JPS63124543A - 板体チヤツキング機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野コ この発明は、例えば′１１導体デバイス製造用の角形マ
スクのような板体のチャッキング機構に関する。

［従来の技術］ 例えば自動マスク表面検査機においては、所定の位置に
供給されたマスクがマスク搬入系のチャッキング機構に
よってチャッキングされて検査部に搬入され、検査部で
マスクの異物付着、傷、ピンホールなどの検査が行われ
る。検査を終了したマスクは、マスク搬出系のチャッキ
ング機構によりチャッキングされ、所定の位置まで搬出
される。

従来、このようなチャ・、キング機構は、ｐめＸ方向に
ついて位置決めされた状態でマスクが供給され、Ｙ方向
に移動する一対の爪部材により、そのマスクの二辺のエ
ツジを外側から挟み付け、マスクをＹ方向について位置
決めすると同時にチャッキングするようになっている。

または、Ｘ方向に移動する一対の爪部材と、Ｙ方向に移
動する一対の爪部材とによって、マスクの四辺のエツジ
を外側から挟み付けることにより、マスクのＸ方向およ
びＹ方向の位置決めとチャッキングとを同時に行う構成
となっている。

［解決しようとする問題点］ 前者のチャッキング機構は、Ｘ方向位置決めを行わない
ので、チャッキング前にマスクのＸ方向位置がずれた場
合、その位置ずれが修正されないまま子ャフキングされ
てしまうという問題がある。

他方、後者のチャッキング機構は、そのような位置すれ
の問題を解消できるが、Ｘ、Ｙ２方向の爪部材の精密な
位置制御を行う必要があるので、それに関連した機構お
よび制御系が複雑化するという問題がある。

［発明の目的コ したがって、この発明の［１的は、そのような問題点を
解決した角形マスクなどのチャッキングに好適な板体チ
ャッキング機構を提供することにある。

［問題点を解決するための手段コ この目的を達成するために、この発明による板体チャッ
キング機構は、係合部材または係合部をそれぞれ有する
一対の可動部材と、この一対の可動部材を移動させるた
めの手段とを有し、前記−対の可動部材が、その間に占
位する板体の対向した二つのコーナ部に向けて移動させ
られて前記板体の前記各コーナ部のエツジに１）１１記
係合部材または前記保合部が係合せしめられることによ
り、前記板体が挟持される構成とされるものである。

［作用］ このように、板体の対向する二つのコーナ部のエツジに
、外側から係合部材または係合部を係合させてチャッキ
ングを行うから、板体のチャッキングと同時に板体の各
方向についての位置決めがなされる。

そして、二つの可動部材の少な（とも一方についてだけ
精密位置制御を行えばよいので、それに関連した機構お
よび制御系を簡略化できる。

［実施例］ 以下、図面を参照して、この発明の一実施例について説
明する。

第１図は、この発明によるチャッキング機構の一実施例
を示す概略斜視図であり、第２図および第３図はそのチ
ャッキング解除状態およびチャッキング状態をそれぞれ
示す概略平面図である。

なお、ここでは、マスク表面検査機のマスク搬入系に用
いられるチャッキング機構として説明するが、このチャ
ッキング機構はマスク搬出系など他の用途にも適用でき
るものである。

第１図において、このチャッキング装置は一対の可動ア
ーム１０．１２と、それを矢線１４または１５の方向に
移動させるための駆動機構１６から概ね構成されている
。

各０■動アーム１０．１２の先端部ド側に、ローラ１８
が２個ずつ回転自在に取り付けられている。

これらのローラ１８は、角形マスク２０（板体）のエツ
ジとの係合部材として設けられたものである。

駆動機構１６の構成について説明すれば、２２および２
４はそれぞれ可動アーム１０に関連した従動ブロックお
よび原動ブロックであり、それぞれ−・対のガイド軸２
６．２８にスライド可能に支持されている。従動ブロッ
ク２２には、可動アーム１０の基端部が固定されている
。

３０および３２はそれぞれ可動アーム１２に関連した従
動ブロックおよび原動ブロックであり、それぞれ一対の
ガイド軸３４．３８にスライド可能に支持されている。

従動ブロック１２には、可動アーム１２の基端部が固定
され、またストッパ金具３８が取り付けられている。

４０は従動ブロック２２を矢線１５の向きに引っ張るた
めのスプリングである。他方の従動ブロック３０を矢線
１４の向きに引っ張るためのスプリングも設けられてい
るが、図示されていない。

