KR102647252B1 - 액적을 검사하기 위한 장치 및 방법 - Google Patents

액적을 검사하기 위한 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102647252B1
KR102647252B1 KR1020200114835A KR20200114835A KR102647252B1 KR 102647252 B1 KR102647252 B1 KR 102647252B1 KR 1020200114835 A KR1020200114835 A KR 1020200114835A KR 20200114835 A KR20200114835 A KR 20200114835A KR 102647252 B1 KR102647252 B1 KR 102647252B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
droplet
substrate
ultrasonic
volume
dimensional
Prior art date
Application number
KR1020200114835A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20220033603A (ko
Inventor
김광섭
안동옥
이종민
오준호
유지훈
박영호
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020200114835A priority Critical patent/KR102647252B1/ko
Priority to US17/467,266 priority patent/US11577506B2/en
Priority to CN202111036368.XA priority patent/CN114152546A/zh
Publication of KR20220033603A publication Critical patent/KR20220033603A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102647252B1 publication Critical patent/KR102647252B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/0456—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits detecting drop size, volume or weight
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04505—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits aiming at correcting alignment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
    • B41J2/14032—Structure of the pressure chamber
    • B41J2/14048—Movable member in the chamber
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17503—Ink cartridges
    • B41J2/1752—Mounting within the printer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17566—Ink level or ink residue control
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
    • B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J3/00—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
    • B41J3/407—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed for marking on special material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
    • G01B17/02—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
    • G01B17/06—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F22/00—Methods or apparatus for measuring volume of fluids or fluent solid material, not otherwise provided for
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
    • G01F23/296—Acoustic waves
    • G01F23/2962—Measuring transit time of reflected waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/26—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor
    • G01N29/265—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor by moving the sensor relative to a stationary material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/44—Processing the detected response signal, e.g. electronic circuits specially adapted therefor
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T15/00—3D [Three Dimensional] image rendering
    • G06T15/10—Geometric effects
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/60—Analysis of geometric attributes
    • G06T7/62—Analysis of geometric attributes of area, perimeter, diameter or volume
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17566—Ink level or ink residue control
    • B41J2002/17583—Ink level or ink residue control using vibration or ultra-sons for ink level indication
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/04—Wave modes and trajectories
    • G01N2291/044—Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/10—Image acquisition modality
    • G06T2207/10132—Ultrasound image

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Computer Graphics (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)

Abstract

본 발명의 실시예는 기판 상의 액적을 신속하고 정확하게 검사하기 위한 장치 및 방법을 제공한다. 본 발명의 실시예에 따른 기판 상의 액적을 검사하기 위한 장치는, 상기 기판 상의 액적으로 초음파를 인가하고, 상기 기판으로부터 반사된 초음파를 검출하는 초음파 센서와, 상기 기판 상의 액적으로부터 반사된 초음파의 신호에 기반하여 상기 기판 상의 위치별 액적의 높이를 획득하고, 상기 위치별 액적의 높이에 기반하여 상기 액적의 체적을 계산하고, 상기 액적의 체적에 대한 데이터를 저장하거나 출력하는 프로세서를 포함한다. 본 발명의 실시예에 따르면, 초음파를 사용하여 액적의 체적을 계산함으로써 기판 상의 액적을 신속하고 정확히 검사할 수 있다.

Description

액적을 검사하기 위한 장치 및 방법{APPRATUS FOR INSPECTING DROPLET AND METHOD THEREOF}
본 발명은 기판 상의 액적을 검사하기 위한 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 잉크젯 프린팅 설비에서 액적의 체적을 검사하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
사용자에게 시각적 정보를 전달하기 위한 수단인 디스플레이의 패널로서, 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display, LCD), 플라즈마 패널(Plasma Display Panel, PDP), 그리고 유기 발광형 디스플레이(Organic Light Emitting Display, OLED)와 같은 디스플레이 패널이 사용되고 있다.
이러한 디스플레이 패널의 제조를 위하여, 기판(예: 글라스) 상에 특정 패턴(예: 컬러 필터)을 형성하기 위한 기법으로서 잉크젯 프린팅 기법이 소개되고 있다. 잉크젯 프린팅은 기판 상에 형성하고자 하는 패턴에 따라 액을 토출한 이후 열 처리를 통해 경화시키는 방법이다. 잉크젯 프린팅은 신속하고 간단한 방법으로 원하는 패턴을 형성할 수 있는 장점이 있다.
한편, 기판 사이즈의 대형화 및 패턴의 미세화가 진행됨에 따라, 잉크젯 프린팅 공정시 원하는 위치에 원하는 양의 액적을 정확히 토출하는 기술이 요구되고 있으며, 또한 액적이 기판 상에 정확히 토출되는지 여부를 신속하고 정확히 검사하기 위한 기술이 요구되고 있다.
따라서, 본 발명의 실시예는 기판 상의 액적을 신속하고 정확하게 검사하기 위한 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 상의 액적을 검사하기 위한 장치는, 상기 기판 상의 액적으로 초음파를 인가하는 초음파 송신기와, 상기 기판으로부터 반사된 초음파를 검출하는 초음파 수신기와, 상기 기판 상의 액적으로부터 반사된 초음파의 신호에 기반하여 상기 기판 상의 위치별 액적의 높이를 획득하고, 상기 위치별 액적의 높이에 기반하여 상기 액적의 체적을 계산하고, 상기 액적의 체적에 대한 데이터를 저장하거나 출력하는 프로세서를 포함한다.
일 실시예에서, 상기 프로세서는 상기 기판 상의 2차원 위치 별 액적의 높이 값에 기반하여 상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 생성하고, 상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽의 체적을 계산할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 프로세서는 상기 기판 상의 2차원 위치 별 액적의 높이 값들을 나타내는 3차원 그래프를 생성하고, 상기 3차원 그래프에서 인접한 높이 값들을 보간함으로써 상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 모델링할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 프로세서는 상기 3차원 그래픽으로부터 상기 액적의 형상이 기준 형상의 범위에 속하는지 여부를 검사할 수 있다.
일 실시예에서, 초음파 송신기 및 초음파 수신기는 상기 기판의 하부에 위치할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 초음파 송신기 및 초음파 수신기는 상기 기판을 지지하는 지지 유닛에 설치될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 액적이 토출된 상기 기판의 하부에 상기 초음파 송신기 및 초음파 수신기를 위치시키는 검사 구동부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 검사 구동부는 상기 기판을 상기 액적을 검사하기 위한 검사 영역으로 이송하는 수평 구동부와, 상기 검사 영역에 위치한 상기 기판의 하부에 위치한 상기 초음파 송신기 및 초음파 수신기를 승강시켜 상기 기판의 하부에 밀착시키는 수직 구동부를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 초음파 송신기 및 초음파 수신기는 상기 기판의 상부에 위치할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 초음파 송신기 및 초음파 수신기는 상기 액적을 토출하는 헤드 유닛 또는 기판의 상부에 위치한 구조물에 설치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 상의 액적을 검사하기 위한 방법은, 상기 기판 상의 액적으로 초음파를 인가하는 단계와, 상기 기판으로부터 반사된 초음파를 검출하는 단계와, 상기 반사된 초음파의 신호에 기반하여 기판 상의 각 위치별 액적의 높이를 획득하는 단계와, 상기 위치별 액적의 높이에 기반하여 상기 액적의 체적을 계산하는 단계와, 상기 액적의 체적에 대한 데이터를 저장하거나 출력하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 액적의 체적을 계산하는 단계는 상기 기판 상의 2차원 위치 별 액적의 높이 값에 기반하여 상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 생성하는 단계와, 상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽의 체적을 계산하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 생성하는 단계는, 상기 기판 상의 2차원 위치 별 액적의 높이 값들을 나타내는 3차원 그래프를 생성하는 단계와, 상기 3차원 그래프에서 인접한 높이 값들을 보간함으로써 상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 모델링하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 3차원 그래픽으로부터 상기 액적의 형상이 기준 형상의 범위에 속하는지 여부를 검사하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 기판 상의 액적으로 초음파를 인가하는 단계는 상기 액적이 토출된 상기 기판의 하부에 초음파 송신기 및 초음파 수신기를 위치시키는 단계와, 상기 초음파 송신기 및 초음파 수신기로부터 상기 액적으로 초음파를 인가하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 기판의 하부에 초음파 송신기 및 초음파 수신기를 위치시키는 단계는, 상기 기판을 상기 액적을 검사하기 위한 검사 영역으로 이송하는 단계와, 상기 검사 영역에 위치한 상기 기판의 하부에 위치한 상기 초음파 송신기 및 초음파 수신기를 승강시켜 상기 기판의 하부에 밀착시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 기판 상의 액적을 검사하기 위한 장치는, 상기 기판이 안착되는 지지 유닛과, 상기 기판 상으로 액적을 토출하는 헤드 유닛과, 상기 지지 유닛에 설치되어, 상기 기판의 하부에서 상기 액적으로 초음파를 인가하고 상기 기판으로부터 반사된 초음파를 검출하는 초음파 센서와, 상기 기판 상의 액적으로부터 반사된 초음파에 기반하여 상기 기판 상의 위치별 액적의 높이를 획득하고, 상기 위치별 액적의 높이에 기반하여 상기 액적의 체적을 계산하고, 상기 액적의 체적에 대한 데이터를 출력하거나 저장하는 프로세서를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 초음파를 사용하여 액적의 체적을 계산함으로써 기판 상의 액적을 신속하고 정확히 검사할 수 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 잉크젯 프린팅 설비의 예를 도시한다.
도 2는 잉크젯 프린팅 설비에서 기판 처리부의 예를 도시한다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액적의 검사 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 액적을 검사하기 위한 장치의 개략도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 초음파 센서의 예를 도시한다.
도 7는 본 발명의 실시예에 따른 액적의 검사를 위한 시스템의 예를 도시한다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 액적 검사 시스템에서 초음파 센서의 예시적인 블록도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 액적 검사 시스템에서 검사 처리 장치의 예시적인 블록도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 액적의 위치 별 높이를 계산하기 위한 방법의 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 실시예에 따른 액적의 위치 별 높이로부터 3차원 그래픽을 생성하는 과정의 예를 도시한다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 액적의 체적의 계산하는 방법의 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 지지 유닛에 배치된 초음파 센서를 사용하여 액적을 검사하는 방법의 예를 도시한다.
도 15 및 도 16a 내지 도 16c는 본 발명의 실시예에 따른 검사 구동부를 사용하여 액적을 검사하는 방법의 예를 도시한다.
도 17은 본 발명의 실시예에 따른 헤드 유닛에 설치된 초음파 센서를 사용하여 액적을 검사하는 방법의 예를 도시한다.
도 18은 본 발명의 실시예에 따른 상부 구조물에 설치된 초음파 센서를 사용하여 액적을 검사하는 방법의 예를 도시한다.
도 19는 본 발명의 실시예에 따른 액적을 검사하기 위한 방법에 대한 흐름도를 도시한다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(또는 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결(또는 결합)"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결(또는 결합)"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 잉크젯 프린팅 설비(1)의 예를 도시한다. 도 1을 참고하면, 잉크젯 프린팅 설비(1)는 기판 처리부(10), 기판 로딩부(30), 기판 이송부(40), 기판 언로딩부(20), 설비 점검부(50), 그리고 설비 제어부(60)를 포함한다.
기판 처리부(10)는 기판(S) 상에 패턴을 형성하기 위한 액을 공급할 수 있다. 기판(S) 상에 액을 토출하기 위한 기판 처리부(10)의 구체적인 기능 및 구조는 아래의 도 2를 참고하여 설명하도록 한다.
잉크젯 프린팅 설비(1)의 동작을 설명하면, 처리액이 도포될 기판(S)이 기판 로딩부(30)로 반입된다. 기판 이송부(40)는 기판 로딩부(30)에 반입된 기판을 기판 처리부(10)로 이송한다. 기판 처리부(10)는 처리액 공급 장치로부터 처리액을 공급받고, 잉크젯 방식으로 기판 상에 처리액을 토출한다. 처리액 토출이 완료되면, 기판 이송부(40)는 기판 처리부(10)로부터 기판 언로딩부(20)로 기판을 이송한다. 처리액이 도포된 기판은 언로딩부(20)를 통해서 반출된다. 설비 제어부(60)는 기판 처리부(10), 기판 이송부(40), 기판 로딩부(30), 기판 언로딩부(20), 그리고 설비 점검부(50)의 전반적인 동작을 제어한다. 설비 점검부(50)는 기판 처리부(10)의 각 모듈을 점검할 수 있다. 예를 들어, 설비 점검부(50)는 이후 설명되는 기판 처리부(10)의 헤드 유닛(400)의 본 발명의 실시예에 따르면, 설비 점검부(50)는 기판(S) 상에 위치한 액적(D)의 체적 및/또는 형상을 검사하기 위한 장치를 포함할 수 있다.
도 2는 잉크젯 프린팅 설비(1)에서 기판 처리부(10)의 예를 도시한다. 도 2는 도 1의 잉크젯 프린팅 설비(1)에서 기판(S) 상에 처리액을 토출하기 위한 장치의 개략적인 구조를 나타낸다.
도 2를 참조하면, 기판 처리부(10)는 베이스(B), 지지 유닛(110), 갠트리(200), 갠트리 이동 유닛(300), 헤드 유닛(400), 헤드 이동 유닛(500), 처리액 공급 유닛(600), 제어 유닛(700)을 포함할 수 있다.
지지 유닛(110)은 베이스(B)의 상면에 배치된다. 베이스(B)는 예를 들어, 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 지지 유닛(110) 상에는 기판(S)이 안착된다. 지지 유닛(110)의 하면에는 회전 구동 부재(120)가 연결된다. 회전 구동 부재(120)는 회전 모터일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 회전 구동 부재(120)는 회전 중심축을 중심으로 지지 유닛(110)을 회전시킨다.
지지 유닛(110)이 회전 구동 부재(120)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지 유닛(110)의 회전에 의해 회전될 수 있다. 처리액이 도포될 기판(S)에 형성된 셀의 장변 방향이 제2 방향(II)을 향하는 경우, 회전 구동 부재(120)는 셀의 장변 방향이 제1 방향(I)을 향하도록 기판을 회전시킬 수 있다.
지지 유닛(110)과 회전 구동 부재(120)는 직선 구동 부재(130)에 의해 제1 방향(I)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(130)는 예를 들어, 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 회전 구동 부재(120)는 슬라이더(132)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(B)의 상면 중심부에 제1 방향(I)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있으며, 슬라이더(132)는 리니어 모터(미도시)에 의해 가이드 부재(134)를 따라 제1 방향(I)으로 직선 이동된다.
갠트리(200)는 지지 유닛(110)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다. 갠트리(200)는 베이스(B)의 상면으로부터 위쪽 방향으로 이격되어 배치된다. 갠트리(200)는 길이 방향이 제2 방향(II)을 향하도록 배치된다. 헤드 유닛(400)은 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)에 결합될 수 있다. 헤드 유닛(400)은 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리의 길이 방향, 즉 제2 방향(II)으로 직선 이동하고, 또한 제 3 방향(III)으로도 직선 이동할 수 있다.
여기서, 제3 방향(III)은 제1 방향(I) 및 제2 방향(II)과 다른 방향으로, 예를 들어, 제1 방향(I) 및 제2 방향(II)에 대하여 수직한 방향일 수 있다.
갠트리 이동 유닛(300)은 갠트리(200)를 제1 방향(I)으로 직선 이동시키거나, 갠트리(200)의 길이 방향이 제1 방향(I)에 경사진 방향을 향하도록 갠트리(200)를 회전시킬 수 있다. 갠트리(200)의 회전에 의해, 헤드 유닛(400) 제1 방향(I)에 경사진 방향으로 정렬될 수 있다.
헤드 유닛(400)은 처리액 공급 유닛(600)에서 공급되는 처리액을 액적 형태로 기판(S)에 토출한다. 헤드 유닛(400)은 다수 개일 수 있다. 도 2에서는 예시적으로, 3개의 헤드 유닛(400a, 400b, 400c)을 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 헤드 유닛(400)은 제2 방향(II)으로 일렬로 나란하게 배열될 수 있으며, 갠트리(200)에 결합된다.
헤드 유닛(400a, 400b, 400c) 각각의 저면에는, 처리액의 액적을 토출하는 다수의 토출부가 형성되어 있다. 예를 들어, 헤드 유닛(400a, 400b, 400c) 각각에는 128 개 또는 256 개의 토출부가 형성될 수 있다. 토출부는 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다. 토출부는 예를 들어, 피코 리터(pl) 단위의 양으로 처리액을 토출할 수 있다.
또한, 헤드 유닛(400a, 400b, 400c) 각각에는 다수의 압전 소자가 형성된다. 예를 들어, 토출부에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 형성될 수 있다. 토출부의 액적 토출량은, 압전 소자에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
또한, 헤드 이동 유닛(500)은 헤드 유닛(400)에 제공될 수 있다. 예를 들어, 도시된 것과 같이, 3 개의 헤드 유닛(400a, 400b, 400c)이 설치되어 있는 경우, 헤드 유닛(400a, 400b, 400c) 각각에 대응되도록, 3개의 헤드 이동 유닛(500)이 설치될 수 있다. 또는, 헤드 이동 유닛(500)은 1 개 제공될 수 있으며, 이 경우 다수의 헤드 유닛(400a, 400b, 400c)은 개별 이동이 아니라 일체로 이동될 수 있다. 헤드 이동 유닛(500)은 대응하는 헤드 유닛(400)을 갠트리의 길이 방향, 즉 제2 방향(II)으로 직선 이동시키거나, 제 3 방향(III)으로 직선 이동시킬 수 있다.
제어 유닛(700)은 헤드 이동 유닛(500)에 설치되어 헤드 유닛(400)의 처리액 공급 여부, 압력, 및 토출량 등을 제어할 수 있다.
