JP4297305B2 - 基板位置決め装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、カラーフィルタ等の製造において、セラミックスやガラス等からなる基板上に高精度パターンを形成するために、治具上に基板を位置決めする基板位置決め装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、カラーフィルタの透明電極層を形成する工程では、スパッタ法が量産化の点で有利であり、自動化ラインにおいては、治具に対して基板とマスクを所定位置に固定し、数10個程度の治具をスパッタ装置内に搬送しスパッタを行っている。従来、基板を治具に位置決めする場合、ロボットにより基板を吸着保持し、基板の基準となる辺を画像処理等により検出し、ロボットにより基板を治具上のおおよその位置にセットし、次いで、ロボットの水平移動により最終的な位置決めを行うようにしているが、基板の基準となる辺を高精度で検出するための装置が必要となり、また、基準辺の検出誤差やロボットの移動精度による誤差が累積され、位置精度を低下させていた。そのため、最終位置に予め設置された位置決めピンまたはブロックに付き当てるようにして位置決めを行う方式もとられているが、基板に負荷を加えることになり、基板を破損させてしまうという問題を有している。
【0003】
この問題を解決するための基板位置決め装置が特開平6−88205号により提案されている。これを図6により説明する。
【0004】
図(A)において、製造ラインの搬送装置上の所定位置には治具1が配置され、治具1の主プレート2上に位置決めピン7a、7bが設けられ、この位置決めピン7a、7bにマスク8に設けられた穴8cを通すことによってマスク8が位置決めセットされている。副プレート5は、主プレート2との間にマスク8と基板9を挟持するための部材であり、開かれた状態で待機している。このとき、基板位置決め装置11の作動ピン12は、図示しない外部装置の昇降ロッド13により押されており、図(B)に示すように、作動ピン12は装着穴6内に収納されるとともに、位置決めヘッド14が基板9の固定位置から離れて傾斜状態に保持される。この状態で、図示しないロボットの把持装置により、基板9がマスク8上に載置される。次に、図(C)に示すように、昇降ロッド13を作動ピン12より解除すると、スプリングの付勢力により、作動ピン12は主プレート2の底面から突出し、位置決めヘッド14は基板9を位置決めピン7aに付き当てることにより、基板9は所定位置に位置決めされる。なお、基板9には、例えば、2つのカラーパターン10a、10bが形成されており、マスク8にはカラーパターン10a、10bに対向するように開口部8a、8bが形成されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の基板位置決め装置においては、治具1ごとに基板位置決め装置11を設ける必要があり、基板のサイズが変更されると治具のサイズも変更され、その都度、基板位置決め装置を設けなければならず、コストが増大するという問題を有している。また、基板位置決め装置は、位置決めピン7a方向に付き当てるようにしているため、位置決めピン7b側に対応する基板の辺を高精度で検出する装置が必要になり、具体的には画像処理を伴う光学系により基板9の辺および位置決めピン7bを検出または基板9およびマスク8に予め設けたアライメントマークをもとに検出して相対距離を算出しなければならないという問題を有している。
【0006】
本発明は、上記問題を解決するものであって、高精度な位置検出装置を必要とせず、基板へ過度な負荷をかけずに精度良く基板の位置決めを行うことができる基板位置決め装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
そのために本発明の請求項1記載の基板位置決め装置は、治具1に設けられた位置決め部材7に基板9を突き当てることにより基板を治具上に位置決めする基板位置決め装置において、ロボットハンド16aに固定されたベースプレート21と、該ベースプレート21の各辺に対向する位置に固定された基板把持用のエアシリンダ22と、各エアシリンダに連結された基板把持部材24とを備え、前記エアシリンダ22には、基板9が位置決め部材7に突き当たって負荷が作用すると、シリンダの押圧力を予め設定された圧力に調整する調整装置が備えられていることを特徴とし、
請求項2記載の発明は、請求項1において、前記ベースプレート21の各辺に対向する位置に2つのエアシリンダ22を配設したことを特徴とし、
請求項3記載の発明は、請求項1、2において、前記ベースプレート21に配設された基板固定板5把持用のエアシリンダ25と、該エアシリンダに連結された固定板保持部材27とを備え、基板9の位置決め後、基板固定板5を治具1に係止させることを特徴とし、
