KR20050060370A - 카세트 자동 반송 장치 및 카세트 반송 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 LCD 제조 공정에서 사용되는 글래스(glass)들을 탑재한 카세트(cassatte)를 제조 공정을 수행하는 장비측으로 반송할 때 발생할 수 있는 오반송을 효과적으로 방지할 수 있는 카세트 자동 반송 장치 및 카세트 반송 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 형태에서는, 호스트의 제어에 따라 정해진 구간을 운행하는 주행부; 상기 주행부의 일측에 형성되며, 기판이 탑재되는 카세트가 올려지는 탑재부; 상기 카세트에 형성된 ID 표시부의 정보를 읽을 수 있도록 일측에 장착되는 리더기; 그리고 상기 리더기에서 읽은 카세트에 관한 정보와 상기 호스트에서 받은 반송 정보를 비교하는 제어부를 포함하여 이루어진 카세트 자동 반송 장치를 제공한다. 본 발명의 다른 일 형태에서는 기판이 탑재된 카세트를 자동 반송 장치에 로딩하는 단계; 상기 카세트의 ID 정보를 읽는 단계; 호스트로 부터 수신된 반송 정보와 상기 ID 정보를 비교하는 단계; 상기 반송 정보와 상기 ID 정보가 일치하는 경우, 상기 카세트를 제조 공정을 수행하는 장비로 반송하는 단계; 그리고 상기 반송 정보와 상기 ID 정보가 불일치할 경우, 상기 카세트를 상기 자동 반송 장치로부터 언로딩하는 단계를 포함하여 이루어진 카세트 반송 방법을 제공한다.

Description

카세트 자동 반송 장치 및 카세트 반송 방법{Automatic guided vehicle for conveying cassette and method for conveying cassatte}

본 발명은 자동 반송 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD 제조 공정에서 사용되는 글래스(glass)들을 탑재한 카세트(cassatte)를 제조 공정을 수행하는 장비측으로 반송할 때 발생할 수 있는 오반송을 효과적으로 방지할 수 있는 카세트 자동 반송 장치 및 카세트 반송 방법에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.

이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 도 1에 도시된 바와 같이 공간을 갖고 합착된 제1 및 제2 기판(1, 2)과, 상기 제1 및 제2 기판(1, 2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성된다.

여기서, 상기 제 1 기판(1)(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인(4)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인(5)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차되어 정의된 각 화소영역(P)에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극(6)과 상기 게이트 라인(4)의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인(5)의 신호를 상기 각 화소 전극(P)에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.

그리고 제 2 기판(2)(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층(8)과 화상을 구현하기 위한 공통 전극(9)이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 기판에 형성되어 있다.

상기한 구조를 가지는 액정표시장치는 상기 제 1 기판(1)에 박막트랜지스터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 2 기판(2)에 칼라필터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 1 및 제 2 기판(1, 2)을 합착하는 공정, 상기 합착된 두 기판 사이에 액정을 주입한 후 밀봉하는 공정, 액정이 주입된 각 액정패널을 테스트한 후 수리(repair)하는 공정, 그리고 양품의 액정패널에 백 라이트 등을 장착하고 구동회로를 장착하여 액정표시모듈을 제조하는 공정 등을 통해 제조된다.

상기한 바와 같이 기판은 여러 가지 공정을 거치게 되어 액정표시장치로서 완성되며, 상기 기판을 각 공정을 수행하는 장비들에 운반하기 위해서 자동 반송 장치(Automatic guided vehicle)가 사용된다. 이때, 상기 자동 반송 장치의 반송 효율을 높이기 위해 상기 기판들을 다수개 수납할 수 있는 카세트에 수납한 뒤, 상기 카세트를 상기 자동 반송 장치가 반송하게 된다.

