KR101264681B1

KR101264681B1 - 카세트 저장용 스토커

Info

Publication number: KR101264681B1
Application number: KR1020060017104A
Authority: KR
Inventors: 강전평
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2006-02-22
Filing date: 2006-02-22
Publication date: 2013-05-16
Also published as: KR20070084835A

Abstract

본 발명은 스토커 내부의 카세트 보관용 셀프를 이동 가능하게 하고 이중으로 설치함으로써 랙 마스터의 반송 효율 및 공간 보관 효율을 상승시키도록 한 카세트 저장용 스토커에 관한 것으로서, 다수개의 기판이 수납된 카세트와, 상기 카세트를 로딩 또는 언로딩하도록 좌우로 이동이 가능한 랙 마스터와, 상기 랙 마스터에 의해 로딩된 카세트를 보관하며 상기 랙 마스터의 일측에 이동이 가능하게 구성되는 제 1 쉘프 및 상기 제 1 쉘프와 일정한 간격을 갖고 고정되며 상기 제1 쉘프의 후단에 제1 쉘프와 마주보도록 형성된 제 2 쉘프와, 상기 랙 마스터가 이동되는 제1 이동 레일과; 상기 제 1 쉘프의 하단에 구성되는 이동 수단과; 상기 제2 쉘프의 길이 방향과 평행하도록 배치되며 상기 제1 쉘프가 이동되는 제2 이동 레일을 구비하며, 상기 제1 쉘프는 상기 제2 이동 레일을 따라 좌우로 이동이 가능하게 구성되는 것을 특징으로 한다.

스토커, 카세트, 랙 마스터, AGV

Description

카세트 저장용 스토커{the stocker for storage cassette}

도 1은 일반적인 카세트 반송 라인을 나타낸 평면도

도 2는 종래 기술에 따른 카세트 저장용 스토커를 나타낸 개략적인 정면도

도 3은 종래 기술에 따른 카세트 저장용 스토커를 나타낸 개략적인 평면도

도 4는 본 발명에 의한 카세트 저장용 스토커를 나타낸 정면도

도 5는 본 발명에 의한 카세트 저장용 스토커를 나타낸 평면도

도 6은 본 발명에 의한 카세트 저장용 스토커에서 랙 마스터를 나타낸 개략적인 구성도

도면의 주요 부분에 대한 부호 설명

200 : 스토커 210 : 카세트

220 : 랙 마스터 230 : AGV

240 : 제 1 쉘프 250 : 제 2 쉘프

260 : 이동 레일

본 발명은 카세트 저장용 스토커(stocker)에 관한 것으로서, 특히 랙 마스터 (rack master)의 반송 효율 및 공간 보관 효율을 향상시키도록 한 카세트 저장용 스토커에 관한 것이다.

최근, LCD(Liquid Crystal Display) 장치는 콘트라스트(contrast)비가 크고, 계조 표시나 동화상 표시에 적합하며, 전력소비가 작다는 장점 때문에 CRT(Cathode Ray Tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체 수단으로써 점차 그 사용 영역이 확대되고 있다.

일반적으로, LCD 장치의 LCD 패널은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소 영역에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT)와 화소전극을 구비한 박막 트랜지스터 기판과, 컬러 필터층과 공통전극을 구비한 컬러필터 기판과, 이 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.

이와 같이 구성된 LCD 장치의 제조공정은 크게 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 제조공정으로 분리된다.

먼저, 기판 제조공정은 세정된 유리기판(glass)을 이용한 박막 트랜지스터 제조공정과, 칼라필터 제조공정으로 분리된다.

여기서, 박막 트랜지스터 제조공정은 하부기판 상에 복수의 박막 트랜지스터와 화소전극을 제조하는 공정이며, 칼라필터 제조공정은 차광막이 형성된 상부기판 상에 염료나 안료를 사용하여 'R', 'G', 'B' 색상의 칼라 필터층을 형성하여 공통전극을 형성하는 공정이다.

셀 제조공정은 박막 트랜지스터 공정이 완료된 하부기판과 칼라필터 공정이 완료된 상부기판의 두 기판 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하여 합착하고, 액정을 주입하여 LCD 장치의 셀을 제조하는 공정이다.

마지막으로, 모듈 제조공정은 신호처리를 위한 회로부를 제조하고, 박막 트랜지스터를 포함하는 LCD 패널과 미리 제조된 신호처리 회로부를 연결시켜 모듈을 제조하는 공정이다.

