KR20070064459A - 자동 반송 시스템 - Google Patents

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KR20070064459A
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 액정표시소자의 제조시스템에 관한 것으로, 특히 후속 공정 진행가능 여부에 따라 카세트의 후속공정장비로의 투입시점을 제어할 수 있는 자동반송시스템에 관한 것이다
본 발명에 따른 자동반송시스템은 제1 공정장비로부터 카세트가 출고되면, 제 2 공정장비의 공정진행 여부에 따라 상기 카세트가 상기 제2 공정장비에 입고되는 시점을 제어하기 위한 제어부와; 상기 제어부의 제어에 따라, 상기 제1 공정장비로부터 출고된 카세트를 일시보관하거나 일시보관하지 않고 상기 제2 공정장비로 바로 입고시키는 스토커를 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

자동 반송 시스템{Auto Conveyance System}
도 1은 일반적인 액정표시패널의 분해 사시도.
도 2는 종래 자동반송시스템에 대한 구조 평면도.
도 3은 본 발명에 따른 자동반송시스템에 대한 개요도.
도 4는 본 발명에 따른 자동반송시스템에 대한 구조 평면도.
도 5는 본 발명에 따른 자동반송시스템에 대한 흐름도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
111: 제1 공정장비 112: 제2 공정장비
131: 제1 자동반송장치 132: 제2 자동반송장치
150: 스토커 151: 선반
152a: 제1 입출력공용포트 152b: 제2 입출력공용포트
153a: 제1 출력포트 153b: 제2 출력포트
154: 레일 155: 랙 마스터
160a,160b: 판독기
본 발명은 액정표시소자의 제조시스템에 관한 것으로, 특히 후속 공정 진행가능 여부에 따라 카세트의 후속공정장비로의 투입시점을 제어할 수 있는 자동반송시스템에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(LiquidCrystalDisplay),PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 도 1에 도시된 바와 같이 공간을 갖고 합착된 제1 및 제2 기판(1, 2)과, 상기 제1 및 제2기판(1, 2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성된다.
여기서, 상기 제 1 기판(1)(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인(4)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인(5)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차되어 정의된 각 화소영역(P)에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극(6)과 상기 게이트라인(4)의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인(5)의 신호를 상기 각 화소 전극(P)에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.
그리고 제 2 기판(2)(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역(6)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층(8)과 화상을 구현하기 위한 공통 전극(9)이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 기판에 형성되어 있다.
이와 같이 구성된 액정표시장치의 제조공정은 크게 어레이 공정, 셀 제조공정, 그리고 모듈 공정으로 나뉘어지며, 상기 공정들에 이용되는 유리기판은 카세트(Cassette)라고 지칭되는 수납공간에 수납된 상태로 각 공정장비에 투입되어 단위공정을 거치게 된다.
도 2은 이러한 공정순서들에 따라 자동적으로 작업이 진행되도록 하기 위한 자동 반송 시스템을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2을 참조하면, 종래 자동 반송 시스템은 복수개의 기판이 적재되는 카세트(미도시)와, 액정표시장치의 제조 공정을 위해 배치되어 있는 복수개의 공정장비(11,12)와, 상기 공정장비(11,12)로 투입되거나 배출된 카세트를 일시 보관하기 위 한 스토커(50)와, 상기 스토커를 거치지 아니하고 바로 후속 장비로 카세트를 반송하기 위한 반송기(20)와, 상기 스토커 및 상기 복수개의 공정장비에 위치한 카세트를 소정의 위치로 반송하기 위한 자동반송장치(Auto Guided Vehicle:31,32)를 포함하여 이루어진다.
상기 스토커(50)는 자동반송장치(31,32)에 의해 반송된 카세트가 투입(입고)되는 복수의 입력포트(52a,52b)와, 투입된 카세트를 보관하는 복수개의 선반(51)과, 상기 자동반송장치(31,32)로 카세트를 배출(출고)하는 복수의 출력포트(53a,53b)와, 상기 선반과 상기 각 포트 사이에서 카세트를 이동시키는 랙마스터(Rack Master:55)를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 스토커(50)와 자동반송장치(31,32)는 제어부(미도시)에 의하여 통제되며, 상기 각 포트(11,12)에는 컨베이어(미도시)가 구비되어 상기 카세트를 각 포트(11,12)와 랙마스터(55) 사이에서 이동시킨다.
상기 제1 자동반송장치(31)는 제1 라인(33)을 따라 카세트를 반송할 수 있으며, 제2 자동반송장치(32)는 제2 라인(35)을 따라 카세트를 반송할 수 있다.
