JPH0639448Y2 - ボンデイング装置 - Google Patents
ボンデイング装置Info
- Publication number
- JPH0639448Y2 JPH0639448Y2 JP1987150768U JP15076887U JPH0639448Y2 JP H0639448 Y2 JPH0639448 Y2 JP H0639448Y2 JP 1987150768 U JP1987150768 U JP 1987150768U JP 15076887 U JP15076887 U JP 15076887U JP H0639448 Y2 JPH0639448 Y2 JP H0639448Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- die
- push
- wafer
- needle unit
- suction unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Die Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 イ）産業上の利用分野 本考案はウエハを切断して生成されるダイをボンデイン
グするボンデイング装置に関する。
グするボンデイング装置に関する。
ロ）従来の技術 半導体ウエハが切断されて成る多数のダイを基板又はリ
ードフレームへボンデイングするボンデイング装置にお
いて、従来の構成は第２図のようになっていた。同図に
おいて、（１）がウエハが多数のダイ（２）（２）…に
切断され、個々のダイ（２）（２）…の間隔が広げられ
た状態で配置されるウエハシート、（Ｒ）はこのウエハ
シート（１）が取り付けられたリング、（３）はこのリ
ング（Ｒ）が固定されたXYテーブル、（４）は基板又は
リードフレームが搬送される搬送シユート、（５）は上
記ダイ（２）（２）…を吸着する吸着具であって、第２
のXYテーブル（６）に結合されている。（７）は上記ウ
エハシート（１）下に固定して設けられた突き上げ針ユ
ニツトを示し、上記吸着具（５）でダイ（２）を吸着す
るとき、下面から突き上げる。（８）は上記ウエハシー
ト（１）を介して突き上げ針ユニツト（７）直上に設け
られた認識カメラであり、上記ウエハシート（１）上の
ダイ（２）（２）…の配置状態を認識する。
ードフレームへボンデイングするボンデイング装置にお
いて、従来の構成は第２図のようになっていた。同図に
おいて、（１）がウエハが多数のダイ（２）（２）…に
切断され、個々のダイ（２）（２）…の間隔が広げられ
た状態で配置されるウエハシート、（Ｒ）はこのウエハ
シート（１）が取り付けられたリング、（３）はこのリ
ング（Ｒ）が固定されたXYテーブル、（４）は基板又は
リードフレームが搬送される搬送シユート、（５）は上
記ダイ（２）（２）…を吸着する吸着具であって、第２
のXYテーブル（６）に結合されている。（７）は上記ウ
エハシート（１）下に固定して設けられた突き上げ針ユ
ニツトを示し、上記吸着具（５）でダイ（２）を吸着す
るとき、下面から突き上げる。（８）は上記ウエハシー
ト（１）を介して突き上げ針ユニツト（７）直上に設け
られた認識カメラであり、上記ウエハシート（１）上の
ダイ（２）（２）…の配置状態を認識する。
このような、従来のボンデイング装置では、認識カメラ
（８）でダイ（２）（２）…を認識しながら、第１のXY
テーブル（３）を動作させて順次ウエハシート（１）上
のダイ（２）を突き上げ針ユニツト（７）上に移動させ
るとともに第２のXYテーブル（６）を作動して、吸着具
（５）を突き上げ針ユニツト（７）上まで移動させ、該
当するダイ（２）を突き上げ針ユニツト（７）で突き上
げながら吸着具（５）で吸着する。そして、こうして吸
着したダイ（２）は第２のXYテーブル（６）の動作によ
り搬送シユート（４）上に搬送されて来た基板やリード
フレーム（図示せず）にボンデイングされる。
（８）でダイ（２）（２）…を認識しながら、第１のXY
テーブル（３）を動作させて順次ウエハシート（１）上
のダイ（２）を突き上げ針ユニツト（７）上に移動させ
るとともに第２のXYテーブル（６）を作動して、吸着具
（５）を突き上げ針ユニツト（７）上まで移動させ、該
当するダイ（２）を突き上げ針ユニツト（７）で突き上
げながら吸着具（５）で吸着する。そして、こうして吸
着したダイ（２）は第２のXYテーブル（６）の動作によ
り搬送シユート（４）上に搬送されて来た基板やリード
フレーム（図示せず）にボンデイングされる。
ハ）考案が解決しようとする問題点 ところで、このようなボンデイング装置では第１のXYテ
ーブルは、ダイが配置されているウエハリング半径の長
さ分（図中Ａで示す）夫々搬送シユートへ近接する方向
及び搬送シユートから離れる方向へ移動してウエハシー
トを動かせる必要があり、第１のXYテーブルの移動スト
ロークが大きくなって広い移動スペースが必要になると
云う問題があった。
ーブルは、ダイが配置されているウエハリング半径の長
さ分（図中Ａで示す）夫々搬送シユートへ近接する方向
及び搬送シユートから離れる方向へ移動してウエハシー
トを動かせる必要があり、第１のXYテーブルの移動スト
ロークが大きくなって広い移動スペースが必要になると
云う問題があった。
ニ）問題点を解決するための手段 本考案は、このような点に鑑みてなされたものであっ
て、多数のダイに切断されたウェハが配置されXY方向に
移動可能なウェハ配置台と、このウェハ配置台からダイ
を吸着しこのウェハ配置台に近接され上記ダイを載置す
る載置位置まで所定の移動経路上を運搬する吸着ユニッ
トと、この吸着ユニットで上記ウェハ配置台からダイを
吸着するとき該当するダイを下方から突き上げる突き上
げ手段と、この突き上げ手段を上記吸着ユニットの上記
移動経路に沿って上記載置位置に対して遠近可能に移動
させる移動手段と、を有している。
て、多数のダイに切断されたウェハが配置されXY方向に
移動可能なウェハ配置台と、このウェハ配置台からダイ
を吸着しこのウェハ配置台に近接され上記ダイを載置す
る載置位置まで所定の移動経路上を運搬する吸着ユニッ
トと、この吸着ユニットで上記ウェハ配置台からダイを
吸着するとき該当するダイを下方から突き上げる突き上
げ手段と、この突き上げ手段を上記吸着ユニットの上記
移動経路に沿って上記載置位置に対して遠近可能に移動
させる移動手段と、を有している。
ホ）作用 突き上げ針ユニットから成る突き上げ手段が吸着ユニッ
トの移動経路に沿って載置位置に対して遠近可能に移動
されることにより、ウェハ配置台の移動距離を短くで
き、移動スペースを狭くすることが可能となる。
トの移動経路に沿って載置位置に対して遠近可能に移動
されることにより、ウェハ配置台の移動距離を短くで
き、移動スペースを狭くすることが可能となる。
ヘ）実施例 第１図は本考案ボンデイング装置の一実施例側面図であ
って、第２図と同一部分には同一符号を付してある。同
図において、（９）は上記突き上げ針ユニツト（７）を
摺動するための第１の摺動軸であり、ウエハシート
（１）下に上記搬送シユート（４）に対して遠近する方
向に配置されている。（10）（10）は上記第１の摺動軸
（９）の両端に設けられたストツパを示し、上記搬送シ
ユート（４）から夫々略距離Ａ及び距離2A離れた位置に
突上げ針ユニツト（７）を係止する機能を有する。ま
た、この突き上げ針ユニツト（７）は図示しないシリン
ダ機構により、上記ストツパ（10）（10）間を摺動する
よう操作される。（11）は上記認識カメラ（８）を摺動
するための第２の摺動軸であり、上記ウエハリング
（Ｒ）を介して、上記第１の摺動軸（９）直上にこの第
１の摺動軸（９）と平行状態で設けられている。（12）
（12）は上記第２の摺動軸（11）の両端に設けられたス
トツパを示し、上記搬送シユート（４）から略距離Ａ及
び距離2Aの位置に認識カメラ（８）を係止する機能を有
する。また、この認識カメラ（８）は上記シリンダ機構
により突上げ針ユニツト（７）と連動して同方向に摺動
する。
って、第２図と同一部分には同一符号を付してある。同
図において、（９）は上記突き上げ針ユニツト（７）を
摺動するための第１の摺動軸であり、ウエハシート
（１）下に上記搬送シユート（４）に対して遠近する方
向に配置されている。（10）（10）は上記第１の摺動軸
（９）の両端に設けられたストツパを示し、上記搬送シ
ユート（４）から夫々略距離Ａ及び距離2A離れた位置に
突上げ針ユニツト（７）を係止する機能を有する。ま
た、この突き上げ針ユニツト（７）は図示しないシリン
ダ機構により、上記ストツパ（10）（10）間を摺動する
よう操作される。（11）は上記認識カメラ（８）を摺動
するための第２の摺動軸であり、上記ウエハリング
（Ｒ）を介して、上記第１の摺動軸（９）直上にこの第
１の摺動軸（９）と平行状態で設けられている。（12）
（12）は上記第２の摺動軸（11）の両端に設けられたス
トツパを示し、上記搬送シユート（４）から略距離Ａ及
