JP2009147283A - 基板搬送装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】複数の基板を同時に搬入出および搬送することが可能な複数のアーム部を有する基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置１００は、基台１１０と、基台の側面に互いに平行に配置された複数のアーム部１２０と、複数のアーム部上に配置された真空吸着用の複数のファスナ１３０と、を備え、アーム部上に基板が載置されているか否かを検知するセンサと、センサがアーム部上に基板が載置されていることを検知したときに、複数の真空チャックを駆動させて基板を吸着させる駆動装置と、をさらに備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、平面表示装置を製造する装置に関し、特に、基板搬送装置に関する。
光技術および半導体技術の進歩にともない、平面表示装置は電子製品の表示装置として広く利用されている。例えば、平面表示装置は、高画質、小体積、軽量、広い適用範囲などの長所を有するため、携帯式テレビ、携帯電話、ビデオカメラ、ノート型パソコン、デスクトップ型表示装置、プロジェクションテレビなどの民生用電子機器またはコンピュータ製品に広く利用され、表示装置の主流となっている。
しかし、従来の平面表示装置の主な構成要素には、ガラス基板が依然として含まれているため、平面表示装置の各製造工程においてガラス基板を搬送する必要があった。そのため、ガラス基板を適切に搬送することが可能な方法が求められていた。
一般に、平面表示装置の製造工程では、各カセット間でガラス基板を頻繁に交換させる必要があった。例えば、フィードカセット（ｆｅｅｄ ｃａｓｓｅｔｔｅ）から排出カセット（ｄｉｓｃｈａｒｇｅ ｃａｓｓｅｔｔｅ）へガラス基板を移す場合、ガラス基板をフィードカセットから搬出した後、排出カセットへ移動させて載置する必要があった。しかし、一般のロボットアームシステムでは、ガラス基板を１枚ずつしか搬入出できず、多くのガラス基板を一度に搬入出させることができなかったため、時間が浪費され製造効率全体に悪影響を与えることがあった。
そのため本発明の目的は、複数の基板を同時に搬入出および搬送することが可能な複数のアーム部を有する基板搬送装置を提供することにある。
（１） 基台と、前記基台の側面に互いに平行に配置された複数のアーム部と、前記複数のアーム部上に配置された複数のファスナと、を備えることを特徴とする基板搬送装置。
（２） 前記複数のファスナは真空チャックであることを特徴とする（１）に記載の基板搬送装置。
（３） 前記複数のアーム部上に少なくとも１つの基板が載置されているか否かを検知するセンサと、前記センサが前記複数のアーム部上に前記基板が載置されていることを検知した時に、前記複数の真空チャックを駆動させて前記基板を吸着させる駆動装置と、をさらに備えることを特徴とする（２）に記載の基板搬送装置。
（４） 前記複数のアーム部は抗静電気材料からなることを特徴とする（１）に記載の基板搬送装置。
（５） 基台と、前記基台の側面に互いに同じ垂直高度で離間した複数のアーム部と、前記複数のアーム部上に配置された複数のファスナと、を備えることを特徴とする基板搬送装置。
（６） 前記複数のファスナは真空チャックであることを特徴とする（５）に記載の基板搬送装置。
（７） 前記複数のアーム部上に少なくとも１つの基板が載置されているか否かを検知するセンサと、前記センサが前記複数のアーム部上に前記基板が載置されていることを検知した時に、前記複数の真空チャックを駆動させて前記基板を吸着させる駆動装置と、をさらに備えることを特徴とする（６）に記載の基板搬送装置。
（８） 前記複数のアーム部は抗静電気材料からなることを特徴とする（５）に記載の基板搬送装置。
本発明の基板搬送装置は、複数のアーム部により複数の基板を同時に搬入出および搬送することができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、これによって本発明が限定されるものではない。
図１を参照する。図１は、本発明の一実施形態による基板搬送装置１００を示す斜視図である。基板搬送装置１００は、基台１１０、複数のアーム部１２０および複数のファスナ（ｆａｓｔｅｎｅｒ）１３０を含む。アーム部１２０は、互いに平行に配置され、基台１１０の側面に配置されている。ファスナ１３０は、アーム部１２０上に配置されている。ここで、上述の「平行」とは「隣り合う物同士の距離がどの箇所においても等しい」という意味である。つまり、前述のアーム部１２０は、互いの間隔が垂直高度Ｈである場合、アーム部１２０は、どの箇所においても垂直高度Ｈが等しいということである。
本発明の一実施形態による基板搬送装置１００は、互いに平行に配置されたアーム部１２０により、カセットの規格に合わせ、カセット中にある基板全てを同時に搬入出することができるため、一枚ずつ搬出する必要がない。
図１に示すように、本実施形態の各ファスナ１３０は真空チャックでもよい。ここで、このファスナ１３０は、本実施形態の態様だけに限定されるわけではなく、その他適当なファスナ、例えば、位置決めピンもファスナの一態様である。
図２を参照する。図２は、図１の基板搬送装置１００を使用する時の状態を示す斜視図である。図２に示すように、この基板搬送装置１００は、センサ１５０および駆動装置（図示せず）をさらに含んでもよい。このセンサ１５０により、基板搬送装置１００を使用する際にアーム部１２０上に基板が載置されているか否かを検知してもよい。センサ１５０がアーム部１２０上に基板が載置されていることを検知すると、駆動装置（図示せず）によりファスナ（真空チャック）１３０を直ちに駆動させ、基板を吸着させることができる。