請求項4記載の発明は、請求項1〜3において、前記位置決め部材は、位置決めピンであり、該位置決めピンにローラ29を回動自在に設けたことを特徴とする。なお、上記構成に付加した番号は、本発明の理解を容易にするために図面と対比させるものであり、これにより本発明の構成が何ら限定されるものではない。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は、本発明が適用される成膜工程を示し、図(A)、図(B)は側面図、図(C)は組立状態を示す断面図である。図(A)において、製造ラインの搬送台車15上には、治具1が縦置き状態で設置、搬送され、所定の位置でロボット16のハンド16aの先端に装着された基板位置決め装置20が基板9および基板固定板5を保持し、基板9を治具1の位置決めピン(位置決め部材)7に付き当てるようにしてセットし、さらに、基板固定板5を治具1に固定する。なお、このロボット16は3軸以上の多関節からなりその先端部にロボットハンド16aが装着されている。その後、治具1は、図(B)に示す成膜装置17内に搬送される。図(C)において、基板保持板2の開口部2aの周囲には磁石2bが配設されており、これによりマスク8が着脱自在に保持され、また、複数の磁石5aが内蔵された基板固定板5の周囲には係止ピン5bが設けられ、係止ピン5bにより基板保持板2に着脱自在に係止され、磁石5aにより基板9とマスク8が密着するようにされている。なお、この基板固定板5は板状であっても格子状であってもよく、またこれらに限定されるものではない。
【0009】
図2は、本発明における前記基板位置決め装置20の1実施形態を示し、図(A)は模式図、図(B)は図(A)のX方向から見た図である。
【0010】
ロボットハンド16aには、矩形状のベースプレート21が固定され、ベースプレート21の前面には、各辺に対向する位置に2つづつ合計8つの基板把持用のエアシリンダ22が固定されている。各エアシリンダ22のピストン(ピストンロッド)22aには、連結部材23を介して基板把持部材24が連結され、基板把持部材の先端には二股状の把持爪24aが形成されている。これにより、ベースプレート21の各辺から8つの基板把持部材24が延設された構成になっている。前記エアシリンダ22は、基板9が位置決めピン7(図1)に突き当たって負荷が作用すると、シリンダの押圧力を予め設定された圧力に調整する調整機構が備えられている。
【0011】
また、ベースプレート21の前面中央部には、基板固定板5(図1)把持用のエアシリンダ25が固定されている。エアシリンダ25のピストン25aには連結部材26を介して、ベースプレート21の前方に十字状に配設された固定板保持部材27が連結され、固定板保持部材27の先端には、基板固定板5を吸着保持するための8つの吸着パッド27aが配設され、吸着パッド27aには真空吸引ホース(図示せず)が接続される。
【0012】
図3は、上記各エアシリンダ22の調整装置50を示すエア圧回路図である。なお、図3は、図2(B)に示すようにエアシリンダ22のピストン軸22aが同一線上にあるエアシリンダ22X、22Yのエア圧回路を示している。エアシリンダ22X、22Yの内部には、ピストン22aにより圧力室51、52が区画形成されており、圧力室51、52は、それぞれ、速度調節器53を介してソレノイド弁55、56に選択的に接続され、一方のソレノイド弁55は、圧力調整弁57を介して制御用エアと排気EXに選択的に接続され、他方のソレノイド弁56は、直接、制御用エアと排気EXに選択的に接続されている。この構成により一方のエアシリンダ22Xの左右の圧力室51、52は、圧力調整弁57により予め設定された圧力となるように制御され、基板把持部材24および把持爪24aは自由度Lを確保するように調整されているため、エアシリンダ22Yの閉端を基準に基板9が把持されるようにされている。
【0013】
上記構成からなる本発明の作用を図4をも参照して説明する。図1(A)において、基板位置決め装置20が基板9を把持爪24aにより保持し、基板固定板5を吸着パッド27aにより保持すると、ロボットハンド16aは、基板9を図4(A)に示すP1位置(この位置は予めロボットに教示した座標である。)まで搬送する。次に、ロボットハンド16aにより、位置決めピン7を越えるP2位置を目標にして矢印Y方向に基板の移動を開始させる。基板9が位置決めピン7に突き当たって負荷が作用すると、位置決めピン7により受ける反力は、エア圧(例えば5kgf/cm2)と圧力調整弁57の設定圧(例えば2kgf/cm2)の差圧3kgf/cm2分を越えることなく、自由度Lの範囲で動作が可能である。そして、自由度Lの範囲内である所定のP3位置に基板9がセットされることになる。このとき、基板9の各辺は2つのエアシリンダ22により押されるため、図4(B)に示すように、基板9と位置決めピン7との間の隙間K(回転誤差)をなくし、基板9の正確な位置決めを行うことができる。基板9の位置決めが終了すると、エアシリンダ25が動作させ、基板固定板5を図1(C)に示すように、係止ピン5bにより基板保持板2に係止し、その後、ソレノイド弁55,56を切り換えると、エアシリンダ22X、22Yのピストンは開端に移動し、基板9を解放する。
【0014】
なお、基板9にかかる負荷は、シリンダ内径の選定および制御用エアの圧力と圧力調整弁を介した圧力に依存するが、上記の圧力に限定されるものではない。また、ロボットハンド16aによる基板9の搬送時の加減速に対する安定性を増すため、エアシリンダ22Xに供給される圧力を圧力調整弁57を介さないバイパス回路を追加してもい。
【0015】
図5は、本発明の変形例を示す断面図である。本例においては、位置決めピン7にベアリングで回転するローラ29を設けている。これにより、基板が位置決めピン7に突き当たる際に生じる剪断抵抗をころがり抵抗に変えることができ、基板に作用する負荷をさらに軽減させることができる。
【0016】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく種々の変更が可能である。例えば、上記実施形態においては、基板9を位置決めピン7に突き当てるようにしているが、ブロック等の位置決め部材でよい。また、上記実施形態においては、各辺に2つのエアシリンダ22を配設しているが、各辺の2つの基板把持部材24を1つのエアシリンダ22により移動させるようにしてもよい。
【0017】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明によれば、高精度な位置検出装置を必要とせず、基板へ過度な負荷をかけずに精度良く基板の位置決めを行うことができる。また、把持爪により移動する方式を採用するため、治具を縦置きにした状態で位置決めすることができ、製造ラインの幅をコンパクトにすることができるとともに、処理時間を短縮することができる。さらに、基板の位置決めだけではなく、基板固定板をも自動的にセットすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明が適用される成膜工程を示し、図(A)、図(B)は側面図、図(C)は組立状態を示す断面図である。
【図2】本発明における前記基板位置決め装置20の1実施形態を示し、図(A)は模式図、図(B)は図(A)のX方向から見た図である。
【図3】本発明に係わるエアシリンダの調整装置を示すエア圧回路図である。
【図4】本発明の作用を説明するための図である。
【図5】本発明の変形例を示す断面図である。
【図6】従来の基板位置決め装置の例を示し、図(A)は全体斜視図、図(B)および図(C)は作用を説明するための模式図である。
【符号の説明】
1…治具
5…基板固定板
7…位置決め部材
9…基板
16a…ロボットハンド
21…ベースプレート
22…基板把持用エアシリンダ
24…基板把持部材
25…基板固定板把持用エアシリンダ
27…固定板保持部材
29…ローラ
Claims (4)
- 治具に設けられた位置決め部材に基板を突き当てることにより基板を治具上に位置決めする基板位置決め装置において、ロボットハンドに固定されたベースプレートと、該ベースプレートの各辺に対向する位置に固定された基板把持用のエアシリンダと、各エアシリンダに連結された基板把持部材とを備え、前記エアシリンダには、基板が位置決め部材に突き当たって負荷が作用すると、シリンダの押圧力を予め設定された圧力に調整する調整装置が備えられていることを特徴とする基板位置決め装置。
- 前記ベースプレートの各辺に対向する位置に2つのエアシリンダを配設したことを特徴とする請求項1記載の基板位置決め装置。
- 前記ベースプレートに配設された基板固定板把持用のエアシリンダと、該エアシリンダに連結された固定板保持部材とを備え、基板の位置決め後、基板固定板を治具に係止させることを特徴とする請求項1または2記載の基板位置決め装置。
- 前記位置決め部材は、位置決めピンであり、該位置決めピンにローラを回動自在に設けたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の基板位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33818499A JP4297305B2 (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 基板位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33818499A JP4297305B2 (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 基板位置決め装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001156155A JP2001156155A (ja) | 2001-06-08 |
JP4297305B2 true JP4297305B2 (ja) | 2009-07-15 |
Family
ID=18315724
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33818499A Expired - Fee Related JP4297305B2 (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | 基板位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4297305B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100358820C (zh) * | 2005-12-02 | 2008-01-02 | 友达光电股份有限公司 | 基板校正装置 |
JP4998805B2 (ja) * | 2006-07-21 | 2012-08-15 | 旭硝子株式会社 | 板状体の収納方法及び収納装置 |
EP3135490B1 (en) * | 2008-01-18 | 2018-08-22 | Rockwell Collins, Inc. | Substrate lamination apparatus |
CN104108605B (zh) * | 2014-07-08 | 2016-08-17 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种玻璃基板的取放装置 |
-
1999
- 1999-11-29 JP JP33818499A patent/JP4297305B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001156155A (ja) | 2001-06-08 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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