상기 반송기(20)는 자동반송장치(31,32)들의 이러한 이동영역 제한을 보완하기 위해 컨베이어(미도시)를 구비하여 스토커를 거치지 아니하고 바로 후속 장비로 카세트가 반송될 수 있도록 한다.
한편, 상기 입력포트(52a,52b)는 상기 자동반송장치(31,32)에 의해 카세트의 입고만 이루어지는 입고 전용 포트이며, 상기 출력포트(53a,53b)는 상기 자동반송장치(31,32)에 의해 카세트의 출고만 이루어지는 출고 전용 포트이다.
이와 같은 기능과 구성을 가진 종래 자동반송 시스템의 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 제1 공정장비(11)에서 단위공정이 완료되면, 제어부는 출고명령을 내리고, 제1 자동반송장치(31)은 상기 명령을 전달받아 제1 공정장비(11)의 카세트 안착부(미도시)로부터 카세트를 인출한다. 인출된 카세트는 제1 자동반송장치(31)에 의해 반송기(20) 위에 얹혀지고, 반송기(20)의 컨베이어에 의해 제2 라인(55)과 대면되는 쪽으로 이동된다. 제2 자동반송장치(32)는 상기 카세트를 인출하여 후속공정 장비 즉, 제2 공정장비(12)에 설치된 카세트 안착부에 인출한 카세트를 투입한다.
한편, 선 공정의 진행 후 후공정을 진행할 수 없는 경우, 예를 들면 상기 후공정에 해당되는 공정장비(12)의 카세트 안착부에 공정이 끝나지 않은 카세트가 존재하거나, 후공정장비(12)의 고장으로 인하여 선공정을 마친 카세트를 후공정에 투입할 수 없는 경우 등에는 제2 자동반송장치(32)는 반송기(20)로부터 인출한 카세트를 제2 공정장비(12)로 투입할 수 없게 된다.
이때에는 제2 자동반송장치(32)는 상기 운반중인 카세트를 스토커(50)의 입력포트(52b)로 입고시킨다.
입력포트(52b)에 입고된 카세트는 제어부의 제어명령을 받은 랙마스터(55)에 의해 해당 선반(51)으로 이동되어 제2 공정장비(12)가 카세트를 받을 수 있을 때까지 보관된다.
제2 공정장비(12)가 카세트를 받을 수 있는 상황이 되면, 제어부는 출고명령 을 내리고, 상기 출고명령에 따라 랙마스터(55)는 일정 레일(54)을 따라 이동하여 지정된 선반으로부터 카세트를 인출하여 인출된 카세트를 아웃포트(53b)로 이동시킨다.
제2 자동반송장치(32)는 상기 카세트를 인출하여 제2 공정장비(12)에 설치된 카세트 안착부에 카세트를 투입하여 해당공정이 진행되게 한다.
그런데, 상술한 종래의 자동반송 시스템은 첫째로, 선후 공정의 공정장비들 사이에서 카세트의 반송을 위해 반송기를 필요로 함으로 인하여 각각의 공정들이 진행되는 청정실(Clean Room)의 공간 활용도 면에서 문제가 있다.
실제적으로 청정실내에는 상기 예로 든 장비들 외에 수많은 공정장비들이 더 배치되어 있기 때문에 반송기가 설치될 여유공간 자체가 적다.
둘째로, 선 공정의 진행 후 후공정을 진행할 수 없는 경우라도, 카세트는 반송기를 거치고 제2 자동반송장치에 의해 반송되어 스태커에 저장되었다가, 후속공정장비가 카세트를 받을 준비가 되면 다시 제2 자동반송장치에 의해 후공정장비로 재반송됨으로써 반송횟수가 증가하고 이로인해 TACT 타임이 길어지는 문제가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 반송기의 기능을 대신할 수 있는 입출력공용포트를 구비한 자동반송 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 후속 공정 진행가능 여부에 따라 카세트의 후속공정장비로의 투입시점을 제어할 수 있는 자동반송 시스템을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 자동반송 시스템은 제1 공정장비로부터 카세트가 출고되면, 제 2 공정장비의 공정진행 여부에 따라 상기 카세트가 상기 제2 공정장비에 입고되는 시점을 제어하기 위한 제어부와; 상기 제어부의 제어에 따라, 상기 제1 공정장비로부터 출고된 카세트를 일시보관하거나 일시보관하지 않고 상기 제2 공정장비로 바로 입고시키는 스토커를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 스토커는, 상기 제1 공정장비로부터 출고된 상기 카세트를 투입받기 위한 제1 입출력공용포트와; 투입받은 상기 카세트의 식별정보를 판독하기 위한 판독기와; 판독된 상기 카세트의 식별정보를 상기 제어부로 공급하기 위한 출력기와; 상기 카세트를 상기 제2 공정장비로 바로 배출하기 위한 제2 입출력공용포트와; 상기 카세트를 다수의 선반들 상에 일시보관하기 위한 락 마스터를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 제어부는, 상기 스토커로부터 공급받은 상기 카세트의 식별정보와 제2 공정장비로부터 공급받은 장비상태정보를 이용하여 상기 스토커를 제어하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 공정장비와 상기 스토커 사이에서 상기 카세트를 반송하기 위한 제1 자동 반송장치와; 상기 제2 공정장비와 상기 스토커 사이에서 상기 카세트를 반송하기 위한 제2 자동 반송장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 자동반송방법은 제1 공정장비 로부터 카세트가 출고되면, 제2 공정장비가 공정진행 중인지를 판단하는 제1 단계와; 상기 판단결과 제2 공정장비가 공정진행 중이면 상기 제1 공정장비로부터 출고된 카세트를 스토커에 일시보관하는 제2 단계와; 상기 판단결과 제2 공정장비가 공정진행 중인 것이 아니면 일시보관 하지 않고 상기 제2 공정장비로 바로 입고시키는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 단계는, 상기 스토커로부터 공급받은 상기 카세트에 대한 식별정보를 확인하는 제 1 - 1 단계와; 상기 카세트가 입고될 상기 제2 공정장비로부터 공급받은 장비상태정보를 확인하는 제 1 - 2단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제2 단계는, 웨이트 인 위치로 상기 카세트를 이동시키는 2 - 1 단계와; 상기 웨이트 인 위치로 이동된 카세트를 선반에 적재하는 2 - 2 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제3 단계는, 웨이트 아웃 위치로 상기 카세트를 이동시키는 3 - 1 단계와; 상기 웨이트 아웃 위치로 이동된 카세트를 상기 제2 공정장비로 입고시키는 3 - 2 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예에서는 제1 공정장비를 선공정장비로, 제2 공정장비를 후공정장비로 정하여 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명에 따른 자동반송시스템에 대한 개요도이고, 도 4는 본 발명에 따른 자동반송시스템에 대한 구조 평면도이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 자동반송 시스템은 임의의 공정장비로부터 출고된 카세트의 후속공정장비로의 입고시점을 제어하기 위한 제어부(200)와, 상기 제어부(200)의 제어에 따라 상기 출고된 카세트를 일시보관 하거나 일시보관하지 않고 상기 후속공정장비로 바로 입고시키는 스토커(150), 공정장비(111,112)와 스토커(150) 사이에서 카세트의 반송을 담당하는 자동반송장치(131,132)를 구비한다.
여기서, 제어부(200)는 공정장비(111,112)와 자동반송장치(131,132), 스토커(150)를 통제하며, 이들 각각에 반송 명령을 전달한다.
상기 공정장비(111,112)는 제어부(200)의 명령에 따라 실시간으로 현재의 장비상태, 즉 공정진행여부에 대한 정보를 제어부(200)로 전송한다.
상기 스토커(150)는 선 공정장비(111)로부터 출고된 카세트를 투입받기 위한 제1 입출력공용포트(152a)와, 투입받은 상기 카세트의 식별정보를 판독하기 위한 판독기(160a,160b)와, 판독된 상기 카세트의 식별정보를 제어부(200)로 공급하기 위한 출력기(미도시)와, 상기 카세트를 후 공정장비(112)로 바로 배출하기 위한 제2 입출력공용포트(152b)와, 상기 카세트를 다수의 선반(150)들 상에 일시보관하기 위한 랙 마스터(155)를 구비한다.
제어부는 투입된 카세트를 후속 공정장비(112)로 바로 반송할 것인지, 아니면 스토커(150)에 일시 보관할 것인지를 판단해야되는데, 이때 판단의 근거되는 정 보가 카세트 식별정보와 후속 공정장비의 상태정보이다.
이를 위해, 상기 입출력공용포트(152a,152b)에 구비된 판독기(160a,160b)는 카세트의 식별정보를 확인하여 제어부(200)로 전송하고, 공정장비(111,112)는 실시간으로 현재의 장비상태, 즉 공정진행여부에 대한 정보를 제어부(200)로 전송한다.
상기 판단정보에 의해 후속 공정장비(112)가 카세트를 받을 수 있는 상태에 있다고 판단되면, 제어부(200)는 스토커(150)를 제어하여 스토커(150)에 투입된 카세트가 후속 공정장비로 바로 반송되도록 웨이트 아웃(Wait-Out) 위치(A)로 카세트를 이동시킨다.
