JP2001157931A - 基板位置決め装置 - Google Patents
基板位置決め装置Info
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- JP2001157931A JP2001157931A JP33818399A JP33818399A JP2001157931A JP 2001157931 A JP2001157931 A JP 2001157931A JP 33818399 A JP33818399 A JP 33818399A JP 33818399 A JP33818399 A JP 33818399A JP 2001157931 A JP2001157931 A JP 2001157931A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】高精度な位置検出装置を必要とせず、基板へ過
度な負荷をかけずに精度良く基板の位置決めを行う。 【解決手段】治具上に設けられた位置決め部材に基板を
突き当てることにより基板を治具上に位置決めする基板
位置決め装置において、ロボットアーム１６ａに固定さ
れたベースプレート２１と、該プレートに回転自在に支
持された回動プレート２６と、該プレートに対して水平
方向に移動可能に装着された第１の移動プレート３２
と、該プレートを移動させる第１のエアシリンダ３０
と、第１の移動プレートの移動方向に対して直角方向に
移動可能に装着された第２の移動プレート３７と、第２
の移動プレートを移動させる第２のエアシリンダ３５と
を備え、第１および第２のエアシリンダ３０、３５に
は、基板が位置決め部材に突き当たって負荷が作用する
と、シリンダの押圧力を予め設定された圧力に調整する
調整装置を備える。
度な負荷をかけずに精度良く基板の位置決めを行う。 【解決手段】治具上に設けられた位置決め部材に基板を
突き当てることにより基板を治具上に位置決めする基板
位置決め装置において、ロボットアーム１６ａに固定さ
れたベースプレート２１と、該プレートに回転自在に支
持された回動プレート２６と、該プレートに対して水平
方向に移動可能に装着された第１の移動プレート３２
と、該プレートを移動させる第１のエアシリンダ３０
と、第１の移動プレートの移動方向に対して直角方向に
移動可能に装着された第２の移動プレート３７と、第２
の移動プレートを移動させる第２のエアシリンダ３５と
を備え、第１および第２のエアシリンダ３０、３５に
は、基板が位置決め部材に突き当たって負荷が作用する
と、シリンダの押圧力を予め設定された圧力に調整する
調整装置を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、カラーフ
ィルタ等の製造において、セラミックスやガラス等から
なる基板上に高精度パターンを形成するために、治具上
に基板を位置決めする基板位置決め装置に関する。
ィルタ等の製造において、セラミックスやガラス等から
なる基板上に高精度パターンを形成するために、治具上
に基板を位置決めする基板位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、カラーフィルタの透明電極層を
形成する工程では、スパッタ法が量産化の点で有利であ
り、自動化ラインにおいては、治具に対して基板とマス
クを所定位置に固定し、数１０個程度の治具をスパッタ
装置内に搬送しスパッタを行っている。従来、基板を治
具に位置決めする場合、ロボットにより基板を吸着保持
し、基板の基準となる辺を画像処理等により検出し、ロ
ボットにより基板を治具上のおおよその位置にセット
し、次いで、ロボットの水平移動により最終的な位置決
めを行うようにしているが、基板の基準となる辺を高精
度で検出するための装置が必要となり、また、基準辺の
検出誤差やロボットの移動精度による誤差が累積され、
位置精度を低下させていた。そのため、最終位置に予め
設置された位置決めピンまたはブロックに付き当てるよ
うにして位置決めを行う方式もとられているが、基板に
負荷を加えることになり、基板を破損させてしまうとい
う問題を有している。
形成する工程では、スパッタ法が量産化の点で有利であ
り、自動化ラインにおいては、治具に対して基板とマス
クを所定位置に固定し、数１０個程度の治具をスパッタ
装置内に搬送しスパッタを行っている。従来、基板を治
具に位置決めする場合、ロボットにより基板を吸着保持
