KR20080056049A - 스토커 및 이를 사용한 기판 반송 방법 - Google Patents

스토커 및 이를 사용한 기판 반송 방법 Download PDF

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Abstract

평판 표시장치의 기판을 적재하기 위한 카세트를 보관하는 설비인 스토커 및 이를 사용한 기판 반송 방법이 개시된다.
스토커는 기판이 적재된 카세트를 보관하는 선반; 선반으로부터 카세트를 반출하거나 선반으로 카세트를 반입하는 랙 마스터; 및 카세트를 랙 마스터로부터 반입하여 외부에서 주행하는 무인 반송 대차로 반출하거나 카세트를 무인 반송 대차로부터 반입하여 랙 마스터로 반출하며, 무인 반송 대차로 반출되거나 무인 반송 대차로부터 반입되는 카세트가 안착되는 제1 버퍼, 및 랙 마스터로 반출되거나 랙 마스터로부터 반입되는 카세트가 안착되는 제2 버퍼를 포함하는 포트를 포함한다.
Figure P1020060128649
기판, 카세트, 스토커, 포트, 버퍼

Description

스토커 및 이를 사용한 기판 반송 방법{STOCKER AND METHOD FOR TRANSFERING SUBSTRATE USING THE SAME}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스토커를 개략적으로 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스토커를 개략적으로 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 1의 A를 확대한 확대 평면도이다.
도 4는 도 2의 B를 확대한 확대 측면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 스토커에서 제1 포트 내 제1 및 제2 버퍼 간 카세트 반송의 제1 실시예를 개략적으로 설명하기 위한 측면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 스토커에서 제1 포트 내 제1 및 제2 버퍼 간 카세트 반송의 제2 실시예를 개략적으로 설명하기 위한 측면도이다.
{도면의 주요부분에 대한 부호의 설명}
100: 스토커 101: 카세트
102: 선반 104: 제1 포트
106: 제1 버퍼 134: 랙 마스터
136: 제1 무인 반송 대차 라인 138: 제1 무인 반송 대차
본 발명은 평판 표시장치의 제조에 관한 것으로, 구체적으로 평판 표시장치의 기판을 적재하기 위한 카세트를 보관하는 설비인 스토커에 관한 것이다.
정보화 사회의 발전에 부응하여 액정 표시장치(Liquid Crystal Display: LCD) 및 유기전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED) 등과 같은 평판 표시장치(Flat Panel Display: FPD)의 사용이 증가하고 있다. 이러한 평판 표시장치 중 이하에서는 액정 표시장치를 예로 들어 설명한다.
액정 표시장치는 액정 분자들의 전기 광학 특성을 이용하여 화상을 표시하는 장치이다. 이를 위해, 액정 표시장치는 액정 패널, 백라이트 유닛 및 구동회로 유닛을 포함한다.
액정 패널은 화상을 표시하며, 액정 분자들로 이루어진 액정층을 사이에 두고 합착된 컬러 필터 기판 및 박막 트랜지스터 기판을 포함한다.
컬러 필터 기판은 색을 표현하며, 유리나 플라스틱 등과 같은 투명한 재질의 기판 상에 박막으로 형성된 적/녹/청색 컬러 필터를 포함한다.
박막 트랜지스터 기판은 액정층에 전압을 인가하며, 유리나 플라스틱 등과 같은 재질의 투명한 다른 기판 상에 박막으로 형성된 박막 트랜지스터, 화소 전극 및 공통 전극을 포함한다.
백라이트 유닛은 액정 패널의 배면에 위치하여 액정 패널에 광을 제공한다.
구동회로 유닛은 액정 패널을 구동하기 위한 구동 전압들을 생성하며, 생성된 구동 전압들을 자신과 접속된 액정 패널에 공급한다.
상기의 구성을 가지는 종래의 액정 표시장치는 크게 기판 제조 공정, 셀 제조 공정 및 모듈 제조 공정을 통해 제조된다. 여기서, 기판 제조 공정이란 세정된 기판을 이용한 컬러 필터 기판을 제조하는 공정 및 세정된 다른 기판을 이용한 박막 트랜지스터 기판을 제조하는 공정을 말한다. 또한, 셀 제조 공정이란 컬러 필터 기판 및 박막 트랜지스터 기판 사이에 액정층을 형성한 후, 상기 두 기판을 합착시켜 액정 패널을 제조하는 공정을 말한다. 그리고, 모듈 제조 공정이란 액정 패널의 패드부에 구동회로 유닛을 부착한 후, 구동회로 유닛이 부착된 액정 패널을 백라이트 유닛과 조립하는 공정을 말한다.
