JPH0614474Y2

JPH0614474Y2 - 露光装置における被露光部材保持装置

Info

Publication number: JPH0614474Y2
Application number: JP1987132634U
Authority: JP
Inventors: 秀昭小柳
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 1987-08-31
Filing date: 1987-08-31
Publication date: 1994-04-13
Anticipated expiration: 2002-08-31
Also published as: JPS6437044U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この考案は、ウェハ，シャドウマスク等の被露光部材の
露光面に所定パターンを露光する露光装置の被露光部材
保持装置、特に被露光部材の吸着範囲を任意に設定可能
な汎用性がある被露光部材保持装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体集積回路、シャドウマスクの製造工程において
は、フォトレジストを塗布したウェハ等の被露光部材に
所定のパターンを露光して焼付ける露光装置が用いられ
ている。この露光装置は、半導体集積回路、シャドウマ
スクの高密度化に伴い、0.1ミクロンオーダの高精度位
置決めが要求されるようになってきている。

このような高精度の位置決めを行うには、単に載置台を
送りねじで移動させる従来から公知の移動テーブル装置
では困難である。このため、送りねじによって移動され
るテーブルを粗動テーブルとして用い、この粗動テーブ
ル上に微小移動可能に支持された微動台を設け、この微
動台の絶対位置をレーザ測長機によって測定し、粗動テ
ーブルの動きの誤差を微動台を微小変位させて補正し、
精密な位置決めを行うようにすることが提案されてい
る。

そして、露光装置としては、縮小投影式の露光装置が一
般に採用されている。この縮小投影式の露光装置は、ウ
ェハ等の被露光部材に小さなパターンを１つづつ順に焼
付けて行く所謂ステップアンドリピート式となっている
ので、ウェハ等の被露光部材の受光面の平行度を高精度
に維持する必要があり、従ってウェハ等の被露光部材を
載置する載置テーブルの上面の平行度も高精度に維持す
る必要がある。

しかも、ウェハ，シャドウマスク等の被露光部材は表面
を損傷することなく吸着保持する必要があることから、
これらの保持装置として真空吸着チャックが採用されて
いる。

ところで、一般に縮小投影露光装置は、ウェハ，シャド
ウマスク等の生産ラインに組み込まれており、通常は１
種類のサイズのウェハ，シャドウマスク等を連続的に生
産するため、従来の縮小投影露光装置の被露光部材保持
装置としては、その真空吸着領域を可変する必要性がな
いことから真空吸着領域が固定されているのが実情であ
る。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記従来の被露光部材保持装置にあって
は、１種類のサイズの被露光部材を吸着保持する専用の
被露光部材保持装置としては、何ら問題がないが、縮小
投影露光装置を試作実験用の多用途機として使用する場
合には、種々のサイズ（例えばウェハでは２〜８イン
チ、シャドウマスクでは１７×１７インチ、２０×１８
インチ）の被露光部材に露光を行う関係で、これらの異
なるサイズの被露光部材に応じた吸着領域を有する複数
の真空吸着チャックを用意し、これらを被露光部材のサ
イズに応じて適宜選択して縮小投影露光装置の載置テー
ブルに載置する必要があり、真空吸着チャックの脱着に
手間が掛かると共に、真空吸着チャックの保管スペース
も必要となるうえ、その管理が面倒である等の問題点が
あった。

そこで、この考案は、上記従来例の問題点に着目してな
されたものであり、真空吸着領域を任意に変化させるこ
とが可能な露光装置における被露光部材保持装置を提供
することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、この考案は、被露光部材の
露光面に所定パターンを露光する露光装置の載置テーブ
ルに、気体吸引手段に接続されるウェハ等の被露光部材
を吸着保持するチャックを配設した被露光部材保持装置
において、前記チャックは、内部に形成された前記気体
吸引手段に連通する吸引通路と、該吸引通路に個別に連
通されて上面に互いに独立して開口し、且つ前記載置テ
ーブルの中心から外方に向けて連接形成された複数の吸
着溝を有する複数の突条を備え、該突条の各吸着溝と前
記気体吸引手段との間に前記被露光部材の吸着面の面積
に応じて外部操作可能な複数の開閉弁を設けたことを特
徴としている。