び距離2Aの位置に認識カメラ（８）を係止する機能を有
する。また、この認識カメラ（８）は上記シリンダ機構
により突上げ針ユニツト（７）と連動して同方向に摺動
する。
このようなボンデイング装置において、ダイボンドを行
うには最初突き上げ針ユニツト（７）及びリング（Ｒ）
を搬送シユート（４）側へ移動させる。こうした状態で
突き上げユニツト（７）はウエハシート（１）の中央に
ある。この状態から突き上げ針ユニツト（７）でダイ
（２）（２）…を一つずつ突き上げながら第２のXYテー
ブル（６）を動作させて吸着具（５）で該当するダイ
（２）を吸着し、搬送シュート（４）上の載置位置とし
ての基板やリードフレーム上へボンデイングする。そし
て、第１のXYテーブル（３）の動作によりウエハシート
（１）を搬送シユート（４）から遠ざける方向へ移動さ
せながらこの吸着動作を続ける。そして、リング（Ｒ）
端部が突き上げ針ユニツト（７）近傍まで来てウエハシ
ート（１）上の搬送シユート（４）側のダイ（２）
（２）…が完全に無くなった状態になると、上記シリン
ダ機構により、突き上げ針ユニツト（７）及び認識カメ
ラ（８）を第１のXYテーブル（３）側へ摺動させ、スト
ツパ（10）（12）の位置まで夫々を移動させる。この状
態で突き上げ針ユニツト（７）はリング（Ｒ）の中央に
位置する。次にこの状態から第１のXYテーブル（３）を
動作させてリング（Ｒ）を徐々に搬送シユート（４）側
へ移動させながら突き上げ針ユニツト（７）及び吸着具
（５）の動作によりダイ（２）（２）…を一つずつ搬送
シユート（４）の基板やリードフレーム上へボンデイン
グする。この動作によりリング（Ｒ）がもとの位置に戻
った状態で、ウエハシート（１）上のダイ（２）（２）
…は完全になくなる。その後、シリンダ機構の動作によ
り突き上げ針ユニツト（７）及び認識カメラ（８）を搬
送シユート（４）側へ戻す。
うには最初突き上げ針ユニツト（７）及びリング（Ｒ）
を搬送シユート（４）側へ移動させる。こうした状態で
突き上げユニツト（７）はウエハシート（１）の中央に
ある。この状態から突き上げ針ユニツト（７）でダイ
（２）（２）…を一つずつ突き上げながら第２のXYテー
ブル（６）を動作させて吸着具（５）で該当するダイ
（２）を吸着し、搬送シュート（４）上の載置位置とし
ての基板やリードフレーム上へボンデイングする。そし
て、第１のXYテーブル（３）の動作によりウエハシート
（１）を搬送シユート（４）から遠ざける方向へ移動さ
せながらこの吸着動作を続ける。そして、リング（Ｒ）
端部が突き上げ針ユニツト（７）近傍まで来てウエハシ
ート（１）上の搬送シユート（４）側のダイ（２）
（２）…が完全に無くなった状態になると、上記シリン
ダ機構により、突き上げ針ユニツト（７）及び認識カメ
ラ（８）を第１のXYテーブル（３）側へ摺動させ、スト
ツパ（10）（12）の位置まで夫々を移動させる。この状
態で突き上げ針ユニツト（７）はリング（Ｒ）の中央に
位置する。次にこの状態から第１のXYテーブル（３）を
動作させてリング（Ｒ）を徐々に搬送シユート（４）側
へ移動させながら突き上げ針ユニツト（７）及び吸着具
（５）の動作によりダイ（２）（２）…を一つずつ搬送
シユート（４）の基板やリードフレーム上へボンデイン
グする。この動作によりリング（Ｒ）がもとの位置に戻
った状態で、ウエハシート（１）上のダイ（２）（２）
…は完全になくなる。その後、シリンダ機構の動作によ
り突き上げ針ユニツト（７）及び認識カメラ（８）を搬
送シユート（４）側へ戻す。
このようなダイのボンデイングにより、第１のXYテーブ
ルの移動ストロークは、従来の3/4になり、ボンデイン
グ工程の約半分は、吸着具の移動距離を短かく出来、ボ
ンデング時間の短縮が図られる。
ルの移動ストロークは、従来の3/4になり、ボンデイン
グ工程の約半分は、吸着具の移動距離を短かく出来、ボ
ンデング時間の短縮が図られる。
尚、吸着具（５）がダイ（２）をXYテーブル（３）より
移動して載置する載置位置としてボンディングするる時
の基板（４）またはリードフレームだけでなく該基板
（４）またはリードフレームにボンディングする前に仮
に位置決めなどのために載置する載置台をいうこともあ
る。
移動して載置する載置位置としてボンディングするる時
の基板（４）またはリードフレームだけでなく該基板
（４）またはリードフレームにボンディングする前に仮
に位置決めなどのために載置する載置台をいうこともあ
る。
ト）考案の効果 以上のように本考案によれば、突き上げ手段が吸着ユニ
