JP2003086659A - 基板の移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 基板の載置方向が縦向きであっても横向きで
あっても精度の高い位置決めが可能な基板移載装置を提
供すること。 【解決手段】 長方形基板３０１の受け渡しを行うハン
ドユニットＨ１、Ｈ２と、ハンドユニットＨ１、Ｈ２に
載置された長方形基板３０１の位置決めを行う位置決め
ユニットとを備えた基板の移載装置１００であって、位
置決めユニットは、長方形基板３０１の少なくとも１組
の対向端面を挟装する挟装手段３０４乃至３１７と、対
向端面を挟装する挟装手段の挟装面が挟装方向に移動す
る距離を、長方形基板３０１の載置方向に基づいて変更
する変更手段とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、長方形の基板を保
持しつつ目標位置へ搬送する基板の移載装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】長方形基板であるガラス基板をワークと
して扱う製造ラインにおいて、ガラス基板はカセット内
に上下に整然と収容されており、基板移載装置は当該カ
セットとガラス基板に各種処理を施す各種処理装置との
間を移動する一方で、基板移載装置の有するハンドユニ
ットがガラス基板の受け渡しを行う。

【０００３】具体的には、ハンドユニットの有する１対
のフォークがカセット内に進入し、処理面となる表面を
上向きにして収容されたガラス基板の裏面側を吸着保持
することでガラス基板を受け取る。受け取ったガラス基
板は、基板移載装置により各種処理装置まで搬送され、
フォークにより各種処理装置内に搬入される。なお、各
種処理装置が処理している間、基板移載装置は待機位置
で待機したり、他の処理装置間の受け渡しを行ったり
し、処理完了後は再びハンドユニットによりガラス基板
を受け取り、他の処理装置内に搬入する（かかるガラス
基板の受け渡しおよび搬送を以下「移載」と称す）。

【０００４】このとき各種処理装置内またはカセット内
へのガラス基板の搬入は、必ず基準位置への位置決めを
行った上で実施しなければならない。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】そこで、本願出願人は
特願２０００−６５１９６で位置決めユニットを別途必
要とせず、ロボットのハンド上で位置決めを行う基板移
載装置の位置決めユニットを出願しているが、ガラス基
板の載置方向が縦向きの場合のみにしか対応していなか
った。

【０００６】本発明は上記課題に鑑みてなされたもの
で、基板の載置方向が縦向きであっても横向きであって
も精度の高い位置決めが可能な基板移載装置を提供する
ことを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め、例えば本発明の基板移載装置は以下の構成を備え
る。すなわち、長方形基板の受け渡しを行うハンドユニ
ットと、該ハンドユニットに載置された前記長方形基板
の位置決めを行う位置決めユニットとを備えた基板の移
載装置であって、前記位置決めユニットは、前記長方形
基板の少なくとも１組の対向端面を挟装する挟装手段
と、前記対向端面を挟装する前記挟装手段の挟装面が挟
装方向に移動する距離を、前記長方形基板の載置方向に
基づいて変更する変更手段とを備える。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
適な実施形態を詳細に説明する。

【０００９】（第１の実施形態）図１は、本発明の第１
の実施形態にかかる基板移載装置を設置した様子を示す
外観斜視図である。本図において基板移載装置１００
は、本願出願人による特開平１１−２３８７７５号に開
示の装置が採用できるが、他の形式であってもよく、以
下に述べる構成に限定されない。

【００１０】基板移載装置１００は製造ラインに配設さ
れるカセット１０１と処理装置１０２の間に設けられた
案内レール１０３、１０４上を矢印Ｘ方向に駆動部１０
５により駆動される。

【００１１】駆動部１０５上には昇降駆動する駆動軸１
０６を介して架台１０７が配され、θ方向に旋回駆動す
ることが可能な構成となっている。また、架台１０７上
には、矢印Ｙ方向に摺動する基部１１５を有し、さら
に、基部１１５上には、上下位置関係となるように配さ
れた２組のハンドＨ１、Ｈ２があり、モータ１１３、１
１４により、それぞれ独立してボールネジ上（不図示）
を矢印Ｙ方向に移動する。

【００１２】ハンドＨ１、Ｈ２は、それぞれ２本のフォ
ーク（ハンドＨ１の場合はフォーク１０９、１１０、ハ
ンドＨ２の場合はフォーク１１１、１１２）からなり、
フォーク１０９乃至１１２には不図示の吸着部が設けら
れており、カセット１０１内に収納されている長方形基
板であるガラス基板２０１の裏面（処理を施さない面）
の下方に潜入してから、上方移動し、載置してから負圧
を作用して裏面を吸着保持する。その後に、矢印Ｙ方向
に平行移動してカセット１０１からガラス基板２０１を
取得し（図１においてガラス基板３０１はすでにカセッ
ト１０１から取得した状態を示す）、１８０度旋回して
から処理装置１０２に向かうように姿勢を変える。旋回
後、ハンドＨ１、Ｈ２は処理装置１０２内に潜入して、
吸着保持を解除することで受け渡しを行う（ガラス基板
２０２はすでに処理装置１０２に受け渡された状態を示
す）。このようにして基板移載装置１００は各処理装置
間やカセットまでのガラス基板の移載を行う。

