KR20090064271A - 기판 운반을 위한 장치 - Google Patents

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Abstract

적어도 하나의 기판을 운반하기 위한 장치는 베이스, 복수 개의 포크, 및 적어도 하나의 고정부를 포함한다. 상기 베이스는 사이드 표면을 구비한다. 상기 포크는 상기 베이스의 상기 사이드 표면에 배치되고, 서로 평행하도록 배치된다. 상기 고정부는 상기 포크의 각각에 배치된다.
Figure P1020080050645
평판 디스플레이, 기판 운반, flat-panel display, transferring a substrate

Description

기판 운반을 위한 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 평판 디스플레이(flat-panel display)의 제조를 위한 장치에 관한 것이다. 보다 특정하게는, 본 발명은 적어도 하나의 기판(substrate)을 운반하기 위한 장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이는 통상의 다른 디스플레이에 비해, 높은 영상 품질, 작은 부피 점유, 가벼운 무게, 낮은 전압 구동, 및 낮은 전력 소모 등 많은 장점을 가진다. 따라서 평판 디스플레이는 소형 이동식 텔레비전, 휴대 전화, 비디오 녹화 장치, 노트북 컴퓨터, 데스크탑 모니터, 프로젝션 TV 등에 널리 사용된다. 상기 평판 디스플레이는 점차 기존의 CRT(cathode ray tube)를 대체하여 디스플레이 장치의 주류가 되고 있다.
통상적으로, 평판 디스플레이는 주로 유리 기판(glass substrates)으로 만들어진다. 따라서, 상기 평판 디스플레이를 제조하는 경우, 제조사(manufacturer)는 각 공정 사이에서 상기 유리 기판을 운반해야 한다. 따라서, 본 기술 분야에서는 상기 유리 기판을 운반하는 방법이 이슈가 되어 왔다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 적어도 하나의 기판을 운반하기 위한 장치는, 베이스(base), 복수 개의 포크(fork), 및 적어도 하나의 고정부(fastener)를 포함한다. 상기 베이스는 사이드 표면(side surface)를 구비한다. 상기 포크는 상기 베이스의 사이드 표면에 배치되고, 서로 평행하게 배치된다. 상기 고정부는 상기 포크의 각각에 배치된다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따르면, 적어도 하나의 기판을 운반하기 위한 장치는, 베이스, 복수 개의 포크, 및 적어도 하나의 고정부를 포함한다. 상기 베이스는 사이드 표면을 구비한다. 상기 포크는 상기 베이스의 상기 사이드 표면에 배치되고, 수직 간격으로 떨어져 있도록(spaced a height apart) 배치된다. 상기 고정부는 상기 포크의 각각에 배치된다.
상기 일반적 서술 및 하기 상세한 서술은 예시적인 것이며, 청구되는 발명에 대한 설명을 제공하기 위한 것으로 이해되어야 한다.
평판 디스플레이를 제조하는 경우, 제조자는 종종 한 카세트(cassette)로부터 다른 카세트로 유리 기판을 운반할 필요가 있다. 예를 들어, 상기 제조자는 다음 공정을 위해, 공급 카세트(feed cassette)로부터 유리 기판을 들어서, 내려놓을 카세트(discharge cassette)에 내려 놓는다. 그러나, 통상의 로봇은 한번에 단 하나씩의 유리 기판을 들 수 있고, 동시에 복수 개의 유리 기판을 들 수는 없다. 따 라서, 상기 운반 작업은 시간을 소모하고, 따라서, 제조 효율을 떨어뜨린다. 결과적으로, 본 발명의 일 실시예는, 복수 개의 기판을 동시에 운반할 수 있는 복수 개의 포크(forks)를 구비하는 장치를 제공한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따라, 적어도 하나의 기판을 운반하는 장치(100)의 입체도이다. 상기 장치(100)은, 베이스(110), 복수 개의 포크(120), 및 적어도 하나의 고정부(130)을 포함한다. 상기 베이스(110)는 사이드 표면(112)를 구비한다. 상기 포크(120)는 상기 베이스(110)의 상기 사이드 표면(112)에 배치되고, 서로 평행하게 배치된다. 상기 고정부(130)은 상기 포크(120)의 각각에 배치된다. 본 실시예에서, 상기 "평행"이라는 단어는 "평행한 두 물체가 길이/넓이 방향에 따라 모든 부분에서 같은 거리만큼 떨어져 있다."라는 의미로 해석된다. 예를 들어, 상기 포크(120)는 길이/넓이의 전체에 걸쳐 동일한 높이 H 만큼의 간격을 가진다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 장치(100)의 상기 포크(120)는 복수 개의 포크(120)는 복수 개의 상기 기판을 보유하는 카세트에 맞도록 디자인될 수 있다. 결과적으로, 상기 장치(100)는 한번에 단 하나씩의 기판을 운반하지 않고, 동시에 상기 카세트 내의 모든 상기 기판을 운반할 수 있다.
