KR200409460Y1 - 기판 운반용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형 측정장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 액정패널 제조에 사용되는 장비의 변형을 검사하는 검사장치에 관한 것으로, 이를 더욱 상세하게 설명을 하면 액정패널 제조에 사용되는 기판을 이송하여 상기 기판을 카세트에 수납시키기 위해 기판이 올려져 상기 기판을 이송시키는 로봇 암(Robot arm)에 구성된 핸드에 발생하는 변형상태를 검사하는 장치에 관한 것이다.

본 고안은 내부에 삽입되는 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 측정하기 위해 여러 지점에서 센싱하는 센서 및 고속 레이저 스캐너가 다수 설치되는 카세트 형상의 본체 프레임과; 상기 본체 프레임의 정 위치에서의 정렬상태확인, 수평상태확인을 위한 측정센서 및 내삽되는 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 측정하는 고속 레이저 스캐너로 이루어진 센서 측정부와; 상기 센서 측정부에서 측정된 데이터를 이용하여 이를 연산 및 제어하는 제어부와; 상기 각부의 연속적인 작동을 위해 전원을 공급하는 전원부로 구성된 기판운반용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 측정하는 장치를 제공한다.

카세트, 고속 레이저 스캐너, 수준기, 투광부, 수광부

Description

기판 운반용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형 측정장치{The modification measure apparatus for hands of robot arm carrying the panel}

도 1은 로봇 암에 구성된 핸드에 올려진 기판을 카세트에 수납하는 것을 나타내는 도면

도 2는 본 고안인 기판 이송용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태 검사장치에 부착되는 센서, 수평 수준기 및 고속 레이저 스캐너를 대략적으로 나타내는 도면

도 3은 본 고안인 기판 이송용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태 검사장치를 대략적으로 나타내는 레이아웃 도면

도 4는 본 고안인 기판 이송용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태 검사장치가 정 위치에서의 정렬상태를 나타내는 도면

도 5는 로봇 암에 구성된 핸드의 위치 및 변형상태를 검사하는 과정을 순차적으로 나타내는 도면

도 6은 본 고안인 기판 이송용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태 검사장치에 부착되는 고속 레이저 스캐너에서의 측정을 나타내는 도면

도 7(a)는 본 고안에 따른 고속 레이저 스캐너를 이용한 좌우 휨 상태의 측 정을 나타내는 도면

도 7(b)는 본 고안에 따른 고속 레이저 스캐너를 이용한 전후 휨 상태의 측정을 나타내는 도면

도 8을 본 고안의 또 다른 일실시예를 나타내는 도면

도 9는 본 고안의 또 다른 일실시예에서의 고속 레이저 스캐너의 측정을 나타내는 도면

* 도면의 주요부분에 사용된 주요부호의 설명 *

1 : 본체 프레임 2 : 측정센서

3 : 수평 수준기 4 : 고속 레이저 스캐너

5 : 전원부 6 : 제어부

7 : 상판 8 : 하판

9 : 카세트 10 : 사이드바

11 : 바 12 : 슬롯

13 : 기판 14 : 로봇

15 : 핸드 16 : 로봇 암

A : 검사장치 B : 정 위치

본 고안은 액정패널 제조에 사용되는 장비의 변형상태를 검사하는 장치에 관한 것으로, 이를 더욱 상세하게 설명을 하면 액정패널 제조에 사용되고 기판을 카세트에 수납 및 취출시키기 위해 기판이 올려지면 이를 이송하는 로봇 암(Robot arm)에 구성된 핸드를 장기간 연속적으로 사용시에 발생하는 변형상태를 검사하여 이에 따른 사용유무를 판단할 수 있는 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 검사하는 검사장치를 제공한다.

일반적으로 액정디스플레이 장치에 사용되는 액정패널은 제 1기판인 TFT어레이 기판과 제 2기판인 컬러필터 기판이 소정 간격을 두고 합착되고, 상기 제 1기판과 제 2기판 사이에 액정을 주입하여 액정층을 형성시켜 액정패널을 구성한다. 이렇게 구성된 액정패널의 제조공정을 살펴보면 상기 제 1기판에 박막트랜지스트 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 2기판에 칼라필터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 1, 2기판을 서로 맞대어 이를 가압하여 합착하는 공정, 상기 합착된 두 기판사이에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 이를 완전히 봉지하는 공정, 상기 액정주입구를 통해 액정이 주입된 상태에서 일정한 셀갭(sell cap)이 이루어졌는지에 대한 검사 및 액정패널을 테스트한 후 수리(repair)하는 공정을 통해서 제조된다. 이렇게 제조된 액정패널은 제품의 완성을 위하여 카세트 등의 운송?운반장치에 수납되어 필요한 장소로 운반되게 된다.

도 1에서 도시된 바와 같이 상기 액정패널이 수납되는 카세트(9)는 일정한 높이를 두고 상판(7)과 하판(8)이 서로 마주보면서 상/하 방향으로 소정 거리 이격된 상태로 수평하게 구성되고, 상기 상/하판 사이 양 측면에 다수의 사이드바(10)가 상기 상/하판을 지지하면서 길이 방향으로 배치된다.

또한 상기 사이드바(10)에는 높이 방향으로 다수 개의 바(11)를 구성함에 액정패널 기판이 수납될 수 있는 정도의 틈새를 두고 등간격으로 배치되어 이루어져 카세트의 내측으로 다수개의 슬롯(12)이 구성되며, 또한 상기 기판(13)은 기판 자체의 하중에 의해 발생할 수 있는 중간부위의 처짐을 방지하기 위해 카세트 후면에는 내면과 접하는 면에서 전면으로 돌출되는 서포트바가 구성된다.

따라서, 상기와 같이 구성된 카세트는 도 1에서와 같이 전면에 기판을 이송 및 취출하는 핸드가 구성되어 암을 작동시키는 로봇(14)이 배치되고, 상기 로봇 암에 구성된 핸드(15) 상에 놓여진 기판(13)을 카세트 양 측면에 형성된 슬롯(12)에 끼워 카세트 내부로 삽입되면서 기판이 카세트 수납되게 된다. 이렇게 카세트에 다수의 기판이 수납되면 상기 카세트를 필요한 곳으로 이동시키게 된다.

상기에서와 같이 로봇 의해 기판이 계속적으로 카세트 내측에 형성된 슬롯 상에 반복 수납 및 취출이 되면 상기 기판(13)이 수납되는 슬롯(12)을 형성하는 바(11)에 상기 기판의 수납 및 취출시에 발생하는 충격 및 하중의 영향으로 인해 변형이 발생하게 될 뿐만 아니라 카세트의 외부 프레임도 외부의 충격등의 외부의 영향으로 인해 변형이 발생하게 된다.

따라서, 상기와 같이 변형된 카세트에 기판이 수납되게 되면 변형된 카세트 에 의해 기판이 슬롯에 수납될 때 변형된 슬롯에 충돌하여 기판이 손상됨으로 이로 인해 불량품 발생이 증가하게 되는 문제점이 있어왔다.

이에, 본 출원인은 이러한 문제점을 해결하기 위해 상기 카세트의 변화량을 측정하여 그 적정여부를 검사할 수 있는 장치를 이미 출원(출원번호 10-2003-0034258)하는 등 카세트에 변형에 대한 검사장치 및 방법에 대해서 이미 다수의 출원인들이 출원한 바가 있다.

한편, 상기 카세트와 같이 기판이 올려진 상태에서 상기 기판을 운반하는 로봇 암(16)에 구성된 핸드(15)도 기판을 카세트에 수납 및 취출시키기 위해 장기간 계속적으로 작동시에 상기 기판의 하중 및 외적인 충격에 의해 변형이 발생하게 된다. 따라서 이로 인해 핸드에 올려져 운반되는 기판(13)도 슬롯(12)에 수납시 상기 기판이 슬롯 외측으로 충돌하거나 핸드가 이미 카세트 내에 수납된 기판과 충돌하여 이들을 손상시키는 등 여러 가지 문제점이 발생하여왔다. 하지만 상기 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 측정하여 재사용가능 유무를 판별할 수 있는 장치는 아직 없는 바, 따라서 상기 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 측정할 수 있는 장치가 절실히 요구되는 실정이다.

이에 본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 그 목 적은 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 자동으로 측정하여 상기 로봇 암에 구성된 핸드의 계속적인 사용유무를 자동으로 판단하여 사용에 적합하지 않을 시에 이를 수리(repair) 또는 교체하여 사용에 적합한 핸드로 기판을 카세트에 이송 및 수납하여 액정패널에 발생할 수 있는 불량을 감소시킬 수 있는 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 자동으로 측정하여 상기 핸드의 사용유무를 판별할 수 있는 검사장치를 제공하는 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 고안인 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태 검사장치(A)는 내부에 삽입되는 로봇 암에 구성된 핸드(15)의 변형량을 측정하기 위해 여러 지점에서 센싱하는 센서(2), 수평 수준기(3) 및 고속 레이저 스캐너(4)가 다수 설치되는 카세트 형상의 본체 프레임과; 상기 본체 프레임이 정 위치에서의 정렬상태 및 수평유지상태 확인을 위한 측정센서, 수평 수준기 및 내삽되는 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 측정하는 고속 레이저 스캐너로 이루어진 센서 측정부와; 상기 센서 측정부에서 측정된 데이터를 이용하여 이를 연산하는 연산부를 포함하여 이를 제어하는 제어부와; 상기 각부의 연속적인 작동을 위해 전원을 공급하는 전원부로 구성된 기판운반용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 측정하는 검사장치를 제공한다.

이에, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안인 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태 검사장치에 대해 더욱 자세히 설명을 하면,

도 1은 로봇 암에 구성된 핸드에 올려진 기판을 카세트에 수납하는 것을 나타내는 도면이고, 도 2는 본 고안인 기판 이송용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태 검사장치에 부착되는 센서, 수평 수준기 및 고속 레이저 스캐너를를 대략적으로 나타내는 도면이며, 도 3은 본 고안인 기판 이송용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태 검사장치를 대략적으로 나타내는 레이아웃 도면이고, 도 4는 본 고안인 기판 이송용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태 검사장치가 정 위치에서의 정렬상태를 나타내는 도면이며, 도 5는 로봇 암에 구성된 핸드의 위치 및 변형상태를 검사하는 과정을 순차적으로 나타내는 도면이고, 도 6은 본 고안인 기판 이송용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태 검사장치에 부착되는 고속 레이저 스캐너에서의 측정을 나타내는 도면이며, 도 7(a)는 본 고안에 따른 고속 레이저 스캐너를 이용한 좌우 휨 상태의 측정을 나타내는 도면이고, 도 7(b)는 본 고안에 따른 고속 레이저 스캐너를 이용한 전후 휨 상태의 측정을 나타내는 도면이며, 도 8을 본 고안의 또 다른 일실시예를 나타내는 도면이고, 도 9는 본 고안의 또 다른 일실시예에서의 고속 레이저 스캐너의 측정을 나타내는 도면이로서,

도 2에 도시된 바와 같이 본 고안을 구성하는 상기 본체 프레임(1)은, 기판이 수납되는 카세트와 유사한 형상으로 아노다이징(Anodizing : 표면 산화처리)처리가 된 알루미늄을 재료로 하여 이루어지며 전면에는 상기 로봇 암에 구성된 핸드가 삽입될 수 있게 개방되어 이루어진다.

상기 센서 측정부는 본 고안에 따른 검사장치가 배치되는 정 위치에서의 상기 검사장치의 정렬상태 및 수평상태를 측정하는 센서부와 상기 검사장치의 내부로 삽입되는 로봇 암에 구성된 핸드의 위치 및 변형상태를 측정하는 고속 레이저 스캐너로 구성되고, 상기 센서부는 상기 검사장치의 정 위치에서의 정렬상태를 측정하는 측정센서(2)와 측면에서 상기 검사장치의 수평상태를 측정하는 수준기(3)가 구성되어 이루어진다.

상기 측정센서(2)는 본체 하측 프레임(1a)의 각 코너 일측에서 상기 검사장치(A)의 정 위치인 곳에서의 정렬상태를 측정가능토록 배치되며, 상기 수준기(3)는 상기 본체 프레임 측면 일측에서 상기 검사장치가 정 위치된 상태에서 검사장치의 전후/좌우의 수평상태를 측정가능토록 배치된다.

상기 고속 레이저 스캐너(4)는 내삽되는 로봇 암에 구성된 핸드를 향하도록 도 2에서와 같이 본체 프레임 내측면에 배치되어 상기 로봇 암에 구성된 핸드의 정확한 위치 및 변형상태를 측정가능토록 배치된다.

상기 고속 레이저 스캐너(4)를 설치함에 상기 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태(좌우 휨 및 전후 휨 등)를 더욱 정확하게 측정하기 위해 검사장치의 내측면 마다 한 개씩 4개 이상의 고속 레이저 스캐너가 배치됨이 바람직하다.

도 3에서 도시된바와 같이 상기 제어부(6)와 전원부(5)는 본체 프레임(1) 일측에 구비되어 측정된 데이터와 기 입력된 데이터를 이용하여 본 고안에 따른 검사장치의 정 위치에 대한 정렬상태와 로봇 암에 구성된 핸드의 위치 및 변형상태에 따라 사용유무에 대한 판단 및 각 장치의 구동에 필요한 전원을 공급을 위해 적당한 위치에서 배치된다.

이하 상기와 같은 목적을 구체적으로 실현하기 위해 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 일실시예를 더욱 자세히 설명을 한다.

도 1에서와 같이 상기 기판 수납을 위한 로봇(14)은 정 위치된 카세트(9) 전면에 배치되어 계속적으로 반복하여 상기 카세트에 형성된 슬롯(12)에 기판을 반복적으로 수납 및 취출하게 된다. 따라서 계속적인 반복에 의해 상기 카세트(9)뿐만 아니라 기판(13)이 올려져 상기 기판을 이송시키는 핸드(15) 또한 변형이 발생할 수 있다.

상기한 바와 같이 로봇 암에 구성된 핸드(15)가 변형될 경우 상기 핸드에 올려진 기판을 카세트에 수납하기 위해 슬롯(12)에 끼워놓을 때 상기 기판이 슬롯 일측에 충돌하는 등 기판이 손쉽게 손상될 수 있다.

따라서, 도 2에서 도시된바와 같이 로봇 암에 구성된 핸드(15)의 변형상태를 측정하여 그 사용유무를 판단하기 위해 본 고안에 따른 핸드의 변형상태 검사장치 (A)에는 상기 핸드 검사장치의 입고시 정 위치에서의 정렬상태 및 수평상태를 측정하는 다수 개의 측정센서(2)와 다수 개의 수평 수준기(3)와; 상기 검사장치(A)에 내삽되는 핸드(15)의 위치 및 그 변형상태를 측정하는 고속 레이저 스캐너(4)가 포함되어 이루어진 측정부가 구성된다.

도 2 및 4에서 도시된 바와 같이 검사장치의 정 위치 정렬상태를 측정하는 측정센서(2)는 하부 프레임(1a)의 각 모서리 부위에 배치된다. 상기 측정센서(2)는 각 모서리 부위에 하나씩 4개 이상이 배치되는 것이 더욱 정확한 정렬상태를 측정하는데 바람직하다.

한편, 정 위치에 정렬된 검사장치(A)의 수평상태를 측정하는 수준기(3)는 상기 검사장치의 전후/좌우의 수평상태를 측정하기 위해 측면에 배치되고, 더욱 정확한 수평상태의 측정을 위해 각 면마다 하나이상의 수준기를 설치됨이 바람직하다.

또한, 본 고안인 핸드의 변형상태 검사장치는 상기 핸드의 변형상태 및 정확한 위치를 측정하기 위해 적어도 하나 이상의 고속 스캐너가 배치된다. 여기서 고속 레이저 스캐너(4)는 그 광원으로 적색 반도체 레이저를 이용하여 레이저를 주사함으로 상기 핸드의 변형상태 및 정확한 위치를 측정하게 된다.

상기 본체 프레임(1)에 각 센서 및 고속 레이저 스캐너가 구비된 본 고안인 기판 운반용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형 측정장치(A)는 상기 고속 레이저 스캐너(4)를 이용하여 상기 핸드의 변형상태를 정확하게 측정하여 그 사용유무를 판단 하기 위해서는 상기 핸드가 삽입되는 검사장치가 도 4(b)에서 도시된 바와 같이 우선적으로 정 위치(B)에 정확하게 정렬된 상태에서 측정되어야 한다. 따라서 본체의 하측 프레임(1b)의 각 모서리 일측에서 본 고안에 따른 검사장치가 놓여지는 정 위치(B)에서의 정렬상태를 정확하게 측정할 수 있도록 배치된 측정센서(2)에 의해 상기 검사장치가 정 위치에 정확하게 정렬되어 있는 지를 측정하고 이렇게 측정된 데이터에 의해 정렬상태가 적합한지에 대해 양부판단을 하여 적절치 못할 때에는 상기 검사장치(A)를 정 위치에 재배치하게 된다.

