JP5050524B2 - ワイヤーカセットの検査方法、検査装置、ローダー装置及びアンローダー装置 - Google Patents
ワイヤーカセットの検査方法、検査装置、ローダー装置及びアンローダー装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5050524B2 JP5050524B2 JP2006353346A JP2006353346A JP5050524B2 JP 5050524 B2 JP5050524 B2 JP 5050524B2 JP 2006353346 A JP2006353346 A JP 2006353346A JP 2006353346 A JP2006353346 A JP 2006353346A JP 5050524 B2 JP5050524 B2 JP 5050524B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- cassette
- sensor
- height
- wire cassette
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
以下の手順でワイヤーの高さを測定する。
以下の手順でカセット外形を検査する。
Claims (6)
- 直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上にガラス基板を収納するワイヤーカセットを検査する方法であって、前記ワイヤーカセットとレーザを用いた第1のセンサ及び第2のセンサを相対的に垂直方向に移動させ、その移動中に、前記ワイヤー列の1つとレーザを用いた第1のセンサとが所定の位置にあるときに第1のセンサからのレーザを用いて前記ワイヤー列の1つの高さを自動的に測定し、かつ、順次、他のワイヤー列の高さを自動的に測定して、前記ワイヤー列の撓みを検査するとともに、前記ワイヤー列の高さの測定の際に、レーザを用いた前記第2のセンサにより、前記第2のセンサと前記ワイヤーカセットの縦フレームとの距離を測定することにより、前記縦フレームの倒れ量を自動的に測定して、ワイヤーカセットの外形を検査することを特徴とするワイヤーカセットの検査方法。
- 前記ワイヤー列の高さの測定は、前記第1のセンサからのレーザが前記ワイヤー列の1つを通過することを検出することにより行い、前記第2のセンサと前記ワイヤーカセットの縦フレームとの距離の測定は、前記第2のセンサからのレーザの前記縦フレームからの反射光を受光することにより行うことを特徴とする請求項1に記載のワイヤーカセットの検査方法。
- 直方体フレームの内部空間に水平に複数本張られたワイヤー列を垂直方向に多段に配置してなり、前記ワイヤー列上にガラス基板を収納するワイヤーカセットを検査する装置であって、レーザを用いた第1のセンサ、レーザを用いた第2のセンサ、及び前記ワイヤーカセットとレーザを用いた第1及び第2のセンサを相対的に垂直方向に移動させる手段とを具備し、
前記第1のセンサは、前記ワイヤーカセットと第1のセンサとの相対的な垂直方向への移動中に、前記ワイヤー列の1つの高さを自動的に測定し、かつ、順次、他のワイヤー列の高さを自動的に測定して、前記ワイヤー列の撓みを検査し、
前記第2のセンサは、前記ワイヤー列の高さの測定の際に、前記第2のセンサと前記ワイヤーカセットの縦フレームとの距離を測定することにより、前記縦フレームの倒れ量を自動的に測定してワイヤーカセットの外形を検査する
ことを特徴とするワイヤーカセットの検査装置。 - 前記第1のセンサは、前記第1のセンサからのレーザが前記ワイヤー列の1つを通過することを検出することにより前記ワイヤー列の高さの測定を行い、前記第2のセンサは、前記第2のセンサからのレーザの前記縦フレームからの反射光を受光することにより前記ワイヤーカセットの縦フレームとの距離の測定を行うことを特徴とする請求項3に記載のワイヤーカセットの検査装置。
- 請求項3または4に記載のワイヤーカセットの検査装置を具備し、複数のガラス基板を収納する前記ワイヤーカセットからすべてのガラス基板を取り出し、処理装置に搬入するローダー装置であって、すべてのガラス基板を取り出した後の前記ワイヤーカセットを上昇させつつ、前記ワイヤーカセットのワイヤー列の高さ及び/又は縦フレームの倒れ量を測定することを特徴とするローダー装置。
- 請求項3または4に記載のワイヤーカセットの検査装置を具備し、処理装置からガラス基板を搬出して、前記ワイヤーカセットに複数のガラス基板を収納するアンローダー装置であって、空のワイヤーカセットを下降させつつ、前記ワイヤーカセットのワイヤー列の高さ及び/又は縦フレームの倒れ量を測定し、次いで前記ワイヤーカセットを上昇させつつ前記ワイヤーカセットに複数のガラス基板を収納することを特徴とするアンローダー装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006353346A JP5050524B2 (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | ワイヤーカセットの検査方法、検査装置、ローダー装置及びアンローダー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006353346A JP5050524B2 (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | ワイヤーカセットの検査方法、検査装置、ローダー装置及びアンローダー装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008164390A JP2008164390A (ja) | 2008-07-17 |
JP5050524B2 true JP5050524B2 (ja) | 2012-10-17 |
Family
ID=39694099
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006353346A Expired - Fee Related JP5050524B2 (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | ワイヤーカセットの検査方法、検査装置、ローダー装置及びアンローダー装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5050524B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101304935B1 (ko) * | 2012-01-25 | 2013-09-06 | 주식회사 글라소울 | 유리기판 파지장치 |
