JPH0637906Y2 - 板状物体搬送装置 - Google Patents
板状物体搬送装置Info
- Publication number
- JPH0637906Y2 JPH0637906Y2 JP14123388U JP14123388U JPH0637906Y2 JP H0637906 Y2 JPH0637906 Y2 JP H0637906Y2 JP 14123388 U JP14123388 U JP 14123388U JP 14123388 U JP14123388 U JP 14123388U JP H0637906 Y2 JPH0637906 Y2 JP H0637906Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clamp mechanism
- transported object
- clamp
- shaped lever
- shaped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Automatic Assembly (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔概要〕 板状の搬送物を受け渡しする搬送装置に関し、 搬送物を受け渡しする２つのクランプ機構を搬送物受け
渡し時に高精度の位置合わせを必要としないことを目的
とし、 板状の搬送物を受け渡しする搬送装置であって、A,B2つ
のクランプ機構よりなり、一方のクランプ機構Ａは、被
搬送物の両端を支持するための断面Ｌ字形の平行する２
本のレールと、該２本のレール間隔を変える駆動手段と
を有し、他方のクランプ機構Ｂは、２本ずつのピンが互
いに反対方向に連動して動けるようにしたＹ字状レバー
とＴ字状レバーとを有する４点支持機構と、該機構を被
搬送物をクランプする方向にＴ字状レバーを押圧付勢す
るばねと、開放する方向にＹ字状レバーを押圧駆動する
駆動手段を有するように構成する。
渡し時に高精度の位置合わせを必要としないことを目的
とし、 板状の搬送物を受け渡しする搬送装置であって、A,B2つ
のクランプ機構よりなり、一方のクランプ機構Ａは、被
搬送物の両端を支持するための断面Ｌ字形の平行する２
本のレールと、該２本のレール間隔を変える駆動手段と
を有し、他方のクランプ機構Ｂは、２本ずつのピンが互
いに反対方向に連動して動けるようにしたＹ字状レバー
とＴ字状レバーとを有する４点支持機構と、該機構を被
搬送物をクランプする方向にＴ字状レバーを押圧付勢す
るばねと、開放する方向にＹ字状レバーを押圧駆動する
駆動手段を有するように構成する。
本考案は、板状の搬送物を受け渡しする搬送装置に関す
る。
る。
半導体装置の製造工程において、ウェハー、マスク等の
搬送を行なう搬送機構には、精密な動き及び自動化が要
求されている。この為、ロボットでは、バキュームチャ
ックの様なクランプ機構が用いられているが、クランプ
機構からクランプ機構への受け渡しには、クランプ機構
同士のセンターが一致していないとチャックミスやロボ
ットアームの変形を起こすので、これを防止する必要が
ある。
搬送を行なう搬送機構には、精密な動き及び自動化が要
求されている。この為、ロボットでは、バキュームチャ
ックの様なクランプ機構が用いられているが、クランプ
機構からクランプ機構への受け渡しには、クランプ機構
同士のセンターが一致していないとチャックミスやロボ
ットアームの変形を起こすので、これを防止する必要が
ある。
従来の板状物体の受け渡しを行なう搬送装置の２例を第
４図及び第５図に示す。第４図に示すものは、A,B2つの
機構からなり、機構Ａはベルト1,1′により被搬送物２
を搬送し、ストッパ3,3′で位置決めし、機構Ｂはロボ
ットアーム４の先端にバキュームチャック５が設けられ
て（ｂ）図の矢印P,Q,Rの如く移動して被搬送物２を機
構Ａから受け取るようになっている。
４図及び第５図に示す。第４図に示すものは、A,B2つの
機構からなり、機構Ａはベルト1,1′により被搬送物２
を搬送し、ストッパ3,3′で位置決めし、機構Ｂはロボ
ットアーム４の先端にバキュームチャック５が設けられ
て（ｂ）図の矢印P,Q,Rの如く移動して被搬送物２を機
構Ａから受け取るようになっている。
また第５図に示すものは、バキュームチャック５を有す
る２個のロボットアーム6,7と、位置決めピン8,8′を有
する位置決めユニット９とよりなり、被搬送物２は位置
決めユニット９を介して一方のロボット６又は７から他
方のロボット７又は６へ搬送されるようになっている。
る２個のロボットアーム6,7と、位置決めピン8,8′を有
する位置決めユニット９とよりなり、被搬送物２は位置
決めユニット９を介して一方のロボット６又は７から他
方のロボット７又は６へ搬送されるようになっている。
上記従来の搬送装置では搬送物の受け渡し位置で搬送路
にストッパーを設けているが、被搬送物２が必ずしも２
本の位置決めピンに接触するとは限らない。このため被
搬送物２の受け渡し時に被搬送物２をつかみ損ねて落下
させたり、あるいはロボットアームの変形の原因となっ
ていた。また被搬送物２をつかむバキュームチャックは
被搬送物２の裏面中央を支持するため、パターンを裏面
に向けて搬送されるマスクの場合にはバキュームチャッ
クによりパターン面が傷つけられるという問題があっ
た。
にストッパーを設けているが、被搬送物２が必ずしも２
本の位置決めピンに接触するとは限らない。このため被
搬送物２の受け渡し時に被搬送物２をつかみ損ねて落下
させたり、あるいはロボットアームの変形の原因となっ
ていた。また被搬送物２をつかむバキュームチャックは
被搬送物２の裏面中央を支持するため、パターンを裏面
に向けて搬送されるマスクの場合にはバキュームチャッ
クによりパターン面が傷つけられるという問題があっ
た。
本考案は上記従来の問題点に鑑み、搬送物を受け渡しす
る２つのクランプ機構の搬送物受け渡し時に高精度の位
置合わせを必要とせず、且つ搬送物を傷つけない搬送装
置を提供することを目的とする。
る２つのクランプ機構の搬送物受け渡し時に高精度の位
置合わせを必要とせず、且つ搬送物を傷つけない搬送装
置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本考案の板状物体搬送装置
は、板状の搬送物を受け渡しする搬送装置であって、A,
B2つのクランプ機構よりなり、一方のクランプ機構Ａ
は、被搬送物10の両端を支持するための断面Ｌ字形の平
行する２本のレール11,12と、該２本のレールの間隔を
変える駆動手段とを有し、他方のクランプ機構Ｂは、２
本ずつのピン13,13′及び15,15′が互いに反対方向に連
動して動けるようにしたＹ字状のレバー14とＴ字状のレ
バー16とを有する４点支持機構と、該機構を被搬送物10
をクランプする方向にＴ字状レバー16を押圧付勢するば
ね21と、開放する方向にＹ字状レバー16を押圧駆動する
駆動手段22を有することを特徴とする。
は、板状の搬送物を受け渡しする搬送装置であって、A,
B2つのクランプ機構よりなり、一方のクランプ機構Ａ
は、被搬送物10の両端を支持するための断面Ｌ字形の平
行する２本のレール11,12と、該２本のレールの間隔を
変える駆動手段とを有し、他方のクランプ機構Ｂは、２
本ずつのピン13,13′及び15,15′が互いに反対方向に連
動して動けるようにしたＹ字状のレバー14とＴ字状のレ
バー16とを有する４点支持機構と、該機構を被搬送物10
をクランプする方向にＴ字状レバー16を押圧付勢するば
ね21と、開放する方向にＹ字状レバー16を押圧駆動する
駆動手段22を有することを特徴とする。
一方のクランプ機構Ｂから他方のクランプ機構Ａへ被搬
送物を受け渡しする場合、クランプ機構Ｂが２点ずつ互
いに反対方向に連動する４点支持機構で被搬送物10を把
持するため、被搬送物10が円板である場合はその中心と
クランプ機構の中心とが一致するが、被搬送物が矩形で
ある場合はその中心位置がY-Y′方向にずれることがあ
る。しかしクランプ機構Ａは被搬送物10を受け取るため
に２本のレール11,12の間隔を開くため、被搬送物10に
多少の位置ずれがあっても無理なく受けとることができ
る。また逆に被搬送物10をクランプ機構Ａからクランプ
機構Ｂへ受け渡しする場合、クランプ機構Ａでは被搬送
物10がX-X′方向にずれることがあるがクランプ機構Ｂ
はピン13,13′とピン15,15′とが互いに反対方向に連動
して被搬送物をつかむのでクランプ機構Ａで被搬送物10
が多少位置ずれしていても問題なく、正確に受け取るこ
とができる。
送物を受け渡しする場合、クランプ機構Ｂが２点ずつ互
いに反対方向に連動する４点支持機構で被搬送物10を把
持するため、被搬送物10が円板である場合はその中心と
クランプ機構の中心とが一致するが、被搬送物が矩形で
ある場合はその中心位置がY-Y′方向にずれることがあ
る。しかしクランプ機構Ａは被搬送物10を受け取るため
に２本のレール11,12の間隔を開くため、被搬送物10に
多少の位置ずれがあっても無理なく受けとることができ
る。また逆に被搬送物10をクランプ機構Ａからクランプ
機構Ｂへ受け渡しする場合、クランプ機構Ａでは被搬送