한편, 헤드 유닛(400)이 정상적으로 동작하는지 여부를 판단하기 위하여, 헤드 유닛(400)에 의해 기판(S) 상에 토출된 액적(D)을 검사하기 위한 장치가 제공될 수 있다. 액적(D)을 검사하기 위한 장치는 기판 처리부(10)의 구성으로서 제공될 수 있다. 또한, 액적(D)을 검사하기 위한 장치는 설비 점검부(50)의 구성으로서 제공될 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 기판(S) 상의 액적(D)을 신속하고 정확하게 검사하기 위한 장치 및 방법이 설명된다. 본 발명은 초음파(Ultra-sonic wave)의 반송파 특성을 이용하여 액적(D)의 위치별 높이를 측정하고, 측정된 높이를 이용하여 액적(D)의 체적을 측정할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 액적(D)의 위치별 높이 정보를 사용하여 3차원의 심도 이미지(Depth Image)를 생성하고, 3차원 이미지를 사용하여 액적(D)의 체적을 측정할 수 있다. 그리하여, 기존의 측정 방법(예: 액적을 촬영하여 검사하는 방법, 또는 레이저 스캔 방식)에 비하여, 하드웨어 구성이 단순하면서도 빠르고 정확하게 액적(D)을 검사할 수 있다. 이하 본 발명의 실시예에 대하여 보다 구체적으로 설명하도록 한다.
본 문서에서, 초음파는 인간이 들을 수 있는 진동수(20 ~ 20,000 Hz) 보다 높은 진동수를 갖는 음파를 의미하며, 예를 들어 초음파는 1~30 MHz의 진동수를 가질 수 있다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액적(D)의 검사 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3을 참고하면, 기판(S) 상에 위치한 액적들(D1 내지 D3)에 대한 검사를 위하여, 기판(S)의 하부에 위치한 초음파 센서(1000)로부터 초음파가 인가된다. 여기서, 기판(S)은 실제로 액이 도포되는 글라스일 수 있으나, 헤드 유닛(400)의 검사를 위한 임의의 검사판일 수 있다.
예를 들어, 검사용 검사판은 유리 재질의 기판 또는 필름일 수 있다. 검사판의 재사용을 위하여, 액적 검사 이전에 기판(S)의 상부 및/또는 하부에 필름을 부착함으로써 검사판에 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이 경우, 액적(D)을 검사하기 위한 장치에 필름 부착 모듈이 추가적으로 구성될 수 있다.
초음파 센서(1000)로부터 액적(D)으로 인가된 초음파는 기판의 표면과 액적의 표면에서 반사되고, 반사된 초음파가 초음파 센서(1000)에서 검출된다. 초음파 센서(1000)는 검출된 초음파에 대응하는 초음파 신호를 생성하고 초음파 신호를 이용하여 기판(S) 상의 각 위치별 액적(D)의 높이(Droplet Height)를 측정할 수 있다.
도 4를 참고하면, 도 3의 각 액적들(D1 내지 D3)의 위치 별 높이가 그래프의 형태로 표현될 수 있다. 도 4에서, 가로축은 기판(S)의 위치를 나타내고, 세로축은 액적(D)의 높이를 나타낸다. 도 4에서 점선으로 표시된 높이가 초음파센서(1000)에 의해 측정된 액적(D)의 높이를 나타내며, 도 4의 그래프는 각 높이 값의 보간(interpolation)을 통해 생성될 수 있다. 보간을 위한 수학적 모델은 이전에 수행된 액적(D)에 대한 측정 결과로부터 다양한 방법(예: 기계 학습)에 의해 도출될 수 있다.
기판(S) 상의 각 위치별 액적(D)의 높이로부터 액적(D)의 체적이 계산될 수 있다. 예를 들어, 액적(D)의 체적은 측정된 위치에 대응하는 면적에 측정된 액적(D)의 높이를 곱한 값들을 더함으로써 계산될 수 있다. 또한, 도 4와 같은 그래프에 대한 적분 연산을 통해 액적(D)의 면적이 계산될 수 있다.
또한, 기판(S) 상의 위치별 액적(D)의 높이에 기반하여 액적(D)의 형상이 3차원 그래픽의 형태로 모델링 될 수 있으며, 액적(D)의 형상에 대한 검사 또한 수행될 수 있다. 이 경우, 액적(D)의 형상이 기준 형상 범위 이내인지 여부가 검사될 수 있다. 예를 들어, 액적(D)에서 특정 부분이 기준 형상 범위를 벗어난 경우, 즉, 액적(D)의 형상이 원하는 형상이 아닌 경우가 검출될 수 있다.
액적(D)의 체적이 기준 체적 범위를 벗어난 경우, 프로세서는 불량 액적이 토출된 헤드 유닛의 토출량을 조절할 수 있다. 예를 들어, 액적(D)의 체적이 기준 체적 보다 작으면 프로세서는 헤드 유닛으로 하여금 더 많은 양의 처리액을 토출하도록 제어하고, 액적(D)의 체적이 기준 체적 보다 크면 프로세서는 헤드 유닛으로 하여금 더 적은 양의 처리액을 토출하도록 제어할 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 액적을 검사하기 위한 장치의 개략도이다. 도 5a는 기판(S)의 하부에 초음파 센서(1000)가 위치한 경우를 나타내고, 도 5b는 기판(S)의 상부에 초음파 센서(1000)가 위치한 경우를 나타낸다.
본 발명의 실시예에 따른 기판(S) 상의 액적(D)을 검사하기 위한 장치는, 기판(S) 상의 액적(D)으로 초음파(송신파)를 인가하고 기판(S)으로부터 반사된 초음파(반송파)를 검출하는 초음파 센서(1000)와, 기판(S) 상의 액적(D)으로부터 반사된 초음파에 기반하여 기판(S) 상의 위치별 액적의 높이를 획득하고, 위치별 액적의 높이에 기반하여 액적(D)의 체적을 계산하고, 액적(D)의 체적에 대한 데이터를 저장하거나 출력하는 프로세서(2100)를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 초음파 센서(1000)는 도 5a와 같이 기판(S)의 하부에 위치할 수도 있고 도 5b와 같이 기판(S)의 상부에 위치할 수도 있다. 도 5a와 같이 기판(S)의 하부에 초음파 센서(1000)를 위치시키는 경우, 초음파가 처리 공간 내 온도와 공기의 흐름에 따라 감쇄하거나 왜곡되는 것을 방지할 수 있다. 도 5b와 같이 기판(S)의 상부에 초음파 센서(1000)를 위치시키는 경우, 초음파 센서 또는 초음파에 의해 기판(S)에 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 초음파 센서(1000)는 기판(S)의 상부와 하부에 모두 배치될 수 있으며, 또한 초음파 센서(1000)는 기판에 대하여 비스듬한 방향으로 배치될 수도 있을 것이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 초음파 센서(1000)의 예를 도시한다. 도 6을 참조하면, 초음파 센서(1000)는 행 방향으로 M개, 열 방향으로 N개의 초음파 센서 소자들(1100)의 어레이로 구성될 수 있다. 즉, 초음파 센서(1000)는 하나 또는 그 이상의 초음파 센서 소자들(1100)을 포함할 수 있으며, 또한 각 초음파 센서 소자들(1100)을 제어하거나 초음파 센서 소자들(1100)로부터 생성된 신호를 처리하는 제어부를 포함할 수 있다. 초음파 센서(1000)의 기능 및 구성은 이하 상세히 설명하도록 한다.
도 7는 본 발명의 실시예에 따른 액적(D)의 검사를 위한 시스템의 예를 도시한다. 도 7을 참고하면, 액적(D)의 검사를 위한 시스템은 초음파 센서(1000), 검사 처리 장치(2000), 그리고 출력 장치(3000)를 포함할 수 있다. 도 7의 액적(D)의 검사를 위한 시스템은 기판 처리부(10) 또는 설비 점검부(50)에 구성될 수 있다.
도 7을 참조하면, 초음파 센서(1000)는 기판(S) 상의 액적(D)으로 초음파를 인가하고, 반사된 초음파를 검출한다. 반사된 초음파에 대응하는 초음파 신호는 검사 처리 장치(2000)로 제공되고, 검사 처리 장치(2000)는 반사된 초음파에 기반하여 기판(S) 상의 위치 별 액적의 높이를 획득하고, 위치 별 액적의 높이에 기반하여 액적(D)의 체적을 계산할 수 있다. 검사 처리 장치(2000)에 의해 계산된 액적(D)의 체적에 대한 데이터는 검사 처리 장치(2000)에 저장되거나 출력 장치(3000)로 전달되어 출력될 수 있다. 출력 장치(3000)는 액적(D)의 체적에 대한 데이터를 다양한 형태(예: 시각적 데이터)로 출력할 수 있다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 액적 검사 시스템에서 초음파 센서(1000)의 예시적인 블록도이다. 도 8은 도 7의 초음파 센서(1000)의 세부 구성의 예를 도시한다. 도 8을 참조하면, 초음파 센서(1000)는 초음파 송신기(1100), 초음파 수신기(1200), 그리고 초음파 제어기(1300)를 포함할 수 있다. 실시예에 따라, 초음파 송신기(1100)와 초음파 수신기(1200)는 하나의 모듈로서 구성될 수 있으며, 이 모듈은 초음파 송수신기로 지칭될 수 있다. 또한, 초음파 센서(1000)는 전력을 공급하는 배터리 또는 전력 수신부를 더 포함할 수 있다.
초음파 송신기(1100)는 초음파를 생성하여 출력하는 장치이다. 초음파 송신기(1100)는 초음파 제어기(1300)로부터 제공되는 전기적 신호를 변환하여 초음파의 형태로 출력할 수 있다. 초음파 송신기(1100)는 초음파를 생성하기 위한 압전 변환기(piezoelectric transducer), 용량성 변환기(capacitive transducer), 또는 다이어프램(diaphragm)에 의해 구현될 수 있다.
초음파 수신기(1200)는 초음파를 검출하는 장치이다. 초음파 수신기(1200)는 수신된 초음파를 전기적 신호로 변환하여 초음파 제어기(1300)로 제공할 수 있다.
초음파 제어기(1300)는 초음파 센서(1000)의 전반적인 동작을 제어할 수 있다. 예를 들어, 초음파 송신기(1100)로 전기적 신호를 제공하여 초음파를 출력하도록 하거나, 초음파 수신기(1200)로부터 제공된 전기적 신호를 수신하여 출력을 위한 신호로 변환할 수 있다. 예를 들어, 초음파 제어기(1300)는 초음파에 대응하는 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하여 출력할 수 있다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 액적 검사 시스템에서 검사 처리 장치(2000)의 예시적인 블록도이다. 도 9는 도 7의 검사 처리 장치(2000)의 세부 구성의 예를 도시한다. 도 9를 참고하면, 검사 처리 장치(2000)는 입출력 인터페이스(2200), 프로세서(2100), 통신부(2300), 그리고 메모리(2400)를 포함할 수 있다.
입출력 인터페이스(2200)는 초음파 센서(1000) 또는 출력 장치(3000)와 같이 다른 개체(entity)와 인터페이스 하기 위한 장치이다. 예를 들어, 검사 처리 장치(2000)는 입출력 인터페이스(2200)를 통해 초음파 센서(1000)로부터 반사된 초음파에 대한 정보를 수신하거나 출력 장치(3000)로 액적(D)의 검사 결과(예: 체적, 형상)에 대한 데이터를 전달할 수 있다.
통신부(2300)는 유선 또는 무선 채널을 통해 신호를 송신 또는 수신하는 장치이다. 검사 처리 장치(2000)는 통신부를 통해 액적(D)의 검사 결과에 대한 데이터를 다른 장치로 송신할 수 있다. 또한, 초음파 센서(1000)에 통신 모듈(예: 블루투스, 와이-파이 모듈)이 구비된 경우, 검사 처리 장치(2000)는 통신부(2300)를 통해 초음파 센서(1000)로부터 수신된 초음파 신호를 수신할 수 있다.
프로세서(2100)는 액적(D)을 검사하기 위한 연산 및 검사 처리 장치(2000)의 전반적인 동작을 제어할 수 있다. 예를 들어, 초음파 센서(1000)로부터 제공된 초음파 신호로부터 기판(S) 상의 각 위치별 액적(D)의 높이를 도출하고, 위치별 액적(D)의 높이에 기반하여 액적(D)의 체적을 계산할 수 있다. 또한, 프로세서(2100)는 액적(D)의 검사 데이터를 메모리(2400)에 저장하거나, 출력 장치(3000)를 통해 출력하도록 입출력 인터페이스(2200) 또는 통신부(2300)를 제어할 수 있다. 프로세서(2100)는 하나 또는 그 이상의 프로세싱 회로들로 구성될 수 있다.
메모리(2400)는 검사 처리 장치(2000)에서 처리되는 정보를 저장할 수 있다. 메모리(2400)는 휘발성 메모리(예: DRAM) 및/또는 비휘발성 메모리(예: 플래시 메모리)를 포함할 수 있다. 메모리(2400)는 액적(D)의 검사 데이터(예: 체적) 또는 액적(D)의 검사를 위해 사용되는 정보를 저장할 수 있다. 또한, 메모리(2400)는 액적(D)의 검사를 위하여 프로세서(2100)에 의해 실행되는 하나 또는 그 이상의 명령어들을 저장할 수 있다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 액적의 위치 별 높이를 계산하기 위한 방법의 예를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 반사된 초음파 신호는 기판(S)의 표면으로부터 반사된 제1 초음파(d1) 및 액적(D)의 표면으로부터 반사된 제2 초음파(d2)를 포함하고, 액적(D)의 높이는 제2 초음파(d2)에 기반하여 획득될 수 있다.
도 10에 도시된 것과 같이, 초음파 센서(1000)로부터 송신된 초음파 중 일부는 기판(S)의 표면에서 반사되고 기판(S)을 통과한 나머지 초음파 중 일부가 액적(D)의 표면에서 반사될 것이다. 기판(S)은 그 두께가 일정하므로, 기판(S)의 표면에서 반사된 초음파(d1)로부터 측정된 거리는 일정할 것이고 이는 사전에 알려질 수 있다. 그러나, 액적(D)의 표면으로부터 반사된 초음파(d2)로부터 측정된 거리는 위치에 따라 다를 것이다. 즉, 기판(S)의 두께를 미리 알고 있는 경우, 액적(D)의 표면으로부터 반사된 초음파(d2)에 의해 측정된 거리에서 기판(S)의 두께를 감산함으로써 액적(D)의 높이가 계산될 수 있다. 초음파 센서(1000)가 기판(S)의 하면으로부터 일정 거리 이격된 경우, 기판(S)의 하면에서 반사되는 초음파도 있을 것이다. 이 경우에도 기판(S)의 하면과 초음파 센서(1000) 사이의 거리는 일정하므로, 액적(D)의 표면으로부터 반사된 초음파(d2)에 의해 측정된 거리에서 기판(S)의 상면과 초음파 센서(1000)사이의 거리를 감산함으로써 액적(D)의 높이가 계산될 수 있다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 실시예에 따른 액적의 위치 별 높이로부터 3차원 그래픽을 생성하는 과정의 예를 도시한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 프로세서(2100)는 기판(S) 상의 2차원 위치 별 액적(D)의 높이 값에 기반하여 액적(D)의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 생성하고, 액적(D)의 형상에 대응하는 3차원 그래픽의 체적을 계산하고, 계산된 체적과 기준 체적을 비교하여 액 토출량을 제어할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 프로세서(2100)는 기판(S) 상의 2차원 위치 별 액적(D)의 높이 값들을 나타내는 3차원 그래프를 생성하고, 3차원 그래프에서 인접한 높이 값들을 보간함으로써 액적(D)의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 모델링할 수 있다.
예를 들어, 도 11과 같이 액적(D)의 각 위치별 높이 값을 나타내는 심도 이미지가 생성되고, 도 11의 심도 이미지로부터 도 12의 3차원 그래픽이 생성될 수 있다. 위치별 액적(D)의 높이가 불연속적인 경우, 3차원 그래픽의 생성을 위하여 각 높이 값들에 대한 보간이 수행될 수 있다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 액적(D)의 체적의 계산하는 방법의 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 12와 같이 생성된 액적(D)의 3차원 이미지로부터 액적(D)의 체적이 계산될 수 있다. 예를 들어, 액적(D)이 도 13과 같은 도형으로 모델링되는 경우, 액적(D)의 체적은 아래의 수학식 1과 같이 계산될 수 있다.
수학식 1에서, V는 체적(Volume), h는 높이(height), r은 구의 반지름, c는 바닥면의 반지름을 각각 나타낸다.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 지지 유닛(110)에 배치된 초음파 센서(1000)를 사용하여 액적(D)을 검사하는 방법의 예를 도시한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 초음파 센서(1000)는 기판 처리부(10)에서 기판(S)의 하부를 지지하는 지지 유닛에 설치될 수 있다.
도 14를 참조하면, 기판(S)은 지지 유닛(110)에 안착된 상태로 이동하면서 갠트리(200)에 결합된 헤드 유닛(400)에 의해 액적(D)이 기판(S)의 상부에 형성된다. 이때, 지지 유닛(110)에 설치된 초음파 센서(1000)를 통해 기판(S) 상에 위치한 액적(D)에 대한 검사가 수행되고, 기준 범위를 벗어나는 체적 또는 형상을 갖는 액적이 발견되면 헤드 유닛(400)에 이상이 있음이 감지될 수 있다.
도 15 및 도 16a 내지 도 16c는 본 발명의 실시예에 따른 검사 구동부를 사용하여 액적을 검사하는 방법의 예를 도시한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 액적(D)이 토출된 기판(S)의 하부에 초음파 센서(1000)를 위치시키는 검사 구동부를 더 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 검사 구동부는 기판(S)을 액적(D)을 검사하기 위한 검사 영역(IZ)으로 이송하는 수평 구동부(4000)와, 검사 영역(IZ)에 위치한 기판(S)의 하부에 위치한 초음파 센서(1000)를 승강시켜 기판(S)의 하부에 밀착시키는 수직 구동부(5000)를 포함한다.
