JP2001351930A - ダイ及び小物部品の移送装置 - Google Patents

ダイ及び小物部品の移送装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】上下駆動される重量を大幅に削減し、吸着ノズ
ルの上下駆動のためのモータを必要としなく、これによ
って装置コストの大幅な低減が図れると共に、吸着ノズ
ルを高速で上下駆動することができる。 【解決手段】リードフレーム５の搬送方向であるＸ軸方
向に移動させられるＸ軸移動台１１と、Ｘ軸移動台１１
に設けられＸ軸方向に直角なＹ軸方向に移動させられる
Ｙ軸移動台１６と、Ｙ軸移動台１６に上下動可能に設け
られたノズルホルダ２１と、Ｘ軸移動台１１に設けられ
ダイピックアップ位置７側よりダイボンディング位置８
側に上昇した傾斜部を有するＺ軸ガイドレール２０と、
Ｚ軸ガイドレール２０に沿って上下動し、かつノズルホ
ルダ２１に連結されたＺ軸移動板２２と、ノズルホルダ
２１に上下動可能でかつ該ノズルホルダ２１と共に上下
動可能に設けられダイ１を吸着保持する吸着ノズル２４
とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ダイボンディング
装置、テープボンディング装置、ダイ詰め装置等におけ
るダイ及び小物部品の移送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一例として、ダイの移送について説明す
る。図２に示すように、ダイ１が粘着されたウェーハシ
ート２の外周には、ウェーハリング（図示せず）が固定
されており、ウェーハリングはＸＹテーブル（図示せ
ず）によってＸＹ軸方向に移動させられる。ここで、Ｘ
軸方向は後記するリードフレーム又は基板等（以下、リ
ードフレームと言う）５の搬送方向を指し、Ｙ軸方向は
リードフレーム５の搬送方向に直角な方向を指す。ウェ
ーハシート２の下方には吸着体３が配設されており、吸
着体３の内部には突き上げ針４が上下動可能に設けられ
ている。ダイ１がボンディングされるリードフレーム５
は、フレームフィーダ６によってＸ軸方向に搬送され
る。
【０００３】従来のダイ移送装置は、次のような構造と
なっている。基台５０上にはＸ軸移動台５１がＸ軸方向
に摺動自在に設けられており、Ｘ軸移動台５１は基台５
０に固定されたＸ軸モータ５２によってＸ軸送りねじ
（図示せず）を介して駆動される。Ｘ軸移動台５１には
垂直（Ｚ軸方向）に配設されたＺ軸送りねじ５３の上下
端部が回転自在に支承されており、Ｚ軸送りねじ５３は
Ｘ軸移動台５１に固定されたＺ軸モータ５４によって駆
動される。Ｘ軸移動台５１には、Ｚ軸送りねじ５３と平
行に配設されたＺ軸ガイド棒５５の上下端部が固定され
ており、Ｚ軸ガイド棒５５には、Ｙ軸方向に設置された
Ｚ軸移動台５６が摺動自在に設けられている。Ｚ軸送り
ねじ５３には、Ｚ軸移動台５６に固定されたＺ軸送りナ
ット（図示せず）が螺合している。
【０００４】Ｚ軸移動台５６にはＹ軸方向に配設された
Ｙ軸送りねじ６０の左右端部が回転自在に支承されてお
り、Ｙ軸送りねじ６０はＺ軸移動台５６に固定されたＹ
軸モータ６１によって駆動される。Ｚ軸移動台５６には
Ｙ軸送りねじ６０と平行に配設されたＹ軸ガイド棒６２
の左右端部が固定されており、Ｙ軸ガイド棒６２には、
Ｚ軸方向に設置されたＹ軸移動台６３が摺動自在に設け
られている。Ｙ軸送りねじ６０には、Ｙ軸移動台６３に
固定されたＹ軸送りナット６４が螺合している。
【０００５】Ｙ軸移動台６３にはノズルホルダ７０が上
下方向（Ｚ軸方向）に摺動可能に設けられており、ノズ
ルホルダ７０には吸着ノズル７１が固定されている。吸
着ノズル７１は図示しないスプリングで下方に付勢さ
れ、Ｙ軸移動台６３に固定されたストッパ７２に当接し
ており、図示しない真空手段でダイ１を真空吸引される
ようになっている。
【０００６】次に作用について説明する。図２（ａ）に
示すように、吸着ノズル７１がダイピックアップ位置７
でピックアップするダイ１に近接すると、突き上げ針４
が上昇してダイ１が吸着ノズル７１に当接し、吸着ノズ
ル７１はダイ１を真空吸着保持する。次にＺ軸モータ５
４及びＹ軸モータ６１が逆回転する。Ｚ軸モータ５４が
逆回転すると、Ｚ軸送りねじ５３が回転してＺ軸移動台
５６が上昇し、Ｙ軸移動台６３と共にノズルホルダ７０
及び吸着ノズル７１が上昇する。Ｙ軸モータ６１が逆回
