KR20080000117A - 스토커 및 그의 카세트 반송방법 - Google Patents

스토커 및 그의 카세트 반송방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20080000117A
KR20080000117A KR1020060057436A KR20060057436A KR20080000117A KR 20080000117 A KR20080000117 A KR 20080000117A KR 1020060057436 A KR1020060057436 A KR 1020060057436A KR 20060057436 A KR20060057436 A KR 20060057436A KR 20080000117 A KR20080000117 A KR 20080000117A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
port plate
port
loaded
stopper
Prior art date
Application number
KR1020060057436A
Other languages
English (en)
Inventor
안정선
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020060057436A priority Critical patent/KR20080000117A/ko
Publication of KR20080000117A publication Critical patent/KR20080000117A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G41/00—Supporting frames or bases for conveyors as a whole, e.g. transportable conveyor frames
    • B65G41/007—Means for moving conveyor frames and control arrangements therefor
    • B65G41/008—Means for moving conveyor frames and control arrangements therefor frames mounted on wheels or caterpillar
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67745—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber characterized by movements or sequence of movements of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02—Control or detection
    • B65G2203/0266—Control or detection relating to the load carrier(s)
    • B65G2203/0283—Position of the load carrier
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04—Detection means
    • B65G2203/042—Sensors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 스토커에서의 카세트 반송시간을 감소시킬 수 있도록 한 스토커 및 그의 카세트 반송방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 스토커는 복수의 기판이 수납된 카세트를 반송하는 자동 반송차와, 상기 자동 반송차에 의해 반송되는 카세트를 보관하는 복수의 쉘프와, 상기 카세트를 상기 각 쉘프에 입고시키거나 상기 쉘프에서 상기 카세트를 출고하는 랙 마스터와, 상기 자동 반송차와 상기 랙 마스터 간에 상기 카세트를 반송하는 1 싸이클 동안 한 번의 회전을 통해 상기 카세트를 반송하는 카세트 반송차를 가지는 로딩/언로딩 포트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하여 본 발명은 자동 반송차와 랙 마스터 간에 카세트를 반송하는 1 싸이클 동안 카세트 반송차를 1회의 180도 회전만으로 카세트를 반송함으로써 자동 반송차의 대기 시간을 감소시키게 된다. 따라서, 본 발명은 스토커에서의 카세트 반송시간을 감소시켜 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
스토커, 자동 반송차, 대기, 지연, 카세트

Description

스토커 및 그의 카세트 반송방법{STOCKER AND TRANSFERRING METHOD OF CASSETTE THEREOF}
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 스토커를 개략적으로 나타내는 도면.
도 2는 도 1에 도시된 로딩/언로딩 포트를 개략적으로 나타내는 도면.
도 3은 도 2에 도시된 카세트 반송차를 개략적으로 나타내는 도면.
도 4는 도 3에 도시된 카세트 반송차를 개략적으로 나타내는 측면도.
도 5는 도 4에 도시된 포트 프레임을 개략적으로 나타내는 평면도.
도 6a 내지 도 6r은 본 발명의 실시 예에 따른 스토커의 카세트 반송방법을 단계적으로 나타내는 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호설명 >
110 : 쉘프 120 : 랙 마스터
200 : 로딩/언로딩 포트 210 : 카세트 반송차
212 : 주행 레일 220 : 포트 프레임
230 : 회전축 240 : 포트 플레이트
250 : 카세트 300 : 자동 반송차
본 발명은 스토커에 관한 것으로, 특히 스토커에서의 카세트 반송시간을 감소시킬 수 있도록 한 스토커 및 그의 카세트 반송방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시장치는 저전압 구동, 저소비 전력, 풀 칼라 구현, 경박 단소 등의 특징을 가지며, 시계, 계산기, PC용 모니터, 노트북 등으로부터 항공용 모니터, 개인 휴대용 단말기 등에 다양하게 적용되고 있다.
액정 표시장치의 액정 표시패널은, 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 화소 영역에 박막 트랜지스터와 화소전극이 구비된 박막 트랜지스터 기판과 컬러필터층과 공통전극이 구비된 컬러필터 기판, 그리고 두 기판 사이에 형성된 액정층으로 이루어진다.
이러한 액정 표시장치의 제조공정은, 크게 어레이 공정, 셀 제조공정, 그리고 모듈공정으로 나뉘어진다.
액정 표시패널의 제조에는 유기기판과 같은 기판이 이용되며, 유리기판은 카세트(Cassette)라고 지칭되는 수납부에 수납된 상태로 각 공정장치에 투입되어 단위 공정을 거치게 된다.
그리고, 액정 표시장치의 유리기판은 각 공정을 거치기 위해 각각의 공정에 사용되는 제조장비로 순차적으로 또는 그룹형태로 반송 또는 반송되어 각 공정을 거치게 된다.
각 단위 공정이 끝나거나, 단위공정을 거쳐야 하는 카세트들을 다수 저장하는 장치가 스토커(Stocker)이다.
일반적인 스토커는 카세트를 반송하는 자동 반송차(Auto Guided Vehicle)와, 자동 반송차에 의해 반송되는 카세트를 보관하는 복수의 쉘프(Shelf)와, 자동 반송차로부터 카세트가 로딩되거나 쉘프에 저장된 카세트를 자동 반송차로 언로딩시키기 위한 카세트 반송차를 가지는 로딩/언로딩 포트와, 쉘프와 로딩/언로딩 포트간에 카세트를 반송하기 위한 로봇(Robot)인 랙 마스터(Rack Master)를 포함하여 구성된다.
로딩/언로딩 포토의 카세트 반송차는 자동 반송차로부터 카세트를 로딩받아 랙 마스터로 반송하거나, 랙 마스터로부터 카세트를 로딩받아 자동 반송차로 반송하는 역할을 한다.
한편, 자동 반송차가 카세트를 로딩 또는 언로딩시키는 반송 시간은 카세트 반송차가 로딩/언로딩 포트에서 카세트를 반송하는 반송시간보다 빠르다.
이에 따라, 일반적인 스토커에서는 자동 반송차가 카세트 반송차에 의한 반송시간 동안 대기하게 되므로 반송 지연이 발생하여 생산성이 감소하는 문제점이 있다.
따라서 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 스토커에서의 카세트 반송시간을 감소시킬 수 있도록 한 스토커 및 그의 카세트 반송방법을 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 스토커는 복수 의 기판이 수납된 카세트를 반송하는 자동 반송차와, 상기 자동 반송차에 의해 반송되는 카세트를 보관하는 복수의 쉘프와, 상기 카세트를 상기 각 쉘프에 입고시키거나 상기 쉘프에서 상기 카세트를 출고하는 랙 마스터와, 상기 자동 반송차와 상기 랙 마스터 간에 상기 카세트를 반송하는 1 싸이클 동안 한 번의 회전을 통해 상기 카세트를 반송하는 카세트 반송차를 가지는 로딩/언로딩 포트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 스토커의 카세트 반송방법은 기판들이 수납된 카세트를 반송하는 자동 반송차와, 상기 자동 반송차에 의해 반송되는 카세트를 보관하는 복수의 쉘프와, 상기 카세트를 상기 각 쉘프에 입고시키거나 상기 쉘프에서 상기 카세트를 출고하는 랙 마스터와, 상기 자동 반송차와 상기 랙 마스터 간에 상기 카세트를 반송하는 카세트 반송차를 가지는 로딩/언로딩 포트를 포함하는 스토커의 카세트 반송방법에 있어서; 상기 자동 반송차에 적재된 상기 카세트를 상기 카세트 반송차의 포트 플레이트로 로딩시키는 단계와, 상기 카세트가 로딩된 상기 포트 플레이트를 제 1 방향으로 회전시키는 단계와, 상기 제 1 방향으로 회전된 상기 포트 플레이트에서 상기 카세트를 상기 랙 마스터로 언로딩시키는 단계와, 상기 자동 반송차에 적재된 새로운 카세트를 상기 제 1 방향으로 회전된 상기 포트 플레이트로 로딩시키는 단계와, 상기 새로운 카세트가 로딩된 상기 포트 플레이트를 상기 제 1 방향과 반대되는 제 2 방향으로 회전시키는 단계와, 상기 제 2 방향으로 회전된 상기 포트 플레이트에서 상기 새로운 카세트를 상기 랙 마스터로 언로딩시키는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 스토커의 카세트 반송방법은 기판들이 수납된 카세트를 반송하는 자동 반송차와, 상기 자동 반송차에 의해 반송되는 카세트를 보관하는 복수의 쉘프와, 상기 카세트를 상기 각 쉘프에 입고시키거나 상기 쉘프에서 상기 카세트를 출고하는 랙 마스터와, 상기 자동 반송차와 상기 랙 마스터 간에 상기 카세트를 반송하는 카세트 반송차를 가지는 로딩/언로딩 포트를 포함하는 스토커의 카세트 반송방법에 있어서; 상기 쉘프에 보관된 상기 카세트를 상기 카세트 반송차의 포트 플레이트로 로딩시키는 단계와, 상기 카세트가 로딩된 상기 포트 플레이트를 제 1 방향으로 회전시키는 단계와, 상기 제 1 방향으로 회전된 상기 포트 플레이트에서 상기 카세트를 상기 자동 반송차로 언로딩시키는 단계와, 상기 쉘프에 보관된 새로운 카세트를 상기 제 1 방향으로 회전된 상기 포트 플레이트로 로딩시키는 단계와, 상기 새로운 카세트가 로딩된 상기 포트 플레이트를 상기 제 1 방향과 반대되는 제 2 방향으로 회전시키는 단계와, 상기 제 2 방향으로 회전된 상기 포트 플레이트에서 상기 새로운 카세트를 상기 자동 반송차로 언로딩시키는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
이하에서, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 스토커를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 스토커는 카세트를 반송하는 자동 반송차(Auto Guided Vehicle)(300)와; 자동 반송차(300)에 의해 반송되는 카세트를 보관하는 복수의 쉘프(Shelf)와; 카세트를 각 쉘프에 입고시키거나 쉘프에서 카세트를 출고하는 로봇(Robot)인 랙 마스터(Rack Master)(120)와, 자동 반송차(300)와 랙 마스터(120) 간에 카세트를 반송하는 1 싸이클 동안 한 번의 회전을 통해 카세트를 반송하는 카세트 반송장치(210)를 가지는 로딩/언로딩 포트(200)를 포함하여 구성된다.
쉘프(110)는 랙 마스터(120)에 의해 반송되는 카세트를 보관한다.
자동 반송차(300)는 반송 라인(312)을 따라 이동하여 로딩/언로딩 포트(200)로 카세트를 로딩시키거나 로딩/언로딩 포트(200)에서 카세트를 언로딩시킨다.
랙 마스터(120)는 레일(122)을 따라 이동 가능하며, 로딩/언로딩 포트(200)의 카세트 반송차(210)에 적재된 카세트를 쉘프(110)로 반송하거나 쉘프(110)에 저장된 카세트를 로딩/언로딩 포트(200)의 카세트 반송차(210)로 반송한다.
로딩/언로딩 포트(200)는 주행 레일(212)을 따라 이동하여 자동 반송차(300)와 랙 마스터(120)간에 카세트를 반송하는 카세트 반송차(210)를 포함하여 구성된다.
이러한, 로딩/언로딩 포트(200)에는 도 2에 도시된 바와 같이 카세트 반송차(210)와 자동 반송차(300) 간의 카세트 반송을 위한 제 1 로딩/언로딩 영역과, 카세트 반송차(210)에 적재된 카세트를 회전시키기 위한 회전 영역과, 카세트 반송차(210)와 랙 마스터(120) 간의 카세트 반송을 위한 제 2 로딩/언로딩 영역을 포함한다.
카세트 반송차(210)는 도 3에 도시된 바와 같이 포트 프레임(220)과, 회전축(230)과, 포트 플레이트(240)를 포함하여 구성된다.
포트 프레임(220)은 주행 레일(212) 상에 이동 가능하게 설치된다. 또한, 포트 프레임(220)의 내부에는 회전축(230)을 180도 양방향으로 회전시키기 위한 도시하지 않은 회전축 구동장치를 포함하여 구성된다.
포트 플레이트(240)는 회전축(230)에 설치되어 회전축(230)의 회전에 따라 제 1 방향 또는 제 1 방향과 반대되는 제 2 방향으로 180도 회전한다.
포트 플레이트(240)의 상면에는 자동 반송차(300) 또는 랙 마스터(120)로부터 반송되는 카세트를 고정하기 위한 워크 가이드(241)가 설치된다.
또한, 카세트 반송차(210)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 스토퍼 도그(Stopper Dog)(254)와, 위치 센서 도그(Sensor Dog)(252)와, 제 1 및 제 2 스토퍼(222a, 222b)와, 제 1 및 제 2 위치 센서(224a, 224b)를 더 포함하여 구성된다.