일 실시예에서, 수평 구동부(4000)는 기판(S)의 측면부를 파지하는 그리퍼(4200)와 그리퍼(4200)의 이동을 가이드하는 이송 가이드(4100)를 포함할 수 있다. 또한, 그리퍼(4200)의 이송을 위한 구동원(미도시)이 제공될 수 있다. 또한, 수직 구동부(5000)는 초음파 센서(1000)를 지지하는 초음파 센서 지지 유닛(5100)과 초음파 센서 지지 유닛(5100)의 승강을 위한 경로를 제공하는 승강 샤프트(5200)를 포함할 수 있다. 또한 초음파 센서 지지 유닛(5100)의 승강을 위한 구동원이 제공될 수 있다.
예를 들어, 도 15에 도시된 것과 같이, 액적(D)이 토출된 기판(S)은 그리퍼(4200)에 의해 파지되고, 그리퍼(4200)에 결합된 이송 가이드(4100)에 의해 액적 검사 영역(IZ)으로 이송될 수 있다. 액적 검사 영역(IZ)은 그 하부에 초음파 센서(1000)가 위치할 수 있다.
도 16a 내지 도 16c를 참조하면, 액적(D)이 토출된 기판(S)은 그리퍼(4200)에 의해 파지되고(도 16a), 그리퍼(4200)가 이송 가이드(4100)를 따라 이동하여 기판(S)이 검사 영역(IZ)에 위치하고(도 16b), 하부의 초음파 센서 지지 유닛(5100)에 위치한 초음파 센서(1000)가 승강 샤프트(5200)를 따라 승강함으로써 초음파 센서(1000)가 기판(S)의 하부에 밀착한다(도 16c). 그리하여, 액적(D)이 토출된 기판(S)의 하부에 초음파가 인가됨으로써 액적(D)에 대한 검사가 수행될 수 있다.
도 15 및 도 16a 내지 도 16c와 같은 액적 검사 장치는 설비 점검부(50)에 구성될 수 있다. 또한, 도 15 및 도 16a 내지 도 16c와 같은 액적 검사 장치는 기판 처리부(10)에 제공될 수 있는데, 이 경우 액적 검사 장치는 도 2의 기판 처리부(10)에서 제1 방향(I)의 끝단에 제공될 수 있다.
도 17은 본 발명의 실시예에 따른 헤드 유닛(400)에 설치된 초음파 센서(1000)를 사용하여 액적(D)을 검사하는 방법의 예를 도시한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 초음파 센서(1000)는 액적(D)이 토출되는 헤드 유닛(400)에 설치될 수 있다. 예를 들어, 도 17에 도시된 것과 같이 초음파 센서(1000)는 헤드 유닛(400)의 전방의 부착물(5500)에 설치될 수 있다. 또는, 초음파 센서(100)는 헤드 유닛(400)의 측면에 설치될 수 있다. 초음파 센서(1000)는 헤드 유닛(400)으로부터 토출된 액적(D)에 대하여 초음파를 인가하고 반사된 초음파를 검출하여 초음파 신호를 생성하고, 초음파 신호로부터 액적(D)의 체적 및/또는 형상이 검사될 수 있다.
도 18은 본 발명의 실시예에 따른 상부 구조물에 설치된 초음파 센서를 사용하여 액적을 검사하는 방법의 예를 도시한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 초음파 센서(1000)는 기판(S)의 상부에 위치한 구조물에 설치될 수 있다. 예를 들어, 도 18과 같이 기판(S)의 상부에 초음파 센서(1000)가 설치되는 구조물(6000)이 제공될 수 있으며, 상부의 구조물(6000)에 설치된 초음파 센서(1000)로부터 액적(D)으로 초음파가 인가될 수 있다. 상부의 구조물(6000)은 도 2의 갠트리(200)와 동일할 수도 있고, 별도의 갠트리일 수 있다. 도 18의 상부의 구조물(6000)은 도 2의 갠트리(200)와 결합되어 함께 이동하도록 구성될 수도 있다. 또한, 도 18의 상부의 구조물(6000)은 별도의 고정된 갠트리일 수도 있다. 상부의 구조물(6000)에는 초음파 센서(1000)가 이동 가능하도록 구동원과 이동 가이드가 구성될 수도 있다.
도 18과 같은 액적 검사 장치는 설비 점검부(50)에 구성될 수 있다. 도 18과 같은 액적 검사 장치는 기판 처리부(10)에 제공될 수 있는데, 이 경우 액적 검사 장치는 도 2의 기판 처리부(10)에서 제1 방향(I)의 끝단에 제공될 수 있다.
도 19는 본 발명의 실시예에 따른 액적을 검사하기 위한 방법에 대한 흐름도를 도시한다. 도 19의 동작들은 검사 처리 장치(2000)(프로세서(2100))에 의해 수행될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판(S) 상의 액적(D)을 검사하기 위한 방법은, 기판(S) 상의 액적(D)으로 초음파를 인가하는 단계(S1905), 기판(S)으로부터 반사된 초음파를 검출하는 단계(S1910), 반사된 초음파에 기반하여 기판(S) 상의 각 위치별 액적의 높이를 획득하는 단계(S1915), 위치별 액적(D)의 높이에 기반하여 액적(D)의 체적을 계산하는 단계(S1920), 그리고 액적(D)의 체적에 대한 데이터를 저장하거나 출력하는 단계(S1925)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 액적(D)의 체적을 계산하는 단계는 기판(S) 상의 2차원 위치 별 액적(D)의 높이 값에 기반하여 액적(D)의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 생성하는 단계와, 액적(D)의 형상에 대응하는 3차원 그래픽의 체적을 계산하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 액적(D)의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 생성하는 단계는, 기판(S) 상의 2차원 위치 별 액적(D)의 높이 값들을 나타내는 3차원 그래프를 생성하는 단계와, 3차원 그래프에서 인접한 높이 값들을 보간함으로써 액적(D)의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 모델링하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 액적 검사 방법은 3차원 그래픽으로부터 액적(D)의 형상이 기준 형상의 범위에 속하는지 여부를 검사하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 기판(S) 상의 액적으로 초음파를 인가하는 단계는, 액적(D)이 토출된 기판(S)의 하부에 초음파 센서(1000)를 위치시키는 단계와, 초음파 센서(1000)로부터 액적(D)으로 초음파를 인가하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 기판(S)의 하부에 초음파 센서를 위치시키는 단계는, 기판(S)을 액적(D)을 검사하기 위한 검사 영역으로 이송하는 단계와, 검사 영역에 위치한 기판(S)의 하부에 위치한 초음파 센서(1000)를 승강시켜 상기 기판의 하부에 밀착시키는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명이 적용되는 처리 방법은 컴퓨터로 실행되는 프로그램의 형태로 생산될 수 있으며, 컴퓨터가 판독할 수 있는 기록 매체에 저장될 수 있다. 본 발명에 따른 데이터 구조를 가지는 멀티미디어 데이터도 또한 컴퓨터가 판독할 수 있는 기록 매체에 저장될 수 있다. 상기 컴퓨터가 판독할 수 있는 기록 매체는 컴퓨터로 읽을 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 저장 장치 및 분산 저장 장치를 포함한다. 상기 컴퓨터가 판독할 수 있는 기록 매체는, 예를 들어, 블루레이 디스크(BD), 범용 직렬 버스(USB), ROM, PROM, EPROM, EEPROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피 디스크 및 광학적 데이터 저장 장치를 포함할 수 있다. 또한, 상기 컴퓨터가 판독할 수 있는 기록 매체는 반송파(예를 들어, 인터넷을 통한 전송)의 형태로 구현된 미디어를 포함한다. 또한, 인코딩 방법으로 생성된 비트스트림이 컴퓨터가 판독할 수 있는 기록 매체에 저장되거나 유무선 통신 네트워크를 통해 전송될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 프로그램 코드에 의한 컴퓨터 프로그램 제품으로 구현될 수 있고, 상기 프로그램 코드는 본 발명의 실시예에 의해 컴퓨터에서 수행될 수 있다. 상기 프로그램 코드는 컴퓨터에 의해 판독가능한 캐리어 상에 저장될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 비-일시적 컴퓨터-판독 가능한 매체(non-transitory computer-readable medium)는 하나 또는 그 이상의 프로세서들에 의해 실행되는 하나 또는 그 이상의 명령어들을 저장한다. 상술한 본 발명의 실시예에 따른 액적(D)의 검사하기 위한 방법을 수행하기 위한 명령어들이 비-일시적 컴퓨터-판독 가능한 매체에 저장될 수 있다.
본 실시예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형예와 구체적인 실시예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것이 자명하다고 할 것이다.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