ットの移動経路に沿って載置位置に対して遠近可能に移
動されることによりウェハ配置台の移動距離を短くし
て、移動スペースを狭くすることが出来、ボンディング
装置の小型化が図れる。また、ウェハ配置台からのダイ
の移載工程において吸着ユニットのストロークも短くな
り、ボンディング時間の短縮が可能となる。
ットの移動経路に沿って載置位置に対して遠近可能に移
動されることによりウェハ配置台の移動距離を短くし
て、移動スペースを狭くすることが出来、ボンディング
装置の小型化が図れる。また、ウェハ配置台からのダイ
の移載工程において吸着ユニットのストロークも短くな
り、ボンディング時間の短縮が可能となる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本考案ボンデイング装置の側面模式図、第２図
は従来のボンデイング装置の側面模式図である。 （１）……ウエハシート、（２）（２）……ダイ、
（３）（６）……XYテーブル、（４）……搬送シユー
ト、（５）……吸着具、（７）……突き上げ針ユニツ
ト、（８）……認識カメラ、（９）（11）……摺動軸、
（10）（10）（12）（12）……ストツパ。
は従来のボンデイング装置の側面模式図である。 （１）……ウエハシート、（２）（２）……ダイ、
（３）（６）……XYテーブル、（４）……搬送シユー
ト、（５）……吸着具、（７）……突き上げ針ユニツ
ト、（８）……認識カメラ、（９）（11）……摺動軸、
（10）（10）（12）（12）……ストツパ。
Claims (1)
- 【請求項１】多数のダイに切断されたウェハが配置され
XY方向に移動可能なウェハ配置台と、このウェハ配置台
からダイを吸着しこのウェハ配置台に近接され上記ダイ
を載置する載置位置まで所定の移動経路上を運搬する吸
着ユニットと、この吸着ユニットで上記ウェハ配置台か
らダイを吸着するとき該当するダイを下方から突き上げ
る突き上げ手段と、この突き上げ手段を上記吸着ユニッ
トの上記移動経路に沿って上記載置位置に対して遠近可
能に移動させる移動手段と、を有してなるボンディング
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987150768U JPH0639448Y2 (ja) | 1987-10-01 | 1987-10-01 | ボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987150768U JPH0639448Y2 (ja) | 1987-10-01 | 1987-10-01 | ボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6457639U JPS6457639U (ja) | 1989-04-10 |
| JPH0639448Y2 true JPH0639448Y2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=31424202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987150768U Expired - Lifetime JPH0639448Y2 (ja) | 1987-10-01 | 1987-10-01 | ボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639448Y2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59132138A (ja) * | 1983-01-18 | 1984-07-30 | Toshiba Corp | ペレツトマウント装置 |
| JPS6373930U (ja) * | 1986-10-30 | 1988-05-17 | ||
| JPS6481234A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-27 | Hitachi Ltd | Pickup device |
-
1987
- 1987-10-01 JP JP1987150768U patent/JPH0639448Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6457639U (ja) | 1989-04-10 |
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