各原動ブロツク２４．３２にはラックギヤ４４゜４６が
それぞれ固着されている。各ラックギヤ４４，４６は、
モータ４８によって回転駆動されるピニオンギヤ５０と
図示のように噛合する。

５２はチャッキング状態においてストッパ金具３８を係
１１−することによって、可動アーム１２の位置決めを
行うための位置決めピンである。５２は位置決めピン挿
着板であり、これにはマスク２０のサイズに対応した複
数のピン挿着孔５４が明けられている。

第１図には示されていないが（第２図および第３図参照
）、原動ブロック２４に関連して位置検出センサ５Ｂ、
５８が設けられていいる。また、それに関連して原動ブ
ロック２４にスリット板６０が設けられている。

このようなチャッキング機構は、図示しない移動ステー
ジに取り付けられ、−１−上方向およびＸ方向（第２図
、第３図参照）に移動可能となっている。

次に、第２図および第３図を参照して、このチャッキン
グ機構の動作を説明する。

ピニオンギヤ５０を矢線７０（第２図）の向きに回転さ
せるようにモータ４８を作動させると、原動ブロック２
４．３２はそれぞれ矢線１４．１５の向きに移動するの
で、従動ブロック２２．３０およびそれに固定された可
動アーム１０．１２もその向きに移動する。

可動アーム１０．１２が第２図に示す位置まで移動する
と、位置検出センサ５８から検出信号が送出され、この
検出信号に応答して図示しないモータ駆動制御部により
モータ４８が停止上せしめられる。

このチャッキング解除状態において、マスクテーブル７
６によってマスク２０が図示の位置に運ばれる。

第４図はマスクテーブル７６の概略側面図である。この
図に示されるように、マスクテーブル７６の１−而には
傾斜面部７６ａ、７６ｂが形成されており、マスク２０
をそのエツジだけで傾斜面部７８ａ、７８ｂによって支
持するようになっている。これは、マスク表面との接触
を避け、その損傷や異物付着を極力防市するための工夫
である。

このようにしてマスク２０が供給された後、モータ駆動
制御部によりモータ４８が逆回転駆動され、ピニオンギ
ヤ５０が矢線７８（第３図）の向きに回転すると、原動
ブロンク２４は矢線１５の向きに移動し、また原動ブロ
ック３２は矢線１４の向きに移動する。

従動ブロック２２．３０はそれぞれ原動ブロック２４．
３２に追従して移動するが、可動アーム１２がマスク２
０のサイズによって決まった位置まで移動すると、スト
ッパ金具３８が位置決めピン５２に係止して可動アーム
１２は停止上させられる。

その後、センサ５６から検出信号が出るとモータ４８が
停市させられる。この状態においては、マスク２０のコ
ーナｉ？２０Ａの二つの辺２０ａ。

２０ｂのエツジに、可動アーム１０側の２個のローラ１
８が押し付けられる。また、マスク２０のコーナ部２Ｏ
Ｂの二つの辺２０ｃ、２０ｄのエツジに、ＩＩｆ動アー
ム１２側の二つのローラ１８が押し付けられる。それら
の押し付は力は、スプリング４０の弾性力によって決ま
る。

このようにして、マスク２０はコーナ部２０Ａ。

２０Ｂを合計４個のローラ１８によって挟圧され、可動
アーム１０．１２にチャッキングされる。そして、一方
の可動アーム１２は位置決めされているので、マスク２
０はＸ方向およびＹ／ｊ向について同時に位置決めされ
る。

その後、マスクテーブル７６が下降するか、またはチャ
ッキング機構が上昇し、さらにチャッキング機構がＸ方
向に移動して、図示しない検査部にマスク２０が運ばれ
る。

ここで、駆動機構１６に関連して説明する。もし、原動
ブロック２４．３２に可動アーム１０゜１２を直接的に
結合した場合、ｎ（動アーム１２を位置決めピン５２な
どによって位置決めする方法を採用できないことは明ら
かであり、モータ４８の精密な駆動制御が必要となる。

これに対し、この駆動機構１６においては、原動ブロッ
ク２４．３２にｉｉ）動アーム１０．１２を直接的に結
合せず、それによって押される従動ブロック２２．３０
にＩｉ工動アーム１０．１２を固定して、また従動ブロ
ック２２．３０を原動ブロック２４．３２側にスプリン
グ付勢している。

このような構成であるから、モータ４８の駆動制御をそ
れほど高精度に行わなくて′も、前述のように位置決め
ピン５２によって可動アーム１２の精密位置決めを行う
ことができるし、マスク２０をほぼ一定の力で挟圧して
チャッキングすることができる。

ここで、ローラ１８の形状について説明する。

第５図は、この実施例におけるローラ１８の形状の説明
図である。この図に示すように、ローラ１８のマスク２
０との係合部となる部分は、中央部から両端部に向かっ
て直径が徐々に増大するようになっている。このような
形状であると、様々な厚さのマスク２０を図示のように
水平姿勢で確実に挟持することができる。

因みに、第６図に示すような直径が均一・なローラ１８
ａをローラ１８の代わりに用いた場合、そのマスクとの
係合部の高さＬ（マスクの最大厚さ以上）よりも薄いマ
スク２０は、チャッキング時に図示のように傾きやすい
。

以上、一実施例について説明したが、この発明はそれだ
けに限定されるものではない。

例えば前記実施例においては、可動アームにマスクとの
係合部材としてローラを設けたが、他の部材を設けても
よいし、可動アームに一体的な保合部を設けてもよい。

また、板体のコーナ部の二つの辺のエツジに係合するよ
うな係合部を有する係合部材または係合部を一つずつ各
可動アームに設けるようにしてもよい。

原動ブロックの逆向き駆動の機構として、前記のピニオ
ン・ラック機構の代わりにベルト・プーリ機構などを用
いてもよい。

その他、この発明は、その要旨を逸脱しない範囲内で様
々に変形して実施例し得るものである。

また、この発明は、マスク以外の板体のチャッキング機
構に同様に適用可能である。

［発明の効果コ 以上説明したように、この発明によれば係合部材または
係合部をそれぞれ有する一対の可動部材と、この一対の
可動部材を移動させるための手段とを汀し、前記一対の
可動部材が、その間に占位する板体の対向した二つのコ
ーナ部に向けて移動させられて前記板体の前記各コーナ
部のエツジに前記係合部材または前記係合部が係合せし
められることにより、前記板体が挟持される構成であっ
て、板体のチャッキングと同時に板体の各方向について
の位置決めが可能で、また二つの可動部材の少なくとも
一方についてだけ精密位置制御を行えばよいので、それ
に関連した機構および制御系が簡略化できる、などの利
点を有する板体チャッキング機構を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明による板体チャッキング機構の一実
施例を示す概略斜視図、第２図は同実施例のチャッキン
グ解除状態を示す概略平面図、第３図は同実施例のチャ
ッキング状態を示す概略平面図、第４図はマスクテーブ
ルの概略側面図、第５図はローラの形状に関する説明図
、第６図はローラの他の形状に関する説明図である。 １０．１２・・・可動アーム、１６・・・駆動機構、１
８・・・ローラ、２０・・・マスク。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）係合部材または係合部をそれぞれ有する一対の可
   動部材と、この一対の可動部材を移動させるための手段
   とを有し、前記一対の可動部材が、その間に占位する板
   体の対向した二つのコーナ部に向けて移動させられて前
   記板体の前記各コーナ部のエッジに前記係合部材または
   前記係合部が係合せしめられることにより、前記板体が
   挟持されるようにしてなる板体チャッキング機構。
2. （２）板体の各コーナ部の二つの辺のエッジに係合部材
   または係合部が係合することを特徴とする特許請求の範
   囲第１項に記載の板体チャッキング機構。
3. （３）可動部材の係合部材または係合部は、板体のエッ
   ジとの係合面として、中央部から両端部に向かって膨出
   した面を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項
   または第２項に記載の板体チャッキング機構。
4. （４）可動部材の係合部材は、回転可能なローラである
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第３項の
   いずれか１項に記載の板体チャッキング機構。