스토퍼 도그(254)는 포트 플레이트(240)의 저면에 설치된다. 이러한, 스토퍼 도그(254)는 포트 플레이트(240)의 180도 회전시 제 1 스토퍼(222a) 또는 제 2 스토퍼(222b)에 접촉하여 포트 플레이트(240)의 회전을 정지시킨다.
위치 센서 도그(252)는 스토퍼 도그(254)에 인접하도록 설치된다. 이러한, 위치 센서 도그(252)는 포트 플레이트(240)의 180도 회전시 제 1 위치 센서(224a) 또는 제 2 위치 센서(224b)로부터 조사되는 광을 반사시킨다.
제 1 스토퍼(222a)는 포트 프레임(220)의 상면 중심선상(C)에 대응되는 일측에 고정되도록 소정 높이로 설치된다. 이러한, 제 1 스토퍼(222a)는 포트 플레이트(240)의 제 1 방향 회전시 스토퍼 도그(254)와 접촉되어 포트 플레이트(240)의 제 1 방향의 180도 회전을 정지시킨다.
제 2 스토퍼(222b)는 포트 프레임(220)의 상면 중심선상(C)에서 스토퍼 도그(254)의 크기만큼 소정 간격 이격되도록 회전축(230)을 기준으로 제 1 스토퍼(222a)와 대칭되는 포트 프레임(220)의 상면 타측에 소정 높이로 설치된다. 이러한, 제 2 스토퍼(222b)는 포트 플레이트(240)의 제 2 방향 회전시 스토퍼 도그(254)와 접촉되어 포트 플레이트(240)의 제 2 방향의 180도 회전을 정지시킨다.
제 1 위치 센서(224a)는 포트 플레이트(240)의 제 1 방향 회전시 위치 센서 도그(254)와 마주보도록 제 1 스토퍼(222a)에 인접하게 설치되어 포트 플레이트(240)의 제 1 방향 회전을 감지한다.
제 2 위치 센서(224b)는 포트 플레이트(240)의 제 1 방향과 반대되는 제 1 방향 회전시 위치 센서 도그(254)와 마주보도록 제 2 스토퍼(222b)에 인접하게 설치되어 포트 플레이트(240)의 제 2 방향 회전을 감지한다.
이러한, 제 1 위치 센서(224a) 또는 제 2 위치 센서(224b) 각각은 포트 플레이트(240)의 저면으로 광을 조사하여 위치 센서 도그(252)로부터 반사되는 광을 수광하여 포트 플레이트(240)의 180도 회전에 대한 위치 감지신호를 도시하지 않은 제어부로 공급한다. 여기서, 제어부는 제 1 위치 센서(224a)로부터 위치 감지신호가 공급되면 회전축(230)이 제 1 방향으로 180도 회전하도록 회전축 구동장치를 구동하고, 제 2 위치 센서(224b)로부터 위치 감지신호가 공급되면 회전축(230)이 제 2 방향으로 180도 회전하도록 회전축 구동장치를 구동한다.
도 6a 내지 도 6n은 본 발명의 실시 예에 따른 스토커의 카세트 반송방법을 단계적으로 나타내는 도면이다.
먼저, 로딩/언로딩 포트(200)의 카세트 반송차(210)는 로딩/언로딩 포트(200)의 제 1 로딩/언로딩 영역에 위치한다.
이어, 도 6a에 도시된 바와 같이 자동 반송차(300)로부터 카세트(250)가 제 1 로딩/언로딩 영역에 위치한 카세트 반송차(210)에 로딩되어 도 6b에 도시된 바와 같이 카세트(250)가 카세트 반송차(210)에 적재된다. 이때, 자동 반송차(300)는 다른 카세트를 반송하기 위하여 반송 라인(312)을 따라 이송한다.
이어, 도 6c에 도시된 바와 같이 카세트(250)가 적재된 카세트 반송차(210)는 주행 레일(212)을 따라 로딩/언로딩 포트(200)의 회전 영역으로 이송한다.
이어, 도 6d에 도시된 바와 같이 카세트 반송차(210)가 회전 영역으로 이송되면, 도 6e에 도시된 바와 같이 포트 플레이트(240)는 회전축(230)의 회전에 의해 제 1 방향으로 180도 회전한다.
