JP2006031025A - 平板表示装置の製造システム及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 マスクの交換時間を短縮させることができる露光システムを有する平板表示装置の製造システム及び製造方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも一つ以上のマスクが積載される第1マスクローディング/アンローディング装置と、前記マスクが安着するメインマスクステージと、前記第1マスクローディング/アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第1マスク搬送装置と、前記第1マスクローディング/アンローディング装置と所定間隔離隔して位置する第2マスクローディング/アンローディング装置と、前記第2マスクローディング/アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第2マスク搬送装置とを有する。
【選択図】図1
【解決手段】 少なくとも一つ以上のマスクが積載される第1マスクローディング/アンローディング装置と、前記マスクが安着するメインマスクステージと、前記第1マスクローディング/アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第1マスク搬送装置と、前記第1マスクローディング/アンローディング装置と所定間隔離隔して位置する第2マスクローディング/アンローディング装置と、前記第2マスクローディング/アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第2マスク搬送装置とを有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、平板表示装置の製造システム及び製造方法に関し、特に基板に半導体層を形成するための露光システム及び露光方法に関する。
一般に、平板表示装置は、現在広く使用されている表示装置であって、液晶表示装置(LCD、liquid crystal display)と有機発光ダイオード(OLED、organic light emitting display)表示装置などいろいろな種類がある。
このうち、液晶表示装置は、電界生成電極が形成されている二枚の表示板と、その間に挿入されている液晶層で構成され、電極に電圧を印加して液晶層の液晶分子を再配列させることによって液晶層を通過する光の透過率を調節する表示装置である。
このうち、液晶表示装置は、電界生成電極が形成されている二枚の表示板と、その間に挿入されている液晶層で構成され、電極に電圧を印加して液晶層の液晶分子を再配列させることによって液晶層を通過する光の透過率を調節する表示装置である。
このような液晶表示装置は、基板上に薄膜蒸着(deposition)、クリーニング(cleaning)、レジストコーティング(resist coating)、露光(exposure)、現像(development)、エッチング(etching)など一連の処理を行うことによって製造される。
このうち、露光工程を実行する露光システムは、マスク、マスクを搭載しているマスクローダー、マスクステージ、マスクをマスクローダーからマスクステージに移送するマスク搬送部、及び基板搬送部を含む。そして、マスクローダー、マスク搬送装置、及びマスクステージが各々一つずつ備えられている(例えば、特許文献1参照)。
特に、マスク(Mask)の汚染や生産モデルの変更があれば、マスクが交換される。
このうち、露光工程を実行する露光システムは、マスク、マスクを搭載しているマスクローダー、マスクステージ、マスクをマスクローダーからマスクステージに移送するマスク搬送部、及び基板搬送部を含む。そして、マスクローダー、マスク搬送装置、及びマスクステージが各々一つずつ備えられている(例えば、特許文献1参照)。
特に、マスク(Mask)の汚染や生産モデルの変更があれば、マスクが交換される。
しかし、従来の露光システムは、次のような問題があった。
マスクローダー、マスク搬送装置、及びマスクステージが各々一つずつ備えられているので、マスクの交換に過大な時間がかかることがある。つまり、マスクの交換時、交換されるマスクがマスク搬送部によってマスクステージからマスクローダーに完全に搬送された後、新たなマスクがマスク搬送部によってマスクローダーからマスクステージに搬送されるので、マスクの交換に過大な時間がかかることがある。
したがって、液晶表示装置の製造中にロスタイムが発生し得る。つまり、マスクの交換1回当たり5乃至10分程度の時間がかかって生産性が低下することがあるという問題点があった。
マスクローダー、マスク搬送装置、及びマスクステージが各々一つずつ備えられているので、マスクの交換に過大な時間がかかることがある。つまり、マスクの交換時、交換されるマスクがマスク搬送部によってマスクステージからマスクローダーに完全に搬送された後、新たなマスクがマスク搬送部によってマスクローダーからマスクステージに搬送されるので、マスクの交換に過大な時間がかかることがある。
したがって、液晶表示装置の製造中にロスタイムが発生し得る。つまり、マスクの交換1回当たり5乃至10分程度の時間がかかって生産性が低下することがあるという問題点があった。
そこで、本発明は上記従来の露光システムにおける問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、マスクの交換時間を短縮させることができる露光システムを有する平板表示装置の製造システム及び製造方法を提供することにある。
上記目的を達成するためになされた本発明による平板表示装置の製造システムは、少なくとも一つ以上のマスクが積載される第1マスクローディング/アンローディング装置と、前記マスクが安着するメインマスクステージと、前記第1マスクローディング/アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第1マスク搬送装置と、前記第1マスクローディング/アンローディング装置と所定間隔離隔して位置する第2マスクローディング/アンローディング装置と、前記第2マスクローディング/アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第2マスク搬送装置とを有することを特徴とする。
前記メインマスクステージと前記第1マスクローディング/アンローディング装置の間に位置する第1サブマスクステージと、前記メインマスクステージと前記第2マスクローディング/アンローディング装置の間に位置する第2サブマスクステージとをさらに有することが好ましい。
前記メインマスクステージと前記第1サブマスクステージの間に設置される第1シャトルと、前記メインマスクステージと前記第2サブマスクステージの間に設置される第2シャトルとをさらに有することが好ましい。
前記メインマスクステージと所定間隔離隔して、前記メインマスクステージの下部に位置する基板固定装置と、基板を積載または荷下ろしする複数台の基板ローディング/アンローディング装置と、前記複数台の基板ローディング/アンローディング装置のうちから選択された基板ローディング/アンローディング装置に積載されている基板を前記基板固定装置に搬送するか、或いは、前記基板固定装置に積載されている基板を前記選択された基板ローディング/アンローディング装置に搬送する基板搬送装置とをさらに有することが好ましい。
前記第1及び第2サブマスクステージと所定間隔離隔して、前記第1及び第2サブマスクステージの下部に各々位置する第1及び第2基板固定装置と、基板を積載または荷下ろしする第1及び第2基板ローディング/アンローディング装置と、前記第1及び第2基板ローディング/アンローディング装置に積載されている基板を前記第1及び第2基板固定装置に各々搬送するか、或いは、前記第1及び第2基板固定装置に積載されている基板を前記第1及び第2基板ローディング/アンローディング装置に搬送する第1及び第2基板搬送装置とをさらに有することが好ましい。
前記第1及び第2基板固定装置は、水平方向に移動することが好ましい。
前記メインマスクステージと前記第1サブマスクステージの間に設置される第1シャトルと、前記メインマスクステージと前記第2サブマスクステージの間に設置される第2シャトルとをさらに有することが好ましい。
前記メインマスクステージと所定間隔離隔して、前記メインマスクステージの下部に位置する基板固定装置と、基板を積載または荷下ろしする複数台の基板ローディング/アンローディング装置と、前記複数台の基板ローディング/アンローディング装置のうちから選択された基板ローディング/アンローディング装置に積載されている基板を前記基板固定装置に搬送するか、或いは、前記基板固定装置に積載されている基板を前記選択された基板ローディング/アンローディング装置に搬送する基板搬送装置とをさらに有することが好ましい。
前記第1及び第2サブマスクステージと所定間隔離隔して、前記第1及び第2サブマスクステージの下部に各々位置する第1及び第2基板固定装置と、基板を積載または荷下ろしする第1及び第2基板ローディング/アンローディング装置と、前記第1及び第2基板ローディング/アンローディング装置に積載されている基板を前記第1及び第2基板固定装置に各々搬送するか、或いは、前記第1及び第2基板固定装置に積載されている基板を前記第1及び第2基板ローディング/アンローディング装置に搬送する第1及び第2基板搬送装置とをさらに有することが好ましい。
前記第1及び第2基板固定装置は、水平方向に移動することが好ましい。
上記目的を達成するためになされた本発明による平板表示装置の製造方法は、第1マスクローディング/アンローディング装置に積載されている第1マスクを、第1マスク搬送装置を利用してメインマスクステージに搬送する段階と、第2マスクローディング/アンローディング装置に積載されている第2マスクを、第2マスク搬送装置を利用して第2サブマスクステージに搬送する段階と、前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第1マスクを利用して所定回数の露光工程を実行する段階と、前記所定回数の露光工程を完了した後、前記第1マスクを第1サブマスクステージに搬送し、前記第2サブマスクステージに搭載、配置された第2マスクを前記メインマスクステージに搬送、配置する段階と、前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第2マスクを利用して所定回数の露光工程を実行する段階とを有することを特徴とする。
前記第1マスクと第2マスクとは同一のパターンを形成することが好ましい。
前記第1サブマスクステージに搭載、配置された前記第1マスクを、前記第1マスク搬送装置を利用して第1マスクローディング/アンローディング装置に搬出する段階と、前記第1マスクローディング/アンローディング装置に積載されている第3マスクを、前記第1マスク搬送装置を利用して前記第1サブマスクステージに搬送、配置する段階と、前記第2マスクによって所定回数の露光工程を完了した後、前記第2マスクを第2サブマスクステージに搬送し、前記第1サブマスクステージに搭載、配置された第3マスクを前記メインマスクステージに搬送、配置する段階と、前記メインマスクステージで前記第3マスクを利用して所定回数の露光工程を実行する段階とをさらに有することが好ましい。
前記露光工程は、基板搬送装置を利用して、複数台の基板ローディング/アンローディング装置のうちから選択された基板ローディング/アンローディング装置から基板固定装置に基板を搬送、配置する段階と、前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第1マスクを利用して前記基板を露光する段階と、前記基板搬送装置を利用して前記露光された基板を前記選択された基板ローディング/アンローディング装置に搬出する段階とを有することが好ましい。
前記露光工程は、第1基板搬送装置を利用して、第1基板ローディング/アンローディング装置から前記第1サブマスクステージの下部に位置している第1基板固定装置に基板を搬送、配置する段階と、前記第1基板固定装置を移動させて、前記基板を前記メインマスクステージ下部に搬送、配置する段階と、前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第1マスクで前記基板を露光する段階と、前記第1基板搬送装置を利用して、前記露光された基板を前記第1基板固定装置から前記第1基板ローディング/アンローディング装置に搬出する段階とを有することが好ましい。
前記第1サブマスクステージに搭載、配置された前記第1マスクを、前記第1マスク搬送装置を利用して第1マスクローディング/アンローディング装置に搬出する段階と、前記第1マスクローディング/アンローディング装置に積載されている第3マスクを、前記第1マスク搬送装置を利用して前記第1サブマスクステージに搬送、配置する段階と、前記第2マスクによって所定回数の露光工程を完了した後、前記第2マスクを第2サブマスクステージに搬送し、前記第1サブマスクステージに搭載、配置された第3マスクを前記メインマスクステージに搬送、配置する段階と、前記メインマスクステージで前記第3マスクを利用して所定回数の露光工程を実行する段階とをさらに有することが好ましい。
前記露光工程は、基板搬送装置を利用して、複数台の基板ローディング/アンローディング装置のうちから選択された基板ローディング/アンローディング装置から基板固定装置に基板を搬送、配置する段階と、前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第1マスクを利用して前記基板を露光する段階と、前記基板搬送装置を利用して前記露光された基板を前記選択された基板ローディング/アンローディング装置に搬出する段階とを有することが好ましい。
前記露光工程は、第1基板搬送装置を利用して、第1基板ローディング/アンローディング装置から前記第1サブマスクステージの下部に位置している第1基板固定装置に基板を搬送、配置する段階と、前記第1基板固定装置を移動させて、前記基板を前記メインマスクステージ下部に搬送、配置する段階と、前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第1マスクで前記基板を露光する段階と、前記第1基板搬送装置を利用して、前記露光された基板を前記第1基板固定装置から前記第1基板ローディング/アンローディング装置に搬出する段階とを有することが好ましい。
本発明による平板表示装置の製造システム及び製造方法によれば、複数台のマスクローディング/アンローディング装置を設置することによって、マスクの交換時間を短縮するという効果がある。
また、本発明によれば、待機マスクを位置させるサブマスクステージを複数台設置することによって、マスクの交換が迅速に行われるという効果がある。
さらに、本発明のよれば、サブマスクステージからメインマスクステージへのマスク移動は、シャトル(Shuttle)方式またはLMガイド(linear motion)を利用して容易に行えるという効果がある。
また、本発明によれば、待機マスクを位置させるサブマスクステージを複数台設置することによって、マスクの交換が迅速に行われるという効果がある。
さらに、本発明のよれば、サブマスクステージからメインマスクステージへのマスク移動は、シャトル(Shuttle)方式またはLMガイド(linear motion)を利用して容易に行えるという効果がある。
次に、本発明に係る平板表示装置の製造システム及び製造方法を実施するための最良の形態の具体例を図面を参照しながら説明する。
以下、図1乃至図4を参照して、本発明の第1の実施例による平板表示装置の製造システム及び製造方法について詳細に説明する。
図1乃至図4は、本発明の第1の実施例による露光システムの平面図であって、マスク及び基板の搬入及び搬出工程を順に示したものである。
図1及び図2に示すように、本発明の第1の実施例による露光システムは、第1マスクローディング/アンローディング装置110と、第1マスク搬送装置111と、第1サブマスクステージ131と、メインマスクステージ132と、第2サブマスクステージ133と、第2マスク搬送装置121と、第2マスクローディング/アンローディング装置120がU字状に設置されている。
図1乃至図4は、本発明の第1の実施例による露光システムの平面図であって、マスク及び基板の搬入及び搬出工程を順に示したものである。
図1及び図2に示すように、本発明の第1の実施例による露光システムは、第1マスクローディング/アンローディング装置110と、第1マスク搬送装置111と、第1サブマスクステージ131と、メインマスクステージ132と、第2サブマスクステージ133と、第2マスク搬送装置121と、第2マスクローディング/アンローディング装置120がU字状に設置されている。
そして、メインマスクステージ132と所定間隔離隔してメインマスクステージ132の下部に配置される基板固定装置213、及び、基板搬送装置211と、第1基板ローディング/アンローディング装置212と、第2基板ローディング/アンローディング装置210とが設置されている。
第1マスクローディング/アンローディング装置110及び第2マスクローディング/アンローディング装置120には、少なくとも一つ以上のマスクが積載されていて、第1マスクローディング/アンローディング装置110及び第2マスクローディング/アンローディング装置120は、所定間隔離隔して位置している。
第1マスク搬送装置111は、第1マスクローディング/アンローディング装置110に積載された第1マスク10を、第1サブマスクステージ131またはメインマスクステージ132に搬送する。
第1マスクローディング/アンローディング装置110及び第2マスクローディング/アンローディング装置120には、少なくとも一つ以上のマスクが積載されていて、第1マスクローディング/アンローディング装置110及び第2マスクローディング/アンローディング装置120は、所定間隔離隔して位置している。
第1マスク搬送装置111は、第1マスクローディング/アンローディング装置110に積載された第1マスク10を、第1サブマスクステージ131またはメインマスクステージ132に搬送する。
そして、第2マスク搬送装置121は、第2マスクローディング/アンローディング装置120に積載された第2マスク20を、第2サブマスクステージ133またはメインマスクステージ132に搬送する。
ここで、第1マスク10と第2マスク20は、同一のパターンが形成されているマスクであるのが好ましい。
そして、第1及び第2マスク搬送装置111、121は、ロボットアーム(robot arm)であることが可能であり、このようなロボットアームによって、マスクは垂直または水平に移動または回転することができる。
このようにマスクローディング/アンローディング装置及びマスク搬送装置を複数台設置することによって、マスクの交換時間を短縮することができる。
ここで、第1マスク10と第2マスク20は、同一のパターンが形成されているマスクであるのが好ましい。
そして、第1及び第2マスク搬送装置111、121は、ロボットアーム(robot arm)であることが可能であり、このようなロボットアームによって、マスクは垂直または水平に移動または回転することができる。
このようにマスクローディング/アンローディング装置及びマスク搬送装置を複数台設置することによって、マスクの交換時間を短縮することができる。
メインマスクステージ132の上面にはマスク10または20が安着し、図3に示すように、メインマスクステージ132の下部に対応して、メインマスクステージ132から所定間隔離隔して基板1が搬送、配置される。
メインマスクステージ132の左右側方には、各々第1サブマスクステージ131及び第2サブマスクステージ133が設置される。つまり、メインマスクステージ132と第1及び第2マスクローディング/アンローディング装置110、120の間には、各々第1及び第2サブマスクステージ131、133が設置されている。このように、第1または第2サブマスクステージ131、133のいずれか一つに、マスク(図1の第2マスク20、または図2の第3マスク30参照)が常に安着しているので、マスクは常に待機状態を維持することができる。従って、マスクの交換が必要なとき、待機したマスクがメインマスクステージ132へ直ちに移動可能であるため、マスクの交換が迅速に行われるようにすることができる。
メインマスクステージ132の左右側方には、各々第1サブマスクステージ131及び第2サブマスクステージ133が設置される。つまり、メインマスクステージ132と第1及び第2マスクローディング/アンローディング装置110、120の間には、各々第1及び第2サブマスクステージ131、133が設置されている。このように、第1または第2サブマスクステージ131、133のいずれか一つに、マスク(図1の第2マスク20、または図2の第3マスク30参照)が常に安着しているので、マスクは常に待機状態を維持することができる。従って、マスクの交換が必要なとき、待機したマスクがメインマスクステージ132へ直ちに移動可能であるため、マスクの交換が迅速に行われるようにすることができる。
そして、メインマスクステージ132と、第1及び第2サブマスクステージ131、133との間には、シャトル(Shuttle)またはLM(linear motion)ガイド35、36が設置されている。
そして、基板固定装置213はメインマスクステージ132と対応した下部に位置しており、露光工程時に基板1を支持及び固定する役割を果たす。
第1及び第2基板ローディング/アンローディング装置212、210には基板が積載されており、基板を整列させる基板整列機の役割も果たすのが好ましい。
そして、基板固定装置213はメインマスクステージ132と対応した下部に位置しており、露光工程時に基板1を支持及び固定する役割を果たす。
第1及び第2基板ローディング/アンローディング装置212、210には基板が積載されており、基板を整列させる基板整列機の役割も果たすのが好ましい。
そして、図3及び図4に示すように、基板搬送装置211は第1基板ローディング/アンローディング装置212から基板固定装置213に基板1を搬送する。この時、第2基板ローディング/アンローディング装置210に基板2が積載される。
そして、基板搬送装置211は、基板固定装置213から第1基板ローディング/アンローディング装置212に、露光工程を実行した基板1を搬送する。そして、基板搬送装置211は第2基板ローディング/アンローディング装置210から基板固定装置213に基板2を搬送し、露光工程を実行する。
そして、基板搬送装置211は、基板固定装置213から第1基板ローディング/アンローディング装置212に、露光工程を実行した基板1を搬送する。そして、基板搬送装置211は第2基板ローディング/アンローディング装置210から基板固定装置213に基板2を搬送し、露光工程を実行する。
以下、図1乃至図4を参照して、本発明の第1の実施例による平板表示装置の製造方法について詳細に説明する。
まず、図1に示したように、第1マスクローディング/アンローディング装置110に積載されている第1マスク10を、第1マスク搬送装置111を利用して、メインマスクステージ132に搬送する。
そして、第2マスクローディング/アンローディング装置120に積載されている第2マスク20を、第2マスク搬送装置121を利用して、第2サブマスクステージ133に搬送する。
そして、メインマスクステージ132に搭載、配置された第1マスク10を利用して、露光工程を複数回実行する。
まず、図1に示したように、第1マスクローディング/アンローディング装置110に積載されている第1マスク10を、第1マスク搬送装置111を利用して、メインマスクステージ132に搬送する。
そして、第2マスクローディング/アンローディング装置120に積載されている第2マスク20を、第2マスク搬送装置121を利用して、第2サブマスクステージ133に搬送する。
そして、メインマスクステージ132に搭載、配置された第1マスク10を利用して、露光工程を複数回実行する。
以下、露光工程について詳細に説明する。
まず、図3に示すように、第1基板ローディング/アンローディング装置212に積載された基板1を、基板搬送装置211を利用して、基板固定装置213に搬送、配置する。そして、基板固定装置213で基板1を第1マスク10と整列させた後、固定させる。この時、第2基板ローディング/アンローディング装置210に新たな基板2が積載される。
まず、図3に示すように、第1基板ローディング/アンローディング装置212に積載された基板1を、基板搬送装置211を利用して、基板固定装置213に搬送、配置する。そして、基板固定装置213で基板1を第1マスク10と整列させた後、固定させる。この時、第2基板ローディング/アンローディング装置210に新たな基板2が積載される。
そして、メインマスクステージ132に搭載、配置された第1マスク10を利用して基板1を露光する。次に、基板搬送装置211を利用して、露光された基板1を基板固定装置213から第1基板ローディング/アンローディング装置212に搬出する。
そして、図4に示すように、基板搬送装置211を利用して、新たな基板2を第2基板ローディング/アンローディング装置210から基板固定装置213に搬送する。
このような工程を繰り返して、露光工程を複数回実行する。つまり、第1マスク10を利用して100乃至1000枚の基板に露光工程を実行する。その後、次の通り第1マスク10を交換する。
そして、図4に示すように、基板搬送装置211を利用して、新たな基板2を第2基板ローディング/アンローディング装置210から基板固定装置213に搬送する。
このような工程を繰り返して、露光工程を複数回実行する。つまり、第1マスク10を利用して100乃至1000枚の基板に露光工程を実行する。その後、次の通り第1マスク10を交換する。
図1に示すように、メインマスクステージ132で、第1マスク10を第1サブマスクステージ131を経て第1マスクローディング/アンローディング装置110に搬送する。
そして、図2に示すように、第2サブマスクステージ133に積載されている第2マスク20をメインマスクステージ132に搬送、配置する。これはメインマスクステージ132と第2サブマスクステージ133間に設置されている第2シャトルまたはLMガイド36を利用して実行することによって、容易に行える。そして、第3マスク30を第1サブマスクステージ131に搬送、配置する。
そして、メインマスクステージ132に搭載、配置された第2マスク20を利用して上述した露光工程を複数回実行する。
このように露光工程が反復的に行われる間、サブマスクステージに配置されたマスクの交換工程を行う。
そして、図2に示すように、第2サブマスクステージ133に積載されている第2マスク20をメインマスクステージ132に搬送、配置する。これはメインマスクステージ132と第2サブマスクステージ133間に設置されている第2シャトルまたはLMガイド36を利用して実行することによって、容易に行える。そして、第3マスク30を第1サブマスクステージ131に搬送、配置する。
そして、メインマスクステージ132に搭載、配置された第2マスク20を利用して上述した露光工程を複数回実行する。
このように露光工程が反復的に行われる間、サブマスクステージに配置されたマスクの交換工程を行う。
また、従来の技術によれば、マスクの交換時、交換しようとするマスクを一つのマスク搬送装置がマスクステージからマスクローディング/アンローディング装置に完全に搬送した後、再びマスクローディング/アンローディング装置からマスク搬送装置がマスクを搬出してマスクステージに搬送する。この場合、マスクをマスクステージに搬入し、マスクステージから搬出するマスクの交換時間が過大に所要される。
しかし、本発明の第1の実施例では、複数台のマスクローディング/アンローディング装置110、120、マスク搬送装置111、121及び複数台のサブマスクステージ131、133を設置することによって、マスクの交換時間を顕著に短縮させることができる。
しかし、本発明の第1の実施例では、複数台のマスクローディング/アンローディング装置110、120、マスク搬送装置111、121及び複数台のサブマスクステージ131、133を設置することによって、マスクの交換時間を顕著に短縮させることができる。
以下、図5乃至図8を参照して、本発明の第2の実施例による平板表示装置の製造システムについて詳細に説明する。
図5乃至図8は、本発明の第2の実施例による露光システムの平面図であって、マスク及び基板の搬入及び搬出工程を順に示した図面である。ここで、第1の実施例と同一の構成は、同一の参照符号を付与する。
図5及び図6に示すように、本発明の第2の実施例による露光システムは、第1マスクローディング/アンローディング装置110、第1マスク搬送装置111、第1サブマスクステージ131、メインマスクステージ132、第2サブマスクステージ133、第2マスク搬送装置121及び第2マスクローディング/アンローディング装置120が設置される。
図5乃至図8は、本発明の第2の実施例による露光システムの平面図であって、マスク及び基板の搬入及び搬出工程を順に示した図面である。ここで、第1の実施例と同一の構成は、同一の参照符号を付与する。
図5及び図6に示すように、本発明の第2の実施例による露光システムは、第1マスクローディング/アンローディング装置110、第1マスク搬送装置111、第1サブマスクステージ131、メインマスクステージ132、第2サブマスクステージ133、第2マスク搬送装置121及び第2マスクローディング/アンローディング装置120が設置される。
そして、第1、第2サブマスクステージ131、133と所定間隔離隔して第1、第2サブマスクステージ131、133の下部に第2及び第1基板固定装置213b、213a、及び、第1乃至第3基板搬送装置211a、211b、211cと、基板整列機220と、第1基板ローディング/アンローディング装置210aと、第2基板ローディング/アンローディング装置210bとが設置されている。
第1マスクローディング/アンローディング装置110及び第2マスクローディング/アンローディング装置120には、複数個のマスクが積載されていて、第1マスクローディング/アンローディング装置110及び第2マスクローディング/アンローディング装置120は所定間隔離隔して位置している。
第1マスクローディング/アンローディング装置110及び第2マスクローディング/アンローディング装置120には、複数個のマスクが積載されていて、第1マスクローディング/アンローディング装置110及び第2マスクローディング/アンローディング装置120は所定間隔離隔して位置している。
第1マスク搬送装置111は、第1マスクローディング/アンローディング装置110に積載された第1マスク10を、第1サブマスクステージ131またはメインマスクステージ132に搬送する。
そして、第2マスク搬送装置121は、第2マスクローディング/アンローディング装置120に積載された第2マスク20を、第2サブマスクステージ133またはメインマスクステージ132に搬送する。
このようにマスクローディング/アンローディング装置及びマスク搬送装置を複数台設置することによって、マスクの交換時間を短縮することができる。
そして、第2マスク搬送装置121は、第2マスクローディング/アンローディング装置120に積載された第2マスク20を、第2サブマスクステージ133またはメインマスクステージ132に搬送する。
このようにマスクローディング/アンローディング装置及びマスク搬送装置を複数台設置することによって、マスクの交換時間を短縮することができる。
メインマスクステージ132の上面には、マスク10または20が安着し、図8に示すように、メインマスクステージ132の下部に対応して、メインマスクステージ132から所定間隔離隔して基板1が搬送、配置される。
メインマスクステージ132の左右側方には、各々第1サブマスクステージ131及び第2サブマスクステージ133が設置される。つまり、メインマスクステージ132と第1及び第2マスクローディング/アンローディング装置110、120との間には、各々第1及び第2サブマスクステージ131、133が設置されている。このように、複数のサブマスクステージ131、133のいずれか一つに、マスク(図5の第2マスク20または図6の第3マスク30)が常に安着しているので、マスクは常に待機状態を維持することができる。従って、マスクの交換が必要なとき、待機したマスクがメインマスクステージ132へ直ちに移動可能であるため、マスクの交換が迅速に行われるようにすることができる。
メインマスクステージ132の左右側方には、各々第1サブマスクステージ131及び第2サブマスクステージ133が設置される。つまり、メインマスクステージ132と第1及び第2マスクローディング/アンローディング装置110、120との間には、各々第1及び第2サブマスクステージ131、133が設置されている。このように、複数のサブマスクステージ131、133のいずれか一つに、マスク(図5の第2マスク20または図6の第3マスク30)が常に安着しているので、マスクは常に待機状態を維持することができる。従って、マスクの交換が必要なとき、待機したマスクがメインマスクステージ132へ直ちに移動可能であるため、マスクの交換が迅速に行われるようにすることができる。
そして、メインマスクステージ132と第1及び第2サブマスクステージ131、133との間には、シャトルまたはLMガイド35、36が設置されている。
そして、第1及び第2基板固定装置213a、213bは、各々第2及び第1サブマスクステージ133、131と対応した下部に位置していて、露光工程時に第1及び第2基板固定装置213a、213bのうちのいずれか一つは、メインマスクステージ132と対応する位置に移動する。
そして、第1及び第2基板固定装置213a、213bは、各々第2及び第1サブマスクステージ133、131と対応した下部に位置していて、露光工程時に第1及び第2基板固定装置213a、213bのうちのいずれか一つは、メインマスクステージ132と対応する位置に移動する。
第1基板ローディング/アンローディング装置210aには基板1が積載されていて、基板を整列する基板整列機220は、第1乃至第3基板搬送装置211a、211b、211cに囲まれて設置されている。このような基板整列機220は、第1及び第2基板固定装置213a、213bに基板1を搬入する前、基板を整列させる役割を果たす。
そして、図7及び図8に示すように、第1基板搬送装置211aは第1基板ローディング/アンローディング装置210aから基板整列機220に基板1を搬送する。第2基板搬送装置211bは基板整列機220で整列された基板1を第1基板固定装置213aに搬送する。
本発明の第2の実施例は第1の実施例とは異なって、基板固定装置及び基板搬送装置を複数台設置し、複数台の基板固定装置はメインマスクステージと相応する位置に移動可能であるという点で区別される。
そして、図7及び図8に示すように、第1基板搬送装置211aは第1基板ローディング/アンローディング装置210aから基板整列機220に基板1を搬送する。第2基板搬送装置211bは基板整列機220で整列された基板1を第1基板固定装置213aに搬送する。
本発明の第2の実施例は第1の実施例とは異なって、基板固定装置及び基板搬送装置を複数台設置し、複数台の基板固定装置はメインマスクステージと相応する位置に移動可能であるという点で区別される。
以下、図5乃至図8を参照して、本発明の第2の実施例による平板表示装置の製造方法について詳細に説明する。
まず、図5に示すように、第1マスクローディング/アンローディング装置110に積載されている第1マスク10を、第1マスク搬送装置111及び第1シャトルまたはLMガイド35を利用して、第1サブマスクステージ131を経てメインマスクステージ132に搬送する。
そして、第2マスクローディング/アンローディング装置120に積載されている第2マスク20を、第2マスク搬送装置121を利用して第2サブマスクステージ133に搬送する。
まず、図5に示すように、第1マスクローディング/アンローディング装置110に積載されている第1マスク10を、第1マスク搬送装置111及び第1シャトルまたはLMガイド35を利用して、第1サブマスクステージ131を経てメインマスクステージ132に搬送する。
そして、第2マスクローディング/アンローディング装置120に積載されている第2マスク20を、第2マスク搬送装置121を利用して第2サブマスクステージ133に搬送する。
そして、メインマスクステージ132に搭載、配置された第1マスク10を利用して露光工程を複数回実行する。特に、一つのマスクを利用して100乃至1000枚の基板に露光工程を実行する。その後、次の通り第1マスク10を交換する。
図5に示すように、メインマスクステージ132から第1マスク10を第1サブマスクステージ131に搬送する。
そして、図6に示すように、第2サブマスクステージ133に積載されている第2マスク20をメインマスクステージ132に搬送、配置する。これはメインマスクステージ132と第2サブマスクステージ133との間に設置されている第2シャトルまたはLMガイド36を利用して実行することによって、容易に行える。
そして、メインマスクステージ132に搭載、配置された第2マスク20を利用して露光工程を複数回実行する。
図5に示すように、メインマスクステージ132から第1マスク10を第1サブマスクステージ131に搬送する。
そして、図6に示すように、第2サブマスクステージ133に積載されている第2マスク20をメインマスクステージ132に搬送、配置する。これはメインマスクステージ132と第2サブマスクステージ133との間に設置されている第2シャトルまたはLMガイド36を利用して実行することによって、容易に行える。
そして、メインマスクステージ132に搭載、配置された第2マスク20を利用して露光工程を複数回実行する。
以下、露光工程について詳細に説明する。
図7に示すように、まず、第1基板ローディング/アンローディング装置210aに積載された基板1を、第1基板搬送装置211aを利用して基板整列機220に搬送、配置する。そして基板整列機220を利用して基板1を整列した後、基板1を再び第2基板搬送装置211bを利用して第1基板固定装置213aに搬送、配置する。
次に、図8に示すように、第1基板固定装置213aを移動させ、基板1をメインマスクステージ132の下部に移動、配置する。
そして、メインマスクステージ132に搭載、配置された第2マスク20を利用して基板1を露光する。
図7に示すように、まず、第1基板ローディング/アンローディング装置210aに積載された基板1を、第1基板搬送装置211aを利用して基板整列機220に搬送、配置する。そして基板整列機220を利用して基板1を整列した後、基板1を再び第2基板搬送装置211bを利用して第1基板固定装置213aに搬送、配置する。
次に、図8に示すように、第1基板固定装置213aを移動させ、基板1をメインマスクステージ132の下部に移動、配置する。
そして、メインマスクステージ132に搭載、配置された第2マスク20を利用して基板1を露光する。
この時、第2基板ローディング/アンローディング装置210bに積載された基板2は、第1基板搬送装置211aによって基板整列機220に搬送、配置する。そして、基板整列機220により整列された基板2は、第3基板搬送装置211cによって第2基板固定装置213bに搬送、配置する。
そして、図7に示すように、露光された基板1を、第2基板搬送装置211bを利用して第1基板固定装置213aから基板整列機220に搬送し、整列された基板1を、第1基板搬送装置211aを利用して第1基板ローディング/アンローディング装置210aに搬出する。
このような露光工程は第2マスク20によっても複数回行われる。
そして、図7に示すように、露光された基板1を、第2基板搬送装置211bを利用して第1基板固定装置213aから基板整列機220に搬送し、整列された基板1を、第1基板搬送装置211aを利用して第1基板ローディング/アンローディング装置210aに搬出する。
このような露光工程は第2マスク20によっても複数回行われる。
また、従来の技術によれば、マスクの交換時、交換しようとするマスクを一つのマスク搬送装置がマスクステージからマスクローディング/アンローディング装置に完全に搬送した後、再びマスクローディング/アンローディング装置からマスク搬送装置がマスクを搬出し、マスクステージに搬送する。この場合、マスクをマスクステージに搬入し、マスクステージから搬出するマスクの交換時間が過大に所要されるようになる。
しかし、本発明の第2の実施例では、マスクローディング/アンローディング装置、マスク搬送装置及びサブマスクステージを複数台設置することによって、マスクの交換時間を短縮させることができる。
しかし、本発明の第2の実施例では、マスクローディング/アンローディング装置、マスク搬送装置及びサブマスクステージを複数台設置することによって、マスクの交換時間を短縮させることができる。
尚、本発明は、上述の実施例に限られるものではない。本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
1、2 基板
10、20 第1、2マスク
35、36 第1、2シャトルまたはLMガイド
110、120 第1、2マスクローディング/アンローディング装置
111、121 第1、2マスク搬送装置
131、133 第1、2サブマスクステージ
132 メインマスクステージ
210、212、210a、210b 第1、2基板ローディング/アンローディング装置
211、211a、211b、211c 基板搬送装置
213、213a、213b 基板固定装置
220 基板整列機
10、20 第1、2マスク
35、36 第1、2シャトルまたはLMガイド
110、120 第1、2マスクローディング/アンローディング装置
111、121 第1、2マスク搬送装置
131、133 第1、2サブマスクステージ
132 メインマスクステージ
210、212、210a、210b 第1、2基板ローディング/アンローディング装置
211、211a、211b、211c 基板搬送装置
213、213a、213b 基板固定装置
220 基板整列機
Claims (11)
