KR101304935B1 - 유리기판 파지장치 - Google Patents

유리기판 파지장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101304935B1
KR101304935B1 KR1020120007384A KR20120007384A KR101304935B1 KR 101304935 B1 KR101304935 B1 KR 101304935B1 KR 1020120007384 A KR1020120007384 A KR 1020120007384A KR 20120007384 A KR20120007384 A KR 20120007384A KR 101304935 B1 KR101304935 B1 KR 101304935B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass substrate
support
body portion
coupled
seated
Prior art date
Application number
KR1020120007384A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130086490A (ko
Inventor
김세준
Original Assignee
주식회사 글라소울
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 글라소울 filed Critical 주식회사 글라소울
Priority to KR1020120007384A priority Critical patent/KR101304935B1/ko
Publication of KR20130086490A publication Critical patent/KR20130086490A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101304935B1 publication Critical patent/KR101304935B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

식각용액의 도포시 간섭은 최소화하면서 유리기판이 이탈되는 것을 방지한 유리기판 파지장치가 개시된다. 이를 위한, 유리기판 파지장치는 유리기판의 하측 둘레, 우측 둘레 및 좌측 둘레를 감싸도록 형성된 몸체부와, 몸체부의 내부면을 따라 유리기판과 대응되는 폭으로 인입되게 형성되어 유리기판이 상방에서 하방으로 수용되어 안착되게 하는 안착부와, 와이어 형상으로 이루어져서 특정 크기의 장력을 유지한 상태로 몸체부의 전면의 상측의 양단에 결합된 제1지지부와, 와이어 형상으로 이루어져서 특정 크기의 장력을 유지한 상태로 몸체부의 후면의 상측의 양단에 결합된 제2지지부를 포함한다.

Description

유리기판 파지장치{Glass gripping apparatus}
본 발명은 유리기판 파지장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 평판표시장치장치를 제조하는데 사용되는 유리기판을 처리하는 과정에서 유리기판이 특정 위치에 안정적으로 지지될 수 있도록 하는데 사용되는 유리기판 파지장치에 관한 것이다.
평판표시장치의 제조에 사용되는 유리기판에 식각(Etching) 및 화학기상증착(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등 각종 표면처리 공정을 반복적으로 수행하여 제조하는 것이 일반적이다.
한편, 유리기판의 경우에는 평판표시장치에서 차지하는 중량이 가장 크기 때문에 평판표시장치의 집적화를 위한 일환으로서 유리기판의 중량을 줄이는 연구가 활발하게 진행 중에 있다. 유리기판의 중량을 줄이는 방법의 예로서는 유리기판의 두께를 얇게 만드는 박판화가 제시될 수 있다.
또한, 상기와 같은 박판화뿐만 아니라 대화면을 원하는 사용자의 요구에 맞춰 유리기판의 대형화도 증가하는 추세이다. 이와 같이, 유리기판이 대형화, 박판화가 진행되는 과정에서 얇게 가공된 유리기판 취급하는 공정에서 다양한 문제가 발생된다.
여기서, 과거에는 에칭을 하고 있는 유리기판의 식각 원장유리의 크기는 크지가 않아 몸체부에서 이탈없이 식각이 가능하나, 소비자 및 업체에서 원하는 원장 유리의 크기가 커지고 식각 두께의 크기가 얇아 짐에 따라 유리기판의 식각이 진행될 때 몸체부에서 유리가 빠지는 현상이 나타나게 된다.
더욱 상세하게 설명하면, 상기와 같은 박판화뿐만 아니라 대화면을 원하는 사용자의 요구에 맞춰 유리기판의 대형화도 증가하는 추세이다. 이와 같이, 유리기판이 대형화, 박판화가 진행되는 과정에서 얇게 가공된 유리기판 취급하는 공정에서 다양한 문제가 발생된다.
한국등록특허 10-0779860 (공고일 2007.11.27)에는 상기와 같은 방법으로 유리기판의 슬림공정을 실시할 수 있게 하는 슬림 패널 식각장치가 기술되어 있다.
이러한 슬림 패널 식각장치에 의해 유리기판이 식각되는 과정을 설명한다. 사각틀(111)에 유리기판을 결합시켜서 분사노즐(131)로 유리기판에 식각액을 분사한다. 이 과정에서 식각공정 중에 대형화된 유리기판은 식각 도중에 유리기판이 자중에 의한 휨 현상을 견디지 못하고 사각틀(111)로부터 이탈되어 파손이 발생될 수 있다. 뿐만 아니라, 대형화된 유리기판이 아니라도 초박형 가공을 하면서 얇아진 유리가 사각틀(111)로부터 이탈하여 파손될 수 있다.
상기와 같은 문제점을 개선하기 위해서 유리기판의 측면에 막대모양의 지지대를 만들어 휘어진 유리기판을 지지하는 방법이 제시될 수 있으나, 유리기판이 지지대와 접촉된 지점에는 반드시 유리기판의 변형에 의한 불량이 발생되고, 지지대가 식각용액의 원활한 분사와 도포를 방해해서 식각 품질을 떨어뜨리게 되는 문제를 발생시킬 수 있다.
본 발명은 식각용액의 도포시 간섭은 최소화하면서 유리기판이 식각 도중에 사각틀에서 이탈되는 것을 방지한 유리기판 파지장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 유리기판 파지장치는, 유리기판의 하측 둘레, 우측 둘레 및 좌측 둘레를 감싸도록 형성된 몸체부와, 유리기판과 대응되는 폭으로 인입되게 형성되어 유리기판이 상방에서 하방으로 수용되어 안착되게 하는 안착부와, 와이어 형상으로 이루어져서 특정 크기의 장력을 유지한 상태로 몸체부의 전면의 상측의 양단에 결합된 제1지지부와, 와이어 형상으로 이루어져서 특정 크기의 장력을 유지한 상태로 몸체부의 후면의 상측의 양단에 결합된 제2지지부를 포함한다.
본 발명에 따른 유리기판 파지 장치에 의해 유리기판의 식각이 진행되는 과정에서 유리기판이 휘어지게 되더라도, 제1지지부와 제2지지부가 유리기판의 양면을 각각 지지하여 유리기판이 몸체부로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 유리기판이 식각되는 과정에서는 노즐로부터 식각액이 분사되게 되는데, 상기 제 1지지부와 2지지부는 유리기판에 식각액이 노즐로부터 분사되는 과정에서 유리기판에 에칭액이 고르게 분사되는데에 방해가 전혀 없기 때문에 식각 후 유리기판 표면의 품위에도 전혀 영향이 없다. 이에 따라, 유리기판의 식각 과정에서 유리기판이 파손되지 않게 하여 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 유리기판 파지장치를 개략적으로 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 유리기판 파지장치를 개략적으로 도시한 평면도.
본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서 동일한 구성에 대해서는 동일부호를 사용하며, 반복되는 설명, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
이하 첨부된 도면에 따라서 본 발명의 기술적 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 유리기판 파지장치(100)는 몸체부(110)와, 안착부(120)와, 제1지지부(130)와, 제2지지부(140)를 포함한다.
몸체부(110)는 유리기판(10)의 하측 둘레, 우측 둘레 및 좌측 둘레를 감싸도록 형성된다. 즉, 몸체부(110)의 상측은 개구되게 형성된다. 몸체부(110)의 개구된 부분을 통하여 유리기판(10)이 몸체부(110)로 출입될 수 있다.
안착부(120)는 몸체부(110)의 내부면을 따라 형성된다. 그리고, 안착부(120)은 유리기판(10)의 둘레면의 적어도 일부를 감싸도록 형성된다. 안착부(120)에 의해 유리기판(10)이 상방에서 하방으로 수용되어 몸체부(110)에 안착될 수 있게 한다. 안착부(120)의 형상의 일예로, 몸체부(110)의 내부면을 따라 특정 폭으로 인입되게 형성된 것일 수 있다. 안착부(120)의 형상의 다른 일예로 몸체부(110)의 내부면을 따라 일정 간격마다 유리기판(10)을 향하여 돌출되게 형성된 두 개의 부재일 수 있다.
제1지지부(130)는 와이어 형상으로 이루어져서 특정 크기의 장력(tension)을 유지한 상태로 몸체부(110)의 전면의 상측의 양단에 결합된다.
제2지지부(140)는 와이어 형상으로 이루어져서 특정 크기의 장력을 유지한 상태로 몸체부(110)의 후면의 상측의 양단에 결합된다. 즉, 제1지지부(130)와 제2지지부(140)는 쳐짐없이 팽팽한 상태로 몸체부(110)에 결합되며, 일단은 몸체부(110)의 상단의 어느 한 단부에 결합되고, 타단은 몸체부(110)의 상단의 나머지 단부에 결합된다. 제1지지부(130)와 제2지지부(140)를 몸체부(110)에 결합하는 방법은 와이어와 특정 몸체를 기구적으로 결합하는 일반적인 방법이 사용될 수 있으므로, 상세한 설명은 생략한다.
한편, 제1지지부(130)와 제2지지부(140)는 몸체부(110)에 탈착 가능하게 결합될 수 있다. 이러한 구조에 의해 제1지지부(130)와 제2지지부(140)의 교체가 필요한 경우에 기존의 제1지지부(130)와 제2지지부(140)를 몸체부(110)로부터 제거하고, 새로운 제1지지부(130)와 제2지지부(140)를 몸체부(110)에 결합시킬 수 있다. 여기서, 제1지지부(130)와 제2지지부(140)가 몸체부(110)에 탈착 가능하도록 결합되는 구조의 일예로, 일반적인 와이어를 특정 부재에 결합시키는데 사용되는 결합 구조이면 어떤 것을 사용하여도 무방할 수 있다.
한편, 제1지지부(130) 및 제2지지부(140)는 안착부(120)로부터 8㎜ 내지 12㎜ 이격되게 배치될 수 있다. 즉, 제1지지부(130) 및 제2지지부(140)는 안착부(120)에 안착된 유리기판(10)으로부터 8㎜ 내지 12㎜ 이격되게 배치될 수 있다. 유리기판(10)과 제1지지부(130)와의 간격이 8㎜ 이내인 경우, 식각용액 도포시 간섭될 가능성이 높아진다. 그리고, 유리기판(10)과 제1지지부(130)와의 간격이 12㎜ 를 초과하는 경우, 몸체부(110)로부터 휘어져서 이탈되는 유리기판(10)을 지지하는데 많은 무게를 지탱해야 하므로 내구성이 떨어질 수가 있다. 가장 바람직한 유리기판(10)과 제1지지부(130)와의 간격은 10㎜ 정도가 될 수 있다.
그리고, 제1지지부(130) 및 제2지지부(140)는 유리기판(10)이 안착부(120)에 안착된 상태에서 유리기판(10)의 상단부보다 낮은 위치에 위치하도록 몸체부(110)에 결합될 수 있다. 제1지지부(130) 및 제2지지부(140)는 유리기판(10)이 안착부(120)에 안착된 상태에서 유리기판(10)의 상단부와 동일하거나 상단부보다 높게 위치한 경우, 몸체부(110)로부터 휘어져서 이탈되는 유리기판(10)을 지지할 수 없으므로, 제1지지부(130) 및 제2지지부(140)는 유리기판(10)이 안착부(120)에 안착된 상태에서 유리기판(10)의 상단부보다 낮은 위치에 위치하도록 몸체부(110)에 결합된 것이 바람직하다.
상기와 같은 구조로 이루어진 유리기판 파지장치(100)에 의해 유리기판(10)의 식각이 진행되는 과정에서 유리기판(10)이 휘어지게 되더라도, 제1지지부(130)와 제2지지부(140)가 유리기판(10)의 양면을 각각 지지하여 유리기판(10)이 몸체부(110)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있을 뿐 아니라 탄성력이 있는 제 1,2지지부에 의해서 유리기판이 파지장치 본래 위치에서 식각이 진행되게 도와주는 역할도 수행한다. 이에 따라, 유리기판(10)의 식각 과정에서 유리기판(10)이 파손되지 않게 하여 생산성을 향상시킬 수 있다.
한편, 전술한 구조로 이루어진 본 발명에 따른 유리기판 파지장치(100)가 적용될 수 있는 유리기판 식각장치의 구조는 유리기판을 지면에 대해 수직인 상태로 위치하여 식각을 하도록 이루어진 것이면 어느 것이든 무방할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 유리기판 파지장치
110: 몸체부
120: 안착부
130: 제1지지부
140: 제2지지부

Claims (4)

  1. 사각형으로 이루어진 유리기판을 고정하는 유리기판 파지장치에 있어서,
    유리기판의 하측 둘레, 우측 둘레 및 좌측 둘레를 감싸도록 형성된 몸체부;
    몸체부의 내부면을 따라 형성된 것으로, 유리기판의 둘레면의 적어도 일부를 감싸도록 형성되어 유리기판이 상방에서 하방으로 수용되어 몸체부에 안착될 수 있게 하는 안착부;
    와이어 형상으로 이루어져서 장력을 유지한 상태로 몸체부의 전면의 상측의 양단에 결합되되, 유리기판이 상기 안착부에 안착된 상태에서 유리기판의 상단부보다 낮은 위치에 위치하도록 상기 몸체부에 결합된 제1지지부; 및
    와이어 형상으로 이루어져서 장력을 유지한 상태로 몸체부의 후면의 상측의 양단에 결합되되, 유리기판이 상기 안착부에 안착된 상태에서 유리기판의 상단부보다 낮은 위치에 위치하도록 상기 몸체부에 결합되어, 상기 제1 지지부와 함께 유리기판의 이탈을 방지하게 하는 제2지지부;
    를 포함하는 유리기판 파지장치.
  2. 제1항에 있어서,
    제1지지부 및 제2지지부는 안착부로부터 8㎜ 내지 12㎜ 이격되게 배치된 것을 특징으로 하는 유리기판 파지장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
KR1020120007384A 2012-01-25 2012-01-25 유리기판 파지장치 KR101304935B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120007384A KR101304935B1 (ko) 2012-01-25 2012-01-25 유리기판 파지장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120007384A KR101304935B1 (ko) 2012-01-25 2012-01-25 유리기판 파지장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130086490A KR20130086490A (ko) 2013-08-02
KR101304935B1 true KR101304935B1 (ko) 2013-09-06

Family

ID=49213724

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120007384A KR101304935B1 (ko) 2012-01-25 2012-01-25 유리기판 파지장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101304935B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102213654B1 (ko) * 2019-03-26 2021-02-08 (주)가온솔루션 가공 대상물 지지대 및 이를 포함하는 스퍼터링 장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005222972A (ja) * 2004-02-03 2005-08-18 Yodogawa Hu-Tech Kk 基板用カセット
KR100779860B1 (ko) * 2006-11-15 2007-11-27 주식회사 큐리어스 슬림 패널 식각장치
JP2008164390A (ja) * 2006-12-27 2008-07-17 Toppan Printing Co Ltd ワイヤーカセットの検査方法、検査装置、ローダー装置及びアンローダー装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005222972A (ja) * 2004-02-03 2005-08-18 Yodogawa Hu-Tech Kk 基板用カセット
KR100779860B1 (ko) * 2006-11-15 2007-11-27 주식회사 큐리어스 슬림 패널 식각장치
JP2008164390A (ja) * 2006-12-27 2008-07-17 Toppan Printing Co Ltd ワイヤーカセットの検査方法、検査装置、ローダー装置及びアンローダー装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130086490A (ko) 2013-08-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10168806B2 (en) Method for manufacturing input assembly, input assembly and terminal
US9746717B2 (en) Curved liquid crystal display module and liquid crystal display device using the same
TW201839474A (zh) 可分離的柔性顯示結構、柔性顯示屏及其製造方法、顯示裝置
US8861190B2 (en) Display device
US9417536B2 (en) Exposure apparatus and exposure system
KR101304935B1 (ko) 유리기판 파지장치
KR20130061485A (ko) 경량 박형의 액정표시장치 제조방법
TW591563B (en) Electro-optical apparatus, its production method, devices and electronic appliances
WO2016117095A1 (ja) 基板移載システム
KR102164261B1 (ko) 광학시트 고정수단을 구비하는 액정표시장치
JP2012194400A5 (ko)
WO2014127581A1 (zh) 下部电极及其制作方法
KR101696545B1 (ko) 유리 박형화용 지그
KR20130117268A (ko) 기판 척킹 장치
CN103633005A (zh) 大面积异形晶片匀胶均匀性控制装置
JP6749609B2 (ja) ガラス基板の製造方法
KR101235336B1 (ko) 기판 처리 장치
KR20160082386A (ko) 표시 장치
CN104576492A (zh) 工夹具
KR20200031787A (ko) 커브드 글라스 및 글라스 벤딩 방법
KR20120040340A (ko) 딥 코팅 장치
KR102194145B1 (ko) 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법
CN114804645B (zh) 一种大尺寸超薄玻璃基板的通孔蚀刻方法
JP2017150038A (ja) シャドーマスク及び表示装置の製造方法
JP2016222488A (ja) 薄型ガラス基板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160902

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180921

Year of fee payment: 6