이어, 카세트 반송차(210)의 포트 프레임(220)에 설치된 제 1 위치 센서(224a)가 포트 플레이트(240)에 설치된 위치 센서 도그(254)에 의해 반사되는 광을 수광하여 포트 플레이트(240)의 제 1 방향 180도 회전을 감지함과 아울러 포트 플레이트(240)에 설치된 스토퍼 도그(252)가 제 1 스토퍼(222a)에 접촉함으로써 도 6f에 도시된 바와 같이 포트 플레이트(240)가 제 1 방향으로 180도 회전이 완료된다.
이어, 도 6g에 도시된 바와 같이 카세트 반송차(210)는 주행 레일(212)을 따라 로딩/언로딩 포트(200)의 제 2 로딩/언로딩 영역으로 이송한다.
이어, 카세트 반송차(210)가 제 2 로딩/언로딩 영역으로 이송되면, 도 6h에 도시된 바와 같이 카세트 반송차(210)에 적재되어 제 1 방향으로 180도 회전된 카세트(250)는 랙 마스터(120)로 반송된다.
이어, 카세트 반송차(210)에 적재된 카세트(250)가 랙 마스터(120)로 언로딩되면, 도 6i에 도시된 바와 같이 카세트 반송차(210)는 주행 레일(212)을 따라 제 1 로딩/언로딩 영역으로 이송한다.
이어, 도 6j에 도시된 바와 같이 자동 반송차(300)로부터 다른 카세트(250)가 제 1 로딩/언로딩 영역에 위치한 카세트 반송차(210)에 로딩되어 도 6k에 도시된 바와 같이 다른 카세트(250)가 카세트 반송차(210)에 적재된다. 이때, 자동 반송차(300)는 또 다른 카세트를 반송하기 위하여 반송 라인(312)을 따라 이송한다.
이어, 도 6l에 도시된 바와 같이 다른 카세트(250)가 적재된 카세트 반송차(210)는 주행 레일(212)을 따라 회전 영역으로 이송한다.
이어, 도 6m에 도시된 바와 같이 카세트 반송차(210)가 회전 영역으로 이송되면, 도 6n에 도시된 바와 같이 포트 플레이트(240)는 회전축(230)의 회전에 의해 제 2 방향으로 180도 회전한다.
이어, 카세트 반송차(210)의 포트 프레임(220)에 설치된 제 2 위치 센서(224b)가 포트 플레이트(240)에 설치된 위치 센서 도그(254)에 의해 반사되는 광을 수광하여 포트 플레이트(240)의 제 2 방향 180도 회전을 감지함과 아울러 포트 플레이트(240)에 설치된 스토퍼 도그(252)가 제 2 스토퍼(222b)에 접촉함으로써 도 6o에 도시된 바와 같이 포트 플레이트(240)가 제 2 방향으로 180도 회전이 완료된다.
이어, 도 6p에 도시된 바와 같이 카세트 반송차(210)는 주행 레일(212)을 따라 제 2 로딩/언로딩 영역으로 이송한다.
이어, 카세트 반송차(210)가 제 2 로딩/언로딩 영역으로 이송되면, 도 6q에 도시된 바와 같이 카세트 반송차(210)에 적재되어 제 2 방향으로 180도 회전된 다른 카세트(250)는 랙 마스터(120)로 반송된다.
이어, 카세트 반송차(210)에 적재된 다른 카세트(250)가 랙 마스터(120)로 언로딩되면, 도 6r에 도시된 바와 같이 카세트 반송차(210)는 주행 레일(212)을 따라 제 1 로딩/언로딩 영역으로 이송한다.
이어, 카세트 반송차(210)는 상술한 도 6a 내지 도 6r과 같은 방식으로 자동 반송차(300)와 랙 마스터(120) 간에 카세트(250)를 반송한다. 한편, 도 6a 내지 도 6r에서는 자동 반송차(300)에 적재된 카세트를 쉘프(110)로 보관하기 위한 카세트 반송차(210)의 반송방법을 설명하였으나, 쉘프(110)에 보관된 카세트를 자동 반송차(300)로 반송하기 위한 카세트 반송차(210)의 반송방법은 상술한 반송방법과 반대이므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
상기와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 스토커 및 그의 카세트 반송방법은 자동 반송차와 랙 마스터 간에 카세트를 반송하는 1 싸이클 동안 카세트 반송차를 1회의 180도 회전만으로 카세트를 반송함으로써 자동 반송차의 대기 시간을 감소시키게 된다. 따라서, 본 발명은 스토커에서의 카세트 반송시간을 감소시켜 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.