〔作用〕

この考案においては、ウェハ，シャドウマスク等の被露
光部材を吸着保持するチャックに設けた突条の複数の吸
着溝と、これらと突条内を通じて連通する気体吸引手段
との間に介挿した開閉弁を閉状態とすることにより、こ
の閉状態とした開閉弁より気体吸引手段側とは反対側の
吸着溝を空気吸引手段から遮断する。したがって、閉状
態とする開閉弁を適宜選択することにより、被露光部材
の吸着領域を任意に変更することができる。

〔実施例〕

以下、この考案の実施例を図面に基づいて説明する。

まず、この考案を適用し得る縮小投影露光装置の概要を
第１４図について説明する。

図中、１０１は縮小投影露光装置であって、ウェハ，シ
ャドウマスク等の被露光部材１０２を載置するステージ
１０３と、その上面に対向して固定配置された縮小レン
ズ１０４と、その上方位置に配置されたレチクル１０５
を載置するレチクル載置台１０６と、その上方位置に配
置された光源部１０７とを有しており、光源部１０７か
らの露光光線がレチクル１０５及び縮小レンズ１０４を
介して移動テーブル装置としてのＸＹＺステージ１０３
上の被露光部材１０２に照射され、レチクル１０５に形
成された回路パターンを被露光部材１０２上に縮小投影
露光する。

ＸＹＺステージ１０３は、ＸＹＺ軸の３軸方向に移動可
能に構成され、Ｚ軸方向に移動させることにより焦点調
整を行う。

縮小レンズ１０４を保持する筒体１０８の被露光部材１
０２に対向する下端部には、露光光線を透過する透孔１
０９と，その周囲に等角間隔で４つの空気吹き出しノズ
ル１１０が形成されている。各ノズル１１０は、共通の
空気供給源１１１に絞り１１２を介して接続されている
と共に、共通の差圧変換器１１３の一方の入力側に接続
されている。差圧変換変換器１１３の他方の入力側は、
絞り１１４を介して前記空気供給源１１１に接続されて
いると共に、大気に連通されている。これらノズル１１
０，空気供給源１１１，絞り１１２，１１４及び差圧変
換器１１３で空気マイクロメータ１１５が構成されてい
る。

そして、差圧変換器１１３の検出信号が焦点調整制御装
置１１６に供給され、この制御装置１１６で目標値設定
器１１６ａで予め設定した所定の目標値と比較してその
差値である偏差信号が増幅器等で構成される駆動回路１
１６ｂに供給され、これにより、モータ等のアクチュエ
ータ１１７を作動させる駆動出力を形成し、これをＸＹ
Ｚステージ１０３のＺ軸駆動機構に供給してこれを駆動
し、ノズル１１０と被露光部材１０２との間の間隔を適
正値に調節する。

前記ＸＹＺステージ１０３の具体例は、第１図〜第８図
に示すように構成されている。

すなわち、１は方形の基台であって、送りねじ等の送り
機構によってＸＹ方向に高速移動される粗動テーブル２
に固着されている。

基台１の中心部には、第４図，第５図及び第７図に示す
ように、上端面を閉塞した円筒体３が固着され、この円
筒体３の上面が平坦な制振面３ａとされている。

また、基台１の円筒体３を挟む左右両側に傾斜案内部と
しての傾斜案内レール４Ｌ，４Ｒが平行に固着されてい
る。これら傾斜案内レール４Ｌ，４Ｒの夫々は、前端部
から後端部に向かうに従って順次高さが高くなるように
後ろ上がりに傾斜されている。

各傾斜案内レール４Ｌ，４Ｒには、方形枠状の斜面スラ
イダ５が前後方向に摺動自在に係合されている。斜面ス
ライダ５は、第５図及び第６図に示すように、４隅とそ
れらの前後方向の中間部との下面に夫々傾斜案内レール
４Ｌ，４Ｒと平行な傾斜取付面６が形成され、これら傾
斜取付面６に傾斜案内レール４Ｌ，４Ｒと係合するリニ
アボールベアリング７ａ〜７ｆが上面側に形成されたボ
ルト穴８内にボルト９を挿入して締結することにより、
固着されている。ここで、リニアボールベアリング７ａ
〜７ｆは、詳細説明はこれを省略するが、第９図に拡大
図示するように、上面板部１０とその両側部から下方に
延長する袖部１１と、これら袖部１１の傾斜案内レール
４Ｌ，４Ｒの左右側壁に軸方向に延長して形成された転
動溝１２と対向する位置に形成された転動溝１３と、こ
れら転動溝１３に連通して袖部１１内に形成された循環
路１４とを備え、転動溝１２及び１３で形成される転動
路及び循環路１４内に多数のボール、ローラ等の転動体
１５が保持器１６で保持されて転動自在に挿入されてい
る。

一方、斜面スライダ５の４隅の上面には、上面が同一水
平面内となるように載置板１７ａ〜１７ｄがボルト締め
等の固着手段によって固着され、これら載置板１７ａ〜
１７ｄの上面に前後方向に延長する長円形の平坦面１８
が形成され、これら平坦面１８に保持器１９によって整
列保持された転動体としての多数のボール２０が載置さ
れている。保持器１９は、第１０図に拡大図示するよう
に、ボール２０を挿通する多数の透孔１９ａを穿設した
平板部１９ｂと、その下面外周面に形成された周鍔１９
ｃとで断面コ字状に形成され、周鍔１９ｃの下面に４つ
のボール１９ｄが等間隔で配置され、これによって保持
器１９と平坦面１８との間の摩擦抵抗をより小さくする
と共に、周鍔１９ｃと平坦面１８との間の齧りを防止し
ている。

そして、斜面スライダ５が直線駆動機構２０によって案
内レール４Ｌ，４Ｒに沿って斜動される。この直線駆動
機構２０は、第７図に示すように、回転軸２１ａを案内
レール４Ｌ，４Ｒと平行になるように傾斜させて基台１
に固着されたステッピングモータ２１と、その回転軸２
１ａにカップリング２２を介して連結されたボールねじ
２３と、このボールねじ２３に螺合し、且つ斜面スライ
ダ５の後端側の中央下面に取付けられたボールナット２
４とによって構成されている。

一方、斜面スライダ５のボール２０の上面側に、被露光
部材１０２を吸着保持する載置台２６が載置されてい
る。この載置台２６は、第２図〜第４図に示すように、
上面に被露光部材１０２を吸着保持する被露光部材保持
装置２７が形成されていると共に、下面の斜面スライダ
５のボール２０に対向する４個所に突出部２８ａ〜２８
ｄが形成され、これら突出部２８ａ〜２８ｄに、第６図
及び第８図に示す下面が平坦面に形成された間座２９ａ
〜２９ｄがボルト等の固着手段で固着され、これら座間
２９ａ〜２９ｄが斜面スライダ５にボール２０を介して
載置されている。

被露光部材保持装置２７は、載置台２６の上面に載置台
中心から外方に向け放射上に形成されたチャック載置座
２７ａと、これらチャック載置座２７ａに対応する位置
に透孔２７ｂが穿設され、載置台２６上にビス止めされ
たチャック位置決め板２７ｃと、このチャック位置決め
板２７ｃの透孔２７ｂ内に吸着保持された突条としての
長尺のチャック本体２７ｄ_１〜２７ｄ_４及び同様に突条
としての短尺のチャック本体２７ｄ_５〜２７ｄ_８とを備
えている。

各チャック本体２７ｄ_１〜２７ｄ_８は、第１１図及び第
１２図に示すように、下面に長手方向に沿う吸着溝２７
ｅが形成されていると共に、内部にこの吸着溝２７ｅと
連通する吸引通路２７ｆが形成され、この吸引通路２７
ｆに上面に開口する複数の吸着口２７ｇが連通され、各
吸着口２７ｇには、上面に形成された互いに独立した吸
着溝２７ｈが連通され、さらに吸引通路２７ｆの各吸着
口２７ｇ間に、開閉弁としてのスプール２７ｉを気密に
嵌挿する貫通孔２７ｊを有しこの貫通孔２７ｊが吸引通
路２７ｆに連通する関係で長手方向と直交する方向に貫
通して穿設されている。

