JPH02229499A - 基板搬送装置 - Google Patents

基板搬送装置

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JPH02229499A
JPH02229499A JP1050292A JP5029289A JPH02229499A JP H02229499 A JPH02229499 A JP H02229499A JP 1050292 A JP1050292 A JP 1050292A JP 5029289 A JP5029289 A JP 5029289A JP H02229499 A JPH02229499 A JP H02229499A
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substrate
positioning
board
processed
claw
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JP1050292A
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Masahiro Sugita
杉田 眞浩
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Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は、電子回路基板組立工程等において用いる基板
搬送装置に関する。
(口)従来の技術 電子回路基板組立工程において、基板の所定の位置に接
着剤の塗布や電子部品の装着などの加工を行うため、基
板を正しい位置に保持してお《ことが肝要である。この
位置決め装置について、従来から様々な提案が出されて
いる。特開昭63−110700号公報記載の基板位置
決め装置では、X−Yテーブル上に一対のガイドレール
を支持する。各ガイドレールには基板の側縁を載せる段
部を形成し、この段部の垂直側壁同士の間に基板を挾み
込み、基板の側縁の位置決めを行う。基板の前後方向に
は位置決め部材を設け、いずれか一方の位置決め部材を
スライドさせ、他方の位置決め部材との間で基板を挾み
込んで、基板送り方向の位置決めを行っている。また、
この装置では、基板の両面実装に対処するため、一対の
ガイドレールを共にスライドロ』能とする。一方を不動
の位置基準とし、他方をスライドさせて基板の側縁の位
置決めを行い、基板が上下反転すれば位置基準を逆にし
て基板の側縁の位置決めを行う。このように基板の外形
を基準として位置決めを行う構成は実開昭63−952
99号公報、同63−112400号公報等にも見ろこ
とができる。
また、基板に形設した位置決め孔を基準として位置決め
を行うものもある。その一例を特開昭63−21920
0号公報に見ることができる。この装置では、昇降自在
な位置決めピンを基板位置決め部に所定間隔を以って配
置し、位置決めビンの近傍にブッシャを設ける。一方、
位置決めピンとガイドレールを挾んで向かい合う位置に
、基板の{IIII縁を押すプッシャを設ける。基板の
位置決めをする時は、位置決めピンよりも少し大きな位
置決め孔を形成した基板を位置決めビンが挿入可能な位
置に運ぶ。位置決めピンを上昇させ、位置決め孔に押入
した後、2つのブッシャにより基板を送り方向に対して
左から右及び前から後ろ方向に押すことにより位置決め
孔と位置決めビンの直径の差による隙間が一方向になる
ようにする。
更に、位置決めを効率よく行うため、外形基準による位
置決め機構と孔基準による位置決め機構を2つながらに
備えたものもある。その一例を特開昭61−40099
号公報に見ることができる。
この装置では、基板を搬送ベルトにより搬送する。
基板の搬送先には、ストツパを設ける。ストッパにより
停止させられた基板は昇降自1在な真空吸着治具の上に
位置する。外形基準による位置決めの場合には、基板を
上昇させて、バネにより附勢されたストツパと位置決め
ビンとの間に基板を挾み込む。位置決め孔による位置決
めの場合には、同様に基板を上昇させた時、上で待機し
ていた位置決めピンが基板の位置決め孔に挿入されるよ
うにする。
(ハ)発明が解決しようとする課題 上記のような各種位置決めMNを用いて基板の位置決め
を行う場合、まず重要なのは[位置決め装置の所定の位
置に基板を止し《送り込む」ことである。ある一定の誤
差範囲内に基板が停止しなければ、ストツパや位fit
決めピンが基板をキャッチできず、基板に無理な力を加
えてこれを破損することにもなりかねない。そこで、位
置決め装置に基板を送り込む。送り込み手段の動作スト
ロークは正確に制御しなければならない。実際にはコン
ベアで運んできた基板をまずストツパで定位置に止め、
そこから送り込み手段で位置決め装置に送り込むという
手順を踏むことになる。位置決め装置側ストッパや位置
決めピンと基板との適正な位置関係は基板の大きさによ