し、基板の基準となる辺を画像処理等により検出し、ロ
ボットにより基板を治具上のおおよその位置にセット
し、次いで、ロボットの水平移動により最終的な位置決
めを行うようにしているが、基板の基準となる辺を高精
度で検出するための装置が必要となり、また、基準辺の
検出誤差やロボットの移動精度による誤差が累積され、
位置精度を低下させていた。そのため、最終位置に予め
設置された位置決めピンまたはブロックに付き当てるよ
うにして位置決めを行う方式もとられているが、基板に
負荷を加えることになり、基板を破損させてしまうとい
う問題を有している。
【０００３】この問題を解決するための基板位置決め装
置が特開平６−８８２０５号により提案されている。こ
れを図７により説明する。
置が特開平６−８８２０５号により提案されている。こ
れを図７により説明する。
【０００４】図（Ａ）において、製造ラインの搬送装置
上の所定位置には治具１が配置され、治具１の主プレー
ト２上に位置決めピン７ａ、７ｂが設けられ、この位置
決めピン７ａ、７ｂにマスク８に設けられた穴８ｃを通
すことによってマスク８が位置決めセットされている。
副プレート５は、主プレート２との間にマスク８と基板
９を挟持するための部材であり、開かれた状態で待機し
ている。このとき、基板位置決め装置１１の作動ピン１
２は、図示しない外部装置の昇降ロッド１３により押さ
れており、図（Ｂ）に示すように、作動ピン１２は装着
穴６内に収納されるとともに、位置決めヘッド１４が基
板９の固定位置から離れて傾斜状態に保持される。この
状態で、図示しないロボットの把持装置により、基板９
がマスク８上に載置される。次に、図（Ｃ）に示すよう
に、昇降ロッド１３を作動ピン１２より解除すると、ス
プリングの付勢力により、作動ピン１２は主プレート２
の底面から突出し、位置決めヘッド１４は基板９を位置
決めピン７ａに付き当てることにより、基板９は所定位
置に位置決めされる。なお、基板９には、例えば、２つ
のカラーパターン１０ａ、１０ｂが形成されており、マ
スク８にはカラーパターン１０ａ、１０ｂに対向するよ
うに開口部８ａ、８ｂが形成されている。
上の所定位置には治具１が配置され、治具１の主プレー
ト２上に位置決めピン７ａ、７ｂが設けられ、この位置
決めピン７ａ、７ｂにマスク８に設けられた穴８ｃを通
すことによってマスク８が位置決めセットされている。
副プレート５は、主プレート２との間にマスク８と基板
９を挟持するための部材であり、開かれた状態で待機し
ている。このとき、基板位置決め装置１１の作動ピン１
２は、図示しない外部装置の昇降ロッド１３により押さ
れており、図（Ｂ）に示すように、作動ピン１２は装着
穴６内に収納されるとともに、位置決めヘッド１４が基
板９の固定位置から離れて傾斜状態に保持される。この
状態で、図示しないロボットの把持装置により、基板９
がマスク８上に載置される。次に、図（Ｃ）に示すよう
に、昇降ロッド１３を作動ピン１２より解除すると、ス
プリングの付勢力により、作動ピン１２は主プレート２
の底面から突出し、位置決めヘッド１４は基板９を位置
決めピン７ａに付き当てることにより、基板９は所定位
置に位置決めされる。なお、基板９には、例えば、２つ
のカラーパターン１０ａ、１０ｂが形成されており、マ
スク８にはカラーパターン１０ａ、１０ｂに対向するよ
うに開口部８ａ、８ｂが形成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の基板位置決め装置においては、治具１ごとに基板位
置決め装置１１を設ける必要があり、基板のサイズが変
更されると治具のサイズも変更され、その都度、基板位
置決め装置を設けなければならず、コストが増大すると
いう問題を有している。また、基板位置決め装置は、位
置決めピン７ａ方向に付き当てるようにしているため、
位置決めピン７ｂ側に対応する基板の辺を高精度で検出
する装置が必要になり、具体的には画像処理を伴う光学
系により基板９の辺および位置決めピン７ｂを検出また
は基板９およびマスク８に予め設けたアライメントマー
クをもとに検出して相対距離を算出しなければならない
という問題を有している。
来の基板位置決め装置においては、治具１ごとに基板位
置決め装置１１を設ける必要があり、基板のサイズが変
更されると治具のサイズも変更され、その都度、基板位
置決め装置を設けなければならず、コストが増大すると
いう問題を有している。また、基板位置決め装置は、位
