KR20050063222A - 이재 로봇 및 이의 기판 위치 정렬 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 카세트에 수납된 기판을 취출하여 제조 공정을 수행하는 장비로 공급하는 이재 로봇 및 상기 이재 로봇이 기판을 정렬하는 방법에 관한 것이다.

본 발명의 일 형태에서는, 주축에 회전 가능하게 연결되고 수평 방향으로 접히거나 펼쳐지는 암; 상기 암의 일단에 결합되고 기판을 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하는 핸드; 상기 암과 핸드에 구비되고 기판의 위치를 센싱하는 적어도 3개의 센서들; 그리고 상기 암과 핸드를 제어하여 상기 기판의 위치를 보정하는 제어부를 포함하여 이루어진 이재 로봇을 제공한다.

본 발명의 다른 일 형태에서는, (a) 핸드를 카세트 내로 삽입하면서 상기 기판의 삽입 깊이와 틀어짐 정도를 감지하는 단계; (b) 감지된 정보에 따라 상기 핸드의 위치를 보정하고, 상기 핸드가 상기 기판을 로딩(loading)한 후 상기 기판을 상기 카세트로부터 취출하는 단계; (c) 상기 기판을 취출하면서 상기 기판의 좌우 방향 치우침 정도를 감지하는 단계; (d) 상기 핸드가 장비의 스테이지와 마주보도록 상기 암을 회전시킨 후 기판의 좌우 방향 치우침을 보정하는 단계를 포함하여 이루어진 이재 로봇의 기판 위치 정렬 방법을 제공한다.

Description

이재 로봇 및 이의 기판 위치 정렬 방법{Robot for transferring a glass and method for alingning the glass for the same}

본 발명은 LCD 제조 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 카세트에 수납된 기판을 취출하여 제조 공정을 수행하는 장비로 공급하는 이재 로봇 및 상기 이재 로봇이 기판의 위치를 정렬하는 방법에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.

이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 도 1에 도시된 바와 같이 공간을 갖고 합착된 제1 및 제2 기판(1, 2)과, 상기 제1 및 제2 기판(1, 2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성된다.

여기서, 상기 제 1 기판(1)(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인(4)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인(5)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차되어 정의된 각 화소영역(P)에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극(6)과 상기 게이트 라인(4)의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인(5)의 신호를 상기 각 화소 전극(P)에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.

그리고 제 2 기판(2)(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층(8)과 화상을 구현하기 위한 공통 전극(9)이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 기판에 형성되어 있다.

상기한 구조를 가지는 액정표시장치는 상기 제 1 기판(1)에 박막트랜지스터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 2 기판(2)에 칼라필터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 1 및 제 2 기판(1, 2)을 합착하는 공정, 상기 합착된 두 기판 사이에 액정을 주입한 후 밀봉하는 공정, 액정이 주입된 각 액정패널을 테스트한 후 수리(repair)하는 공정, 그리고 양품의 액정패널에 백 라이트 등을 장착하고 구동회로를 장착하여 액정표시모듈을 제조하는 공정 등을 통해 제조된다.

상기한 바와 같이 기판은 여러 가지 공정을 거치게 되어 액정표시장치로서 완성되며, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 기판을 각 공정을 수행하는 장비(21, 22)들에 운반하기 위해서 카세트 반송 장치(30)(Automatic guided vehicle)가 사용된다. 이때, 상기 카세트 반송 장치(30)의 반송 효율을 높이기 위해 상기 기판들을 다수개 수납할 수 있는 카세트(10)에 수납한 뒤, 상기 카세트(10)를 상기 카세트 반송 장치(30)가 반송하게 된다.

따라서, 상기 카세트 반송 장치(30)는 카세트(10)가 임시로 저장된 스토커(40)와 각 공정을 수행하는 장비(21, 22)(processing equipments)들 사이를 왕복하면서 상기 카세트(10)를 상기 스토커(40)에서 각 장비(21, 22)들로, 그리고 각 장비(21, 22)들에서 상기 스토커(40)로 각각 반송하게 된다. 이를 위해, 생산 라인의 바닥에는 상기 카세트 반송 장치(30)가 정해진 경로를 따라 이동할 수 있도록 안내해주는 레일(11)이 제공된다.

한편, 상기 각 장비(21, 22)에는 도 2에 도시된 바와 같이 로더(21a, 22a)(loader)가 각각 구비되는데, 상기 카세트 반송 장치(30)에 의해 반송된 카세트(10)는 상기 로더(21a, 22a)에 언로딩(unloading)되며, 상기 카세트(10)에 수납된 기판(15)(도 3 참조)들은 도 3에 도시된 바와 같은 이재 로봇(50)에 의해 하나씩 각 장비(21, 22)에 공급된다. 이하에서는 카세트(10)에 수납된 기판(15)을 장비(21, 22)에 공급하는 이재 로봇(50)에 대해 보다 상세하게 설명한다.

도 3을 참조하면, 이재 로봇(50)은 주축(51), 상기 주축(51)의 상부에 회전 가능하게 구비되고 수평한 방향으로 접혀지거나 펼쳐질 수 있는 암(52), 그리고 상기 암(52)의 단부에 구비되는 핸드(53)를 포함하여 이루어진다. 이러한 구조를 가진 이재 로봇(50)은 상기 암(52)을 상기 카세트(10)로 뻗어 기판(15)을 취출하며, 기판(15) 취출 후 상기 암(52)을 회전시켜 상기 카세트(10) 반대편에 위치한 장비(21, 22)의 스테이지(25)(stage)에 언로딩하게 된다.

그런데, 상기 기판(15)은 비뚤어진 상태로 상기 카세트(10)에 수납되어 있다. 따라서, 상기 이재 로봇(50)은 상기 기판(15)을 옮길 때 기판(15)의 비뚤어진 상태(X축, θ축, 주행축 기준)를 파악하여 이를 보정한 후 상기 스테이지(25)에 정확하게 안착시키게 된다. 참고로, 상기 X축은 상기 스테이지(25)로 진입하는 기판(15)의 삽입 깊이와 관련되고, 상기 θ축은 기판(15)의 틀어짐과 관련되며, 상기 주행축은 기판(15)의 좌우 방향 치우침과 관련된다.

상기한 바와 같이 기판(15)의 위치를 파악하기 위해 상기 이재 로봇(50)의 핸드(53)에는 도 3에 도시된 바와 같이 제1 센서(54) 및 제2 센서(55)가 구비되며, 상기 로더(21a, 22a)의 일측에는 제3 센서(56)(도 4a 내지 도 4c 참조)가 구비된다. 여기서, 상기 제1 센서(54) 및 제2 센서(55)는 상기 핸드(53) 위에 올려진 기판(15)의 X축 및 θ축 방향의 틀어짐 정도를 파악하는 역할을 하며, 상기 제3 센서(56)는 상기 기판(15)의 주행축 방향의 치우침 정도를 파악하는 역할을 한다.

따라서, 상기 이재 로봇(50)은 기판(15)의 정확한 위치를 파악하고, 보정값을 적용하여 기판(15)을 정렬시킨 후 장비(21, 22)의 스테이지(25)에 정확하게 언로딩할 수 있게 된다. 이하에서는 이 과정 및 원리에 대해 도 4a 내지 도 4d를 참조하여 보다 상세하게 설명한다.

도 4a의 (S11)은 이재 로봇(50) 및 기판(15)이 초기 위치에 있는 상태를 나타낸다. 도 4a의 (S11)을 참조하면, 상기 기판(15)은 카세트(10) 내에 3개의 축(X축, θ축, 주행축) 방향으로 불규칙하게 틀어져 있으며, 상기 이재 로봇(50)의 핸드(53)는 상기 카세트(10)의 기판(15)을 향하고 있다.

이러한 상태에서 이재 로봇(50)이 사전에 입력된 교시 위치(teaching position)로 암(52)을 뻗으면, 상기 핸드(53)는 카세트(10)에 수납된 기판(15) 아래로 삽입된다. (S12)

이때, 상기 제1 센서(54)와 제2 센서(55)는 동일한 선상에 위치한 상태로 전진하지만, 상기 기판(15)이 비뚤어져 있기 때문에 상기 제1 센서(54)와 제2 센서(55)는 시간차를 두고 작동하게 된다. 예를 들면, 제1 센서(54)가 비뚤어지게 배치된 기판(15)의 단부를 먼저 감지하여 작동하게 되고, 소정 시간 후에 제2 센서(55)가 기판(15)의 단부를 뒤늦게 감지하여 작동하는 것이다.

따라서, 상기 제1 센서(54)와 제2 센서(55)를 통해 기판(15)의 X축 및 θ축 위치를 파악한 이재 로봇(50)의 제어부(미도시)는 보정치를 연산한 후, 이를 보정할 수 있는 위치 만큼 X축 및 θ축 방향으로 핸드(53)를 이동시킨다. (S13)

핸드(53)의 위치가 확정되면, 도 4b의 (S21)에 도시된 바와 같이 핸드(53)를 상승시켜 핸드(53)에 기판(15)을 로딩(loading)한다. 핸드(53)에 기판(15)이 로딩되면, 기판(15)의 측면과 카세트(10) 내면이 충돌하는 것을 방지하기 위해 상기 핸드(53)를 다시 상기한 교시 위치(teaching position)로 이동시킨 후(S22), 암(52)을 접어서 기판(15)을 카세트(10)로부터 취출한다.(S23)

기판(15)을 취출한 이재 로봇(50)은 암(52)을 주축(51)에 대해 회전시킨다. 그러면, 도 4c의 (S31)에 도시된 바와 같이 기판(15)을 로딩한 핸드(53)가 장비(21, 22)의 스테이지(25)와 마주보게 된다. 이때, 상기 핸드(53)는 상기 X축 및 θ축 방향의 보정값이 적용된 위치에 배치됨은 물론이다.

다음으로, 이재 로봇(50)은 기판(15)의 주행축 방향 치우침을 보정한다. 이를 위해 이재 로봇(50)은 로더(21a, 22a)의 일측에 부착된 제3 센서(56) 측으로 이동한다. (S32) 이때, 상기 제3 센서(56)는 기판(15)의 일측이 진입할 때 작동하게 되며, 이재 로봇(50)의 제어부(미도시)는 표준값과 상기 제3 센서(56)에 의해 측정된 값의 차를 이용하여 기판(15)의 주행축 방향 치우침 정도를 연산한다. (S33)

기판(15)의 주행축 방향 위치가 확인되면, 보정값이 적용된 위치로 이재 로봇(50)이 이동한다. (S41) 이동이 완료되면, 상기 기판(15)은 상기 스테이지(25)에 대해 X축, θ축 및 주행축 정렬이 완료된 정확한 위치에 배치된다. 이러한 상태에서 암(52)을 뻗어 기판(15)을 장비(21, 22)의 스테이지(25)로 진입시키고(S42), 기판(15)을 스테이지(25)에 정확하게 언로딩한 후 암(52)을 접는다. (S43)

모든 과정이 완료된 후에는 상기 이재 로봇(50)은 도 4a의 (S11)에 도시된 바와 같은 초기 위치로 복귀한다.

상기 이재 로봇(50)은 상기한 과정을 통해 기판(15)을 정확하게 정렬한 후 장비(21, 22)의 스테이지(25)에 공급한다. 그러나, 상기한 종래의 이재 로봇(50)은 기판(15)의 주행축 방향 치우침 정도를 파악하기 위해, 도 4c 및 도 4d에 도시된 바와 같이, 이재 로봇(50)이 주행축 방향을 따라 제3 센서(56)측으로 이동한 후 다시 돌아와야 한다.

따라서, 기판(15)의 주행축 방향 치우침을 보정하기 위한 부가적인 시간(대략 5-6초 정도인데, 이는 전체적인 이재 작업 시간의 대략 10% 정도이다.)이 더 필요하기 때문에 이재 작업을 위해 많은 시간이 소요된다. 이는 반송 효율 및 생산성의 저하를 야기하게 된다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 카세트에 수납된 기판을 장비로 공급하는 이재 로봇의 기판 정렬 시간 및 이재 시간을 단축하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 형태에서는, 주축에 회전 가능하게 연결되고 수평 방향으로 접히거나 펼쳐지는 암; 상기 암의 일단에 결합되고 기판을 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하는 핸드; 상기 암과 핸드에 구비되고 기판의 위치를 센싱하는 적어도 3개의 센서들; 그리고 상기 센서들에서 감지한 정보를 기초로 상기 암과 핸드를 제어하여 상기 기판의 위치를 보정하는 제어부를 포함하여 이루어진 이재 로봇을 제공한다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 핸드는, 상기 암의 단부에서 넓게 연장되는 프레임, 상기 프레임에서 일측으로 연장되는 다수 개의 핑거들, 그리고 상기 핑거들 상면에 구비되고 상기 기판이 상기 핑거에 올려졌을 때 진공을 이용하여 상기 기판의 저면을 흡착시키는 다수 개의 패드를 포함하여 이루어진다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 센서는, 상기 핸드 상면에 나란하게 배치되는 제1 및 제2 센서, 그리고 상기 암에 배치되는 제3 센서를 포함하여 이루어진다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제1 및 제2 센서는, 상기 기판의 삽입 깊이와 상기 기판의 틀어진 정도를 감지한다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제1 및 제2 센서는, 비뚤어진 상기 기판의 단부를 동일 선상의 다른 위치에서 체크하여 상기 기판의 삽입 정도와 틀어진 정도를 감지한다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제3 센서는, 상기 암의 관절부 상면에 구비된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제3 센서는, 상기 기판의 좌우 방향 치우침 정도를 감지한다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제3 센서는, 상기 핸드가 카세트에서 상기 기판을 취출할 때 상기 기판의 측면 위치를 체크하여 상기 기판의 좌우 방향 치우침 정도를 감지한다.

한편, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 일 형태에서는, (a) 암을 뻗어 핸드를 카세트 내로 삽입하면서 상기 기판의 삽입 깊이와 틀어짐 정도를 감지하는 단계; (b) 감지된 정보에 따라 상기 핸드의 위치를 보정하고, 상기 핸드가 상기 기판을 로딩(loading)한 후 상기 기판을 상기 카세트로부터 취출하는 단계; (c) 상기 기판을 취출하면서 상기 기판의 좌우 방향 치우침 정도를 감지하는 단계; (d) 상기 핸드가 장비의 스테이지와 마주보도록 상기 암을 회전시킨 후 기판의 좌우 방향 치우침을 보정하는 단계를 포함하여 이루어진 이재 로봇의 기판 위치 정렬 방법을 제공한다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 (a) 단계는, (a1) 상기 핸드를 상기 카세트 내의 미리 입력된 교시 위치(teaching position) 까지 진입시키는 단계, (a2) 상기 (a1) 단계 수행 시 상기 핸드에 구비된 제1 및 제2 센서가 동일선상의 두 점에서 상기 기판의 일단부의 위치를 각각 체크하는 단계, 그리고 (a3) 상기 제1 및 제2 센서에서 시간차를 두고 체크된 정보를 기초로 제어부가 상기 기판의 삽입 깊이와 틀어짐 정도를 판단하는 단계를 포함하여 이루어진다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 (b) 단계는, (b1) 감지된 정보에 기초한 제어부의 제어에 따라 상기 핸드의 위치를 보정하는 단계, (b2) 상기 보정된 위치에서 핸드가 상승하여 상기 기판을 로딩하는 단계, (b3) 기판이 핸드에 로딩되면, 상기 핸드를 상기 교시 위치로 이동시키는 단계, 그리고 (b4) 상기 암을 이동시켜 상기 교시 위치에 있는 상기 핸드를 카세트로부터 취출하는 단계를 포함하여 이루어진다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 (c) 단계는, (c1) 상기 기판이 취출될 때 상기 암에 구비된 제3 센서가 상기 기판의 일측면의 위치를 체크하는 단계, 그리고 (c2) 제어부가 상기 체크된 위치와 기준 위치를 비교하여 상기 기판의 좌우 방향 치우침 정도를 판단하는 단계를 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 제3 센서는 상기 암의 관절부에 구비된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 (d) 단계는, (d1) 상기 암을 회전시켜 상기 핸드와 상기 스테이지를 대향시키는 단계, 그리고, (d2) 제어부의 제어에 따라 이재 로봇이 좌측 또는 우측으로 이동하여 상기 기판의 좌우 방향 치우침을 보정하는 단계를 포함하여 이루어진다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 (d) 단계는, (d1) 상기 암을 회전시켜 상기 핸드와 상기 스테이지를 대향시키는 단계, 그리고, (d3) 제어부의 제어에 따라 상기 암의 회전 각도와 상기 핸드의 위치를 변경하여 상기 기판의 좌우 방향 치우침을 보정하는 단계를 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 (d1)과 (d3) 단계에서 적어도 상기 암의 회전 제어는 동시에 이루어지는 것이 바람직하다.

이하 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 부호가 사용되며, 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.

먼저, 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템을 설명한다. 본 발명에 따른 반송 시스템을 제어하는 제어 시스템은 도 5에 도시된 바와 같이 제1 내지 제5 호스트(101, 102, 103, 104, 105)를 포함하여 이루어진다.

상기 제1 호스트(101)는 카세트(150)를 이동시키는 반송 명령을 작업자(operator)로부터 접수하는 최상위 호스트이다. 작업자가 상기 제1 호스트(101)에 반송 명령을 입력하면, 상기 제1 호스트(101)는 상기 반송 명령을 제2 호스트(102)와 제3 호스트(103)로 전달한다.

상기 제2 호스트(102)는 상기 제1 호스트(101) 및 제3 호스트(103)와 통신하며, 임의의 LCD 제조 공정을 수행하는 장비(200)를 통제한다. 상기 제1 호스트(101)에서 상기 제2 호스트(102)로 전송된 반송 명령은 상기 장비(200)에 전달된다.

여기서, 상기 장비(200)에는 카세트 반송 장치(300)에 의해 반송된 카세트(150)가 언로딩되는 로더(210)가 구비되며, 상기 로더(210)에는 상기 카세트(150)에 수납된 기판(도 5에는 미도시)을 상기 장비(200)에 한장씩 공급하는 이재 로봇(도 5에는 미도시, 도 7 참조)이 구비된다.

한편, 상기 제3 호스트(103)는 상기 제1 호스트(101) 및 제2 호스트(102)와 통신하며, 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)를 통제한다. 상기 제1 호스트(101)에서 상기 제3 호스트(103)로 전송된 반송 명령은 상기 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)로 전달된다.

상기 제4 호스트(104)는 상기 제3 호스트(103)와 통신하며, 카세트 반송 장치(300)(Automatic guided vehicle)의 동작을 제어한다. 물론, 상기 제4 호스트(104)에 수신된 반송 명령은 상기 카세트 반송 장치(300)에 전달된다.

상기 제5 호스트(105)는 상기 제3 호스트(103)와 통신하며, 다수 개의 기판(glasses) 들이 탑재된 카세트(150)를 다수개 저장하는 스토커(400)(stocker)를 통제한다. 물론, 상기 제5 호스트(105)에 수신된 반송 명령은 상기 스토커(400)에 전달된다.

한편, 상기 스토커(400)는 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(150) 들을 다음 공정을 수행하는 다른 임의의 장비로 공급하기 전에, 각 공정을 수행하는 각 장비들의 기판 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위해, 상기 카세트(150)를 임시로 보관하는 설비이다. 따라서, 임의의 장비에서 소정 공정을 마친 기판들이 탑재된 카세트(150)들은 상기 스토커(400)에 임시로 저장된 후 다른 공정을 수행하는 다른 장비에 공급된다.

상기한 기능을 수행하는 상기 스토커(400)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(150)가 입고되는 입고 포트(410)(input port), 상기 카세트(150)들을 저장하는 다수의 선반들(미도시), 상기 카세트(150)가 출고되는 출고 포트(420)(output port), 그리고 상기 입고 포트(410)와 선반 사이 및 상기 선반과 출고 포트(420) 사이를 이동하면서 상기 스토커(400) 내에서 상기 카세트(150)를 운반하는 스태커 로봇(stacker robot)(미도시)을 포함하여 이루어진다.

한편, 상기와 같이 다수 개의 카세트(150)를 오차 없이 처리 하기 위해서 각 카세트(150)들은 고유의 ID 정보를 가지고 있으며, 상기 스토커(400)는 상기 각 카세트(150)들의 각 ID 정보를 확인 한 후 상기 선반에 저장하게 된다.

이를 위해, 상기 스토커(400)의 입고 포트(410)에는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 카세트(150)의 ID 정보를 확인할 수 있는 리더기(430)가 구비된다. 또한, 상기 카세트(150)의 일측, 예를 들면 정면에는 상부와 하부 중 적어도 어느 한 곳 이상에 해당 카세트(150)의 ID 정보가 기록된 ID 표시부(151)가 구비된다. 본 발명에서는, 상기 ID 표시부(151)의 일 례로써, 바 코드(bar code)를 제시한다.

상기한 구조를 가지면, 상기 리더기(430)가 상기 ID 표시부(151)를 읽음으로써 상기 스토커(400)는 입고되는 카세트(150)의 ID 정보를 확인 할 수 있게 된다. 그리고, 상기 카세트(150)를 출고할 때에는 상기 스토커(400)에 수신된 반송 정보와 일치하는 ID 정보를 가진 카세트(150)의 저장 위치를 확인한 후 상기 스태커 로봇을 이용하여 선반으로부터 출고 포트(420)로 카세트(150)를 운송하게 된다.

한편, 상기한 카세트(150)의 ID 표시부(151)를 읽을 수 있는 리더기는 도 5에 도시된 바와 같이 장비(200)의 로더(210)에도 구비된다. 따라서, 상기 로더(210)는 리더기(201)를 이용하여 상기 로더(210)에 공급된 카세트(150)의 진위 여부를 판단 한 후, 이재 로봇이 기판을 장비(200)에 한 장씩 공급하게 된다.

한편, 상기 카세트 반송 장치(300)는 상기 제4 호스트(104)의 제어에 따라, 상기 카세트(150)를 상기 장비(200)에서 상기 스토커(400)의 입고 포트(410)로, 그리고 상기 스토커(400)의 상기 출고 포트(420)에서 다른 장비(200)로 반송한다. 여기서, 상기 제4 호스트(104)는 적어도 한 대 이상의 카세트 반송 장치(300)를 제어하며, 상기 각 카세트 반송 장치(300)에는 상기 제4 호스트(104)의 명령에 따라 카세트 반송 장치(300)의 각 구성요소를 제어하는 반송 장치 제어부가 구비된다.

상기한 카세트 반송 장치(300)는 상기 반송 장치 제어부의 제어에 따라 정해진 구간을 운행하는 주행부(310), 그리고 상기 주행부(310)의 일측, 예를 들면 상부에 구비되며, 상기 카세트(150)가 올려지는 탑재부(320)를 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 주행부(310)의 하단에는 도 6에 도시된 바와 같이 주행 모터에 의해 구동되는 다수 개의 바퀴(311)가 구비된다.

그리고, 상기 탑재부(320)에는 상기 카세트(150)가 정확히 탑재될 수 있도록 안내하고, 탑재된 카세트(150)가 상기 주행부(310)의 이동시 움직이지 않도록 고정하는 가이드 블록(321)이 구비된다.

한편, 상기 카세트 반송 장치(300)에는, 상기 카세트(150)를 상기 탑재부(320)에 로딩(loading)하거나, 상기 탑재부(320)로부터 언로딩(unloading)하는 로봇 암(330)이 더 구비된다. 여기서, 상기 로봇 암(330)은 상기 주행부(310)의 상부에 장착되고 상하 방향으로 이동하거나 회전할 수 있는 주축(331), 그리고 상기 주축(331)에 장착되고 수평 방향으로 신축될 수 있는 슬라이더(335)를 포함하여 이루어진다.

상기와 같이 카세트 반송 장치(300)에 로봇 암(330)이 구비되면, 상기 카세트 반송 장치(300)는 상기 장비(200), 그리고 스토커(400)의 입고 포트(410) 및 출고 포트(420)에 있는 카세트(150)를 직접 상기 탑재부(320)에 로딩하거나, 상기 탑재부(320)에 로딩된 카세트(150)를 상기 장비(200) 및 스토커(400)에 언로딩할 수 있게 된다.

한편, 상기 카세트 반송 장치(300)는 카세트(150)를 반송할 때, 상기 스토커(400)의 입고 포트(410) 및 출고 포트(420), 또는 장비(200) 앞에 정확히 위치할 수 있어야 한다. 이를 위해서 상기 카세트 반송 장치(300)에는 도 6에 도시된 바와 같이 위치 센서(340)가 구비되고, 상기 장비(200)의 로더(210) 및 상기 스토커(400)에는 도 5에 도시된 바와 같이 마크 플레이트(250)가 구비된다. 여기서, 상기 위치 센서(340)는 상기 마크 플레이트를 읽어 들임으로써 상기 카세트 반송 장치(300)가 상기 장비(200)의 로더(210) 또는 스토커(400) 앞에 정확하게 위치하도록 돕는다.

또한, 상기 장비(200)의 로더(210) 또는 스토커(400) 앞에 정확하게 위치한 카세트 반송 장치(300)는 카세트(150)를 원활하고 정확하게 로딩하거나 언로딩할 수 있도록 상기 장비(200) 또는 스토커(400)와 통신할 수 있어야 한다. 이를 위해, 상기 카세트 반송 장치(300)에는 도 6에 도시된 바와 같이 상기 장비(200) 또는 스토커(400)와 통신하면서 정확한 로딩 또는 언로딩 작업을 도와주는 통신 센서(350)가 더 구비된다.

한편, 상기 카세트 반송 장치(300)에 의해 카세트(150)가 상기 장비(200)의 로더(210)에 공급되면, 상기 로더(210) 내에 구비된 이재 로봇(500)(도 7 참조)은 상기 카세트(150)에 수납된 기판(155)을 하나씩 취출한 후 상기 장비(200)의 스테이지(290)(stage)에 공급하는데, 이하에서는 이러한 역할을 하는 상기 이재 로봇(500)에 대해 보다 상세하게 설명한다.

도 7을 참조하면, 주축(510)의 일단, 예를 들면 상단에는 암(520)이 회전 가능하게 연결된다. 여기서, 상기 주축(510)은 상하 방향으로 상승 및 하강이 가능하다. 그리고 상기 암(520)에는 관절부가 구비되므로, 상기 암(520)은 수평 방향을 따라 접히거나 펼쳐지게 된다.

상기 암(520)의 일단에는 기판(155)을 로딩하거나 언로딩하는 핸드(530)가 구비된다. 이러한 핸드(530)는 프레임(531), 핑거(532), 그리고 상기 핑거(532) 상면에 구비되는 패드(533)들을 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 프레임(531)은 도 7에 도시된 바와 같이 상기 암(520)의 단부에서 넓게 연장되고, 상기 핑거(532)는 적어도 두 개 이상이 상기 프레임(531)에서 일측으로 나란하게 연장된다.

한편, 상기 패드(533)들은 상기 핑거(532)들의 상면에 소정 간격을 따라 배치되며, 상기 핑거(532)에 상기 기판(155)이 올려졌을 때 진공을 이용하여 상기 기판(155)의 저면을 흡착시키는 역할을 한다. 이를 위해, 상기 암(520)과 핑거(532)의 내부에는 상기 패드(533)와 연결되는 진공 튜브(미도시)가 구비된다. 따라서, 상기 핸드(530)에 상기 기판(155)이 로딩되면, 상기 패드(533)에 의해 상기 기판(155)이 고정되므로, 상기 이재 로봇(500)은 안정적으로 상기 기판(155)을 이동시킬 수 있게 된다.

한편, 본 발명에 따른 이재 로봇(500)에는 상기 기판(155)을 세 지점에서 각각 센싱하여 상기 기판(155)의 정확한 위치를 파악할 수 있는 적어도 3개의 센서(541, 542, 543)들이 구비된다. 여기서, 제1 센서(541)와 제2 센서(542)는 상기 핸드(530), 좀더 상세하게는 도 7에 도시된 바와 같이 각 핑거(532)의 상면에 구비되고, 상기 제3 센서(543)는 상기 암(520)의 상면에 구비된다.

상기 제1 센서(541)와 제2 센서(542)는 상기 핸드(530) 상면에 나란하게 배치되며, 상기 핸드(530)가 상기 카세트(150)에 수납된 기판(155)을 로딩하기 위해 기판(155) 아래로 진입할 때 동일 선상의 다른 두 위치에서 상기 기판(155)의 단부를 센싱하게 된다. 그러면, 상기 기판(155)은 일반적으로 비뚤어진 상태로 카세트(150) 내에 수납되어 있으므로, 동일 선상의 다른 두 위치에 배치된 제1 센서(541)와 제2 센서(542)는 서로 시간차를 두고 상기 기판(155)의 단부를 감지할 수 있게 된다.

따라서, 상기 제1 센서(541)와 제2 센서(542) 사이의 거리, 상기 핸드(530)의 접근 속도, 제1 센서(541)와 제2 센서(542)가 각각 상기 기판(155)의 단부를 감지한 시간차를 고려하면 상기 기판(155)이 도 7의 θ축에 대해 어느 정도 비뚤어져 있는가를 판단할 수 있다. 그리고, 상기 제1 센서(541) 또는 제2 센서(542)가 최초로 상기 기판(155)의 단부를 감지하기 까지 걸린 시간(또는 펄스 수)과 핸드(530)의 접근 속도를 감안하면 상기 핸드(530)가 이동한 거리를 알 수 있는데, 이에 근거하여 상기 기판(155)이 상기 카세트(150)에 얼마나 깊이 삽입되어 있는지, 즉 도 7의 X축 방향 위치를 판단할 수 있다.

한편, 상기 제3 센서(543)는 상기 암(520)의 관절부 상면에 구비된다. 상기 제3 센서(543)는 상기 핸드(530)가 상기 기판(155)을 로딩한 후 카세트(150) 외부로 취출할 때 기판(155)의 측면 위치를 체크하여 상기 기판(155)의 좌우 방향, 예를 들면 도 7의 주행축 방향 치우침 정도를 감지하게 되는데, 이하에서는 그 원리에 대해 도 8a 내지 도 8c를 참조하여 보다 상세하게 설명한다.

도 8a 내지 도 8c는 핸드(530)가 기판(155)을 로딩한 상태에서 암(520)이 접히면서 상기 기판(155)이 카세트(150) 외부로 취출되는 과정을 순차적으로 보여준다. 이 과정에서 상기 기판(155)은 도면의 상측 방향으로 이동하게 되며, 상기 암(520)의 관절부에 구비된 제3 센서(543)는 상기 기판(155)의 측면 외부에 위치하다가 상기 암(520)이 상기 카세트(150) 반대편 측으로 펼쳐짐에 따라 서서히 상기 기판(155)의 측면을 경유하여 기판(155) 아래로 진입하게 된다.

참고로, 도 8a 내지 도 8c에 도시된 기준 위치(560)는 상기 기판(155)의 측면이 상기 기준 위치(560)와 일치할 경우 상기 기판(155)은 주행축 방향으로 전혀 치우치지 않은 정확한 위치에 있다고 판단할 수 있는 가상의 위치를 말한다. 따라서, 상기 기준 위치(560)와 상기 기판(155)의 측면 사이의 거리는 상기 기판(155)의 주행축 방향 틀어짐 량을 의미한다.

도 8a를 참조하면, 암(520)의 관절부에 구비된 제3 센서(543)는 상기 기판(155)의 주행축 방향 치우침 정도를 판단할 수 있는 기준 위치(560)에서 주행축 방향을 따라 도면의 오른쪽으로 약간 벗어난 위치에 있다. 이러한 상태에서 암(520)이 카세트(150) 반대편 측으로 좀더 펼쳐지면 상기 기판(155)은 도면의 상측으로 이동하고 상기 제3 센서(543)는 도 8b에 도시된 바와 같이 상기 기준 위치(560)에 위치하게 된다.

한편, 상기 암(520)이 좀더 펼쳐지면 상기 제3 센서(543)가 상기 기판(155)의 측면을 지나 도 8c에 도시된 바와 같이 기판(155) 아래로 진입하게 된다. 여기서, 상기 제3 센서(543)는 상기 기판(155)의 측면 아래를 지나는 순간 상기 기판(155)의 측면을 감지하게 된다. 따라서, 상기 제어부에 미리 입력된 기준 위치(560)와 상기 제3 센서(543)가 감지한 기판(155)의 측면의 위치 차이를 통해 상기 제어부는 상기 기판(155)이 주행축 방향으로 얼마나 치우쳐져 있는가를 정확하게 판단할 수 있게 된다.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 이재 로봇(500)의 제어부(미도시)는 상기 제1 센서(541)와 제2 센서(542)가 감지한 정보를 바탕으로 상기한 원리로 기판(155)의 X축 방향 위치(삽입 깊이) 및 θ축 방향 틀어짐 정도, 그리고 주행축 방향 치우침 정도를 정확하게 판단하게 된다. 물론, 상기 제어부는 상기 기판(155)의 정확한 위치를 판단한 후 상기 암(520)과 핸드(530)를 제어하여 기판(155)의 위치를 보정시키는 역할도 수행한다.

한편, 상기한 구조를 가지는 본 발명에 따른 이재 로봇(500)은 상기 핸드(530)를 상기 카세트(150) 내에 진입시켜 상기 기판(155)의 삽입 깊이 및 틀어짐 량을 센싱한 후 상기 핸드(530)의 위치를 보정하고, 상기 기판(155)을 카세트(150) 외부로 취출하면서 상기 기판(155)의 주행축 방향 치우침 정도를 센싱한 후 그 위치를 보정하며, 기판(155)의 위치가 모두 보정되면 상기 장비(200)의 스테이지(290)에 정확하게 기판(155)을 언로딩하게 된다. 이하에서는 상기한 구조의 이재 로봇(500)이 기판(155)의 위치를 정렬하는 과정에 대해 보다 상세하게 설명한다.

먼저, 이재 로봇(500)은 도 9a의 (S110)에 도시된 초기 위치에서 암(520)을 뻗어 핸드(530)를 카세트(150) 내로 삽입하면서 상기 기판(155)의 삽입 깊이(X축 방향 위치)와 틀어짐 정도(θ축 위치)를 감지한다.(a)

이때, 상기 핸드(530)는 도 9a의 (S120)에 도시된 바와 같이 상기 카세트(150) 내의 미리 입력된 교시 위치(teaching position) 까지 진입하여 상기 기판(155)의 아래에 위치하게 된다.(a1)

여기서, 상기 핸드(530)가 상기 카세트(150)로 진입하는 과정에서, 상기 핸드(530)에 구비된 상기 제1 센서(541)와 제2 센서(542)는 동일 선상의 두 점에서 상기 기판(155)의 일단부의 위치를 각각 체크하게 된다.(a2)

이때, 상기 제1 센서(541)와 제2 센서(542)는 동일 선상에 위치한 상태로 전진하지만, 상기 기판(155)이 비뚤어져 있기 때문에 상기 제1 센서(541)와 제2 센서(542)는 시간차를 두고 작동하게 된다.

따라서, 상기 제1 센서(541)와 제2 센서(542)에서 시간차를 두고 체크된 정보를 기초로 상기 제어부가 상기 기판(155)의 삽입 깊이(X 축 방향 위치)와 틀어짐 정도(θ축 방향 위치)를 판단한다.(a3) 이러한 원리는 이미 자세히 설명하였으므로 더 이상의 설명은 생략한다.

상기 기판(155)의 X축 및 θ축 방향 위치를 감지한 후에는, 상기 도 9b에 도시된 바와 같이 감지된 정보에 따라 상기 핸드(530)의 위치를 보정하고, 상기 핸드(530)가 상기 기판(155)을 로딩(loading)한 후 상기 기판(155)을 상기 카세트(150)로부터 취출한다. (b)

이를 위해 상기 이재 로봇(500)은 도 9b의 (S210)에 도시된 바와 같이, 상기 감지된 정보에 기초한 제어부의 제어에 따라 상기 카세트(150) 내에서 상기 핸드(530)의 위치(X축 및 θ축 방향 위치)를 보정한다.(b1) 도 9b의 (S210)을 참조하면, 상기 핸드(530)가 상기 도 9a의 (S120)에 비해 약간 틀어져 있음을 알 수 있다.

상기 핸드(530)의 위치가 보정되면, 보정된 위치에서 핸드(530)가 상승하여, 상기 기판(155)을 로딩한다.(b2) 이때, 상기 패드(533)가 상기 기판(155)의 저면을 흡착하므로 상기 기판(155)은 핸드(530)에 안정적으로 로딩된다.

기판(155)이 핸드(530)에 로딩되면, 도 9b의 (S220)에 도시된 바와 같이 상기 핸드(530)를 다시 상기 교시 위치로 이동시킨다.(b3) 이는 상기 핸드(530)가 기판(155)을 카세트(150)로부터 취출할 때 상기 기판(155)의 측면이 카세트(150)의 내면에 충돌하는 것을 방지하기 위한 것이다.

그런 다음, 도 9b의 (S230) 및 (S240)에 도시된 바와 같이 상기 암(520)을 접어서 상기 교시 위치에 있는 상기 핸드(530)를 상기 카세트(150)로부터 빼낸다.(b4) 그러면 상기 기판(155)이 카세트(150)로부터 완전히 취출된다. 여기서, 상기 암(520)은 기판(155)을 취출하기 위해 도 9b의 (S230) 과정까지는 암(520)을 접지만, 암(520)의 관절부가 주축(510) 보다 후측까지 이동한 (S240)이후 과정부터는 상기 암(520)을 상기 카세트(150) 반대편측으로 펼치게 된다.

상기한 바와 같이 기판(155)이 취출되면, 상기 기판(155)이 취출됨과 동시에 상기 기판(155)의 좌우 방향 치우침 정도를 감지한다.(c)

이를 위해, 상기 암(520)의 관절부에 구비된 제3 센서(543)는 도 9c에 도시된 바와 같은 과정을 통해 기판(155)이 취출될 때 기판(155)의 일측면의 위치를 체크한다.(c1) 상기 제3 센서(543)에 의해 현재 기판(155)의 일측면의 위치가 체크되면, 상기 제어부는 미리 입력된 기준 위치(560)와 상기 제3 센서(543)에 의해 체크된 위치를 비교하여 상기 기판(155)의 좌우 방향, 즉 주행축 방향 치우침 정도를 판단한다. 이러한 과정은 이미 상세하게 설명하였으므로 더 이상의 설명은 생략한다.

한편, 기판(155)의 주행축 방향 위치가 측정되면, 상기 이재 로봇(500)은 상기 핸드(530)가 장비(200)의 스테이지(290)와 마주보도록 상기 암(520)을 회전시킨 후 기판(155)의 좌우 방향 치우침을 보정한다.(d)

이를 위해, 상기 이재 로봇(500)은 상기 암(520)을 대략 180°회전시켜 도 9d의 (410)에 도시된 바와 같이 상기 핸드(530)와 상기 스테이지(290)를 대향시킨다.(d1) 이러한 상태에서 상기 제어부의 제어에 따라 상기 기판(155)의 주행축 방향 치우침이 보정되는데, 그 방법은 대략 다음과 같은 두 가지가 있다.

하나의 방법은, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 이재 로봇(500)이 주행축을 따라서 좌측 또는 우측으로 이동하여 상기 기판(155)의 좌우 방향 치우침을 보정하는 것이다.(d2)

그리고 다른 하나는, 제어부의 제어에 따라 상기 암(520)의 회전 각도와 상기 핸드(530)의 위치를 변경하여 상기 기판(155)의 좌우 방향 치우침을 보정하는 것이다.(d3)

후자의 경우, 상기 이재 로봇(500)이 전체적으로 주행하지 않아도 되지만 상기 암(520)과 핸드(530)의 위치를 정확히 보정하기 위해 보다 복잡하고 정교한 제어가 요구될 것이다. 그리고 이 경우, 상기 (d1)과 (d3)의 암(520)의 회전 제어 및 핸드(530) 제어가 동시에 이루어진다면 이재 로봇(500)의 작업 시간을 좀더 단축시킬 수 있을 것이다.

한편, 상기한 과정을 통해 기판(155)의 위치를 정확하게 보정하여 정렬한 후에는, 비록 도시하지는 않았지만 상기 암(520)이 펼쳐지면서 상기 핸드(530)가 상기 장비(200)의 스테이지(290)로 진입한다. 그리고 상기 스테이지(290)에 기판(155)을 언로딩한 후 상기 암(520)과 핸드(530)는 도 9a의 (S110)에 도시된 초기 위치로 복귀하고, 상기한 과정을 반복하면서 상기 카세트(150)에 수납된 기판(155)들을 하나씩 상기 스테이지(290)에 공급한다.

상기에서 몇몇의 실시예가 설명되었음에도 불구하고, 본 발명이 이의 취지 및 범주에서 벗어남 없이 다른 여러 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 따라서, 상술된 실시예는 제한적인것이 아닌 예시적인 것으로 여겨져야 하며, 첨부된 청구항 및 이의 동등 범위 내의 모든 실시예는 본 발명의 범주 내에 포함된다.

본 발명에 따르면, 상기 핸드가 상기 기판을 카세트로부터 취출하는 동안 암에 구비된 제3 센서가 상기 기판의 좌우 치우침을 감지하게 된다.

그러므로, 기판의 좌우 치우침을 감지하기 위해서 이재 로봇이 이동하면서 별도로 구비된 센서에 기판을 접근시킬 필요가 없다.

따라서, 이재 로봇의 기판 정렬 시간 및 반송 시간 등 작업 시간이 상당히 단축되며, 이에 따라 생산성이 향상된다.

또한, 본 발명에 따르면, 3개의 센서들이 상기 기판에 접촉하지 않고 상기 기판의 위치를 감지한다. 따라서 상기 기판이 접촉에 의해 파손되는 것을 방지할 수 있어 불량률을 저하시킬 수 있다.

도 1은 일반적인 액정표시패널의 일부를 나타낸 분해 사시도;

도 2는 일반적인 카세트 반송 과정을 설명하기 위한 개요도;

도 3은 종래 기술에 따른 이재 로봇을 나타낸 사시도;

도 4a 내지 도 4d는 도 3의 이재 로봇이 카세트에 수납된 기판을 장비에 공급하는 모습을 순차적으로 나타낸 평면도들;

도 5는 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템을 설명하기 위한 개요도;

도 5은 도 5의 카세트 반송 장치를 나타낸 측면도;

도 7은 본 발명에 따른 이재 로봇을 나타낸 사시도;

도 8a 내지 도 8c는 도 7의 이재 로봇이 기판의 주행축 정렬을 하는 과정을 순차적으로 나타낸 도면들; 그리고

도 9a 내지 도 9d는 도 7의 이재 로봇이 카세트에 수납된 기판을 장비에 공급하는 모습을 순차적으로 나타낸 평면도들이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

150: 카세트 155: 기판

200: 장비 210: 로더

300: 카세트 반송 장치 400: 스토커

500: 이재 로봇 510: 주축

520: 암 530: 핸드

531: 프레임 532: 핑거

533: 패드 541: 제1 센서

542: 제2 센서 543: 제3 센서

Claims (16)

1. 주축에 회전 가능하게 연결되고 수평 방향으로 접히거나 펼쳐지는 암;

   상기 암의 일단에 결합되고 기판을 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하는 핸드;

   상기 암과 핸드에 구비되고 기판의 위치를 센싱하는 적어도 3개의 센서들; 그리고

   상기 센서들에서 감지한 정보를 기초로 상기 암과 핸드를 제어하여 상기 기판의 위치를 보정하는 제어부를 포함하여 이루어진 이재 로봇.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 핸드는,

   상기 암의 단부에서 넓게 연장되는 프레임,

   상기 프레임에서 일측으로 연장되는 다수 개의 핑거들, 그리고

   상기 핑거들 상면에 구비되고 상기 기판이 상기 핑거에 올려졌을 때 진공을 이용하여 상기 기판의 저면을 흡착시키는 다수 개의 패드를 포함하여 이루어진 이재 로봇.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 센서는,

   상기 핸드 상면에 나란하게 배치되는 제1 및 제2 센서, 그리고

   상기 암에 배치되는 제3 센서를 포함하여 이루어진 이재 로봇.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 제1 및 제2 센서는, 상기 기판의 삽입 깊이와 상기 기판의 틀어진 정도를 감지하는 것을 특징으로 하는 이재 로봇.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 제1 및 제2 센서는, 비뚤어진 상기 기판의 단부를 동일 선상의 다른 위치에서 체크하여 상기 기판의 삽입 정도와 틀어진 정도를 감지하는 것을 특징으로 하는 이재 로봇.
6. 제 3 항에 있어서,

   상기 제3 센서는, 상기 암의 관절부 상면에 구비된 것을 특징으로 하는 이재 로봇.
7. 제 3 항에 있어서,

   상기 제3 센서는, 상기 기판의 좌우 방향 치우침 정도를 감지하는 것을 특징으로 하는 이재 로봇.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 제3 센서는, 상기 핸드가 카세트에서 상기 기판을 취출할 때 상기 기판의 측면 위치를 체크하여 상기 기판의 좌우 방향 치우침 정도를 감지하는 것을 특징으로 하는 이재 로봇.
9. (a) 암을 뻗어 핸드를 카세트 내로 삽입하면서 상기 기판의 삽입 깊이와 틀어짐 정도를 감지하는 단계;

   (b) 감지된 정보에 따라 상기 핸드의 위치를 보정하고, 상기 핸드가 상기 기판을 로딩(loading)한 후 상기 기판을 상기 카세트로부터 취출하는 단계;

   (c) 상기 기판을 취출하면서 상기 기판의 좌우 방향 치우침 정도를 감지하는 단계;

   (d) 상기 핸드가 장비의 스테이지와 마주보도록 상기 암을 회전시킨 후 기판의 좌우 방향 치우침을 보정하는 단계를 포함하여 이루어진 이재 로봇의 기판 위치 정렬 방법.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 (a) 단계는,

    (a1) 상기 핸드를 상기 카세트 내의 미리 입력된 교시 위치(teaching position) 까지 진입시키는 단계,

    (a2) 상기 (a1) 단계 수행 시 상기 핸드에 구비된 제1 및 제2 센서가 동일선상의 두 점에서 상기 기판의 일단부의 위치를 각각 체크하는 단계, 그리고

    (a3) 상기 제1 및 제2 센서에서 시간차를 두고 체크된 정보를 기초로 제어부가 상기 기판의 삽입 깊이와 틀어짐 정도를 판단하는 단계를 포함하여 이루어진 이재 로봇의 기판 위치 정렬 방법.
11. 제 9 항에 있어서,

    상기 (b) 단계는,

    (b1) 감지된 정보에 기초한 제어부의 제어에 따라 상기 핸드의 위치를 보정하는 단계,

    (b2) 상기 보정된 위치에서 핸드가 상승하여 상기 기판을 로딩하는 단계,

    (b3) 기판이 핸드에 로딩되면, 상기 핸드를 상기 교시 위치로 이동시키는 단계, 그리고

    (b4) 상기 암을 이동시켜 상기 교시 위치에 있는 상기 핸드를 카세트로부터 취출하는 단계를 포함하여 이루어진 이재 로봇의 기판 위치 정렬 방법.
12. 제 9 항에 있어서,

    상기 (c) 단계는,

    (c1) 상기 기판이 취출될 때 상기 암에 구비된 제3 센서가 상기 기판의 일측면의 위치를 체크하는 단계, 그리고

    (c2) 제어부가 상기 체크된 위치와 기준 위치를 비교하여 상기 기판의 좌우 방향 치우침 정도를 판단하는 단계를 포함하여 이루어진 이재 로봇의 기판 위치 정렬 방법.
13. 제 12 항에 있어서,

    상기 제3 센서는 상기 암의 관절부에 구비된 것을 특징으로 하는 이재 로봇의 기판 위치 정렬 방법.
14. 제 9 항에 있어서,

    상기 (d) 단계는,

    (d1) 상기 암을 회전시켜 상기 핸드와 상기 스테이지를 대향시키는 단계, 그리고,

    (d2) 제어부의 제어에 따라 이재 로봇이 좌측 또는 우측으로 이동하여 상기 기판의 좌우 방향 치우침을 보정하는 단계를 포함하여 이루어진 이재 로봇의 기판 위치 정렬 방법.
15. 제 9 항에 있어서,

    상기 (d) 단계는,

    (d1) 상기 암을 회전시켜 상기 핸드와 상기 스테이지를 대향시키는 단계, 그리고,

    (d3) 제어부의 제어에 따라 상기 암의 회전 각도와 상기 핸드의 위치를 변경하여 상기 기판의 좌우 방향 치우침을 보정하는 단계를 포함하여 이루어진 이재 로봇의 기판 위치 정렬 방법.
16. 제 16 항에 있어서,

    상기 (d1)과 (d3) 단계에서 적어도 상기 암의 회전 제어는 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 이재 로봇의 기판 위치 정렬 방법.