 상기 파장에 따라 달라질 수 있다.
상기 광원(710)은 타겟 파장 범위를 가질 수 있다. 상기 광원(710)으로부터 상기 타겟 파장 범위의 광이 조사되는 경우, 상기 제1 강도가 상기 제2 강도 보다 작을 수 있다. 예를 들어, 상기 타겟 파장 범위는 상기 제1 강도와 상기 제2 강도의 차이가 큰 파장 범위일 수 있다.
도 9를 참조하여 상세히 후술하는 바와 같이, 상기 제2 영상(예컨대, 도 9의 제2 영상(401a))은 상기 제1 액적(10)이 나타난 제1 부분 및 상기 기판(50)이 나타난 제2 부분을 포함할 수 있다. 이때, 상기 광원(710)으로부터 상기 타겟 파장 범위의 상기 광이 조사되는 경우, 상기 제2 영상에서 상기 제1 액적(10)이 나타난 상기 제1 부분은 상기 기판(50)이 나타난 상기 제2 부분보다 더 밝게 보일 수 있다. 또한, 상기 제1 반사광의 상기 제1 강도와 상기 제2 반사광의 상기 제2 강도의 차이가 큰 파장 범위를 상기 타겟 파장 범위로 선택할수록, 상기 제2 영상에서 상기 제1 부분과 상기 제2 부분의 밝기 차이가 커질 수 있다. 따라서, 상기 제2 영상에서 상기 제1 부분과 상기 제2 부분이 명확히 구분될 수 있다.
도 5 내지 도 7은 도 1의 액적 토출 장치의 동작을 설명하기 위한 도면들이다. 도 8은 도 5의 제1 카메라가 획득한 제1 영상을 나타내는 도면이다. 도 9는 도 7의 제2 카메라가 획득한 제2 영상을 나타내는 도면이다.
이하에서는, 도 5 내지 도 9를 참조하여, 일 실시예에 따른 액적 토출 장치(1000)를 이용한 액적 토출 방법을 설명한다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 상기 이송 유닛(100)은 상기 기판(50)을 상기 제1 방향(D1)으로 이송할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 카메라(300) 및 상기 제2 카메라(400)는 서로 다른 타이밍에 상기 기판(50)의 상기 제1 타겟 위치(60)를 촬영할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 카메라(300)는 상기 기판(50)의 상기 제1 타겟 위치(60)를 상기 제2 카메라(400) 보다 먼저 촬영할 수 있다.
구체적으로, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제1 카메라(300)는 제1 타이밍에 상기 기판(50)의 상기 제1 타겟 위치(60)를 촬영하여 상기 제1 타겟 위치(60)에 대응하는 상기 제1 영상(301a)을 획득할 수 있다. 상기 제1 타이밍에 상기 기판(50)은 상기 이송 유닛(100)에 의해 상기 제1 방향(D1)으로 이동 중일 수 있다.
도 5 및 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제1 영상(301a)은 상기 제1 액적(10)이 토출되기 전의 상기 제1 타겟 위치(60)에 대응하는 영상일 수 있다. 다시 말해, 상기 제1 영상(301a)에는 상기 기판(50)의 상기 제1 타겟 위치(60)에 상기 제1 액적(10)이 탄착되지 않은 장면이 나타날 수 있다.
또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 잉크젯 헤드(200)는 상기 제1 타이밍 보다 늦는 제2 타이밍에 상기 제1 액적(10)을 토출할 수 있다. 토출된 상기 제1 액적(10)은 상기 기판(50)의 상기 제1 타겟 위치(60)에 탄착될 수 있다. 상기 제2 타이밍에 상기 기판(50)은 상기 이송 유닛(100)에 의해 상기 제1 방향(D1)으로 이동 중일 수 있다.
또한, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제2 카메라(400)는 상기 제2 타이밍 보다 늦는 제3 타이밍에 상기 제1 타겟 위치(60)를 촬영하여 상기 제1 타겟 위치(60)에 대응하는 상기 제2 영상(401a)을 획득할 수 있다. 상기 제3 타이밍에 상기 기판(50)은 상기 이송 유닛(100)에 의해 상기 제1 방향(D1)으로 이동 중일 수 있다.
