JP5834742B2 - 基板の搬送システム - Google Patents
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Description
2 露光装置
5A、5B ステージ
7A 第1露光機ロボット(第1移送手段)
7B 第2露光機ロボット(第2移送手段)
9A 第1受け渡しステーション
9B 第2受け渡しステーション
10A 第1移送ロボット
10a ハンド部
10B 第2移送ロボット
12A、12B 搬入用スペース
13A、13B 搬出用スペース
14 中継スペース
S 基板
SC2 下流側セクション
Claims (3)
- 基板を載せる2つのステージが水平方向に配置され、かつ前記2つのステージの一方に対して前記基板の搬入及び搬出を行う第1移送手段と前記2つのステージの他方に対して前記基板の搬入及び搬出を行う第2移送手段とが設けられたタンデム式の露光装置に適用されるとともに、前記第1移送手段及び前記第2移送手段のそれぞれとの間で露光前及び露光後の前記基板を受け渡すことが可能な基板の搬送システムであって、
前記露光装置の前記第1移送手段にて搬入される前記基板が置かれる搬入用スペースと前記第1移送手段にて搬出される前記基板が置かれる搬出用スペースとを有し、前記搬入用スペース及び前記搬出用スペースが上下方向に配置された第1受け渡しステーションと、前記露光装置の前記第2移送手段にて搬入される前記基板が置かれる搬入用スペースと前記第2移送手段にて搬出される前記基板が置かれる搬出用スペースとを有し、前記搬入用スペース及び前記搬出用スペースが上下方向に配置された第2受け渡しステーションと、前記第1受け渡しステーションと前記第2受け渡しステーションとの間に配置され、露光前の前記基板を前記第1受け渡しステーション及び前記第2受け渡しステーションのそれぞれの前記搬入用スペースへ移送する第1移送ロボットと、前記第2受け渡しステーションの前記搬出用スペースに置かれた露光後の前記基板を下流側セクションへ移送する第2移送ロボットと、を備え、
前記第2受け渡しステーションは、前記搬入用スペース及び前記搬出用スペースとともに上下方向に配置され、前記基板が置かれる中継スペースを更に有し、
前記第1移送ロボットは、前記第1受け渡しステーションの前記搬出用スペースに置かれた露光後の前記基板を前記第2受け渡しステーションの前記中継スペースへ移送し、
前記第2移送ロボットは、前記第2受け渡しステーションの前記中継スペースに置かれた露光後の前記基板を前記下流側セクションに移送する、ことを特徴とする基板の搬送システム。 - 前記第1移送ロボットは、前記基板を2枚同時に保持可能な2つのハンド部を有し、露光前の前記基板を前記ハンド部で2枚保持しながら、前記第1受け渡しステーション及び前記第2受け渡しステーションのそれぞれの前記搬入用スペースへ移送する、請求項1に記載の搬送システム。
- 前記第1移送ロボットは、前記2つのハンド部のいずれか一方のハンド部を用いて露光前の前記基板を第1受け渡しステーションの前記搬入用スペースに移送した後に、同じハンド部を用いて前記第1受け渡しステーションの前記搬出用スペースに置かれた露光後の前記基板を前記第2受け渡しステーションの前記中継スペースに、いずれか他方のハンド部を用いて露光前の前記基板を前記第2受け渡しステーションの前記搬入用スペースに、それぞれ移送する、請求項2に記載の搬送システム。
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JP2011221843A JP5834742B2 (ja) | 2011-10-06 | 2011-10-06 | 基板の搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011221843A JP5834742B2 (ja) | 2011-10-06 | 2011-10-06 | 基板の搬送システム |
Publications (2)
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JP2013083700A JP2013083700A (ja) | 2013-05-09 |
JP5834742B2 true JP5834742B2 (ja) | 2015-12-24 |
Family
ID=48528971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011221843A Active JP5834742B2 (ja) | 2011-10-06 | 2011-10-06 | 基板の搬送システム |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5834742B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
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JP2007322706A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Nsk Ltd | 露光装置及び露光方法 |
JP2008066463A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Nikon Corp | 基板搬送装置、露光装置、コータ・デベロッパ装置、露光システム及び基板搬送方法並びにデバイス製造方法 |
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2011
- 2011-10-06 JP JP2011221843A patent/JP5834742B2/ja active Active
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