転すると、Ｙ軸送りねじ６０が回転してＹ軸移動台６３
と共にノズルホルダ７０及び吸着ノズル７１がリードフ
レーム５方向のＹ軸方向に移動する。これにより、図２
（ｂ）に示すように、吸着ノズル７１はダイボンディン
グ位置８の上方に移動する。その後、Ｚ軸モータ５４が
正回転し、Ｙ軸移動台６３と共にノズルホルダ７０及び
吸着ノズル７１が下降し、ダイ１をリードフレーム５に
ボンディングする。ダイボンディング後は、前記と逆の
動作を行ってダイピックアップ位置７に移動する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ダイボンディング装置
においては、平面的なスペースを小さくするために、ウ
ェーハシート２とリードフレーム５は平面的な配置とな
っていなく、ウェーハシート２の一部分はフレームフィ
ーダ６の下方になるように配設されている。このため、
吸着ノズル７１を少なくともウェーハシート２とリード
フレーム５の上下高さに余裕高さを加えた高さだけ上下
（Ｚ軸）に移動させる必要がある。
【０００８】従来技術は、Ｚ軸移動台５６、Ｙ軸モータ
６１、Ｙ軸ガイド棒６２、Ｙ軸送りねじ６０、Ｙ軸移動
台６３及びノズルホルダ７０等の重量物をＺ軸モータ５
４で上下駆動するので、駆動出力の大きいＺ軸モータ５
４を必要とすると共に、高速に上下駆動することができ
なかった。
【０００９】本発明の課題は、上下駆動される重量を大
幅に削減し、吸着ノズルの上下駆動のためのモータを必
要としなく、これによって装置コストの大幅な低減が図
れると共に、吸着ノズルを高速で上下駆動することがで
きるダイ及び小物部品の移送装置を提供することにあ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の手段は、リードフレーム等の搬送方向である
Ｘ軸方向に移動させられるＸ軸移動台と、このＸ軸移動
台に設けられ前記Ｘ軸方向に直角なＹ軸方向に移動させ
られるＹ軸移動台と、このＹ軸移動台に上下動可能に設
けられたノズルホルダと、前記Ｘ軸移動台に設けられダ
イピックアップ位置側よりダイボンディング位置側に上
昇した傾斜部を有するＺ軸ガイドレールと、このＺ軸ガ
イドレールに沿って上下動し前記ノズルホルダに連結さ
れたＺ軸移動板と、前記ノズルホルダに上下動可能でか
つ該ノズルホルダと共に上下動可能に設けられダイを吸
着保持する吸着ノズルとを備えたことを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１によ
り説明する。なお、符号１から８は図２と同じであるの
で、その詳細な説明は省略する。またＸ軸方向及びＹ軸
方向も図２の場合と同じように説明する。
【００１２】ダイ移送装置の構造について説明する。基
台１０上にはＸ軸移動台１１がＸ軸方向に摺動自在に設
けられており、Ｘ軸移動台１１は基台１０に固定された
Ｘ軸モータ１２によってＸ軸送りねじ（図示せず）を介
して駆動される。Ｘ軸移動台１１にはＹ軸方向にＹ軸送
りねじ１３が配設され、Ｙ軸送りねじ１３の左右端部
は、Ｘ軸移動台１１に回転自在に支承されており、Ｙ軸
送りねじ１３はＸ軸移動台１１に固定されたＹ軸モータ
１４によって駆動される。Ｘ軸移動台１１にはＹ軸送り
ねじ１３と平行にＹ軸ガイド棒１５が配設され、Ｙ軸ガ
イド棒１５の左右端部は、Ｘ軸移動台１１に固定されて
おり、Ｙ軸ガイド棒１５にはＹ軸移動台１６が摺動自在
に設けられている。Ｙ軸送りねじ１３には、Ｙ軸移動台
１６に固定されたＹ軸送りナット１７が螺合している。
【００１３】Ｘ軸移動台１１には、ダイボンディング位
置８側からダイピックアップ位置７側に傾斜したＺ軸ガ
イドレール２０が固定されている。一方、Ｙ軸移動台１
６にはノズルホルダ２１が上下摺動可能に設けられてお
り、ノズルホルダ２１にはＺ軸移動板２２が固定されて
いる。Ｚ軸移動板２２にはＺ軸ガイドレール２０の上下
を挟持する形でローラ２３が回転自在に支承されてい
る。ノズルホルダ２１には吸着ノズル２４が上下摺動可
能に設けられており、吸着ノズル２４はノズルホルダ２
１と共に上下動可能に図示しないスプリングでノズルホ
ルダ２１に当接するように上方に付勢されており、図示
しない真空手段でダイ１を真空吸引されるようになって
いる。従って、吸着ノズル２４はノズルホルダ２１と共
に上下動可能であり、かつノズルホルダ２１に対して上
下動させることができる。
【００１４】次に作用について説明する。図１（ａ）に