도 7 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 제2 영상(401a)은 상기 제1 액적(10)이 토출된 후의 상기 제1 타겟 위치(60)에 대응하는 영상일 수 있다. 다시 말해, 상기 제2 영상(401a)에는 상기 기판(50)의 상기 제1 타겟 위치(60)에 상기 제1 액적(10)이 탄착된 장면이 나타날 수 있다.
상기 영상 처리부(500)는 상기 제1 영상(301a) 및 상기 제2 영상(401a)을 각각 수신하고, 상기 제1 영상(301a) 및 상기 제2 영상(401a)을 비교하여 상기 제1 액적(10)의 토출 상태를 검사할 수 있다. 즉, 영상 처리부(500)는 상기 제1 영상(301a) 및 상기 제2 영상(401a)을 비교하여 상기 제1 액적(10)이 상기 제1 타겟 위치(60)에 제대로 안착되었는지 여부를 검사할 수 있다. 상기 제어부(600)는 상기 제1 액적(10)이 상기 제1 타겟 위치(60)에 안착되지 않은 것으로 판단되면 상기 프린팅 공정을 중지할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 이송 유닛(100) 주변에 엔코더(40)가 있을 수 있다. 상기 엔코더(40)는 상기 이송 유닛(100)의 동작을 감지할 수 있다. 상기 엔코더(40)는 상기 이송 유닛(100)의 이동 속도와 상기 제1 카메라(300) 및 상기 제2 카메라(400)의 촬영 속도를 조율하기 위해 사용될 수 있다.
도 10은 도 8의 제1 영상을 포함하는 제1 전체 영상의 일 예를 나타내는 도면이다. 도 11은 도 9의 제2 영상을 포함하는 제2 전체 영상의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 2, 도 8 및 도 10을 참조하면, 상기 제1 카메라(300)는 상기 기판(50)을 촬영하여 상기 기판(50)의 상기 제1 영역(51a)에 대응하는 제1 전체 영상(301)을 획득할 수 있다.
상기 제1 타겟 위치(60)가 상기 기판(50)의 상기 제1 영역(51a) 내에 위치할 수 있으므로, 상기 제1 카메라(300)가 획득한 상기 제1 전체 영상(301)은 상기 제1 영상(301a)을 포함할 수 있다.
도 2, 도 9 및 도 11을 참조하면, 상기 제2 카메라(400)는 상기 기판(50)을 촬영하여 상기 기판(50)의 상기 제1 영역(51a)에 대응하는 제2 전체 영상(401)을 획득할 수 있다.
상기 제1 타겟 위치(60)가 상기 기판(50)의 상기 제1 영역(51a) 내에 위치할 수 있으므로, 상기 제2 카메라(400)가 획득한 상기 제2 전체 영상(401)은 상기 제1 영상(301a)을 포함할 수 있다.
도 12 내지 14는 도 1의 액적 토출 장치의 추가적인 동작을 설명하기 위한 도면들이다. 도 15는 도 12의 제1 카메라가 획득한 제3 영상을 나타내는 도면이다. 도 16은 도 14의 제2 카메라가 획득한 제4 영상을 나타내는 도면이다.
도 12를 참조하면, 상기 제1 카메라(300)는 상기 제1 타이밍 보다 늦는 제4 타이밍에 상기 기판(50)의 상기 제2 타겟 위치(70)를 촬영하여 상기 제2 타겟 위치(70)에 대응하는 제3 영상(301b)을 획득할 수 있다. 상기 제4 타이밍에 상기 기판(50)은 상기 이송 유닛(100)에 의해 상기 제1 방향(D1)으로 이동 중일 수 있다.
도 15에 도시된 바와 같이, 상기 제3 영상(301b)은 상기 제2 액적(20)이 토출되기 전의 상기 제2 타겟 위치(70)에 대응하는 영상일 수 있다. 다시 말해, 상기 제3 영상(301b)에는 상기 기판(50)의 상기 제2 타겟 위치(70)에 상기 제2 액적(20)이 탄착되지 않은 장면이 나타날 수 있다.