그런데, 예를 들어, 상기 기판 제조 공정을 위해 기판은 각 제조 장비로 낱장 또는 그룹 형태로 반송되어야 한다. 이 때문에, 다수의 기판을 낱장으로 적재할 수 있으며 이 낱장의 기판을 그룹 형태로 반송할 수 있는 카세트(cassette)가 기판 반송을 위해 사용된다. 즉, 종래 기술에 따르면, 기판은 카세트에 적재된 상태로 제조 장비로 반송된다.
한편, 예를 들어, 기판 제조 공정을 수행하는 제조 장비들은 각각 기판 처리 능력 및 처리 시간이 다르다. 이로 인해, 발생하는 문제를 해결하기 위해 카세트를 임시로 보관하는 스토커(stocker)가 사용된다.
이를 위해, 스토커는 선반(shelf), 포트(port) 및 랙 마스터(rack master)를 포함한다.
선반은 기판이 적재된 카세트를 실제적으로 보관하는 설비이다.
포트는 스토커의 장방향을 따라 선반 사이에 설치되거나, 스토커의 단방향을 따라 설치된다.
포트는 카세트를 스토커 외부의 무인 반송 대차(unmanned guided vehicle) 라인을 따라 주행하는 무인 반송 대차로 반출하는 출력 포트이거나, 무인 반송 대차로부터 카세트를 반입하는 입력 포트이거나, 입/출력 포트일 수 있다. 여기서, 무인 반송 대차는 자신의 동력원으로 충전되는 배터리를 사용하여 무인화 공장 또는 자동화 생산 라인에서 호스트 컴퓨터의 지령에 의해 물류의 이송을 담당하는 차량을 말한다. 이러한 무인 반송 대차는 자동 반송 대차(Automatic Guided Vehicle: AGV) 및 레이저 반송 대차(Laser Guided Vehicle: LGV) 등 다양한 종류가 있다.
랙 마스터는 스토커 내부에서 선반 및 포트 간 카세트를 반송한다. 이를 위해, 랙 마스터는 선반으로부터 카세트를 반출하거나 선반으로 카세트를 반입할 수 있다. 또한, 랙 마스터는 포트로부터 카세트를 반출하거나 포트로 카세트를 반입할 수 있다.
상기의 구성을 갖는 종래의 스토커에서 상기 포트 중 스토커의 장방향을 따라 선반 사이에 설치된 포트는 각각 1개의 버퍼(buffer)를 포함하고 있다. 여기서, 버퍼란 반출 또는 반입되는 1개의 카세트가 안착될 수 있는 설비를 말한다.
이 때문에, 랙 마스터 및 무인 반송 대차 중 적어도 어느 하나 이상의 카세트 반송 대기 시간이 길어지게 된다.
구체적으로, 예를 들어, 무인 반송 대차가 스토커의 장방향을 따라 선반 사 이에 설치된 포트 중 어느 하나의 포트의 버퍼에 카세트를 입력한 후, 상기 카세트와 다른 카세트를 상기 버퍼에 추가로 입력하려고 할 때, 상기 무인 반송 대차는 대기할 수 있다. 이는 랙 마스터가 이전에 누적된 반송을 수행하기 위해 상기 버퍼로 먼저 입력된 카세트를 반송하지 못할 수 있기 때문이다.
이 때문에, 무인 반송 대차는 랙 마스터가 상기 버퍼로 먼저 입력된 카세트를 반송할때까지 대기하여야 한다. 이로 인해, 상기 무인 반송 대차 라인의 정체가 발생할 수 있다. 이는 랙 마스터의 경우에도 발생할 수 있다.
상술한 바와 같이, 랙 마스터 및 무인 반송 대차 중 적어도 어느 하나 이상의 카세트 반송 대기 시간이 길어지게 되면, 랙 마스터 및 무인 반송 대차 중 적어도 어느 하나 이상의 운용 효율이 떨어지게 되는 문제점이 있다. 결과적으로, 평판 표시장치의 생산성이 악화될 수 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 랙 마스터 및 무인 반송 대차 중 적어도 어느 하나 이상의 카세트 반송 대기 시간을 줄일 수 있는 스토커 및 이를 사용한 기판 반송 방법을 제공하고자 하는 것이다.