이와 같은 LCD 장치의 제조공정에서는 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 제조공정을 수행하기 위해 기판이 각각의 공정에 사용되는 제조장비로 순차적으로나 그룹형태로 반송 또는 이송되어져야만 한다.

또한, LCD 장치의 제조공정에서는 제조공정 상 일부의 제조장치에 고장 발생시 고장 또는 수리를 위해 모든 제조공정 라인(line)을 중지시킬 수 없으므로 기판을 임시 저장할 수 있는 저장장치가 필요하다.

이에 부합하는 카세트(cassette)를 사용하여 다수의 기판을 낱장으로 저장 및 이송 가능하도록 할 수 있다.

또한, 다른 이유로 인하여 기판의 물량이 많아지고, 기판의 제조 공정이 반복적으로 이루어질 경우 카세트를 이동시켜 저장시키기 위한 스토커(stocker)가 필요하다.

도 1은 일반적인 카세트 반송 라인을 나타낸 평면도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 기판에 각 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들에 운반하기 위해서 카세트 반송 장치(30)(cassette transfer vehicle; CTV)가 사용된다. 이때, 상기 카세트 반송 장치(30)의 반송 효율을 높이기 위해 상기 기판들을 다수개 수납할 수 있는 카세트(10)에 수납한 뒤, 상기 카세트(10)를 상기 카세트 반송 장치(30)가 반송하게 된다.

따라서, 상기 카세트 반송 장치(30)는 주행 경로를 안내하는 라인(11)을 따라 카세트(10)가 임시로 저장된 스토커(40)와 각 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들 사이를 왕복하면서 상기 카세트(10)를 상기 스토커(40)에서 각 장비(20a, 20b)들로, 그리고 각 장비(20a, 20b)들에서 상기 스토커(40)로 각각 반송하게 된다.

한편, 각 공정을 수행하는 상기 장비(20a, 20b)들의 기판 처리 능력 및 처리 시간은 다르기 때문에 어느 하나의 장비에서 다른 하나의 장비로 상기 카세트(10)를 반송하게 되면 버퍼링(buffering)이 발생하게 된다.

따라서, 버퍼링 문제를 효과적으로 해소하기 위해 어느 하나의 장비에서 처리된 기판이 수납된 카세트(10)를 상기 스토커(40)에 저장한 후 다른 장비로 반송하는 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 종래 기술에 의한 카세트 저장용 카세트를 설명하면 다음과 같다.

도 2는 종래 기술에 따른 카세트 저장용 스토커를 나타낸 개략적인 정면도이고, 도 3은 종래 기술에 따른 카세트 저장용 스토커를 나타낸 개략적인 평면도이다.

도 2에 도시한 바와 같이, 종래 기술에 따른 스토커(100)는, 스토커(100) 내부의 시스템을 통제하는 SMC(Stocker Master Controller(도시되지 않음)와, 다수개의 기판이 수납된 카세트(110)와, 상기 SMC의 제어에 따라 카세트(110)를 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하기 위한 랙 마스터(rack master)(120)와, 상기 카세트(110)를 운반하는 AGV(Auto Guided Vehicle)(130)와, 상기 랙 마스터(120)에 의해 로딩된 카세트(110)를 보관하는 쉘프(shelf)(140)와, 상기 랙 마스터(120)가 이동되는 이동 레일(150)을 포함하여 구성되어 있다.

여기서, 상기 쉘프(140)는 여러 층으로 나누어져 상기 카세트(110)를 적재토록 하고 있으며, 상기 랙 마스터(120)를 기준으로 양쪽으로 설치되어 있다.

또한, 도 3에서와 같이, 상기 스토커(100) 내에는 대략 평행하게 쉘프(140)들이 배치되고, 상기 각 쉘프(140)에는 AGV(130)에 의해 반송된 카세트(110)를 상기 스토커(100)에 입고하기 위한 입고 포트(142a)와 상기 쉘프(140)에 저장된 카세트(110)를 출고하기 위한 출고 포트(142b)가 구비된다.

또한, 상기 두 개의 쉘프(140)들 사이에는 한 대의 랙 마스터(120)가 배치되는데, 상기 랙 마스터(120)는 이동 레일(150)을 따라 이동하면서 상기 입고 포트(142a)에 입고된 카세트(110)를 쉘프(140)에 저장하거나, 상기 쉘프(140)에 저장된 카세트(110)를 상기 출고 포트(142b)로 출고한다.

