TWI545027B

TWI545027B - 板狀被搬送物的傳送方法、傳送裝置及圖案形成裝置

Info

Publication number: TWI545027B
Application number: TW103108862A
Authority: TW
Inventors: 上野博之; 増市幹雄; 川越理史; 芝藤弥生; 正司和大; 上野美佳
Original assignee: 斯克林集團公司
Priority date: 2013-03-22
Filing date: 2014-03-13
Publication date: 2016-08-11
Also published as: CN104058278A; KR20140115967A; JP2014184998A; TW201437052A; CN104058278B; KR101574877B1

Description

板狀被搬送物的傳送方法、傳送裝置及圖案形成裝置

本發明是有關於一種將由第一保持器件保持的板狀被搬送物傳送至第二保持器件的板狀被搬送物的傳送方法及傳送裝置、以及配備該傳送裝置的圖案形成裝置。

作為製造電子零件的發明，以往已知有例如日本專利特開2010-158799號公報中記載的發明。該日本專利特開2010-158799號公報中記載的發明是將平板橡皮布(blanket)固定在下部載台的上表面，另一方面，在使形成有圖案的面朝向下方的狀態、即正面朝下狀態下，利用上部載台吸附固定凸版，自設置在下部載台的中心附近的開口部噴射壓縮氣體，擠出平板橡皮布。以此方式使橡皮布加壓接觸於凸版，將凸版的圖案轉印至平板橡皮布。

為了以此方式使凸版保持在上部載台，搬送機器人等搬送器件必須將凸版以正面朝下狀態搬送至上部載台的正下方後，傳送至上部載台。因此，搬送機器人的機械手必須避開形成在凸版上的圖案地支撑凸版，因而，支撑著凸版的下表面周緣部、例如外周邊緣10[mm]以內的周緣區域保持凸版。其結果，成為凸版的中央部彎曲成圓錐狀的狀態。當凸版尺寸相對較小時，凸版的彎曲量小，不會對自搬送機器人的機械手對上部載台的傳送造成大的障礙，但隨著凸版尺寸增大，彎曲量也變大，從而難以良好地將凸版自搬送機器人傳送至上部載台。這種問題不僅在將凸版抵住平板橡皮布，將凸版的圖案轉印至平板橡皮布的情况下會產生，而且在以下情况下也會產生，即，由上部載台吸附固定基板而代替吸附固定凸版，將平板橡皮布抵住基板，將平板橡皮布上的圖案轉印至基板。即，隨著凸版或基板等板狀被搬送物大型化，當將板狀被搬送物自搬送機器人等第一保持器件傳送至上部載台等第二保持器件時，因板狀被搬送物彎曲而難以良好地進行所述傳送。

本發明是鑒於所述課題而完成，其目的在於提供一種技術，此技術可將由第一保持器件以支撑下表面周緣部的狀態保持的板狀被搬送物良好地傳送至第二保持器件，該第二保持器件是在第一保持器件的上方吸附保持板狀被搬送物的上表面。

本發明的板狀被搬送物的傳送方法是將由第一保持器件以支撑下表面周緣部的狀態保持的板狀被搬送物傳送至第二保持器件，該第二保持器件是在第一保持器件的上方吸附保持板狀被搬送物的上表面，該板狀被搬送物的傳送方法的特徵在於包括：第一吸附步驟，使第一吸附構件自上下方向貫穿地設置在第二保持器件的第一貫穿孔下降，吸附保持由第一保持器件保持的板狀被搬送物的上表面的第一吸附位置；第二吸附步驟，使第二吸附構件從與第一貫穿孔不同的位置處上下方向貫穿地設置在第二保持器件的第二貫穿孔下降，吸附保持板狀被搬送物的上表面中與第一吸附位置不同的第二吸附位置；及移動步驟，使保持著板狀被搬送物的第一吸附構件及第二吸附構件升起，分別後退至第一貫穿孔內及第二貫穿孔內，使板狀被搬送物自第一保持器件移動至第二保持器件。

而且，本發明的板狀被搬送物的傳送裝置是將由第一保持器件以支撑下表面周緣部的狀態保持的板狀被搬送物傳送至第二保持器件，該第二保持器件是在第一保持器件的上方吸附保持板狀被搬送物的上表面，且該板狀被搬送物的傳送裝置的特徵在於包括；第一吸附構件及第二吸附構件，吸附保持板狀被搬送物的上表面；及升降機構，使第一吸附構件沿著第一移動路徑升降，該第一移動路徑通過上下方向貫穿地設置在第二保持器件的第一貫穿孔，並且使第二吸附構件沿著第二移動路徑升降，該第二移動路徑通過在與第一貫穿孔不同的位置處上下方向貫穿地設置在第二保持器件的第二貫穿孔；且，升降機構是使第一吸附構件及第二吸附構件下降，分別利用第一吸附構件及第二吸附構件吸附保持由第一保持器件保持的板狀被搬送物的上表面中相互不同的第一吸附位置及第二吸附位置之後，使第一吸附構件及第二吸附構件通過上升而後退至第一貫穿孔內及第二貫穿孔內，使板狀被搬送物自第一保持器件移動至第二保持器件。

以此方式構成的發明(板狀被搬送物的傳送方法及傳送裝置)是將板狀被搬送物在其下表面周緣部受到支撑的狀態下由第一保持器件保持。因此，板狀被搬送物彎曲，在板狀被搬送物的各部分中，彎曲導致的位移量不同。第一吸附構件及第二吸附構件是分別可升降，且第一吸附構件吸附保持板狀被搬送物的上表面的第一吸附位置，第二吸附構件吸附保持板狀被搬送物的上表面的第二吸附位置。因此，板狀被搬送物在第一吸附位置及第二吸附位置處的彎曲導致的位移量相同的情况自然不必多說，即便該位移量相互不同，也可利用第一吸附構件及第二吸附構件吸附保持板狀被搬送物。而且，板狀被搬送物是在由第一吸附構件及第二吸附構件吸附的狀態下直接自第一保持器件移動至第二保持器件，且由第二保持器件吸附保持。以此方式執行板狀被搬送物自第一保持器件朝向第二保持器件的傳送。

這裏，為了分別利用第一吸附構件及第二吸附構件吸附保持板狀被搬送物的第一吸附位置及第二吸附位置，理想為構成為第一吸附構件下降與第一吸附位置處的彎曲導致的位移量對應的距離，而且，第二吸附構件下降與第二吸附位置處的彎曲導致的位移量對應的距離，且例如，也可以如下方式構成使第一吸附構件及第二吸附構件升降至驅動機構部。

驅動機構部也可構成為包括：升降機構，用來使第一吸附構件及第二吸附構件升降；移動構件，利用升降機構而在第一吸附構件及第二吸附構件的上方沿上下方向升降；第一連結構件，將移動構件與第一吸附構件相互連結，使第一吸附構件與移動構件一起升降，並且具有位置調整功能，即，在第一吸附構件與板狀被搬送物的上表面抵接後移動構件進一步下降時，使第一吸附構件對於移動構件的相對位置移位，維持第一吸附構件的高度位置；以及第二連結構件，將移動構件與第二吸附構件相互連結，使第二吸附構件與移動構件一起升降，並且具有位置調整功能，即，在第二吸附構件與板狀被搬送物的上表面抵接後移動構件進一步下降時，使第二吸附構件對於移動構件的相對位置移位，維持第二吸附構件的高度位置。

另外，以所述方式構成的傳送裝置可應用於圖案形成裝置，該圖案形成裝置是將保持在下載台的上表面的橡皮布、與在配置在下載台上方的上載台的下表面被吸附保持的板狀物體相互壓抵而形成圖案。即，圖案形成裝置也可構成為包括：搬送器件，在支撑著圖案形成前的板狀物體的下表面周緣部的狀態下，將板狀物體搬送至上載台與下載台之間；及傳送器件，將板狀物體自搬送器件傳送至上載台；且傳送器件包括：第一吸附構件及第二吸附構件，吸附保持板狀物體的上表面；及升降機構，使第一吸附構件沿著第一移動路徑升降，該第一移動路徑通過上下方向貫穿地設置在上載台的第一貫穿孔，並且使第二吸附構件沿著第二移動路徑升降，該第二移動路徑通過在與第一貫穿孔不同的位置處上下方向貫穿地設置在上載台的的第二貫穿孔；升降機構使第一吸附構件及第二吸附構件下降，分別利用第一吸附構件及第二吸附構件吸附保持由搬送器件保持的板狀物體的上表面中相互不同的第一吸附位置及第二吸附位置之後，使第一吸附構件及第二吸附構件通過上升而後退至第一貫穿孔內及第二貫穿孔內，使板狀物體自搬送器件移動至上載台。藉此，即便由搬送器件保持的圖案形成前的板狀物體彎曲，也可以將板狀物體自該搬送器件傳送至上載台，由上載台良好地吸附保持圖案形成前的板狀物體，從而良好地實施圖案形成。

如上所述，根據本發明，分別利用第一吸附構件及第二吸附構件吸附板狀被搬送物的上表面的相互不同的位置後，使第一吸附構件及第二吸附構件上升，將板狀被搬送物傳送至第二保持器件，所以，無論板狀被搬送物是否彎曲，均可良好地將板狀被搬送物自第一保持器件傳送至第二保持器件。

1‧‧‧圖案形成裝置

2‧‧‧主架

4‧‧‧上載台塊

6‧‧‧下載台塊

8‧‧‧控制單元

21‧‧‧底架

22、23‧‧‧上載台支撑架

27‧‧‧精確對準用對準相機

40‧‧‧載台總成

41‧‧‧上載台(第二保持器件)

41a‧‧‧保持平面

41b‧‧‧吸附槽

41c、625b‧‧‧吸附孔

41d‧‧‧貫穿孔

42‧‧‧加固架

43‧‧‧梁狀結構體

44‧‧‧上部吸附單元(傳送裝置)

45、46‧‧‧支撑柱

47、447、624、628、644‧‧‧升降機構

61‧‧‧下載台

61a‧‧‧下載台的上表面

62、63‧‧‧升降機械手單元

64‧‧‧轉印輥筒單元

241、242、243‧‧‧基板用預對準相機

244、245、246‧‧‧橡皮布用預對準相機

421、422‧‧‧加固肋

440‧‧‧驅動機構部

441‧‧‧支撑架(移動構件)

441a‧‧‧支撑臂

441b‧‧‧支柱

441c‧‧‧支撑板

442‧‧‧連結構件

442a‧‧‧罩蓋

442b‧‧‧中空軸

442c‧‧‧擋止件

442d‧‧‧配管

442e‧‧‧壓縮彈簧

442f‧‧‧卡止板

443‧‧‧吸附墊

444‧‧‧滑件

445、451、461、626、646、6211、6221‧‧‧導軌

446‧‧‧底板

481‧‧‧底板

482‧‧‧上載台塊支撑機構

601‧‧‧板狀對準載台

602、621、622‧‧‧支柱

603‧‧‧載台支撑板

605‧‧‧對準載台支撑機構

611‧‧‧開口窗

612‧‧‧槽

613‧‧‧擋止構件

623‧‧‧滑動底座

625‧‧‧機械手

625a‧‧‧機械手的上表面

627‧‧‧滑件

641‧‧‧轉印輥筒

642‧‧‧支撑架

643‧‧‧支承輥筒

644a‧‧‧底座部

644b‧‧‧支脚

645‧‧‧下部框架

647‧‧‧移動機構

801‧‧‧CPU

802‧‧‧馬達控制部

803‧‧‧閥控制部

804‧‧‧負壓供給部

805‧‧‧圖像處理部

806‧‧‧氣體供給部

AR‧‧‧有效區域

BL‧‧‧橡皮布

G‧‧‧間隔

H‧‧‧距離

HB‧‧‧橡皮布用機械手

HP‧‧‧印版用機械手(第一保持器件)

HS‧‧‧基板用機械手(第一保持器件)

PP‧‧‧印版(板狀被搬送物、板狀物體)

PT‧‧‧塗佈層

R1、R2‧‧‧區域

SB‧‧‧基板(板狀被搬送物、板狀物體)

SP‧‧‧處理空間

圖1是表示本發明的圖案形成裝置的一實施方式的立體圖。

圖2是表示該圖案形成裝置的控制系統的方塊圖。

圖3是表示下載台塊的結構的立體圖。

圖4是表示升降機械手單元的結構的圖。

圖5是表示轉印輥筒單元的結構的圖。

圖6是表示上載台總成的結構的圖。

圖7是表示上載台的下表面的圖。

圖8(a)、圖8(b)是表示將吸附墊連結於支撑架的連結構件的構成及動作的圖。

圖9是表示圖案形成處理的流程圖。

圖10(a)~圖10(d)是示意性表示處理的各階段中的裝置各部分的位置關係的第一圖。

圖11(a)~圖11(c)是示意性表示處理的各階段中的裝置各部分的位置關係的第二圖。

圖12(a)、圖12(b)是示意性表示處理的各階段中的裝置各部分的位置關係的第三圖。

圖13(a)~圖13(c)是示意性表示處理的各階段中的裝置各部分的位置關係的第四圖。

圖14(a)~圖14(c)是示意性表示處理的各階段中的裝置各部分的位置關係的第五圖。

圖15(a)~圖15(c)是示意性表示處理的各階段中的裝置各部分的位置關係的第六圖。

圖16是表示印版或基板與橡皮布(blanket)的位置關係的圖。

圖17(a)~圖17(c)是示意性表示處理的各階段中的裝置各部分的位置關係的第七圖。

圖1是表示本發明的圖案形成裝置的一實施方式的立體圖。而且，圖2是表示該圖案形成裝置的控制系統的方塊圖。另外，圖1中，為了表示裝置的內部構成，而表示卸除外罩後的狀態。為了統一表示各圖中的方向，而如圖1的右下方所示，設定XYZ正交坐標軸。這裏，XY平面表示水平面，Z軸表示鉛垂軸。更詳細來說，(+Z)方向表示鉛垂朝上方向。自裝置觀察時的正面方向為(-Y)方向，且物品是沿著Y軸方向自外部對裝置進行存取，該存取包括搬入搬出。

該圖案形成裝置1具有在主架(mainframe)2上安裝著上載台塊4及下載台塊6的結構。圖1中，為了明確表示各塊的區別，而對上載台塊4標注粗間距的點，另對下載台塊6標注細間距的點。圖案形成裝置1除了包括所述構件以外，還包括控制單元8(圖2)，該控制單元8按照預先存儲的處理程序，控制裝置各部分使之執行規定的動作。下文將對上載台塊4及下載台塊6的詳細構成進行說明，首先，說明裝置1的整體構成。

圖案形成裝置1是如下裝置：通過使由下載台塊6保持的橡皮布BL、與由上載台塊4保持的印版PP或基板SB相互抵接，而進行圖案形成。該裝置1的圖案形成製程更具體來說如下所述。首先，通過使對應於應形成的圖案而製作的印版PP抵接於均勻地塗佈有圖案形成材料的橡皮布BL，而將由橡皮布BL負載的塗佈層圖案化(patterning)(圖案化處理)。然後，通過使以此方式圖案化的橡皮布BL與基板SB抵接，而將由橡皮布BL負載的圖案轉印至基板SB(轉印處理)。由此，在基板SB上形成所需的圖案。

這樣一來，該圖案形成裝置1可用於對基板SB形成規定圖案的圖案形成製程中的圖案化處理及轉印處理這兩種處理，但也能够以承擔進行這些處理中的僅一種處理的實施方式使用。

圖案形成裝置1的下載台塊6由主架2的底架(base frame)21支撑。另一方面，上載台塊4是以自X方向夾隔下載台塊6的方式自底架21竪立設置，且安裝在沿Y方向延伸的一對上載台支撑架22、23。

而且，在主架2安裝著用來進行搬入至裝置的基板SB與橡皮布BL的位置檢測的預對準相機(prealignment camera)。具體來說，3台基板用預對準相機241、242、243分別安裝在自上載台支撑架22、23竪立設置的吊杆(boom)，這3台基板用預對準相機241、242、243是用來在3個不同的部位檢測沿著Y軸方向搬入至裝置的基板SB的邊緣。同樣地，3台橡皮布用預對準相機 244、245、246分別安裝在自上載台支撑架22、23竪立設置的吊杆，這3台橡皮布用預對準相機244、245、246是用來在3個不同的部位檢測沿著Y軸方向搬入至裝置的橡皮布BL的邊緣。另外，在圖1中，未呈現位於上載台塊4的背後的1台橡皮布用預對準相機246。而且，在圖2中，分別將基板用預對準相機簡記為“基板用PA相機”，將橡皮布用預對準相機簡記為“橡皮布用PA相機”。

圖3是表示下載台塊的結構的立體圖。下載台塊6是在中央部開口的板狀的對準載台601的四角，分別沿著鉛垂方向(Z方向)竪立設置著支柱602，且利用這些支柱602支撑載台支撑板603。雖省略圖示，但在對準載台601的下部，設置著具有以沿鉛垂方向Z延伸的旋轉軸為旋轉中心的旋轉方向(以下，稱為“θ方向”)、X方向及Y方向的3個自由度的例如交叉滾子軸承(Cross Roller Bearing)等對準載台支撑機構605(圖2)，且將對準載台601隔著該對準載台支撑機構605安裝在底架21。因此，對準載台601可通過對準載台支撑機構605運行，而對於底架21沿著X方向、Y方向及θ方向在規定的範圍內移動。

在載台支撑板603的上部，配置著環狀矩形的下載台61，該下載台61是上表面成為大致與水平面一致的平面，且在中央部形成著開口窗611。將橡皮布BL載置在下載台61的上表面，從而下載台61保持該橡皮布BL。

開口窗611的開口尺寸必須大於橡皮布BL的表面區域中作為圖案形成區域有效發揮功能的中央部的有效區域(未圖示)的平面尺寸。即，當橡皮布BL載置在下載台61時，必須是橡皮布BL下表面中的與有效區域對應的區域整體面向開口窗611，且使有效區域的下方完全開放的狀態。而且，圖案形成材料的塗佈層以至少覆蓋有效區域整體的方式形成。

在下載台61的上表面61a，以分別沿著開口窗611的周緣各邊的方式設置著多條槽612，且各槽612經由未圖示的控制閥而連接於控制單元8的負壓供給部804。各槽612是配置在比橡皮布BL的平面尺寸小的平面尺寸的區域內。而且，如圖3中單點劃線所示，橡皮布BL是以將這些槽612全部覆蓋的方式載置在下載台61。而且，為了使橡皮布BL能够將這些槽612全部覆蓋，而在下載台上表面61a適當配置橡皮布BL的位置限制用的擋止構件613。

通過對各槽612供給負壓，而使各槽612作為真空吸附槽發揮功能，以這種方式，將橡皮布BL的周緣部的四邊吸附保持在下載台61的上表面61a。由相互獨立的多條槽612構成真空吸附槽，故即便因某種原因導致在一部分槽中產生真空破壞，也能維持其他槽對橡皮布BL的吸附，因此，可確實地保持橡皮布BL。而且，可利用比設置單獨的槽時強的吸附力吸附橡皮布BL。

在下載台61的開口窗611的下方，設置著用來使橡皮布BL在Z軸方向上下移動的升降機械手單元62、63、及自下方抵接於橡皮布BL使之升起的轉印輥筒單元64。

圖4是表示升降機械手單元的結構的圖。兩個升降機械手單元62、63的結構相同，所以這裏對其中一升降機械手單元62的結構進行說明。升降機械手單元62包括自底架21沿著Z方向竪立設置的兩根支柱621、622，且對於這些支柱621、622可上下移動地安裝著板狀的滑動底座(slide base)623。更具體來說，在兩根支柱621、622分別安裝沿著鉛垂方向(Z方向)延伸的導軌6211、6221，且將安裝在滑動底座623的背面、即(+Y)側主面的未圖示的滑件(slider)滑動自如地安裝在導軌6211、6221。而且，包括例如馬達(motor)及滾珠螺杆機構等適當的驅動機構的升降機構624根據來自控制單元8的控制指令，使滑動底座623上下移動。

在滑動底座623，上下移動自如地安裝著多個(該例中為4個)機械手625。各機械手625的結構除了底座部分的形狀相應於配設位置而不同以外，基本相同。各機械手625是固定在滑件627，該滑件627是滑動自如地卡合在沿著鉛垂方向(Z方向)安裝在滑動底座623的正面、即(-Y)側主面的導軌626。滑件627連結於升降機構628，該升降機構628是安裝在滑動底座623的背面，且包括例如無杆氣缸(rodless cylinder)等適當的驅動機構，且該滑件627通過該升降機構628運行而對於滑動底座623上下方向地移動。在各機械手625分別設置著獨立的升降機構628，從而可使各機械手625單獨地上下移動。

即，在升降機械手單元62中，可通過升降機構624使滑動底座623上下移動，而使各機械手625一體地升降，並且可通過各升降機構628獨立地運行，而使各機械手625單獨地升降。

機械手625的上表面625a是精加工成以Y方向為長度方向的細長的平面狀，從而可使該上表面625a抵接於橡皮布BL的下表面，支撑橡皮布BL。而且，在上表面625a，設置著經由未圖示的配管及控制閥而與設置在控制單元8的負壓供給部804連通的吸附孔625b。由此，對吸附孔625b，可視需要自負壓供給部804供給負壓，將橡皮布BL吸附保持在機械手625的上表面625a。因此，可防止利用機械手625支撑橡皮布BL時的打滑。

而且，對吸附孔625b，視需要自控制單元8的氣體供給部806經由未圖示的配管及控制閥供給適當的氣體、例如乾燥空氣或惰性氣體等。即，通過受控制單元8控制的各控制閥的開閉，而對吸附孔625b選擇性地供給來自負壓供給部804的負壓及來自氣體供給部806的氣體。

當將來自氣體供給部806的氣體供給至吸附孔625b時，自吸附孔625b噴出少量氣體。由此，在橡皮布BL的下表面與機械手上表面625a之間形成微小的間隙，從而機械手625成為一面自下方支撑橡皮布BL一面與橡皮布BL下表面相隔的狀態。因此，可一邊利用各機械手625支撑橡皮布BL，一面使橡皮布BL相對於各機械手625不摩擦地沿著水平方向移動。另外，也可與吸附孔625b分開地將氣體噴出孔設置在機械手上表面625a。

返回圖3，下載台塊6中，具有如上所述的構成的升降機械手單元62、63以使機械手625朝內且在Y方向相對的方式對向配置。在各機械手625最大程度下降後的狀態下，機械手上表面625a相較下載台上表面61a位於下方、即位於在(-Z)方向較大地後退的位置。另一方面，在各機械手625最大程度上升的狀態下，各機械手625的前端成為自下載台61的開口窗611向上方突出的狀態，且機械手上表面625a相較下載台上表面61a到達上方、即到達(+Z)方向上突出的位置為止。

而且，自上方觀察時，在兩升降機械手單元62、63的相互對向的機械手625的前端彼此之間設置著固定間隔，從而機械手625的前端彼此不會接觸。而且，如下所述，轉印輥筒單元64利用該間隙在X方向上移動。

圖5是表示轉印輥筒單元的結構的圖。轉印輥筒單元64包括：作為圓筒狀輥筒構件的轉印輥筒641，沿著Y方向延伸；支撑架642，沿著該轉印輥筒641的下方在Y方向上延伸，且由兩端部旋轉自如地支撑轉印輥筒641；及升降機構644，具有合適的驅動機構，使支撑架642在Z方向上下移動。轉印輥筒641未與旋轉驅動機構連接地自由旋轉。而且，在支撑架642，設置著自下方抵接於轉印輥筒641的表面，防止轉印輥筒641彎曲的支承輥筒(backup roll)643。

Y方向上的轉印輥筒641的長度短於下載台61的開口窗611的四邊中沿Y方向之邊的長度、即開口窗611的Y方向上的開口尺寸，且長於保持在下述上載台時的印版PP或基板SB的沿Y方向的長度。橡皮布BL中作為圖案形成區域有效的有效區域的長度當然為印版PP或基板SB的長度以下，所以在Y方向上，轉印輥筒641長於有效區域。