또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 랙 마스터 및 무인 반송 대차 중 적어도 어느 하나 이상의 운용 효율을 향상시킬 수 있는 스토커 및 이를 사용한 기판 반송 방법을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로 부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 스토커는, 기판이 적재된 카세트를 보관하는 선반; 상기 선반으로부터 상기 카세트를 반출하거나 상기 선반으로 상기 카세트를 반입하는 랙 마스터; 및 상기 카세트를 상기 랙 마스터로부터 반입하여 외부에서 주행하는 무인 반송 대차로 반출하거나 상기 카세트를 상기 무인 반송 대차로부터 반입하여 상기 랙 마스터로 반출하며, 상기 무인 반송 대차로 반출되거나 상기 무인 반송 대차로부터 반입되는 상기 카세트가 안착되는 제1 버퍼, 및 상기 랙 마스터로 반출되거나 상기 랙 마스터로부터 반입되는 상기 카세트가 안착되는 제2 버퍼를 포함하는 포트를 포함한다.
여기서, 상기 포트는, 상기 랙 마스터의 주행 방향을 따라 상기 선반 사이에 설치될 수 있다.
여기서, 상기 포트의 제1 버퍼는, 상기 무인 반송 대차가 주행하는 무인 반송 대차 라인과 인접하여 설치될 수 있다.
여기서, 상기 포트의 제2 버퍼는, 상기 랙 마스터가 주행하는 랙 마스터 라인에 인접하여 설치될 수 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 반송 방법은, (a) 외부에서 주행하는 무인 반송 대차에 안착된 카세트를 포트의 제1 버퍼에 안착시키는 단계; (b) 상기 제1 버퍼에 안착된 상기 카세트를 반송 수단을 사용하여 상기 포트의 제2 버퍼에 안착시키는 단계; 및 (c) 상기 제2 버퍼에 안착된 상기 카세트를 랙 마스터를 사용하여 선반에 반입하는 단계를 포함한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 반송 방법은, (a) 선반에 보관된 카세트를 랙 마스터를 사용하여 포트의 제1 버퍼에 안착시키는 단계; (b) 상기 제1 버퍼에 안착된 상기 카세트를 반송 수단을 사용하여 상기 포트의 제2 버퍼에 안착시키는 단계; 및 (c) 상기 제2 버퍼에 안착된 상기 카세트를 외부에서 주행하는 무인 반송 대차로 반출하는 단계를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 스토커에 대하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스토커를 개략적으로 설명하기 위한 평면도이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스토커를 개략적으로 설명하기 위한 측면도이다. 도 3은 도 1의 A를 확대한 확대 평면도이다. 도 4는 도 2의 B를 확대한 확대 측면도이다. 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 스토커에서 제1 포트 내 제1 및 제2 버퍼 간 카세트 반송의 제1 실시예를 개략적으로 설명하기 위한 측면도이다. 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 스토커에서 제1 포트 내 제1 및 제2 버퍼 간 카세트 반송의 제2 실시예를 개략적으로 설명하기 위한 측면도이다.
먼저, 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 스토커(100)는 액정 표시장치 및 유기전계 발광소자 등과 같은 평판 표시장치의 제조에 사용되는 기판이 적재된 카세트(101)를 보관하기 위한 설비이다. 여기서, 스토커(100)는 호스트에 의해 제어되는 스토커 콘트롤러(stocker controller)와 통신하며 상기 스토커 콘트롤러에 의해 제어된다.
구체적으로, 스토커(100)는 임의의 제조 장비에서 소정 제조 공정이 수행된 기판이 적재된 카세트(101)를 다음 제조 공정을 수행하는 다른 임의의 제조 장비로 반송하기 전에, 각 제조 장비의 기판 처리 능력 및 처리 시간의 차이 등에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위해, 카세트(101)를 임시로 보관하는 설비이다.
따라서, 임의의 제조 장비에서 소정 제조 공정이 수행된 기판이 적재된 카세트(101)는 스토커(100)에 임시로 보관된 후, 다음 제조 공정을 수행하는 다른 임의의 제조 장비로 반송된다. 여기서, 상기 제조 장비 각각은, 예를 들어, 세정, 증착, 포토, 식각, 배향, 러빙, 합착, 절단, 검사 장비 중 어느 하나일 수 있으나, 이는 평판 표시장치의 제조 라인 구성 및 특성에 따라 달라질 수 있으므로, 상기한 바에 국한되지 않는다. 또한, 상기 소정 제조 공정 역시, 상기 임의의 제조 장비 각각이 수행하는 공정 중 어느 하나일 수 있으나, 상기한 바에 국한되지 않는다.
스토커(100)는 상기와 같이 카세트(101)를 보관하기 위해 선반(102), 제1 내지 제6 포트(104, 124, 126, 128, 130, 132) 및 랙 마스터(134)를 포함한다.
선반(102)은 기판이 적재된 카세트(101)를 실제적으로 보관하는 설비이다. 선반(102)은 복수개의 셀(cell)로 구획될 수 있으며, 각 셀은 1개의 카세트(101)를 보관할 수 있다. 여기서, 선반(102)은 도 2에 도시된 바와 같이, 다층 형태로 설치될 수 있다.
제1 포트(104)는 카세트(101)를 스토커(100) 외부의 제1 무인 반송 대차 라인(136)을 따라 주행하는 제1 무인 반송 대차(138)로 반출하거나 제1 무인 반송 대차(138)로부터 카세트(101)를 반입하는 입/출력 포트일 수 있다. 여기서, 제1 포트(104)는 스토커(100)의 장방향인 랙 마스터(134)의 주행 방향을 따라 선반(102) 사이에 설치될 수 있다.
이를 위해, 제1 포트(104)는 반출 또는 반입되는 카세트(101)가 안착되는 적어도 두개 이상의 버퍼(106, 108)를 포함할 수 있다.
제1 포트(104)에 설치된 버퍼(106, 108)의 수는 스토커(100)의 크기, 제1 포트(104)의 크기 및 카세트(101) 반송량 등에 따라 상술한 바와 같이, 적어도 두개 이상일 수 있으나, 이하에서는 설명의 편리성을 위해 제1 포트(104)에 두개의 버퍼(106, 108), 즉, 제1 버퍼(106) 및 제2 버퍼(108)가 설치된 경우를 예로 들어 설명한다. 여기서, 예를 들어, 제1 포트(104)에 세개 이상의 버퍼를 설치할 경우, 상기 제1 및 제2 버퍼(106, 108) 사이에 카세트(101)를 안착시킬 수 있는 적어도 1개 이상의 제3 버퍼를 추가로 설치할 수 있다.
제1 버퍼(106)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 무인 반송 대차(138)로 반출되거나 제1 무인 반송 대차(138)로부터 반입되는 카세트(101)를 안착시킬 수 있는 설비일 수 있다. 여기서, 제1 무인 반송 대차(138)로 반출되는 카 세트(101)는 제1 캐리지 또는 컨베이어 유닛에 의해 제2 버퍼(108)로부터 제1 버퍼(106)로 반송된 후, 제1 버퍼(106)에 안착될 수 있다. 또한, 제1 무인 반송 대차(138)로부터 반입되어 제1 버퍼(106)에 안착된 카세트(101)는 제1 캐리지 또는 컨베이어 유닛에 의해 제2 버퍼(108)로 반송될 수 있다.
이를 위해, 제1 버퍼(106)는 제1 무인 반송 대차(138)가 주행하는 제1 무인 반송 대차 라인(136)과 인접하여 설치될 수 있다.
제2 버퍼(108)는 랙 마스터(134)로 반출되거나 랙 마스터(134)로부터 반입되는 카세트(101)를 안착시킬 수 있는 설비일 수 있다. 여기서, 랙 마스터(134)로 반출되는 카세트(101)는 제1 캐리지 또는 컨베이어 유닛에 의해 제1 버퍼(106)로부터 제2 버퍼(108)로 반송된 후, 제2 버퍼(108)에 안착될 수 있다. 또한, 랙 마스터(134)로부터 반입되어 제2 버퍼(108)에 안착된 카세트(101)는 랙 마스터(134)에 의해 선반(102)으로부터 제2 버퍼(108)로 반송된 후, 제2 버퍼(108)에 안착될 수 있다.
이를 위해, 제2 버퍼(108)는 랙 마스터(134)가 주행하는 랙 마스터 라인에 인접하여 설치될 수 있다.
상술한 바와 같이, 제1 포트(104)가 제1 및 제2 버퍼(106, 108)를 구비함으로써 랙 마스터(134) 및 제1 무인 반송 대차(138) 각각의 카세트(101) 반송 대기 시간을 줄일 수 있다.
구체적으로, 예를 들어, 제1 무인 반송 대차(138)가 제1 버퍼(106)에 카세트(101)를 입력한 후 상기 카세트(101)와 다른 카세트(101)를 제1 버퍼(106)에 추 가로 입력하고자 할 경우, 먼저 입력된 상기 카세트(101)는 제2 버퍼(108)로 반송될 수 있다. 이 때문에, 제1 무인 반송 대차(138)는 상기 카세트(101)와 다른 카세트(101)를 제1 버퍼(106)에 추가로 입력할 수 있으므로, 제1 무인 반송 대차(138)의 카세트(101) 반송 대기 시간을 줄일 수 있다.
상기와 같은 이유로 인해, 랙 마스터(134) 및 제1 무인 반송 대차(138) 각각의 운용 효율이 향상될 수 있다. 이에 따라, 평판 표시장치의 생산성이 향상될 수 있다.
한편, 제1 포트(104)는 제1 및 제2 버퍼(106, 108) 간 카세트(101) 반송을 위해 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 캐리지(110)를 더 포함할 수 있다.
제1 캐리지(110)는 제1 및 제2 버퍼(106, 108) 간에 설치되어 제1 캐리지(110)의 주행 경로를 제공하는 레일(112)을 따라 이동하며, 제1 및 제2 버퍼(106, 108) 간 카세트(101) 반송을 담당할 수 있다.
반면, 제1 포트(104)는 제1 및 제2 버퍼(106, 108) 간 카세트(101) 반송을 위해 도 6에 도시된 바와 같이, 컨베이어 유닛(114)을 더 포함할 수 있다.
컨베이어 유닛(114)은 컨베이어 벨트(116) 및 이송 롤러(118)를 구비함으로써 제1 및 제2 버퍼(106, 108) 간 카세트(101) 반송을 담당할 수 있다. 여기서, 제2 및 제3 캐리지(120, 122) 각각은 제1 및 제2 버퍼(106, 108) 각각에 설치되며, 제1 및 제2 버퍼(106, 108)에 안착된 카세트(101)를 컨베이어 벨트(116)에 안착시키거나 컨베이어 벨트(116)에 안착된 카세트(101)를 제1 및 제2 버퍼(106, 108)에 안착시킬 수 있다.
제2 포트(124)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 카세트(101)를 제1 무인 반송 대차(138)로 반출하거나 제1 무인 반송 대차(138)로부터 카세트(101)를 반입하는 입/출력 포트일 수 있다. 여기서, 제2 포트(124)는 스토커(100)의 장방향인 랙 마스터(134)의 주행 방향을 따라 선반(102) 사이에 설치될 수 있다.
제2 포트(124)는 제1 포트(104)와 마찬가지로, 카세트(101)가 안착되는 적어도 두개 이상의 버퍼를 포함할 수 있으나, 이는 스토커(100)의 크기, 카세트(101) 반송량 등에 따라 달라질 수 있다.
제3 포트(126)는 카세트(101)를 스토커(100) 외부의 제2 무인 반송 대차 라인(140)을 따라 주행하는 제2 무인 반송 대차(142)로 반출하는 출력 포트일 수 있다.
제4 포트(128)는 카세트(101)를 상기 제2 무인 반송 대차(142)로부터 반입하는 입력 포트일 수 있다.
제5 포트(130)는 카세트(101)를 스토커(100) 외부의 제3 무인 반송 대차 라인(144)을 따라 주행하는 제3 무인 반송 대차(146)로 반출하는 출력 포트일 수 있다.
제6 포트(132)는 카세트(101)를 상기 제3 무인 반송 대차(146)로부터 반입하는 입력 포트일 수 있다.
상기 제3 내지 제6 포트(126, 128, 130, 132) 각각은 스토커(100)의 단방향, 즉, 랙 마스터(134)의 주행 방향과 수직한 방향을 따라 설치될 수 있다.
랙 마스터(134)는 스토커(100) 내부에서 선반(102) 및 제1 내지 제6 포 트(104, 124, 126, 128, 130, 132) 간 카세트(101)를 반송한다. 이를 위해, 랙 마스터(134)는 선반(102)으로부터 카세트(101)를 반출하거나 선반(102)으로 카세트(101)를 반입할 수 있다. 또한, 랙 마스터(134)는 제1 내지 제6 포트(104, 124, 126, 128, 130, 132)로부터 카세트(101)를 반출하거나 제1 내지 제6 포트(104, 124, 126, 128, 130, 132)로 카세트(101)를 반입할 수 있다.
랙 마스터(134)는 랙 마스터(134)가 주행하는 랙 마스터 라인을 따라 설치된 전원 공급선과 고강도 방전(High Intensity Discharge: HID)을 통해 비접촉식으로 전원을 공급받을 수 있으나, 랙 마스터(134)에 전원을 공급하는 방식은 이에 국한되지 않는다. 예를 들어, 랙 마스터(134)의 하부 일측에 브러쉬(brush)를 포함하는 트롤리가 설치될 수 있으며, 상기 트롤리가 랙 마스터(134)에 전원을 공급할 수 있다.
한편, 상기의 구성을 갖는 본 발명의 실시예에 따른 스토커(100)를 사용하는 기판 반송 방법에 대해 간략히 설명한다.
먼저, 제1 무인 반송 대차(138)에 안착된 카세트(101)를 선반(102)에 반입하는 방법에 대하여 간략히 설명하면 다음과 같다.
임의의 제조 장비에서 소정 제조 공정이 수행된 기판이 적재된 카세트(101)는 상기 제조 장비로부터 반출되어 제1 무인 반송 대차(138)에 안착된다. 이어, 제1 무인 반송 대차(138)는 호스트의 지령에 의해 제1 포트(104)의 제1 버퍼(106) 인근까지 이동한다. 이후, 제1 무인 반송 대차(138)는 상기 카세트(101)를 상기 제1 포트(104)의 제1 버퍼(106)에 안착시킨다.
다음으로, 제1 버퍼(106)에 안착된 상기 카세트(101)는 제1 캐리지(110) 또는 컨베이어 유닛(114) 등과 같은 반송 수단에 의해 상기 제1 포트(104)의 제2 버퍼(108)로 반송된 후, 제2 버퍼(108)에 안착된다.
다음으로, 제2 버퍼(108)에 안착된 상기 카세트(101)는 랙 마스터(134)에 의해 제2 버퍼(108)로부터 반출된 후, 랙 마스터(134)에 의해 선반(102)으로 반입된다.
한편, 선반(102)에 보관된 카세트(101)를 제1 무인 반송 대차(138)로 반출하는 방법에 대하여 간략히 설명하면 다음과 같다.
선반(102)에 보관된 카세트(101)는 랙 마스터(134)에 의해 선반(101)으로부터 반출된 후, 랙 마스터(134)에 의해 제1 포트(104)의 제2 버퍼(108)에 안착된다.
다음으로, 상기 제2 버퍼(108)에 안착된 상기 카세트(101)는 상술한 제1 캐리지(110) 또는 컨베이어 유닛(114) 등과 같은 반송 수단에 의해 상기 제1 포트(104)의 제1 버퍼(106)로 반송된 후, 제1 버퍼(106)에 안착된다.
다음으로, 상기 제1 버퍼(106)에 안착된 상기 카세트(101)를 외부에서 주행하는 제1 무인 반송 대차(138)로 반출한다.
이후, 제1 무인 반송 대차(138)는 호스트의 지령에 의해 소정 제조 공정을 수행할 임의의 제조 장비 인근까지 이동한 후, 상기 카세트(101)를 상기 제조 장비로 반입한다.
이상 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 발명에 따르면, 랙 마스터 및 무인 반송 대차 각각의 카세트 반송 대기 시간을 줄일 수 있다. 이 때문에, 랙 마스터 및 무인 반송 대차 각각의 운용 효율을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 평판 표시장치의 생산성을 향상시킬 수 있다.