図３を参照する。図３は、図２のセンサ１５０および駆動装置を示すブロック図である。本実施形態の駆動装置１６０は、真空装置１６２および電磁弁１６４を含む。真空装置１６２は、ファスナ（真空チャック）１３０に接続され、ファスナ（真空チャック）１３０に必要な吸引力を供給する。電磁弁１６４は、真空装置１６２とファスナ（真空チャック）１３０との間に接続されている。センサ１５０は、アーム部１２０上に基板が載置されていることを検知すると、電磁弁１６４へ駆動信号を送信する。電磁弁１６４は、駆動信号を受信した後、真空装置１６２とファスナ（真空チャック）１３０との間の接続をオンにし、ファスナ（真空チャック）１３０を駆動して基板を吸着させる。
再び図２を参照する。図２に示すように、基板搬送装置１００により基板を搬出させてからもう一つのカセット２００へ移動させるために、スライドレール１４０に基台１１０を接続させてもよい。さらに詳細には、スライドレール１４０は、互いに垂直に配置されたＸ方向レール１４２およびＹ方向レール１４４を有する。Ｘ方向レール１４２の長さ方向は、座標軸Ｘに対して平行であり、Ｙ方向レール１４４の長さ方向は、座標軸Ｙに対して平行である。当然、基台１１０には、基台１１０を座標軸Ｚに沿って移動させることができるように、シリンダ１４６を選択的に装着してもよい。
基板を搬出させた後、基板搬送装置１００は、スライドレール１４０を介してカセット２００中へ基板を移動させる。その後、図３の電磁弁１６４をオフにし、ファスナ（真空チャック）１３０から基板をリリースし、カセット２００に基板を載置させる。最後に、基板搬送装置１００がスライドレール１４０に沿ってカセット２００から離れ、カセットの交換作業が完了する。本実施形態の基板搬送装置１００の移動速度は、最大値が１，０００ｍｍ／分に設定され、最小値が２００ｍｍ／分に設定されているため、カセットの交換作業時間を１分以内に行うことができる。
また、基板の搬入出工程において静電気が発生しないように、アーム部１２０は様々な抗静電気材料からなってもよい。例えば、アーム部１２０は、絶縁材料（例えば、プラスチックやセラミックなど）または半導体材料（例えば、表面抵抗率が１０３から１０５Ω／ｍ２の間の材料）からなってもよい。
再び図１を参照する。図１に示すように、アーム部１２０を軽くするために、各アーム部１２０上に複数のホール１２２を形成してもよい。このホール１２２の数およびサイズは、アーム部１２０の材料およびそれに必要な構造強度に応じて変えてもよい。つまり、当業者であれば分かるように、ホールの態様は必要に応じて変えることができる。
本発明では好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本発明を限定するものではなく、当該技術を熟知するものなら誰でも、本発明の主旨と領域を脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って本発明の保護の範囲は、特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。
本発明の一実施形態による基板搬送装置を示す斜視図である。 本発明の一実施形態による基板搬送装置を使用する時の状態を示す斜視図である。 図２のセンサおよび駆動装置を示すブロック図である。
符号の説明
１００…基板搬送装置、 １１０…基台、 １２０…アーム部、 １２２…ホール、 １３０…ファスナ、 １４０…スライドレール、１４２…Ｘ方向レール、 １４４…Ｙ方向レール、 １４６…シリンダ、 １５０…センサ、 １６０…駆動装置、 １６２…真空装置、 １６４…電磁弁、 ２００…カセット、 Ｘ…座標軸、 Ｙ…座標軸、 Ｚ…座標軸、 Ｈ…垂直高度。

Claims (8)

  1. 基台と、
    前記基台の側面に互いに平行に配置された複数のアーム部と、
    前記複数のアーム部上に配置された複数のファスナと、を備えることを特徴とする基板搬送装置。
  2. 前記複数のファスナは真空チャックであることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
  3. 前記複数のアーム部上に少なくとも１つの基板が載置されているか否かを検知するセンサと、
    前記センサが前記複数のアーム部上に前記基板が載置されていることを検知した時に、前記複数の真空チャックを駆動させて前記基板を吸着させる駆動装置と、をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の基板搬送装置。
  4. 前記複数のアーム部は抗静電気材料からなることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
  5. 基台と、
    前記基台の側面に互いに同じ垂直高度で離間した複数のアーム部と、
    前記複数のアーム部上に配置された複数のファスナと、を備えることを特徴とする基板搬送装置。
  6. 前記複数のファスナは真空チャックであることを特徴とする請求項５に記載の基板搬送装置。
  7. 前記複数のアーム部上に少なくとも１つの基板が載置されているか否かを検知するセンサと、
    前記センサが前記複数のアーム部上に前記基板が載置されていることを検知した時に、前記複数の真空チャックを駆動させて前記基板を吸着させる駆動装置と、をさらに備えることを特徴とする請求項６に記載の基板搬送装置。
  8. 前記複数のアーム部は抗静電気材料からなることを特徴とする請求項５に記載の基板搬送装置。
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