도 13을 참조하면, 상기 잉크젯 헤드(200)는 상기 제4 타이밍 보다 늦는 제5 타이밍에 상기 제2 액적(20)을 토출할 수 있다. 토출된 상기 제2 액적(20)은 상기 기판(50)의 상기 제2 타겟 위치(70)에 탄착될 수 있다. 상기 제5 타이밍에 상기 기판(50)은 상기 이송 유닛(100)에 의해 상기 제1 방향(D1)으로 이동 중일 수 있다.
도 14를 참조하면, 상기 제2 카메라(400)는 상기 제5 타이밍 보다 늦는 제6 타이밍에 상기 제2 타겟 위치(70)를 촬영하여 상기 제2 타겟 위치(70)에 대응하는 제4 영상(401b)을 획득할 수 있다. 상기 제6 타이밍에 상기 기판(50)은 상기 이송 유닛(100)에 의해 상기 제1 방향(D1)으로 이동 중일 수 있다.
도 16에 도시된 바와 같이, 상기 제4 영상(401b)은 상기 제2 액적(20)이 토출된 후의 상기 제2 타겟 위치(70)에 대응하는 영상일 수 있다. 다시 말해, 상기 제4 영상(401b)에는 상기 기판(50)의 상기 제2 타겟 위치(70)에 상기 제2 액적(20)이 탄착된 장면이 나타날 수 있다.
상기 영상 처리부(500)는 상기 제3 영상(301b) 및 상기 제4 영상(401b)을 각각 수신하고, 상기 제3 영상(301b) 및 상기 제4 영상(401b)을 비교하여 상기 제2 액적(20)의 토출 상태를 검사할 수 있다. 즉, 영상 처리부(500)는 상기 제3 영상(301b) 및 상기 제4 영상(401b)을 비교하여 상기 제2 액적(20)이 상기 제2 타겟 위치(70)에 제대로 안착되었는지 여부를 검사할 수 있다. 상기 제어부(600)는 상기 제2 액적(20)이 상기 제2 타겟 위치(70)에 안착되지 않은 것으로 판단되면 상기 프린팅 공정을 중지할 수 있다.
도 17은 도 15의 제3 영상을 더 포함하는 제1 전체 영상의 일 예를 나타내는 도면이다. 도 18은 도 16의 제4 영상을 더 포함하는 제2 전체 영상의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 2, 도 15 및 도 17을 참조하면, 상기 제1 카메라(300)는 상기 기판(50)을 촬영하여 상기 기판(50)의 상기 제1 영역(51a)에 대응하는 제1 전체 영상(301)을 획득할 수 있다.
상기 제2 타겟 위치(70)가 상기 기판(50)의 상기 제1 영역(51a) 내에 위치할 수 있으므로, 상기 제1 카메라(300)가 획득한 상기 제1 전체 영상(301)은 상기 제3 영상(301b)을 더 포함할 수 있다.
도 2, 도 16 및 도 18을 참조하면, 상기 제2 카메라(400)는 상기 기판(50)을 촬영하여 상기 기판(50)의 상기 제1 영역(51a)에 대응하는 제2 전체 영상(401)을 획득할 수 있다.
상기 제2 타겟 위치(70)가 상기 기판(50)의 상기 제1 영역(51a) 내에 위치할 수 있으므로, 상기 제2 카메라(400)가 획득한 상기 제2 전체 영상(401)은 상기 제4 영상(401b)을 더 포함할 수 있다.
도 19 내지 도 22는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 도면들이다.
먼저, 도 19를 참조하면, 베이스 기판(52) 상에 애노드 전극(54)을 형성할 수 있다. 도면에 도시되지는 않았으나, 상기 베이스 기판(52)과 상기 애노드 전극(54) 사이에는 박막트랜지스터층이 형성될 수 있다. 상기 박막트랜지스터층은 적어도 하나의 박막트랜지스터 및 절연층을 포함할 수 있다.
다음으로, 상기 베이스 기판(52) 상에 상기 애노드 전극(54)을 노출하는 개구부를 갖는 화소 정의막(53)을 형성할 수 있다.
