JP2021056039A - インクジェット印刷装置、それを用いて製造されたデバイス、塗膜形成ムラ検出方法、及びデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(インク塗布)
基板として、730mm×920mmのガラス基板(型番:AN100,AGC社製)を用意した。ガラス基板を、インクジェット印刷装置のステージ上に載置した。そして、印刷ヘッドのノズルから、ガラス基板の表面に対してインクを塗布した。塗布時間は27秒であった。
(塗膜形成ムラの検出方法)
ガラス基板の表面にインクを塗布した後に、ステージによって、150mm/sでガラス基板を観察手段へ搬送した。搬送時間及び観察準備時間の合計は、15秒であった。その後、4台のラインセンサカメラで、ガラス基板の表面を撮像した。撮像時間は10秒であった。これにより、塗布後25〜52秒の撮像データが得られ、インク塗布後60秒以内に、基板の表面を観察することができた。撮像した画像データを処理部に送信し、塗膜形成ムラの検出を実施した。
図7Aは、基板の表面に形成された欠陥を観察カメラ(型番:HS−80−04K40/DALSA社製)で撮影した写真である。図7Bは、ライセンサカメラで撮像した基板の表面に形成された欠陥を処理部において所定のアルゴリズムによって強調して示した図である。
X 搬送方向
L1 照明光
L2 正反射光
L3 拡散反射光
T1 照射軸
T2 撮像軸
1 インクジェット印刷装置
2 処理部
3 ステージ(移動手段)
10 基板
11 セル
20 印刷ヘッド(印刷手段)
21 ノズル
30 観察手段
31 照明(光源部)
32 ライセンサカメラ(撮像部)
Claims (7)
- 表面に複数のセルが設けられた基板に対してインクを吐出することで印刷を行うインクジェット印刷装置であって、
複数のノズルから液状のインクを吐出して前記複数のセルにおける各セルにインクを充填することで、該各セルに塗膜を形成する印刷手段と、
前記基板を前記印刷手段に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記各セルに充填されたインクが乾燥する前に、前記各セルにおける塗膜の状態を光学的手段により観察する観察手段と、を備える、インクジェット印刷装置。 - 請求項1において、
前記観察手段は、
前記基板の上方に配置され、該基板に照明光を照射する光源部と、
前記基板の上方に配置され、前記照明光の該基板からの拡散反射光を受光する撮像部と、を有し、
前記撮像部の撮像軸は、前記照明光の照射軸に対して、所定の角度を有する、インクジェット印刷装置。 - 請求項2において、
前記所定の角度は、70度以上80度以下である、インクジェット印刷装置。 - 請求項1から3のいずれか1つにおいて、
前記基板の表面において、前記観察手段が前記基板の前記印刷手段に対する相対的な移動方向に延びる直線状の欠陥を観察した場合に、該欠陥を、前記複数のノズルのうちいずれかのノズルに起因した前記各セル間における前記塗膜の厚さの不均一として検出する、処理部をさらに備える、インクジェット印刷装置。 - 請求項1から4のいずれか1つに係るインクジェット印刷装置によって製造されたデバイス。
- 表面に複数のセルが設けられた基板に対して液状のインクを吐出することで印刷を行うインクジェット印刷において、前記複数のセルにおける各セルにインクを充填することで該各セルに形成された塗膜の塗膜形成ムラ検出方法であって、
前記各セルに充填されたインクが乾燥する前に、該各セルにおける塗膜の状態を観察する、塗膜形成ムラ検出方法。 - 基板の表面に設けられた複数のセルに塗膜が形成されたデバイスの製造方法であって、
前記複数のセルにおける各セルに液状のインクを吐出して充填することで該各セルに塗膜を形成する印刷工程と、
前記各セルに充填されたインクが乾燥する前に、該各セルにおける塗膜の状態を観察する検査工程と、を備えるデバイスの製造方法。
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JP2010204412A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法 |
JP2014140810A (ja) * | 2013-01-23 | 2014-08-07 | Ulvac Japan Ltd | インクジェット装置および液滴測定方法 |
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