그리고 상기 출고 포트(142b)로 반송된 카세트(110)는 상기 AGV(130)에 의해 장비(도 1의 20a, 20b)까지 반송된다.

즉, 상기 랙 마스터(120)는 상기 SMC의 명령을 받아 쉘프(140)나 인라인 장비의 카세트(110)를 이재 실시하여 AGV(130)에 올려놓은 상태에서 반송을 실시한다.

그러나 상기와 같은 종래 기술에 의한 카세트 저장용 스토커에 있어서 다음과 같은 문제점이 있었다.

즉, 카세트의 반송을 책임지는 구동부가 랙 마스터 하나이기 때문에 반송 효율적인 측면에 문제 소지가 있으며, 상기 랙 마스터를 기준으로 양측에 구성된 셀프가 차지하는 공간적인 측면에 불합리적인 소지가 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제를 해결하기 위해 안출한 것으로 스토커 내부의 카세트 보관용 셀프를 이동 가능하게 하고 이중으로 설치함으로써 랙 마스터의 반송 효율 및 공간 보관 효율을 상승시키도록 한 카세트 저장용 스토커를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 카세트 저장용 스토커는 다수개의 기판이 수납된 카세트와, 상기 카세트를 로딩 또는 언로딩하도록 좌우로 이동이 가능한 랙 마스터와, 상기 랙 마스터에 의해 로딩된 카세트를 보관하며 상기 랙 마스터의 일측에 이동이 가능하게 구성되는 제 1 쉘프 및 상기 제 1 쉘프와 일정한 간격을 갖고 고정되며 상기 제1 쉘프의 후단에 제1 쉘프와 마주보도록 형성된 제 2 쉘프와, 상기 랙 마스터가 이동되는 제1 이동 레일과; 상기 제 1 쉘프의 하단에 구성되는 이동 수단과; 상기 제2 쉘프의 길이 방향과 평행하도록 배치되며 상기 제1 쉘프가 이동되는 제2 이동 레일을 구비하며, 상기 제1 쉘프는 상기 제2 이동 레일을 따라 좌우로 이동이 가능하게 구성되는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 카세트 저장용 스토커를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명에 의한 카세트 저장용 스토커를 나타낸 정면도이고, 도 5는 본 발명에 의한 카세트 저장용 스토커를 나타낸 평면도이다.

도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 스토커(200)는, 스토커(200) 내부의 시스템을 통제하는 SMC(Stocker Master Controller(도시되지 않음)와, 다수개의 기판이 수납된 카세트(210)와, 상기 SMC의 제어에 따라 카세트(210)를 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하기 위한 랙 마스터(rack master)(220)와, 상기 카세트(210)를 운반하는 AGV(Auto Guided Vehicle)(230)와, 상기 랙 마스터(220)에 의해 로딩된 카세트(210)를 보관하며 상기 랙 마스터(220)의 일측에 일정한 간격을 갖고 배열되는 제 1, 제 2 쉘프(shelf)(240,250)와, 상기 랙 마스터(220)가 이동되는 제1 이동 레일(260)을 포함하여 구성되어 있다.

여기서, 상기 제 1 쉘프(240) 및 제 2 쉘프(250)는 여러 층으로 나누어져 상기 카세트(210)를 적재토록 하고 있으며, 상기 랙 마스터(220)에 인접한 제 1 쉘프(240)는 하단부에 좌우로 이동이 가능하도록 이동 수단(241)을 구비하고 있고, 상기 제 1 쉘프(240)의 일정한 간격을 갖고 배열되는 제 2 쉘프(250)는 고정되어 있다.

따라서 본 발명에 의한 카세트 저장용 스토커(200)는 상기 랙 마스터(220)의 일측에 이중으로 제 1, 제 2 쉘프(240,250)를 배열하고, 전단의 제 1 쉘프(240)에는 이동이 가능하도록 이동 수단(241)을 구비하여 후단의 배열된 제 2 쉘프(250)에 카세트(210)의 반송을 가능케 하며, 상기 제 1 쉘프(240)를 이동 가능하게 구성함으로써 상기 랙 마스터(220)의 반송 거리를 단축할 수가 있다.

즉, 종래에는 상기 랙 마스터(220)만 이동이 가능하여 반송 효율이 떨어지지만, 본 발명에서는 상기 랙 마스터(220)뿐만 아니라 카세트(210)를 보관하는 제 1 쉘프(240)도 이동 가능하게 구성함으로써 랙 마스터(220)의 반송 거리를 줄여 반송 효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 도 5에서와 같이, 본 발명에 의한 스토커(200)는 상기 랙 마스터(220)의 일측에 일정한 간격을 갖고 이동 가능한 제 1 쉘프(240)와 고정된 제 2 쉘프(250)가 구성되어 있다.

여기서, 상기 이동 가능한 제 1 쉘프(240)는 고정된 제 2 쉘프(250)보다 1/3 정도의 좌우 길이를 갖고 배치되어 있고, 상기 제 1 쉘프(240)가 좌우로 이동이 가능하도록 제2 이동 레일(242)이 구성되어 있다.

도 6은 본 발명에 의한 카세트 저장용 스토커에서 랙 마스터를 나타낸 개략적인 구성도이다.

도 6에 도시한 바와 같이, 랙 마스터(220)는 쉘프의 길이 방향으로 움직이는 본체(221), 상기 본체(221)에 구비되어 상하 방향으로 움직이는 수직 승강부(222), 그리고 상기 수직 승강부(222)에 연결되어 카세트(210)를 상기 쉘프에 인출입하는 암(223)을 포함하여 이루어진다.

여기서, 상기 본체(221)는 사각 프레임 구조로 이루어지며, 그 하부에는 랙 마스터가 쉘프의 길이 방향으로 움직이도록 바퀴(224)가 구비되어 있다.

보다 바람직하게는, 상기 랙 마스터(220)가 움직이는 통로의 바닥에 상기 바퀴(224)를 안내하는 제1 이동 레일(260) 등의 가이드부가 구비되어, 상기 랙 마스터(220)가 쉘프의 일측을 따라 길이 방향으로 움직일 수 있도록 한다.

상기 수직 승강부(222)는 그 양단이 상기 본체(221)를 형성하는 프레임의 양측 내벽을 따라 승강하는 플레이트 형상으로 구성될 수 있다.

상기 수직 승강부(222)의 승강을 위하여 상기 본체(221)의 양측 내벽에는 상하방향으로 길게 형성되는 가이드 홈(미도시)이 구비되고, 상기 수직 승강부(222)의 양단은 모터(미도시) 등의 동력 수단에 연결된 체인, 벨트 또는 로프 등이 연결되어, 상기 수직 승강부(222)가 상하로 승강하게 된다.

그리고, 상기 암(223)은 상기 수직 승강부(222)에 의해 지지되어 수평방향으로 움직이면서 상기 카세트(210)를 상기 각 저장구역에 투입 또는 인출한다.

보다 상세하게 설명하면, 상기 암(223)은 상기 쉘프에 출입될 카세트의 하부를 지지하며, 상기 수직 승강부(222)의 상부에서 상기 쉘프를 향해 회전 운동 또는 수평 방향의 슬라이딩운동을 통해 상기 카세트를 출입하게 된다.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 의한 카세트 저장용 스토커는 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 랙 마스터를 기준으로 한쪽에 이중으로 쉘프를 구성함으로써 쉘프의 공간효율을 향상시킬 수 있다.

둘째, 전단의 쉘프를 이동 가능하게 구성함으로써 랙 마스터만 이동 가능시켜 카세트를 반송시킨 것보다 쉘프와 랙 마스터를 이동시켜 카세트를 반송하여 반 송 효율을 향상시킬 수 있다.

Claims

다수개의 기판이 수납된 카세트와,

상기 카세트를 로딩 또는 언로딩하도록 좌우로 이동이 가능한 랙 마스터와,

상기 랙 마스터에 의해 로딩된 카세트를 보관하며 상기 랙 마스터의 일측에 이동이 가능하게 구성되는 제 1 쉘프 및 상기 제 1 쉘프와 일정한 간격을 갖고 고정되며 상기 제1 쉘프의 후단에 제1 쉘프와 마주보도록 형성된 제 2 쉘프와,

상기 랙 마스터가 이동되는 제1 이동 레일과;

상기 제 1 쉘프의 하단에 구성되는 이동 수단과;

상기 제2 쉘프의 길이 방향과 평행하도록 배치되며 상기 제1 쉘프가 이동되는 제2 이동 레일을 구비하며,

상기 제1 쉘프는 상기 제2 이동 레일을 따라 좌우로 이동이 가능하게 구성되는 것을 특징으로 카세트 저장용 스토커.
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 쉘프의 좌우 길이는 상기 제 2 쉘프의 1/3정도 작은 것을 특징으로 하는 카세트 저장용 스토커.
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