KR100652054B1 - 자동 반송 장치와 장비 사이의 카세트 전달 안내 시스템및 안내 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 카세트를 자동 반송 장치에서 장비로 정확하게 전달될 수 있도록 안내하는 시스템 및 안내 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일형태에서는, 상기 자동 반송 장치가 상기 장비 앞의 정확한 위치에 정지하도록 안내하는 제1 수단; 그리고 상기 자동 반송 장치의 로봇 암이 상기 카세트를 상기 장비에 옮기거나 장비로부터 옮겨올 때 상기 장비 측으로 진입한 로봇 암의 위치 보정을 안내하는 제2 수단을 포함하여 이루어진 자동 반송 장치와 장비 사이의 카세트 전달 안내 시스템을 제공한다. 본 발명의 다른 형태에서는, (a) 장비에 접근한 자동 반송 장치가, 상기 장비와 자동 반송 장치에 구비된 제1 수단의 안내에 따라, 상기 장비 앞에 정지하는 단계; (b) 상기 장비의 안착부 상측으로 상기 자동 반송 장치의 로봇 암을 뻗치는 단계; (c) 상기 로봇 암의 위치를, 상기 장비와 자동 반송 장치에 구비된 제2 수단의 안내에 따라, 정확하게 보정하는 단계; 그리고 (d) 위치가 보정된 로봇 암이 상기 장비의 안착부에 카세트를 정확히 언로딩하거나 상기 안착부에 올려진 카세트를 로딩하는 단계를 포함하여 이루어진 자동 반송 장치와 장비 사이의 카세트 전달 안내 방법을 제공한다.

LCD, 카세트, 자동 반송 장치, 장비, 로봇 암, 위치 보정

Description

자동 반송 장치와 장비 사이의 카세트 전달 안내 시스템 및 안내 방법{Guiding system for transferring cassatte between automatic guided vehicle and equipment and guiding method for transferring the cassatte}

도 1은 일반적인 액정표시패널의 일부를 나타낸 분해 사시도;

도 2는 일반적인 카세트 반송 경로를 설명하기 위한 개도요;

도 3은 LCD 제조 공정을 수행하는 장비의 일반적인 구조를 나타낸 정면도;

도 4는 자동 반송 장치가 장비 앞에서 정지 위치를 결정하기 위해 장비와 통신하는 모습을 나타낸 평면도;

도 5는 도 3의 장비에 마크 플레이트가 정확하게 부착되었을 때 자동 반송 장치가 장비에 카세트를 정확하게 언로딩한 모습을 설명하기 위한 평면도;

도 6은 도 3의 장비에 마크 플레이트가 부정확하게 부착되었을 때 자동 반송 장치가 장비에 카세트를 부정확하게 언로딩한 모습을 설명하기 위한 평면도;

도 7은 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템을 나타낸 개요도;

도 8은 도 7의 자동 반송 장치를 나타낸 정면도;

도 9는 도 7의 자동 반송 장치가 장비에 카세트를 언로딩하는 모습을 나타낸 측면도;

도 10은 본 발명에 따른 장비의 안착부 상면에 제2 마크 플레이트가 장착된 모습을 나타낸 평면도;

도 11은 본 발명에 따른 자동 반송 장치에서 로봇 암의 슬라이더에 센서가 장착된 모습을 나타낸 저면도; 그리고

도 12는 본 발명에 따른 자동 반송 장치가 본 발명에 따른 장비에 카세트를 정확히 언로딩하는 모습을 설명하기 위한 평면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

101: 제1 호스트 102: 제2 호스트

103: 제3 호스트 104: 제4 호스트

105: 제5 호스트 150: 카세트

200: 장비 230: 안착부

250: 제1 마크 플레이트 260: 제2 마크 플레이트

300: 자동 반송 장치 310: 주행부

320: 탑재부 330: 로봇 암

331: 주축 335: 슬라이더

340: 제1 센서 350: 제2 센서

400: 스토커

본 발명은 LCD 제조 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판이 탑재된 카 세트를 반송하는 자동 반송 장치에서 LCD를 제조하는 공정에 사용되는 장비로 카세트가 정확하게 전달될 수 있도록 안내하는 시스템 및 안내 방법에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.

이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 도 1에 도시된 바와 같이 공간을 갖고 합착된 제1 및 제2 기판(1, 2)과, 상기 제1 및 제2 기판(1, 2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성된다.

여기서, 상기 제 1 기판(1)(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인(4)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인(5)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차되어 정의된 각 화소영역(P)에 매트릭스 형태로 형 성되는 복수개의 화소 전극(6)과 상기 게이트 라인(4)의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인(5)의 신호를 상기 각 화소 전극(P)에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.