그런데, 상기 자동 반송 장치가 상기 카세트를 공정을 수행하는 각 장비들에 운반할 때 제어 시스템에 오류가 발생하거나 하는 등의 문제로 인해서 반송되어야할 카세트가 아닌 다른 카세트를 상기 자동 반송 장치가 반송하는 경우가 종종 발생한다. 이 경우, 다른 공정 장비에서 처리되어야할 기판들이 엉뚱한 공정 장비로 반송되어 공급되게 되는 문제가 발생한다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 제어 시스템의 오류 등에 의해 발생할 수 있는 오반송을 효과적으로 방지할 수 있는 개선된 구조를 가지는 카세트 자동 반송 장치 및 카세트 반송 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은, 제어 시스템의 오류 등에 의해 잘못된 반송 명령이 내려지더라도 오반송에 의한 시간 손실을 최소화할 수 있는 개선된 구조를 가지는 카세트 자동 반송 장치 및 카세트 반송 방법을 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 형태에서는, 호스트의 제어에 따라 정해진 구간을 운행하는 주행부; 상기 주행부의 일측에 형성되며, 기판이 탑재되는 카세트가 올려지는 탑재부; 그리고 상기 호스트가 반송 정보와 상기 카세트에 형성된 ID 표시부의 정보를 비교할 수 있도록, 일측에 장착되어 상기 ID 표시부의 정보를 읽는 리더기를 포함하여 이루어진 카세트 자동 반송장치를 제공한다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 ID 표시부는 바 코드(bar code)를 포함하여 이루어진다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 리더기는 상기 탑재부의 일측에 장착된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 ID 표시부는 상기 카세트의 전면에 형성되고, 상기 리더기는 상기 탑재부의 앞쪽 상부에 장착된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 카세트 자동 반송 장치는, 상기 카세트를 상기 탑재부에 로딩(loading)하거나, 상기 탑재부에 올려진 카세트를 언로딩(unloading)하도록 상기 주행부의 일측에 장착되는 로봇 암을 더 포함하여 이루어진다.

이 경우, 상기 로봇 암은, 상기 호스트에서 비교한 상기 카세트에 관한 정보와 상기 반송 정보가 불일치할 경우, 상기 탑재부에 로딩한 카세트를 즉시 언로딩할 수 있다.

한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 일 형태에서는, 기판이 탑재된 카세트를 자동 반송 장치에 로딩하는 단계; 상기 카세트의 ID 정보를 읽는 단계; 반송 정보와 상기 ID 정보를 비교하는 단계; 상기 반송 정보와 상기 ID 정보가 일치하는 경우, 상기 카세트를 제조 공정을 수행하는 장비로 반송하는 단계; 그리고 상기 반송 정보와 상기 ID 정보가 불일치할 경우, 상기 카세트를 상기 자동 반송 장치로부터 언로딩하는 단계를 포함하여 이루어진 카세트 반송 방법을 제공한다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 카세트 반송 방법은, 상기 장비로 반송된 카세트의 ID 정보를 상기 장비에서 읽는 단계; 상기 장비에 입력된 반송 정보와 상기 ID 정보를 비교하는 단계; 상기 ID 정보와 상기 장비에 입력된 반송 정보가 일치하는 경우, 상기 장비가 공정을 수행하는 단계; 그리고 상기 ID 정보와 상기 장비에 입력된 반송 정보가 불일치하는 경우, 상기 카세트를 상기 자동 반송 장치에 재 로딩하여 재 반송하는 단계를 더 포함하여 이루어진다.

이하 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 부호가 사용되며, 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.

먼저, 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템을 간단히 설명한다.

제1 호스트(101)는 카세트(150)를 이동시키는 반송 명령을 작업자(operator)로부터 접수하는 최상위 호스트이다. 작업자가 상기 제1 호스트(101)에 반송 명령을 입력하면, 상기 제1 호스트(101)는 상기 반송 명령을 제2 호스트(102)와 제3 호스트(103)로 전달한다.

상기 제2 호스트(102)는 상기 제1 호스트(101) 및 제3 호스트(103)와 통신하며, 임의의 공정을 수행하는 장비(200)를 통제한다. 상기 제1 호스트(101)에서 상기 제2 호스트(102)로 전송된 반송 명령은 상기 장비(200)에 전달된다.

상기 제3 호스트(103)는 상기 제1 호스트(101) 및 제2 호스트(102)와 통신하며, 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)를 통제한다. 상기 제1 호스트(101)에서 상기 제3 호스트(103)로 전송된 반송 명령은 상기 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)로 전달된다.

상기 제4 호스트(104)는 상기 제3 호스트(103)와 통신하며, 자동 반송 장치(300)(Automatic guided vehicle)의 동작을 제어한다. 물론, 상기 제4 호스트(104)에 수신된 반송 명령은 상기 자동 반송 장치(300)에 전달된다.

상기 제5 호스트(105)는 상기 제3 호스트(103)와 통신하며, 다수 개의 기판(glasses) 들이 탑재된 카세트(150)를 다수개 저장하는 스토커(400)(stocker)를 통제한다. 물론, 상기 제5 호스트(105)에 수신된 반송 명령은 상기 스토커(400)에 전달된다.

한편, 상기 스토커(400)는 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(150) 들을 다음 공정을 수행하는 다른 임의의 장비로 공급하기 전에, 각 공정을 수행하는 각 장비들의 기판 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위해, 상기 카세트(150)를 임시로 보관하는 설비이다. 따라서, 임의의 장비에서 소정 공정을 마친 기판들이 탑재된 카세트(150)들은 상기 스토커(400)에 임시로 저장된 후 다른 공정을 수행하는 다른 장비에 공급된다.

상기한 기능을 수행하는, 상기 스토커(400)에는 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(150)가 입고되는 입력 포트(410)(input port), 상기 카세트(150)들을 저장하는 다수의 선반(미도시)들, 상기 카세트(150)가 출고되는 출력 포트(420)(output port), 그리고 상기 입력 포트(410)와 선반 사이 및 상기 선반과 출력 포트(420) 사이를 이동하면서 상기 스토커(400) 내에서 상기 카세트(150)를 운반하는 스태커 로봇(미도시)을 포함하여 이루어진다.

한편, 상기와 같이 다수 개의 카세트(150)를 오차 없이 처리 하기 위해서 각 카세트(150)들은 고유의 ID 정보를 가지고 있으며, 상기 스토커(400)는 상기 각 카세트(150)들의 각 ID 정보를 확인 한 후 상기 선반에 저장하게 된다.

이를 위해, 상기 스토커(400)의 입력 포트(410)에는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 카세트(150)의 ID 정보를 확인할 수 있는 리더기(430)가 구비된다. 또한, 상기 카세트(150)의 일측, 예를 들면 정면에는 상부와 하부 중 적어도 어느 한 곳 이상에 해당 카세트(150)의 ID 정보가 기록된 ID 표시부(151)가 구비된다. 도 3에는 상기 ID 표시부(151)의 일 례로써, 바 코드(bar code)가 도시 되어 있다.

따라서, 상기 리더기(430)가 상기 ID 표시부(151)를 읽음으로써 상기 스토커(400)는 입고되는 카세트(150)의 ID 정보를 확인 할 수 있게 된다. 그리고, 상기 카세트(150)를 출고할 때에는 상기 스토커(400)에 수신된 반송 정보와 일치하는 ID 정보를 가진 카세트(150)의 저장 위치를 확인한 후 상기 스태커 로봇을 이용하여 선반으로부터 출력 포트(420)로 카세트(150)를 운송하게 된다.

한편, 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 제4 호스트(104)의 제어에 따라, 상기 카세트(150)를 상기 장비(200)에서 상기 스토커(400)의 입력 포트(410)로, 그리고 상기 스토커(400)의 상기 출력 포트(420)에서 다른 장비(200)로 반송한다.

이러한 역할을 하는 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 제4 호스트(104)의 제어에 따라 정해진 구간을 운행하는 주행부(310), 그리고 상기 주행부(310)의 상부에 구비되며, 상기 카세트(150)가 올려지는 탑재부(320)를 포함하여 이루어진다.

그리고, 상기 자동 반송 장치(300)에는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 카세트(150)를 상기 탑재부(320)에 로딩(loading)하거나, 상기 탑재부(320)로부터 언로딩(unloading)하는 로봇 암(330)이 더 구비될 수 있다. 여기서, 상기 로봇 암(330)은 상기 주행부(310)의 상부에 장착되고 상하 방향으로 이동하거나 회전할 수 있는 주축(331), 그리고 상기 주축(331)에 장착되고 수평 방향으로 신축될 수 있는 슬라이더(335)를 포함하여 이루어진다.

상기와 같이 자동 반송 장치(300)에 로봇 암(330)이 구비되면, 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 장비(200), 그리고 스토커(400)의 입력 포트(410) 및 출력 포트(420)에 있는 카세트(150)를 직접 상기 탑재부(320)에 로딩하거나, 상기 탑재부(320)에 로딩된 카세트(150)를 상기 장비(200) 및 스토커(400)에 언로딩할 수 있게 된다.

그러나, 상기 자동 반송 장치(300)에 상기 로봇 암(330)이 구비되지 않고, 상기 스토커(400) 및 장비(200) 인근에 상기 카세트(150)를 로딩하거나 언로딩하는 별도의 로봇 암이 구비되어도 무방할 것이다.

한편, 상기 자동 반송 장치(300)는 카세트(150)를 반송할 때, 상기 스토커(400)의 입력 포트(410) 및 출력 포트(420), 또는 장비(200) 앞에 정확히 위치할 수 있어야 한다. 이를 위해서 상기 자동 반송 장치(300)에는 도 2에 도시된 바와 같이 제1 센서(340)가 구비되고, 상기 장비(200) 및 상기 스토커(400)에는 마크 플레이트(미도시)가 구비된다. 여기서, 상기 제1 센서(340)는 상기 마크 플레이트를 읽어 들임으로써 상기 자동 반송 장치(300)가 상기 장비(200) 또는 스토커(400) 앞에 정확하게 위치하도록 돕는다.

또한, 상기 장비(200) 또는 스토커(400) 앞에 정확하게 위치한 자동 반송 장치(300)는 카세트(150)를 원활하고 정확하게 로딩하거나 언로딩할 수 있도록 상기 장비(200) 또는 스토커(400)와 통신할 수 있어야 한다. 이를 위해, 상기 자동 반송 장치(300)에는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 장비(200) 또는 스토커(400)와 통신하면서 정확한 로딩 또는 언로딩 작업을 도와주는 제2 센서(350)가 더 구비된다.

한편, 이하에서는 상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템이 본 발명의 제1 실시예에 따라 작동하는 과정을 설명한다.

먼저, 작업자(operator)가 반송할 카세트(150)의 ID를 확인한 후 상기 제1 호스트(101)에 해당 카세트(150)의 반송 명령을 입력하면, 상기 제1 호스트(101)는 상기 제2 호스트(102)와 제3 호스트(103)에 상기 반송 명령을 내린다.

반송 명령을 받은 제2 호스트(102)는 이를 상기 장비(200)에 전달하고, 상기 제3 호스트(103)는 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)에 전달한다. 그리고, 제4 호스트(104)는 상기 반송 명령을 상기 자동 반송 장치(300)에 전달하고, 상기 제5 호스트(105)는 상기 스토커(400)에 전달한다.

상기 반송 명령을 전달받은 스토커(400)는 스태커 로봇을 제어하여 해당 카세트(150)를 출력 포트(420)로 운반한다. 그리고 반송 명령을 받은 자동 반송 장치(300)는 상기 스토커(400) 앞으로 이동하여 상기 출력 포트(420)에 놓인 카세트(150)를 탑재부(320)에 로딩한다.

상기 카세트(150)를 로딩한 자동 반송 장치(300)는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 장비(200)로 이동한다. 제1 센서(340)의 도움으로 상기 장비(200) 앞에 정확하게 위치한 자동 반송 장치(300)는 상기 제2 센서(350)의 도움을 받아 상기 카세트(150)를 상기 장비(200)에 정확하게 언로딩한다.

상기 카세트(150)가 상기 장비(200)에 완전히 언로딩되면, 상기 장비(200)는 리더기(210)를 이용하여 상기 카세트(150)에 있는 ID 표시부(151)를 읽어 들인다. 상기 장비(200)의 리더기(210)에서 읽은 카세트(150)의 ID 정보는 상기 제2 호스트(102)로 전송되며, 상기 제2 호스트(102)는 상기 제1 호스트(101)로 부터 전달 받아서 상기 장비(200)로 전송한 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보를 비교한다.

비교 결과, 상기 장비(200)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 일치하면, 상기 장비(200)는 상기 카세트(150)에 탑재된 기판들을 꺼내어 소정 공정을 수행한다.

그러나, 상기 장비(200)와 상기 스토커(400)가 서로 다른 호스트 들로 부터 통제를 받기 때문에 각 통제 라인 중 어느 하나가 오동작을 일으킬 경우, 상기 장비(200)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 불일치할 수 있다. 따라서, 비교 결과, 상기 장비(200)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 불일치하면, 반송 시스템은 경보음을 발생시키고, 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 장비(200)에 언로딩된 카세트(150)를 다시 상기 탑재부(320)에 로딩한다.

상기 카세트(150)를 재 로딩한 자동 반송 장치(300)는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 카세트(150)를 상기 스토커(400)로 재 반송한 후 스토커(400)의 입력 포트(410)에 언로딩한다. 그리고, 작업자는 오류가 발생한 제어 라인을 찾아 문제를 해결한 후 상기 제1 호스트(101)에 다시 반송 명령을 입력하면, 상기한 과정의 카세트(150)의 반송 절차가 다시 수행된다.

상기한 과정을 통해 스토커(400)에 저장된 카세트(150)를 장비(200)로 반송하는 본 발명의 제1 실시예에 따른 카세트 반송 방법을 시스템에 적용하면, 제어 라인의 오류로 인해서 상기 장비(200)로 오반송된 카세트(150)를 다시 스토커(400)로 재 반송할 수 있기 때문에 소정 공정을 마친 기판들이 다음 공정이 아닌 다른 공정을 수행하는 장비에 공급되는 문제를 완전히 해소할 수 있다.

그렇다 할지라도, 상기한 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 제어 라인에 오류가 발생했을 때, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 자동 반송 장치(300)가 엉뚱한 카세트(150)를 로딩한 후 상기 장비(200)와 상기 스토커(400) 사이를 왕복하게 된다. 따라서, 시간적으로 많은 손실을 입을 뿐만 아니라, 자동 반송 장치(300)의 작업 부하가 크게 늘어나게 되어 생산 라인의 효율이 크게 저하되는 문제가 있다.

따라서, 본 발명에서는 상기한 제1 실시예의 문제를 완전히 해결할 수 있는 제2 실시예를 더 제공하는데, 이하에서는 도 6 내지 도 9b를 참조하여 상기 제2 실시예에 대해 보다 자세히 설명한다. 제2 실시예를 설명함에 있어서, 상기 제1 실시예와 중복되는 부분의 설명은 생략하며, 이하에서는 제2 실시예가 가진 특징들에 대해 중점적으로 설명할 것이다.

본 발명의 제2 실시예에서는, 어느 하나의 제어 라인에 오류가 발생하였을 때, 상기 자동 반송 장치(300)가 엉뚱한 카세트(150)를 탑재한 후 상기 스토커(400)와 상기 장비(200) 사이를 왕복하는 것을 방지하기 위해, 상기 자동 반송 장치(300)에서 상기 카세트(150)의 ID 정보를 직접 확인 할 수 있도록 하였다.

이를 위해, 상기 제2 실시예에 따른 자동 반송 장치(300)에는 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 리더기(360)가 더 제공된다. 상기 리더기(360)는 상기 자동 반송 장치(300)의 일측, 예를 들면 상기 탑재부(320)의 앞쪽 상면에 장착된다. 한편, 도 7의 미설명 부호 (321)은 카세트(150)의 탑재 위치를 결정해주는 가이드 블럭이다.

상기와 같이 장착된 리더기(360)는 전면 상부와 하부 중 적어도 어느 한 곳에 상기 ID 표시부(151)가 구비된 카세트(150)가 상기 탑재부(320)에 장착되었을 때, 상기 ID 표시부(151)가 가진 ID 정보를 읽는 역할을 한다.

상기 자동 반송 장치(300)에 장착된 리더기(360)에서 읽은 카세트(150)의 ID 정보는 상기 제4 호스트(104)로 전송되며, 상기 제4 호스트(104)는 상기 제3 호스트(103)로부터 받은 반송 정보와 상기 ID 정보를 비교한다.

비교 결과, 상기 반송 정보와 ID 정보가 일치하면, 상기 자동 반송 장치(300)는 도 8a에 도시된 바와 같이 상기 장비(200)로 상기 카세트(150)를 반송한다. 그러나, 비교 결과, 상기 반송 정보와 상기 ID 정보가 불일치하면, 상기 자동 반송 장치(300)는 도 8b에 도시된 바와 같이 상기 탑재부(320)에 로딩된 카세트(150)를 상기 스토커(400)로 다시 언로딩한다.

한편, 이하에서는 상기 리더기(360)가 장착된 자동 반송 장치(300)가 적용된 본 발명의 제2 실시예에 따른 카세트 반송 방법에 대해서, 도 9a를 참조하여 설명한다.

먼저, 작업자(operator)는 반송하고자 하는 카세트(150)의 ID를 확인한 후 상기 제1 호스트(101)에 반송 정보를 입력한다. 그러면, 상기 제1 호스트(101)에 내려진 반송 명령은 상기 제2 호스트(102)를 통해 장비(200)에 전달되고, 상기 제3 호스트(103)와 제4 호스트(104)를 통해 자동 반송 장치(300)에 전달되며, 상기 제3 호스트(103)와 상기 제5 호스트(105)를 통해 상기 스토커(400)에 전달된다. (S 110)

상기 반송 명령을 전달 받은 스토커(400)의 스태커 로봇은 해당 ID를 가진 해당 카세트(150)를 선반에서 찾아 상기 출력 포트(420)로 이동시킨다. (S 120) 그리고, 상기 반송 명령을 전달 받은 자동 반송 장치(300)는 상기 스토커(400)로 이동한 후 상기 카세트(150)를 상기 탑재부(320)에 로딩한다. (S 130)

상기 카세트(150)가 탑재부(320)에 로딩되면, 상기 리더기(360)는 상기 카세트(150)의 전면에 구비된 ID 표시부(151), 예를 들면 바 코드를 읽고, ID 정보를 상기 제4 호스트(104)로 전송한다. (S 140) 상기 카세트(150)의 ID 정보를 전달받은 상기 제4 호스트(104)는 상기 제3 호스트(103)으로 부터 전달받은 반송 정보와 상기 ID 정보를 비교한다. (S 150)

반송 정보와 ID 정보 비교 결과, 이들이 일치하면, 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 카세트(150)를 상기 장비(200)로 반송한다. (S 160) 그러나, 비교 결과, 이들이 일치하지 않으면, 시스템에서 예를 들면 알람을 발생시키고, 상기 자동 반송 장치(300)는 탑재부(320)에 올려진 상기 카세트(150)를 상기 스토커(400)에 즉시 언로딩한다. (S 170)

이때, 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 카세트(150)를 상기 스토커(400)의 출력 포트(420)에 언로딩할 수 있겠으나, 이 경우, 상기 스태커 로봇의 이동 경로에 대한 설계 변경이 요구된다. 따라서, 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 입력 포트(410) 측으로 이동한 후 상기 카세트(150)를 상기 입력 포트(410)에 언로딩하는 것이 보다 바람직할 것이다. 한편, 스토커(400)로 언로딩된 카세트(150)는 상기 입력 포트(410)에서 상기 ID 표시부(151)의 정보가 확인 된 후 상기 스태커 로봇에 의해 선반으로 옮겨 진다.

상기와 같이 제어 라인의 오류가 발생하여 알람이 발생하면, 작업자는 시스템을 점검하여 문제를 해결한 후 새로운 반송 명령을 상기 제1 호스트(101)에 입력한다. 그러면, 상기한 반송 과정이 다시 수행된다.

상기한 바와 같이 본 발명의 제2 실시예에 따른 방법이 적용되면, 상기 카세트(150)의 ID 정보를 상기 자동 반송 장치(300)에서 직접 확인 하여 반송 여부를 결정하게 된다.

따라서, 제어 라인의 오류 발생 시 상기 자동 반송 장치(300)는 도 8b에 도시된 바와 같이 상기 카세트(150)를 장비(200)로 반송하지 않고 스토커(400)로 다시 언로딩하게 되므로, 오반송에 따른 시간의 낭비를 많이 줄일 수 있게 된다.

뿐만 아니라, 상기 자동 반송 장치(300)가 오반송을 하지 않기 때문에 자동 반송 장치(300)의 반송 부하가 감소하게 된다. 이에 따라, 적은 대수의 자동 반송 장치(300) 만으로도 종래 보다 많은 양의 카세트(150)를 반송할 수 있어 설비 비용을 절감할 수 있으며 생산 성이 향상된다.

한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 장비(200)로 반송 명령이 내려지는 제어 라인과 상기 스토커(400) 및 상기 자동 반송 장치(300)로 반송 명령이 내려지는 제어 라인이 서로 다르기 때문에, 매우 드물게, 이들 중 어느 한 제어 라인의 오류에 의해 각 제어 라인에 서로 다른 반송 정보가 전달될 수 있을 것이다. 이 경우를 대비하여, 상기 장비(200)에서 상기 카세트(150)의 ID 정보를 한번 더 확인할 수도 있을 것이다.

따라서, 본 발명의 제2 실시예에 따른 방법에서는 상기 장비(200)로 이송된 카세트(150)의 ID 정보를 다시 한번 확인 하는 과정을 더 제공해준다. 이하에서는 도 9b를 참조하여 이에 대해 설명한다.

상기 자동 반송 장치(300)가 카세트(150)를 장비(200)로 이송한 후 언로딩하면, 상기 장비(200)는 리더기(210)를 사용하여 상기 카세트(150)의 ID 표시부(151)를 읽는다. (S 210) 상기 리더기(210)에서 읽은 카세트(150)의 ID 정보는 상기 제2 호스트(102)로 전송되며, 제2 호스트(102)는 상기 제1 호스트(101)를 통해 전달받은 반송 정보와 상기 ID 정보를 비교한다. (S 220)

비교 결과, 상기 장비(200) 측에 수신된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 일치하면, 상기 장비(200)는 상기 카세트(150)에 탑재된 기판들을 꺼내어 공정을 수행한다. (S 230) 그러나, 상기 장비(200) 측에 수신된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 불일치하면, 시스템은 알람을 발생시키고, 상기 자동 반송 장치(300)는 제4 호스트(104)의 제어에 따라 상기 장비(200)에 언로딩된 카세트(150)를 상기 탑재부(320)에 다시 로딩한다. (S 240)

상기 카세트(150)를 재 로딩한 자동 반송 장치(300)는 상기 스토커(400)로 이동한 후 탑재된 카세트(150)를 상기 스토커(400)로 언로딩한다. (S 260) 스토커(400)로 언로딩된 카세트(150)는 ID 정보가 확인된 후 다시 선반에 보관된다.

상기와 같이 오류에 의해 알람이 발생하면, 작업자는 시스템을 점검하여 문제를 해결한 후 새로운 반송 명령을 상기 제1 호스트(101)에 입력한다. 그러면, 상기한 반송 과정이 다시 수행된다.

상기 도 9b를 참조하여 부가적으로 설명된 방법에 따르면, 상기 장비(200)에서 카세트(150)의 ID 정보를 확인하는 단계에서 오류가 발생된 경우, 상기 자동 반송 장치(300)는 상기 도 5를 참조하여 설명된 바와 같은 경로의 오반송을 하게 된다. 따라서, 제1 실시예가 가진 문제점을 해소하지 못하는 문제가 있으나, 혹시 일어 날지 모르는 오류를 최종적으로 다시 한번 확인함으로써 엉뚱한 카세트(150)가 장비(200)에 공급되는 것을 방지할 수 있다는 장점을 가진다.

상기에서 몇몇의 실시예가 설명되었음에도 불구하고, 본 발명이 이의 취지 및 범주에서 벗어남 없이 다른 여러 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 따라서, 상술된 실시예는 제한적인것이 아닌 예시적인 것으로 여겨져야 하며, 첨부된 청구항 및 이의 동등 범위 내의 모든 실시예는 본 발명의 범주 내에 포함된다.

상기한 본 발명은 다음과 같은 효과를 가진다.

첫째, 제어 라인의 오류 발생 시 상기 자동 반송 장치는 상기 카세트를 장비로 반송하지 않고 스토커로 다시 언로딩하게 되므로, 오반송에 따른 시간의 낭비를 많이 줄일 수 있게 된다.

둘째, 상기 자동 반송 장치가 오반송을 하지 않기 때문에 자동 반송 장치의 반송 부하가 감소하게 된다. 이에 따라, 적은 대수의 자동 반송 장치 만으로도 종래 보다 많은 양의 카세트를 반송할 수 있어 설비 비용을 절감할 수 있으며 생산 성이 향상된다.

셋째, 상기 자동 반송 장치와 장비에 모두 리더기가 구비되는 경우, 불의의 오류에 의해 엉뚱한 카세트가 장비에 공급되는 문제를 완전히 방지할 수 있다.

도 1은 일반적인 액정표시패널의 일부를 나타낸 분해 사시도;

도 2는 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템을 설명하기 위한 개도요;

도 3은 도 2의 스토커의 입력 포트에 카세트가 삽입된 상태를 나타낸 정면도;

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 자동 반송 장치가 카세트를 로딩하거나 언로딩하는 모습을 나타낸 정면도;

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 카세트 반송 과정을 나타낸 개요도;

도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 자동 반송 장치를 나타낸 정면도;

도 7은 도 6의 자동 반송 장치에 카세트가 탑재된 모습을 나타낸 일부 평면도;

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 카세트 반송 과정을 나타낸 개요도들로써,

도 8a는 카세트 ID 정보가 자동 반송 장치에 수신된 반송 정보와 일치하는 경우를 나타낸 도면,

도 8b는 카세트 ID 정보가 자동 반송 장치에 수신된 반송 정보와 불일치하는 경우를 나타낸 도면, 그리고,

도 9a 및 도 9b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 카세트 반송 방법을 나타낸 플로차트이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

101: 제1 호스트 102: 제2 호스트

103: 제3 호스트 104: 제4 호스트

105: 제5 호스트 150: 카세트

151: ID 표시부 200: 장비

210, 360, 430: 리더기 300: 자동 반송 장치

310: 주행부 320: 탑재부

330: 로봇 암 340: 제1 센서

350: 제2 센서 400: 스토커

410: 입력 포트 420: 출력 포트

Claims (8)

1. 호스트의 제어에 따라 정해진 구간을 운행하는 주행부;

   상기 주행부의 일측에 형성되며, 기판이 탑재되는 카세트가 올려지는 탑재부; 그리고

   상기 호스트가 반송 정보와 상기 카세트에 형성된 ID 표시부의 정보를 비교할 수 있도록, 일측에 장착되어 상기 ID 표시부의 정보를 읽는 리더기를 포함하여 이루어진 카세트 자동 반송장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 ID 표시부는 바 코드(bar code)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 카세트 자동 반송 장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 리더기는 상기 탑재부의 일측에 장착된 것을 특징으로 하는 카세트 자동 반송 장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 ID 표시부는 상기 카세트의 전면에 형성되고, 상기 리더기는 상기 탑재부의 앞쪽 상부에 장착되는 것을 특징으로 하는 카세트 자동 반송 장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 카세트를 상기 탑재부에 로딩(loading)하거나, 상기 탑재부에 올려진 카세트를 언로딩(unloading)하도록 상기 주행부의 일측에 장착되는 로봇 암을 더 포함하여 이루어진 카세트 자동 반송 장치.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 로봇 암은,

   상기 호스트에서 비교한 상기 카세트에 관한 정보와 상기 반송 정보가 불일치할 경우, 상기 탑재부에 로딩한 카세트를 즉시 언로딩하는 것을 특징으로 하는 카세트 자동 반송 장치.
7. 기판이 탑재된 카세트를 자동 반송 장치에 로딩하는 단계;

   상기 카세트의 ID 정보를 읽는 단계;

   반송 정보와 상기 ID 정보를 비교하는 단계;

   상기 반송 정보와 상기 ID 정보가 일치하는 경우, 상기 카세트를 제조 공정을 수행하는 장비로 반송하는 단계; 그리고

   상기 반송 정보와 상기 ID 정보가 불일치할 경우, 상기 카세트를 상기 자동 반송 장치로부터 언로딩하는 단계를 포함하여 이루어진 카세트 반송 방법.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 장비로 반송된 카세트의 ID 정보를 상기 장비에서 읽는 단계;

   상기 장비에 입력된 반송 정보와 상기 ID 정보를 비교하는 단계;

   상기 ID 정보와 상기 장비에 입력된 반송 정보가 일치하는 경우, 상기 장비가 공정을 수행하는 단계; 그리고

   상기 ID 정보와 상기 장비에 입력된 반송 정보가 불일치하는 경우, 상기 카세트를 상기 자동 반송 장치에 재 로딩하여 재 반송하는 단계를 더 포함하여 이루어진 카세트 반송 방법.