JP7186355B2 (ja) * | 2019-01-15 | 2022-12-09 | 株式会社東京精密 | ウェーハ検出装置、ウェーハ検出方法、及びプローバ |
KR102213654B1 (ko) * | 2019-03-26 | 2021-02-08 | (주)가온솔루션 | 가공 대상물 지지대 및 이를 포함하는 스퍼터링 장치 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08105726A (ja) * | 1994-10-04 | 1996-04-23 | Hitachi Ltd | 板状物カセット検査方法および装置 |
JP2005145628A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Shiraitekku:Kk | ガラス基板用カセット |
-
2006
- 2006-12-27 JP JP2006353346A patent/JP5050524B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008164390A (ja) | 2008-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7596456B2 (en) | Method and apparatus for cassette integrity testing using a wafer sorter | |
TWI445651B (zh) | 感測器單元、器械、導軌系統、倉儲系統及管理倉儲之方法 | |
US5812409A (en) | Semiconductor device transport system with deformed tray compensation | |
KR100576199B1 (ko) | 웨이퍼 맵핑 기능을 구비하는 웨이퍼 처리 장치 및 웨이퍼검출 방법 | |
US8565911B2 (en) | Thermal processing apparatus, thermal processing method, and storage medium | |
US9111978B2 (en) | Substrate carrier measuring jig, collision preventing jig, and collision preventing method using the collision preventing jig | |
KR20150072354A (ko) | 로봇 시스템 및 검출 방법 | |
JP5050524B2 (ja) | ワイヤーカセットの検査方法、検査装置、ローダー装置及びアンローダー装置 | |
KR102264851B1 (ko) | 포크 로봇 및 포크의 삽입 거리 산출 방법 | |
KR100397884B1 (ko) | 기판 반송 로봇의 검사장치 | |
TW201140723A (en) | Method and apparatus for improved sorting of diced substrates | |
KR102612409B1 (ko) | 연료 조립체를 검사하기 위한 방법 및 장치 | |
CN110605701A (zh) | 示教数据生成系统及示教数据生成方法 | |
WO2007131139A1 (en) | Automated location system | |
CN211824522U (zh) | 晶柱综合检测设备 | |
JP2005285799A (ja) | カセット内基板位置検出装置、ならびにそれを用いた基板搬出装置および基板処理装置 | |
JPS6140934B2 (ja) | ||
US11577506B2 (en) | Apparatus and method for inspecting droplet | |
KR200409460Y1 (ko) | 기판 운반용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형 측정장치 | |
CN215952486U (zh) | 测量装置以及布置结构 | |
RU2367039C2 (ru) | Устройство и способ проверки внешнего вида топливных стержней ядерного реактора | |
KR100612619B1 (ko) | 액정디스플레이 글라스 적재용 카세트의구조변형검사장치 | |
CN219657517U (zh) | 一种薄片堆叠产品的视觉检测装置 | |
CN110442082B (zh) | 提高自动装箱系统精度的方法 | |
JP7076803B2 (ja) | 平坦度測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091124 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110906 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110907 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111129 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120120 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20120529 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120626 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120709 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150803 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |