JP2020027072A - インクの液滴量のバラツキを検査するマクロ検査装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)ライン光源:基板表面(水平方向)から20度で、ラインセンサカメラの光軸から約70mmの位置から光軸に垂直に照射
(2)ラインセンサカメラ:画素数は8K(8192)画素、ワーク上ピクセルサイズは14μm、基板表面(水平方向)から31度の位置で、ワーキングディスタンス(WD)は270mm
2 被検査物(基板)
3 リニアモータ
4 ステージ・コントローラ
5 ライン光源
6 レール
7 ステッピング・モータ
8 コントローラ
9 ラインセンサカメラ
10 ライン光源用の電源
11 画像処理手段(コンピュータ)
12 光学系(レンズ等)
100 マクロ検査装置
Claims (5)
- 基板の表面に格子状に塗布されたインクの液滴量のバラツキを検査するマクロ検査装置であって、
ステージ上に載置された基板の表面に鉛直な軸に対して一方の側において前記基板の表面に対して第1の角度の斜め上方に位置し、前記基板の表面に光を照射するライン光源と、
前記基板の表面に鉛直な軸に対して他方の側において前記基板の表面に対して第2の角度の斜め上方に位置し、前記基板の表面からの反射光を受光するラインセンサカメラと、
前記ラインセンサカメラからの信号を処理して、前記基板の表面に格子状に塗布されたインクの液滴量のバラツキを求めるための処理手段と、を備え、
前記ライン光源の前記第1の角度と前記ラインセンサカメラの前記第2の角度は、前記ラインセンサカメラが前記基板の表面に格子状に塗布されたインクの液滴以外から受光する反射光量が最小になるように設定される、マクロ検査装置。 - 前記ライン光源の前記第1の角度は15〜25度の範囲であり、前記ラインセンサカメラの前記第2の角度は27〜40度の範囲である、請求項1に記載のマクロ検査装置。
- 前記処理手段は、前記ラインセンサカメラからの信号からラインセンサの画素毎の輝度値を求め、その輝度値を所定のしきい値と比較することにより前記インクの液滴量のバラツキを求める、請求項1または2に記載のマクロ検査装置。
- 前記ステージを所定の間隔で移動させることができる移動手段をさらに備え、
前記処理手段は、前記ステージが移動しながら得られるラインセンサからの信号を受け取り、前記ラインセンサの画素毎の輝度値から前記前記インクの液滴量のバラツキを表す輝度分布の画像を生成する、請求項3に記載のマクロ検査装置。 - 基板の表面に格子状に塗布されたインクの液滴量のバラツキを検査するマクロ検査方法であって、
ステージ上に載置された基板の表面に鉛直な軸に対して一方の側において前記基板の表面に対して第1の角度の斜め上方に位置するライン光源から前記基板の表面に光を照射するステップと、
前記基板の表面に鉛直な軸に対して他方の側において前記基板の表面に対して第2の角度の斜め上方に位置するラインセンサカメラが前記基板の表面からの反射光を受光するステップと、
前記ラインセンサカメラからの信号を処理して、前記基板の表面に格子状に塗布されたインクの液滴量のバラツキを輝度分布に反映したマクロ画像を作成するステップと、を含み、
前記ライン光源の前記第1の角度は15〜25度の範囲にあり、前記ラインセンサカメラの前記第2の角度は27〜40度の範囲にあって、前記第1の角度と前記第2の角度は、前記ラインセンサカメラが前記基板の表面に格子状に塗布されたインクの液滴以外から受光する反射光量が最小になるように設定される、マクロ検査方法。
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