【００１３】なお、図１において３０４乃至３１７に示
す機構は、移載途中にガラス基板３０１の位置決めを行
う位置決め機構に関するもので、向き検出センサ（不図
示）によりハンド上のガラス基板３０１の載置方向が縦
向きか、横向きかを検出し、予め教示されていた向きと
検出した向きとが同じ場合のみ、かかる位置決め機構は
動作するものであり、詳細は後述することとする。

【００１４】図２（ａ）乃至（ｃ）は本発明の第１の実
施形態にかかる基板移載装置のハンドＨ１、Ｈ２の動作
を示す動作説明図である。

【００１５】本図において、既に図１で説明済みの構成
部品については、図１と同様の符号を付して説明を割愛
して、ハンドＨ１、Ｈ２が破線図示のガラス基板２０
２、３０１を同時に受け渡しするときの概略動作を説明
する。

【００１６】処理装置１０２において所定の処理が施さ
れた処理済みのガラス基板２０２を基板移載装置１００
の下方のハンドＨ２上に載置して取り出す一方で、上方
のハンドＨ１上で保持されているガラス基板３０１を処
理装置１０２内にセットする。このために、基板移載装
置１００は（ａ）に図示のように待機位置において待機
している。

【００１７】この状態から、架台１０７上を摺動する基
部１１５が図２（ｂ）に図示のように処理装置１０２の
開口部２０３の手前まで移動する。その後、ハンドＨ２
のフォーク１１１、１１２が開口部２０３から進入して
ガラス基板２０２の下面位置で一旦停止する。

【００１８】続いて、処理装置１０２内のガラス基板２
０２をフォーク１１１、１１２上に載置するために、昇
降軸１０６が図２（ｃ）に示すように矢印Ｚ方向に上昇
する。処理済みのガラス基板２０２がフォーク１１１、
１１２上に載置されると、ハンドＨ２の在荷検知センサ
（不図示）が反応して、吸着孔（不図示）から吸着を開
始する。このようにして、ハンドＨ２上に吸着された処
理済みのガラス基板２０２は基板移載装置１００上に移
動して処理装置１０２からの受け取りを完了する。

【００１９】その後、基準位置に予め位置決めされたハ
ンドＨ１のフォーク１０９、１１０に載置された未処理
のガラス基板３０１が入れ替わりに処理装置１０２の開
口部２０３から進入して、昇降軸１０６の下降動作によ
って処理装置１０２内へ渡される。

【００２０】このようにして、ガラス基板の入れ替えが
終わると、基部１１５が後退し、待機位置で停止し、ハ
ンドＨ２上のガラス基板２０２の位置決めを行う。この
とき、ハンドＨ２の吸着は一旦解除される。

【００２１】図３は、本発明の第１の実施形態にかかる
基板移載装置における位置決め機構の一例を示す平面図
で、説明の便宜上、基板の位置決めに関する構成部品の
みを記載している。

【００２２】図３（Ａ）はガラス基板３０１がフォーク
１０９、１１０上に縦向きに載置された場合における位
置決め前の状態を、図３（Ｂ）は位置決め後の状態をそ
れぞれ表す。なお、ガラス基板３０１の載置方向が縦向
きとは、ガラス基板３０１の長辺が矢印Ｙと略平行とな
る方向をいうものとする（以下同じ）。

【００２３】架台１０７はフォーク１０９および１１０
に載置されたガラス基板３０１を縦方向に位置決めする
ための縦方向挟装機構３０２、３０３、３０８、３０９
および、横方向（矢印Ｙに略垂直な方向）に位置決めす
るための横方向挟装機構３１４、３１５とを備える。

【００２４】縦方向挟装機構３０２、３０３および３０
８、３０９は、挟装面３０４、３０５および３１０、３
１１を備え、モータおよび送り機構（不図示）により挟
装面３０４、３０５および３１０、３１１が矢印３０
６、３０７および３１２、３１３の方向に矢印の長さで
示した距離（移動量）だけそれぞれ動作し、ガラス基板
３０１を挟装することで縦方向基準位置３２０に位置決
めする。

【００２５】また、横方向挟装機構３１４および３１５
は、挟装面３１６および３１７を備え、モータおよび送
り機構（不図示）により挟装面３１６および３１７が矢
印３１８および３１９の方向に矢印の長さで示した距離
だけそれぞれ動作し、ガラス基板３０１を挟装すること
で、横方向基準位置３２１に位置決めする。