Claims (20)

  1. 기판 상의 액적을 검사하기 위한 장치에 있어서,
    상기 기판 상의 액적으로 초음파를 인가하는 초음파 송신기;
    상기 기판 상의 액적으로부터 반사된 초음파를 검출하는 초음파 수신기; 및
    상기 기판 상의 액적으로부터 반사된 초음파의 신호에 기반하여 상기 기판 상의 위치별 액적의 높이를 획득하고, 상기 위치별 액적의 높이에 기반하여 상기 액적의 체적을 계산하고, 상기 액적의 체적에 대한 데이터를 저장하거나 출력하는 프로세서를 포함하고,
    상기 초음파 송신기 및 상기 초음파 수신기는 상기 기판의 하부에 위치하고,
    상기 액적이 토출된 상기 기판의 하부에 상기 초음파 송신기 및 초음파 수신기를 위치시키는 검사 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프로세서는,
    상기 기판 상의 2차원 위치 별 액적의 높이 값에 기반하여 상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 생성하고,
    상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽의 체적을 계산하고,
    상기 체적과 기준 체적을 비교하여 액 토출량을 제어하는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 프로세서는,
    상기 기판 상의 2차원 위치 별 액적의 높이 값들을 나타내는 3차원 그래프를 생성하고,
    상기 3차원 그래프에서 인접한 높이 값들을 보간함으로써 상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 모델링하는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 프로세서는 상기 3차원 그래픽으로부터 상기 액적의 형상이 기준 형상의 범위에 속하는지 여부를 검사하는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 초음파 송신기 및 초음파 수신기는 상기 기판을 지지하는 지지 유닛에 설치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 검사 구동부는,
    상기 기판을 상기 액적을 검사하기 위한 검사 영역으로 이송하는 수평 구동부; 및
    상기 검사 영역에 위치한 상기 기판의 하부에 위치한 상기 초음파 송신기 및 초음파 수신기를 승강시켜 상기 기판의 하부에 밀착시키는 수직 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    초음파 송신기 및 초음파 수신기는 상기 기판의 상부에 위치하는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 초음파 송신기 및 초음파 수신기는 상기 액적을 토출하는 헤드 유닛 또는 기판의 상부에 위치한 구조물에 설치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 기판 상의 액적을 검사하기 위한 방법에 있어서,
    상기 기판 상의 액적으로 초음파를 인가하는 단계;
    상기 기판 상의 액적으로부터 반사된 초음파를 검출하는 단계;
    상기 반사된 초음파의 신호에 기반하여 기판 상의 각 위치별 액적의 높이를 획득하는 단계;
    상기 위치별 액적의 높이에 기반하여 상기 액적의 체적을 계산하는 단계; 및
    상기 액적의 체적에 대한 데이터를 저장하거나 출력하는 단계를 포함하고,
    상기 기판 상의 액적으로 초음파를 인가하는 단계는,
    상기 액적이 토출된 상기 기판의 하부에 초음파 송신기 및 초음파 수신기를 위치시키는 단계; 및
    상기 초음파 송신기 및 초음파 수신기로부터 상기 액적으로 초음파를 인가하는 단계를 포함하고,
    상기 기판의 하부에 초음파 송신기 및 초음파 수신기를 위치시키는 단계는,
    상기 기판을 상기 액적을 검사하기 위한 검사 영역으로 이송하는 단계; 및
    상기 검사 영역에 위치한 상기 기판의 하부에 위치한 상기 초음파 송신기 및 상기 초음파 수신기를 승강시켜 상기 기판의 하부에 밀착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 액적의 체적을 계산하는 단계는,
    상기 기판 상의 2차원 위치 별 액적의 높이 값에 기반하여 상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 생성하는 단계;
    상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽의 체적을 계산하는 단계; 및
    상기 체적과 기준 체적을 비교하여 액 토출량을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 생성하는 단계는,
    상기 기판 상의 2차원 위치 별 액적의 높이 값들을 나타내는 3차원 그래프를 생성하는 단계; 및
    상기 3차원 그래프에서 인접한 높이 값들을 보간함으로써 상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 모델링하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 3차원 그래픽으로부터 상기 액적의 형상이 기준 형상의 범위에 속하는지 여부를 검사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 잉크젯 프린팅 설비에 있어서,
    기판이 반입되는 기판 로딩부;
    상기 기판을 이송하는 기판 이송부;
    상기 기판이 안착되는 지지 유닛, 상기 지지 유닛에 안착된 기판 상으로 액적을 토출하는 헤드 유닛, 상기 헤드 유닛이 이동 가능하게 결합되는 갠트리를 포함하는 기판 처리부;
    상기 기판 처리부에 포함된 모듈을 점검하기 위한 설비 점검부; 및
    상기 기판 처리부 또는 설비 점검부에 포함되어 상기 헤드 유닛에 의해 토출된 액적을 검사하기 위한 검사 장치;
    상기 기판이 반출되는 기판 언로딩부;
    를 포함하고,
    상기 검사 장치는,
    상기 기판의 상부 또는 하부에서 상기 액적으로 초음파를 인가하고 상기 기판 상의 액적으로부터 반사된 초음파를 검출하는 초음파 센서; 및
    상기 기판 상의 액적으로부터 반사된 초음파의 신호에 기반하여 상기 기판 상의 위치별 액적의 높이를 획득하고, 상기 위치별 액적의 높이에 기반하여 상기 액적의 체적을 계산하고, 상기 액적의 체적에 대한 데이터를 출력하거나 저장하는 프로세서를 포함하고,
    상기 초음파 센서는 상기 기판의 하부에 위치하고,
    상기 액적이 토출된 상기 기판의 하부에 상기 초음파 센서를 위치시키는 검사 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 설비.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 프로세서는,
    상기 기판 상의 2차원 위치 별 액적의 높이 값에 기반하여 상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 생성하고,
    상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽의 체적을 계산하고,
    상기 체적과 기준 체적을 비교하여 액 토출량을 제어하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 설비.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 프로세서는,
    상기 기판 상의 2차원 위치 별 액적의 높이 값들을 나타내는 3차원 그래프를 생성하고,
    상기 3차원 그래프에서 인접한 높이 값들을 보간함으로써 상기 액적의 형상에 대응하는 3차원 그래픽을 모델링하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 설비.
  20. 제18항에 있어서,
    상기 프로세서는 상기 3차원 그래픽으로부터 상기 액적의 형상이 기준 형상의 범위에 속하는지 여부를 검사하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 설비.
KR1020200114835A 2020-09-08 2020-09-08 액적을 검사하기 위한 장치 및 방법 KR102647252B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200114835A KR102647252B1 (ko) 2020-09-08 2020-09-08 액적을 검사하기 위한 장치 및 방법
US17/467,266 US11577506B2 (en) 2020-09-08 2021-09-05 Apparatus and method for inspecting droplet
CN202111036368.XA CN114152546A (zh) 2020-09-08 2021-09-06 用于检查液滴的装置、方法以及喷墨打印设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200114835A KR102647252B1 (ko) 2020-09-08 2020-09-08 액적을 검사하기 위한 장치 및 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220033603A KR20220033603A (ko) 2022-03-17
KR102647252B1 true KR102647252B1 (ko) 2024-03-13