Claims (15)

  1. 기판이 적재된 카세트를 보관하는 선반;
    상기 선반으로부터 상기 카세트를 반출하거나 상기 선반으로 상기 카세트를 반입하는 랙 마스터; 및
    상기 카세트를 상기 랙 마스터로부터 반입하여 외부에서 주행하는 무인 반송 대차로 반출하거나 상기 카세트를 상기 무인 반송 대차로부터 반입하여 상기 랙 마스터로 반출하며, 상기 무인 반송 대차로 반출되거나 상기 무인 반송 대차로부터 반입되는 상기 카세트가 안착되는 제1 버퍼, 및 상기 랙 마스터로 반출되거나 상기 랙 마스터로부터 반입되는 상기 카세트가 안착되는 제2 버퍼를 포함하는 포트
    를 포함하는 스토커.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 포트는, 상기 랙 마스터의 주행 방향을 따라 상기 선반 사이에 설치된 것을 특징으로 하는 스토커.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 포트의 제1 버퍼는, 상기 무인 반송 대차가 주행하는 무인 반송 대차 라인과 인접하여 설치되는 것을 특징으로 하는 스토커.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 포트의 제2 버퍼는, 상기 랙 마스터가 주행하는 랙 마스터 라인에 인접하여 설치되는 것을 특징으로 하는 스토커.
  5. 제1항에 있어서, 상기 포트는,
    상기 제1 및 제2 버퍼 간 상기 카세트를 반송하는 제1 캐리지
    를 더 포함하는 스토커.
  6. 제5항에 있어서, 상기 포트는,
    상기 제1 및 제2 버퍼 간 상기 제1 캐리지의 주행 경로를 제공하는 레일
    을 더 포함하는 스토커.
  7. 제1항에 있어서, 상기 포트는,
    상기 제1 및 제2 버퍼 간 상기 카세트를 반송하는 컨베이어 유닛
    을 더 포함하는 스토커.
  8. 제7항에 있어서, 상기 포트는,
    상기 제1 및 제2 버퍼 각각에 설치되며, 상기 제1 및 제2 버퍼에 안착된 상기 카세트를 상기 컨베이어 유닛에 안착시키거나 상기 컨베이어 유닛에 안착된 상기 카세트를 상기 제1 및 제2 버퍼에 안착시키는 제2 및 제3 캐리지
    를 더 포함하는 스토커.
  9. 제1항에 있어서, 상기 포트는,
    상기 제1 및 제2 버퍼 사이에 설치되며, 상기 카세트를 안착시키는 적어도 1개 이상의 제3 버퍼
    를 더 포함하는 스토커.
  10. (a) 외부에서 주행하는 무인 반송 대차에 안착된 카세트를 포트의 제1 버퍼에 안착시키는 단계;
    (b) 상기 제1 버퍼에 안착된 상기 카세트를 반송 수단을 사용하여 상기 포트의 제2 버퍼에 안착시키는 단계; 및
    (c) 상기 제2 버퍼에 안착된 상기 카세트를 랙 마스터를 사용하여 선반에 반입하는 단계
    를 포함하는 기판 반송 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 (b)단계의 반송 수단은, 상기 제1 및 제2 버퍼 간 설치된 레일을 따라 주행하는 캐리지인 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 (b)단계의 반송 수단은, 상기 제1 및 제2 버퍼 간 설치된 컨베이어 유닛인 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
  13. (a) 선반에 보관된 카세트를 랙 마스터를 사용하여 포트의 제1 버퍼에 안착시키는 단계;
    (b) 상기 제1 버퍼에 안착된 상기 카세트를 반송 수단을 사용하여 상기 포트의 제2 버퍼에 안착시키는 단계; 및
    (c) 상기 제2 버퍼에 안착된 상기 카세트를 외부에서 주행하는 무인 반송 대차로 반출하는 단계
    를 포함하는 기판 반송 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 (b)단계의 반송 수단은, 상기 제1 및 제2 버퍼 간 설치된 레일을 따라 주행하는 캐리지인 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
  15. 제15항에 있어서,
    상기 (b)단계의 반송 수단은, 상기 제1 및 제2 버퍼 간 설치된 컨베이어 유닛인 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20160009713A (ko) 2014-06-26 2016-01-27 주식회사 신성에프에이 스토커 컨베이어
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KR20210091392A (ko) * 2020-01-13 2021-07-22 세메스 주식회사 스토커, 이를 포함하는 이송 시스템
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KR20220137394A (ko) 2021-04-02 2022-10-12 시너스텍 주식회사 오버헤드 컨베이어

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