升降機構644包括：底座部644a；及支脚(support leg)644b，自該底座部644a延伸至上方，且連結於支撑架642的Y方向上的中央附近。支脚644b可利用馬達或氣缸(cylinder)等適當的驅動機構而相對於底座部644a上下移動。底座部644a是對於沿X方向延伸設置的導軌646滑動自如地安裝，進而連結於包括例如馬達及滾珠螺杆機構等適當的驅動機構的移動機構647。而且，在沿X方向延伸設置且固定在底架21的下部框架645的上表面，安裝著導軌646。通過移動機構647運行，而使轉印輥筒641、支撑架642及升降機構644一體地沿X方向移行。

詳細內容下文叙述，該圖案形成裝置1是通過使轉印輥筒641抵接於保持在下載台61的橡皮布BL，使橡皮布BL局部地升起，而使橡皮布BL抵接於保持在上載台且與橡皮布BL靠近對向配置的印版PP或基板SB。

升降機構644是通過升降機械手單元62、63的相互對向的機械手625形成的間隙而移行。而且，各機械手625可使它的上表面625a沿著(-Z)方向相較轉印輥筒單元64的支撑架642的下表面後退至下方為止。因此，通過升降機構644在該狀態下移行，轉印輥筒單元64的支撑架642通過各機械手625的上表面625a的上方，從而避免轉印輥筒單元64與機械手625碰撞。

接著，對上載台塊4的結構進行說明。如圖1所示，上載台塊4包括：作為結構體的載台總成40，沿著X方向延伸；一對支撑柱45、46，分別自上載台支撑架22、23竪立設置，且分別支撑上載台總成40的X方向兩端部；及升降機構47，包括例如馬達及滾珠螺杆機構等適當的驅動機構，且使上載台總成40整體沿Z方向升降移動。

圖6是表示上載台總成的結構的圖。圖7是表示上載台的下表面的圖。上載台總成40包括：上載台41，將印版PP或基板SB保持在下表面；加固架(Reinforcement frame)42，設置在上載台41的上部；梁狀結構體43，結合於加固架42且沿著X方向水平地延伸；及上部吸附單元44，安裝在上載台41。如圖6所示，上載台總成40具有分別相對於包括它的外形上的中心的XZ平面及YZ平面大致對稱的形狀。

上載台41是比應保持的印版PP或基板SB的平面尺寸略小的板狀構件，且保持為水平姿勢的上載台41的下表面41a成為抵接地保持印版PP或基板SB的保持平面。由於保持平面要求高平面度，所以作為保持平面的材料，宜為石英玻璃或不銹鋼板。而且，在保持平面41a，如圖7所示，設置著：吸附槽41b，用來吸附保持印版PP或基板SB的上表面周緣部；吸附孔41c，用來吸附保持印版PP或基板SB的上表面中央部；及貫穿孔41d，用來確保下述上部吸附單元44的吸附墊的移動路徑。而且，吸附槽41b及吸附孔41c經由未圖示的控制閥而連接於控制單元8的負壓供給部804。由此，對吸附槽41b及吸附孔41c，可視需要供給來自負壓供給部804的負壓，從而利用保持平面41a吸附保持印版PP或基板SB。

加固架42包括沿Z方向延伸設置在上載台41的上表面的加固肋(stiffening rib)的組合，且如圖6所示，為防止上載台41彎曲以維持上載台41的下表面(保持平面)41a的平面度，而分別適當組合多個和YZ平面平行的加固肋421、及和XZ平面平行的加固肋422。加固肋421、422例如可包括金屬板。

而且，梁狀結構體43是組合多個金屬板而形成的以X方向為長度方向的結構體，且其兩端部由支撑柱45、46支撑地可上下移動。具體來說，在支撑柱45、46，分別設置著沿Z方向延伸的導軌451、461，另一方面，在與導軌451、461對向的梁狀結構體43的(+Y)側主面安裝著未圖示的滑件，且將這些滑件滑動自如地卡合。而且，如圖1所示，梁狀結構體43與支撑柱46由升降機構47連結，且通過升降機構47運行，而使梁狀結構體43維持著水平姿勢沿鉛垂方向(Z方向)移動。由於上載台41經由加固架42而與梁狀結構體43一體地結合，所以通過升降機構47運行，而使上載台41水平地保持著保持平面41a進行上下移動。

另外，加固架42及梁狀結構體43的結構並不限定於圖示的結構。這裏是將和YZ平面平行的板狀構件與和XZ平面平行的板狀構件組合而獲得所需的強度，不過也可將鈑金件或角鋼構件等適當組合成除此以外的形狀。製成這種結構的目的在於使上載台總成40輕量地構成。為了減少各部分的彎曲，也可考慮增加上載台41的厚度或使梁狀結構體43為實心體，不過這樣一來，將導致上載台總成40整體的質量變大。

配置在裝置上部的結構物的重量變大將導致用來支撑該結構物或使之移動的機構需要更大的強度及耐久性，從而裝置整體也極大地變重。通過板材等的組合而獲得所需的強度，同時實現結構物整體輕量化則更為現實。

而且，在由加固架42包圍的上載台41的上部，安裝著一對上部吸附單元44。在圖6上部表示將其中一上部吸附單元44向上方取出後的狀態。該上部吸附單元44如下所述發揮在外部的機械手與上載台41之間傳送印版PP或基板SB的傳送功能，且相當於本發明的“板狀被搬送物的傳送裝置”及“傳送器件”的一例。上部吸附單元44是將多個吸附墊443分別隔著連結構件442安裝在支撑架441。更詳細來說，以如下方式構成。

支撑架441中，如圖6所示，將沿著Y方向延伸的兩根支撑臂441a相互在X方向上隔開規定間隔地設置。而且，自各支撑臂441a的(+Y)側端部及(-Y)側端部向(-Z)方向懸挂設置著支柱441b，且共4根支柱441b延伸至下方。而且，利用這些支柱441b中的(+Y)側的兩根支柱441b將支撑板441c水平支撑，並且利用(-Y)側的兩根支柱441b將另一支撑板441c水平支撑。各支撑板441c是沿X方向延伸，且以自上方面向沿X方向排列的3個貫穿孔41d的方式配置。以此方式構成的支撑架441成為不與構成加固架42的肋421、422干擾的形狀。

各支撑板441c中，以與貫穿孔41d一一對應的方式，隔著連結構件442安裝有吸附墊443。因此，如果利用下述升降機構447使支撑架441升降，則連結於支撑架441的支撑板441c的6個吸附墊443也隨著支撑架441升降而統一地升降。例如在將一面由外部的機械手支撑一面搬送至上載台41的正下方位置的印版PP或基板SB傳送至上載台41的情况下，多個吸附墊443隨著支撑架441下降而統一地下降，抵接地吸附於印版PP或基板SB的上表面。此時的問題是支撑在機械手的印版PP或基板SB的彎曲。也就是說，由於必須將這些印版PP或基板SB在正面朝下狀態下搬送至上載台41的正下方，所以機械手只能支撑印版PP或基板SB的下表面周緣部，導致印版PP或基板SB產生彎曲。因此，存在吸附墊443與印版PP或基板SB的上表面抵接的時機對於每一吸附墊443而言不同的情况。因此，本實施方式將各吸附墊443經由連結構件442連結於支撑架441。

圖8(a)、圖8(b)是表示將吸附墊連結於支撑架的連結構件的構成及動作的圖。連結構件442均具有相同構成。連結構件442包括圓筒形狀的罩蓋(cap)442a，該罩蓋442a是以使開口朝向下方的狀態安裝在支撑架441的支撑板441c，且該罩蓋442a作為連結構件442的本體部發揮作用。在該罩蓋442a的上端面設置著貫穿孔(省略圖示)，且以貫穿該貫穿孔及罩蓋442a的內部的方式，沿上下方向Z延伸設置著中空軸442b。在中空軸442b 的上端外周部，固定著具有比貫穿孔的內徑大的外徑(本實施方式中為與罩蓋442a的外徑相同的直徑)的擋止件442c，以防中空軸442b自罩蓋442a脫落。而且，在中空軸442b的上端中空部連接著配管442d，且該配管442d進一步經由未圖示的控制閥，連接於控制單元8的負壓供給部804(圖2)。

而且，自中空軸442b的下端側、即(-Z)側端部外嵌著壓縮彈簧442e，且將該壓縮彈簧442e收納在罩蓋442a的內部。而且，以將收納在罩蓋442a中的壓縮彈簧442e的下端部自(-Z)側卡止的方式，將卡止板442f固定在中空軸442b的側面，且在如圖6所示，吸附墊443成為自由狀態時，或如圖8(a)所示，吸附墊443與印版PP或基板SB抵接的時間點，壓縮彈簧442e成為無外力狀態。在該無外力狀態下，安裝在中空軸442b下端部的吸附墊443與支撑板441c的距離維持規定值。另一方面，吸附墊443與印版PP或基板SB抵接後，如圖8(b)所示，即便支撑板441c進一步向下方、即(-Z)方向移動距離H，壓縮彈簧442e也將隨著該移動而收縮長度H，從而將吸附墊443維持在抵接時間點的位置。即，本實施方式中，當吸附墊443與印版PP或基板SB的上表面抵接後，支撑架441進一步下降時，使吸附墊443對於支撑架441的支撑板441c的相對位置移位，從而維持吸附墊443的高度位置。以此方式發揮位置調整功能。

在本實施方式中，為了以所述方式使支撑架441升降，而設置著具有如下構成的驅動機構部440。該驅動機構部440，如圖6所示地使支撑架441隔著一對滑件444及與一對滑件444卡合的一對導軌445，沿鉛垂方向移動自如地支撑在底板(base plate)446。而且，底板446與支撑架441通過包括例如馬達及滾珠螺杆機構等適當的機構的升降機構447而結合。通過升降機構447運行，而使支撑架441相對底板446升降，從而連結構件442及吸附墊443與支撑架441一體地升降。

通過將底板446固定在梁狀結構體43的側面，而使上部吸附單元44與上載台41一體化。在該狀態下，將各連結構件442的下端及吸附墊443插通至設置在上載台41中的未圖示的貫穿孔。接著，通過升降機構447運行，而使吸附墊443在它的下表面相較上載台41的下表面(保持平面)41a突出至下方的吸附位置、與下表面退避至上載台41的貫穿孔內部(上方)的退避位置之間升降移動。而且，當將吸附墊443的下表面定位在與上載台41的保持平面41a大致相同的高度時，上載台41與吸附墊443可協同地將印版PP或基板SB保持在保持平面41a。

返回圖1，以所述方式構成的上載台總成40是設置在底板481上。更詳細來說，支撑柱45、46是分別竪立設置在底板481，且上載台總成40可升降地安裝在該支撑柱45、46。底板481是安裝在上載台支撑架22、23，且由包括例如交叉滾子軸承等適當的可動機構的上載台塊支撑機構482支撑。

因此，上載台總成40整體可相對主架2水平移動。具體來說，底板481因上載台塊支撑機構482運行而在水平面、即 XY平面內水平移動。分別對應於支撑柱45、46設置的一對底板481可相互獨立地移動，且上載台總成40可隨著這一對底板481移動而相對主架2沿X方向、Y方向及θ方向在規定的範圍內移動。

以所述方式構成的圖案形成裝置1的各部分由控制單元8控制。如圖2所示，控制單元8包括：中央處理器(Central Processing Unit，CPU)801，操縱裝置整體的動作；馬達控制部802，控制設置在各部分的馬達；閥控制部803，控制設置在各部分的控制閥類；及負壓供給部804，產生供給到各部分的負壓。另外，在可利用自外部供給的負壓的情况下，控制單元8也可不包括負壓供給部。

馬達控制部802通過控制設置在各功能塊的馬達組，而操縱裝置各部分的定位或移動。而且，閥控制部803通過控制設置在自負壓供給部804連接到各功能塊的負壓配管路徑上、及自氣體供給部806連接到機械手625的配管路徑上的閥組，而操縱負壓供給下的真空吸附的執行及真空吸附的解除、以及來自機械手上表面625a的氣體噴出。

而且，該控制單元8包括對利用相機拍攝的圖像實施圖像處理的圖像處理部805。圖像處理部805通過對利用安裝在主架2的基板用預對準相機241~243及橡皮布用預對準相機244~246拍攝的圖像進行規定的圖像處理，而檢測基板SB及橡皮布BL的大致位置。而且，通過對利用下述精確對準用對準相機27拍攝的圖像進行規定的圖像處理，而更精確地檢測基板SB與橡皮布BL的位置關係。CPU801根據這些位置檢測結果，控制上載台塊支撑機構482及對準載台支撑機構605，進行保持在上載台41的印版PP或基板SB與保持在下載台61的橡皮布BL的位置對準(預對準處理及精確對準處理)。

接著，對以所述方式構成的圖案形成裝置1中的圖案形成處理進行說明。該圖案形成處理中，將保持在上載台41的印版PP或基板SB、與保持在下載台61的橡皮布BL隔開微小間隙地靠近對向配置。而且，轉印輥筒641一面抵接於橡皮布BL的下表面，使橡皮布BL局部地升起到上方，一面沿著橡皮布BL下表面移動。被升起的橡皮布BL首先與印版PP或基板SB局部地抵接，從而抵接部分隨著輥筒移動而逐漸擴大，最終與印版PP或基板SB的整體抵接。由此，自印版PP對橡皮布BL進行圖案化，或自橡皮布BL對基板SB進行圖案轉印。

圖9是表示圖案形成處理的流程圖。而且，圖10(a)~10(d)至圖17(a)~17(c)是示意性表示處理的各階段中的裝置各部分的位置關係的圖。以下，參照圖10(a)~10(d)至圖17(a)~17(c)說明圖案形成處理中的各部分的動作。另外，為了容易理解地表示處理的各階段中的各部分的關係，而存在將與該階段的處理不直接相關的構成或應對該構成標注的符號的圖示省略的情况。而且，在保持在上載台41的處理對象物為印版PP時與為基板SB時之期間，動作除一部分以外均相同，所以，共用附圖，適當更替稱為印版PP與基板SB。

在該圖案形成處理中，首先，將與應形成的圖案對應的印版PP搬入至經初始化的圖案形成裝置1，且設置在上載台41(步驟S101)，接著，將形成有圖案形成材料的均勻塗佈層的橡皮布BL搬入，設置在下載台61(步驟S102)。印版PP是使與圖案對應的有效面朝下地搬入，且橡皮布BL是使塗佈層朝上地搬入。

圖10(a)~圖10(d)表示將印版PP或基板SB搬入至裝置且設置在上載台41為止的過程。如圖10(a)所示，在初始狀態下，上載台41退避至上方，從而與下載台61的間隔變大，在兩載台之間形成寬的處理空間SP。而且，一對上部吸附單元44將支撑架441升起到上方，使各吸附墊443相較上載台41位於上方。而且，各機械手625相較下載台61的上表面退避到下方。轉印輥筒641位於面向下載台61的開口窗611的位置中最靠(-X)方向的位置，且位於在鉛垂方向(Z方向)相較下載台61的上表面退避到下方的位置。連接於負壓供給部804的各控制閥被關閉。

在該狀態下，自裝置的正面側、即(-Y)方向朝(+Y)方向地將載置在外部的印版用機械手HP的印版PP在預先測量它的厚度後搬入至處理空間SP。印版用機械手HP既可為由操作人員機械手動操作的操作夾具，也可為外部的搬送機器人的機械手。不過，由於必須將印版PP在應形成的圖案朝向下方的狀態、所謂的正面朝下狀態下搬入，所以，印版用機械手HP支撑地保持印版PP的下表面外周緣。因此，如圖10(a)所示，印版PP彎曲，例如所謂的G4大小(680×880[mm])的印版PP存在彎曲量達到數[mm]的情况。因此，如果將由印版用機械手HP保持的印版PP搬入至上載台41的正下方位置，則印版PP的上表面與上載台41的下表面的距離在外周緣附近相對較短，與此相對，在中央部附近變得相對較長。

在利用印版用機械手HP搬入印版PP時，因機械手625及轉印輥筒641退避至下方，而可使搬入作業變得容易。當將印版PP定位在規定的位置時，如箭頭所示，上載台41下降。

如果上載台41下降至靠近印版PP的規定位置，則利用升降機構447使支撑架441下降，由此，各吸附墊443沿著通過貫穿孔41d且在上下方向Z延伸的移動路徑下降，經由貫穿孔41d而相較上載台41的下表面、即保持平面41a突出到下方，從而抵接於印版PP的上表面。不過，印版PP中產生彎曲，並且因彎曲而移位至下方的位移量(相當於本發明的“因彎曲導致的位移量”)在印版PP的各部分不同。因此，如上所述，存在印版PP的各部分中與上載台41的下表面41a相距的距離在每一吸附墊443均不同的情况。由此，成為多個吸附步驟所產生的結果。例如在如圖10(a)所示產生印版PP彎曲的情况下，抵接於靠近印版PP的外周緣的位置的吸附墊443以比抵接於靠近印版PP的中央部的位置的吸附墊443早的時機抵接。此情况相當於本發明的“第一吸附步驟”的一例。接著，因支撑架441進一步下降，剩餘的吸附墊443也抵接於印版PP的上表面。此情况相當於本發明的 “第二吸附步驟”的一例。此時，連結於先抵接的吸附墊443的連結構件442中，如圖8(b)所示，壓縮彈簧442e收縮，使吸附墊443對於支撑板441c的相對位置移位，從而維持吸附墊443的高度位置。可利用該位置調整功能，使支撑架441向下方移動固定的下降量，由此，使所有吸附墊443抵接於印版PP的上表面。因此，理想為預先測量印版PP的彎曲量，且考慮該彎曲量而設定支撑架441的下降量。

然後，如圖10(b)所示，當所有吸附墊443抵接於印版PP的上表面時，將與各吸附墊443相連的控制閥打開，利用吸附墊443吸附印版PP的上表面，保持印版PP。接著，在持續吸附的狀態下，升降機構447運行，使支撑架441上升。在該上升初始階段，吸附墊443下降時進行收縮的壓縮彈簧442e隨著支撑板441c上升而伸長，最終恢復為原來的初始狀態。在此期間，吸附墊443一直靜止。另一方面，與壓縮彈簧442e最早恢復為初始狀態的連結構件442連結的吸附墊443隨著支撑板441c上升而一面吸附保持印版PP一面上升。然後，當所有壓縮彈簧442e恢復為初始狀態時，如圖10(c)所示，將印版PP的彎曲消除，印版PP在水平狀態下受到支撑。

通過支撑架441進一步繼續上升，而將吸附保持在吸附墊443的印版PP維持著水平狀態，自印版用機械手HP升起。在此時間點，印版用機械手HP向裝置外移動。

最終，如圖10(d)所示，吸附墊443經由貫穿孔41d 上升至上載台41的上方位置為止。在該上升中途中執行吸附切換。即，如果吸附墊443的下表面到達保持平面41a(上載台41的下表面)，且印版PP的上表面密接於保持平面41a，則將與吸附槽41b及吸附孔41c相連的控制閥(省略圖示)打開，利用吸附槽41b及吸附孔41c吸附印版PP的上表面，從而結束對上載台41傳送印版PP。而且，在確認傳送結束後，停止對各吸附墊443的負壓供給，各吸附墊443通過貫穿孔41d移動至上載台41的上方。當然，也可構成為在所述傳送處理結束的時間點，使各吸附墊443位於貫穿孔41d內。這樣一來，印版PP的保持結束，但可利用相同的順序，由基板用機械手HS搬入基板SB。此情况相當於本發明的“移動步驟”的一例。

圖11(a)~圖11(c)及圖12(a)、圖12(b)表示搬入印版PP後至將橡皮布BL搬入且保持在下載台61為止的過程。如果上載台41對印版PP的保持結束，則如圖11(a)所示，使上載台41上升，再次形成寬的處理空間SP，並且使各機械手625相較下載台61的上表面61a上升至上方。此時，各機械手625的上表面625a全部成為同一高度。

在該狀態下，接受以下處理：如圖11(b)所示，將在上表面形成著圖案形成材料的塗佈層PT的橡皮布BL載置在外部的橡皮布用機械手HB，且搬入至處理空間SP。在搬入之前先測量橡皮布BL的厚度。理想為橡皮布用機械手HB是包括沿著Y方向延伸的手指(finger)的叉型(fork type)機械手，以不與機械手625干擾便可通過它們的間隙進入。

因橡皮布用機械手HB進入後下降、或機械手625上升，機械手625的上表面625a抵接於橡皮布BL的下表面，如圖11(c)所示，此後橡皮布BL由機械手625支撑。可通過對設置在機械手625的吸附孔625b(圖4)供給負壓，而更確實地進行支撑。這樣一來，可將橡皮布BL自橡皮布用機械手HB傳送至機械手625，且將橡皮布用機械手HB排出至裝置外。

此後，如圖12(a)所示，保持著各機械手625的上表面625a的高度一致地使機械手625下降，最終，使機械手上表面625a成為與下載台61的上表面61a相同的高度。由此，橡皮布BL四邊的周緣部抵接於下載台61的上表面61a。

此時，如圖12(b)所示，對設置在下載台上表面61a的真空吸附槽612供給負壓，從而吸附保持橡皮布BL。隨之，解除機械手625的吸附。由此，橡皮布BL成為它的四邊的周緣部由下載台61吸附保持的狀態。圖12(b)中，為了明確表示已解除機械手625的吸附保持，而使橡皮布BL與機械手625相隔，不過實際是維持橡皮布BL的下表面抵接於機械手上表面625a的狀態。

可以想像如果假設在該狀態下使機械手625與橡皮布BL相隔，那麽橡皮布BL因自重而導致中央部向下方彎曲，從而整體上成為向下凸的形狀。可通過將機械手625維持為與下載台上表面61a相同的高度，而抑制這種彎曲，從而將橡皮布BL維持為平面狀態。這樣一來，橡皮布BL成為一方面它的周緣部由下載台61吸附保持，一方面中央部由機械手625輔助性地支撑的狀態，從而橡皮布BL的保持結束。

印版PP與橡皮布BL的搬入順序也可與所述相反。不過，在搬入橡皮布BL後搬入印版PP的情况下，存在以下擔憂：搬入印版PP時異物墜落至橡皮布BL上而污染圖案形成材料的塗佈層PT或產生缺陷。可通過像所述那樣將印版PP設置在上載台41後，將橡皮布BL設置在下載台61，而將這種問題防患於未然。

返回圖9，如果以此方式分別將印版PP及橡皮布BL設置在上下載台，則接著進行印版PP及橡皮布BL的預對準處理(步驟S103)。進而，以印版PP與橡皮布BL隔開預先設定的間隙地對向的方式進行間隙調整(步驟S104)。

圖13(a)~圖13(c)是表示間隙調整處理及對準處理的過程的圖。其中，圖13(c)所示的精確對準處理是僅在下述轉印處理中所需的處理，所以在下文轉印處理的說明中對精確對準處理進行描述。如上所述，將印版PP、基板SB或橡皮布BL自外部搬入，不過在進行傳送時可能引起位置偏移。預對準處理是如下處理：用來將保持在上載台41的印版PP或基板SB、與保持在下載台61的橡皮布BL分別大致定位在適合後續處理的位置。

圖13(a)是示意性表示用來執行預對準的構成的配置的側視圖。如上所述，本實施方式是在裝置上部共設置著6台預對準相機241~246。其中的3台相機241~243是用來對保持在上載台41的印版PP(或基板SB)的外緣進行檢測的基板用預對準相機。而且，另3台相機244~246是用來對橡皮布BL的外緣進行檢測的橡皮布用預對準相機。另外，這裏為方便起見，而將預對準相機241~243稱為“基板用預對準相機”，但這些預對準相機241~243可用於印版PP的位置對準及基板SB的位置對準中的任一位置對準，且它們的處理內容也相同。

如圖1及圖13(a)所示，基板用預對準相機241、242是在X方向上位置大致相同且在Y方向上使位置相互不同地設置，且分別自上方拍攝印版PP或基板SB的(-X)側外緣部。上載台41形成為比基板SB略小的平面尺寸，所以可上方自拍攝相較上載台41的端部延伸至外側的印版PP(或基板SB)的(-X)側外緣部。而且，圖13(a)中雖未展現，但在圖13(a)紙面的近前側設置著另一台基板用預對準相機243，且該相機243自上方拍攝印版PP(或基板SB)的(-Y)側外緣部。

另一方面，橡皮布用預對準相機244、246是在X方向上位置大致相同且在Y方向上位置相互不同地設置，且分別自上方拍攝載置在下載台61的橡皮布BL的(+X)側外緣部。而且，在圖13(a)紙面的近前側設置著另一台橡皮布用預對準相機245，且該相機245自上方拍攝橡皮布BL的(-Y)側外緣部。

分別根據這些預對準相機241~246的攝像結果，掌握印版PP(或基板SB)及橡皮布BL的位置。然後，上載台塊支撑機構482及對準載台支撑機構605視需要而運行，由此，將印版PP(或基板SB)及橡皮布BL分別定位在預先設定的目標位置。

另外，當使橡皮布BL與下載台61一起水平移動時，優選如圖13(a)所示，使各機械手625的上表面625a與橡皮布BL的下表面略微隔開。為達到該目的，可自機械手625的吸附孔625b噴出自氣體供給部806供給的氣體。此情况在下述精確對準處理中也相同。

而且，對於薄型或大型而容易產生彎曲的基板SB，例如有時會在使板狀的支撑構件抵接於背面的狀態下將基板SB供給至處理，以易於操作。在這種情况下，即便支撑構件與基板SB相比為大型構件，只要構成為例如由透明材料構成支撑構件，或在支撑構件局部地設置透明的窗或貫穿孔等容易檢測基板SB的外緣部位置，便也可進行與所述相同的預對準處理。

接著，如圖13(b)所示，使保持印版PP的上載台41相對保持橡皮布BL的下載台61下降，使印版PP與橡皮布BL的間隔G符合預先規定的設定值。此時，考慮事先測量的印版PP及橡皮布BL的厚度。即，以加上印版PP及橡皮布BL的厚度後，印版PP與橡皮布BL的間隙成為規定值的方式，調整上載台41與下載台61的間隔。這裏的間隙值G例如可為300μm左右。

關於印版PP及橡皮布BL的厚度，除了存在因製造上的尺寸偏差導致的個體差異以外，即便為同一零件，也可想像例如因膨脹導致的厚度變化，因此，理想為在每次使用時均進行測量。而且，間隙G既可以印版PP的下表面與橡皮布BL的上表面之間定義，也可以在印版PP的下表面與橡皮布BL所負載的圖案形成材料的塗佈層PT的上表面之間進行定義。只要在塗佈階段嚴格地管理塗佈層PT的厚度，則在技術方面，所述兩定義等效。

返回圖9，如果以此方式將印版PP與橡皮布BL隔開間隙G地對向配置，則通過接著使轉印輥筒641一面抵接於橡皮布BL的下表面一面沿X方向移行，而使印版PP與橡皮布BL抵接。由此，利用印版PP將橡皮布BL上的圖案形成材料的塗佈層PT圖案化(圖案化處理；步驟S105)。

圖14(a)~圖14(c)表示圖案化處理的過程。具體來說，如圖14(a)所示，使轉印輥筒641上升至橡皮布BL的正下方位置為止，並且在X方向上，將轉印輥筒641配置在轉印輥筒641的中心線與印版PP的端部大致相同的位置、或比該位置略向(-X)方向偏離的位置。在該狀態下，如圖14(b)所示，使轉印輥筒641進一步上升而抵接於橡皮布BL的下表面，使該抵接的位置的橡皮布BL局部地升起到上方。由此，將橡皮布BL(更嚴格地說為橡皮布BL所負載的圖案形成材料的塗佈層PT)以規定的按壓力按壓至印版PP的下表面。轉印輥筒641在Y方向上長於印版PP(及有效區域)，所以，印版PP的下表面中Y方向上的其中一端到另一端的沿Y方向的細長區域與橡皮布BL抵接。

通過升降機構644在轉印輥筒641像所述那樣按壓著橡皮布BL的狀態下向(+X)方向移行，而使橡皮布BL的升起位置向(+X)方向移動。此時，為了防止機械手625與轉印輥筒641接觸，而如圖14(c)所示，使與轉印輥筒641的X方向距離為規定值以下的機械手625退避至下方，直到至少該機械手625的上表面625a成為比支撑架642的下表面低的位置為止。

由於已將機械手625的吸附解除，所以，不會隨著機械手625的下降而使橡皮布BL向下方下降。而且，也可通過與轉印輥筒641的移行同步地適當管理開始下降的時機，而防止失去機械手625支撑的橡皮布BL因自重而向下方懸垂。

圖15(a)~圖15(c)表示轉印輥筒641的移行過程。由於將暫時抵接的印版PP與橡皮布BL維持隔著圖案形成材料的塗佈層PT密接的狀態，所以如圖15(a)所示，印版PP與橡皮布BL的密接區域隨著轉印輥筒641移行而逐漸向(+X)方向不斷擴大。此時，如該圖15(a)所示，隨著轉印輥筒641靠近而使機械手625依次下降。

這樣一來，最終如圖15(b)所示，機械手625全部下降，轉印輥筒641到達下載台61下方的(+X)側端部附近。在該時間點，轉印輥筒641到達印版PP的(+X)側端部的大致正下方或比印版PP的(+X)側端部的大致正下方略靠(+X)側的位置，從而印版PP的下表面全部抵接於橡皮布BL上的塗佈層PT。

在轉印輥筒641維持著固定的高度移行的期間，橡皮布BL下表面中被轉印輥筒641按壓的區域的面積固定。因此，通過一面對升降機構644賦予固定的負載，一面將轉印輥筒641抵住橡皮布BL，而將印版PP與橡皮布BL一面夾層著圖案形成材料的塗佈層PT，一面以固定的按壓力相互按壓。由此，可良好地自印版PP對橡皮布BL進行圖案化。

另外，在進行圖案化，理想為可有效地利用印版PP的表面區域整體，但在印版PP的周緣部，因損傷或搬送時與機械手接觸等而不可避免地產生無法有效利用的區域。如圖15(b)所示，當將印版PP的去除端部區域的中央部分作為有效發揮印版功能的有效區域AR時，理想為轉印輥筒641的按壓力及移行速度至少在有效區域AR內固定。為此，轉印輥筒641的Y方向長度必須長於該Y方向上的有效區域AR的長度。而且，理想為在X方向上，相較(-X)方向上的有效區域AR的端部自(-X)側的位置開始轉印輥筒641移行，且在至少到達(+X)方向上的有效區域AR的端部之前，維持固定速度。與印版PP的有效區域AR對向的橡皮布BL的表面區域成為橡皮布BL側的有效區域。

圖16表示印版或基板與橡皮布的位置關係。更具體來說，該圖16是自上方觀察印版PP或基板SB抵接於橡皮布BL時的位置關係所得的平面圖。如圖16所示，橡皮布BL具有比印版PP或基板SB大的平面尺寸。橡皮布BL的圖16中打點的周緣部附近的區域R1是保持在下載台61時抵接於下載台上表面61a的區域。橡皮布BL在相較區域R1為內側的區域中，使下表面開放的狀態下保持在下載台61。

印版PP與基板SB為大致相同的尺寸，這些尺寸小於下載台61的開口窗尺寸。而且，有效用於實際的圖案形成的有效區域AR小於印版PP或基板SB的尺寸。因此，橡皮布BL中對應於有效區域AR的區域是將下表面開放且面向下載台61的開口窗611的狀態。

標有影線的區域R2表示橡皮布BL下表面中同時受轉印輥筒641按壓的區域(按壓區域)。按壓區域R2是沿著輥筒延伸設置方向、即Y方向延伸的細長區域，且其Y方向上的兩端部分別延伸至比印版PP或基板SB的端部更外側。因此，當轉印輥筒641在與橡皮布BL下表面平行的狀態下按壓橡皮布BL時，該按壓力在Y方向上的有效區域AR的其中一端部到另一端部之間在Y方向上均勻。

以此方式一面對有效區域AR賦予Y方向上均勻的按壓力，一面轉印輥筒641沿X方向移動，由此，在有效區域AR內的整體中，印版PP或基板SB與橡皮布BL以均勻的按壓力相互受到按壓。由此，可防止不均勻按壓導致圖案損傷，從而形成品質優良的圖案。

這樣一來，如果轉印輥筒641到達(+X)側端部，則停止轉印輥筒641的移行，並且如圖15(c)所示，使轉印輥筒641往下方退避。由此，轉印輥筒641與橡皮布BL下表面相隔，從而結束圖案化處理。

返回圖9，如果如上所述圖案化處理結束，則進行印版PP及橡皮布BL的搬出(步驟S106)。圖17(a)~圖17(b)表示印版及橡皮布的搬出過程。首先，如圖17(a)所示，使在圖案化處理時下降的各機械手625再次上升，將上表面625a定位於與下載台61的上表面61a成為同一高度的位置。在該狀態下，解除上載台41的吸附槽41b及吸附孔41c對印版PP的吸附。由此，解除上載台41對印版PP的保持，將印版PP與橡皮布BL隔著圖案形成材料的塗佈層PT一體化所得的積層體留在下載台61上。積層體的中央部由機械手625支撑。

接著，如圖17(b)所示，使上載台41上升而形成寬的處理空間SP，解除下載台61的槽612的吸附，並且使機械手625進一步上升，和下載台61相比移動至上方。此時，優選利用機械手625吸附保持積層體。

由此，可自外部進行存取。因此，如圖17(c)所示，通過自外部接收橡皮布用機械手HB，進行與搬入時相反的動作，而將使印版PP密接的狀態的橡皮布BL搬出至外部。如果利用適當的剝離器件將像這樣密接的印版PP自橡皮布BL剝離，則在橡皮布BL上形成規定的圖案。

接著，說明將形成在橡皮布BL的圖案轉印至作為最終目標物的基板SB的情况。該轉印步驟基本上與圖案化處理的情况相同。即，如圖9所示，首先，將基板SB設置在上載台41(步驟S107)，接著，將經過圖案形成後的橡皮布BL設置在下載台61(步驟S108)。然後，進行基板SB與橡皮布BL的預對準處理及間隙調整後(步驟S109、S110)，使轉印輥筒641在橡皮布BL下部移行，由此，將橡皮布BL上的圖案轉印至基板SB(轉印處理；步驟S112)。轉印結束後，將經一體化的橡皮布BL與基板SB搬出，從而處理結束(步驟S113)。這些一系列動作也和圖10(a)~圖10(d)至圖17(a)~圖17(c)所示的動作相同。另外，在這些圖中將印版PP改稱為基板SB時，符號PT是指圖案化處理後的圖案。

不過，在轉印處理中，為了將圖案準確轉印至基板SB的規定位置，而在使基板SB與橡皮布BL抵接之前，執行兩者的更精確的位置對準(精確對準處理)(步驟S111)。圖13(c)表示精確對準處理的過程。

圖1中雖省略記載，不過在該圖案形成裝置1中，設置著支撑在自底架21沿(+Z)方向竪立設置的支撑柱上的精確對準相機27。精確對準相機27是以通過下載台61的開口窗611分別拍攝基板SB的四角的方式，使其光軸朝向鉛垂上方地合計設置4台。

在基板SB的四角預先形成著作為位置基準的對準標記(基板側對準標記)，另一方面，在橡皮布BL的與該對準標記對應的位置，作為利用印版PP進行圖案化的圖案的一部分而形成有橡皮布側對準標記。通過在精確對準相機27的同一視野內拍攝基板側對準標記與橡皮布側對準標記，且檢測它們的位置關係，而求出基板側對準標記與橡皮布側對準標記的位置偏移量，且求出修正該位置偏移量的橡皮布BL的移動量。通過利用對準載台支撑機構605，使對準載台601移動所求出的移動量，而使下載台61在水平面內移動，從而修正基板SB與橡皮布BL的位置偏移。

在使基板SB與橡皮布BL隔開微小間隙G地對向的狀態下，且利用同一相機拍攝分別形成在基板SB及橡皮布BL的對準標記，由此，便可進行基板SB與橡皮布BL的高精度位置對準。在此意義上，可以說與單獨地拍攝基板SB及橡皮布BL進行位置調整的情况相比，所述對準處理是精度更高的精確對準處理。本實施方式可通過在此狀態下使基板SB與橡皮布BL抵接，而將高精度地位置對準的圖案形成在基板SB的規定位置。而且，可通過預先進行基板SB及橡皮布BL的預對準處理，而將分別形成在基板SB及橡皮布BL的對準標記定位在精確對準相機27的視野內。

另外，當利用印版PP對橡皮布BL進行圖案形成時，並非必須以所述方式進行精確的對準處理。這是因為通過將橡皮布側對準標記與圖案一起形成在印版PP，而不會在形成在橡皮布BL上的圖案與橡皮布側對準標記之間產生位置偏移，只要以橡皮布側對準標記與基板側對準標記進行精確對準，印版PP與橡皮布BL的略微位置偏移便不會對圖案形成造成影響。由於此原因，所以在圖案化處理中只執行預對準處理。

如上所述，本實施方式是利用印版用機械手HP搬入正面朝下狀態的印版PP，所以由印版用機械手HP保持的印版PP彎曲。然而，因為以所述方式構成的上部吸附單元44的多個吸附墊443在相互不同的印版PP的上表面位置進行吸附保持，且自印版用機械手HP接收印版PP之後，在各吸附墊443經由貫穿孔41d移動至上載台41的上方的期間，將印版PP傳送至上載台41的下表面(保持平面)41a，所以，可不受彎曲影響地使印版PP的上表面整體密接於上載台41的下表面(保持平面)41a，利用上載台41的吸附槽41b及吸附孔41c良好地吸附保持印版PP。

這裏，在吸附墊443的下表面到達保持平面41a的時間點，印版PP的上表面密接於保持平面41a，但即便該時機在每一吸附墊443略有偏差，也可進行印版PP傳送。不過，本實施方式是利用連結構件442的位置調整功能，所以可使所述時機大致一致。即，在如圖10(c)所示利用多個吸附墊443一面吸附保持印版PP一面將印版PP自印版用機械手HP傳送至上載台41的中途，可消除印版PP的彎曲，將印版PP修正為水平姿勢。然後，所有吸附墊443維持著水平姿勢上升。因此，印版PP能够以如上所述地修正為水平姿勢的狀態密接於上載台41的下表面41a，從而更良好地進行印版PP的傳送及吸附保持。

這些作用效果不僅在將印版PP自印版用機械手HP傳送至上載台41時奏效，而且在將基板SB自基板用機械手HS傳送至上載台41時也奏效。

另外，所述實施方式是在上載台41設置多個貫穿孔41d，且在貫穿孔41d位於印版PP或基板SB的上表面的狀態下進行圖案形成(印版PP對橡皮布進行圖案轉印、橡皮布BL上的圖案轉印至基板SB)。因此，存在貫穿孔41d影響令人擔憂的情况，不過觀察貫穿孔41d的位置上的圖案形成結果，確認到在貫穿孔41d的位置未發現圖案不良，已遍及整面地實現良好的圖案形成。

如上所述，本實施方式中，印版PP及基板SB相當於本發明的“板狀被搬送物”及“板狀物體”的一例，印版用機械手HP及基板用機械手HS相當於本發明的“第一保持器件”及“搬送器件”的一例。而且，上載台41相當於本發明的“第二保持器件”的一例。而且，一對上部吸附單元44相當於本發明的“傳送裝置”及“傳送器件”的一例。而且，支撑架441相當於本發明的“移動構件”的一例。

另外，本發明並不限定於所述實施方式，可在不脫離本發明精神的範圍內對所述內容追加各種變更。例如所述實施方式是使沿著X方向排列有3個吸附墊443的墊行沿著Y方向排列4列，而合計使用12個吸附墊443，不過只要可利用多個吸附墊443吸附印版PP或基板SB的上表面的相互不同的位置，則吸附墊443的個數及排列等任意。

而且，所述實施方式是將本發明的板狀被搬送物的傳送方法及傳送裝置應用於圖案形成裝置，但本發明的應用對象並不限定於此，可應用於如下所有裝置：將由第一保持器件以支撑下表面周緣部的狀態保持的板狀被搬送物傳送至第二保持器件，該第二保持器件是在所述第一保持器件的上方吸附保持所述板狀被搬送物的上表面。

本發明可應用於如下技術、以及使用該技術進行圖案形成的所有圖案形成裝置，該技術是將板狀被搬送物自以彎曲的狀態保持該板狀被搬送物的第一保持器件傳送至吸附保持板狀被搬送物的上表面的第二保持器件。