【００２６】図３（Ｂ）は挟装面３０４、３０５、３１
０、３１１、３１６、３１７により、縦方向基準位置３
２０および横方向基準位置３２１に位置決めした状態を
示す図である。挟装面３０４、３０５、３１０、３１
１、３１６、３１７はそれぞれガラス基板３０１の長辺
および短辺の長さに適した移動量（ストローク）を有す
ることで、ガラス基板に必要以上の負荷をかけることな
く精度のよい位置決めを行うことができる。

【００２７】図３（Ｃ）はガラス基板３０１がフォーク
１０９、１１０上に横向きに載置された場合における位
置決め前の状態を、図３（Ｄ）は位置決め後の状態をそ
れぞれ表す。なお、ガラス基板３０１の載置方向が横向
きとは、ガラス基板３０１の長辺が矢印Ｙと略垂直とな
る方向をいうものとする（以下同じ）。

【００２８】ガラス基板３０１が横向きに載置された場
合、挟装面３０４、３０５、３１０、３１１、３１６、
３１７の移動量（ストローク）がそれぞれ、矢印３２
２、３２３、３２４、３２５、３２６、３２７で示した
長さとなるよう制御されることで、縦方向基準位置３２
０および横方向基準位置３２１に位置決めされる。

【００２９】図３（Ｄ）は挟装面３０４、３０５、３１
０、３１１、３１６、３１７により、縦方向基準位置３
２０および横方向基準位置３２１に位置決めした状態を
示す図である。

【００３０】図４は、図３の挟装面３０４、３０５、３
１０、３１１、３１６、３１７を矢印３０６（または３
２２）、３０７（または３２３）、３１２（または３２
４）、３１３（または３２５）、３１８（または３２
６）、３１９（または３２７）に示したストロークだけ
動作させるための挟装機構を示した図である。

【００３１】４０１−１は挟装面３０４を動作させるた
めのパルスモータで、モータコントローラ４０１−３か
らのパルス信号に基づいて回転する。パルスモータ４０
１−１が回転することにより送り機構４０１−２が回転
し、挟装面３０４が矢印４０２に示した方向に水平移動
する。挟装面３０４の移動方向はパルスモータ４０１−
１の回転方向によって変えることが可能である。また、
挟装面３０４の移動量はパルスモータ４０１−１の回転
量によって制御することが可能であり、モータコントロ
ーラ４０１−３から発信されるパルス数によって決ま
る。

【００３２】したがって、モータコントローラ４０１−
３に対して、例えば、操業開始前に挟装面３０４のスト
ローク量（移動方向も含む）を与えておけば、操業中は
動作指令とともに、モータコントローラ４０１ー３より
必要なパルス信号が発信され、挟装面３０４を所望の方
向に所望の距離だけ動作させることができる。

【００３３】同様に、モータコントローラ４０２−３、
４０３−３、４０４−３、４０５−３、４０６−３に対
して、所望のストローク量を予め与えておけば、動作指
令をトリガーとして、パルスモータ４０２−１、４０３
−１、４０４−１、４０５−１、４０６−１に対して適
切なパルス信号が発信され、送り機構４０２−２、４０
３−２、４０４−２、４０５−２、４０６−２が回転
し、挟装面３０５、３１０、３１１、３１６、３１７を
それぞれ所望の方向に所望の距離だけ動作させることが
できる。

【００３４】図５は、オペレータにより設定されたガラ
ス基板の載置方向に基づいて、各モータコントローラに
対して、ストローク量を与えるまでの処理の流れを示す
フローチャートである。

【００３５】ステップＳ５０２では、オペレータが載置
方向を予め教示（設定）することで、基板移載装置はガ
ラス基板の載置方向を認識する。

【００３６】次にガラス基板の載置方向に対応する各挟
装面のストローク量を図６に示したテーブルより読み込
む（ステップＳ５０２）。図６は、本発明の第１の実施
形態にかかる基板移載装置１００がガラス基板の移載を
行う際に、予め基板移載装置１００に設定する各位置決
め機構（挟装面３０４、３０５、３１０、３１１、３１
６、３１７）のストローク量を表すテーブルである。ガ
ラス基板の載置方向によって、それぞれ個別に設定可能
となっている。該テーブルより、例えば、ガラス基板の
載置方向が縦向きであった場合は、挟装面３０４、３０
５、３１０、３１１のストローク量は１０ｍｍ、挟装面
３１６、３１７のストローク量はそれぞれ２５ｍｍに決
定される。

【００３７】ステップＳ５０４では、ステップＳ５０３
において読み込まれた各挟装面のストローク量を各モー
タコントローラ４０１−３、４０２−３、４０３−３、
４０４−３、４０５−３、４０６−３に送信する。

【００３８】以上の処理により、各モータコントローラ
は操業中、送信されたストローク量に従って動作するこ
ととなる。

【００３９】なお、上述のとおり、位置決め機構には向
き検出センサ（不図示）が設置されており、上記ステッ
プＳ５０２において予め教示された載置方向と、向き検
出センサにより検出した実際の載置方向とを照合し、位
置決め機構を動作させるか否か（動作指令を出力するか
否か）を制御することができる。

【００４０】図７はかかる処理を示すフローチャートで
あり、まず、ステップＳ７０１において、向き検出セン
サの出力より、実際の載置方向を検出する。次にステッ
プＳ７０２において、ステップＳ５０２において予め教
示された載置方向を読み込む。ステップＳ７０３では、
ステップＳ７０１において検出された載置方向とステッ
プＳ７０３において読み込まれた載置方向とが一致する
か否かを判断する。一致する場合には、上述の各コント
ローラに対して動作指令を出力し、位置決めを行う（ス
テップＳ７０４）。一方、一致しない場合には、異常検
出表示を行う（ステップＳ７０５）。

【００４１】以上のように、本実施形態にかかる位置決
め機構を備えることにより、ガラス基板の載置方向に応
じて、挟装面のストローク量を可変にすることが可能と
なり、ガラス基板の載置方向が縦向きであっても横向き
であっても精度の高い位置決めが実現できる。

【００４２】なお、図２において明示したように、本発
明の第１の実施形態にかかる基板移載装置は２つのハン
ドを備え、上下に配された２枚のガラス基板を同時に受
け渡しする。このため、上述の挟装面（３０４、３０
５、３１０、３１１、３１６、３１７）を大きくし、上
下に位置するハンドＨ１、Ｈ２上に載置された２枚のガ
ラス基板の端面に接するようにすることで、同時に２枚
のガラス基板の位置決めを行うことも可能である。ま
た、同時に位置決めするガラス基板の枚数は２枚に限ら
れたものではなく、上下に位置するハンドが３つ以上の
場合であっても適用可能であることはいうまでもない。

【００４３】また、本実施形態においては、縦方向およ
び横方向の位置決めを挟装機構により実現することとし
たが、一方を押圧機構（位置決めの基準となる位置決め
部材に対してガラス基板を一方から押圧する機構）を用
いることで、位置決め機構を簡素化してもよい。すなわ
ち、挟装機構の場合、１組の対向端面を同時に挟装する
ために少なくとも２つのモータおよび送り機構を備える
必要が生じるが、押圧機構の場合、固定した位置決め部
材に一方から押圧されるだけであるので、１組の対向端
面を押圧するために少なくとも１つのモータおよび送り
機構を備えるだけで足りる。

【００４４】また、押圧機構によって位置決めを実現す
ることで、位置決め精度を容易に向上させることができ
る。すなわち、挟装機構の場合、２つのモータの動作開
始タイミングおよび動作速度を完全に一致させ、かつ高
い再現性を得なければならないが、押圧機構の場合は、
位置決め部材が固定されているため、押圧機構のモータ
の動作開始タイミングおよび動作速度にばらつきがあっ
ても位置決め精度には影響を与えない。

【００４５】なお、かかる押圧機構を用いた場合であっ
ても、押圧面を上下に位置するハンド上に載置された２
枚のガラス基板の端面に接するようにすることで、同時
に２枚のガラス基板の位置決めを行うことが可能であ
る。また、同時に位置決めするガラス基板の枚数は２枚
に限られたものではなく、上下に位置するハンドが３つ
以上の場合であっても適用可能であることはいうまでも
ない。

【００４６】（第２の実施形態）上記第１の実施形態
は、モータと送り機構とを組み合わせて位置決め機構を
実現する場合について述べたが、ストローク量（移動
量）の異なるエアシリンダを用いて実現してもよい。以
下、図８乃至図１０を用いてエアシリンダによる位置決
め機構について説明する。

【００４７】図８は、本発明の第２の実施形態にかかる
の基板移載装置における位置決め機構の一例を示す平面
図である。図８（Ａ）はガラス基板８０１がフォーク１
０９、１１０上に縦向きに載置された場合における位置
決め前の状態を、図８（Ｂ）は位置決め後の状態をそれ
ぞれ表す。

【００４８】架台１０７はフォーク１０９および１１０
に載置されたガラス基板８０１を縦方向に位置決めする
ための縦方向挟装機構８０２、８０３、８０８、８０９
および８２２、８２３、８２８、８２９ならびに横方向
に位置決めするための横方向挟装機構８１４、８１５お
よび８３４、８３５とを備える。

【００４９】縦方向挟装機構８０２、８０３、８０８、
８０９および８２２、８２３、８２８、８２９は、挟装
面８０４、８０５、８１０、８１１および８２４、８２
５、８３０、８３１を備え、電磁弁を介して供給された
エアにより動作するエアシリンダ（不図示）により挟装
面８２４、８２５、８３０、８３１が矢印８２６、８２
７、８３２、８３３の方向に矢印の長さで示した距離だ
けそれぞれ動作し、ガラス基板８０１を挟装することで
縦方向基準位置８２０に位置決めする。

【００５０】また、横方向挟装機構８１４、８１５およ
び８３４、８３５は、挟装面８１６、８１７および８３
６、８３７を備え、電磁弁を介して供給されたエアによ
り動作するエアシリンダ（不図示）により挟装面８３６
および８３７が矢印８３８および８３９の方向に矢印の
長さで示した距離だけそれぞれ動作し、ガラス基板８０
１を挟装することで、横方向基準位置８２１に位置決め
する。

【００５１】図８（Ｂ）は挟装面８２４、８２５、８３
０、８３１および８３６、８３７により、縦方向基準位
置８２０および横方向基準位置８２１に位置決めした状
態を示す図である。挟装面８２４、８２５、８３０、８
３１および８３６、８３７はそれぞれガラス基板８０１
の長辺および短辺の長さに適した移動量（ストローク）
を有することで、ガラス基板に必要以上の負荷をかける
ことなく精度のよい位置決めを行うことができる。

【００５２】図８（Ｃ）はガラス基板８０１がフォーク
１０９、１１０上に横向きに載置された場合における位
置決め前の状態を、図８（Ｄ）は位置決め後の状態をそ
れぞれ表す。

【００５３】ガラス基板８０１が横向きに載置された場
合、挟装面８０４、８０５、８１０、８１１、８１６、
８１７がそれぞれ、矢印８０６、８０７、８１２、８１
３および８１８、８１９で示した長さだけ動作すること
で、縦方向基準位置８２０および横方向基準位置８２１
に位置決めされる。

【００５４】図８（Ｄ）は挟装面８０４、８０５、８１
０、８１１、８１６、８１７により、縦方向基準位置８
２０および横方向基準位置８２１に位置決めした状態を
示す図である。

【００５５】図９は、本発明の第３の実施形態にかかる
基板移載装置の位置決め機構の動作を表すフローチャー
トである。

【００５６】ステップＳ９０１において、向き検出セン
サ（不図示）の出力より、実際の載置方向を検出する。
次にステップＳ９０２において、予め教示されたガラス
基板の載置方向を読み込む（ガラス基板の載置方向は、
操業開始前に事前にオペレータにより設定入力されてい
るものとする）。ステップＳ９０３では、ステップＳ９
０１において検出された載置方向と、ステップＳ９０２
において読み込まれた載置方向とが一致するか否かを判
断する。一致しない場合には、ステップＳ９０７におい
て異常表示する。

【００５７】一方、一致する場合には、ステップＳ９０
４において、載置方向を判断し、縦向きの場合には、ス
テップＳ９０５に進み縦向き用電磁弁（ガラス基板の載
置方向が縦向きの場合に動作するエアシリンダを動作さ
せるための電磁弁）をＯＮすることで、縦向き用の位置
決め機構である挟装面８２４、８２５、８３０、８３
１、８３６、８３７が動作する。

【００５８】また、ステップＳ９０４で、ガラス基板の
載置方向が横向きであった場合には、ステップＳ９０６
に進み、横向き用電磁弁（ガラス基板の載置方向が横向
きの場合に動作するエアシリンダを動作させるための電
磁弁）をＯＮすることで、横向き用の位置決め機構であ
る挟装面８０４、８０５、８０８、８０９、８１６、８
１７が動作する。

【００５９】以上述べたように、所定のストロークをも
つアクチュエータであるエアシリンダを複数配して、切
り替えて使用することによりガラス基板の載置方向に応
じた位置決め機構を実現することができる。

【００６０】さらに、エアシリンダを用いて位置決め機
構を実現することで、送り機構におけるバックラッシ等
の影響による位置決め精度の低下を防止することができ
る。なお、かかる挟装機構を用いた場合であっても、上
記第１の実施形態において述べたように、挟装面を上下
に位置するハンド上に載置された２枚のガラス基板の端
面に接するようにすることで、同時に２枚のガラス基板
の位置決めを行うことが可能である。また、同時に位置
決めするガラス基板の枚数は２枚に限られたものではな
く、上下に位置するハンドが３つ以上の場合であっても
適用可能であることはいうまでもない。

【００６１】また、本実施形態では、横方向挟装機構と
縦方向挟装機構とを有する位置決め機構について述べた
が、上記第１の実施形態同様、一方の位置決め機構を押
圧機構によって実現してもよい。かかる機構を備えるこ
とにより、位置決め機構を簡素化することができる。す
なわち、挟装機構の場合、１組の対向端面を同時に挟装
するために少なくとも２つのエアシリンダを備える必要
が生じるが、押圧機構の場合、固定した位置決め部材に
一方から押圧されるだけであるので、１組の対向端面を
押圧するために少なくとも１つのエアシリンダを備える
だけで足りる。なお、かかる押圧機構を用いた場合であ
っても、押圧面を上下に位置するハンド上に載置された
２枚のガラス基板の端面に接するようにすることで、同
時に２枚のガラス基板の位置決めを行うことが可能であ
る。また、同時に位置決めするガラス基板の枚数は２枚
に限られたものではなく、上下に位置するハンドが３つ
以上の場合であっても適用可能であることはいうまでも
ない。

【００６２】（第３の実施形態）上記第２の実施形態に
おいては、１組を押圧機構にすることで、エアシリンダ
の数を減らし、位置決め機構を簡素化することができる
ことについても言及したが、特定の位置決め部材を使用
することで、エアシリンダ等の数を減らし、位置決め機
構の更なる簡素化を実現することも可能である。

【００６３】図１０は、本発明の第３の実施形態にかか
る基板移載装置における位置決め機構の一例を示す平面
図である。

【００６４】図１０（Ａ）は横向きに載置されたガラス
基板１００１の位置決め前の状態を、図１０（Ｂ）は位
置決め後の状態をそれぞれ表す。ガラス基板１００１は
２本のフォーク（１０９、１１０）上に横方向に載置さ
れている。

【００６５】架台１０７はフォーク１０９および１１０
に載置されたガラス基板１００１を縦方向に位置決めす
るための縦方向押圧機構１００２、１００３および、横
方向に位置決めするための横方向挟装機構１０１１、１
０１２、１０１８、１０１９とを備える。

【００６６】縦方向押圧機構１００２および１００３
は、押圧面１００４および１００５を備え、エアシリン
ダ（不図示）により押圧面１００４および１００５が矢
印１００６および１００７の方向にそれぞれ動作し、ガ
ラス基板１００１を凹状の位置決め部材１００８の頂点
端部１００９および１０１０に押圧することで、ガラス
基板１００１を横向きに載置した場合の縦方向基準位置
１０２４に位置決めする。

【００６７】ここで、凹状の位置決め部材１００８は以
下のような特徴的な形状を有している。すなわち、凹入
した切り欠き部の底辺の長さｍはガラス基板１００１の
短辺長さｗより長く、かつ底辺と位置決め部材１００８
の２つの頂点端面１００９および１０１０とが互いに平
行となっている。さらに、２つの頂点端面１００９と１
０１０とを結ぶ直線（すなわち、ガラス基板１００１を
横向きに載置した場合の縦方向基準位置１０２４）と、
底辺との距離ｎはガラス基板１００１の長辺長さｌと短
辺長さｗとの差に等しいという関係を有する。

【００６８】位置決め部材１００８がかかる形状を有す
ることにより、ガラス基板１００１が図１０の（Ａ）の
ように横向きに載置された場合のガラス基板１００１の
長辺端面の位置１０２４と、位置決め部材の底辺の位置
１０２５との距離は、ｎ＋ｗ＝ｌとなる。

【００６９】一方、ガラス基板１００１が縦向きに載置
された場合は、ガラス基板１００１の短辺が凹状の位置
決め部材１００８の底辺に接することとなり、ガラス基
板１００１の他の短辺（凹状の位置決め部材１００８の
底辺に接している方の短辺とは反対側の短辺）の位置
は、凹状の位置決め部材１００８の底辺の位置１０２５
からガラス基板１００１の長辺の長さｌの距離を有する
こととなる。

【００７０】したがって、ガラス基板１００１が横向き
に載置されても、縦向きに載置されても、押圧面１００
４および１００５がガラス基板１００１を押圧する位置
は一定となる（１０２７に示す位置）。この結果、押圧
面１００４および１００５のエアシリンダのストローク
はガラス基板１００１の載置方向によらず１種類のみで
よいこととなる。

【００７１】一方、横方向挟装機構１０１１および１０
１２は、挟装面１０１３および１０１４を備え、エアシ
リンダ（不図示）により挟装面１０１３および１０１４
が矢印１０１６および１０１７の方向に動作すること
で、ガラス基板１００１を挟装し、横方向基準位置１０
２６に位置決めする。したがって、挟装面１０１３およ
び１０１４がガラス基板１００１の短辺を挟装する位置
は、横方向基準位置１０２６からｌ／２離れた位置とな
る。

【００７２】図１０（Ｂ）は押圧面１００４、１００５
および挟装面１０１３、１０１４により、ガラス基板１
００１を横向きに載置した場合の縦方向基準位置１０２
６および横方向基準位置１０２４に位置決めした状態を
示す図である。

【００７３】このように押圧面１００４、１００５およ
び挟装面１０１３、１０１４はそれぞれガラス基板１０
０１の長辺および短辺の長さに適した移動量（ストロー
ク）を有することで精度のよい位置決めが可能となって
いる。

【００７４】図１１は、本発明の第３の実施形態にかか
る基板移載装置における位置決め機構の一例を示す平面
図で、図１１（Ａ）は縦向きに載置されたガラス基板１
００１の位置決め前の状態を、図１１（Ｂ）は位置決め
後の状態をそれぞれ表す。以下、図１０において説明し
ていない部位を中心に説明することとする。

【００７５】上述のように、縦方向押圧機構１００２お
よび１００３は、ガラス基板１００１の載置方向が横向
きであっても、縦向きであっても同様である。なお、上
述のように、凹状の位置決め部材１００８の底辺の長さ
ｍは、ガラス基板１００１の短辺の長さｗよりより大き
いため、ガラス基板１００１を縦向きに載置した場合、
凹状の位置決め部材１００８の底辺の位置１０２５を縦
方向基準位置として位置決めされる。

【００７６】一方、横方向挟装機構１０１８および１０
１９は、挟装面１０２０および１０２１を備え、エアシ
リンダ（不図示）により挟装面１０２０および１０２１
が矢印１０２２および１０２３の方向に動作すること
で、ガラス基板１００１を挟装し、横方向基準位置１０
２６に位置決めする。挟装面１０２０および１０２１の
動作前の位置は、ガラス基板１００１が横向きに載置さ
れた場合であっても干渉することがないよう横方向基準
位置１０２６からそれぞれｌ／２以上離れた位置にある
ことが必要となる。

【００７７】図１１（Ｂ）は押圧面１００４、１００５
および挟装面１０２０、１０２１により、縦向きに載置
されたガラス基板１００１を縦方向基準位置１０２５お
よび横方向基準位置１０２６に位置決めした状態を示す
図である。挟装面１０２０および１０２１がガラス基板
１００１の長辺を挟装する位置は、横方向基準位置１０
２６からｗ／２離れた位置となる。

【００７８】このとき、挟装面１０１３および１０１４
は、矢印１０１６および１０１７の方向に動作していて
も位置決めに際しては何等支障がない。上述のとおり、
挟装面１０１３および１０１４はガラス基板１００１が
横向きに載置された場合にガラス基板１００１の短辺を
挟装するための機構であり、挟装位置は横方向基準位置
１０２６からｌ／２の位置である。ｌ／２＞ｗ／２の関
係を有しているため、ガラス基板１００１が縦向きに載
置された状態では、挟装面１０１３および１０１４は動
作してもガラス基板１２０１に接することはない。

【００７９】一方、挟装面１０２０および１０２１は、
ガラス基板１００１が縦向きに載置された場合のみ動作
するように制御する必要がある。ガラス基板１００１が
横向きに載置された場合に動作すると、ガラス基板１０
０１の短辺を必要以上に挟装することとなり、ガラス基
板１００１を損傷させることとなるからである。

【００８０】つまり、押圧面１００４、１００５および
挟装面１０１３、１０１４はガラス基板１００１の載置
方向に関わらず常に動作し、挟装面１０２０、１０２１
はガラス基板１００１が縦向きに載置された場合のみ動
作するよう制御される。

【００８１】図１２は、本発明の第３の実施形態にかか
る基板移載装置の位置決め機構の動作を表すフローチャ
ートである。

【００８２】ステップＳ１２０１において、向き検出セ
ンサ（不図示）のセンサ出力より、実際の載置方向を検
出する。次にステップＳ１２０２において、予め教示さ
れたガラス基板の載置方向を読み込む（ガラス基板の載
置方向は、操業開始前に事前にオペレータにより設定入
力されているものとする）。ステップＳ１２０３では、
ステップＳ１２０１において検出された載置方向と、ス
テップＳ１２０２において読み込まれた載置方向とが一
致するか否かを判断する。一致しない場合には、ステッ
プＳ１２０８において異常表示する。

【００８３】一方、一致する場合には、ステップＳ１２
０４において、載置方向を判断し、横向きの場合には、
ステップＳ１２０７に進み横向き用電磁弁（ガラス基板
の載置方向が横向きの場合に動作するエアシリンダを動
作させるための電磁弁）をＯＮする。ステップＳ１２０
６では、横向き用電磁弁がＯＮすることで、横向き用の
位置決め機構である押圧面１００４、１００５、挟装面
１０１３、１０１４が動作する。

【００８４】また、ステップＳ１２０４で、ガラス基板
の載置方向が縦向きであった場合には、ステップＳ１２
０５およびステップＳ１２０６に進み、それぞれ、横向
き用電磁弁および縦向き用電磁弁を同時にＯＮすること
により、横向き用の位置決め機構及び縦向き用の位置決
め機構である押圧面１００４、１００５、挟装面１０１
３、１０１４、１０２０、１０２１が動作する。

【００８５】以上のように特徴的な位置決め部材を備え
ることにより、上記第２の実施形態に比べ、位置決め機
構をさらに簡素化することができる。

【００８６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板の載置方向が縦向きであっても横向きであっても精
度の高い位置決めを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態にかかる基板移載装置
を設置した様子を示す外観斜視図である。

【図２】本発明の第１の実施形態にかかる基板移載装置
のハンドＨ１、Ｈ２の動作を示す動作説明図である。

【図３】本発明の第１の実施形態にかかる基板移載装置
における位置決め機構の一例を示す平面図である。

【図４】本発明の第１の実施形態にかかる基板移載装置
における挟装機構の一例を示す図である。

【図５】本発明の第１の実施形態にかかる基板移載装置
において各位置決め機構のストローク量を設定するまで
の処理の流れを示すフローチャートである。

【図６】本発明の第１の実施形態にかかる基板移載装置
において設定される各位置決め機構のストローク量のテ
ーブルを示す図である。

【図７】本発明の第１の実施形態にかかる基板移載装置
において各位置決め機構において、予め教示された載置
方向と実際の載置方向とを照合し、動作指令を出す処理
を示すフローチャートである。

【図８】本発明の第２の実施形態にかかる基板移載装置
における位置決め機構の一例を示す平面図である。

【図９】本発明の第２の実施形態にかかる基板移載装置
の位置決め機構の動作を表すフローチャートである。

【図１０】本発明の第３の実施形態にかかる基板移載装
置における位置決め機構の一例を示す平面図である。

【図１１】本発明の第３の実施形態にかかる基板移載装
置における位置決め機構の一例を示す平面図である。

【図１２】本発明の第３の実施形態にかかる基板移載装
置の位置決め機構の動作を表すフローチャートである。

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 AS05 BS26 BT01 CT02 CT04 CT05 CV03 DS01 ES17 EW00 EW03 HS12 HS27 HT20 NS12 5F031 CA05 DA01 FA02 FA07 FA09 FA11 FA12 GA04 GA08 GA24 GA36 GA38 GA42 GA47 GA48 GA49 HA33 JA21 JA22 JA32 KA02 KA11 KA12 LA09 LA12 LA15 PA02 PA10

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 長方形基板の受け渡しを行うハンドユニ
   ットと、該ハンドユニットに載置された前記長方形基板
   の位置決めを行う位置決めユニットとを備えた基板の移
   載装置であって、 前記位置決めユニットは、 前記長方形基板の少なくとも１組の対向端面を挟装する
   挟装手段と、 前記対向端面を挟装する前記挟装手段の挟装面が挟装方
   向に移動する距離を、前記長方形基板の載置方向に基づ
   いて変更する変更手段とを備えることを特徴とする基板
   の移載装置。
2. 【請求項２】 長方形基板の受け渡しを行うハンドユニ
   ットと、該ハンドユニットに載置された前記長方形基板
   の位置決めを行う位置決めユニットとを備えた基板の移
   載装置であって、 前記位置決めユニットは、 前記長方形基板の少なくとも１組の対向端面を挟装する
   挟装手段を備え、 前記挟装手段は、 前記対向端面を挟装する挟装面が挟装方向に移動する距
   離の異なる第一の挟装手段と第二の挟装手段と、 前記長方形基板の載置方向に基づいて、前記第一の挟装
   手段と第二の挟装手段とを切り替えて動作させる切り替
   え手段とを備えることを特徴とする基板の移載装置。
3. 【請求項３】 長方形基板の受け渡しを行うハンドユニ
   ットと、該ハンドユニットに載置された前記長方形基板
   の位置決めを行う位置決めユニットとを備えた基板の移
   載装置であって、 前記位置決めユニットが、 前記長方形基板のいずれかの端面の位置を規定する位置
   決め部材と、 前記長方形基板を前記位置決め部材へ押圧する押圧手段
   と、を備え、 前記位置決め部材が、 前記長方形基板の長辺側端面の位置を規定する第１の部
   材と、 前記長方形基板の短辺側端面の位置を規定する第２の部
   材とを備えることを特徴とする基板の移載装置。
4. 【請求項４】 前記ハンドユニットは、上下に配された
   複数の前記長方形基板を同時に受け渡しするための複数
   のハンドを備え、 前記挟装手段は、前記複数のハンドが受け取った複数の
   前記長方形基板を同時に挟装することを特徴とする請求
   項１乃至３のいずれか１つに記載の基板の移載装置。
5. 【請求項５】 前記ハンドユニットは、上下に配された
   複数の前記長方形基板を同時に受け渡しするための複数
   のハンドを備え、 前記押圧手段は、前記複数のハンドが受け取った複数の
   前記長方形基板を同時に前記位置決め部材へ押圧するこ
   とを特徴とする請求項３に記載の基板の移載装置。
6. 【請求項６】 前記第１の部材が、 少なくとも前記長方形基板の短辺の長さより大きく、長
   辺の長さより小さい間隔を置いて配置された２つの部材
   からなり、 前記第２の部材が、 前記押圧手段の押圧方向に対して、前記第１の部材の後
   方であって、 前記第１の部材により規定される前記長方形基板の長辺
   側端面と、前記第２の部材により規定される前記短辺側
   端面との間の間隔が、前記長方形基板の長辺長さと短辺
   長さとの差に略等しくなるように配置されていることを
   特徴とする請求項３に記載の基板の移載装置。