Claims (9)

  1. 복수의 기판이 수납된 카세트를 반송하는 자동 반송차와,
    상기 자동 반송차에 의해 반송되는 카세트를 보관하는 복수의 쉘프와,
    상기 카세트를 상기 각 쉘프에 입고시키거나 상기 쉘프에서 상기 카세트를 출고하는 랙 마스터와,
    상기 자동 반송차와 상기 랙 마스터 간에 상기 카세트를 반송하는 1 싸이클 동안 한 번의 회전을 통해 상기 카세트를 반송하는 카세트 반송차를 가지는 로딩/언로딩 포트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 스토커.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 카세트 반송차는 상기 자동 반송차로부터 상기 카세트를 로딩받아 상기 로딩된 카세트를 제 1 방향으로 회전시켜 상기 랙 마스터로 반송한 후, 상기 자동 반송차로부터 새로운 카세트를 로딩받아 상기 로딩된 새로운 카세트를 상기 제 1 방향과 반대되는 제 2 방향으로 회전시켜 상기 랙 마스터로 반송하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 카세트 반송차는 상기 랙 마스터로부터 상기 쉘프에 보관된 상기 카세트를 로딩받아 상기 로딩된 카세트를 제 1 방향으로 회전시켜 상기 자동 반송차로 반송한 후, 상기 랙 마스터로부터 상기 쉘프에 보관된 새로운 카세트를 로딩받아 상기 로딩된 새로운 카세트를 상기 제 1 방향과 반대되는 제 2 방향으로 회전시켜 상기 자동 반송차로 반송하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 카세트 반송차는,
    상기 로딩/언로딩 포트에 설치된 주행 레일 상에 설치되는 포트 프레임과,
    상기 포트 프레임에 설치되는 회전축과,
    상기 회전축에 설치되어 상기 카세트가 적재되는 포트 플레이트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 스토커.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 카세트 반송차는,
    상기 포트 플레이트의 저면에 설치된 스토퍼 도그와,
    상기 스토퍼 도그에 인접하도록 설치된 위치 센서 도그와,
    상기 포트 플레이트의 제 1 방향 회전시 상기 스토퍼 도그가 접촉되도록 상기 포트 프레임의 상면 일측에 설치된 제 1 스토퍼와,
    상기 포트 플레이트의 제 2 방향 회전시 상기 스토퍼 도그가 접촉되도록 상기 회전축을 기준으로 상기 제 1 스토퍼와 대칭되는 상기 포트 프레임의 상면 타측에 설치된 제 2 스토퍼와,
    상기 포트 플레이트의 제 1 방향 회전시 상기 위치 센서 도그와 마주보도록 상기 제 1 스토퍼에 인접하게 설치되어 상기 포트 플레이트의 제 1 방향 회전을 감지하는 제 1 위치 센서와,
    상기 포트 플레이트의 제 2 방향 회전시 상기 위치 센서 도그와 마주보도록 상기 제 2 스토퍼에 인접하게 설치되어 상기 포트 플레이트의 제 2 방향 회전을 감지하는 제 2 위치 센서를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 스토커.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 스토퍼 중 어느 하나는 상기 스토퍼 도그의 크기만큼 상기 포트 프레임의 중심선상에서 이격되는 것을 특징으로 하는 스토커.
  7. 기판들이 수납된 카세트를 반송하는 자동 반송차와, 상기 자동 반송차에 의해 반송되는 카세트를 보관하는 복수의 쉘프와, 상기 카세트를 상기 각 쉘프에 입고시키거나 상기 쉘프에서 상기 카세트를 출고하는 랙 마스터와, 상기 자동 반송차와 상기 랙 마스터 간에 상기 카세트를 반송하는 카세트 반송차를 가지는 로딩/언로딩 포트를 포함하는 스토커의 카세트 반송방법에 있어서;
    상기 자동 반송차에 적재된 상기 카세트를 상기 카세트 반송차의 포트 플레이트로 로딩시키는 단계와,
    상기 카세트가 로딩된 상기 포트 플레이트를 제 1 방향으로 회전시키는 단계와,
    상기 제 1 방향으로 회전된 상기 포트 플레이트에서 상기 카세트를 상기 랙 마스터로 언로딩시키는 단계와,
    상기 자동 반송차에 적재된 새로운 카세트를 상기 제 1 방향으로 회전된 상기 포트 플레이트로 로딩시키는 단계와,
    상기 새로운 카세트가 로딩된 상기 포트 플레이트를 상기 제 1 방향과 반대되는 제 2 방향으로 회전시키는 단계와,
    상기 제 2 방향으로 회전된 상기 포트 플레이트에서 상기 새로운 카세트를 상기 랙 마스터로 언로딩시키는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 스토커의 카세트 반송방법.