상기 본 고안인 기판 운반용 로봇 암에 구성된 핸드의 검사장치가 상기 측정센서(2)에 의해 정 위치(B)에 정확하게 배치되게 되면, 상기 검사장치와 일정간격 이격되어 있는 로봇이 작동하여 일반적으로 카세트에 기판을 수납하듯이 상기 검사장치 내부에 로봇 암에 구성된 핸드가 삽입되며, 이때 본체 프레임 내측면에서 상기 핸드를 향하도록 구성된 고속 레이저 스캐너(4)가 삽입된 핸드에 레이저를 주사하고 이를 통해 상기 핸드의 정확한 위치와 그 변형상태를 측정하게 된다. 즉, 도 6, 7에서 도시된 바와 같이 로봇 암에 구성되어 상기 검사장치에 삽입된 핸드의 전/후 및 좌/우의 휨을 측정하여 이에 대한 양부를 판단하기 위해 고속 스캐너에서의 각 에지부의 위치를 측정하고 이를 이용하여 상기 측정된 에지부까지의 거리(L1,L2)를 계산하게 된다. 이 측정된 거리를 기 입력된 데이터(사용가능한 핸드가 삽입되었을 때의 에지부까지의 거리인 L)와 비교하여 일정한 이상의 오차가 발생하면 상기 핸드의 변형상태로 인한 재사용 유무에 대한 양부를 판정하게 된다.

상기의 검사장치인 고속 레이저 스캐너에서의 위치 측정은 공지된 기술로서 본 고안에서는 에지부의 위치를 측정하고 이를 이용하여 거리를 계산하여 상기 핸드의 전후 및 좌우의 변형량을 측정함은 일실시 예에 불과하며, 공지의 고속 스캐너의 측정원리를 이용함은 본 고안의 범주에 포함됨이 자명할 것이다.

즉, 또 다른 일실시예로 투광부(4a)와 수광부(4b)로 구성된 레이저 스캐너를 도 8에서 도시된 바와 같이 상하/좌우에 서로 대칭되도록 구성하며, 상기 수광부는 수개의 CCD이미지센서가 일정하게 정렬되어 구성된다. 따라서 투광부에서 조사된 빛은 측정물체인 핸드를 통과하여 사진이 찍힌 것처럼 물체의 사이즈만큼 수광부(4b)로 들어가게 된다. 따라서 상기 측정물체인 핸드에 의해 가려지는 부분을 제외한 나머지 부분에서의 레이저가 수광부의 CCD이미지센서의 각 영역에 맞게 그 상이 맺히게 되어 상기 핸드의 위치를 검출하게 되고, 상기 핸드의 위치가 변하게 되면 그 위치만큼 수광부의 CCD이미지센서에 맺히는 상의 위치도 이에 따라서 변하게 되어 기 입력된 데이터와 비교하여 그 변형상태를 측정하여 그 변형상태에 따라 상기 삽입된 핸드의 재사용 유무를 판단할 수 있게 된다

.

또한 본 고안에 사용되고 있는 센서및 고속 레이저 스캐너들 역시 일반 시중에 통상 사용되고 있는 공지의 측정용 센서 및 레이저 스캐너를 임의로 구입하여 사용한 것으로, 이러한 센서를 통한 거리 및 위치 측정 및 측정방법은 일반 일반적인 공지공용의 기술이라 할 것이다.

따라서, 이렇게 측정된 데이터를 이용하여 상기 핸드의 사용유무에 대한 양부를 판단하여 측정된 변화량이 일정 범위 이상일 때에는 상기 핸드(15)를 교환 및 수리하게 된다.

이하에서는 본 고안인 기판 운반용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태 검사장치를 이용하여 상기 로봇 암에 구성된 핸드를 검사하는 과정을 대략적으로 설명을 하면, 먼저, 도 5에서 도시된 바와 같이 본 고안에 따른 검사장치를 로봇에서 일정 간격 이격된 정 위치(B)에 배치한다.(100) 도 4에서처럼 상기 본 고안에 따른 검사장치가 정 위치(B)에 배치되면 도 2에 도시된 바와 같이 하부 프레임(1a) 각 코너에 구비된 측정센서(2)에 의해 상기 검사장치의 정 위치에서의 정렬상태에 대해 측정되게 된다.(200) 이렇게 측정된 데이터는 연산부가 포함된 제어부로 전송되며, 기 입력된 데이터와 이를 비교 및 연산하여 정 위치에서의 정렬상태에 대한 양부상태를 판단하게 된다.(300) 상기 검사장치의 정 위치에서의 정렬상태가 올바르지 않으면 이를 정확한 정렬상태로 재정렬시킨다.(400) 이렇게 본 고안에 따른 검사장치가 로봇 전면에서 정 위치에 정확하게 정렬되게 되면, 상기 로봇 암에 구성된 핸드가 검사장치 전면의 개방구를 통해 내부로 삽입되어 일정 깊이로 들어간 후 정지된다.(500) 이렇게 핸드가 검사장치 내부에 삽입되면 상기 상부 프레임의 각 코너부에 구성된 고속 레이저 스캐너(4)가 상기 핸드의 위치 및 변형상태를 측정하게 된다.(600) 이렇게 측정된 데이터는 연산부가 포함된 제어부로 전송되며, 기 입력된 데이터와 비교 및 연산하여 상기 로봇 암에 구성된 핸드의 재사용유무에 대한 양부 판정을 하게 된다.(700) 상기 고속 레이저 스캐너의 측정으로 상기 핸드의 변형이 사용에 부적합하게 되면 핸드를 교환 및 수리를 하게 된다. 따라서 교환 및 수리가 된 핸드를 이용하여 기판을 카세트에 수납하게 함으로 기판에 손상을 입히지 않으면서 용이하게 수납/취출이 가능하게 된다.

상기에서 전술한 바와 같이 본 고안에 따른 기반 운반용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형 검사장치는, 기판을 카세트에 적재하기 전 미리 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 파악하고, 이에 그 사용유무를 더욱 용이하게 판단할 수 있게 되며, 또한 상기 로봇을 더욱 체계적으로 관리 할 수 있고, 제때에 수리 및 교환 등이 이루어 질수 있어, 상기 로봇을 이용하여 카세트에 기판을 적재할 때 발생하는 기판의 불량 발생률을 줄일 수 있어 생산성 향상에 큰 효과를 줄 수 있는 다대한 고안이라 하겠다.

Claims (5)

1. 카세트를 운반하는 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태 및 위치를 측정하기 위해 여러 지점에서 센싱하는 측정센서(2), 수평 수준기(3) 및 고속 레이저 스캐너(4)가 다수 설치되는 카세트 형상의 본체 프레임(1)과;

   상기 본체 프레임의 정 위치에서의 정렬상태 및 수평유지상태 확인을 위한 측정센서(2), 수평 수준기(3) 및 내삽되는 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 측정하는 고속 레이저 스캐너(4)로 이루어진 센서 측정부와;

   상기 센서 측정부에서 측정된 데이터를 이용하여 이를 연산하는 연산부를 포함하여 이를 제어하는 제어부와;

   상기 각부의 연속적인 작동을 위해 전원을 공급하는 전원부로 구성된 기판운반용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 측정하는 검사장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 본체 프레임(1)은, 기판이 수납되는 카세트와 유사한 형상으로 아노다이징(Anodizing : 표면 산화처리)처리가 된 알루미늄을 재료로 하여 이루어지며 전면에는 상기 로봇 암에 구성된 핸드가 삽입될 수 있게 개방되어 이루어진 기판운반용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 측정하는 검사장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 센서 측정부는 정 위치에서의 상기 검사장치의 정렬상태 및 수평상태를 측정하는 센서부와; 상기 검사장치의 내부로 삽입되는 로봇 암에 구성된 핸드의 위치 및 변형상태를 측정하는 고속 레이저 스캐너로 구성되고,

   상기 센서부는 상기 검사장치의 정 위치에서의 정렬상태를 측정하는 측정센서(2)와; 측면 일측에 상기 검사장치의 수평상태를 측정하는 수준기(3)를 포함하여 구성된 기판운반용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 측정하는 검사장치.
4. 제 1항 또는 3항에 있어서,

   상기 측정센서(2)는 본체 하측 프레임(1a)의 각 코너 일측에서 상기 검사장치의 정 위치인 곳에서의 정렬상태를 측정토록 배치되며,

   상기 수준기는 상기 본체 프레임 측면 일측에서 상기 검사장치가 정 위치된 상태에서 검사장치의 전후/좌우의 수평상태를 측정토록 배치된 것을 포함하여 구성된 기판운반용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 측정하는 검사장치.
5. 제 1항 또는 3항에 있어서,

   상기 고속 레이저 스캐너(4)는 내삽되는 로봇 암에 구성된 핸드를 향하도록 본체 프레임 내측면에서 핸드를 향하도록 배치되어,

   상기 로봇 암에 구성된 핸드의 위치 및 변형상태를 측정하는 것을 포함하는 기판운반용 로봇 암에 구성된 핸드의 변형상태를 측정하는 검사장치.

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