物10がX-X′方向にずれることがあるがクランプ機構Ｂ
はピン13,13′とピン15,15′とが互いに反対方向に連動
して被搬送物をつかむのでクランプ機構Ａで被搬送物10
が多少位置ずれしていても問題なく、正確に受け取るこ
とができる。
第１図及び第２図は本考案の実施例を示す図であり、第
１図はクランプ機構Ａを、第２図はクランプ機構Ｂを示
す。
１図はクランプ機構Ａを、第２図はクランプ機構Ｂを示
す。
本実施例は２つのクランプ機構Ａ及びＢからなり、クラ
ンプ機構Ａは第１図に示すように断面Ｌ字形の平行する
２本のレール11,12と、該２本のレール11,12の間隔を変
えることができる駆動手段、例えばエアシリンダ等で駆
動される平行運動機構（図示省略）とを具備してなり、
（ｂ）図及び（ｃ）図の如く被搬送物をクランプし、又
はクランプを解放することができるようになっている。
ンプ機構Ａは第１図に示すように断面Ｌ字形の平行する
２本のレール11,12と、該２本のレール11,12の間隔を変
えることができる駆動手段、例えばエアシリンダ等で駆
動される平行運動機構（図示省略）とを具備してなり、
（ｂ）図及び（ｃ）図の如く被搬送物をクランプし、又
はクランプを解放することができるようになっている。
またクランプ機構Ｂは、第２図に示すように、先端にピ
ン13,13′を有するＹ字状のレバー14と、先端にピン15,
15′を有するＴ字状のレバー16とが矢印X,X′方向に摺
動できるように支持板17に支持され、該支持板17にピン
18で枢止されたレバー19の両端の長孔にそれぞれピン2
0,20′係合し、互いに反対方向に摺動するようになって
いる。またレバー16は圧縮ばね21により常時Ｘ方向に付
勢され、レバー14はエアシリンダ等の駆動部22によりＸ
方向に駆動されるようになっている。
ン13,13′を有するＹ字状のレバー14と、先端にピン15,
15′を有するＴ字状のレバー16とが矢印X,X′方向に摺
動できるように支持板17に支持され、該支持板17にピン
18で枢止されたレバー19の両端の長孔にそれぞれピン2
0,20′係合し、互いに反対方向に摺動するようになって
いる。またレバー16は圧縮ばね21により常時Ｘ方向に付
勢され、レバー14はエアシリンダ等の駆動部22によりＸ
方向に駆動されるようになっている。
このように構成された本実施例の動作を第３図により説
明する。
明する。
図は被搬送物10としてのウェハーをクランプ機構Ａから
クランプ機構Ｂへ搬送する場合であり、クランプ機構A,
Bはそれぞれ図示なきロボットアーム等に支持され移動
できるようになっている。
クランプ機構Ｂへ搬送する場合であり、クランプ機構A,
Bはそれぞれ図示なきロボットアーム等に支持され移動
できるようになっている。
先ず第３図（ａ）に示すように、クランプ機構Ａはレー
ル11,12を被搬送物10の大きさより広い間隔となるよう
に矢印Y,Y′方向に開いておき、クランプ機構Ｂは被搬
送物10を４個のピン13,13′及び15,15′で把持する。こ
のときの把持力はばね21によりレバー16が矢印Ｘ方向に
押圧され、同時にレバー19を介してレバー14がＸ′方向
に押圧されることにより発生する。次いでクランプ機構
Ｂを、その被搬送物把持中心をクランプ機構Ａの中心に
一致させるように矢印Ｐ方向に移動させる。
ル11,12を被搬送物10の大きさより広い間隔となるよう
に矢印Y,Y′方向に開いておき、クランプ機構Ｂは被搬
送物10を４個のピン13,13′及び15,15′で把持する。こ
のときの把持力はばね21によりレバー16が矢印Ｘ方向に
押圧され、同時にレバー19を介してレバー14がＸ′方向
に押圧されることにより発生する。次いでクランプ機構
Ｂを、その被搬送物把持中心をクランプ機構Ａの中心に
一致させるように矢印Ｐ方向に移動させる。
次に第３図（ｂ）に示すようにクランプ機構Ａはレール
11を矢印Ｙ′方向に、レール12を矢印Ｙ方向に図示なき
駆動機構により駆動して被搬送物10を把持する。次いで
クランプ機構Ｂは駆動部22を駆動させ、レバー14を矢印
Ｘ方向に、レバー16を矢印Ｘ′方向に駆動して被搬送物
10の把持を開放する。その後クランプ機構Ｂを元の位置
に復帰させる。このようにして被搬送物10はクランプ機
構Ｂからクランプ機構Ａへ受け渡される。また上記行程
を逆に行えば被搬送物10をクランプ機構Ａからクランプ
機構Ｂへ受け渡しすることができる。
11を矢印Ｙ′方向に、レール12を矢印Ｙ方向に図示なき
駆動機構により駆動して被搬送物10を把持する。次いで
クランプ機構Ｂは駆動部22を駆動させ、レバー14を矢印
Ｘ方向に、レバー16を矢印Ｘ′方向に駆動して被搬送物
10の把持を開放する。その後クランプ機構Ｂを元の位置
に復帰させる。このようにして被搬送物10はクランプ機
構Ｂからクランプ機構Ａへ受け渡される。また上記行程
を逆に行えば被搬送物10をクランプ機構Ａからクランプ
機構Ｂへ受け渡しすることができる。
以上の本実施例によれば、クランプ機構Ｂが２点ずつ互
いに反対方向に連動する４点支持機構で被搬送物10を把
持するため、被搬送物10が円板である場合はその中心と
クランプ機構の中心とが一致するが、被搬送物が矩形で
ある場合はその中心位置がＹ又はＹ′方向にずれること
がある。しかしクランプ機構Ａは被搬送物10を受け取る
ために２本のレール11,12の間隔を開くため、被搬送物1
0に多少の位置ずれがあっても無理なく受けとることが
できる。また逆に被搬送物10をクランプ機構Ａからクラ
ンプ機構Ｂへ受け渡しする場合、クランプ機構Ａでは被
搬送物10がＸ又はＸ′方向にずれることがあるがクラン
プ機構Ｂはピン13,13′とピン15,15′とが互いに反対方
向に連動して被搬送物をつかむのでクランプ機構Ａで被
搬送物10が多少位置ずれしていても問題なく、正確に受
け取ることができる。
いに反対方向に連動する４点支持機構で被搬送物10を把
持するため、被搬送物10が円板である場合はその中心と
クランプ機構の中心とが一致するが、被搬送物が矩形で
ある場合はその中心位置がＹ又はＹ′方向にずれること
がある。しかしクランプ機構Ａは被搬送物10を受け取る
ために２本のレール11,12の間隔を開くため、被搬送物1
0に多少の位置ずれがあっても無理なく受けとることが
できる。また逆に被搬送物10をクランプ機構Ａからクラ
ンプ機構Ｂへ受け渡しする場合、クランプ機構Ａでは被
搬送物10がＸ又はＸ′方向にずれることがあるがクラン
プ機構Ｂはピン13,13′とピン15,15′とが互いに反対方
向に連動して被搬送物をつかむのでクランプ機構Ａで被
搬送物10が多少位置ずれしていても問題なく、正確に受
け取ることができる。
さらにクランプ機構Ａは被搬送物10の外周に近い裏面の
一部を支持し、クランプ機構Ｂは被搬送物の外周を把持
するのみであるので被搬送物を傷つけることはない。
一部を支持し、クランプ機構Ｂは被搬送物の外周を把持
するのみであるので被搬送物を傷つけることはない。
以上説明した様に、本考案によれば、クランプ機構同士
が多少位置ずれを起こしてもチャックミスする可能性が
大幅に減少し、且つ被搬送物を傷つけることがなく搬送
の信頼性に寄与するところが大きい。
が多少位置ずれを起こしてもチャックミスする可能性が
大幅に減少し、且つ被搬送物を傷つけることがなく搬送
の信頼性に寄与するところが大きい。
第１図は本考案の実施例のクランプ機構Ａを示す図、 第２図は本考案の実施例のクランプ機構Ｂを示す図、 第３図は本考案の実施例の動作を説明するための図、 第４図及び第５図は従来の搬送装置を示す図である。 図において、 10は被搬送物、 11,12はレール、 13,13′,15,15′はピン、 14はＹ字状のレバー、 16はＴ字状のレバー、 17は支持板、 21は圧縮ばね、 22は駆動部 を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−47186（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−153788（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−138681（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】板状の搬送物を受け渡しする搬送装置であ
って、 A,B2つのクランプ機構よりなり、一方のクランプ機構Ａ
は、被搬送物（10）の両端を支持するための断面Ｌ字形
の平行する２本のレール（11,12）と、該２本のレール
の間隔を変える駆動手段とを有し、他方のクランプ機構
Ｂは、２本ずつのピン（13,13′）及び（15,15′）が互
いに反対方向に連動して動けるようにしたＹ字状のレバ
ー（14）とＴ字状のレバー（16）とを有する４点支持機
構と、該機構を被搬送物（10）をクランプする方向にＴ
字状レバー（16）を押圧付勢するばね（21）と、開放す
る方向にＹ字状レバー（16）を押圧駆動する駆動手段
（22）を有すること特徴とする板状物体搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14123388U JPH0637906Y2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 板状物体搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14123388U JPH0637906Y2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 板状物体搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0263990U JPH0263990U (ja) | 1990-05-14 |
| JPH0637906Y2 true JPH0637906Y2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=31406126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14123388U Expired - Lifetime JPH0637906Y2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 板状物体搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0637906Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017183665A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板搬送装置、基板処理装置及び基板処理方法 |
-
1988
- 1988-10-31 JP JP14123388U patent/JPH0637906Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0263990U (ja) | 1990-05-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3724361B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
| US7052229B2 (en) | Alignment of semiconductor wafers and other articles | |
| JP2002134586A (ja) | 基板保持装置 | |
| JP3314890B2 (ja) | 物品整列装置 | |
| US20030029700A1 (en) | Indexing conveyor with operable part retaining mechanism | |
| JPH0637906Y2 (ja) | 板状物体搬送装置 | |
| JP2002264065A (ja) | ウエハ搬送ロボット | |
| JPH11284059A (ja) | 半導体ウェハ把持装置 | |
| JPH02229499A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JPH041016Y2 (ja) | ||
| JPH07201947A (ja) | ウェハー搬送用のロボットハンドおよびこのロボットハンドによるウェハーの保持方法 | |
| JP2605824B2 (ja) | ロボットハンド | |
| US20040183320A1 (en) | Bi-directional gripping of rectangular devices/components | |
| JPH0671088U (ja) | 物流品収納ケースの搬送装置 | |
| JPH0679669A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH0729957A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JPH0224496Y2 (ja) | ||
| JP3772615B2 (ja) | ワーク搬送装置 | |
| JPH01177941A (ja) | 薄円板状被加工物の加圧盤に対する位置決め装置 | |
| JPH0525765B2 (ja) | ||
| JPS604335U (ja) | 平板搬送用ロボツト | |
| JPH0727788U (ja) | ロボット用のハンド | |
| CN114535819A (zh) | 一种全自动激光标记设备 | |
| JPH0669675B2 (ja) | マスクなどの搬送に使用される把持装置 | |
| JPH10146787A (ja) | 板状ワークのチャック装置 |