KR100977222B1 - 카세트 검사 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 LCD 제조에 사용되는 기판이 수납되는 카세트의 변형을 검사하는 방법에 관한 것이다.

본 발명은, 기판이 수납되는 카세트를 검사대에 안치하는 단계; 상기 카세트의 각 변을 센서들을 이용하여 여러 지점에서 센싱하는 단계; 상기 센서들에서 측정된 데이터에 기초하여 상기 카세트의 각 변을 각각 가상으로 정렬하는 단계; 가상으로 정렬된 각 변의 변형 량을 각각 계산하는 단계; 상기 각 변의 변형 량과 미리 저장된 각 변의 허용 오차를 각각 비교하여 상기 카세트의 양부를 판정하는 단계를 포함하여 이루어진 카세트 검사 방법을 제공한다.

LCD, 기판, 카세트, 변형, 검사, 가상 정렬

Description

카세트 검사 방법{Method for examining a cassette}

도 1은 일반적인 액정표시패널의 일부를 나타낸 분해 사시도;

도 2는 일반적인 카세트 반송 과정을 설명하기 위한 개요도;

도 3은 이재 로봇이 카세트에 기판을 수납하는 모습을 나타낸 사시도;

도 4는 본 발명에 따른 카세트 검사 장치를 간략하게 나타낸 개요도;

도 5a 및 도 5b는 카세트 정렬 장치에 올려진 카세트가 정렬되는 과정을 순차적으로 나타낸 평면도들로써,

도 5a는 카세트가 정렬되기 전을 나타낸 평면도,

도 5b는 카세트가 정렬된 후를 나타낸 평면도,

도 6은 도 4의 카세트 검사 장치가 카세트를 검사하는 모습의 일례를 간략하게 나타낸 측면도;

도 7은 본 발명에 따른 카세트 검사 방법에서 카세트를 가상 정렬하는 방법을 설명하기 위한 개략도; 그리고

도 8은 본 발명에 따른 카세트 검사 방법에 따라 카세트를 측정한 일 예의 결과를 나타낸 도표이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

100: 카세트 110: 상판

120: 하판 130: 사이드 바

135: 슬롯 140: 스토퍼

150: 백 서포트 200: 센서 어셈블리

210: 제1 센서 220: 제2 센서

230: 제3 센서 240: 제4 센서

300: 제어부 400: 디스플레이

500: 정렬 장치 510: 정렬 블록

본 발명은 LCD 제조 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD 제조에 사용되는 기판이 수납되는 카세트의 변형을 검사할 수 있는 장치에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방 송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.

이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 도 1에 도시된 바와 같이 공간을 갖고 합착된 제1 및 제2 기판(1, 2)과, 상기 제1 및 제2 기판(1, 2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성된다.

여기서, 상기 제 1 기판(1)(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인(4)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인(5)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차되어 정의된 각 화소영역(P)에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극(6)과 상기 게이트 라인(4)의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인(5)의 신호를 상기 각 화소 전극(P)에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.

그리고 제 2 기판(2)(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층(8)과 화상을 구현하기 위한 공통 전극(9)이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 기판에 형성되어 있다.

상기한 구조를 가지는 액정표시장치는 상기 제 1 기판(1)에 박막트랜지스터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 2 기판(2)에 칼라필터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 1 및 제 2 기판(1, 2)을 합착하는 공정, 상기 합착된 두 기판 사이에 액정 을 주입한 후 밀봉하는 공정, 액정이 주입된 각 액정패널을 테스트한 후 수리(repair)하는 공정, 그리고 양품의 액정패널에 백 라이트 등을 장착하고 구동회로를 장착하여 액정표시모듈을 제조하는 공정 등을 통해 제조된다.

상기한 바와 같이 기판(1, 2)은 여러 가지 공정을 거치게 되어 액정표시장치로서 완성되며, 생산성 향상을 위해 상기 기판(1, 2)들은 카세트(10) 내에 대량으로 수납된 후, 도 2에 도시된 바와 같이, 각 공정을 수행하는 장비(21, 22)들에 공급된다.

이때, 상기 카세트(10)를 운반하기 위해 카세트 반송 장치(30)(Cassette transfer vehicle)이 사용되며, 상가 카세트 반송 장치(30)는 기판(1, 2)이 수납된 카세트(30)를 상기 장비(21, 22)들과 스토커(40)로 각각 운반하게 된다. 여기서, 상기 스토커(40)는 임의의 공정을 마친 카세트(10)들이 임시로 저장되는 설비이다.