도 1의 상기 고정부(130)는 진공 고정부일 수 있다. 상기 진공 고정부는 상기 고정부의 실시예 중의 하나임은 쉽게 이해된다. 상기 고정부(130)은 다른 적당한 고정부(이를 테면, 가이드 핀(guide pin))가 될 수도 있다. 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면, 필요에 따라 적당한 고정부를 선택할 수 있다.
도 2는 도 1의 상기 장치가 동작중인 경우를 도시하는 입체도이다. 상기 장치(100)은 감지부(150), 및 작동부(도시되지 않음)를 더 포함할 수 있다. 동작 중에, 상기 감지부(150)는 적어도 하나의 상기 포크(130)가 상기 기판을 지지(support)하는지의 여부를 감지할 수 있다. 상기 작동부는 상기 고정부(130)을 작동시키는데, 적어도 하나의 상기 포크(130)가 상기 기판을 지지하는 경우, 이를테면 상기 진공 고정부가 상기 기판을 끌어당기도록 한다.
도 3은 도 2의 상기 감지부(150) 및 상기 작동부의 기능을 도시하는 블록 다이어그램이다. 도 3의 상기 작동부(160)는 진공부(162) 및 솔레노이드 밸브(solenoid valve)(164)를 포함할 수 있다. 상기 진공부(162)는 상기 고정부(130)에 연결되어, 그곳에 끌어당기는 힘을 제공한다. 상기 솔레노이드 벨브(164)는 상기 진공부(162) 및 상기 고정부(130) 사이에 연결된다. 동작 중에, 적어도 하나의 상기 포크가 상기 기판을 지지하고 있는 경우, 상기 감지부(150)는 상기 솔레노이드 밸브(164)에게 동작 신호(driving signal)을 전송할 수 있다. 그러면 상기 솔레노이드 밸브(164)는 열려서, 상기 고정부(130), 이를테면 상기 진공 고정부가 상기 기판을 끌어당기도록 한다.
도 2를 참조하면, 상기 장치(100)는 상기 베이스(110)에 결합된 레일(rail) 시스템(140)을 더 포함할 수 있다. 상기 레일 시스템(140)은, 상기 기판이 상기 장치(100)에 실린(loaded) 후에, 상기 장치(100)가 특정 장소, 이를테면 상기 카세트(200)로 이동하는 것을 가능하게 한다. 보다 상세하게는, 상기 레일 시스템(140)은 서로 직교하는 복수 개의 트랙(tracks)(142, 144)을 구비할 수 있다. 상기 트랙(142)의 길이 방향은 X 축 좌표와 평행하고, 상기 트랙(144)의 길이 방향은 Y 축 좌표와 평행하다. 나아가, 실린더(146)가 상기 베이스(110)에 연결되어 상기 장치(100)를 승강할(lift/lower) 수 있다. 즉, 상기 실린터(146)는 상기 장치(100)가 Z 축을 따라 움직이도록 할 수 있다.
동작 중에, 상기 기판이 상기 장치(100)에 실린 후에, 상기 장치(100)은 상기 레일 시스템(140)을 따라 상기 카세트(200)로 이동할 수 있다. 그러면, 도 3의 상기 솔레노이드 벨브(164)가 닫혀서, 상기 고정부(130)로부터 상기 기판을 내려 놓고(release), 따라서 상기 기판을 상기 카세트(200)에 싣는다. 마지막으로, 상기 장치(100)는 상기 카세트(200)를 떠나서, 상기 운반 과정을 종료한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 운반 과정을 위한 동작 시간은 1분 이하이고, 상기 장치(100)의 속도는 1000mm/mim과 200mm/min 사이이다.
더 나아가, 상기 포크(120)의 각각은, 정전기 방지 물질(antistatic material)로 만들어져서 일반적으로 상기 기판을 싣고 내림으로써 야기되는 정전기의 축적을 감소시키거나, 제거할 수 있다. 상기 정전기 방지 물질이 일 실시예라는 점은 쉽게 이해될 수 있다. 상기 포크(120)는, 플라스틱이나 세라믹과 같은 절연 물질, 또는 저항도(resistivity)가 103 Ω/m2 과 105 Ω/m2 사이인 반도체 물질과 같은 다른 적당한 물질로 만들어질 수 있다.
게다가, 도 1의 상기 포크(120) 각각은 내부에 배치되는 복수 개의 구멍(122)을 가질 수 있고, 따라서 상기 포크(120)의 무게를 줄일 수 있다. 상기 구 멍(122)의 크기나 개수는 상기 포크(120)의 강도(strength)에 의존적이다. 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면, 실제의 요구에 맞추어 상기 구멍(122)을 맞출 수 있다.
본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게는, 본 발명의 범위나 사상을 벗어나지 않는 범위에서, 본 발명의 구조를 다양하게 개조하거나 변경할 수 있음은 명확하다. 상기 관점에서, 본 발명은 하기의 청구되는 발명의 개조 또는 변형을 포함하는 것으로 의도된다.
본 발명은 하기 도면을 참고하여 기술되는, 상기 실시예에 대한 상세한 설명에 의해 더 완전하게 이해될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른, 적어도 하나의 기판을 운반하는 장치의 입체도이다.
도 2는 도 1의 상기 장치가 동작 중에 있는 경우를 도시하는 입체도이다.
도 3은 도 2의 감지부(detector) 및 작동부(actuator)의 기능을 도시하는 블록 다이어그램이다.

Claims (8)

  1. 적어도 하나의 기판을 운반하기 위한 장치에 있어서,
    사이드 표면을 구비하는 베이스;
    상기 베이스의 상기 사이드 표면에 배치되고, 서로 평행한 복수 개의 포크; 및
    상기 포크의 각각 위에 배치되는 적어도 하나의 고정부
    를 포함하는 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 고정부는 진공 고정부인 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 포크가 상기 기판을 지지하는 지의 여부를 감지하는 감지부; 및
    상기 적어도 하나의 포크가 상기 기판을 지지하는 경우 상기 기판을 끌어당기는 상기 진공 고정자를 작동시키는 작동부
    를 더 포함하는 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 포크의 각각은 정전기 방지 물질로 구성되는 장치.
  5. 적어도 하나의 기판을 운반하기 위한 장치에 있어서,
    사이드 표면을 구비하는 베이스;
    상기 베이스의 상기 사이드 표면에 배치되고, 수직 간격으로 떨어져 있는 복수 개의 포크; 및
    상기 포크의 각각 위에 배치되는 적어도 하나의 고정부
    를 포함하는 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 고정부는 진공 고정부인 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 포크가 상기 기판을 지지하는 지의 여부를 감지하는 감지부; 및
    상기 적어도 하나의 포크가 상기 기판을 지지하는 경우 상기 기판을 끌어당기는 상기 진공 고정자를 작동시키는 작동부
    를 더 포함하는 장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 포크의 각각은 정전기 방지 물질로 구성되는 장치.
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