Family

ID=80462564

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200114835A KR102647252B1 (ko) 2020-09-08 2020-09-08 액적을 검사하기 위한 장치 및 방법

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11577506B2 (ko)
KR (1) KR102647252B1 (ko)
CN (1) CN114152546A (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011148131A (ja) * 2010-01-20 2011-08-04 Seiko Epson Corp 流体吐出装置における流体吐出不良検査方法、および流体吐出不良検査装置
JP2014140810A (ja) * 2013-01-23 2014-08-07 Ulvac Japan Ltd インクジェット装置および液滴測定方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0850088A (ja) * 1994-08-09 1996-02-20 Toyota Motor Corp 接触角測定方法
JPH10267737A (ja) * 1997-03-28 1998-10-09 Ricoh Co Ltd 液体の重量計測方法および重量計測装置
JP3446751B2 (ja) * 2001-06-15 2003-09-16 トヨタ自動車株式会社 接触角測定方法
CN100357712C (zh) * 2005-08-04 2007-12-26 上海大学 液滴的超声计量方法及装置
JP2007223170A (ja) * 2006-02-23 2007-09-06 Toshiba Hokuto Electronics Corp 液滴飛翔評価システムおよび液滴飛翔評価方法
JP2008298727A (ja) * 2007-06-04 2008-12-11 Sharp Corp 液滴量測定装置及び液滴量調整装置並びに液滴量測定方法及び液滴量調整方法と、被描画基板の製造方法
JP4937954B2 (ja) * 2008-03-28 2012-05-23 富士フイルム株式会社 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及び液滴吐出プログラム
KR101525800B1 (ko) * 2008-07-25 2015-06-10 삼성디스플레이 주식회사 잉크젯 프린팅 시스템 및 이를 이용한 표시 장치의 제조방법
JP2012166411A (ja) * 2011-02-14 2012-09-06 Seiko Epson Corp 吐出不良検査方法、吐出不良検査装置およびこれを備えたインクジェット記録装置
JP5960156B2 (ja) * 2011-11-07 2016-08-02 株式会社アルバック インクジェット装置及び液滴測定方法
JP6290718B2 (ja) * 2014-06-04 2018-03-07 日立Ｇｅニュークリア・エナジー株式会社 超音波検査装置及び超音波検査方法
CN107379804B (zh) * 2017-07-31 2023-01-06 华南理工大学 一种大面积高均匀性薄膜喷墨打印方法及打印系统
JP6508756B1 (ja) * 2018-08-16 2019-05-08 スミックス株式会社 インクの液滴量のバラツキを検査するマクロ検査装置及び方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011148131A (ja) * 2010-01-20 2011-08-04 Seiko Epson Corp 流体吐出装置における流体吐出不良検査方法、および流体吐出不良検査装置
JP2014140810A (ja) * 2013-01-23 2014-08-07 Ulvac Japan Ltd インクジェット装置および液滴測定方法

Also Published As

Publication number Publication date
US11577506B2 (en) 2023-02-14
CN114152546A (zh) 2022-03-08
US20220072848A1 (en) 2022-03-10
KR20220033603A (ko) 2022-03-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107379530B (zh) Fdm式3d打印机平台倾斜时的斜路补偿装置及方法
JP5907429B2 (ja) 板状体の反り検査装置及びその反り検査方法
CN103660300B (zh) 一种自动调平的3d打印机及其打印方法
CN105509663B (zh) 一种背光源平整度检测系统及检测方法
KR101530953B1 (ko) 컨테이너 선의 셀 가이드 설치 정도 검사장치 및 검사방법
JP2007178367A (ja) ペーストの塗布量測定装置及びペースト塗布装置
JP4841459B2 (ja) ペーストパターン検査方法
KR102647252B1 (ko) 액적을 검사하기 위한 장치 및 방법
JP2006297385A (ja) ペースト塗布機およびその制御方法
KR20100019179A (ko) 페이스트 디스펜서 및 이를 이용한 페이스트 패턴의 형성방법
JPH11262712A (ja) ペースト塗布方法とペースト塗布機
JP2008111695A (ja) 外観検査方法
JP4688811B2 (ja) 複雑な表面輪郭を有する部材の超音波検査のための方法及び装置
KR101069891B1 (ko) 곡면 가공장치 제어기 및 그 제어 방법
JP2008122307A (ja) 基準位置校正治具、外形測定装置、外観検査装置、測定対象物保持装置、基準位置校正方法、外形測定方法、及び外観検査方法
KR20190115882A (ko) 연마 가공된 금속판의 자동 평탄도 교정 장치 및 그 방법
CN110605701B (zh) 示教数据生成系统及示教数据生成方法
WO2006093349A1 (ja) 検査装置および検査方法
JP2001330430A (ja) 平面度測定方法および平面度測定装置
KR101947178B1 (ko) 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치 및 방법
JP5050524B2 (ja) ワイヤーカセットの検査方法、検査装置、ローダー装置及びアンローダー装置
CN110274563B (zh) 非金属板测厚仪误差检测校准装置与方法
US20130342829A1 (en) Parallelism measuring system and method thereof
US9115427B2 (en) Thin film deposition apparatus and method of forming thin film using the same
JP2007079837A (ja) ヘッド作動制御装置及び制御方法及びステージ装置

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant