JP2011176040A - 露光装置ユニット及びその基板交換方法 - Google Patents
露光装置ユニット及びその基板交換方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011176040A JP2011176040A JP2010037681A JP2010037681A JP2011176040A JP 2011176040 A JP2011176040 A JP 2011176040A JP 2010037681 A JP2010037681 A JP 2010037681A JP 2010037681 A JP2010037681 A JP 2010037681A JP 2011176040 A JP2011176040 A JP 2011176040A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- hand
- exposure apparatus
- alignment
- aligned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】搬送用ロボット15が、プリアライメント装置12でプリアライメントされた基板W1を第1のハンド31で受け取る動作と、第2のハンド32に支持されたプリアライメントされる基板W2をプリアライメント装置12に受け渡す動作と、を同時に行う。
【選択図】図4
Description
(1) 露光装置本体と、
該露光装置本体に搬送される基板をプリアライメントするためのプリアライメント装置と、
該プリアライメント装置に前記基板を搬送する搬送用ロボットと、
を備える露光装置ユニットであって、
前記搬送用ロボットは、前記基板をそれぞれ支持すると共に、水平方向及び上下方向に駆動可能な、上下方向に並んだ第1及び第2のハンドを有し、
前記搬送用ロボットは、前記プリアライメント装置でプリアライメントされた前記基板を前記第1及び第2のハンドの一方のハンドで受け取る動作と、他方のハンドに支持されたプリアライメントされる前記基板を前記プリアライメント装置に受け渡す動作と、を同時に行うことを特徴とする露光装置ユニット。
(2) 前記第1及び第2のハンドは、所定の水平方向に独立に駆動可能、上下方向に同時に駆動可能、且つ、同時に回転可能であり、
前記第1のハンドは、前記第2のハンドよりも上方に配置されており、
前記搬送用ロボットは、前記第1のハンドで前記プリアライメントされた基板を受け取った後、前記第1及び第2のハンドを同時に上方に移動させ、前記第2のハンドに支持された前記プリアライメントされる基板を前記プリアライメント装置に受け渡すことを特徴とする(1)に記載の露光装置ユニット。
(3) 露光装置本体と、該露光装置本体に搬送される基板をプリアライメントするためのプリアライメント装置と、該プリアライメント装置に前記基板を搬送する搬送用ロボットと、を備え、前記搬送用ロボットは、前記基板をそれぞれ支持すると共に、水平方向及び上下方向に駆動可能な、上下方向に並んだ第1及び第2のハンドを有する露光装置ユニットの基板交換方法であって、
前記搬送用ロボットが、前記プリアライメント装置でプリアライメントされた前記基板を前記第1及び第2のハンドの一方のハンドで受け取る動作と、他方のハンドに支持されたプリアライメントされる前記基板を前記プリアライメント装置に受け渡す動作と、を同時に行うことを特徴とする露光装置ユニットの基板交換方法。
図1に示す一実施形態の露光装置ユニット10は、前処理工程からの基板を搬送する上流側コンベア11と、プリアライメント装置12と、露光装置本体13と、露光済み基板を後処理工程へ搬送する下流側コンベア14と、これら装置11、・・・、14間で基板の受け渡しを行う搬送用ロボット15と、を有する。
なお、露光機本体13、上流側及び下流側コンベア11、14は、公知のものが適用される。
11 上流側コンベア
12 プリアライメント装置
13 露光装置本体
14 下流側コンベア
15 搬送用ロボット
31 第1のハンド
32 第2のハンド
Claims (3)
- 露光装置本体と、
該露光装置本体に搬送される基板をプリアライメントするためのプリアライメント装置と、
該プリアライメント装置に前記基板を搬送する搬送用ロボットと、
を備える露光装置ユニットであって、
前記搬送用ロボットは、前記基板をそれぞれ支持すると共に、水平方向及び上下方向に駆動可能な、上下方向に並んだ第1及び第2のハンドを有し、
前記搬送用ロボットは、前記プリアライメント装置でプリアライメントされた前記基板を前記第1及び第2のハンドの一方のハンドで受け取る動作と、他方のハンドに支持されたプリアライメントされる前記基板を前記プリアライメント装置に受け渡す動作と、を同時に行うことを特徴とする露光装置ユニット。 - 前記第1及び第2のハンドは、所定の水平方向に独立に駆動可能、上下方向に同時に駆動可能、且つ、同時に回転可能であり、
前記第1のハンドは、前記第2のハンドよりも上方に配置されており、
前記搬送用ロボットは、前記第1のハンドで前記プリアライメントされた基板を受け取った後、前記第1及び第2のハンドを同時に上方に移動させ、前記第2のハンドに支持された前記プリアライメントされる基板を前記プリアライメント装置に受け渡すことを特徴とする請求項1に記載の露光装置ユニット。 - 露光装置本体と、該露光装置本体に搬送される基板をプリアライメントするためのプリアライメント装置と、該プリアライメント装置に前記基板を搬送する搬送用ロボットと、を備え、前記搬送用ロボットは、前記基板をそれぞれ支持すると共に、水平方向及び上下方向に駆動可能な、上下方向に並んだ第1及び第2のハンドを有する露光装置ユニットの基板交換方法であって、
前記搬送用ロボットが、前記プリアライメント装置でプリアライメントされた前記基板を前記第1及び第2のハンドの一方のハンドで受け取る動作と、他方のハンドに支持されたプリアライメントされる前記基板を前記プリアライメント装置に受け渡す動作と、を同時に行うことを特徴とする露光装置ユニットの基板交換方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010037681A JP2011176040A (ja) | 2010-02-23 | 2010-02-23 | 露光装置ユニット及びその基板交換方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010037681A JP2011176040A (ja) | 2010-02-23 | 2010-02-23 | 露光装置ユニット及びその基板交換方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011176040A true JP2011176040A (ja) | 2011-09-08 |
Family
ID=44688669
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010037681A Pending JP2011176040A (ja) | 2010-02-23 | 2010-02-23 | 露光装置ユニット及びその基板交換方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011176040A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109384062A (zh) * | 2018-09-19 | 2019-02-26 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种曝光机及其传送基板的方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08274143A (ja) * | 1995-02-02 | 1996-10-18 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置及び搬送方法 |
JP2003086659A (ja) * | 2001-09-11 | 2003-03-20 | Hirata Corp | 基板の移載装置 |
JP2003179118A (ja) * | 2002-07-30 | 2003-06-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2007316561A (ja) * | 2006-04-24 | 2007-12-06 | Nsk Ltd | 露光装置及び露光方法 |
JP2009165942A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2009260087A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2010010259A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空処理装置 |
-
2010
- 2010-02-23 JP JP2010037681A patent/JP2011176040A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08274143A (ja) * | 1995-02-02 | 1996-10-18 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置及び搬送方法 |
JP2003086659A (ja) * | 2001-09-11 | 2003-03-20 | Hirata Corp | 基板の移載装置 |
JP2003179118A (ja) * | 2002-07-30 | 2003-06-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2007316561A (ja) * | 2006-04-24 | 2007-12-06 | Nsk Ltd | 露光装置及び露光方法 |
JP2009165942A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2009260087A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2010010259A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空処理装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109384062A (zh) * | 2018-09-19 | 2019-02-26 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种曝光机及其传送基板的方法 |
US10941011B2 (en) | 2018-09-19 | 2021-03-09 | Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Exposure machine and method of transferring a substrate of same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6285275B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR100708318B1 (ko) | 기판처리 장치 및 기판처리 방법 | |
JP2006031025A (ja) | 平板表示装置の製造システム及び製造方法 | |
JP4381285B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP5189370B2 (ja) | 基板交換装置及び基板処理装置並びに基板検査装置 | |
JP2009278027A (ja) | 基板処理システム | |
JP6184102B2 (ja) | 位置合わせ装置および基板処理装置 | |
JP2014138041A5 (ja) | 処理装置、処理方法、及びデバイスの製造方法 | |
JP6243784B2 (ja) | 基板処理装置 | |
TW201407713A (zh) | 基板保持環握持機構 | |
JP6049367B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理システム | |
JP5743437B2 (ja) | 露光装置、露光方法、搬送方法及びデバイスの製造方法 | |
JP2011176040A (ja) | 露光装置ユニット及びその基板交換方法 | |
JP5510299B2 (ja) | 露光装置および露光方法 | |
JP5752088B2 (ja) | 露光装置 | |
JP4343326B2 (ja) | 基板搬送装置および露光装置 | |
JP5834742B2 (ja) | 基板の搬送システム | |
WO2013151146A1 (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
JP2009182364A (ja) | 基板保持機構およびそれを用いた露光装置並びにデバイス製造方法 | |
KR20100094361A (ko) | 기판 처리 시스템 | |
JP2011033953A (ja) | 基板搬送装置および表示パネルモジュール組立装置 | |
JP6773435B2 (ja) | 露光装置 | |
JP2011025587A (ja) | パターン形成装置 | |
TWI741500B (zh) | 基板處理裝置及基板處理裝置中之對象物之搬送方法 | |
JP2012234987A (ja) | 基板処理方法、その基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体及び基板処理システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110815 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140123 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140204 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140210 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140327 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140422 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140619 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150106 |