スプール２７ｉは、第１３図(a)及び(b)に示すように、
中実の円柱体の中央部に環状溝で構成される連通部２７
ｋが形成されていると共に、連通部２７ｋの左側にスプ
ール２７ｉの移動を抑制する弾性部材としてのＯリング
２７ｌを装着する環状溝２７ｍが形成され、さらに両端
側に夫々ストッパを兼ねるＥ型止め輪２７ｎ_Ｌ２７ｎ_Ｒ
が装着された構成を有し、表面が黒色のレイデント処理
されて露光時に光の反射を防止すると共に、貫通孔２７
ｊとの気密性と摺動性を高めるようにされている。

そして、第１３図(a)に示すように止め輪２７ｎ_Ｒがチ
ャック本体２７の側面に当接している状態では、連通部
２７ｋが吸引通路２７ｆとは連通せず、連通部２７ｋの
右側に隣接する外周面によって吸引通路２７ｆ間が遮断
され、逆に第１３図(b)に示すようにスプール２７ｉを
右動させて止め輪２７ｎ_Ｌがチャック本体２７の側面に
当接している状態では、連通部２７ｋが吸引通路２７ｆ
に連通して吸引通路２７ｆと吸着口２７ｆ，吸着溝２７
ｈとの間が連通される。

一方、載置台２６のチャック載置座２７ａには、チャッ
ク本体２７ｄ_１〜２７ｄ_８の吸着溝２７ｅに連通すると
共に、裏面側に貫通する吸引孔２６ａが穿設され、これ
ら吸引孔２６ａが第１図に示すように載置台２６の裏面
側に配設された配管２６ｂに通じ、さらに配管２６ｂが
外部の固定部に設けられた３方切換弁２６ｃを介してコ
ンプレッサ等の気体吸引手段２６ｄに接続されている。

また、第５図及び第８図に示すように、基台１の４隅に
支持台３１ａ〜３１ｄが固着され、支持台３１ａ及び３
１ｂ間に板ばね３２ａ及び３２ｂを介して凸状のＸ方向
微動体３３Ｌが、支持台３１ｃ及び３１ｄ間に板ばね３
２ｃ及び３２ｄを介して凸状のＸ方向可動体３３Ｒが夫
々Ｘ方向に微動自在に橋架され、これらＸ方向微動体３
３Ｌ及び３３Ｒ間に板ばね３４ａ〜３４ｄを介してＸＹ
方向微動体３５がＹ方向に微動自在に橋架されている。
ここで、ＸＹ方向微動体３５は、第７図及び第８図に示
すように、中心部に前記円筒体３を挿通する透孔３６が
穿設されており、この透孔３６が第７図に示すように上
面円板３７によって閉塞され、この上面円板３７の下面
に、下面に平坦な制振面３８ａを形成した円筒体３８が
その制振面３８を円筒体３の制振面３ａと近接対向する
ように固着され、両制振面３ａ及び３８ａ間にシリコン
オイル等の高粘度を有する制振材３９が介在されて制振
部４０が形成されている。

そして、Ｘ方向微動体３３Ｌ及び３３Ｒの外側に、これ
らと近接対向して電磁石４１Ｌ及び４１Ｒが、ＸＹ方向
微動体３５の前後端部の外側に、これらと近接対向して
電磁石４２Ｆ及び４２Ｒが夫々基板１上に固定配置さ
れ、これら電磁石４１Ｌ及び４１Ｒ、４２Ｆ及び４２Ｒ
に対する通電量を制御することにより、Ｘ方向微動体３
３Ｌ，３３Ｒ及びＸＹ方向微動体３５をＸ方向及びＹ方
向にサブミクロン単位で微動させる。

これら電磁石４１Ｌ，４１Ｒ及び４２Ｆ，４２Ｒによる
Ｘ方向微動体３３Ｌ，３３Ｒ及びＸＹ方向微動体３５の
微動調整は、載置台２６の上面の第２図に示すＹ軸の正
方向側端部及びＸ軸の正方向側端部に夫々取付けた測長
ミラー４４及び４５に、これらと対向する位置に配設さ
れたレーザ測長機（図示せず）からのレーザ光を投射し
て、その反射光をレーザ測長機に入射させることによ
り、レーザ光の干渉によって載置台２６の絶対距離を測
長し、その測長結果に基づき電磁石４１Ｌ，４１Ｒ及び
４２Ｆ，４２Ｒの制御回路で、励磁電流量を制御するこ
とにより、高精度の位置決めを行う。

そして、ＸＹ方向微動体３５と載置台２６の間座２９ａ
〜２９ｄとの間に弾性結合体としての板ばね４７ａ〜４
７ｄが介挿されている。これら板ばね４７ａ〜４７ｄの
夫々は、第８図に示すように、略Ｅ字状に形成され、そ
の両側部４８が間座２９ａ〜２９ｄに、中央部４９がＸ
Ｙ方向微動体３５に夫々ビスによって固定されている。
したがって、板ばね４７ａ〜４７ｄによってＸＹ方向微
動体３５のＸＹ方向の変位が載置台２６に伝達されると
共に、載置台２６を下方に付勢している。

さらに、載置台２６の下面には、第１図及び第２図に示
すように、下方に垂下された支持片５１が固着され、こ
の支持片５１の先端部に永久磁石５２が固着されてい
る。一方、基台１上には、支持片５１と対向する支持片
５３が植立され、この支持片５３の上端部に永久磁石５
２と対向するホール素子等の近接スイッチ５４が取付け
られ、この近接スイッチ５４及び永久磁石５２によって
載置台２６のＺ軸方向の原点位置が検出され、この原点
検出信号に基づき直線駆動機構２０のステッピングモー
タ２１に対する制御回路（図示せず）でステッピングモ
ータ２１の回転を制御することにより、Ｚ軸方向の位置
決めを高精度で行うことができる。

次に、上記実施例の動作について説明する。まず、載置
台２６上の被露光部材保持装置２７の吸着領域を載置す
るウェハ、ＣＲＴシャドウマスク、液晶マスク等の被露
光部材１０２の大きさに合わせて設定する。この吸着領
域の設定は、例えば第１図で鎖線図示の８インチ×８イ
ンチのマスク１０２を吸着保持する場合には、３方切換
弁２６ｃを大気側に切換えた状態で、長尺のチャック本
体２７ｄ_１〜２７ｄ_４については、被露光部材保持装置
２７の中心側から２つ目までのスプール２７ｉを、その
止め輪２７ｎ_Ｌがチャック本体２７ｄ_１〜２７ｄ_４の側
面に当接する開位置とし、残りの外方側のスプール２７
ｉを、その止め輪２７ｎ_Ｒがチャック本体２７ｄ_１〜２
７ｄ_４の側面に当接する閉位置とする。このようにする
ことにより、中心部から３番目迄の吸着口２７ｇ及び吸
着溝２７ｈまでは吸引通路２７ｆ、吸引孔２６ａ及び配
管２６ｂを介して３方切換弁２６ｃに接続されることに
なり、第４番目以降の吸着口２７ｇ及び吸着溝２７ｈに
ついては、少なくとも第３番目のスプール２７ｉによっ
て吸引通路２７ｆが遮断されているので、３方切換弁２
６ｃとは切り離される。同様に、短尺のチャック本体２
７ｄ_５〜２７ｄ_８については、中心側の第１番目のスプ
ール２７ｉのみを、その止め輪２７ｎ_Ｌがチャック本体
２７ｄ_５〜２７ｄ_８の側面に当接する開位置とし、残り
のスプール２７ｉを、その止め輪２７ｎ_Ｒがチャック本
体２７ｄ_５〜２７ｄ_８の側面に当接する閉位置とするこ
とによって、中心側の第１番目の吸着口２７ｇ及び吸着
溝２７ｈのみを３方切換弁２６ｃに接続する。

この状態で、８インチ×８インチのマスク１０２をチャ
ック本体２７ｄ_１〜２７ｄ_８上に例えば図示しないロー
ディング装置によって位置決めしてローディングし、ロ
ーディングが完了した時点で３方切換弁２６ｃを気体吸
引手段２６ｄ側に切換える。これにより、各チャック本
体２７ｄ_１〜２７ｄ_８がその下面の吸着溝２７ｅから空
気が吸引されて、載置台２６のチャック載置座２７ａに
真空吸着され、これと同時に各チャック本体２７ｄ_１〜
２７ｄ_８のマスク１０２によって完全に覆われる吸着口
２７ｇ及び吸着溝２７ｈから空気が吸引されることにな
り、マスク１０２が真空吸着されてチャック本体２７ｄ
_１〜２７ｄ_８上に保持される。

このようにして被露光部材１０２が被露光部材保持装置
２７に保持されると、被露光部材１０２に対する焦点調
整が実行される。この焦点調整は、空気供給源１１１か
ら圧力空気を絞り１１２を介してノズル１１０に供給し
て空気マイクロメータ１１５を作動状態とし、この状態
で焦点調整制御装置１１６を作動状態とする。

このように焦点調整制御装置１１６が作動状態となる
と、目標値設定機１１６ａで予め設定された焦点調整目
標値と、差圧変換器１１３から出力される差圧検出信号
との差値でなる偏差信号が駆動回路１１６ｂに供給さ
れ、この駆動回路１１６ｂから出力されるパルス信号が
直線駆動機構２０のステッピングモータ２１に供給され
る。このため、第４図〜第７図に示すように、斜面スラ
イダ５が前方側に摺動している状態では、差圧検出信号
が目標値に対して小さく、ノズル１１０と被露光部材１
０２との間隔が基準値より広いので、例えばステッピン
グモータ２１を正転させる。このようにステッピングモ
ータ２１が正転すると、その回転力がボールねじ２３及
びボールナット２４を介して斜面スライダ５に伝達され
るので、この斜面スライダ５がリニアガイドを構成する
案内レール４Ｌ，４Ｒに沿って後退する。この斜面スラ
イダ５の後退によって、斜面スライダ５の載置板１７ａ
〜１７ｄが上昇し、これらにボール２０を介して載置さ
れている載置台２６が上方に板ばね４７ａ〜４７ｄに抗
して移動する。このとき、斜面スライダ５の後退は、案
内レール４Ｌ，４Ｒに対してはこれに係合するリニアボ
ールベアンリング７ａ〜７ｆによって円滑な移動が補償
され、載置台２６に対して保持器１９によって保持され
た多数のボール２０によって円滑な移動が補償されるの
で、斜面スライダ５の載置板１７ａ〜１７ｄの平坦面１
８の平行度が狂うことがなく、このため、載置台２６の
平行度も狂うことなく、載置台２６が上昇される。しか
も、斜面スライダ５の摩擦抵抗が少ないと供に、斜面ス
ライダ５は、載置台２６の荷重のみを負担し、Ｘ方向微
動体３３Ｌ，３３Ｒ及びＸＹ方向微動体３５の荷重を負
担することはないので、これを駆動するステッピングモ
ータ２１の回転トルクは小さなもので済み、さらに斜面
スライダ５自体が方形枠状に形成されて慣性質量が極め
て少ないので、ステッピングモータ２１によって載置台
２６をＺ軸方向に高速移動させる際の慣性力を小さくす
ることができ、高精度の位置決めを行うことができる。

このようにして、載置台２６が上昇することにより、被
露光部材１０２とノズル１１０との間の間隔が狭まり、
これが基準値と一致した時点で載置台２６の上昇が停止
されて焦点調整を終了する。

逆に差圧検出信号の値が目標値より大きいときには、制
御装置１１６からステッピングモータ２１を逆転駆動す
るパルス信号が出力され、ステッピングモータ２１が逆
転して、斜面スライダ５を前進させて、載置台２６を降
下させ、被露光部材１０２とノズル１１０との間隔を広
げ、これが基準位置に達したときに、その下降が停止さ
れて焦点調整を終了する。

この焦点調整を終了した状態で、被露光部材１０２のＸ
Ｙ方向の位置調整を行うには、被露光部材１０２のＸＹ
方向の移動距離が大きい場合には、粗動テーブル２を駆
動機構によって高速移動させて目標位置近傍に移動さ
せ、次いで電磁石４１Ｌ，４１Ｒ及び４２Ｆ，４２Ｒの
励磁コイルに通電してＸＹ方向微動体３５をＸＹ方向に
微動させ、このＸＹ方向微動体３５の変位を板ばね４７
ａ〜４７ｄを介して載置台２６に伝達することにより、
載置台２６がＸＹ方向に微動させる。この載置台２６の
微動の絶対値をレーザ測長機（図示せず）で正確に測長
し、その測長結果に基づき電磁石４１Ｌ，４１Ｒ及び４
２Ｆ，４２Ｒの励磁コイルへの通電量を制御することに
より、サブミクロンオーダの位置決めを行うことができ
る。

このように、ＸＹ方向の微動を行う駆動機構として、電
磁石を採用することにより、モータを使用する場合のよ
うに振動を発生することがなく、載置台２６のＸＹ方向
の移動の際にＺ軸方向への位置ずれを防止することがで
きる。

また、粗動テーブル２を駆動機構によって高速移動させ
たときに、載置台２６、Ｘ方向微動体３３Ｌ，３３Ｒ及
びＸＹ方向微動体３５等の慣性により、これらがＸＹ平
面内で振動することになるが、ＸＹ方向微動体３５と基
台１に固定された円筒体３との間に高粘度の制振材３９
が介在されているので、大きな制振効果を発揮すること
ができる。この場合、制振部４０が複合移動テーブルの
中心部に形成され、ＸＹ方向微動体３５と円筒体３との
対向面積を広くとることができるので、移動テーブル全
体の構成を大型化することなく、大きな制振効果を発揮
させることができる。

そして、被露光部材１０２に対する露光処理が終了して
新たな被露光部材１０２に交換する場合には、３方切換
弁２６ｃを大気側に切換えることにより、被露光部材保
持装置２７による被露光部材１０２の真空吸着状態を解
除してから露光済みの被露光部材１０２を例えば図示し
ないアンローディング装置でチャック本体２７ｄ_１〜２
７ｄ_８上から取り出し、新たな被露光部材１０２をチャ
ック本体２７ｄ_１〜２７ｄ_８上に載置する。このとき、
被露光部材１０２の大きさに変更があるときには、再度
被露光部材１０２の大きさに応じてスプール２７ｉを操
作してこれに完全に覆われる吸着口２７ｇ及び吸着溝２
７ｈのみを３方切換弁２６ｃに接続することにより吸着
領域を変更してから被露光部材１０２をチャック本体２
７ｄ_１〜２７ｄ_８上に載置する。

なお、上記実施例においては、チャック本体２７ｄ_１〜
２７ｄ_８と位置決め用板２７ｃとが別体である場合につ
いて説明したが、これに限定されるものではなく、両者
を一体に構成することもでき、要は上面に複数の吸着溝
を有する突条とその吸着溝と気体吸引手段との間の連通
及び遮断を外部操作可能な開閉弁とを備えていればよい
ものである。

また、突条としてのチャック本体２７ｄ_１〜２７ｄ_８の
数は、８個に限らず任意数に選定することができると共
に、その断面形状も任意形状に選定することができ、さ
らにチャック本体は放射状に配置する場合に限らず露光
中心を中心として同心的に配置するようにしてもよい。

さらに、吸引通路を開閉する開閉弁としては、上例のス
プール弁に限らず、ロータリ弁を適用することもでき、
また開閉弁の切換えは手動操作に代えて電磁開閉弁等の
遠隔操作可能な開閉弁を適用し得ることは言うまでもな
い。

またさらに、開閉弁は吸引通路に設ける場合に限らず吸
引通路と吸着口との間に設けるようにしてもよい。

また、載置台２６を載置するＸＹＺステージとしては、
上記構成に限定されるものではなく、他の任意の構成す
るＸＹＺステージを適用し得る。

さらに、上記実施例においては、基台１を高速移動可能
な粗動テーブル２に載置した場合について説明したが、
これに限らず基台１を固定部に固定配置する場合にもこ
の考案を適用し得るものである。

またさらに、上記実施例においては、この考案を縮小投
影露光装置に適用した場合について説明したが、これに
限定されるものではなく、他の露光装置にもこの考案を
適用し得ることは勿論である。

〔考案の効果〕

以上説明したように、この考案によれば、ウェハ、シャ
ドウマスク等の被露光部材を吸着保持するチャックが、
上面に開口する複数の吸着口を有し、これら吸着口が突
条内部に形成した吸引通路を介して気体吸引手段に接続
され、吸着口と気体吸引手段との間に外部操作可能な開
閉弁を設けた構成を有するので、開閉弁を外部操作する
ことにより、被露光部材の吸着領域を任意に設定するこ
とが可能となり、被露光部材のサイズが異なる場合であ
っても、これをチャックを交換することなく、容易に吸
着保持することができ、段取り替えの手間を格段に軽減
することができる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す平面図、第２図及び
第３図は第１図の正面図及び右側面図、第４図は第１図
のIV−IV線断面図、第５図、第６図及び第７図は夫々第
４図のＶ−Ｖ線断面図、VI−VI線断面図及びVII−VII線
断面図、第８図は第１図のVIII−VIII線断面図、第９図
はリニアボールベアンリングと案内レールとの関係を示
す拡大断面図、第１０図はボール保持器の拡大断面図、
第１１図は第１図のＸＩ−ＸＩ線における被露光部材保
持装置の拡大断面図、第１２図は第１図のＸII−ＸII線
における被露光部材保持装置の拡大断面図、第１３図
(a)及び(b)は夫々第１図のＸIII−ＸIII線における開閉
弁の開閉状態を示す拡大断面図、第１４図はこの考案を
適用し得る縮小投影露光装置の一例を示す概略構成図で
ある。図中、１は基台、２は粗動テーブル、４Ｌ，４Ｒは案内
レール、５は斜面スライダ、７ａ〜７ｆはリニアボール
ベアリング、２１は直線駆動機構、２２はステッピング
モータ、２４はボールねじ、２５はボールナット、２６
は載置台、２６ａは吸引孔、２６ｂは配管、２６ｃは３
方切換弁、２６ｄは気体吸引手段、２７は被露光部材保
持装置、２７ａはチャック載置座、２７ｃは位置決め
板、２７ｄ_１〜２７ｄ_８はチャック本体、２７ｆは吸引
通路、２７ｇは吸着口、２７ｈは吸着溝、２７ｉはスプ
ール、２７ｊは貫通孔、２７ｋは連通部、３５はＸＹ方
向微動体、４１Ｌ，４１Ｒ，４２Ｆ，４２Ｒは電磁石、
４７ａ〜４７ｄは板ばねである。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】被露光部材の露光面に所定パターンを露光
する露光装置の載置テーブルに、気体吸引手段に接続さ
れるウェハ等の被露光部材を吸着保持するチャックを配
設した被露光部材保持装置において、前記チャックは、
内部に形成された前記気体吸引手段に連通する吸引通路
と、該吸引通路に個別に連通されて上面に互いに独立し
て開口し、且つ前記載置テーブルの中心から外方に向け
て連接形成された複数の吸着溝を有する複数の突条を備
え、該突条の各吸着溝と前記気体吸引手段との間に前記
被露光部材の吸着面の面積に応じて外部操作可能な複数
の開閉弁を設けたことを特徴とする露光装置における被
露光部材保持装置。
【請求項２】開閉弁は、突条の長手方向と直角な方向に
貫通し、且つ真空導通路に連通する貫通孔と、該貫通孔
に摺動自在に内嵌され前記貫通孔と前記導通路間を連通
する連通部を有するスプールとで構成され、前記スプー
ルの少なくとも一端が前記突条の側面より吐出されてい
る実用新案登録請求の範囲第１項記載の露光装置におけ
る被露光部材保持装置。
【請求項３】チャックは、載置テーブルに真空吸着され
るように構成されている実用新案登録請求の範囲第１項
又は第２項記載の露光装置における被露光部材保持装
置。
【請求項４】前記突条は前記載置テーブルの中心から放
射状に延設されている実用新案登録請求の範囲第１項乃
至第３項の何れかに記載の露光装置における被露光部材
保持装置。