  8. 기판들이 수납된 카세트를 반송하는 자동 반송차와, 상기 자동 반송차에 의해 반송되는 카세트를 보관하는 복수의 쉘프와, 상기 카세트를 상기 각 쉘프에 입고시키거나 상기 쉘프에서 상기 카세트를 출고하는 랙 마스터와, 상기 자동 반송차와 상기 랙 마스터 간에 상기 카세트를 반송하는 카세트 반송차를 가지는 로딩/언로딩 포트를 포함하는 스토커의 카세트 반송방법에 있어서;
    상기 쉘프에 보관된 상기 카세트를 상기 카세트 반송차의 포트 플레이트로 로딩시키는 단계와,
    상기 카세트가 로딩된 상기 포트 플레이트를 제 1 방향으로 회전시키는 단계와,
    상기 제 1 방향으로 회전된 상기 포트 플레이트에서 상기 카세트를 상기 자 동 반송차로 언로딩시키는 단계와,
    상기 쉘프에 보관된 새로운 카세트를 상기 제 1 방향으로 회전된 상기 포트 플레이트로 로딩시키는 단계와,
    상기 새로운 카세트가 로딩된 상기 포트 플레이트를 상기 제 1 방향과 반대되는 제 2 방향으로 회전시키는 단계와,
    상기 제 2 방향으로 회전된 상기 포트 플레이트에서 상기 새로운 카세트를 상기 자동 반송차로 언로딩시키는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 스토커의 카세트 반송방법.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 포트 플레이트는 상기 제 1 방향 또는 상기 제 2 방향으로 180도 회전하는 것을 특징으로 하는 스토커의 카세트 반송방법.
KR1020060057436A 2006-06-26 2006-06-26 스토커 및 그의 카세트 반송방법 KR20080000117A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060057436A KR20080000117A (ko) 2006-06-26 2006-06-26 스토커 및 그의 카세트 반송방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060057436A KR20080000117A (ko) 2006-06-26 2006-06-26 스토커 및 그의 카세트 반송방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080000117A true KR20080000117A (ko) 2008-01-02

Family

ID=39212476

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060057436A KR20080000117A (ko) 2006-06-26 2006-06-26 스토커 및 그의 카세트 반송방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20080000117A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102159553B1 (ko) * 2019-05-14 2020-09-24 주식회사 에스에프에이 스트립 매거진 이송 시스템

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102159553B1 (ko) * 2019-05-14 2020-09-24 주식회사 에스에프에이 스트립 매거진 이송 시스템

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20160007946A (ko) 스토커 컨베이어용 대차
KR101290026B1 (ko) 카세트 이송장치
KR20170027304A (ko) 기판 처리 장치 및 기판 반송 방법 그리고 기판 반송 프로그램을 기억한 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체
KR101496788B1 (ko) 스토커의 오토 티칭 시스템
KR20080000117A (ko) 스토커 및 그의 카세트 반송방법
KR102173607B1 (ko) 스토커 컨베이어
KR101340786B1 (ko) 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송 장치
KR100966434B1 (ko) 카세트 적재장비
KR101387657B1 (ko) 카세트 정렬 장치
KR20080001500A (ko) 카세트의 이송방법
KR101340833B1 (ko) 반송 장치
KR101222984B1 (ko) 랙 마스터의 케리지 유닛
KR20140003717A (ko) 선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치 및 그 구동방법
KR101526436B1 (ko) 반송차
KR100959127B1 (ko) 스토커
JP2009147283A (ja) 基板搬送装置
KR101264686B1 (ko) 카세트 안착부 및 이를 구비한 스토커
KR20160009713A (ko) 스토커 컨베이어
KR100759890B1 (ko) 스토커 장치
KR20060136000A (ko) 카세트 자동 반송 장치 및 카세트 반송 방법
KR20070000030A (ko) 카세트 자동 반송 장치 및 카세트 반송 방법
KR100523290B1 (ko) 자동반송대차 시스템
KR101534000B1 (ko) 스토커 컨베이어용 레일 조립체
KR101232140B1 (ko) 이송 장치
KR20120028423A (ko) 패널 이재 장치 및 이재 방법

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination