JP2010015103A - フィルタ検査装置、フィルタ製造裝置及び表示用パネル製造方法 - Google Patents
フィルタ検査装置、フィルタ製造裝置及び表示用パネル製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】表示用パネル上の所定個所にインクジェット塗工処理によって形成されたカラーフィルタの塗布状態を検査するフィルタ検査装置において、カラーフィルタに照射された光の透過光を用いて検査することにある。反射光だけでは、ピンホールや異物による凹凸が分かりにくいので、透過光による検査を行うことで、両者を区別して、高精度に欠陥を検出することができる。また、透過光による検査は、インクの乾燥前後のいずれの時点でも行なえるという効果がある。
【選択図】図3
Description
また、上述の実施の形態では、反射光検出ヘッド60及び透過光検出ヘッド70をスライドフレーム20の長手方向に沿って設ける場合について説明したが、インクジェットヘッドユニット30のように、反射光検出ヘッド60及び透過光検出ヘッド70をユニット化して、インクジェットヘッドユニット30の動作に連動して検出ヘッドを動作させるようにしてもよい。さらに、上述の実施の形態では、反射光及び透過光の両者を用いて検査する場合について言及しているが、透過光のみを用いて検査することによって、インクの乾燥を考慮に入れることなく検査を行なうことができるという効果がある。
20 スライドフレーム
30 インクジェットヘッドユニット
40 制御部
50 ガラス基板
60…反射光検出ヘッド
70…透過光検出ヘッド
6070…検出ヘッド
65,75…LED光源
77…光拡散板
41…ポジションカウンタ
42…ステージコントローラ
43…CCD信号発生手段
45…デジタルシグナルプロセッサ(DSP)
46…基準CCDパターン発生手段
44,47…メモリ手段
48…比較判定手段
49…欠陥メモリ
Claims (11)
- 表示用パネル上の所定個所にインクジェット塗工処理によって形成されたカラーフィルタの塗布状態を検査するフィルタ検査装置において、
前記カラーフィルタに照射された光の透過光を用いて検査することを特徴とするフィルタ検査装置。 - 請求項1に記載のフィルタ検査裝置において、前記カラーフィルタに照射された光の反射光及び透過光を用いて検査することを特徴とするフィルタ検査装置。
- 請求項2に記載のフィルタ検査裝置において、
前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置から前記表示用パネル側に光を照射する第1の光照射手段と、
前記第1の光照射手段によって照射された光のうち前記表示用パネル側から反射された反射光を前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置で受光してその検出信号を出力する反射光検出手段と、
前記カラーフィルタの塗布された側とは反対側の前記表示用パネル表面から離間した位置から前記表示用パネル側に光を照射する第2の光照射手段と、
前記第2の光照射手段と前記表示用パネル表面との間に設けられた光拡散手段と、
前記光拡散手段よって拡散された光のうち前記表示用パネルを透過した透過光を前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置で受光してその検出信号を出力する透過光検出手段と
を備えたことを特徴とするフィルタ検査裝置。 - 請求項3に記載のフィルタ検査裝置において、前記反射光検出手段と前記透過光検出手段を1個の検出手段で併用することを特徴とするフィルタ検査裝置。
- 請求項2、3又は4に記載されたフィルタ検査裝置において、前記反射光を用いた検査を塗布されたカラーフィルタの光沢がなくなる前に行なうことを特徴とするフィルタ検査裝置。
- 表示用パネルにフィルタ用のインクを吐出するインクジェットヘッド手段と、
前記表示用パネルを搭載した状態で前記インクジェットヘッド手段に対して相対的に移動制御されるステージ手段と、
前記インクジェットヘッド手段を前記ステージ手段に対して相対的に移動制御するフレーム手段と、
前記フレーム手段及び前記ステージ手段を移動制御することによって前記インクジェットヘッド手段と前記ステージ手段との間の相対的な位置関係を制御しながら前記インクジェットヘッド手段の吐出状態を制御して前記表示用パネルの所望位置にフィルタを成形する制御手段と、
前記表示用パネル上に成形された前記フィルタの状態を前記フィルタに照射された光の透過光を用いて検査するフィルタ検査手段と
を備えたことを特徴とするフィルタ製造装置。 - 請求項6に記載のフィルタ製造裝置において、前記フィルタ検査手段が、前記表示用パネル上に成形された前記フィルタの状態を前記フィルタに照射された光の反射光及び透過光を用いて検査することを特徴とするフィルタ製造装置。
- 請求項7に記載のフィルタ製造裝置において、前記フィルタ検査手段は、
前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置から前記表示用パネル側に光を照射する第1の光照射手段と、
前記第1の光照射手段によって照射された光のうち前記表示用パネル側から反射された反射光を前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置で受光してその検出信号を出力する反射光検出手段と、
前記カラーフィルタの塗布された側とは反対側の前記表示用パネル表面から離間した位置から前記表示用パネル側に光を照射する第2の光照射手段と、
前記第2の光照射手段と前記表示用パネル表面との間に設けられた光拡散手段と、
前記光拡散手段よって拡散された光のうち前記表示用パネルを透過した透過光を前記カラーフィルタの塗布された側の前記表示用パネル表面から離間した位置で受光してその検出信号を出力する透過光検出手段と
を備えたことを特徴とするフィルタ製造裝置。 - 請求項8に記載のフィルタ製造裝置において、前記反射光検出手段と前記透過光検出手段を1個の検出手段で併用することを特徴とするフィルタ製造裝置。
- 請求項7、8又は9に記載されたフィルタ製造裝置において、前記反射光を用いた検査を塗布されたカラーフィルタの光沢がなくなる前に行なうことを特徴とするフィルタ製造裝置。
- 請求項6から10までのいずれか1に記載のフィタ製造裝置を用いて表示用パネルを製造することを特徴とする表示用パネル製造方法。
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2008
- 2008-07-07 JP JP2008177149A patent/JP2010015103A/ja active Pending
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