한편, 도 3에는 상기 기판(1, 2)이 다수 개 수납되는 카세트(10)의 구조가 간략하게 나타나 있다. 도 3을 참조하면, 상기 카세트(10)는 서로 다른 높이에 수평하게 배치된 상판(12)과 하판(13)의 사이 양 측면에 사이드 바(14)가 배치되어 이들을 지지하고, 상기 사이드 바(14)에는 상기 카세트(10)의 내측으로 다수 개의 슬롯(15)들이 구비되며, 상기 카세트(10)의 뒤 쪽에는 상기 슬롯(15)에 수납된 기판(1, 2)들의 삽입 깊이를 제한하는 스토퍼(16)가 구비된 구조를 가진다.

따라서, 도 3에 도시된 바와 같이 이재 로봇(50)이 암(51)을 뻗어 핸드(52)에 올려진 기판(1, 2)을 개방된 전면을 통해 카세트(10) 내로 삽입하면, 상기 기판(1, 2)은 슬롯(15)에 삽입되어 수납되며, 상기 스토퍼(16)는 상기 슬롯(15)에 수납된 상기 기판(1, 2)이 후측으로 빠지는 것을 방지하게 된다.

여기서, 상기 이재 로봇(50)은 카세트(10)에 수납된 기판(1, 2)을 하나씩 취출하여 장비(21, 22)에 공급하고, 임의의 공정을 마친 기판(1, 2)을 다시 상기 카세트(10)에 수납하는 역할을 한다.

상기와 같이 기판(1, 2)이 수납된 카세트(10)는 상기 카세트 반송 장치(30)에 의해 장비(21, 22)와 스토커(40)로 반복적으로 반송된다. 이 과정에서 상기 카세트(10)는 카세트 반송 장치(30) 또는 상기 스토커(40) 내의 로봇(미도시) 등에 의해 반복적으로 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading) 된다. 따라서, 상기 카세트(10)는 그 사용 횟수가 점점 늘어남에 따라 외부의 충격등에 의해 찌그러지는 등의 변형이 발생하게 된다.

상기와 같이 카세트(10)에 변형이 발생하게 되면, 상기 기판(1, 2)이 슬롯(15)에 수납될 때 기판(1, 2)이 카세트(10)에 충돌하여 손상되거나, 이재 로봇(50)의 핸드(52)가 카세트(10) 내에 수납된 다른 기판(1, 2)과 충돌하여 이들을 손상시키는 문제가 발생한다.

그러므로, 상기 카세트(10)를 정기적으로 검사하여 변형 정도에 따라 양부를 판단하여 재 사용하거나 폐기하여야 할 필요가 있다. 그러나, 지금까지는 이러한 카세트 검사 작업이 체계적으로 이루어지지 못하고 있다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 카세트의 변형 유무 및 정도를 체크하여 카세트의 재 사용 유무를 용이하게 판단할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은, 정렬되지 않은 카세트의 변형 정도를 센서를 이용하여 직접 체크할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, (a) 기판이 수납되는 카세트를 검사대에 안치하는 단계; (b) 상기 카세트의 각 변을 센서들을 이용하여 여러 지점에서 센싱하는 단계; (c) 상기 센서들에서 측정된 데이터에 기초하여 상기 카세트의 각 변을 각각 가상으로 정렬하는 단계; (d) 가상으로 정렬된 각 변의 변형 량을 각각 계산하는 단계; (e) 상기 각 변의 변형 량과 미리 저장된 각 변의 허용 오차를 각각 비교하여 상기 카세트의 양부를 판정하는 단계를 포함하여 이루어진 카세트 검사 방법을 제공한다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 센서들은, 각 센서와 상기 카세트의 각 변과의 거리를 측정한다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 센서들은 상기 카세트의 각 변을 높이가 서로 다른 세 지점 이상에서 각각 센싱하도록 배치된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 (c) 단계에서 상기 카세트의 각 변 들 중 어느 하나의 변은, 상기 어느 하나의 변을 동시에 센싱하는 여러 개의 센서들 중에서 어느 하나가 측정한 거리를 보정 상수로 결정하고, 상기 어느 하나의 변을 동시에 센싱하는 각 센서들이 측정한 각 거리 값에서 상기 보정 상수를 빼내는 방법으로 가상 정렬된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 어느 하나의 변을 동시에 센싱하는 여러 개의 센서들 중에서 가장 아래에 배치된 센서가 측정한 거리 값이 상기 어느 하나의 변의 보정 상수로 결정된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 (d) 단계에서, 상기 변형 량은, 상기 각 센서가 측정한 거리 값에서 상기 보정 상수를 빼낸 보정 값이다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 센서에 의해 측정된 지점의 변형 량이 양의 값일 경우, 상기 지점은 가상 정렬된 지점보다 카세트의 외측으로 돌출된 것으로 판정한다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 센서에 의해 측정된 지점의 변형 량이 음의 값일 경우, 상기 지점은 가상 정렬된 지점보다 카세트의 내측으로 돌출된 것으로 판정한다.

이하 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 부호가 사용되며, 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.

먼저, 본 발명에 따른 카세트 검사 장치의 구조를 설명하기 앞서, 카세트(100)의 구조에 대해 설명한다.

도 4를 참조하면, 카세트(100)의 상판(110)과 하판(120)은 상하 방향으로 소정 거리 이격된 상태로 수평하게 배치된다. 그리고 상기 상판(110)과 하판(120)의 양 측면에는 다수 개의 사이드 바(130)가 이들을 지지할 수 있도록 상판(110)과 하판(120)에 수직하게 연결된다. 상기 카세트(100)의 전면은 개방되며, 그 후면에는 적어도 하나 이상의 스토퍼(140)가 상판(110)과 하판(120)을 연결하도록 배치된다.

상기 각 사이드 바(130)의 일면, 좀더 상세하게는 카세트(100)의 내부와 접하는 일면에는 도 4에 도시된 바와 같이 상하 방향을 따라 다수 개의 지지바(131)들이 등간격으로 배치된다. 상기 각 지지바(131)들 사이에 구비되는 공간은 기판(미도시)이 삽입되어 수납되는 슬롯(135)이다.

한편, 상기와 같은 구조를 가진 카세트(100)의 슬롯(135)에 기판을 삽입하면, 상기 기판은 양 측면이 상기 지지바(131)에 걸린 상태로 지지된다. 그런데, 상기 기판은 두께가 얇기 때문에 상기 기판은 상기 슬롯(135)에 수납된 상태에서 중간 부분이 아래로 처지게 된다.

따라서, 카세트(100)에는 처지기 쉬운 기판의 중간 부분을 받쳐 지지할 수 있는 구조가 부가되기도 한다. 예를 들면, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 스토퍼(140)와 같이 카세트(100)의 후측에 백 서포트(150)가 배치되고, 상기 백 서포트(150)의 일면, 좀더 상세하게는 상기 카세트(100) 내면과 접하는 면에는 카세트(100)의 전면으로 연장된 다수 개의 바(151) 들이 구비된다.

상기와 같이 카세트(100)에 백 서포트(150)와 다수 개의 바(151) 들이 구비되면, 상기 슬롯(135)에 수납된 각 기판들은 중간 부분이 상기 바(151)에 의해 지지된다. 따라서, 상기 슬롯(135)에 수납된 각 기판의 중간 부분이 아래로 처지는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.

상기한 바와 같은 구조를 가진 카세트(100)에는 다수 개의 기판들이 수납된다. 따라서, 상기 카세트(100)의 사용 횟수가 증가되면, 각 기판의 측면을 지지하 는 지지바(131)가 형성된 사이드 바(130)가 하중에 의해 변형될 수 있다. 물론, 상기 슬롯(135)에 수납된 각 기판의 중간 부분을 지지하는 바(151)가 연결된 백 서포트(150) 또한 하중에 의해 변형될 수 있다. 뿐만 아니라, 상기 상판(110)과 하판(120), 그리고 스토퍼(140) 및 사이드 바(130)등 상기 카세트(100)의 외형을 이루는 모든 구성 요소는 외부 충격에 의해 변형 될 수 있다.

상기한 바와 같이 카세트(100)가 변형될 경우 카세트(100)에 수납되는 기판이 이재 로봇(미도시)에 의한 취출 및 수납 작업, 그리고 카세트 반송 장치에 의한 운반 작업 시 쉽게 손상될 수 있다.

따라서, 카세트(100)의 외형의 변형 상태를 체크하기 위해, 상기 카세트 검사 장치에는, 상기 기판이 수납되는 카세트(100)의 각 변을 여러 지점에서 센싱하는 다수 개의 센서(210, 220, 230, 240)들을 포함하여 이루어진 센서 어셈블리(200)가 제공된다.

여기서, 상기 각 변이라함은 카세트(100)의 상면, 하면, 측면, 그리고 후면을 지칭하는 것이며, 이들은 각각 카세트(100)의 상판(110), 하판(120), 사이드 바(130), 그리고 스토퍼(140) 및 백 서포트(150)와 대응한다고 할 수 있다.

따라서, 상기 카세트 검사 장치에서 상기 센서 어셈블리(200)는 상기 상판(110), 하판(120), 사이드 바(130), 스토퍼(140) 및 백 서포트(150)의 변형 유무 및 변형 정도를 체크하게 되는데, 이하에서는 이에 대해 보다 상세하게 설명한다.

도 4에 도시된 바와 같이 상기 사이드 바(130)는 카세트(100)의 각 측면 모 서리에 배치된다. 이러한 각 사이드 바(130)의 변형을 측정하기 위해 제1 센서(210) 들이 상기 각 사이드 바(130) 주변에 배치된다.

여기서, 상기 각 사이드 바(130)에는 상기 제1 센서(210)가 상기 각 사이드 바(130)에 하나 씩만 배치될 수도 있겠으나, 다수 개가 배치되는 것이 정확한 측정을 위해 보다 바람직할 것이다.

예를 들면, 상기 제1 센서(210)가 상기 카세트(100)의 측면에 배치되어 사이드 바(130)의 변형을 체크한다고 가정하자. 상기 제1 센서(210)는 상기 사이드 바(130)와 상기 제1 센서(210)와의 거리를 측정하게 되는데, 이 경우, 상기 제1 센서(210)는 상기 사이드 바(130)가 카세트(100) 안쪽으로 휘었는지 바깥쪽으로 휘었는지 만을 감지할 수 있게 된다. 따라서, 상기와 같이 사이드 바(130)의 측면에 하나의 제1 센서(210) 만이 배치된 경우에는, 상기 사이드 바(130)가 카세트(100)의 전면 측 또는 후면 측으로 휜 경우는 그 변형을 감지할 수 없게 된다.

이를 보완하기 위해 상기 제1 센서(210)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 사이드 바(130)를 카세트(100)의 측면에서 측정할 수 있도록 배치됨과 더불어, 카세트(100)의 정면과 후면 중 어느 한 곳 이상에서 더 측정할 수 있도록 배치되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 제1 센서(210)들은 도 6에 도시된 바와 같이 사이드 바(130)를 상하 방향의 여러 지점에서 측정할 수 있도록 다수 개가 각각 다른 높이에 배치될 수도 있다. 이와 같이 배치되면, 상기 사이드 바(130)의 수직 방향 각 지점 마다의 변형 량을 체크할 수 있으므로, 변형이 어떠한 형태로 어느 정도 진행되고 있는지 를 보다 쉽게 확인할 수 있게 된다.

상기 카세트 검사 장치에는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 카세트(100)의 상판(110)을 측정하기 위해 제2 센서(220)가 구비된다. 여기서, 상기 제2 센서(220)는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 카세트(100)의 상판(110) 중앙 지점을 측정할 수 있도록 하나만 배치될 수도 있겠으나, 보다 정확한 데이터를 얻기 위해 상기 상판(110)의 적어도 두 점 이상을 측정할 수 있도록 다수 개가 배치되는 것도 좋을 것이다.

한편, 상기 카세트(100)의 후측에 배치되는 스토퍼(140)는 상기 기판이 카세트(100) 후측으로 빠지는 것을 방지하는 반면, 상기 백 서포트(150)에는 상기 카세트(100)에 수납된 기판의 중간 부분을 지지하는 다수 개의 바(151)가 형성된다. 따라서, 상기 백 서포트(150)가 상기 스토퍼(140)에 비해 많이 변형된다고 할 수 있다.

따라서, 상기 카세트 검사 장치에는 상기 백 서포트(150)의 변형을 측정하기 위해 적어도 하나의 제3 센서(230)가 배치된다. 여기서, 상기 제3 센서(230)는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 백 서포트(150)의 중간 부분을 측정하도록 하나가 배치될 수 있지만, 좀더 정확한 데이터를 얻기 위해서는, 상기 백 서포트(150)를 서로 다른 높이를 가지는 두 지점 이상에서 측정할 수 있도록, 수직 방향을 따라 다수 개가 배치될 수 있다.

그러나, 상기 카세트 검사 장치에서, 상기 제3 센서(230)는 상기 백 서포트(150) 뿐만 아니라 상기 스토퍼(140)도 체크할 수 있도록 다수 개가 배치될 수도 있을 것이다.

한편, 상기 카세트 검사 장치에는 또한 도 6에 도시된 바와 같이 카세트(100)의 하측에 배치되어 카세트(100)의 하판(120)을 측정하는 제4 센서(240)가 구비될 수 있다. 상기 제4 센서(240)는 하판(120)의 일 지점을 측정하도록 하나만 배치될 수 있지만, 보다 바람직하게는 상기 하판(120)을 적어도 두 지점 이상에서 측정할 수 있도록 다수 개가 배치되는 것이 좋을 것이다.

한편, 상기와 같이 센서 어셈블리(200)를 이용하여 카세트(100)의 각 변을 측정하기 위해서는 상기 카세트(100)가 정 위치에 정확하게 정렬되어야 한다. 따라서, 상기 카세트 검사 장치에는, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 센서 어셈블리(200)가 상기 카세트(100)를 측정하기 전 상기 카세트(100)를 정 위치에 정확하게 정렬시키는 정렬 장치(500)가 더 구비될 수 있다.

상기 정렬 장치(500)는 상기 도면에 도시된 바와 같이 상기 카세트(100)의 각 모서리 하부를 감싸도록 배치되는 다수 개의 정렬 블록(510)을 포함하여 이루어질 수 있다. 여기서, 상기 각 정렬 블록(510)은 도 5b에 도시된 바와 같이 상기 카세트(100)의 각 모서리 외측에서 내측 방향으로, 그리고 내측 방향에서 외측 방향으로 이동할 수 있다.

따라서, 도 5a에 도시된 바와 같이 상기 카세트(100)의 각 모서리가 상기 각 정렬 블록(510) 위에 올려지도록 카세트(100)가 상기 카세트 검사 장치에 입고되면, 상기 각 정렬 블록(510)이 외측에서 내측으로 이동하면서 카세트(100)의 각 모서리를 정 위치로 정렬시키게 된다. 그리고 이러한 상태에서 상기 센서 어셈블리(200)가 카세트(100)의 각 변을 측정하게 된다.

한편, 상기와 같은 구성을 가지는 센서 어셈블리(200)에서 측정된 데이터는 제어부(300)에서 각 변의 변형량이 계산된 후 카세트(100)의 양부 여부가 판정된다. 이러한 제어부(300)는 연산부(미도시)와 판정부(미도시)를 포함하여 이루어지는데, 이에 대해 간단히 설명하면 다음과 같다.

상기 센서 어셈블리(200)는 상기한 바와 같이 상기 각 센서(210, 220, 230, 240)와 상기 카세트(100)의 각 변 사이의 거리를 측정한다. 그리고 상기 제어부(300)에는 각 센서(210, 220, 230, 240)들과 상기 카세트(100)의 각 변 사이의 기준 거리가 저장되어 있다. 따라서, 상기 연산부는 상기 센서 어셈블리(200)에 의해 측정된 각 센서(210, 220, 230, 240)와 카세트(100)의 각 변 사이의 측정 거리와, 상기 제어부(300)에 입력된 카세트(100)의 각 변 별 기준 거리를 비교하여 상기 각 변의 변형량을 계산하게 된다.

그리고, 상기 제어부(300)에는 또한, 상기 카세트(100)의 각 변 별 변형 오차 범위가 저장되어 있다. 따라서, 상기 판정부(미도시)는 상기 연산부에서 계산된 각 변의 변형량과 상기 제어부(300)에 저장된 오차 범위를 비교하여 상기 카세트(100)의 양부를 판정하게 된다.

상기와 같이 상기 센서 어셈블리(200)에서 측정되고, 상기 제어부(300)에서 연산된 후 판정된 데이터와 결과는 도 4의 디스플레이(400)에 의해 외부로 출력된다. 따라서, 관리자는 상기 디스플레이(400)를 통해서 검사된 카세트(100)의 양부 판정 결과를 쉽게 얻을 수 있게 된다.

이하에서는 상기 카세트 검사 장치를 이용하여 카세트(100)를 검사하는 과정에 대해 간략하게 설명한다.

먼저, 검사하고자 하는 카세트(100)를 상기 카세트 검사 장치에 입고한다. 이때, 상기 카세트(100)는 도 5a에 도시된 바와 같이 각 모서리가 상기 정렬 장치(500)의 각 정렬 블록(510) 위에 올려지도록 입고된다.

카세트(100)가 입고되면, 도 5b에 도시된 바와 같이 상기 정렬 장치(500)의 각 정렬 블록(510)이 외측에서 내측으로 이동하면서 상기 카세트(100)를 정 위치에 정렬시킨다.

카세트(100)가 정렬되면, 상기 센서 어셈블리(200)는 상기 카세트(100)의 각 변, 즉 상판(110), 하판(120), 사이드 바(130), 그리고 백 서포트(150)를 각각 측정한다.

상기 센서 어셈블리(200)에 의해 측정된 데이터는 상기한 바와 같이 제어부(300)로 전송되며, 제어부(300)에서는 상기한 바와 같이 미리 입력된 기준 데이터와 상기 센서 어셈블리(200)에 의해 측정된 데이터를 비교하여 카세트(100)의 각 변의 변형량을 연산한 후 카세트(100)의 양부 여부를 판정한다.

상기 제어부(300)의 연산 및 판정이 완료되면, 그 데이터 및 판정 결과와 상기 센서 어셈블리(200)에서 측정된 데이터 들은 저장되고, 디스플레이(400)를 통해 외부로 출력된다.

여기서, 저장된 데이터들은 이후 동일한 카세트(100)를 재 검사하였을 때 참고 자료로 사용될 수 있는데, 이를 이용하면 상기 카세트(100)의 변형 진행 정도를 보다 정확하게 판단하고 예측할 수 있게 된다.

그리고, 상기 카세트 검사 장치에서 카세트(100)가 출고되면, 모든 검사 과정이 완료된다.

상기한 바와 같이 본 발명에 따른 카세트 검사 장치를 이용하면, 빠른 시간 내에 카세트의 변형량 및 재사용 가능 여부를 쉽게 판단할 수 있다. 따라서, 카세트를 체계적으로 관리할 수 있어 불량 카세트의 사용으로 인한 제품 불량 발생을 방지할 수 있다. 그리고, 불량 카세트 사용으로 인한 생산 라인에서의 에러 발생을 줄일 수 있기 때문에 생산성이 향상된다.

그러나, 상기한 장점에도 불구하고, 상기한 구조를 가진 카세트 검사 장치를 이용하여 카세트를 정확하게 센싱하기 위해서는, 상기한 바와 같이 상기 정렬 장치(500)를 이용하여 카세트(100)를 정 위치에 정렬하는 작업이 필요하다.

따라서, 상기 카세트 검사 장치에는 정렬 장치(500)가 구비되어야 하면 정렬을 위한 시간이 소요된다. 때문에, 카세트 검사 장치의 설비 비용이 증가하고 검사 시간이 증가된다. 그리고, 정렬 장치(500)를 지속적으로 관리하고 고장이 발생할 경우 수리해야 하기 때문에 관리 요소가 많아지고 유지 보수 비용이 증가한다.

또한, 상기 정렬 장치(500)는 이동하는 정렬 블록(510)이 카세트(100)의 하단 모서리를 직접 밀어서 정렬하게 된다. 따라서, 상기 카세트(100)가 너무 부정확한 위치에 입고되는 경우 카세트(100)의 하단 모서리가 밀리면서 정렬되지 않고 상기 정렬 블록(510)의 힘에 의해 찌그러지거나 변형이 발생하는 문제도 발생하게 된다.

이에 따라, 본 발명에서는 상기 카세트(100)를 검사하기 전에 상기 정렬 장치(500)를 이용하여 강제로 정렬하지 않고도 정확하게 카세트(100)를 검사할 수 있는 새로운 카세트 검사 방법을 제공해 준다.

본 발명에 따른 카세트 검사 방법에서는 검사 장치에 입고된 카세트(100)의 각 변을 센싱한 후에 가상으로 정렬하고, 가상 정렬된 데이터에 근거하여 각 변의 변형량을 도출한 후 카세트(100)의 양부를 판단하게 된다. 이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 카세트 검사 방법에 대해 보다 상세하게 설명한다.

먼저, 기판이 수납되는 카세트(100)를 상기 카세트 검사 장치의 검사대(미도시)에 안치시킨다.(a) 이때, 상기 카세트(100)를 정 위치로 정확하게 정렬할 필요는 없으며 대략 정 위치와 유사하게 안치하면 된다.

상기 카세트(100)가 안치되면, 상기 카세트(100)의 각 변, 즉 상판(110), 하판(120), 사이드 바(130), 스토퍼(140) 및 백 서포트(150)를 센서(210, 220, 230, 240)들을 이용하여 여러 지점에서 센싱한다.(b) 상기 각 센서(210, 220, 230, 240)들은 각 센서와 상기 카세트(100)의 각 변 사이의 거리를 측정하게 된다. 이에 대해서는 이미 상술하였으므로 더 이상의 자세한 설명은 생략한다.

다만, 본 발명에 따른 카세트 검사 방법에 따르면, 상기 센서들은 도 7에 도시된 바와 같이 상기 카세트(100)의 각 변을 높이가 서로 다른 세 지점 이상에서 각각 센싱하도록 배치되는 것이 바람직하다. 참고로, 도 7에는 세 개의 제1 센서(210: 211, 212, 213)들이 상기 카세트(100)의 사이드 바(130)의 하단, 중간, 상단 등 세 지점을 각각 센싱하도록 배치된 예가 도시 되어 있다. 이하에서는 도 7 의 예를 참조하여 설명한다.

센싱이 완료되면, 제어부(300)는 상기 센서(211, 212, 213)들에서 측정된 데이터에 기초하여, 상기 카세트(100)의 각 변을, 예를 들어 도 7의 사이드 바(130), 각각 가상으로 정렬한다.(c) 여기서, 각 변을 가상으로 정렬하는 방법은 다음과 같다.

상기 카세트(100)의 각 변 들 중 어느 하나의 변, 예를 들면 도 7의 사이드 바(130)를 가상 정렬하는 방법을 살펴보자.

먼저, 상기 어느 하나의 변, 즉 사이드 바(130)를 동시에 센싱하는 여러 개의 센서(211, 212, 213)들 중에서 어느 하나가 측정한 거리를 보정 상수로 결정한다. 예를 들어, 상기 어느 하나의 변, 즉 도 7의 사이드 바(130)를 센싱하는 여러 개의 센서(211, 212, 213)들 중에서 가장 아래에 배치된 센서(211)가 측정한 제1 거리 값(X)를 보정 상수로 결정하자.

상기 사이드 바(130)의 중간을 센싱하는 센서(212)에서 측정한 제2 거리 값은 (X+a)로 표현되며, 상기 사이드 바(130)의 상단을 센싱하는 센서(213)에서 측정한 제3 거리 값은 (X+b)로 표현된다.

상기 사이드 바(130)를 가상 정렬하기 위해, 상기 센서(212)와 센서(213)이 각각 측정한 제2 거리 값(X+a) 및 제3 거리 값(X+b)에서 상기 센서(211)이 측정한 제1 거리 값(X), 즉 상기 보정 상수를 뺀다.

그러면, 상기 사이드 바(130)의 하단은 도 7에 도시된 바와 같이 가상정렬선에 정확하게 위치하게 되고, 상기 사이드 바(130)의 중간은 상기 가상정렬선에서 거리(a) 만큼 벗어난 위치에 가상으로 정렬되며, 상기 사이드 바(130)의 상단 부분은 상기 가상정렬선에서 거리(b) 만큼 벗어난 위치에 가상으로 정렬된다.

상기한 방법으로 각 변, 예를 들어 사이드 바(130)가 가상으로 정렬되면, 상기 가상 정렬된 각 변, 예를 들어 사이드 바(130)의 변형 량을 계산한다.(d)

여기서, 상기 사이드 바(130)의 각 지점의 변형 량은, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 가상정렬선에서부터 센싱된 각 지점들까지의 거리 값들, 즉 각 센서(211, 212, 213)가 측정한 거리 값(X, X+a, X+b)들에서 상기 보정 상수(X)를 빼낸 보정 값(0, a, b)이 된다. 즉 상기 보정 값을 통해 각 지점의 변형 량을 알 수 있으며, 각 지점의 변형 량을 종합함으로써 하나의 변, 예를 들면 사이드 바(130)의 변형 형태 및 정도를 알 수 있게 된다.

이에 대해 구체적인 예를 들어 좀더 상세히 설명한다.

도 8에 도시된 바와 같이, 상기 센서(211)에서 측정된 제1 거리 값이 (-)5.3, 센서(212)에서 측정된 제2 거리 값이 (-)4.1, 그리고 센서(213)에서 측정된 제3 거리 값이 (-)6.1이라고 하자. 그리고, 상기 센서(211)에서 측정된 제1 거리 값을 보정 상수로 결정한 후, 상기 제1 내지 제3 거리 값 들에서 상기 보정 상수를 뺀다. 그러면, 사이드 바(130)의 하단은 변형 량이 0, 중간은 변형 량이 1.2, 그리고 상단은 변형 량이 (-)0.8이 된다.

상기 센서(212)에 의해 측정된 사이드 바(130)의 중간 지점의 변형 량은 양의 값을 가지며, 상기 센서(213)에 의해 측정된 사이드 바(130)의 상단 지점의 변형 량은 음의 값을 가지게 된다.

따라서, 제어부(300)는 도 8에 도시된 바와 같이 상기 변형 량이 양의 값을 가지는 사이드 바(130)의 중간 지점은 가상 정렬된 지점, 즉 상기 가상정렬선 보다 카세트(100)의 외측으로 돌출된 것으로 판정한다. 그리고, 상기 제어부(300)는 상기 변형 량이 음의 값을 가지는 사이드 바(130)의 상단 지점은 가상 정렬된 지점보다 카세트의 내측으로 돌출된 것으로 판정한다.

이에 따라 상기 도 8에 도시된 예에서, 상기 제어부(300)는 상기 사이드 바(130)의 중간은 외측으로, 상단은 내측으로 휘어진 형상을 가진 것으로 판정하게 되는 것이다.

상기한 바와 같이 사이드 바(130)를 가상으로 정렬한 후 각 지점의 변형 량을 계산하고 변형 형태를 판정한 것처럼, 상판(110), 하판(120), 스토퍼(140) 및 백 서포트(150) 등 카세트(100)의 다른 변들을 가상 정렬한 후 이들의 각 지점의 변형 량을 계산하면, 카세트(100)의 전체적인 변형 량 및 변형 형태를 알 수 있게 된다.

상기한 방법으로 카세트(100)의 각 변의 변형 량이 얻어지면, 상기 각 변의 변형 량과 제어부(300)에 미리 저장된 각 변의 허용 오차를 각각 비교하여 상기 카세트(100)의 양부 여부를 판정한다.

상기와 같이 판정이 완료되면, 그 결과는 상기에서 설명된 바와 같이 저장된 후 외부로 출력된다. 그리고 검사가 완료된 카세트(100)를 외부로 출고하면 카세트(100) 검사를 위한 모든 절차가 완료된다.

상기에서 몇몇의 실시예가 설명되었음에도 불구하고, 본 발명이 이의 취지 및 범주에서 벗어남 없이 다른 여러 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다.

따라서, 상술된 실시예는 제한적인것이 아닌 예시적인 것으로 여겨져야 하며, 첨부된 청구항 및 이의 동등 범위 내의 모든 실시예는 본 발명의 범주 내에 포함된다.

상기한 바와 같이 본 발명에 따른 카세트 검사 방법을 이용하면, 간단한 가상 정렬 프로그램이 입력된 제어부가 카세트를 가상으로 정렬한 후 카세트의 각 변의 변형 량을 자동으로 계산하고 카세트의 양부를 판정해 준다.

따라서, 카세트 검사 장치에 별도의 정렬 장치를 구비하지 않아도 되며, 이에 따라 설비 비용 및 유지 보수 비용이 감소된다.

그리고 협소한 장소에 센서들만 설치함으로써 카세트를 검사할 수 있어 생산 공장의 공간 활용 효율성을 높일 수 있다.

또한, 카세트를 강제 정렬할 필요가 없기 때문에 강제 정렬시 발생하는 마모 및 찌그러짐 등의 손상을 방지할 수 있어 카세트의 수명이 보장된다.

뿐만 아니라, 카세트 정렬 시간이 없기 때문에 짧은 시간 내에 카세트를 검사할 수 있어 생산성이 향상된다.

Claims (8)

1. (a) 기판이 수납되는 카세트를 검사대에 안치하는 단계;

   (b) 상기 카세트의 각 변을 센서들을 이용하여 여러 지점에서 센싱하는 단계;

   (c) 상기 센서들에서 측정된 데이터에 기초하여 상기 카세트의 각 변을 각각 가상으로 정렬하는 단계;

   (d) 가상으로 정렬된 각 변의 변형 량을 각각 계산하는 단계;

   (e) 상기 각 변의 변형 량과 미리 저장된 각 변의 허용 오차를 각각 비교하여 상기 카세트의 양부를 판정하는 단계를 포함하여 이루어진 카세트 검사 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 센서들은, 각 센서와 상기 카세트의 각 변과의 거리를 측정하는 것을 특징으로 하는 카세트 검사 방법.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 센서들은 상기 카세트의 각 변을 높이가 서로 다른 세 지점 이상에서 각각 센싱하도록 배치된 것을 특징으로 하는 카세트 검사 방법.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 (c) 단계에서 상기 카세트의 각 변 들 중 어느 하나의 변은,

   상기 어느 하나의 변을 동시에 센싱하는 여러 개의 센서들 중에서 어느 하나가 측정한 거리를 보정 상수로 결정하고, 상기 어느 하나의 변을 동시에 센싱하는 각 센서들이 측정한 각 거리 값에서 상기 보정 상수를 빼내는 방법으로 가상 정렬되는 것을 특징으로 하는 카세트 검사 방법.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 어느 하나의 변을 동시에 센싱하는 여러 개의 센서들 중에서 가장 아래에 배치된 센서가 측정한 거리 값이 상기 어느 하나의 변의 보정 상수로 결정되는 것을 특징으로 하는 카세트 검사 방법.
6. 제 4 항에 있어서,

   상기 (d) 단계에서, 상기 변형 량은, 상기 각 센서가 측정한 거리 값에서 상기 보정 상수를 빼낸 보정 값인 것을 특징으로 하는 카세트 검사 방법.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 센서에 의해 측정된 지점의 변형 량이 양의 값일 경우, 상기 지점은 가상 정렬된 지점보다 카세트의 외측으로 돌출된 것으로 판정하는 것을 특징으로 하는 카세트 검사 방법.
8. 제 6 항에 있어서,

   상기 센서에 의해 측정된 지점의 변형 량이 음의 값일 경우, 상기 지점은 가상 정렬된 지점보다 카세트의 내측으로 돌출된 것으로 판정하는 것을 특징으로 하는 카세트 검사 방법.

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