다음으로, 도 20 내지 도 22를 참조하면, 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부 내에 유기 발광 물질을 포함하는 제1 액적(10)을 토출하여 발광층(55)을 형성할 수 있다. 상기 제1 액적(10)은 도 1 내지 도 4의 액적 토출 장치(1000)에 의해 토출될 수 있다. 상기 개구부는 상기 제1 타겟 위치(예를 들어, 도 1의 제1 타겟 위치(60))를 의미할 수 있다.
먼저, 상기 베이스 기판(52)을 상기 제1 방향(D1)으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 이송 유닛(예를 들어, 도 2의 이송 유닛(100))이 상기 베이스 기판(52)을 상기 제1 방향(D1)으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 카메라(300) 및 상기 제2 카메라(400)는 서로 다른 타이밍에 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부를 촬영할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 카메라(300)는 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부를 상기 제2 카메라(400) 보다 먼저 촬영할 수 있다.
구체적으로, 도 20에 도시된 바와 같이, 상기 제1 카메라(300)는 제1 타이밍에 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부를 촬영하여 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부에 대응하는 제1 영상을 획득할 수 있다. 상기 제1 타이밍에 상기 베이스 기판(52)은 상기 이송 유닛(100)에 의해 상기 제1 방향(D1)으로 이동 중일 수 있다.
상기 제1 영상은 상기 제1 액적(10)이 토출되기 전의 상기 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부에 대응하는 영상일 수 있다. 다시 말해, 상기 제1 영상에는 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부에 상기 제1 액적(10)이 탄착되지 않은 장면이 나타날 수 있다.
다음으로, 도 21에 도시된 바와 같이, 상기 잉크젯 헤드(200)는 상기 제1 타이밍 보다 늦는 제2 타이밍에 상기 제1 액적(10)을 토출할 수 있다. 토출된 상기 제1 액적(10)은 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부에 탄착될 수 있다. 이에 따라, 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부 내에 상기 발광층(55)이 형성될 수 있다. 상기 제2 타이밍에 상기 베이스 기판(52)은 상기 이송 유닛(100)에 의해 상기 제1 방향(D1)으로 이동 중일 수 있다.
다음으로, 도 22에 도시된 바와 같이, 상기 제2 카메라(400)는 상기 제2 타이밍 보다 늦는 제3 타이밍에 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부를 촬영하여 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부에 대응하는 제2 영상을 획득할 수 있다. 상기 제3 타이밍에 상기 베이스 기판(52)은 상기 이송 유닛(100)에 의해 상기 제1 방향(D1)으로 이동 중일 수 있다.
상기 제2 영상은 상기 제1 액적(10)이 토출된 후의 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부에 대응하는 영상일 수 있다. 다시 말해, 상기 제2 영상에는 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부에 상기 제1 액적(10)이 탄착된 장면이 나타날 수 있다.
상기 영상 처리부(예컨대, 도 1의 영상 처리부(500))는 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 각각 수신하고, 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 비교하여 상기 제1 액적(10)의 토출 상태를 검사할 수 있다. 즉, 상기 영상 처리부는 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 비교하여 상기 제1 액적(10)이 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부에 제대로 안착되었는지 여부를 검사할 수 있다. 상기 제어부(예컨대, 도 1의 제어부(600))는 상기 제1 액적(10)이 상기 화소 정의막(53)의 상기 개구부에 안착되지 않은 것으로 판단되면 상기 프린팅 공정을 중지할 수 있다.
종래에 상기 프린팅 공정을 수행하기 전에 미리 상기 액적에 대한 상태를 검사하였으나, 상기 프린팅 공정을 진행하는 중에는 상기 액적의 탄착 여부를 확인하지 못하는 문제가 있다.
그러나, 본 발명의 실시예들에 따른 상기 액적 토출 장치(1000), 상기 액적 토출 방법 및 상기 표시 장치의 제조 방법에 따르면, 상기 프린팅 공정이 수행되는 시간대에 있어서, 타겟 위치(예를 들어, 제1 타겟 위치(60))에 액적(예를 들어, 제1 액적(10))이 토출되기 직전에 상기 타겟 위치에 대응하는 일 영상(예를 들어, 제1 영상(301a))을 획득하고, 상기 타겟 위치에 상기 액적이 토출된 직후에 상기 타겟 위치에 대응하는 다른 영상(예를 들어, 제2 영상(401a))을 획득하며, 상기 일 영상 및 상기 다른 영상을 비교할 수 있다. 이에 따라, 상기 프린팅 공정이 수행되는 중에 상기 액적의 탄착 여부를 실시간으로 확인할 수 있다.
또한, 상기 액적이 상기 타겟 위치에 안착되지 않은 것으로 판단되면 상기 프린팅 공정을 중지할 수 있다. 이에 따라, 탄착 불량에 해당되어 버려지는 제품을 최소화하고, 불필요한 공정을 수행하지 않을 수 있다.
이상, 본 발명의 실시예들에 따른 액적 토출 장치, 액적 토출 방법 및 표시 장치의 제조 방법에 대하여 도면을 참조하여 설명하였지만, 상기 설명은 예시적인 것으로서 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 수정 및 변경될 수 있을 것이다.
1000: 액적 토출 장치 10, 20: 제1 및 제2 액적
40: 엔코더 50: 기판
60, 70: 제1 및 제2 타겟 위치 100: 이송 유닛
200: 잉크젯 헤드 300: 제1 카메라
301a, 301b: 제1 및 제3 영상 301: 제1 전체 영상
400: 제2 카메라 401: 제2 전체 영상
401a, 401b: 제2 및 제4 영상 500: 영상 처리부
600: 제어부 700: 조명
710: 광원 720: 하프미러

Claims (20)

  1. 제1 타겟 위치를 포함하는 기판을 제1 방향으로 이동시키는 이송 유닛;
    상기 이송 유닛 위에 배치되고, 상기 기판의 상기 제1 타겟 위치에 제1 액적을 토출하는 잉크젯 헤드;
    상기 잉크젯 헤드의 상기 제1 방향에 반대되는 제2 방향에 위치하고, 상기 기판의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 제1 영상을 획득하는 제1 카메라;
    상기 잉크젯 헤드의 상기 제1 방향에 위치하고, 상기 기판의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 제2 영상을 획득하는 제2 카메라; 및
    상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 각각 수신하고, 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 비교하여 상기 제1 액적의 토출 상태를 검사하는 영상 처리부를 포함하는 액적 토출 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 카메라는 제1 타이밍에 상기 제1 영상을 획득하고,
    상기 잉크젯 헤드는 상기 제1 타이밍 보다 늦는 제2 타이밍에 상기 제1 액적을 토출하며,
    상기 제2 카메라는 상기 제2 타이밍 보다 늦는 제3 타이밍에 상기 제2 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 타이밍, 상기 제2 타이밍 및 상기 제3 타이밍에서 상기 이송 유닛은 상기 기판을 상기 제1 방향으로 이동시키는 중인 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 영상은 상기 제1 액적이 토출되기 전의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 영상이고, 상기 제2 영상은 상기 제1 액적이 토출된 후의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 영상인 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 제1 타겟 위치로부터 상기 제2 방향으로 떨어진 제2 타겟 위치를 더 포함하고,
    상기 제1 카메라는 상기 기판의 상기 제2 타겟 위치에 대응하는 제3 영상을 획득하며,
    상기 잉크젯 헤드는 상기 기판의 상기 제2 타겟 위치에 제2 액적을 토출하고,
    상기 제2 카메라는 상기 기판의 상기 제2 타겟 위치에 대응하는 제4 영상을 획득하며,
    상기 영상 처리부는 상기 제3 영상 및 상기 제4 영상을 각각 수신하고, 상기 제3 영상 및 상기 제4 영상을 비교하여 상기 제2 액적의 토출 상태를 검사하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 제1 카메라는 상기 제1 타이밍 보다 늦는 제4 타이밍에 상기 제3 영상을 획득하고,
    상기 잉크젯 헤드는 상기 제4 타이밍 보다 늦는 제5 타이밍에 상기 제2 액적을 토출하며,
    상기 제2 카메라는 상기 제5 타이밍 보다 늦는 제6 타이밍에 상기 제4 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 카메라, 상기 잉크젯 헤드 및 상기 제2 카메라는 서로 연결되어 고정되는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 카메라 및 상기 제2 카메라는 각각 라인단위로 촬영하는 라인스캔카메라인 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 카메라 및 상기 제2 카메라는 각각 영역단위로 촬영하는 영역스캔카메라인 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 영상 처리부와 통신하고, 상기 제1 액적이 상기 제1 타겟 위치에 안착되지 않은 것으로 판단되면 프린팅 공정을 중지하는 제어부를 더 포함하는 액적 토출 장치.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 카메라 및 제2 카메라가 각각 촬영하는 방향은 상기 기판에 수직한 제3 방향인 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 제3 방향과 교차하는 방향으로 광을 조사하는 광원 및 상기 광을 상기 제3 방향으로 반사하는 하프미러를 포함하는 조명을 더 포함하는 액적 토출 장치.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 제2 카메라는 상기 광이 상기 기판에 반사된 상기 제1 반사광 및 상기 광이 상기 제1 액적에 반사된 제2 반사광을 받고,
    상기 제1 반사광은 제1 강도를 가지며, 상기 제2 반사광은 상기 제1 강도보다 큰 제2 강도를 갖는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  14. 제1 타겟 위치를 포함하는 기판을 제1 방향으로 이동시키는 단계;
    상기 기판의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 제1 영상을 제1 타이밍에 획득하는 단계;
    상기 기판의 상기 제1 타겟 위치으로 제1 액적을 제2 타이밍에 토출하는 단계;
    상기 기판의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 제2 영상을 제3 타이밍에 획득하는 단계; 및
    상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 비교하여 상기 제1 액적의 토출 상태를 검사하는 단계를 포함하는 액적 토출 방법.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 제1 타이밍, 상기 제2 타이밍 및 상기 제3 타이밍에서 상기 기판은 상기 제1 방향으로 이동되는 중인 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  16. 제14 항에 있어서,
    상기 제1 영상은 상기 제1 액적이 토출되기 전의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 영상이고, 상기 제2 영상은 상기 제1 액적이 토출된 후의 상기 제1 타겟 위치에 대응하는 영상인 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  17. 제14 항에 있어서,
    상기 제1 액적이 상기 제1 타겟 위치에 안착되지 않은 것으로 판단되면 프린팅 공정을 중지하는 단계를 더 포함하는 액적 토출 방법.
  18. 제14 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 제1 타겟 위치로부터 상기 제1 방향과 반대되는 제2 방향으로 떨어진 제2 타겟 위치를 더 포함하고,
    상기 액적 토출 방법은,
    상기 기판의 상기 제2 타겟 위치에 대응하는 제3 영상을 획득하는 단계;
    상기 기판의 상기 제2 타겟 위치로 제2 액적을 토출하는 단계;
    상기 기판의 상기 제2 타겟 위치에 대응하는 제4 영상을 획득하는 단계; 및
    상기 제3 영상 및 상기 제4 영상을 비교하여 상기 제2 액적의 토출 상태를 검사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  19. 베이스 기판 상에 애노드 전극을 형성하는 단계;
    상기 베이스 기판 상에 상기 애노드 전극을 노출하는 개구부를 갖는 화소 정의막을 형성하는 단계;
    상기 베이스 기판을 제1 방향으로 이동시키는 단계;
    상기 베이스 기판의 상기 개구부에 대응하는 제1 영상을 획득하는 단계;
    상기 베이스 기판의 상기 개구부 내에 유기 발광 물질을 포함하는 액적을 토출하여 발광층을 형성하는 단계;
    상기 베이스 기판의 상기 개구부에 대응하는 제2 영상을 획득하는 단계; 및
    상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 비교하여 상기 액적의 토출 상태를 검사하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제19 항에 있어서,
    상기 제1 영상은 상기 액적이 토출되기 전의 상기 개구부에 대응하는 영상이고, 상기 제2 영상은 상기 액적이 토출된 후의 상기 개구부에 대응하는 영상인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.
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