- 少なくとも一つ以上のマスクが積載される第1マスクローディング/アンローディング装置と、
前記マスクが安着するメインマスクステージと、
前記第1マスクローディング/アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第1マスク搬送装置と、
前記第1マスクローディング/アンローディング装置と所定間隔離隔して位置する第2マスクローディング/アンローディング装置と、
前記第2マスクローディング/アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第2マスク搬送装置とを有することを特徴とする平板表示装置の製造システム。 - 前記メインマスクステージと前記第1マスクローディング/アンローディング装置の間に位置する第1サブマスクステージと、
前記メインマスクステージと前記第2マスクローディング/アンローディング装置の間に位置する第2サブマスクステージとをさらに有することを特徴とする請求項1に記載の平板表示装置の製造システム。 - 前記メインマスクステージと前記第1サブマスクステージの間に設置される第1シャトルと、
前記メインマスクステージと前記第2サブマスクステージの間に設置される第2シャトルとをさらに有することを特徴とする請求項2に記載の平板表示装置の製造システム。 - 前記メインマスクステージと所定間隔離隔して、前記メインマスクステージの下部に位置する基板固定装置と、
基板を積載または荷下ろしする複数台の基板ローディング/アンローディング装置と、
前記複数台の基板ローディング/アンローディング装置のうちから選択された基板ローディング/アンローディング装置に積載されている基板を前記基板固定装置に搬送するか、或いは、前記基板固定装置に積載されている基板を前記選択された基板ローディング/アンローディング装置に搬送する基板搬送装置とをさらに有することを特徴とする請求項1に記載の平板表示装置の製造システム。 - 前記第1及び第2サブマスクステージと所定間隔離隔して、前記第1及び第2サブマスクステージの下部に各々位置する第1及び第2基板固定装置と、
基板を積載または荷下ろしする第1及び第2基板ローディング/アンローディング装置と、
前記第1及び第2基板ローディング/アンローディング装置に積載されている基板を前記第1及び第2基板固定装置に各々搬送するか、或いは、前記第1及び第2基板固定装置に積載されている基板を前記第1及び第2基板ローディング/アンローディング装置に搬送する第1及び第2基板搬送装置とをさらに有することを特徴とする請求項2に記載の平板表示装置の製造システム。 - 前記第1及び第2基板固定装置は、水平方向に移動することを特徴とする請求項5に記載の平板表示装置の製造システム。
- 第1マスクローディング/アンローディング装置に積載されている第1マスクを、第1マスク搬送装置を利用してメインマスクステージに搬送する段階と、
第2マスクローディング/アンローディング装置に積載されている第2マスクを、第2マスク搬送装置を利用して第2サブマスクステージに搬送する段階と、
前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第1マスクを利用して所定回数の露光工程を実行する段階と、
前記所定回数の露光工程を完了した後、前記第1マスクを第1サブマスクステージに搬送し、前記第2サブマスクステージに搭載、配置された第2マスクを前記メインマスクステージに搬送、配置する段階と、
前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第2マスクを利用して所定回数の露光工程を実行する段階とを有することを特徴とする平板表示装置の製造方法。 - 前記第1マスクと第2マスクとは同一のパターンを形成することを特徴とする請求項7に記載の平板表示装置の製造方法。
- 前記第1サブマスクステージに搭載、配置された前記第1マスクを、前記第1マスク搬送装置を利用して第1マスクローディング/アンローディング装置に搬出する段階と、
前記第1マスクローディング/アンローディング装置に積載されている第3マスクを、前記第1マスク搬送装置を利用して前記第1サブマスクステージに搬送、配置する段階と、
前記第2マスクによって所定回数の露光工程を完了した後、前記第2マスクを第2サブマスクステージに搬送し、前記第1サブマスクステージに搭載、配置された第3マスクを前記メインマスクステージに搬送、配置する段階と、
前記メインマスクステージで前記第3マスクを利用して所定回数の露光工程を実行する段階とをさらに有することを特徴とする請求項7に記載の平板表示装置の製造方法。 - 前記露光工程は、基板搬送装置を利用して、複数台の基板ローディング/アンローディング装置のうちから選択された基板ローディング/アンローディング装置から基板固定装置に基板を搬送、配置する段階と、
前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第1マスクを利用して前記基板を露光する段階と、
前記基板搬送装置を利用して前記露光された基板を前記選択された基板ローディング/アンローディング装置に搬出する段階とを有することを特徴とする請求項7に記載の平板表示装置の製造方法。 - 前記露光工程は、第1基板搬送装置を利用して、第1基板ローディング/アンローディング装置から前記第1サブマスクステージの下部に位置している第1基板固定装置に基板を搬送、配置する段階と、
前記第1基板固定装置を移動させて、前記基板を前記メインマスクステージ下部に搬送、配置する段階と、
前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第1マスクで前記基板を露光する段階と、
前記第1基板搬送装置を利用して、前記露光された基板を前記第1基板固定装置から前記第1基板ローディング/アンローディング装置に搬出する段階とを有することを特徴とする請求項7に記載の平板表示装置の製造方法。
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