그리고 제 2 기판(2)(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층(8)과 화상을 구현하기 위한 공통 전극(9)이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 기판에 형성되어 있다.

상기한 구조를 가지는 액정표시장치는 상기 제 1 기판(1)에 박막트랜지스터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 2 기판(2)에 칼라필터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 1 및 제 2 기판(1, 2)을 합착하는 공정, 상기 합착된 두 기판 사이에 액정을 주입한 후 밀봉하는 공정, 액정이 주입된 각 액정패널을 테스트한 후 수리(repair)하는 공정, 그리고 양품의 액정패널에 백 라이트 등을 장착하고 구동회로를 장착하여 액정표시모듈을 제조하는 공정 등을 통해 제조된다.

상기한 바와 같이 기판은 여러 가지 공정을 거치게 되어 액정표시장치로서 완성되며, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 기판을 각 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들에 운반하기 위해서 자동 반송 장치(30)(Automatic guided vehicle)가 사용된다. 이때, 상기 자동 반송 장치(30)의 반송 효율을 높이기 위해 상기 기판들을 다수개 수납할 수 있는 카세트(10)에 수납한 뒤, 상기 카세트(10)를 상기 자동 반송 장치(30)가 반송하게 된다.

따라서, 상기 자동 반송 장치(30)는 카세트(10)가 임시로 저장된 스토커(40) 와 각 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들 사이를 왕복하면서 상기 카세트(10)를 상기 스토커(40)에서 각 장비(20a, 20b)들로, 그리고 각 장비(20a, 20b)들에서 상기 스토커(40)로 각각 반송하게 된다. 이를 위해, 생산 라인의 바닥에는 상기 자동 반송 장치(30)가 정해진 경로를 따라 이동할 수 있도록 안내해주는 레일(11)이 제공된다.

그런데, 카세트(10)를 탑재한 자동 반송 장치(30)가 상기 각 장비(20a, 20b)들에게 카세트(10)를 정확하게 전달하기 위해서는, 상기 자동 반송 장치(30)가 상기 장비(20a, 20b) 앞의 정확한 위치에 정지된 상태에서 카세트(10)를 각 장비(20a, 20b)의 안착부(21)에 정확하게 언로딩(unloading)할 수 있어야 한다.

이를 위해 상기 장비(20a, 20b)의 일면에는 도 3에 도시된 바와 같이 마크 플레이트(25)가 장착되며, 상기 자동 반송 장치(30)에는 도 4에 도시된 바와 같이 센서(34)가 구비된다. 따라서, 상기 자동 반송 장치(30)는 도 4에 도시된 바와 같이 센서(34)를 통해서 상기 장비(20a, 20b)의 마크 플레이트(25)에 있는 바 코드(25a)(bar code)를 읽어 들인 후 카세트(10)를 장비(20a, 20b)에 정확하게 언로딩하기 위해서 정지해야할 정확한 위치를 결정하게 된다.

상기한 바와 같이 상기 마크 플레이트(25)는 상기 자동 반송 장치(30)가 정확한 위치에 정지할 수 있도록 안내해주는 매우 중요한 역할을 한다. 그런데 만약, 상기 마크 플레이트(25)가 상기 장비(20a, 20b)에 정확하게 부착되었다면, 도 5에 도시된 바와 같이 자동 반송 장치(30)의 로봇 암(31)은 정확한 위치에서 장비(20a, 20b) 측으로 진입하여 카세트(10)를 상기 장비(20a, 20b)의 안착부(21)에 정확하게 언로딩할 수 있다.

그러나 만약, 상기 장비(20a, 20b)의 일면에 장착된 마크 플레이트(25)의 수평 및 수직 위치가 정확하지 않다면, 상기 센서(34)를 통해서 상기 마크 플레이트(25)를 읽어들인 자동 반송 장치(30)는 정확한 위치에 정지할 수 없게 된다. 이 경우, 상기 자동 반송 장치(30)의 로봇 암(31)은 도 6에 도시된 바와 같이 부정확한 위치에서 상기 장비(20a, 20b)측으로 진입하게 되고, 따라서 상기 카세트(10)는 상기 장비(20a, 20b)의 안착부(21)에 정확하게 언로딩되지 않는다. 이 경우, 카세트(10)가 떨어져 기판들이 파손되거나, 생산 시스템이 에러를 발생시키게 된다. 에러가 발생되면 작업자가 수작업을 통해 문제를 해결해야 하므로 생산 라인이 원활하게 운영되지 못해 생산성이 저하되는 문제를 야기한다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 기판이 탑재된 카세트를 자동 반송 장치에서 장비로, 또는 장비에서 자동 반송 장치로 정확하게 전달될 수 있도록 안내하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 형태에서는, 기판이 수납된 카세트가 탑재된 자동 반송 장치와 공정을 수행하는 장비에 구비되고, 상기 자동 반송 장치가 상기 장비 앞의 정확한 위치에 정지하도록 안내하는 제1 수단; 그리고 상기 자동 반송 장치와 상기 장비에 구비되고, 상기 자동 반송 장치의 로봇 암이 상기 카세트를 상기 장비에 옮기거나 장비로부터 옮겨올 때 상기 장비 측으로 진입한 로 봇 암의 위치 보정을 안내하는 제2 수단을 포함하여 이루어진 자동 반송 장치와 장비 사이의 카세트 전달 안내 시스템을 제공한다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 제1 수단은, 상기 장비의 일측에 부착되는 제1 마크 플레이트; 그리고 상기 자동 반송 장치의 일측에 구비되고, 상기 제1 마크 플레이트를 읽어 들임으로써 상기 자동 반송 장치의 정확한 정지 위치를 안내하는 제1 센서를 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 제1 마크 플레이트에는 바 코드가 구비된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제2 수단은, 상기 카세트가 탑재되는 장비의 안착부에 부착되는 제2 마크 플레이트; 그리고 상기 로봇 암의 일측에 구비되고, 상기 제2 마크 플레이트를 읽어들임으로써 상기 로봇 암의 위치 보정을 안내하는 제2 센서를 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 제2 마크 플레이트에는 바 코드가 구비된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제2 마크 플레이트는 상기 안착부의 상면에 부착되고, 상기 제2 센서는 상기 로봇 암의 하면에 구비된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 자동 반송 장치는 상기 제2 수단을 통해 얻은 정보를 기초로 상기 자동 반송 장치가 이동함으로써 상기 로봇 암의 위치를 보정한다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 자동 반송 장치는 상기 제2 수단을 통해 얻은 정보를 기초로 상기 로봇 암의 일부를 움직여서 상기 로봇 암의 위치를 보정한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 일 형태에서는, (a) 장비에 접근한 자동 반송 장치가, 상기 장비와 자동 반송 장치에 구비된 제1 수단의 안내에 따라, 상기 장비 앞에 정지하는 단계; (b) 상기 장비의 안착부 상측으로 상기 자동 반송 장치의 로봇 암을 뻗치는 단계; (c) 상기 로봇 암의 위치를, 상기 장비와 자동 반송 장치에 구비된 제2 수단의 안내에 따라, 정확하게 보정하는 단계; 그리고 (d) 위치가 보정된 로봇 암이 상기 장비의 안착부에 카세트를 정확히 언로딩하거나 상기 안착부에 올려진 카세트를 로딩하는 단계를 포함하여 이루어진 자동 반송 장치와 장비 사이의 카세트 전달 안내 방법을 제공한다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 (a) 단계는; (a1) 장비에 접근한 자동 반송 장치가 일측에 구비된 제1 센서를 이용하여 상기 장비에 구비된 제1 마크 플레이트를 읽어들이는 단계; 그리고 (a2) 상기 제1 센서에서 읽어들인 정보를 기초로 상기 자동 반송 장치가 상기 장비 앞에 정지하는 단계를 포함하여 이루어진다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제2 수단은, 상기 카세트가 탑재되는 장비의 안착부에 부착되는 제2 마크 플레이트; 그리고 상기 로봇 암의 일측에 구비되고, 상기 제2 마크 플레이트를 읽어들임으로써 상기 로봇 암의 위치 보정을 안내하는 제2 센서를 포함하여 이루어진다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 (c) 단계는; 제2 센서가 상기 제2 마크 플레이트로부터 읽은 정보를 기초로, 상기 자동 반송 장치가 이동하여 상기 로봇 암의 위치를 보정하는 방법으로 이루어진다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 (c) 단계는; 제2 센서가 상기 제2 마크 플레이트로부터 읽은 정보를 기초로, 로봇 암의 일부를 움직여서 상기 로봇 암의 위치를 보정하는 방법으로 이루어진다.

이하 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 부호가 사용되며, 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.

먼저, 도 7을 참조하여 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템을 간단히 설명한다.

제1 호스트(101)는 카세트(150)를 이동시키는 반송 명령을 작업자(operator)로부터 접수하는 최상위 호스트이다. 작업자가 상기 제1 호스트(101)에 반송 명령을 입력하면, 상기 제1 호스트(101)는 상기 반송 명령을 제2 호스트(102)와 제3 호스트(103)로 전달한다.

상기 제2 호스트(102)는 상기 제1 호스트(101) 및 제3 호스트(103)와 통신하며, 임의의 공정을 수행하는 장비(200)를 통제한다. 상기 제1 호스트(101)에서 상기 제2 호스트(102)로 전송된 반송 명령은 상기 장비(200)에 전달된다.

상기 제3 호스트(103)는 상기 제1 호스트(101) 및 제2 호스트(102)와 통신하며, 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)를 통제한다. 상기 제1 호스트(101)에서 상기 제3 호스트(103)로 전송된 반송 명령은 상기 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)로 전달된다.

상기 제4 호스트(104)는 상기 제3 호스트(103)와 통신하며, 자동 반송 장치(300)(Automatic guided vehicle)의 동작을 제어한다. 물론, 상기 제4 호스트(104)에 수신된 반송 명령은 상기 자동 반송 장치(300)에 전달된다.

상기 제5 호스트(105)는 상기 제3 호스트(103)와 통신하며, 다수 개의 기판(glasses) 들이 탑재된 카세트(150)를 다수개 저장하는 스토커(400)(stocker)를 통제한다. 물론, 상기 제5 호스트(105)에 수신된 반송 명령은 상기 스토커(400)에 전달된다.

한편, 상기 스토커(400)는 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(150) 들을 다음 공정을 수행하는 다른 임의의 장비로 공급하기 전에, 각 공정을 수행하는 각 장비들의 기판 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위해, 상기 카세트(150)를 임시로 보관하는 설비이다. 따라서, 임의의 장비에서 소정 공정을 마친 기판들이 탑재된 카세트(150)들은 상기 스토커(400)에 임시로 저장된 후 다른 공정을 수행하는 다른 장비에 공급된다.

상기한 기능을 수행하는, 상기 스토커(400)에는 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(150)가 입고되는 입력 포트(410)(input port), 상기 카세트(150)들을 저장하는 다수의 선반(미도시)들, 상기 카세트(150)가 출고되는 출력 포트(420)(output port), 그리고 상기 입력 포트(410)와 선반 사이 및 상기 선반과 출력 포트(420) 사이를 이동하면서 상기 스토커(400) 내에서 상기 카세트(150)를 운반하는 스태커 로봇(미도시)을 포함하여 이루어진다.

한편, 상기와 같이 다수 개의 카세트(150)를 오차 없이 처리 하기 위해서 각 카세트(150)들은 고유의 ID 정보를 가지고 있으며, 상기 스토커(400)는 상기 각 카 세트(150)들의 각 ID 정보를 확인 한 후 상기 선반에 저장하게 된다.

이를 위해, 상기 스토커(400)의 입력 포트(410)에는 상기 카세트(150)의 ID 정보를 확인할 수 있는 리더기(430)가 구비된다. 또한, 상기 카세트(150)의 일측, 예를 들면 정면에는 상부와 하부 중 적어도 어느 한 곳 이상에 해당 카세트(150)의 ID 정보가 기록된 ID 표시부(151)가 구비된다. 본 발명에서는 상기 ID 표시부(151)의 일 례로써, 바 코드(bar code)를 제시한다.

따라서, 상기 리더기(430)가 상기 ID 표시부(151)를 읽음으로써 상기 스토커(400)는 입고되는 카세트(150)의 ID 정보를 확인 할 수 있게 된다. 그리고, 상기 카세트(150)를 출고할 때에는 상기 스토커(400)에 수신된 반송 정보와 일치하는 ID 정보를 가진 카세트(150)의 저장 위치를 확인한 후 상기 스태커 로봇을 이용하여 선반으로부터 출력 포트(420)로 카세트(150)를 운송하게 된다.

한편, 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 제4 호스트(104)의 제어에 따라, 상기 카세트(150)를 상기 장비(200)에서 상기 스토커(400)의 입력 포트(410)로, 그리고 상기 스토커(400)의 상기 출력 포트(420)에서 다른 장비(200)로 반송한다.

이러한 역할을 하는 상기 자동 반송 장치(300)는 도 8에 도시된 바와 같이 상기 제4 호스트(104)의 제어에 따라 정해진 구간을 운행하는 주행부(310), 그리고 상기 주행부(310)의 상부에 구비되며, 상기 카세트(150)가 올려지는 탑재부(320), 그리고 로봇 암(330)을 포함하여 이루어진다.

여기서, 상기 탑재부(320)에는 상기 카세트(150)가 정확히 탑재될 수 있도록 안내하고, 탑재된 카세트(150)가 상기 주행부(310)의 이동시 움직이지 않도록 고정 하는 가이드 블록(321)이 구비된다.

상기 로봇 암(330)은 상기 카세트(150)를 상기 탑재부(320)에 로딩(loading)하거나, 상기 탑재부(320)로부터 언로딩(unloading)한다. 여기서, 상기 로봇 암(330)은 상기 주행부(310)의 상부에 장착되고 상하 방향으로 이동하거나 회전할 수 있는 주축(331), 그리고 상기 주축(331)에 장착되고 수평 방향으로 신축될 수 있는 슬라이더(335)를 포함하여 이루어진다.

상기와 같이 자동 반송 장치(300)에 로봇 암(330)이 구비되면, 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 장비(200), 그리고 스토커(400)의 입력 포트(410) 및 출력 포트(420)에 있는 카세트(150)를 직접 상기 탑재부(320)에 로딩하거나, 상기 탑재부(320)에 로딩된 카세트(150)를 상기 장비(200) 및 스토커(400)에 언로딩할 수 있게 된다.

한편, 상기 자동 반송 장치(300)는 카세트(150)를 반송할 때, 상기 스토커(400)의 입력 포트(410) 및 출력 포트(420), 또는 장비(200) 앞에 정확히 위치할 수 있어야 한다. 이를 위해서 상기 자동 반송 장치(300)에는 상기 자동 반송 장치(300)와 상기 장비(200)에 구비되어, 상기 자동 반송 장치(300)가 상기 장비(200) 앞의 정확한 위치에 정지하도록 안내하는 제1 수단이 구비된다.

상기 제1 수단은, 상기 장비(200)에 구비되는 제1 마크 플레이트(250)와 상기 자동 반송 장치(300)에 구비되는 제1 센서(340)를 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 제1 마크 플레이트(250)는 상기 장비(200)의 일면, 좀더 상세하게는 상기 카세트(150)가 탑재되는 안착부(230)의 아래에 위치한 장비(200)의 일면에 부착된 다. 여기서, 상기 제1 마크 플레이트(250)에는 바코드(251)가 구비된다.

그리고 상기 제1 센서(340)는 상기 자동 반송 장치(300)가 상기 장비(200) 근처에 진입하였을 때 상기 제1 마크 플레이트(250)를 읽을 수 있도록, 상기 장비(200)와 마주보는 일면에 구비된다. 따라서, 상기 제1 센서(340)는 상기 제1 마크 플레이트(250) 위에 구비된 바코드(251)를 읽어 들임으로써 상기 자동 반송 장치(300)가 상기 장비(200) 앞에 정확하게 위치하도록 돕는다.

상기 장비(200) 앞에 정지된 자동 반송 장치(300)는 도 9에 도시된 바와 같이 로봇 암(330), 좀더 상세하게는 슬라이더(335)를 상기 장비(200) 측의 안착부(230)로 뻗은 후 상기 슬라이더(335) 위에 있는 카세트(150)를 상기 장비(200)의 안착부(230)에 언로딩하거나, 상기 장비(200)의 안착부(230)에 탑재된 카세트(150)를 로딩하게 된다.

이때, 상기 제1 마크 플레이트(250)가 부정확하게 부착된 경우, 상기 자동 반송 장치(300)는 정확한 위치에서 상기 카세트(150)를 장비(200)로 로딩하거나 언로딩할 수 없다. 따라서, 본 발명에는 상기 안착부(230) 위쪽으로 뻗은 로봇 암(330)의 위치를 정확하게 보정할 수 있도록 안내하는 제2 수단이 구비된다.

좀더 상세하게 말하면, 상기 제2 수단은, 상기 자동 반송 장치(300)와 상기 장비(200)에 구비되어, 상기 자동 반송 장치(300)의 로봇 암(330)이 상기 카세트(150)를 상기 장비(200)에 옮기거나 상기 장비(200)로부터 옮겨올 때 상기 장비(200) 측으로 진입한 로봇 암(330)의 위치 보정을 안내하는 역할을 한다.

상기한 역할을 하는 상기 제2 수단은, 상기 장비(200)에 구비되는 제2 마크 플레이트(260)와 상기 자동 반송 장치(300), 좀더 상세하게는 로봇 암(330)에 구비되는 제2 센서(350)를 포함하여 이루어진다.

여기서, 상기 제2 마크 플레이트(260)는 상기 카세트(150)가 탑재되는 장비(200)의 안착부(230)의 일면, 좀더 상세하게는 도 10에 도시된 바와 같이 상기 안착부(230)의 상면에 부착된다. 이러한 제2 마크 플레이트(260)에는 바코드(261)가 구비된다.

그리고 상기 제2 센서(350)는 상기 로봇 암(330)이 상기 장비(200)의 안착부(230) 상부로 뻗쳐있을 때 상기 제2 마크 플레이트(260)를 읽을 수 있도록 상기 로봇 암(330)의 일측, 좀더 상세하게는 도 11에 도시된 바와 같이 상기 로봇 암(330)의 슬라이더(335) 하면에 구비된다.

상기와 같이 제2 수단이 구비되면, 상기 제1 수단의 안내에 따라 장비(200) 앞에 정지한 후 장비(200)측으로 뻗은 로봇 암(330)의 위치를 최종적으로 정확하게 보정한 후 카세트(150)를 상기 안착부(230)에 정확하게 언로딩하거나, 안착부(230)에 탑재된 카세트(150)를 상기 로봇 암(330)에 로딩할 수 있게 된다.

여기서, 상기 로봇 암(330)의 위치 보정은, 상기 제2 수단을 통해 얻은 정보를 기초로, 상기 자동 반송 장치(300)가 그 위치를 약간 이동하거나, 상기 자동 반송 장치(300)는 정지한 상태에서 상기 로봇 암(330)의 일부를 움직이는 방법을 통해서 이루어질 수 있을 것이다.

상기 자동 반송 장치(300)가 그 위치를 약간 이동하게 되면, 상기 로봇 암(330) 또한 상기 자동 반송 장치(300)와 함께 그 위치가 이동하게 된다. 따라서, 이러한 방법을 통해 상기 로봇 암(330)의 위치를 보정할 수 있을 것이다.

그리고 상기 자동 반송 장치(300)가 정지한 상태에서, 도 12에 도시된 바와 같이 상기 카세트(150)가 탑재되거나 탑재되어야할 로봇 암(330)의 일부, 좀더 상세하게는 로봇 암(330)의 최단부에 위치한 슬라이더(335) 만 움직이게 되면, 상기 자동 반송 장치(300)가 이동하지 않더라도 도 12에 도시된 바와 같이 상기 카세트(150)를 상기 안착부(230)에 정확하게 언로딩하거나 안착부(230)로부터 로딩할 수 있게 된다. 이 경우에는, 상기 로봇 암(330)의 최단부에 위치한 슬라이더(335)를 다른 슬라이더에 대해서 회전시킬 수 있는 구조로 제작하는 구조 변경이 필요하다.

이하에서는 상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템이 작동하는 과정을 설명한다. 여기서, 상기 자동 반송 장치(300)는 카세트(150)를 상기 스토커(400)로부터 장비(200)에 반송하는 과정에 대해 설명한다. 그러나, 상기 자동 반송 장치(300)가 상기 카세트(150)를 상기 장비(200)로부터 상기 스토커(400)로 반송하는 과정 또한 유사함을 밝혀 둔다.

먼저, 작업자(operator)가 반송할 카세트(150)의 ID를 확인한 후 상기 제1 호스트(101)에 해당 카세트(150)의 반송 명령을 입력하면, 상기 제1 호스트(101)는 상기 제2 호스트(102)와 제3 호스트(103)에 상기 반송 명령을 내린다.

반송 명령을 받은 제2 호스트(102)는 이를 상기 장비(200)에 전달하고, 상기 제3 호스트(103)는 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)에 전달한다. 그리고, 제4 호스트(104)는 상기 반송 명령을 상기 자동 반송 장치(300)에 전달하고, 상기 제5 호스트(105)는 상기 스토커(400)에 전달한다.

상기 반송 명령을 전달받은 스토커(400)는 스태커 로봇을 제어하여 해당 카세트(150)를 출력 포트(420)로 운반한다. 그리고 반송 명령을 받은 자동 반송 장치(300)는 상기 스토커(400) 앞으로 이동하여 상기 출력 포트(420)에 놓인 카세트(150)를 탑재부(320)에 로딩한다.

상기 카세트(150)를 로딩한 자동 반송 장치(300)는 상기 장비(200)로 이동한다. 상기 장비(250)로 접근한 자동 반송 장치(300)는 상기 제1 수단의 안내에 따라 상기 장비(200) 앞에 정지한다. (a) 이때, 상기 장비(200)에 접근한 자동 반송 장치(300)는 일측에 구비된 제1 센서(340)를 이용하여 상기 장비(200)에 구비된 제1 마크 플레이트(250)를 읽어들이고 (a1), 상기 제1 센서(340)에서 읽어들인 정보를 기초로 상기 장비(200) 앞의 정확한 위치에 정지하게 된다.(a2)

상기 장비(200) 앞에 정지한 자동 반송 장치(300)는 도 9에 도시된 바와 같이 장비(200)의 안착부(230) 상측으로 로봇 암(330)을 뻗친다. (b) 도 9에는 상기 자동 반송 장치(300)가 카세트(150)를 상기 장비(200)로 반송하는 예가 도시되어 있다.

로봇 암(330)이 뻗쳐지면, 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 제2 수단의 안내에 따라 상기 로봇 암(330)이 상기 안착부(230) 위에 정확하게 위치하도록 로봇 암(330)의 위치를 보정한다. (c) 이때, 상기 로봇 암(330)은, 상기한 바와 같이 상기 제2 센서(350)가 상기 제2 마크 플레이트(260)로부터 읽은 정보를 기초로, 상기 자동 반송 장치(300)가 이동하거나, 상기 로봇 암(330)의 일부를 움직이는 방법을 사용하여 그 위치를 정확하게 보정한다.

상기 로봇 암(330)의 위치가 보정되면, 위치가 보정된 로봇 암(330)이 하강하여 상기 장비(200)의 안착부에 카세트를 정확히 언로딩한다. 만약, 상기 자동 반송 장치(300)가 카세트(150)를 상기 장비(200)로부터 상기 스토커(400)로 반송하는 경우에는 상기 로봇 암(330)이 상승하여 상기 안착부에 올려진 카세트(150)를 로딩한다. (d)

한편, 상기 카세트(150)가 상기 장비(200)에 완전히 언로딩되면, 상기 장비(200)는 리더기(210)를 이용하여 상기 카세트(150)에 있는 ID 표시부(151)를 읽어 들인다. 상기 장비(200)의 리더기(210)에서 읽은 카세트(150)의 ID 정보는 상기 제2 호스트(102)로 전송되며, 상기 제2 호스트(102)는 상기 제1 호스트(101)로 부터 전달 받아서 상기 장비(200)로 전송한 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보를 비교한다.

비교 결과, 상기 장비(200)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 일치하면, 상기 장비(200)는 상기 카세트(150)에 탑재된 기판들을 꺼내어 소정 공정을 수행한다.

그러나, 상기 장비(200)와 상기 스토커(400)가 서로 다른 호스트 들로 부터 통제를 받기 때문에 각 통제 라인 중 어느 하나가 오동작을 일으킬 경우, 상기 장비(200)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 불일치할 수 있다. 따라서, 비교 결과, 상기 장비(200)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 불일치하면, 반송 시스템은 경보음을 발생시키고, 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 장비(200)에 언로딩된 카세트(150)를 다시 상기 탑재부(320)에 로딩한다.

상기 카세트(150)를 재 로딩한 자동 반송 장치(300)는 상기 카세트(150)를 상기 스토커(400)로 재 반송한 후 스토커(400)의 입력 포트(410)에 언로딩한다. 그리고, 작업자는 오류가 발생한 제어 라인을 찾아 문제를 해결한 후 상기 제1 호스트(101)에 다시 반송 명령을 입력하면, 상기한 과정의 카세트(150)의 반송 절차가 다시 수행된다.

상기에서 몇몇의 실시예가 설명되었음에도 불구하고, 본 발명이 이의 취지 및 범주에서 벗어남 없이 다른 여러 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 따라서, 상술된 실시예는 제한적인것이 아닌 예시적인 것으로 여겨져야 하며, 첨부된 청구항 및 이의 동등 범위 내의 모든 실시예는 본 발명의 범주 내에 포함된다.

본 발명은 상기 제1 수단이 자동 반송 장치의 정지 위치를 정확하게 안내하고, 상기 제2 수단이 카세트를 로딩하거나 언로딩하기 전에 로봇 암의 위치를 보정해 준다. 그러므로, 상기 자동 반송 장치는 상기 카세트를 상기 장비에 정확하게 로딩하거나 언로딩할 수 있다. 이에 따라, 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. 그리고 반송 시스템이 에러를 발생시키는 것을 방지할 수 있어서 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Claims (14)

1. 기판이 수납된 카세트가 탑재된 자동 반송 장치와 공정을 수행하는 LCD 제조 장비에 구비되고, 상기 자동 반송 장치가 상기 LCD 제조 장비 앞의 정확한 위치에 정지하도록 안내하는 제1 수단; 그리고

   상기 자동 반송 장치와 상기 LCD 제조 장비에 구비되고, 상기 자동 반송 장치의 로봇 암이 상기 카세트를 상기 LCD 제조 장비에 옮기거나 LCD 제조 장비로부터 옮겨올 때 상기 LCD 제조 장비 측으로 진입한 로봇 암의 위치 보정을 안내하는 제2 수단을 포함하여 이루어지며,

   상기 제2 수단은,

   상기 카세트가 탑재되는 장비의 안착부에 부착되는 제2 마크 플레이트; 그리고

   상기 로봇 암의 일측에 구비되고, 상기 제2 마크 플레이트를 읽어들임으로써 상기 로봇 암의 위치 보정을 안내하는 제2 센서를 포함하여 이루어진 자동 반송 장치와 LCD 제조 장비 사이의 카세트 전달 안내 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 제1 수단은,

   상기 LCD 제조 장비의 일측에 부착되는 제1 마크 플레이트; 그리고

   상기 자동 반송 장치의 일측에 구비되고, 상기 제1 마크 플레이트를 읽어 들임으로써 상기 자동 반송 장치의 정확한 정지 위치를 안내하는 제1 센서를 포함하여 이루어진 자동 반송 장치와 LCD 제조 장비 사이의 카세트 전달 안내 시스템.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 제1 마크 플레이트에는 바 코드가 구비된 것을 특징으로 하는 자동 반송 장치와 LCD 제조 장비 사이의 카세트 전달 안내 시스템.
4. 삭제
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 제2 마크 플레이트에는 바 코드가 구비된 것을 특징으로 하는 자동 반송 장치와 LCD 제조 장비 사이의 카세트 전달 안내 시스템.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 제2 마크 플레이트는 상기 안착부의 상면에 부착되고,

   상기 제2 센서는 상기 로봇 암의 하면에 구비된 것을 특징으로하는 자동 반송 장치와 LCD 제조 장비 사이의 카세트 전달 안내 시스템.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 자동 반송 장치는 상기 제2 수단을 통해 얻은 정보를 기초로 상기 자동 반송 장치가 이동함으로써 상기 로봇 암의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 장치와 LCD 제조 장비 사이의 카세트 전달 안내 시스템.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 자동 반송 장치는 상기 제2 수단을 통해 얻은 정보를 기초로 상기 로봇 암의 일부를 움직여서 상기 로봇 암의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 장치와 LCD 제조 장비 사이의 카세트 전달 안내 시스템.
9. (a) LCD 제조 장비에 접근한 자동 반송 장치가, 상기 LCD 제조 장비와 자동 반송 장치에 구비된 제1 수단의 안내에 따라, 상기 LCD 제조 장비 앞에 정지하는 단계;

   (b) 상기 LCD 제조 장비의 안착부 상측으로 상기 자동 반송 장치의 로봇 암을 뻗치는 단계;

   (c) 상기 로봇 암의 위치를, 상기 LCD 제조 장비와 자동 반송 장치에 구비된 제2 수단의 안내에 따라, 정확하게 보정하는 단계; 그리고

   (d) 위치가 보정된 로봇 암이 상기 LCD 제조 장비의 안착부에 카세트를 정확히 언로딩하거나 상기 안착부에 올려진 카세트를 로딩하는 단계를 포함하여 이루어지며,

   상기 제2 수단은,

   상기 카세트가 탑재되는 장비의 안착부에 부착되는 제2 마크 플레이트; 그리고

   상기 로봇 암의 일측에 구비되고, 상기 제2 마크 플레이트를 읽어들임으로써 상기 로봇 암의 위치 보정을 안내하는 제2 센서를 포함하여 이루어진 자동 반송 장치와 LCD 제조 장비 사이의 카세트 전달 안내 방법.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 제1 수단은,

    상기 LCD 제조 장비의 일측에 부착되는 제1 마크 플레이트; 그리고

    상기 자동 반송 장치의 일측에 구비되고, 상기 제1 마크 플레이트를 읽어 들임으로써 상기 자동 반송 장치의 정확한 정지 위치를 안내하는 제1 센서를 포함하여 이루어진 자동 반송 장치와 LCD 제조 장비 사이의 카세트 전달 안내 방법.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 (a) 단계는;

    (a1) LCD 제조 장비에 접근한 자동 반송 장치가 일측에 구비된 제1 센서를 이용하여 상기 LCD 제조 장비에 구비된 제1 마크 플레이트를 읽어들이는 단계; 그리고

    (a2) 상기 제1 센서에서 읽어들인 정보를 기초로 상기 자동 반송 장치가 상기 LCD 제조 장비 앞에 정지하는 단계를 포함하여 이루어진 자동 반송 장치와 LCD 제조 장비 사이의 카세트 전달 안내 방법.
12. 삭제
13. 제 9 항에 있어서,

    상기 (c) 단계는;

    제2 센서가 상기 제2 마크 플레이트로부터 읽은 정보를 기초로, 상기 자동 반송 장치가 이동하여 상기 로봇 암의 위치를 보정하는 방법으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자동 반송 장치와 LCD 제조 장비 사이의 카세트 전달 안내 방법.
14. 제 9 항에 있어서,

    상기 (c) 단계는;

    제2 센서가 상기 제2 마크 플레이트로부터 읽은 정보를 기초로, 로봇 암의 일부를 움직여서 상기 로봇 암의 위치를 보정하는 방법으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자동 반송 장치와 LCD 제조 장비 사이의 카세트 전달 안내 방법.

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