示すように、吸着ノズル２４がダイピックアップ位置７
でピックアップするダイ１に近接すると、突き上げ針４
が上昇してダイ１が吸着ノズル２４に当接し、吸着ノズ
ル２４がダイ１を真空吸着保持する。次にＹ軸モータ１
４が逆回転してＹ軸送りねじ１３が回転し、Ｙ軸移動台
１６がリードフレーム５方向のＹ軸方向に移動する。こ
れにより、ローラ２３を介してＺ軸移動板２２及びノズ
ルホルダ２１がＺ軸ガイドレール２０に沿って上昇し、
図１（ｂ）に示すように、吸着ノズル２４はダイボンデ
ィング位置８の上方に移動する。その後、吸着ノズル２
４は図示しない駆動手段で下降させられ、ダイ１をリー
ドフレーム５にボンディングする。ダイボンディング後
は、前記と逆の動作を行ってダイピックアップ位置７に
移動する。
【００１５】図１と図２を比較すれば明らかなように、
図１に示す本実施の形態は、図２に示すＺ軸モータ５４
を必要としなく、また上下駆動される部材はローラ２
３、Ｚ軸移動板２２、ノズルホルダ２１及び吸着ノズル
２４で非常に軽量である。このため、装置コストが大幅
に低減できると共に、吸着ノズル２４を高速で上下駆動
することができる。
【００１６】なお、上記実施の形態は、ウェーハシート
２よりダイ１をピックアップする場合について説明した
が、トレーに収納されたダイ１をピックアップする場合
にも適用できる。またウェーハシート２よりピックアッ
プしたダイ１をトレーに収納する場合にも適用できる。
またダイ１に限定されなく、小物部品の移送にも適用で
きる。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、リードフレーム等の搬送方向
であるＸ軸方向に移動させられるＸ軸移動台と、このＸ
軸移動台に設けられ前記Ｘ軸方向に直角なＹ軸方向に移
動させられるＹ軸移動台と、このＹ軸移動台に上下動可
能に設けられたノズルホルダと、前記Ｘ軸移動台に設け
られダイピックアップ位置側よりダイボンディング位置
側に上昇した傾斜部を有するＺ軸ガイドレールと、この
Ｚ軸ガイドレールに沿って上下動し前記ノズルホルダに
連結されたＺ軸移動板と、前記ノズルホルダに上下動可
能でかつ該ノズルホルダと共に上下動可能に設けられダ
イを吸着保持する吸着ノズルとを備えた構成よりなるの
で、上下駆動される重量を大幅に削減し、吸着ノズルの
上下駆動のためのモータを必要としなく、これによって
装置コストの大幅な低減が図れると共に、吸着ノズルを
高速で上下駆動することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のダイ移送装置の一実施の形態を示す正
面図である。
【図２】従来のダイ移送装置を示す正面図である。
【符号の説明】
１ ダイ ２ ウェーハシート ４ 突き上げ針 ５ リードフレーム ６ フレームフィーダ ７ ダイピックアップ位置 ８ ダイボンディング位置 １０ 基台 １１ Ｘ軸移動台 １２ Ｘ軸モータ １３ Ｙ軸送りねじ １４ Ｙ軸モータ １６ Ｙ軸移動台 １７ Ｙ軸送りナット ２０ Ｚ軸ガイドレール ２１ ノズルホルダ ２２ Ｚ軸移動板 ２４ 吸着ノズル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 安 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の１ 株式会社新川内 Ｆターム(参考） 5F047 FA02 FA04 FA08

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 リードフレーム等の搬送方向であるＸ軸
    方向に移動させられるＸ軸移動台と、このＸ軸移動台に
    設けられ前記Ｘ軸方向に直角なＹ軸方向に移動させられ
    るＹ軸移動台と、このＹ軸移動台に上下動可能に設けら
    れたノズルホルダと、前記Ｘ軸移動台に設けられダイピ
    ックアップ位置側よりダイボンディング位置側に上昇し
    た傾斜部を有するＺ軸ガイドレールと、このＺ軸ガイド
    レールに沿って上下動し前記ノズルホルダに連結された
    Ｚ軸移動板と、前記ノズルホルダに上下動可能でかつ該
    ノズルホルダと共に上下動可能に設けられダイを吸着保
    持する吸着ノズルとを備えたことを特徴とするダイ及び
    小物部品の移送装置。
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