이어서, 제어부(200)는 제2 자동반송장치(132)를 제어하여 웨이트 아웃(Wait-Out) 위치(A)에 있는 카세트를 후속 공정장비로 이동시키게 한다.
여기서, 입출력공용포트(152a,152b)는 종래 반송기의 기능을 대신할 수 있는 것으로서,컨베이어(미도시)를 통해 제1 및 제2 입출력공용포트(152a,152b)가 서로 연결되어 있으므로, 입고된 카세트가 스토커에 일시보관되지 않고 후속공정장비로 바로 입고되는 것이 가능하다.
한편, 상기 판단정보에 의해 후속 공정장비가 카세트를 받을 수 있는 상태에 있지 않다고 판단되면, 제어부(200)는 스토커(150)를 제어하여 스토커(150)에 투입된 카세트를 선반(151)에 일시 보관한다.
즉, 후속공정에 해당되는 공정장비의 카세트 안착부에 공정이 끝나지 않은 카세트가 존재하거나, 후속공정장비의 고장으로 인하여 선공정을 마친 카세트를 후공정에 투입할 수 없는 경우에는, 제어부(200)는 스토커(150)를 제어하여 스토커 (150)에 입고된 카세트가 선반(151)에 일시보관되도록 웨이트 인(Wait-In) 위치(A')로 카세트를 이동시킨다.
이어서, 제어부(200)는 일정 레일(154)을 따라 이동하는 랙 마스터(155)를 제어하여 웨이트 인(Wait-In) 위치(A')에 있는 카세트를 소정의 선반(151)에 일시보관하게 한다.
그리고, 상기 일시보관된 카세트를 출고할 때에는 제어부(200)는 랙 마스터(155)로 반송명령을 전달하고, 랙 마스터(155)는 일정 레일(154)을 따라 해당되는 선반위치로 이동하여 카세트를 인출한 후 출력전용포트(153a,153b)로 카세트를 운송한다.
한편, 제1 자동반송장치(131)는 제1 라인(133)을 따라 카세트를 반송할 수 있으며, 제2 자동반송장치(132)는 제2 라인(135)을 따라 카세트를 반송할 수 있다. 따라서, 상기 제1 자동반송장치(131)는 제1 공정장비(111)에서 스토커(150)의 제1 입출력공용포트(152a)로, 상기 제2 자동반송장치(132)는 스토커(150)의 제2 입출력공용포트(152b)에서 제2 공정장비(112)로 카세트를 반송한다.
이와 같은 기능과 구성을 가진 본 발명에 따른 자동반송방법을 설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 발명에 따른 자동반송방법에 대한 흐름도이다.
도 5를 참조하면, 선 공정장비인 제1 공정장비에서 해당공정이 완료되면 제어부는 카세트를 후속 공정장비로 반송하기 위해 제1 공정장비로부터 카세트를 출고시킨다. (S 310)
이어서, 제1 자동반송장치는 제어부의 제어에 따라 출고된 카세트를 스토커의 제1 입출력공용포트로 투입한다. (S 320)
상기 제1 입출력공용포트에는 투입되는 카세트의 식별정보를 확인하기 위한 판독기가 구비되어 카세트의 식별정보표시부를 읽어들인다. 상기 판독기에서 읽어들인 카세트의 식별정보는 제어부로 전송된다. (S 330)
상기 식별정보를 전송받은 제어부는 상기 식별정보에 해당되는 카세트의 후속공정장비, 즉 본 발명의 실시예에서는 제2 공정장비의 장비상태정보를 체크 하기위해 제2 공정장비를 제어한다. 제2 공정장비는 제어부의 명령에 따라 실시간으로 계속해서 현재의 장비상태, 즉 공정진행여부에 대한 정보를 제어부로 전달한다.
제어부는 상기 제2 공정장비의 장비상태정보에 근거하여 제2 공정장비로 바로 반송할 것인지, 아니면 스토커에 일시 보관할 것인지를 판단한다. (S 340)
상기 판단결과, 제2 공정장비가 카세트를 받을 수 있는 상태에 있다고 판단되면, 제어부는 스토커를 제어하여 투입된 카세트가 후속 공정장비로 바로 반송되도록 제2 입출력공용포트의 웨이트 아웃(Wait-Out) 위치로 카세트를 이동시킨다. (S 350)
제2 입출력공용포트에도 배출되는 카세트의 식별정보를 재차 확인하기 위한 판독기가 구비되어 카세트의 식별정보표시부를 읽어들인다. 상기 판독기에서 읽어들인 카세트의 식별정보는 제어부로 전송된다. (S 360)
이어서, 제어부(200)는 제2 자동반송장치(132)를 통제하여 웨이트 아웃(Wait-Out) 위치(A)에 있는 카세트를 후속 공정장비로 이동시키게 한다. (S 370)
한편, 상기 판단결과 후속 공정장비가 카세트를 받을 수 있는 상태에 있지 않다고 판단되면, 제어부는 스토커를 제어하여 스토커에 입고된 카세트를 선반에 일시 보관한다.
즉, 후공정에 해당되는 공정장비의 카세트 안착부에 공정이 끝나지 않은 카세트가 존재하거나, 후공정장비의 고장으로 인하여 선공정을 마친 카세트를 후공정에 투입할 수 없는 경우에는, 제어부는 스토커를 제어하여 스토커에 입고된 카세트가 선반에 일시보관되도록 웨이트 인(Wait-In) 위치(A')로 카세트를 이동시킨다. (S 380)
이어서, 제어부는 랙 마스터를 제어하여 웨이트 인(Wait-In) 위치(A')에 있는 카세트를 소정의 선반에 일시보관하게 한다. (S 390)
그리고, 상기 일시보관된 카세트를 출고할 때에는 제어부는 랙 마스터로 반송명령을 전달하고, 랙 마스터는 해당 선반위치로 이동하여 카세트를 인출한 후 출력전용포트로 카세트를 운송한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 자동반송시스템은 반송기를 없애는 대신 반송기의 기능을 대신할 수 있는 입출력공용포트를 구비함으로써 여러 공정들이 진행되는 청정실의 공간 활용도를 높일 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 자동반송시스템은 후속 공정 진행가능 여부에 따라 카세트의 후속공정장비로의 투입시점을 제어하여 반송횟수를 줄임으로써 TACT 타임을 감소시킬 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (8)

  1. 제1 공정장비로부터 카세트가 출고되면, 제 2 공정장비의 공정진행 여부에 따라 상기 카세트가 상기 제2 공정장비에 입고되는 시점을 제어하기 위한 제어부와;
    상기 제어부의 제어에 따라, 상기 제1 공정장비로부터 출고된 카세트를 일시보관하거나 일시보관하지 않고 상기 제2 공정장비로 바로 입고시키는 스토커를 구비하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스토커는,
    상기 제1 공정장비로부터 출고된 상기 카세트를 투입받기 위한 제1 입출력공용포트와;
    투입받은 상기 카세트의 식별정보를 판독하기 위한 판독기와;
    판독된 상기 카세트의 식별정보를 상기 제어부로 공급하기 위한 출력기와;
    상기 카세트를 상기 제2 공정장비로 바로 배출하기 위한 제2 입출력공용포트와;
    상기 카세트를 다수의 선반들 상에 일시보관하기 위한 락 마스터를 구비하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 스토커로부터 공급받은 상기 카세트의 식별정보와 제2 공정장비로부터 공급받은 장비상태정보를 이용하여 상기 스토커를 제어하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1 공정장비와 상기 스토커 사이에서 상기 카세트를 반송하기 위한 제1 자동 반송장치와;
    상기 제2 공정장비와 상기 스토커 사이에서 상기 카세트를 반송하기 위한 제2 자동 반송장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 시스템.
  5. 제1 공정장비로부터 카세트가 출고되면, 제2 공정장비가 공정진행 중인지를 판단하는 제1 단계와;
    상기 판단결과 제2 공정장비가 공정진행 중이면 상기 제1 공정장비로부터 출고된 카세트를 스토커에 일시보관하는 제2 단계와;
    상기 판단결과 제2 공정장비가 공정진행 중인 것이 아니면 일시보관 하지 않고 상기 제2 공정장비로 바로 입고시키는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1 단계는,
    상기 스토커로부터 공급받은 상기 카세트에 대한 식별정보를 확인하는 제 1 - 1 단계와;
    상기 카세트가 입고될 상기 제2 공정장비로부터 공급받은 장비상태정보를
    확인하는 제 1 - 2단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제2 단계는,
    웨이트 인 위치로 상기 카세트를 이동시키는 2 - 1 단계와;
    상기 웨이트 인 위치로 이동된 카세트를 선반에 적재하는 2 - 2 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 방법.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 제3 단계는,
    웨이트 아웃 위치로 상기 카세트를 이동시키는 3 - 1 단계와;
    상기 웨이트 아웃 위치로 이동된 카세트를 상기 제2 공정장비로 입고시키는 3 - 2 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 방법.
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