って変わるので、これらの位置関係は基板の大きさが変
わる度に調整しなければならない。更に、特開昭61−
40099号公報の装置のように、外形基準位置決め機
能と孔基準位置決め機能を兼ね備えたものでは、そのど
ちらの機能を使用するかによってもストツバ、位置決め
ビンと基板との位置関係を調整する必要があることに留
意しなければならない。というのは、例え基板の大きさ
が同じであったとしても、外形基準の場合と孔基準の場
合とでは基板を多少異なった位置でキャッチせざるを得
ないからである。本発明は、位置決め部材に対する基板
の位置合わせという問題を容易に解決することのできる
基板搬送装置を提供しようとするものである。
(ニ)課題を解決するための手段 本発明では、搬送ラインEの基板を、この搬送ラインと
平行に移動する搬送爪により、搬送ラインの一部に設け
られた位置決め部へと送り込むものにおいて、搬送爪と
、これを搬送ラインと平行に移動させる移動体との間に
基板送り方向における互いの相対位置を変化させろ位置
調整機構を設ける。
け4 作用 位置調整機構により、移動体と搬送爪との相対位置を変
化させると、位置決め部で基板が停Iヒする位置はそれ
に伴って変化する。これにより、位置決め部材と基板と
の位1d調整が川能になる。
(ヘ)実施例 第1図に基板搬送装置1の構造を示す。2は平行するガ
イドレールの間に基板を流す搬送ラインである。搬送ラ
イン2の一部は位置決め部3となっている。この部分の
ガイドレール4、5は図示しないX−Yテーブルに支持
されており、基板を二次元的に移動させる。基板の所要
個所が加工ツール(接着剤ディスペンサ、部品装着コレ
ット等)に対面したところで、所定の加工を行うもので
ある。また、位置決め部3におけろ基板の位置決め機構
は、外形基準によるものと孔基準によるものの2つを備
える。外形基準による位置決めは、ビン状の位置基嘔部
材6と、図示しないアクチュエー夕により移動iJ能な
同じくビン状の押圧部材7により行う。位置基準部材6
と押圧部材7はエレベータ8に支持させる。基板位置決
め時には、抑圧部材7を位置基準部材6に接近させて、
その間に基板を挾み込む。孔基準による位置決めは、先
端部の平面形状が三角形の基準位置決めビン9と、図示
しないアクチュエー夕によりスライド調整町能な位置決
めビン10(第.18図)とにより行う。基準位置決め
ピン9と位置決めピン10はやはりエレベータ8に支持
させる。基板位置決め時には、基板に形設された位置決
め孔に位置決めビン9、10を下から挿入する。位置基
準部材6及び抑圧部材7のセットと基準位置決めビン9
及び位置決めビン10のセットとは、目的に応じ差し替
えて使用されるものである。搬送方向と直角の方向にお
ける基板の位置決めは、ガイドレール4、5を、一方を
基準として、図示しないアクチュエータで開閉すること
により行う。位置決め部3より上流側はローダl1で、
下流側はアンロ−ダ12(第15図)となっている。ロ
ーダl1とアンローダ12はそれぞれ一対のガイドレー
ル13、14、15、16を有する。ガイドレールl3
、14、15、16の内側には搬送ベルトを配置する。
ローダ11には搬送ベノレトで運ばれてきた基板を一時
的に待機させる基板ストッパ17を設ける。基板ストッ
パ17は図示しない昇降機構により基板搬送平面に持ち
Lげられたり、そこから引き下げられたりするものであ
る。位置決め部30X−Yテーブルが原点に復帰すると
ガイドレール13、4、15とガイドレールl4、5、
16がそれぞれ一直線に並び、基板の受け渡しが行われ
る。20は搬送ライン2と平行して廷びるように設けら
れたベースで、両端から突出した軸21により、その延
びる方向と直角な平面内で角度変更できるよう、支持フ
レーム22に回動自在に支持される。軸2lの一端には
レバー23を固着し、レバー23と支持フレーム22と
の間に引張コイルばね24を張り渡すことにより、ベー
ス20に一方向の回動力を与える。支持フレーム22に
はまたエアシリンダ25を取り付け、エアシリンダ25
のロッド26はジョイント27を介してレバー23に連
結させる。エアシリンダ25のロッド26を伸長させる
ことにより、引張りコイルばね24に抗してベース20
を回動させることができる。28はベース20の上面に
敷設されたレールで、第6図に見られるように、転動体
ガイド溝29を対向2側面に有する。31、32、33
はスライドブロックで、転動体ガイド溝29に係合する
ボール30により、レール28にスライド自在に結合し
ている。このようなレール28とスライドブロック31
、32、33の組み合わせは、例えばLMガイド(TH
K■製)といクた四品名で市販されている。スライドブ
ロック31、32、33には搬送爪37、38、39(
以下、第1爪37、第2爪38、第3爪39と称す)を
先端に有するアーム34、35、36が取り付けられる
各アームは搬送ライン2の中央付近まで延び出し、下向
きに突出した搬送爪が基板の縁に係合して基板の送り出
しや送り込みを行う。4oはスライドブロック31,3
3を連結するカバーである。スライドブロック31、3
3は、支持フレーム22から張り出したブラケット4l
とカバー40との間に張り渡された引張コイルばね42
により下流方向へ附勢されている。スライドブロック3
2は、力/{−40に取り付けられたブラケット43と
アーム35との間に張り渡された引張りコイルばね44
により上流方向へ附勢され、ペース20に設けられたス
トッパ45に引きつけられている。カバー40の上面に
はスケール46を[1v.り付ける。
これと平行して、長穴47をカバー40に形設し、スト
ツバ48をこの長穴47にスライド>+J能に取り付け
る。ストツバ48はカバー40を表裏から挾む構造にな
っており、ボルト49を締付けることにより、長穴47
内の任意の位置に固定される。
このストツパ48はスライドブロック32に係合して、
第2爪38をカバー40と共に移動させるためのもので
ある。51はカバー40の下面にスライド自在に取り付
けられたジョイントである。
ジョイント51の垂下部には連結板52が取り付けられ
ている。これら、ジョイント51及び連結板52とによ
り移動体53を構成している。54は連結板52に取り
付けられ、ジョイント51を介してカバー40に連結す
るワイヤで、後端は図示しない巻取装置に連結し、引張
コイルばね42に抗し、カバー40を上流方向へ引き戻
すことにより、カバー40に直線往復運動を与えるもの
である。
次に、カバー40と移動体53との間に介在させる位f
Fr調整機構55について説明する。56はダイヤルで
、中心部に股付きの貫通穴57を形設する。58はダイ
ヤル56の取付軸である。取付軸58はカバー40の上
面にフランジ59を直ね、カバー40とジ四イント51
を貫通し、ジ目イント51より下方に突出した部分に抜
止めリング60を嵌合することにより、カバー40及び
ジョイント51に対し回転HJ能且つ脱出不能に取り付
けられている。取付軸58のジツイント51に嵌合する
部分は偏心カム61となっている。ダイヤル56は取付
軸58に対し上下町能であり、取付軸58の上端にはダ
イヤル56の抜けIEめのための頭部62が設けられて
いる。頭部62と貫通穴57の底部との間には圧縮コイ
ルばね63を挿入し、ダイヤル56を常時フランジ59
に密着させる。
64はダイヤル56の下面に突出する角度位置決めビン
で、ダイヤル56の上面から固定ボルト65により固着
されている。角度位置決めピン64はフランジ59を貫
通してカバー40に形設された位置決め穴66に係合す
る。67は位置決め穴66から反1侍計回りに90°を
隔ててカバー40に形設した位置決め穴である。なおこ
のように角度位置決めビン64がフランジ59を貫通す
ることにより、ダイヤル56から取付軸58に回転力が
伝達されることになる。68はカバー40の上面に形設
された案内溝である。フランジ59の下面からダイヤル
56に向って植え込まれた動力伝達ボルト69の頭部が
案内溝68に係合する。動力伝達ボルト69は角度位置
決めビン64と共にダイヤル56から取付軸58へと回
転を伝える役割を果たす。
次に搬送爪の位置調整の手順について第7図乃至第12
図に基づき説明する。本実施例では、位置決め部3にお
ける基板の搬送停止位fitは2個所に切り換えること
としている。そこで搬送爪と移動体53との相対位te
lを2段階に切り換える。第7凶、第8図は、外形基準
による位置決めを行う場合の切り換え状況を示す。ここ
では動力伝達ボルト69は案内溝68の一方の端に位置
し、角度位置決めピン64は位置決め穴66に係合して
いる。孔基準による位置決めを行う場合には、まずダイ
ヤル56を持ち上げ、角度位置決めビン64は位置決め
穴66から離脱させる(第10図)。
次に第9図を経て第11図の状態へ、ダイヤル56を反
1時計回りに回転させると、カバー40は左方ヘシフト
する。ダイヤル56が90°回転すると、動力伝達ボル
ト69は案内溝68の反対側の端へ移動し、ダイヤル5
6がそれ以上回転するのを止める。この時、角度位置決
めビン64は位置決め穴67の真上に位置している。ダ
イヤル56から手を離すとダイヤル56はフラ・ンジ5
9の上に落ち、角度位置決めビン64は位置決め穴67
に係合する。カバー40と移動体53の相対シフト状態
は、以後角度位置決めピン64により維持される。
次に外形基準による位置決めの場合における基板搬送装
置1の動作について第13図乃至第17図に基づき説明
する。第13図は加工済基板71を載置した位置決め部
3が原点に復帰して来たところを示す。ダイヤル56の
角度位置決めピン64は前述のように位置決め穴66に
係合している。
エアシリンダ25はロッド26を引っ込めた状態にあり
、ベース20は第4図のように傾き、各爪37、38、
39は上昇して基板から離脱している。ローダ11では
、未加工基板70が基板ストッパ17により止められ待
機している。加工済基板71は、この時はまだガイドレ
ール4、5及び位置基準部材6と押圧部材7により四方
から挾まれて、位置決めされた状態にある。加工済基板
71の拘束は、抑圧部材7をスライドさせ、ガイドレー
ル4、5の間隔を拡げることにより解かれる。
第14図は、基板搬送開始時の状態を示す。この時、位
置基準部材6と抑圧部材7を載置しているエレベータ8
は下降し、同時に未加工基板70を待機させていた基板
ストッパ17も下降し、基板゛搬送平面から姿を消す。
エアシリンダ25がロッド26を伸長させると、第5図
のようにベース20の角度が変わり、第1爪37は未加
工基板70の後方に、第2爪38は未加工基板70と加
工済基板71の間に、第3爪39は加工済基板71の直
後に、それぞれ降りる。この状態からワイヤ5カパー4
0に連結した第1爪37は未加工基板70に接近しつつ
あり、同じく第3爪39は加工済基板71の後縁を押し
出しているが、第2爪38はまだ動き出していない。こ
の後、カバー40が史に下流側へ動くと、第1爪37が
未加工基板70の後縁を押し始め、また、ストッパ48
がスライドブロック32に当たって、第2爪38も移動
を開始する。未加工基板70は第1爪37と第2爪38
に挾まれた形で移動する。但し、第2爪38と未加工基
板70との間には僅かな間隔が保たれている。第16図
は基板搬送が完了した状態を示す。この時、未加工基板
71は位置決め部3に送り込まれ、加工済基板71はア
ンローダ12に乗り移っている。続いて、第17図では
、位置決め部3のエレベータ8が上昇して、位置基準部
材6と抑圧部材7が搬送平面に姿を現わす。そして、抑
圧部材7が位置基準部材6に接近し、未加工基板70を
上流側へ少し押し戻して、位置基準部材6との間で未加
工基板70を挾む。ガイドレール4、5も未加工基板7
0を挾む。ローダ11側では搬送ベルトが肪たな未加工
基板70を送ってきており、これを基板ストツパ17て
受け止める。
同時にアンローダ12側では加工済基板56を次工栓へ
送り出す。各爪37、38、39はエアシリンダ25が
ベース20の角度を変えることにより上昇し、基板から
離脱する。ワイヤ54を引き戻せば各爪37、38、3
9は元の状態(第13図)に戻る。以下同様に第13図
乃至第17図の動作を繰り返す。
次に孔基準による位置決めの場合における基板搬送装f
ff 1の動作について第18図乃至第22図に基づき
説明する。エレベータ8には、位置基準部材6と抑圧部
材7に代え基準位置決めピン9と位置決めビン10が装
着されている。ここで、搬送する基板には、基準位置決
めビン9と位置決めピン10とを挿入するための基準孔
74及び長孔75が形設されている。搬送開始前に、ダ
イヤル56を回して角度位置決めビン64を位置決め穴
67に移動させ、第1爪37と第3爪39を上流側へ僅
かに移動させる。四方から挾まれた加工済基板73を載
置した位置決め部3が原点に復帰して来ると、エレベー
タ8が下降して、基準位置決めビン9が基準孔74から
、位置決めビン10が7g 伸長させて、各爪37、.38、39を基板に係合させ
る(第19図)。ワイヤ54を繰り出して、カバー40
を下流側へ移動させ同様にして基板を搬送する(第2(
1・第21図)。第22凶は未加工基板72が位置決め
部3に搬送されて来て位置決めされた状態を示す。位置
決め部3における未加工基板72の停止位置は、下に姿
を消している基準位1a決めピン9、位置決めビン10
に基準孔74、長孔75が合致する位ti′,Iでなけ
ればならない。カバー40と移動体53の相対シフトに
よりこの要請は満たされる。エレベータ8を上外させる
と基準位置決めピン9、位11t決めピン10が基準孔
74、長孔75に係合し、基板搬送方向に関する位置決
めはここに達成される。間いてガイドレール4、5が未
加工基板72の両側縁を挾むことにより、位置決めは完
了する。
なお、本実施例では、カバー40、ひいては第1爪37
・第3爪39と移動体53との相対位置の切り換えは2
段階であるが、切り換え段階を史に増し、より多くの位
置決めモードに対応できるよう;こすることも川能であ
る。
(ト)発明(フ効果 本発明では、搬送爪と移動体との基板送り方向における
互いの相対位置を変化させることができるので、位置決
め部材に対する基板の適切な位置合わせという課題を容
易に解決することができた。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の一実施例を示し、第1図は全体の構成を示
す、部分的に破断した斜視図、第2図は部分的に破断し
た上面図、第3図は第2凶に対応する部分断面側面図で
ある。第4図及び第5図は搬送爪と基板との保合動作を
示す部分断面図、第6図はレールとスライドブロックと
の結合状態を示す断面図である。第7図乃至第12図は
位置調整機構の構造と一連の動作を示し、第7図、第9
図、第11図は部分的に破断した上面図、第8図、第1
0図、第12図は部分側面図である。第13図乃至第2
2図は基板搬送の一連の動作を示す上面図で第13図乃
至第17図は外形基準による位置決め、第18図乃至第
22図は孔基準による位置決めの場合をそれぞれ示す。 1・・・基板搬送装置、2・・・搬送ライン、3・・・
位置決め部、37、38、39・・・第1爪、第2爪、
第3爪(搬送爪)、53・・・移動体、55・・・位置
調整板

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)搬送ライン上の基板を、この搬送ラインと平行に
    移動する搬送爪により、搬送ラインの一部に設けられた
    位置決め部へと送り込むものにおいて、 前記搬送爪と、これを搬送ラインと平行に移動させる移
    動体との間に、基板送り方向における互いの相対位置を
    変化させる位置調整機構を介在させたことを特徴とする
    基板搬送装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7219785B2 (en) 2003-11-28 2007-05-22 Sony Corporation Work transfer apparatus
WO2008001910A1 (fr) * 2006-06-29 2008-01-03 Yamaha Motor Co., Ltd. Appareil de montage en surface
JP2008218654A (ja) * 2007-03-02 2008-09-18 Yamaha Motor Co Ltd 基板搬送方法、基板搬送装置、表面実装装置
JP2015020846A (ja) * 2013-07-17 2015-02-02 株式会社フジキカイ 容器の搬送向き変換装置
CN106364897A (zh) * 2016-11-18 2017-02-01 苏州鑫润旺精密机械有限公司 车门限位器的推料装置
EP3122165A4 (en) * 2014-03-20 2017-11-01 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. Board carrier apparatus

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61135200A (ja) * 1984-12-05 1986-06-23 松下電器産業株式会社 基板搬送装置
JPS61281600A (ja) * 1985-06-07 1986-12-11 松下電器産業株式会社 プリント基板位置決め装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61135200A (ja) * 1984-12-05 1986-06-23 松下電器産業株式会社 基板搬送装置
JPS61281600A (ja) * 1985-06-07 1986-12-11 松下電器産業株式会社 プリント基板位置決め装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7219785B2 (en) 2003-11-28 2007-05-22 Sony Corporation Work transfer apparatus
WO2008001910A1 (fr) * 2006-06-29 2008-01-03 Yamaha Motor Co., Ltd. Appareil de montage en surface
US8276263B2 (en) 2006-06-29 2012-10-02 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Surface mounting apparatus
JP2008218654A (ja) * 2007-03-02 2008-09-18 Yamaha Motor Co Ltd 基板搬送方法、基板搬送装置、表面実装装置
JP2015020846A (ja) * 2013-07-17 2015-02-02 株式会社フジキカイ 容器の搬送向き変換装置
EP3122165A4 (en) * 2014-03-20 2017-11-01 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. Board carrier apparatus
US9999168B2 (en) 2014-03-20 2018-06-12 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. Board conveyance device
CN106364897A (zh) * 2016-11-18 2017-02-01 苏州鑫润旺精密机械有限公司 车门限位器的推料装置

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