置決めピン７ａ方向に付き当てるようにしているため、
位置決めピン７ｂ側に対応する基板の辺を高精度で検出
する装置が必要になり、具体的には画像処理を伴う光学
系により基板９の辺および位置決めピン７ｂを検出また
は基板９およびマスク８に予め設けたアライメントマー
クをもとに検出して相対距離を算出しなければならない
という問題を有している。
【０００６】本発明は、上記問題を解決するものであっ
て、高精度な位置検出装置を必要とせず、基板へ過度な
負荷をかけずに精度良く基板の位置決めを行うことがで
きる基板位置決め装置を提供することを目的とする。
て、高精度な位置検出装置を必要とせず、基板へ過度な
負荷をかけずに精度良く基板の位置決めを行うことがで
きる基板位置決め装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そのために本発明の請求
項１記載の基板位置決め装置は、治具１に設けられた位
置決め部材７に基板９を突き当てることにより基板を治
具上に位置決めする基板位置決め装置において、ロボッ
トハンド１６ａに固定されたベースプレート２１と、該
ベースプレートに回転自在に支持された回動プレート２
６と、該回動プレートに対して水平方向に移動可能に装
着された第１の移動プレート３２と、該第１の移動プレ
ートを移動させる第１のエアシリンダ３０と、前記第１
の移動プレート３２の移動方向に対して直角方向に移動
可能に装着された第２の移動プレート３７と、該第２の
移動プレートを移動させる第２のエアシリンダ３５とを
備え、前記第１および第２のエアシリンダ３０、３５に
は、基板９が位置決め部材７に突き当たって負荷が作用
すると、シリンダの押圧力を予め設定された圧力に調整
する調整装置が備えられていることを特徴とし、請求項
２記載の発明は、請求項１において、前記回動プレート
２６の外周端部に装着された回転規制部材２７と、ベー
スプレート２２に固定され、前記回転規制部材の穴２７
ｂに出没可能に配設されるピストン２９ａを有する回動
用エアシリンダ２９を備えたことを特徴とし、請求項３
記載の発明は、請求項１、２において、前記位置決め部
材７は、位置決めピンであり、該位置決めピンにローラ
４２を回動自在に設けたことを特徴とする。なお、上記
構成に付加した番号は、本発明の理解を容易にするため
に図面と対比させるものであり、これにより本発明の構
成が何ら限定されるものではない。
項１記載の基板位置決め装置は、治具１に設けられた位
置決め部材７に基板９を突き当てることにより基板を治
具上に位置決めする基板位置決め装置において、ロボッ
トハンド１６ａに固定されたベースプレート２１と、該
ベースプレートに回転自在に支持された回動プレート２
６と、該回動プレートに対して水平方向に移動可能に装
着された第１の移動プレート３２と、該第１の移動プレ
ートを移動させる第１のエアシリンダ３０と、前記第１
の移動プレート３２の移動方向に対して直角方向に移動
可能に装着された第２の移動プレート３７と、該第２の
移動プレートを移動させる第２のエアシリンダ３５とを
備え、前記第１および第２のエアシリンダ３０、３５に
は、基板９が位置決め部材７に突き当たって負荷が作用
すると、シリンダの押圧力を予め設定された圧力に調整
する調整装置が備えられていることを特徴とし、請求項
２記載の発明は、請求項１において、前記回動プレート
２６の外周端部に装着された回転規制部材２７と、ベー
スプレート２２に固定され、前記回転規制部材の穴２７
ｂに出没可能に配設されるピストン２９ａを有する回動
用エアシリンダ２９を備えたことを特徴とし、請求項３
記載の発明は、請求項１、２において、前記位置決め部
材７は、位置決めピンであり、該位置決めピンにローラ
４２を回動自在に設けたことを特徴とする。なお、上記
構成に付加した番号は、本発明の理解を容易にするため
に図面と対比させるものであり、これにより本発明の構
成が何ら限定されるものではない。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明が適用される成膜
工程を示し、図（Ａ）、図（Ｃ）は側面図、図（Ｂ）は
平面図である。図（Ａ）において、製造ラインの搬送台
車１５上には、２組の治具１、１が縦置き状態で設置さ
れ、図（Ｂ）の位置において、治具１、１が水平状態に
回動され、この状態でロボット１６のハンド１６ａの先
端に装着された基板位置決め装置２０が基板９を保持
し、基板９を治具１、１の位置決めピン（位置決め部
材）７に付き当てるようにしてセットし、基板９を固定
する。その後、治具１、１は再び縦置き状態にされて成
膜装置１７内に搬送される。
に基づいて説明する。図１は、本発明が適用される成膜
工程を示し、図（Ａ）、図（Ｃ）は側面図、図（Ｂ）は
平面図である。図（Ａ）において、製造ラインの搬送台
車１５上には、２組の治具１、１が縦置き状態で設置さ
れ、図（Ｂ）の位置において、治具１、１が水平状態に
回動され、この状態でロボット１６のハンド１６ａの先
端に装着された基板位置決め装置２０が基板９を保持
し、基板９を治具１、１の位置決めピン（位置決め部
材）７に付き当てるようにしてセットし、基板９を固定
する。その後、治具１、１は再び縦置き状態にされて成
膜装置１７内に搬送される。
【０００９】図３および図４は、本発明における前記基
板位置決め装置２０の１実施形態を示し、図３は縦方向
断面図、図４は図３のＸ−Ｘ線に沿う断面図、図６は、
本発明の基板位置決め装置の駆動系を説明するためので
ある。
板位置決め装置２０の１実施形態を示し、図３は縦方向
断面図、図４は図３のＸ−Ｘ線に沿う断面図、図６は、
本発明の基板位置決め装置の駆動系を説明するためので
ある。
【００１０】ロボットハンド１６ａには、ベースプレー
ト２１、２２が固定され、上方のベースプレート２１に
は、リング状の取付部材２３が固定され、取付部材２３
の中央部に支持部材２４がベアリング２５を介して回転
自在に支持され、支持部材２４の下面に回動プレート２
６が固定されている。図３に示すように、回動プレート
２６のロボットアーム１６ａ側外周端部には、テーパー
部２７ａを有する回転規制穴２７ｂが形成された回転規
制部材２７が装着されている。下方のベースプレート２
２には、回転規制穴２７ｂに対向するように回動用エア
シリンダ２９が固定され、エアシリンダ２９のピストン
２９ａの径は回転規制穴２７ｂの径より僅かに細く、ま
た先端は円錐形状にされ、ピストン２９ａは回転規制穴
２７ｂ内に出没可能に配設されている。これにより、ピ
ストン２９ａが回転規制穴２７ｂに挿入されると回動プ
レート２６を所定位置まで回動させて停止させるが、ピ
ストン２９ａの先端が回転規制穴２７ｂに僅かに入った
位置で停止させると、回動プレート２６を２〜３°の範
囲で回転可能にしている。
ト２１、２２が固定され、上方のベースプレート２１に
は、リング状の取付部材２３が固定され、取付部材２３
の中央部に支持部材２４がベアリング２５を介して回転
自在に支持され、支持部材２４の下面に回動プレート２
６が固定されている。図３に示すように、回動プレート
２６のロボットアーム１６ａ側外周端部には、テーパー
部２７ａを有する回転規制穴２７ｂが形成された回転規
制部材２７が装着されている。下方のベースプレート２
２には、回転規制穴２７ｂに対向するように回動用エア
シリンダ２９が固定され、エアシリンダ２９のピストン
２９ａの径は回転規制穴２７ｂの径より僅かに細く、ま
た先端は円錐形状にされ、ピストン２９ａは回転規制穴
２７ｂ内に出没可能に配設されている。これにより、ピ
ストン２９ａが回転規制穴２７ｂに挿入されると回動プ
レート２６を所定位置まで回動させて停止させるが、ピ
ストン２９ａの先端が回転規制穴２７ｂに僅かに入った
位置で停止させると、回動プレート２６を２〜３°の範
囲で回転可能にしている。
【００１１】図４に示すように、回動プレート２６の下
面には、水平移動用の第１のエアシリンダ３０が固定さ
れ、エアシリンダ３０のピストン３０ａに連結部材３１
を介して第１の移動プレート３２が固定されている。図
３に示すように、回動プレート２６の下面には、一対の
レール３３が固定され、また、第１の移動プレート３２
の上面には前記レール３３に嵌合されるレールガイド３
４が固定されている。さらに、第１の移動プレート３２
の下面には、水平移動用の第２のエアシリンダ３５が固
定され、エアシリンダ３５のピストン３５ａに連結部材
３６を介して第２の移動プレート３７が固定されてい
る。図４に示すように、第１の移動プレート３２の下面
には、一対のレールガイド３９が固定され、また、第２
の移動プレート３７の上面には前記レールガイド３９に
嵌合されるレール４０が固定されている。
面には、水平移動用の第１のエアシリンダ３０が固定さ
れ、エアシリンダ３０のピストン３０ａに連結部材３１
を介して第１の移動プレート３２が固定されている。図
３に示すように、回動プレート２６の下面には、一対の
レール３３が固定され、また、第１の移動プレート３２
の上面には前記レール３３に嵌合されるレールガイド３
４が固定されている。さらに、第１の移動プレート３２
の下面には、水平移動用の第２のエアシリンダ３５が固
定され、エアシリンダ３５のピストン３５ａに連結部材
３６を介して第２の移動プレート３７が固定されてい
る。図４に示すように、第１の移動プレート３２の下面
には、一対のレールガイド３９が固定され、また、第２
の移動プレート３７の上面には前記レールガイド３９に
嵌合されるレール４０が固定されている。
【００１２】前記第１および第２のエアシリンダ３０、
３５並びにレール３３、４０は、それぞれ互いに直交す
る方向に配置され、これにより第１の移動プレート３２
と第２の移動プレート３７は、第１および第２のエアシ
リンダ３０、３５により互いに直交する方向に水平移動
される構造になっている。第２の移動プレート３７には
基板９を吸着保持するための４つの吸着パッド４１が配
設され、吸着パッド４１の接続口４１ａには真空吸引ホ
ース（図示せず）が接続される。第１および第２のエア
シリンダ３０、３５には、基板９が位置決めピン７（図
１）に突き当たって負荷が作用すると、シリンダの押圧
力を自動的に弱め、予め設定された圧力に調整する調整
装置が備えられている。
３５並びにレール３３、４０は、それぞれ互いに直交す
る方向に配置され、これにより第１の移動プレート３２
と第２の移動プレート３７は、第１および第２のエアシ
リンダ３０、３５により互いに直交する方向に水平移動
される構造になっている。第２の移動プレート３７には
基板９を吸着保持するための４つの吸着パッド４１が配
設され、吸着パッド４１の接続口４１ａには真空吸引ホ
ース（図示せず）が接続される。第１および第２のエア
シリンダ３０、３５には、基板９が位置決めピン７（図
１）に突き当たって負荷が作用すると、シリンダの押圧
力を自動的に弱め、予め設定された圧力に調整する調整
装置が備えられている。
【００１３】図６は、エアシリンダの調整装置５０を示
すエア圧回路図である。なお、ここではエアシリンダ３
０について説明するが、エアシリンダ３５についても同
様である。エアシリンダ３０の内部は、ピストン３０ａ
により圧力室５１、５２が区画形成されており、圧力室
５１、５２は、それぞれ、速度調節器５３を介してソレ
ノイド弁５５に選択的に接続され、ソレノイド弁５５
は、圧力計付の圧力調整弁５６を介して制御用エアと排
気ＥＸに選択的に接続されている。この構成によりエア
シリンダ３０の左右の圧力室５１、５２は、圧力調整弁
５６により予め設定された圧力となるように制御可能に
なっている。
すエア圧回路図である。なお、ここではエアシリンダ３
０について説明するが、エアシリンダ３５についても同
様である。エアシリンダ３０の内部は、ピストン３０ａ
により圧力室５１、５２が区画形成されており、圧力室
５１、５２は、それぞれ、速度調節器５３を介してソレ
ノイド弁５５に選択的に接続され、ソレノイド弁５５
は、圧力計付の圧力調整弁５６を介して制御用エアと排
気ＥＸに選択的に接続されている。この構成によりエア
シリンダ３０の左右の圧力室５１、５２は、圧力調整弁
５６により予め設定された圧力となるように制御可能に
なっている。
【００１４】上記構成からなる本発明の作用を、図２お
よび図６をも参照して説明する。図１（Ｂ）において、
基板位置決め装置２０が基板９を吸着パッド４１により
保持すると、ロボットハンド１６ａは、基板９を図２
（Ａ）に示すＰ１位置（この位置は予めロボットに教示
した座標である）まで搬送する。このとき、ソレノイド
弁５５を図６で右（Ｒ）方向に切り換えられ、エアシリ
ンダ３０（および３５）は予め設定された圧力に制御さ
れている。次に、ロボットハンド１６ａにより位置決め
ピン７を越えるＰ２位置を目指して矢印Ｙ方向に基板９
を移動を開始させる。基板９が位置決めピン７に突き当
たって負荷が作用すると、エアシリンダのピストンに反
力（負荷）が作用するが、圧力調整弁５６によってエア
シリンダ３０、３５は圧力制御されており、過大な負荷
を加えることなく、所定のＰ３位置にセットされること
になる。このとき、回動用エアシリンダ２９を動作さ
せ、ピストン２９ａを回転規制穴２７ｂに挿入させるこ
とにより基板９を回動させ、基板９と位置決めピン７と
の間の隙間Ｋ（回転誤差）をなくし、基板９の正確な位
置決めを行うことができる。なお、基板９は吸着パッド
４１の吸着が解除されることにより解放される。
よび図６をも参照して説明する。図１（Ｂ）において、
基板位置決め装置２０が基板９を吸着パッド４１により
保持すると、ロボットハンド１６ａは、基板９を図２
（Ａ）に示すＰ１位置（この位置は予めロボットに教示
した座標である）まで搬送する。このとき、ソレノイド
弁５５を図６で右（Ｒ）方向に切り換えられ、エアシリ
ンダ３０（および３５）は予め設定された圧力に制御さ
れている。次に、ロボットハンド１６ａにより位置決め
ピン７を越えるＰ２位置を目指して矢印Ｙ方向に基板９
を移動を開始させる。基板９が位置決めピン７に突き当
たって負荷が作用すると、エアシリンダのピストンに反
力（負荷）が作用するが、圧力調整弁５６によってエア
シリンダ３０、３５は圧力制御されており、過大な負荷
を加えることなく、所定のＰ３位置にセットされること
になる。このとき、回動用エアシリンダ２９を動作さ
せ、ピストン２９ａを回転規制穴２７ｂに挿入させるこ
とにより基板９を回動させ、基板９と位置決めピン７と
の間の隙間Ｋ（回転誤差）をなくし、基板９の正確な位
置決めを行うことができる。なお、基板９は吸着パッド
４１の吸着が解除されることにより解放される。
【００１５】図５は、本発明の変形例を示す断面図であ
る。本例においては、位置決めピン７にベアリングで回
転するローラ４２を設けている。これにより、基板が位
置決めピン７に突き当たる際に生じる剪断抵抗をころが
り抵抗に変えることができ、基板に作用する負荷をさら
に軽減させることができる。
る。本例においては、位置決めピン７にベアリングで回
転するローラ４２を設けている。これにより、基板が位
置決めピン７に突き当たる際に生じる剪断抵抗をころが
り抵抗に変えることができ、基板に作用する負荷をさら
に軽減させることができる。
【００１６】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明はこれに限定されるものではなく種々の変
更が可能である。例えば、上記実施形態においては、基
板９を位置決めピン７に突き当てるようにしているが、
ブロック等の位置決め部材であってもよい。
たが、本発明はこれに限定されるものではなく種々の変
更が可能である。例えば、上記実施形態においては、基
板９を位置決めピン７に突き当てるようにしているが、
ブロック等の位置決め部材であってもよい。
【００１７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、高精度な位置検出装置を必要とせず、基板へ過
度な負荷をかけずに精度良く基板の位置決めを行うこと
ができる。
よれば、高精度な位置検出装置を必要とせず、基板へ過
度な負荷をかけずに精度良く基板の位置決めを行うこと
ができる。
【図１】本発明が適用される成膜工程を示し、図
（Ａ）、図（Ｃ）は側面図、図（Ｂ）は平面図である。
（Ａ）、図（Ｃ）は側面図、図（Ｂ）は平面図である。
【図２】本発明の作用を説明するための図である。
【図３】本発明における基板位置決め装置の１実施形態
を示す縦方向断面図である。
を示す縦方向断面図である。
【図４】図３のＸ−Ｘ線に沿う断面図である。
【図５】本発明の変形例を示す断面図である。
【図６】本発明に係わるエアシリンダの調整装置を示す
エア圧回路図である。
エア圧回路図である。
【図７】従来の基板位置決め装置の例を示し、図（Ａ）
は全体斜視図、図（Ｂ）および図（Ｃ）は作用を説明す
るための模式図である。
は全体斜視図、図（Ｂ）および図（Ｃ）は作用を説明す
るための模式図である。
１…治具 ７…位置決め部材 ９…基板 １６ａ…ロボットハンド ２１…ベースプレート ２６…回動プレート ２７…回転規制部材 ２９…回動用エアシリンダ ３０…第１のエアシリンダ ３２…第１の移動プレート ３５…第２のエアシリンダ ３７…第２の移動プレート ４２…ローラ ５０…調整装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C016 AA01 CA04 CB03 CC01 CE05 HA13 3C030 BB01 BC02 BC16 BC31 4K029 CA05 JA05 JA06
Claims (3)
- 【請求項１】治具に設けられた位置決め部材に基板を突
き当てることにより基板を治具上に位置決めする基板位
置決め装置において、 ロボットハンドに固定されたベースプレートと、該ベー
スプレートに回転自在に支持された回動プレートと、該
回動プレートに対して水平方向に移動可能に装着された
第１の移動プレートと、該第１の移動プレートを移動さ
せる第１のエアシリンダと、前記第１の移動プレートの
移動方向に対して直角方向に移動可能に装着された第２
の移動プレートと、該第２の移動プレートを移動させる
第２のエアシリンダとを備え、前記第１および第２のエ
アシリンダには、基板が位置決め部材に突き当たって負
荷が作用すると、シリンダの押圧力を予め設定された圧
力に調整する調整装置が備えられていることを特徴とす
る基板位置決め装置。 - 【請求項２】前記回動プレートの外周端部に装着された
回転規制部材と、ベースプレートに固定され、前記回転
規制部材の穴に出没可能に配設されるピストンを有する
回動用エアシリンダを備えたことを特徴とする請求項１
記載の基板位置決め装置。 - 【請求項３】前記位置決め部材は、位置決めピンであ
り、該位置決めピンにローラを回動自在に設けたことを
特徴とする請求項１または２記載の基板位置決め装置。
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|---|---|---|---|
| JP33818399A JP4330052B2 (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 基板位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33818399A JP4330052B2 (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 基板位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001157931A true JP2001157931A (ja) | 2001-06-12 |
| JP4330052B2 JP4330052B2 (ja) | 2009-09-09 |
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ID=18315716
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33818399A Expired - Fee Related JP4330052B2 (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 基板位置決め装置 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP4330052B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006341340A (ja) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Fujitsu Ltd | クランプ装置 |
| CN107900748A (zh) * | 2017-12-18 | 2018-04-13 | 无锡优耐特能源科技有限公司 | 一种限位装置 |
| JP2020193066A (ja) * | 2019-05-28 | 2020-12-03 | 株式会社メイキコウ | 物品の積み込み装置 |
| CN112059591A (zh) * | 2020-08-24 | 2020-12-11 | 上海广野金属有限公司 | 一种防漏装刀盘轴套组装机 |
-
1999
- 1999-11-29 JP JP33818399A patent/JP4330052B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP7341727B2 (ja) | 2019-05-28 | 2023-09-11 | 株式会社メイキコウ | 物品の積み込み装置 |
| CN112059591A (zh) * | 2020-08-24 | 2020-12-11 | 上海广野金属有限公司 | 一种防漏装刀盘轴套组装机 |
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| JP4330052B2 (ja) | 2009-09-09 |
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