JP3916473B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体ウエハ上にレジスト液を塗布し、現像する処理を行う基板処理装置と基板処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、半導体デバイスの製造においては、半導体ウエハ(以下「ウエハ」という)にレジスト液を塗布し、フォトマスクを用いてレジスト膜を露光し、さらに現像処理を行うことによって、所望のレジストパターンを基板上に形成するフォトリソグラフィー技術が用いられており、このような一連の処理には、従来からレジスト塗布/現像処理システムが使用されている。
【0003】
このレジスト塗布/現像処理システムには、レジスト塗布処理および現像処理に必要な一連の処理、例えば、ウエハにレジスト液の塗布を行うレジスト塗布処理、露光処理が終了したウエハに現像処理を施す現像処理、レジスト塗布後や現像処理後のウエハを加熱する加熱処理、等を個別に行う各種の処理ユニットが備えられている。また、レジスト塗布/現像処理システムには露光装置が隣接して配置されるために、レジスト塗布/現像処理システムには、露光装置に対してウエハを搬入出するためのウエハ搬送装置を備えたインターフェイスステーションが設けられている。
【0004】
一般的に、露光装置はウエハを搬入するためにウエハを載置する搬入ステージを有している。また、露光装置はこの搬入ステージへのウエハの搬入を許可する信号(以下「許可信号」という)または搬入ステージへのウエハの搬入を禁止する信号(以下「禁止信号」という)をレジスト塗布/現像処理システムに対して発信している。このために、インターフェイスステーションに設けられたウエハ搬送装置は、例えば、許可信号にしたがって処理ステーションに設けられた所定の処理ユニットから搬入ステージへウエハを搬送する。一方、露光装置から禁止信号が出されている場合には、ウエハ搬送装置は搬入ステージへのウエハの搬入を行わずに、例えば、露光処理が終了したウエハを露光装置から搬出して処理ステーションに搬入する等の動作を行う。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、露光装置が許可信号を出していたためにウエハ搬送装置が処理ステーションの所定の処理ユニットからウエハを搬出したが、その後に禁止信号が出されて搬入ステージへのウエハの搬入が禁止される場合がある。この場合には、従来、ウエハ搬送装置はウエハを保持した状態で静止するか、またはウエハを取り出した後の禁止信号を無視してウエハを搬入ステージへ搬入していた。
【0006】
ウエハを保持した状態でウエハ搬送装置の動作が停止した場合には、露光装置が次に許可信号を出すまでの間は、例えば、ウエハ搬送装置は露光処理が終了したウエハを処理ステーションへ戻す作業を行うことができない。これによってさらに処理ステーションにおけるウエハの処理を停止する必要が生ずる場合がある。また、禁止信号を無視してウエハを搬入ステージに搬入した場合には、搬入ステージに対するウエハの受け渡しが失敗するおそれがある。この場合には、ウエハが落下して破損したり、ウエハ搬送装置や搬入ステージが損傷する等の問題を生じる。
【0007】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、基板搬送時にその基板の搬送先が突然に基板の搬入を禁止した場合に、基板搬送装置の動作が停止することを防止した基板処理装置を提供することを目的とする。また本発明は、基板搬送時にその基板の搬送先が突然に基板の搬入を禁止した場合に、搬送中の基板の破損を防止した基板処理装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の観点によれば、基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
基板に所定の処理を行う第1の処理ユニットと、
前記第1の処理ユニットにおける処理が終了した基板にさらに別の処理を行う第2の処理ユニットと、
前記第1の処理ユニットから前記第2の処理ユニットへ基板を搬送する基板搬送装置と、
前記基板搬送装置の動作を制御する制御装置と、
前記第1の処理ユニットから搬出された基板を臨時に載置する臨時基板載置ユニットと、
を具備し、
前記制御装置は、
前記第1の処理ユニットから前記第2の処理ユニットへ基板を搬送する際に、
前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可する状態にあることを確認した後に前記第1の処理ユニットから処理の終了した基板を搬出し、
前記第2の処理ユニットへ基板を搬入する直前に前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可または禁止する状態のいずれの状態にあるかを確認し、
前記第2の処理ユニットへの基板の搬入が許可されている場合または前記第2の処理ユニットへの基板の搬入が禁止されたが所定時間内に前記禁止が解除された場合には基板を前記第2の処理ユニットへ搬入し、
前記第2の処理ユニットへの基板の搬入が禁止され、かつ、所定時間が経過した場合には前記臨時基板載置ユニットに基板を載置し、
前記臨時基板載置ユニットに基板が載置された後に前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可する状態に変わった際に、前記臨時基板載置ユニットから基板を搬出するように前記基板搬送装置を制御することを特徴とする基板処理装置、が提供される。
【0009】
本発明の第2の観点によれば、基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
基板に所定の処理を行う第1の処理ユニットと、
前記第1の処理ユニットにおける処理が終了した基板にさらに別の処理を行う第2の処理ユニットと、
前記第1の処理ユニットから前記第2の処理ユニットへ基板を搬送する基板搬送装置と、
前記基板搬送装置の動作を制御する制御装置と、
前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可または禁止するいずれの状態にあるかを検出して、その検出信号を前記制御装置へ送信する検出機構と、
前記第1の処理ユニットから搬出された基板を臨時に載置する臨時基板載置ユニットと、
を具備し、
前記制御装置は、
前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可する状態にあることを示す前記検出機構による検出信号にしたがって前記基板搬送装置によって前記第1の処理ユニットから基板を搬出させた後に、前記第2の処理ユニットへ基板を搬入する直前に前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可または禁止する状態のいずれの状態にあるかを前記検出機構の検出信号により確認し、
前記第2の処理ユニットへの基板の搬入が許可されている場合または前記第2の処理ユニットへの基板の搬入が禁止されたが所定時間内に前記禁止が解除された場合には基板を前記第2の処理ユニットへ搬入し、
前記第2の処理ユニットが基板の搬入を禁止する状態になったことを示す前記検出機構による検出信号を前記制御装置が受信し、かつ、所定時間が経過した場合には、前記基板搬送装置が保持している基板を前記臨時基板載置ユニットに載置し、
前記臨時基板載置ユニットに基板が載置された後に前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可する状態に変わったことを示す前記検出機構による検出信号を受信した場合に、前記臨時基板載置ユニットから基板を搬出するように前記基板搬送装置を制御することを特徴とする基板処理装置、が提供される。
【0010】
本発明の第3の観点によれば、基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
複数の基板が収容されたカセットを載置するカセットステーションと、
基板に対して所定の処理を施す処理ステーションと、
前記カセットステーションと前記処理ステーションとの間で基板の搬送を行う第1の基板搬送装置と、
前記処理ステーションに隣接して設けられる別の基板処理装置と前記処理ステーションとの間で基板を搬送するインターフェイスステーションと、
を具備し、
前記インターフェイスステーションは、
前記処理ステーションと前記別の基板処理装置との間で基板を搬送する第2の基板搬送装置と、
前記第2の基板搬送装置を制御する制御装置と、
前記処理ステーションから搬出された基板を臨時に載置する臨時基板載置ユニットと、
を有し、
前記制御装置は、
前記処理ステーションから前記別の基板処理装置へ基板を搬送する際に、
前記別の基板処理装置が基板の搬入を許可する状態にあることを確認した後に前記処理ステーションから処理の終了した基板を搬出し、
前記別の基板処理装置へ基板を搬入する直前に前記別の基板処理装置が基板の搬入を許可または禁止する状態のいずれの状態にあるかを確認し、
前記別の基板処理装置への基板の搬入が許可されている場合または前記別の基板処理装置への基板の搬入が禁止されたが所定時間内に前記禁止が解除された場合には基板を前記別の基板処理装置へ搬入し、
前記別の基板処理装置への基板の搬入が禁止され、かつ、所定時間が経過した場合には前記臨時基板載置ユニットに基板を載置し、
前記臨時基板載置ユニットに基板が載置された後に前記別の基板処理装置が基板の搬入を許可する状態に変わった際に、前記臨時基板載置ユニットから基板を搬出するように前記第2の基板搬送装置を制御することを特徴とする基板処理装置、が提供される。
【0011】
本発明の第4の観点によれば、基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
複数の基板が収容されたカセットを載置するカセットステーションと、
基板に対して所定の処理を施す処理ステーションと、
前記カセットステーションと前記処理ステーションとの間で基板の搬送を行う第1の基板搬送装置と、
前記処理ステーションに隣接して設けられる別の基板処理装置と前記処理ステーションとの間で基板を搬送するインターフェイスステーションと、
を具備し、
前記インターフェイスステーションは、
前記処理ステーションから前記別の基板処理装置へ搬送される基板のみを載置する基板載置ユニットと、
前記処理ステーションと前記基板載置ユニットの間で基板を搬送する第2の基板搬送装置と、
前記基板載置ユニットと前記別の基板処理装置との間で基板を搬送する第3の基板搬送装置と、
前記第3の基板搬送装置を制御する制御装置と、
前記基板載置ユニットと並列に設けられ、前記基板載置ユニットから搬出された基板を臨時に搬入する臨時基板載置ユニットと、
を有し、
前記制御装置は、前記基板載置ユニットから前記別の基板処理装置へ基板を搬送する際に、
前記別の基板処理装置が基板の搬入を許可する状態にあることを確認した後に前記基板載置ユニットから基板を搬出し、
前記別の基板処理装置へ基板を搬入する直前に前記別の基板処理装置が基板の搬入を許可または禁止する状態のいずれの状態にあるかを確認し、
前記別の基板処理装置への基板の搬入が許可されている場合または前記別の基板処理装置への基板の搬入が禁止されたが所定時間内に前記禁止が解除された場合には基板を前記別の基板処理装置へ搬入し、
前記別の基板処理装置への基板の搬入が禁止され、かつ、所定時間が経過した場合には前記臨時基板載置ユニットに基板を載置し、
前記臨時基板載置ユニットに基板が載置された後に前記別の基板処理装置が基板の搬入を許可する状態に変わった際に、前記臨時基板載置ユニットから基板を搬出するように前記第3の基板搬送装置を制御することを特徴とする基板処理装置、が提供される。
【0012】
本発明の第5の観点によれば、基板に所定の処理を施す基板処理方法であって、
基板に所定の処理を施す第1の処理ユニットから前記第1の処理ユニットにおける処理が終了した基板に別の処理を施す第2の処理ユニットへ基板を搬送する際に、
前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可する状態にあることを確認した後に前記第1の処理ユニットから処理の終了した基板を搬出する第1工程と、
前記第2の処理ユニットへ前記基板を搬入する直前に前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可または禁止する状態のいずれの状態にあるかを確認する第2工程と、
前記第2の処理ユニットへの基板の搬入が許可されている場合または前記第2の処理ユニットへの前記基板の搬入が禁止されたが所定時間内に前記禁止が解除された場合には前記基板を前記第2の処理ユニットへ搬入し、前記第2の処理ユニットへの前記基板の搬入が禁止され、かつ、所定時間が経過した場合には臨時に基板を載置する臨時基板載置ユニットに前記基板を載置する第3工程と、
前記臨時基板載置ユニットに前記基板が載置された後に前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可する状態に変わった際に、前記臨時基板載置ユニットから基板を搬出する第4工程と、
前記臨時基板載置ユニットから搬出された基板に対して、前記第2工程から前記第4工程の処理を反復して行う第5工程と、
を有することを特徴とする基板処理方法、が提供される。
【0013】
このような基板処理装置および基板処理方法によれば、臨時基板載置ユニットが設けられているために、基板搬送中に搬送先のユニットが突然に基板の搬入を禁止した場合にも、搬送中の基板を臨時基板載置ユニットに載置することができる。これにより搬送中の基板が保護される。また、基板の搬送先の処理ユニットへ無理に基板を搬入することによって生じ得る処理ユニットおよび搬送装置の損傷が回避される。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。ここでは、半導体ウエハ(以下「ウエハ」という)にレジスト液を塗布し、露光処理されたウエハを現像処理するレジスト塗布/現像処理システムについて説明することとする。図1は、レジスト塗布/現像処理システム1の概略平面図、図2はその概略正面図、図3はその概略背面図である。
【0015】
このレジスト塗布/現像処理システム1は、搬送ステーションであるカセットステーション11と、複数の処理ユニットを有する処理ステーション12と、処理ステーション12に隣接して設けられる露光装置14と処理ステーション12との間でウエハWを受け渡すためのインターフェイスステーション13と、を有している。
【0016】
レジスト塗布/現像処理システム1において処理を行う複数枚(例えば、25枚)のウエハWが収容されたウエハカセット(CR)が他のシステムからカセットステーション11へ搬入される。また逆にレジスト塗布/現像処理システム1における処理が終了したウエハWが収容されたウエハカセット(CR)がカセットステーション11から他のシステムへ搬出される。さらにカセットステーション11はウエハカセット(CR)と処理ステーション12との間でのウエハWの搬送を行う。
【0017】
カセットステーション11においては、図1に示すように、カセット載置台20上にX方向に沿って1列に複数(図1では5個)の位置決め突起20aが形成されている。ウエハカセット(CR)はウエハ搬入出口を処理ステーション12側に向けてこの突起20aの位置に載置できるようになっている。なお、ウエハカセット(CR)内においては、ウエハWは水平姿勢で垂直方向(Z方向)に略平行に配列されている(図2および図3参照)。
【0018】
カセットステーション11には、ウエハ搬送機構21がカセット載置台20と処理ステーション12との間に位置するように設けられている。このウエハ搬送機構21は、カセット配列方向(X方向)およびウエハカセット(CR)中のウエハWの配列方向(Z方向)に移動可能なウエハ搬送用ピック21aを有しており、このウエハ搬送用ピック21aは、図1中に示されるθ方向に回転可能である。こうしてウエハ搬送用ピック21aはいずれかのウエハカセット(CR)に対して選択的にアクセスでき、かつ、後述する処理ステーション12の第3処理ユニット群G3に設けられたトランジションユニット(TRS−G3)にアクセスできるようになっている。
【0019】
処理ステーション12では、システム背面側(図1上方)に、カセットステーション11側から順に、第3処理ユニット群G3、第4処理ユニット群G4および第5処理ユニット群G5が配置されている。また第3処理ユニット群G3と第4処理ユニット群G4との間に第1主搬送部A1が設けられ、第4処理ユニット群G4と第5処理ユニット群G5との間に第2主搬送部A2設けられている。さらにシステム前面側(図1下方)に、カセットステーション11側から順に、第1処理ユニット群G1と第2処理ユニット群G2が設けられている。
【0020】
図3に示すように、第3処理ユニット群G3では、ウエハWを載置台に載せて所定の処理を行うオーブン型の処理ユニット、例えばウエハWに所定の加熱処理を施す高温度熱処理ユニット(BAKE)、ウエハWに精度のよい温度管理下で加熱処理を施す高精度温調ユニット(CPL−G3)、温調ユニット(TCP)、カセットステーション11と第1主搬送部A1との間でのウエハWの受け渡し部となるトランジションユニット(TRS−G3)が、例えば10段に重ねられている。なお、第3処理ユニット群G3には下から3段目にスペアの空間が設けられており、所望のオーブン型処理ユニット等を設けることができるようになっている。
【0021】
第4処理ユニット群G4では、例えば、レジスト塗布後のウエハWに加熱処理を施すプリベークユニット(PAB)、現像処理後のウエハWに加熱処理を施すポストベークユニット(POST)、高精度温調ユニット(CPL−G4)が、例えば10段に重ねられている。第5処理ユニット群G5では、例えば、露光後現像前のウエハWに加熱処理を施すポストエクスポージャーベークユニット(PEB)、高精度温調ユニット(CPL−G5)が、例えば10段に重ねられている。
【0022】
図1および図3に示すように、第1主搬送部A1の背面側には、アドヒージョンユニット(AD)と、ウエハWを加熱する加熱ユニット(HP)とを有する第6処理ユニット群G6が設けられている。ここで、アドヒージョンユニット(AD)にはウエハWを温調する機構を持たせてもよい。
【0023】
第2主搬送部A2の背面側には、ウエハWのエッジ部のみを選択的に露光する周辺露光装置(WEE)と、レジスト膜厚を測定する膜厚測定装置(FTI)とを有する第7処理ユニット群G7が設けられている。ここで、周辺露光装置(WEE)は多段に配置しても構わない。また、第2主搬送部A2の背面側には、第1主搬送部A1の背面側と同様に加熱ユニット(HP)等の熱処理ユニットを配置することもできる。
【0024】
図1および図2に示すように、第1処理ユニット群G1では、カップ(CP)内でウエハWをスピンチャックSPに載せて所定の処理を行う液供給ユニットとしての5台のスピンナ型処理ユニット、例えば、レジスト塗布ユニット(COT)と、露光時の光の反射を防止する反射防止膜を形成するボトムコーティングユニット(BARC)が計5段に重ねられている。また第2処理ユニット群G2では、5台のスピンナ型処理ユニット、例えば、現像ユニット(DEV)が5段に重ねられている。
【0025】
第1主搬送部A1には第1主ウエハ搬送装置16が設けられ、この第1主ウエハ搬送装置16は、第1処理ユニット群G1、第3処理ユニット群G3、第4処理ユニット群G4と第6処理ユニット群G6に備えられた各ユニットに選択的にアクセスできるようになっている。また、第2主搬送部A2には第2主ウエハ搬送装置17が設けられ、この第2主ウエハ搬送装置17は、第2処理ユニット群G2、第4処理ユニット群G4、第5処理ユニット群G5、第7処理ユニット群G7に備えられた各ユニットに選択的にアクセスできるようになっている。
【0026】
図4は第1主ウエハ搬送装置16の概略構造を示す斜視図である。第1主ウエハ搬送装置16は、ウエハWを保持する3本のアーム7a(上段)・7b(中段)・7c(下段)と、アーム7a〜7cのそれぞれの基端に取り付けられたアーム支持板51(アーム7aに取り付けられたもののみを図示)と、各アーム支持板51と係合している基台52と、基台52等を支持する支持部53と、支持部53に内蔵された図示しないモータと、基台52とモータとを連結する回転ロッド54と、第1処理ユニット群G1および第2処理ユニット群G2側に設けられ、鉛直方向にスリーブ55aが形成された支柱55と、スリーブ55aに摺動可能に係合し、かつ支持部53と連結されたフランジ部材56と、フランジ部材56を昇降させる図示しない昇降機構と、を有している。
【0027】
基台52上には基台52の長手方向と平行にアーム支持板51毎にレール(図示せず)が敷設されており、各アーム支持板51はこのレールに沿ってスライド自在となっている。また、支持部53に内蔵されたモータを回転させると回転ロッド54が回転し、これにより基台52はX−Y面内で回転することができるようになっている。さらに、支持部53はZ方向に移動可能なフランジ部材56に取り付けられているために、基台52もまたZ方向に移動可能である。
【0028】
このような構成によって、第1主ウエハ搬送装置16のアーム7a〜7bは、X方向、Y方向、Z方向の各方向に移動可能であり、これにより先に述べたように、第1処理ユニット群G1、第3処理ユニット群G3、第4処理ユニット群G4および第6処理ユニット群G6の各ユニットにそれぞれアクセス可能となっている。
【0029】
基台52の先端部両側には垂直部材59aが取り付けられている。また、これら垂直部材59aには、アーム7aとアーム7bとの間に両アームからの放射熱を遮る遮蔽板8が取り付けられ、さらにこれら垂直部材59a間に架橋部材59bが取り付けられている。この架橋部材59bの中央および基台52の先端には一対の光学的センサ(図示せず)が設けられており、これにより各アーム7a〜7cにおけるウエハWの有無とウエハWのはみ出し等が確認されるようになっている。第2主ウエハ搬送装置17は第1主ウエハ搬送装置16と同様の構造を有している。
【0030】
なお、図4中に示す壁部57は、第1処理ユニット群G1側にある第2主搬送部A2のハウジングの一部である。壁部57に設けられた窓部57aは、第1処理ユニット群G1に設けられた各ユニットとの間でウエハWの受け渡しを行うためのものである。また、第2主搬送部A2の底部に設けられている4台のファン58は、第2主搬送部A2内の気圧および温湿度を制御している。
【0031】
第1処理ユニット群G1とカセットステーション11との間および第2処理ユニット群G2とインターフェイスステーション13との間にはそれぞれ、第1処理ユニット群G1と第2処理ユニット群G2に所定の処理液を供給する液温調ポンプ24・25が設けられており、さらにレジスト塗布/現像処理システム1外に設けられた図示しない空調器からの清浄な空気を各処理ユニット群G1〜G5の内部に供給するためのダクト28・29が設けられている。
【0032】
第1処理ユニット群G1〜第7処理ユニット群G7は、メンテナンスのために取り外しが可能となっており、処理ステーション12の背面側のパネルも取り外しまたは開閉可能となっている。また、第1処理ユニット群G1と第2処理ユニット群G2のそれぞれの最下段には、第1処理ユニット群G1と第2処理ユニット群G2に所定の処理液を供給するケミカルユニット(CHM)26・27が設けられている。カセットステーション11の下方部にはこのレジスト塗布/現像処理システム1全体を制御する集中制御部19が設けられている。
【0033】
インターフェイスステーション13は、処理ステーション12側の第1インターフェイスステーション13aと、露光装置14側の第2インターフェイスステーション13bから構成されており、第1インターフェイスステーション13aには第5処理ユニット群G5の開口部と対面するように第1ウエハ搬送体62が配置され、第2インターフェイスステーション13bにはX方向に移動可能な第2ウエハ搬送体63が配置されている。
【0034】
第1ウエハ搬送体62の背面側には、周辺露光装置(WEE)、露光装置14に搬送されるウエハWを一時収容するイン用バッファカセット(INBR)、露光装置14から搬出されたウエハWを一時収容するアウト用バッファカセット(OUTBR)が多段に設けられた第8処理ユニット群G8が配置されている。イン用バッファカセット(INBR)とアウト用バッファカセット(OUTBR)は、例えば、ウエハWを25枚収容できるようになっている。
【0035】
また第1ウエハ搬送体62の正面側には、上から順に、第1ウエハ搬送体62と第2ウエハ搬送体63との間でのウエハWの受け渡し部であるトランジションユニット(TRS−G9)と、巻き戻しユニット(RSM)、2段の高精度温調ユニット(CPL−G9)が多段に設けられた第9処理ユニット群G9が配置されている。巻き戻しユニット(RSM)については後に詳細に説明する。
【0036】
第1ウエハ搬送体62は、Z方向に移動可能かつθ方向に回転可能であり、かつX−Y面内において進退自在なウエハ受け渡し用のフォーク62aを有している。このフォーク62aは、第5処理ユニット群G5、第8処理ユニット群G8、第9処理ユニット群G9の各ユニットに対してアクセス可能であり、これにより各ユニット間でのウエハWの搬送を行うことができるようになっている。
【0037】
第2ウエハ搬送体63は、X方向およびZ方向に移動可能であり、かつ、θ方向に回転可能であり、さらにX−Y面内において進退自在なウエハ受け渡し用のフォーク63aを有している。このフォーク63aは、第9処理ユニット群G9の各ユニットと、露光装置14のインステージ14aおよびアウトステージ14bに対してアクセス可能であり、これら各部の間でウエハWの搬送を行うことができるようになっている。
【0038】
露光装置14は、インステージ14aへのウエハWの搬入の可否を検出して、その検出信号をレジスト塗布/現像処理システム1の集中制御部19へ伝達する検出装置(図示せず)を有している。この検出信号がインステージ14aへのウエハWの搬入を許可する信号(許可信号)である場合に、集中制御部19はウエハWを高精度温調ユニット(CPL−G9)から搬出してインステージ14aへ搬入するように、第2ウエハ搬送体63を制御する。一方、この検出信号がインステージ14aへのウエハWの搬入を禁止する信号(禁止信号)である場合には、集中制御部19は、高精度温調ユニット(CPL−G9)からのウエハWの搬出動作が行われないように、第2ウエハ搬送体63を制御する。
【0039】
しかしここで、露光装置14に設けられた検出装置からの検出信号が許可信号であったために、第2ウエハ搬送体63が高精度温調ユニット(CPL−G9)からウエハWを搬出したが、その後に検出装置からの検出信号が禁止信号へと変わってしまう場合がある。例えば、インステージ14aが温調機能を有しており、インステージ14aの温度または温度均一性が設定された条件を満たさなくなったときに、その温度または温度均一性が所望の状態に復帰するまで、検出装置がインステージ14aへのウエハWの搬入を禁止する場合が挙げられる。
【0040】
このような場合には、集中制御部19は、第2ウエハ搬送体63が保持しているウエハWを巻き戻しユニット(RSM)へ載置するように、第2ウエハ搬送体63を制御する。巻き戻しユニット(RSM)は、インステージ14aにウエハWを載置することが可能であったために高精度温調ユニット(CPL−G9)からウエハWを搬出したが、その後にインステージ14aにウエハWを載置することができない事情が生じた場合に、保持しているウエハWが臨時に載置されるユニットである。
【0041】
上述したレジスト塗布/現像処理システム1においては、ウエハ搬送機構21が、処理前のウエハを収容しているウエハカセット(CR)からウエハカセット(CR)内での配列順序にしたがってウエハWを抜き出し、このウエハWをトランジションユニット(TRS−G3)に搬送する。ウエハWは第1主ウエハ搬送装置16によってトランジションユニット(TRS−G3)から例えば温調ユニット(TCP)に搬送され、そこで所定の温調処理が行われる。なお、ウエハ搬送機構21がウエハWを直接にウエハカセット(CR)から温調ユニット(TCP)へ搬送するようにしてもよい。
【0042】
温調ユニット(TCP)での処理終了後に、ウエハWは第1処理ユニット群G1に属するボトムコーティングユニット(BARC)に搬送され、そこで反射防止膜の形成が行われる。次いでウエハWは加熱ユニット(HP)に搬送されて、そこで所定の加熱処理が施される。続いてウエハWは高温度熱処理ユニット(BAKE)に搬送されて、そこで加熱ユニット(HP)における処理温度よりも高い温度での熱処理が行われる。なお、ボトムコーティングユニット(BARC)によるウエハWへの反射防止膜の形成前にウエハWをアドヒージョンユニット(AD)に搬送し、そこでアドヒージョン処理を行ってもよい。
【0043】
次いで、ウエハWは第1主ウエハ搬送装置16によって高温度熱処理ユニット(BAKE)から高精度温調ユニット(CPL−G4)へ搬送され、そこで所定の温調処理が行われる。この温調処理が終了したウエハWは、第1処理ユニット群G1に属するレジスト塗布ユニット(COT)へ搬送され、そこでレジスト液の塗布処理が行われる。
【0044】
なお、先のボトムコーティングユニット(BARC)によるウエハWへの反射防止膜の形成を行わない場合には、例えば、ウエハWをアドヒージョンユニット(AD)に搬送し、そこでアドヒージョン処理を行い、その後にウエハWを高精度温調ユニット(CPL−G4)へ搬送して温調処理を行い、さらにそこからウエハWをレジスト塗布ユニット(COT)に搬送することができる。
【0045】
レジスト液が塗布されたウエハWは、第4処理ユニット群G4に設けられたプリベークユニット(PAB)へ搬送され、そこで所定の熱処理が行われる。プリベークユニット(PAB)においては、ウエハW上の塗布膜から残存溶剤が蒸発除去される。
【0046】
プリベークユニット(PAB)での処理が終了したウエハWは、第7処理ユニット群G7に設けられた膜厚測定装置(FTI)へ搬送されてそこで膜厚測定が行われ、その後に周辺露光装置(WEE)に搬送されてそこで周辺露光処理が施される。周辺露光処理は、インターフェイスステーション13に搬送された際に、第8処理ユニット群G8に設けられた周辺露光装置(WEE)を用いて行ってもよい。
【0047】
次いで、ウエハWは高精度温調ユニット(CPL−G5)へ搬入され、そこから第1ウエハ搬送体62によって搬出された後に、高精度温調ユニット(CPL−G9)へ搬入される。高精度温調ユニット(CPL−G9)において、ウエハWには所定の温調処理が施される。高精度温調ユニット(CPL−G9)における処理が終了したウエハWは、通常は所定時間が経過する前に、第2ウエハ搬送体63によって高精度温調ユニット(CPL−G9)から搬出される。
【0048】
しかし、例えば、露光装置14の調整等の理由によって露光装置14のインステージ14aにウエハWを搬入することができない事情が生じている場合や、露光装置14のスループットがレジスト膜を形成する処理のスループットよりも遅い場合等には、高精度温調ユニット(CPL−G9)からウエハWを搬出することができないために、高精度温調ユニット(CPL−G9)にウエハWが存在する状態が続くこととなる。この場合には、第1ウエハ搬送体62は高精度温調ユニット(CPL−G5)に搬入されたウエハWを高精度温調ユニット(CPL−G9)へ搬送することができない。
【0049】
そこで、高精度温調ユニット(CPL−G9)にウエハWが存在する間に高精度温調ユニット(CPL−G5)に別のウエハWが搬入された場合には、第1ウエハ搬送体62は、この別のウエハWをイン用バッファカセット(INBR)へ搬送する。そして、高精度温調ユニット(CPL−G9)からウエハWが搬出されたら、第1ウエハ搬送体62は、先ずイン用バッファカセット(INBR)に収容されたウエハWをウエハWの搬送順序にしたがって取り出し、高精度温調ユニット(CPL−G9)へ搬入する。
【0050】
図5は第2ウエハ搬送体63の搬送動作を示す説明図である。前述したように、露光装置14からはインステージ14aへのウエハWの搬入を許可する許可信号と、インステージ14aへのウエハWの搬入を禁止する禁止信号の2種類の検出信号が出されている。第2ウエハ搬送体63は、この許可信号にしたがって高精度温調ユニット(CPL−G9)にアクセスして、高精度温調ユニット(CPL−G9)からウエハWを搬出する。一方、露光装置14から禁止信号が出されている場合には、第2ウエハ搬送体63は、この禁止信号が許可信号に変わるまで、高精度温調ユニット(CPL−G9)からのウエハWの搬出動作を行わない。
【0051】
許可信号にしたがって高精度温調ユニット(CPL−G9)からウエハWを取り出した第2ウエハ搬送体63は、保持したウエハWをインステージ14aに載置するために、インステージ14aの前までウエハWを移動させる。そこで、第2ウエハ搬送体63は再び検出信号を確認して、その検出信号が許可信号の場合には保持しているウエハWをインステージ14aへ受け渡す。
【0052】
ところが、許可信号にしたがって高精度温調ユニット(CPL−G9)からウエハWを搬出したが、このウエハWをインステージ14aに搬入する前に、検出信号が禁止信号に変わる場合がある。この場合において、予め定められた時間(以下「待機時間」という。例えば、10秒)の間は第2ウエハ搬送体63は待機状態となる。そして、この待機時間内に禁止信号が許可信号に変わった場合には、第2ウエハ搬送体63は保持しているウエハWをインステージ14aへ受け渡す。一方、待機時間が経過しても禁止信号が解除されない場合には、第2ウエハ搬送体63は保持しているウエハWを巻き戻しユニット(RSM)へ載置する。これによって第2ウエハ搬送体63がフリーな状態となるために、例えば、第2ウエハ搬送体63は露光装置14のアウトステージ14bに載置されたウエハWをそこから搬出して、トランジションユニット(TRS−G9)に搬入する等の動作を行うことができる。
【0053】
なお、この待機時間は任意の長さに設定することができるが、勿論、0秒に設定してもよい。この場合には、第2ウエハ搬送体63が高精度温調ユニット(CPL−G9)からウエハWを取り出した後に検出信号が禁止信号に変わった場合に、ウエハWは直ちに巻き戻しユニット(RSM)へ載置される。
【0054】
なお、第2ウエハ搬送体63が保持しているウエハWを、巻き戻しユニット(RSM)に代えて高精度温調ユニット(CPL−G9)に戻すように、第2ウエハ搬送体63を制御することも可能である。しかし、ウエハWが第2ウエハ搬送体63によって取り出された後には、第1ウエハ搬送体62によって次のウエハWが高精度温調ユニット(CPL−G9)へ搬入されている場合がある。高精度温調ユニット(CPL−G9)に次のウエハWが載置されている状態で、さらに第2ウエハ搬送体63が保持しているウエハWを高精度温調ユニット(CPL−G9)へ搬入しようとすると、高精度温調ユニット(CPL−G9)におけるウエハWの受け渡しが失敗して、ウエハWが破損するおそれがある。巻き戻しユニット(RSM)へウエハWを臨時に載置することによって、このようなウエハWの破損を回避することができる。
【0055】
巻き戻しユニット(RSM)にウエハWが載置されている状態では、第2ウエハ搬送体63は、高精度温調ユニット(CPL−G9)からのウエハWの搬出を行わない。これによりウエハWを搬送順序にしたがって露光装置14へ搬送することができる。そして、巻き戻しユニット(RSM)にウエハWが載置されている状態で、露光装置14からの検出信号が禁止信号から許可信号に変わった際には、第2ウエハ搬送体63は、巻き戻しユニット(RSM)からウエハWを搬出して、インステージ14aの前までウエハWを移動させ、そこで再び検出信号が許可信号であることを確認して、保持しているウエハWをインステージ14aへ受け渡す。
【0056】
このように巻き戻しユニット(RSM)は一時的にウエハWを載置するユニットであるが、同様に、ウエハWを一時的に収容するイン用バッファカセット(INBR)とは使用目的が異なる。
【0057】
つまり、イン用バッファカセット(INBR)は、高精度温調ユニット(CPL−G9)へウエハWを搬送することができないことがわかっている状態において、高精度温調ユニット(CPL−G5)から取り出されたウエハWが搬入されるユニットであり、レジスト塗布/現像処理システム1におけるスループットを向上させ、また、レジスト塗布/現像処理システム1と露光装置14とのスループットの差を調整するために設けられている。アウト用バッファカセット(OUTBR)もイン用バッファカセット(INBR)と同様の目的で設けられているユニットである。
【0058】
これに対して、巻き戻しユニット(RSM)は、インステージ14aへウエハWを載置することができる状態であったために、高精度温調ユニット(CPL−G9)からウエハWを搬出したが、その後にインステージ14aへウエハWを載置することができなくなった場合に、臨時にそのウエハWが搬入されるユニットであり、ウエハWおよびインステージ14a、第2ウエハ搬送体63の保護と、第2ウエハ搬送体63の動作停止を防止するために設けられている。
【0059】
インステージ14aに載置されたウエハWは、露光装置14内を搬送され、所定の露光処理が行われた後に、アウトステージ14bに載置される。アウトステージ14bに載置されたウエハWは、第2ウエハ搬送体63によってそこから搬出されて、トランジションユニット(TRS−G9)に搬入される。
【0060】
トランジションユニット(TRS−G9)に搬入されたウエハWは、第1ウエハ搬送体62によって、第5処理ユニット群G5に属するポストエクスポージャーベークユニット(PEB)または第8処理ユニット群G8に属するアウト用バッファカセット(OUTBR)へ搬送される。アウト用バッファカセット(OUTBR)へのウエハWの搬送は、ポストエクスポージャーベークユニット(PEB)が全て使用中である場合等に行われ、ポストエクスポージャーベークユニット(PEB)に空きが生じた時点で、アウト用バッファカセット(OUTBR)への搬送順序にしたがってアウト用バッファカセット(OUTBR)から順次搬出され、空いたポストエクスポージャーベークユニット(PEB)へ搬送される。
【0061】
ポストエクスポージャーベークユニット(PEB)における処理が終了したウエハWは、第2主ウエハ搬送装置17によって高精度温調ユニット(CPL−G5)へ搬送され、そこで温調処理が施される。次いでウエハWは第2主ウエハ搬送装置17によって第2処理ユニット群G2に属する現像ユニット(DEV)へ搬送されて、そこで現像処理が行われる。現像処理が終了したウエハWは、第2主ウエハ搬送装置17によってポストベークユニット(POST)へ搬送され、そこで所定の熱処理が行われる。
【0062】
ポストベークユニット(POST)における熱処理が終了したウエハWは、第1主ウエハ搬送装置16によって高精度温調ユニット(CPL−G3)へ搬送されてそこで温調処理され、その後にトランジションユニット(TRS−G3)に搬送される。最後に、ウエハ搬送機構21が、トランジションユニット(TRS−G3)からカセットステーション11に載置されたウエハカセット(CR)の所定位置へウエハWを搬送する。
【0063】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこのような形態に限定されるものではない。例えば、上記説明では、インターフェイスステーション13に第1ウエハ搬送体62と第2ウエハ搬送体63の2台の搬送装置を設けた形態について示したが、図6の平面図に示すレジスト塗布/現像処理システム1´のように、インターフェイスステーションとして、1台のウエハ搬送体64を備えたインターフェイスステーション13´を有する構成としてもよい。
【0064】
このウエハ搬送体64は、第5処理ユニット群G5、第8処理ユニット群G8、第9処理ユニット群G9の各ユニット群を構成する各ユニットとインステージ14aおよびアウトステージ14bにアクセス可能である。
【0065】
例えば、レジスト塗布/現像処理システム1´においては、第9処理ユニット群G9を構成する各ユニットには、ウエハ搬送体64のみがアクセス可能であることから、高精度温調ユニット(CPL−G9)からウエハWが搬出された後には、必ず高精度温調ユニット(CPL−G9)は空の状態となる。このために、露光装置14からの許可信号にしたがって高精度温調ユニット(CPL−G9)からウエハWが搬出された後に露光装置14からの検出信号が禁止信号に変わった場合であっても、ウエハ搬送体64が高精度温調ユニット(CPL−G9)へウエハWを戻すように、ウエハ搬送体64を制御することも可能である。
【0066】
しかし、例えば、高精度温調ユニット(CPL−G5)からウエハ搬送体64がウエハWを搬出した後に、搬送先の高精度温調ユニット(CPL−G9)およびイン用バッファカセット(INBR)のいずにもウエハWを搬入することができない状態となり、かつ、高精度温調ユニット(CPL−G5)には次のウエハWが第2主ウエハ搬送装置17によって搬入される場合がある。インターフェイスステーション13´内に巻き戻しユニット(RSM)が設けられていると、このような事態が生じた際に、ウエハ搬送体64は保持しているウエハWを巻き戻しユニット(RSM)へ臨時に載置することができ、これによりウエハ搬送体64をフリーな状態とすることが可能である。
【0067】
なお、ウエハ搬送体64はアウトステージ14bから直接に第5処理ユニット群G5に属するポストエクスポージャーベークユニット(PEB)または第8処理ユニット群G8に属するアウト用バッファカセット(OUTBR)へウエハWを搬送することができるために、レジスト塗布/現像処理システム1´においては、必ずしもトランジションユニット(TRS−G9)は必要ではない。
【0068】
上記説明においては、巻き戻しユニット(RSM)をインターフェイスステーション13・13´に設けた場合について説明したが、このような巻き戻しユニット(RSM)は処理ステーション12に設けることもできる。例えば、第1主ウエハ搬送装置16があるユニットからウエハWを取り出した後に搬送先のユニットで警報が発せられたために、保持しているウエハWをこの搬送先のユニットへ搬入できなくなった場合には、集中制御部19は、保持しているウエハWを退避的に巻き戻しユニット(RSM)へ載置するように第1主ウエハ搬送装置16を制御する。
【0069】
レジスト塗布/現像処理システム1には、ウエハWに形成されたレジストパターンの線幅を測定する線幅測定装置や、レジスト膜の表面の傷(スクラッチ検出)やレジスト液の塗布時に混入する異物(コメット検出)、現像ムラ、現像処理後の現像欠陥等を検査する欠陥検査装置を設けることも可能である。例えば、このような測定装置/検査装置は、ウエハ搬送機構21によるアクセスが可能な位置に配置することができる。
【0070】
上記説明においては、処理される基板として半導体ウエハを取り上げたが、基板は、液晶表示装置(LCD)に使用されるガラス基板や、フォトマスクに使われるレチクル基板であってもよい。また、基板の処理についてレジスト塗布/現像処理を取り上げたが、洗浄処理や層間絶縁膜塗布処理、エッチング処理等の各処理を行う基板処理装置にも本発明を適用することができる。
【0071】
【発明の効果】
上述の通り、本発明によれば、臨時基板載置ユニット(上記実施の形態に示した巻き戻しユニット)が設けられているために、基板搬送中に搬送先のユニットが突然に基板の搬入を禁止した場合にも、搬送中の基板を臨時基板載置ユニットに載置することが可能となる。これにより搬送中の基板が保護されるという効果が得られる。また、基板の搬送先の処理ユニットへ無理に基板を搬入することによって生じ得る処理ユニットおよび搬送装置の損傷が回避されるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係るレジスト塗布/現像処理システムを示す概略平面図。
【図2】 図1に示すレジスト塗布/現像処理システムの概略正面図。
【図3】 図1に示すレジスト塗布/現像処理システムの概略背面図。
【図4】 主ウエハ搬送装置の概略構造を示す斜視図。
【図5】 第2ウエハ搬送体によるウエハの搬送動作を示す説明図。
【図6】 本発明に係る別のレジスト塗布/現像処理システムを示す概略平面図。
【符号の説明】
1;レジスト塗布/現像処理システム
11;カセットステーション
12;処理ステーション
13;インターフェイスステーション
14;露光装置
14a;インステージ
14b;アウトステージ
16;第1主ウエハ搬送装置
17;第2主ウエハ搬送装置
21;ウエハ搬送機構
62;第1ウエハ搬送体
63;第2ウエハ搬送体
RSM;巻き戻しユニット
G1〜G9;第1処理ユニット群〜第9処理ユニット群
W;半導体ウエハ
Claims (6)
- 基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
基板に所定の処理を行う第1の処理ユニットと、
前記第1の処理ユニットにおける処理が終了した基板にさらに別の処理を行う第2の処理ユニットと、
前記第1の処理ユニットから前記第2の処理ユニットへ基板を搬送する基板搬送装置と、
前記基板搬送装置の動作を制御する制御装置と、
前記第1の処理ユニットから搬出された基板を臨時に載置する臨時基板載置ユニットと、
を具備し、
前記制御装置は、
前記第1の処理ユニットから前記第2の処理ユニットへ基板を搬送する際に、
前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可する状態にあることを確認した後に前記第1の処理ユニットから処理の終了した基板を搬出し、
前記第2の処理ユニットへ基板を搬入する直前に前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可または禁止する状態のいずれの状態にあるかを確認し、
前記第2の処理ユニットへの基板の搬入が許可されている場合または前記第2の処理ユニットへの基板の搬入が禁止されたが所定時間内に前記禁止が解除された場合には基板を前記第2の処理ユニットへ搬入し、
前記第2の処理ユニットへの基板の搬入が禁止され、かつ、所定時間が経過した場合には前記臨時基板載置ユニットに基板を載置し、
前記臨時基板載置ユニットに基板が載置された後に前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可する状態に変わった際に、前記臨時基板載置ユニットから基板を搬出するように前記基板搬送装置を制御することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
基板に所定の処理を行う第1の処理ユニットと、
前記第1の処理ユニットにおける処理が終了した基板にさらに別の処理を行う第2の処理ユニットと、
前記第1の処理ユニットから前記第2の処理ユニットへ基板を搬送する基板搬送装置と、
前記基板搬送装置の動作を制御する制御装置と、
前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可または禁止するいずれの状態にあるかを検出して、その検出信号を前記制御装置へ送信する検出機構と、
前記第1の処理ユニットから搬出された基板を臨時に載置する臨時基板載置ユニットと、
を具備し、
前記制御装置は、
前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可する状態にあることを示す前記検出機構による検出信号にしたがって前記基板搬送装置によって前記第1の処理ユニットから基板を搬出させた後に、前記第2の処理ユニットへ基板を搬入する直前に前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可または禁止する状態のいずれの状態にあるかを前記検出機構の検出信号により確認し、
前記第2の処理ユニットへの基板の搬入が許可されている場合または前記第2の処理ユニットへの基板の搬入が禁止されたが所定時間内に前記禁止が解除された場合には基板を前記第2の処理ユニットへ搬入し、
前記第2の処理ユニットが基板の搬入を禁止する状態になったことを示す前記検出機構による検出信号を前記制御装置が受信し、かつ、所定時間が経過した場合には、前記基板 搬送装置が保持している基板を前記臨時基板載置ユニットに載置し、
前記臨時基板載置ユニットに基板が載置された後に前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可する状態に変わったことを示す前記検出機構による検出信号を受信した場合に、前記臨時基板載置ユニットから基板を搬出するように前記基板搬送装置を制御することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
複数の基板が収容されたカセットを載置するカセットステーションと、
基板に対して所定の処理を施す処理ステーションと、
前記カセットステーションと前記処理ステーションとの間で基板の搬送を行う第1の基板搬送装置と、
前記処理ステーションに隣接して設けられる別の基板処理装置と前記処理ステーションとの間で基板を搬送するインターフェイスステーションと、
を具備し、
前記インターフェイスステーションは、
前記処理ステーションと前記別の基板処理装置との間で基板を搬送する第2の基板搬送装置と、
前記第2の基板搬送装置を制御する制御装置と、
前記処理ステーションから搬出された基板を臨時に載置する臨時基板載置ユニットと、
を有し、
前記制御装置は、
前記処理ステーションから前記別の基板処理装置へ基板を搬送する際に、
前記別の基板処理装置が基板の搬入を許可する状態にあることを確認した後に前記処理ステーションから処理の終了した基板を搬出し、
前記別の基板処理装置へ基板を搬入する直前に前記別の基板処理装置が基板の搬入を許可または禁止する状態のいずれの状態にあるかを確認し、
前記別の基板処理装置への基板の搬入が許可されている場合または前記別の基板処理装置への基板の搬入が禁止されたが所定時間内に前記禁止が解除された場合には基板を前記別の基板処理装置へ搬入し、
前記別の基板処理装置への基板の搬入が禁止され、かつ、所定時間が経過した場合には前記臨時基板載置ユニットに基板を載置し、
前記臨時基板載置ユニットに基板が載置された後に前記別の基板処理装置が基板の搬入を許可する状態に変わった際に、前記臨時基板載置ユニットから基板を搬出するように前記第2の基板搬送装置を制御することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
複数の基板が収容されたカセットを載置するカセットステーションと、
基板に対して所定の処理を施す処理ステーションと、
前記カセットステーションと前記処理ステーションとの間で基板の搬送を行う第1の基板搬送装置と、
前記処理ステーションに隣接して設けられる別の基板処理装置と前記処理ステーションとの間で基板を搬送するインターフェイスステーションと、
を具備し、
前記インターフェイスステーションは、
前記処理ステーションから前記別の基板処理装置へ搬送される基板のみを載置する基板載置ユニットと、
前記処理ステーションと前記基板載置ユニットの間で基板を搬送する第2の基板搬送装置と、
前記基板載置ユニットと前記別の基板処理装置との間で基板を搬送する第3の基板搬送装置と、
前記第3の基板搬送装置を制御する制御装置と、
前記基板載置ユニットと並列に設けられ、前記基板載置ユニットから搬出された基板を臨時に搬入する臨時基板載置ユニットと、
を有し、
前記制御装置は、前記基板載置ユニットから前記別の基板処理装置へ基板を搬送する際に、
前記別の基板処理装置が基板の搬入を許可する状態にあることを確認した後に前記基板載置ユニットから基板を搬出し、
前記別の基板処理装置へ基板を搬入する直前に前記別の基板処理装置が基板の搬入を許可または禁止する状態のいずれの状態にあるかを確認し、
前記別の基板処理装置への基板の搬入が許可されている場合または前記別の基板処理装置への基板の搬入が禁止されたが所定時間内に前記禁止が解除された場合には基板を前記別の基板処理装置へ搬入し、
前記別の基板処理装置への基板の搬入が禁止され、かつ、所定時間が経過した場合には前記臨時基板載置ユニットに基板を載置し、
前記臨時基板載置ユニットに基板が載置された後に前記別の基板処理装置が基板の搬入を許可する状態に変わった際に、前記臨時基板載置ユニットから基板を搬出するように前記第3の基板搬送装置を制御することを特徴とする基板処理装置。 - 前記インターフェイスステーションは、
前記第2の基板搬送装置による基板の搬入出が行われ、前記処理ステーションから前記別の基板処理装置へ搬送すべき基板を収容可能な第1の基板収容ユニットと、
前記第2の基板搬送装置による基板の搬入出が行われ、前記別の基板処理装置から前記処理ステーションに戻すべき基板を収容可能な第2の基板収容ユニットと、
前記基板載置ユニットと並列に設けられ、前記別の基板処理装置から前記処理ステーションへ戻される基板のみが載置される別の基板載置ユニットと、
をさらに具備し、
前記別の基板処理装置が基板の搬入を禁止した状態にある場合に、前記処理ステーションにおける所定の処理が終了した基板を前記第1の基板収容ユニットに収容し、前記別の基板処理装置における処理が終了した基板を前記第2の基板収容ユニットに収容しもしくは前記処理ステーションへ搬送しまたは前記第2の基板収容ユニットに収容された基板を前記処理ステーションへ搬送することによって、前記処理ステーションにおける所定の処理を継続して行うことができることを特徴とする請求項4に記載の基板処理装置。 - 基板に所定の処理を施す基板処理方法であって、
基板に所定の処理を施す第1の処理ユニットから前記第1の処理ユニットにおける処理が終了した基板に別の処理を施す第2の処理ユニットへ基板を搬送する際に、
前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可する状態にあることを確認した後に前記第1の処理ユニットから処理の終了した基板を搬出する第1工程と、
前記第2の処理ユニットへ前記基板を搬入する直前に前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可または禁止する状態のいずれの状態にあるかを確認する第2工程と、
前記第2の処理ユニットへの基板の搬入が許可されている場合または前記第2の処理ユニットへの前記基板の搬入が禁止されたが所定時間内に前記禁止が解除された場合には前記基板を前記第2の処理ユニットへ搬入し、前記第2の処理ユニットへの前記基板の搬入が禁止され、かつ、所定時間が経過した場合には臨時に基板を載置する臨時基板載置ユニットに前記基板を載置する第3工程と、
前記臨時基板載置ユニットに前記基板が載置された後に前記第2の処理ユニットが基板の搬入を許可する状態に変わった際に、前記臨時基板載置ユニットから基板を搬出する第4工程と、
前記臨時基板載置ユニットから搬出された基板に対して、前記第2工程から前記第4工程の処理を反復して行う第5工程と、
を有することを特徴とする基板処理方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002023698A JP3916473B2 (ja) | 2002-01-31 | 2002-01-31 | 基板処理装置および基板処理方法 |
KR1020030005726A KR100919084B1 (ko) | 2002-01-31 | 2003-01-29 | 기판처리장치 및 기판반송방법 |
US10/354,194 US6981808B2 (en) | 2002-01-31 | 2003-01-30 | Substrate processing apparatus and substrate transferring method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002023698A JP3916473B2 (ja) | 2002-01-31 | 2002-01-31 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003224175A JP2003224175A (ja) | 2003-08-08 |
JP3916473B2 true JP3916473B2 (ja) | 2007-05-16 |
Family
ID=27654465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002023698A Expired - Lifetime JP3916473B2 (ja) | 2002-01-31 | 2002-01-31 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6981808B2 (ja) |
JP (1) | JP3916473B2 (ja) |
KR (1) | KR100919084B1 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4291096B2 (ja) * | 2003-09-22 | 2009-07-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理装置のための機能ブロック組合せシステム |
JP2005167083A (ja) * | 2003-12-04 | 2005-06-23 | Daifuku Co Ltd | ガラス基板用の搬送設備 |
JP4271095B2 (ja) * | 2004-07-15 | 2009-06-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板加熱装置及び基板加熱方法 |
JP4414909B2 (ja) * | 2005-02-14 | 2010-02-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布、現像装置 |
JP4767641B2 (ja) * | 2005-09-27 | 2011-09-07 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板搬送方法 |
WO2007122902A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2007-11-01 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | 基板処理装置の管理方法 |
KR100949505B1 (ko) * | 2006-06-05 | 2010-03-24 | 엘지디스플레이 주식회사 | 포토 장치 및 방법 |
KR100847888B1 (ko) * | 2006-12-12 | 2008-07-23 | 세메스 주식회사 | 반도체 소자 제조 장치 |
JP4994874B2 (ja) | 2007-02-07 | 2012-08-08 | キヤノン株式会社 | 処理装置 |
JP4877075B2 (ja) * | 2007-05-29 | 2012-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布、現像装置及び塗布、現像装置の運転方法並びに記憶媒体 |
JP5006122B2 (ja) | 2007-06-29 | 2012-08-22 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP4986784B2 (ja) * | 2007-09-18 | 2012-07-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システムの制御装置、処理システムの制御方法および制御プログラムを記憶した記憶媒体 |
JP5318403B2 (ja) | 2007-11-30 | 2013-10-16 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP5128918B2 (ja) | 2007-11-30 | 2013-01-23 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
TWI372717B (en) * | 2007-12-14 | 2012-09-21 | Prime View Int Co Ltd | Apparatus for transferring substrate |
JP5179170B2 (ja) | 2007-12-28 | 2013-04-10 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP5001828B2 (ja) | 2007-12-28 | 2012-08-15 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP5629675B2 (ja) * | 2011-12-05 | 2014-11-26 | 株式会社Screenセミコンダクターソリューションズ | 基板処理装置 |
JP6002532B2 (ja) * | 2012-10-10 | 2016-10-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 真空処理装置及び真空処理方法 |
JP5893705B2 (ja) * | 2014-10-08 | 2016-03-23 | 株式会社Screenセミコンダクターソリューションズ | 基板処理装置 |
JP6723110B2 (ja) | 2016-08-18 | 2020-07-15 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5024570A (en) * | 1988-09-14 | 1991-06-18 | Fujitsu Limited | Continuous semiconductor substrate processing system |
JPH05338782A (ja) * | 1992-06-12 | 1993-12-21 | Sharp Corp | ワーク搬送装置 |
JPH07297258A (ja) * | 1994-04-26 | 1995-11-10 | Tokyo Electron Ltd | 板状体の搬送装置 |
JPH09293767A (ja) * | 1996-04-25 | 1997-11-11 | Nikon Corp | 基板搬送方法 |
JP3774283B2 (ja) | 1996-11-19 | 2006-05-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム |
JP3988805B2 (ja) * | 1997-10-02 | 2007-10-10 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板搬送方法及びその装置 |
JP3310212B2 (ja) * | 1998-02-06 | 2002-08-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布・現像処理システムおよび液処理システム |
US6281962B1 (en) * | 1998-12-17 | 2001-08-28 | Tokyo Electron Limited | Processing apparatus for coating substrate with resist and developing exposed resist including inspection equipment for inspecting substrate and processing method thereof |
US6293713B1 (en) | 1999-07-02 | 2001-09-25 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus |
-
2002
- 2002-01-31 JP JP2002023698A patent/JP3916473B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-01-29 KR KR1020030005726A patent/KR100919084B1/ko active IP Right Grant
- 2003-01-30 US US10/354,194 patent/US6981808B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100919084B1 (ko) | 2009-09-28 |
US20030147643A1 (en) | 2003-08-07 |
JP2003224175A (ja) | 2003-08-08 |
KR20030065389A (ko) | 2003-08-06 |
US6981808B2 (en) | 2006-01-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100216 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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