KR101784090B1 - 전사 장치 및 전사 방법 - Google Patents

Abstract

제1 판상체(SB)와 제2 판상체(BL)를 접촉시킨다. 제2 판상체(BL)의 하면에 대해 이격 접촉 가능하게 구성된 지지 부재(441)의 상단을, 제2 판상체(BL)의 하면 중 롤러 부재(431)가 최초로 접촉하는 부분보다 제2 판상체(BL)의 중심측의 부분에 접촉시켜, 제2 판상체(BL)를 하방으로부터 지지한다. 지지 부재(441)가 제2 판상체(BL)를 지지한 상태로 롤러 부재(431)가 제2 판상체(BL)에 접촉하여 제2 판상체(BL)를 제1 판상체(SB)에 누르고, 롤러 부재(431)가 제2 판상체(BL)를 제1 판상체(SB)에 누르면서 제2 판상체(BL)의 하면을 따라 이동한다.

Description

전사 장치 및 전사 방법{TRANSFER APPARATUS AND TRANSFER METHOD}

이 발명은, 2장의 판상체를 접촉시켜, 일방의 판상체로부터 타방의 판상체로 피전사물을 전사하는 전사 장치 및 전사 방법에 관한 것이다.

유리 기판이나 반도체 기판 등의 판상체에 패턴이나 박막을 형성하는 기술로서, 2장의 판상체를 서로 접촉시켜, 일방의 판상체의 주면에 담지된 패턴이나 박막 등의 피전사물을 타방의 판상체로 전사하는 것이 있다. 예를 들면 본원 출원인이 먼저 개시한 특허문헌 1에 기재된 기술에서는, 표면에 패턴을 담지하는 블랭킷과 기판을 대향 배치하고, 장척의 롤러 부재에 의해 블랭킷을 밀어올려 기판에 접촉시킨다. 그리고, 블랭킷을 밀어올리면서 롤러 부재가 블랭킷을 따라 이동함으로써, 블랭킷이 기판에 밀착되어, 패턴이 블랭킷으로부터 기판으로 전사된다.

일본국 특허공개 2014－144628호 공보

이와 같이, 수평 자세로 유지된 2장의 판상체를 롤러 부재에 의해 누름으로써 접촉시키는 기술에서는, 롤러 부재를 접촉시키기 위해, 하측에 위치하는 판상체의 하면 중앙부를 개방한 상태로 유지할 필요가 있다. 그러나, 이러한 유지 양태에서는, 판상체가 자중에 의해 하방으로 휘어짐으로써 타방의 판상체와의 사이에서 위치 어긋남이 발생하여, 피전사물의 전사 위치를 정밀도 좋게 제어하는 것이 곤란하다. 특히 최근, 판상체의 사이즈의 대형화에 따라 그 자중도 커지고, 이러한 문제가 현저해지고 있다.

이 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 2장의 판상체를 접촉시키는 전사 장치 및 전사 방법에 있어서, 판상체의 휘어짐에 기인하는 위치 어긋남을 억제하고, 2개의 판상체를 위치 정밀도 좋게 접촉시킬 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

이 발명의 한 양태는, 상기 목적을 달성하기 위해, 제1 판상체를 하면이 개방된 상태로 수평 자세로 유지하는 제1 유지 수단과, 제2 판상체의 주연부를 유지하고, 상기 제2 판상체의 상면이 상기 제1 판상체의 하면과 근접 대향하도록, 또한 상기 제2 판상체의 하면 중 상면측에서 상기 제1 판상체와 대향하는 하면 중앙부가 개방된 수평 자세로 상기 제2 판상체를 유지하는 제2 유지 수단과, 상기 제2 판상체의 하면을 따라 연장 설치된 롤러형상을 가지며, 상기 제2 판상체의 하면에 대해 이격 접촉 가능하게 구성되어, 상기 제2 판상체의 하면에 접촉하여 상기 제2 판상체를 상기 제1 판상체에 누르면서 상기 제2 판상체의 하면을 따라 이동하는 롤러 부재와, 상기 제2 판상체의 하면에 대해 이격 접촉 가능하게 구성되고, 상단이 상기 제2 판상체의 하면에 접촉함으로써 상기 제2 판상체를 하방으로부터 지지하는 지지 부재를 구비하고, 상기 롤러 부재가 상기 제2 판상체로부터 이격된 상태로, 상기 제2 판상체의 하면 중 상기 롤러 부재가 최초로 접촉하는 부분보다 상기 제2 판상체의 중심측의 위치에서, 상기 지지 부재가 상기 제2 판상체의 하면에 접촉하여 상기 제2 판상체를 지지하고, 상기 지지 부재에 의해 지지된 상기 제2 판상체에 대해 상기 롤러 부재가 접촉을 개시하여 상기 제2 판상체의 하면을 따라 이동하는 전사 장치이다.

또, 이 발명의 다른 양태는, 상기 목적을 달성하기 위해, 제1 판상체를 하면이 개방된 상태로 수평 자세로 유지하고, 제2 판상체의 주연부를 유지하며, 상기 제2 판상체의 상면이 상기 제1 판상체의 하면과 근접 대향하도록, 또한 상기 제2 판상체의 하면 중 상면측에서 상기 제1 판상체와 대향하는 하면 중앙부가 개방된 수평 자세로, 상기 제2 판상체를 유지하는 유지 공정과, 상기 제2 판상체의 하면을 따라 연장 설치된 롤러 형상을 가지며, 상기 제2 판상체의 하면을 따라 이동 가능하게 구성된 롤러 부재를, 상기 제2 판상체로부터 이격된 위치에 배치하는 롤러 배치 공정과, 상기 제2 판상체의 하면에 대해 이격 접촉 가능하게 구성된 지지 부재의 상단을, 상기 롤러 부재보다 상기 제2 판상체의 중심측의 위치에서 상기 제2 판상체의 하면에 접촉시켜, 상기 제2 판상체를 하방으로부터 지지하는 지지 공정과, 상기 지지 부재에 의해 지지된 상기 제2 판상체에 대해 상기 롤러 부재가 접촉을 개시하고, 상기 제2 판상체를 상기 제1 판상체에 눌러 상기 제2 판상체의 하면을 따라 이동하는 전사 공정을 구비하는 전사 방법이다.

상기와 같이 구성된 발명에서는, 롤러 부재가 제2 판상체를 제1 판상체에 누르면서 이동함으로써 제1 판상체와 제2 판상체를 밀착시킨다. 이 때, 롤러 부재가 제2 판상체에 접촉하기도 전에, 롤러 부재보다 제2 판상체의 중심에 가까운 쪽에서 지지 부재가 제2 판상체의 하면에 접촉함으로써 제2 판상체가 지지된다. 이 상태로부터 롤러 부재가 제2 판상체에 접촉하여 제2 판상체가 제1 판상체에 눌러진다.

주연부가 유지되고 하면 중앙부가 개방된 제2 판상체는, 자중에 의해 그 중앙부가 하방으로 휘어들어간다. 이에 의해, 제2 판상체 각 부의 수평 방향 위치는, 평탄한 자세로 유지되어 있는 상태에 비하면 제2 판상체의 중심측을 향해 어긋나는 경향이 있다. 이것이 2개의 판상체간의 위치 어긋남을 발생시켜, 피전사물의 전사 위치가 어긋나는 원인이 된다.

본원 발명자들의 지견에 의하면, 이 전사 위치의 어긋남량은 제1 판상체와 제2 판상체가 최초로 접촉하는 영역에서의 위치 어긋남량에 의해 거의 결정된다. 환언하면, 제1 판상체와 제2 판상체가 최초로 접촉하는 영역에서의 위치 어긋남을 충분히 작게 억제함으로써, 전사 범위 전체에서 위치 어긋남을 억제하는 것이 가능해진다.

그래서, 본 발명에서는, 제2 판상체로의 롤러 부재의 접촉보다 먼저, 롤러 부재보다 제2 판상체의 중심측에서 지지 부재가 제2 판상체에 접촉하여 제2 판상체를 하방으로부터 지지한다. 따라서, 제2 판상체는, 지지 부재와, 제2 판상체의 주연부를 지지하는 제2 유지 수단에 의해, 롤러 부재와 최초로 접촉하는 위치를 사이에 두도록 그 양측에서 지지되게 된다. 이 때문에, 롤러 부재가 최초로 접촉하는 위치에서는 제2 판상체의 휘어짐이 작아지고 있으며, 수평 방향으로의 위치 어긋남도 억제된다. 이 상태로 롤러 부재가 제2 판상체에 접촉하여 제1 판상체에 눌러 밀착시킴으로써, 이후의 롤러 부재의 주행에 의해서도, 제1 판상체와 제2 판상체의 수평 방향의 위치 어긋남이 증대되는 것이 억제된다. 결과적으로, 전사 범위의 전체에서 전사 위치의 어긋남이 억제된다.

본 발명에 의하면, 제2 판상체 중 최초로 롤러 부재와 접촉하는 부분에 대해, 이 부분을 사이에 두도록 제2 유지 수단과 지지 부재로 지지함으로써 휘어짐이 억제된다. 이렇게 해서 휘어짐에 기인하는 수평 방향의 위치 어긋남이 억제된 상태로 롤러 부재가 제2 판상체를 제1 판상체에 누름으로써, 이후의 롤러 부재의 주행에 있어서의 위치 어긋남의 증대도 억제된다. 그 결과, 2개의 판상체를 위치 정밀도 좋게 접촉시킬 수 있어, 피전사물을 소정의 전사 위치에 정밀도 좋게 전사할 수 있다.

도 1은, 이 발명에 관한 전사 장치의 한 실시 형태를 모식적으로 도시하는 측면도이다.
도 2는, 이 전사 장치의 주요부의 구성을 도시하는 도면이다.
도 3a, 도 3b는, 전사 롤러 블록을 도시하는 도면이다.
도 4a, 도 4b는, 전사 롤러 블록과 승강 핸드 유닛의 위치 관계를 도시하는 도면이다.
도 5a, 도 5b는, 블랭킷의 휘어짐 문제를 설명하기 위한 도면이다.
도 6a 내지 도 6c는, 블랭킷의 휘어짐과 전사 위치 어긋남의 관계를 도시하는 도면이다.
도 7은, 이 전사 장치에 의한 전사 처리를 도시하는 흐름도이다.
도 8a 내지 도 8d는, 전사 처리의 과정에 있어서의 각 부의 위치를 모식적으로 도시하는 제1 내지 제4 도면이다.
도 9a 내지 도 9d는, 전사 처리의 과정에 있어서의 각 부의 위치를 모식적으로 도시하는 제5 내지 제8 도면이다.
도 10a, 도 10b는, 리프터 유닛의 변형예를 도시하는 도면이다.
도 11a 내지 도 11c는, 리프터 유닛의 다른 변형예를 도시하는 도면이다.

도 1은, 이 발명에 관한 전사 장치의 한 실시 형태를 모식적으로 도시하는 측면도이다. 또 도 2는, 이 전사 장치의 주요부의 구성을 도시하는 도면이다. 각 도면에 있어서의 방향을 통일적으로 나타내기 위해, 도 1에 도시하는 바와 같이 XYZ 직교 좌표축을 설정한다. 여기에서 XY 평면이 수평면, Z축이 연직축을 나타낸다. 보다 상세하게는, (+Z) 방향이 연직 상향 방향을 나타내고 있다.

이 전사 장치(1)는, 도시 생략의 메인 프레임에 상부 스테이지 블록(2), 하부 스테이지 블록(3) 및 전사 롤러 블록(4)이 부착된 구조를 갖고 있다. 또, 전사 장치(1)는, 미리 기억된 처리 프로그램에 따라 장치 각 부를 제어하여 소정의 동작을 실행하는 제어 유닛(9)을 갖고 있다.

우선 장치(1)의 전체 구성을 설명한다. 또한, 상부 스테이지 블록(2) 및 하부 스테이지 블록(3)의 세부의 구조에 대해서는, 예를 들면 상기한 특허문헌 1(일본국 특허공개 2014－144628호 공보)에 기재된 것을 이용하는 것이 가능하고, 여기에서는 그 개요만을 설명한다.

전사 장치(1)는, 하부 스테이지 블록(3)에 의해 유지된 블랭킷(BL)과, 상부 스테이지 블록(2)에 의해 유지된 판(PP) 또는 기판(SB)을 서로 접촉시킴으로써 패턴 형성을 행하는 장치이다. 이 장치(1)에 의한 패턴 형성 프로세스는, 보다 구체적으로는 이하와 같다. 우선, 패턴 형성 재료가 균일하게 도포된 블랭킷(BL)에 대해, 형성해야 할 패턴에 대응하여 작성된 판(PP)을 접촉시킴으로써, 블랭킷(BL)에 담지된 도포층을 패터닝한다(패터닝 처리). 그리고, 이렇게 해서 패터닝된 블랭킷(BL)과 기판(SB)을 접촉시킴으로써, 블랭킷(BL)에 담지된 패턴을 기판(SB)에 전사한다(전사 처리). 이것에 의해, 기판(SB)에 원하는 패턴이 형성된다.

이와 같이, 이 전사 장치(1)는, 기판(SB)에 소정의 패턴을 형성하는 패턴 형성 프로세스에 있어서의 패터닝 처리 및 전사 처리의 양쪽에 사용하는 것이 가능하다. 그러나, 이들 처리의 한쪽만을 담당하는 양태로 이용되어도 된다. 또, 블랭킷(BL)에 담지된 박막을 기판(SB)에 전사하는 목적으로도 사용 가능하다. 이하, 블랭킷(BL) 표면에 형성된 패턴 또는 박막을 기판(SB)에 전사하는 전사 처리를 전제로 하여 장치의 구성 및 동작에 대해 설명한다. 그러나, 기판(SB)을 판(PP)으로 대체함으로써, 패터닝 처리에 있어서의 동작도 설명된다.

상부 스테이지 블록(2)은, 하면이 평탄한 기판 유지면(21a)으로 된 상부 스테이지(21)를 구비하고 있다. 상부 스테이지(21)는, Y방향으로 연장되는 빔 부재(22)의 하부에 부착되고, 빔 부재(22)에 의해 기판 유지면(21a)이 수평 자세가 되도록 유지되어 있다. 빔 부재(22)는, Y방향으로 이격되어 배치된 한 쌍의 스테이지 승강 기구(23, 23)에 의해 연직 방향(Z방향)으로 승강 가능하게 유지되어 있다. 이에 의해, 상부 스테이지(21)는 Z방향으로 이동 가능해지고 있다.

이 실시 형태에서는, 스테이지 승강 기구(23)의 일례로서 볼 나사 기구가 이용되지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 스테이지 승강 기구(23)는, 지지 부재(231, 232)에 의해 메인 프레임에 대해 회전 가능하게 지지된 볼 나사(233)와, 볼 나사(233)를 회전시키는 모터(234)와, 볼 나사(233)에 부착된 너트부(235)를 구비하고 있다. 볼 나사(233)와 모터(234)는 커플링(236)을 통해 연결되어 있다. 모터(234)는 제어 유닛(9)에 설치된 스테이지 승강 제어부(91)에 의해 제어되고, 스테이지 승강 제어부(91)로부터의 제어 신호에 따라 모터(234)가 회전함으로써 상부 스테이지(21)가 승강한다.

도면에는 나타나지 않지만, 상부 스테이지(21)의 하면(기판 유지면)(21a)에는 흡착홈 또는 흡착구멍이 형성되어 있다. 흡착홈 또는 흡착구멍에 대해, 제어 유닛(9)에 형성된 흡착 제어부(92)로부터 부압이 필요에 따라 공급된다. 이에 의해, 상부 스테이지(21)는, 기판 유지면(21a)에 접촉하는 기판(SB)의 상면을 흡착 유지할 수 있다. 기판 유지면(21a)의 평면 사이즈는 유지해야 할 기판(SB)의 사이즈보다 조금 작게 형성되어 있다.

이와 같이 구성된 상부 스테이지 블록(2)에 의해, 기판(SB)이 수평 자세로 유지된다. 기판(SB)은, 패턴 또는 박막이 전사되어야 할 피전사면이 하향이 되도록 장치(1)에 반입된다. 또, 스테이지 승강 기구(23)가 상부 스테이지(21)를 승강시킴으로써, 다음에 설명하는 하부 스테이지에 유지되는 블랭킷(BL)과 기판(SB) 사이의 갭이 규정된 값으로 조정된다.

하부 스테이지 블록(3)은, 중앙부에 개구부(311)가 설치되고 상면이 평탄하고 또한 수평인 블랭킷 유지면(31a)으로 된 하부 스테이지(31)를 구비하고 있다. 하부 스테이지(31)는 복수의 지주(32)에 의해 지지되고, 상부 스테이지(21)의 하방에 배치된다. 하부 스테이지(31)의 평면 사이즈는 유지해야 할 블랭킷(BL)의 사이즈보다 크고, 또 개구부(311)의 개구 사이즈는 기판(SB)의 평면 사이즈보다 크다. 이에 의해, 블랭킷(BL)은 하면의 주연부만이 하부 스테이지(31)에 접촉하고, 중앙부는 하면이 개방된 상태로, 하부 스테이지(31)에 유지된다. 하부 스테이지(31)의 상면(블랭킷 유지면)(31a) 중 블랭킷(BL)과 접촉하는 영역에, 흡착홈(312)이 형성되어 있다. 흡착홈(312)에는 제어 유닛(9)의 흡착 제어부(92)로부터 부압이 필요에 따라 공급된다. 이에 의해, 블랭킷(BL)이 하부 스테이지(31) 상에 흡착 유지된다. 블랭킷(BL)은, 기판(SB)에 전사해야 할 패턴 또는 박막을 담지하는 담지면을 상향으로 하여 수평 자세로 유지된다.

하부 스테이지(31)를 유지하는 지주(32)는 얼라이먼트 스테이지(36)에 부착되어 있다. 얼라이먼트 스테이지(36)는 복수의 얼라이먼트 기구(37)를 통해 메인프레임에 부착되어 있다. 얼라이먼트 기구(37)는, 예를 들면 크로스 롤러 베어링 기구를 가지며, 제어 유닛(9)에 설치된 얼라이먼트 제어부(94)로부터의 제어 신호에 따라 얼라이먼트 스테이지(36)를 수평 방향(XY방향) 및 Z축 둘레의 θ방향으로 이동시킨다. 이에 의해, 하부 스테이지(31)가 수평면(XY 평면) 내에서 이동하고, 상부 스테이지(21)에 유지된 기판(SB)과 하부 스테이지(31)에 유지된 블랭킷(BL)의 수평 방향에 있어서의 상대 위치가 최적화된다.

하부 스테이지 블록(3)은 또한, X방향으로 간격을 두고 마주 보도록 설치된 한 쌍의 승강 핸드 유닛(33, 34)을 구비하고 있다. 승강 핸드 유닛(33)과 승강 핸드 유닛(34)은, YZ 평면에 대해 서로 대칭인 형상을 갖고 있지만, 이들 구조는 기본적으로 동일하다.

승강 핸드 유닛(33)은, 하부 스테이지(31)의 개구부(311)에 면하여 Y방향을 따라 순서대로 설치된 복수개(여기에서는 일례로서 4개)의 승강 핸드(331, 332, 333, 334)와, 이들 승강 핸드를 개별적으로 승강시키는 구동부(335)를 구비하고 있다. 동일하게, 승강 핸드 유닛(34)은, 하부 스테이지(31)의 개구부(311)에 면하여 Y방향을 따라 순서대로 설치된 승강 핸드(341, 342, 343, 344)와, 이들 승강 핸드를 개별적으로 승강시키는 구동부(345)를 구비하고 있다. 구동부(335, 345)는 제어 유닛(9)에 설치된 핸드 승강 제어부(93)에 의해 제어되어 있다. 핸드 승강 제어부(93)로부터의 제어 신호에 따라, 구동부(335, 345)는 각 승강 핸드의 연직 방향 위치를 개별적으로 제어한다.

각 승강 핸드는, 상면이 하부 스테이지(31)의 기판 유지면(31a)과 동일 평면이 되는 위치에 위치 결정됨으로써, 하면이 개방된 상태로 하부 스테이지(31)에 유지되는 블랭킷(BL)의 중앙부 하면을 보조적으로 지지한다. 이에 의해, 블랭킷(BL)의 휘어짐을 억제하여 평탄하게 지지할 수 있다. 또, 필요에 따라 하방으로 퇴피함으로써, 다음에 설명하는 전사 롤러의 주행과의 간섭을 회피한다.

전사 롤러 블록(4)은, 롤러 유닛(43) 및 리프터 유닛(44)을 구비하고 있다. 이들 유닛(43, 44)은 플레이트 부재(45)의 상면에 부착되어 있다. 플레이트 부재(45)는, 롤러 주행 구동부(5)를 통해 메인 프레임에 부착되어 있다. 롤러 주행 구동부(5)는, 하부 스테이지(31)의 하방에서 메인 프레임에 고정되어 Y방향으로 연장되는 가이드 레일(51)과, 가이드 레일(51)을 따라 설치된 볼 나사 기구(52)를 구비하고 있다. 볼 나사 기구(52)의 너트부(525)에는 플레이트 부재(45)가 부착되어 있다.

도 3a 및 도 3b는 전사 롤러 블록을 도시하는 도면이다. 보다 구체적으로는, 도 3a는 전사 롤러 블록(4) 및 롤러 주행 구동부(5)의 구조를 도시하는 사시도이고, 도 3b는 전사 롤러 블록(4)과 블랭킷(BL)의 위치 관계를 도시하는 도면이다. 전사 롤러 블록(4)을 지지하는 롤러 주행 구동부(5)에서는, 가이드 레일(51)을 따라 볼 나사 기구(52)가 설치되어 있다. 보다 구체적으로는, 가이드 레일(51)의 양단 근방에 설치된 지지 부재(521, 522)에 의해 볼 나사(523)가 지지되어 있고, 볼 나사(523)는 커플링(526)을 통해 모터(524)에 의해 회전된다. 볼 나사(523)에는 너트부(525)가 부착되어 있다. 모터(524)가 회전함으로써, 너트부(525)가 가이드 레일(51)을 따라 Y방향으로 수평 이동한다. 이에 따라, 너트부(525)에 의해 지지된 전사 롤러 블록(4)이 Y방향으로 수평 이동한다.

전사 롤러 블록(4)에 설치된 롤러 유닛(43)은, X방향을 길이 방향으로 하는 롤러형상으로 형성된 전사 롤러(431)를 구비하고 있다. 전사 롤러(431)는, 지지 부재(432)에 의해, X방향과 평행한 회전축 둘레로 회전 가능하게 지지되어 있다. 전사 롤러(431)의 표면은 탄성체, 예를 들면 고무 소재에 의해 형성되어 있고, X방향에 있어서의 전사 롤러(431)의 길이는 기판(SB)의 X방향 길이보다 길다.

지지 부재(432)의 X방향에 있어서의 중앙부로부터 하방을 향해 아암(433)이 연장되어 있다. 아암(433)은, 전사 롤러(431)를 승강시키는 롤러 승강 기구(434)에 부착되어 있다. 롤러 승강 기구(434)의 구조는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 에어 실린더, 솔레노이드나 볼 나사 기구 등을 이용할 수 있다. 롤러 승강 기구(434)는 제어 유닛(9)에 설치된 롤러 승강 제어부(95)에 의해 제어되어 있다. 롤러 승강 제어부(95)로부터의 제어 신호에 따라 롤러 승강 기구(434)가 작동함으로써, 전사 롤러(431)가 플레이트 부재(45)에 대해 연직 방향(Z방향)으로 승강한다.

도 3b에 나타내는 바와 같이, 전사 롤러(431)는, 롤러 승강 기구(434)의 작동에 의해, 실선으로 표시되는 퇴피 위치와, 점선으로 표시되는 가압 위치의 사이를 승강 이동 가능해지고 있다. 퇴피 위치는, 하부 스테이지(31)에 유지된 블랭킷(BL)의 하방으로 퇴피하여 롤러 상단이 블랭킷(BL)으로부터 이격된 위치이다. 한편, 가압 위치에서는, 롤러 상단이 블랭킷(BL) 하면에 접촉하여 블랭킷(BL)을 밀어올린다.

리프터 유닛(44)은, XZ 평면에 평행하고 X방향을 길이 방향으로 하여 연장되는 평판형상의 리프터 블레이드(441)를 구비하고 있다. 리프터 블레이드(441)는 그 상면(441a)이 평탄하게 마무리되어 있으며, 플레이트 부재(45)에 부착된 리프터 승강 기구에 의해 승강 가능하게 지지되어 있다. 구체적으로는, 플레이트 부재(45)에 세워져 설치된 프레임(442)에 볼 나사(443)가 부착되어 있으며, 볼 나사(443)에 부착된 너트부(444)에 리프터 블레이드(441)가 고정되어 있다. 볼 나사(443)는 커플링(447)을 통해 연결된 모터(445)의 작동에 의해 회전한다. 이에 의해 너트부(444)가 연직 방향(Z방향)으로 승강하고, 리프터 블레이드(441)를 승강시킨다.

모터(445)는 제어 유닛(9)에 설치된 리프터 승강 제어부(96)에 의해 제어되어 있다. 리프터 승강 제어부(96)로부터의 제어 신호에 따라 모터(445)가 회전함으로써, 리프터 블레이드(441)가 승강 이동한다. 이와 같이, 프레임(442), 볼 나사(443), 너트부(444), 모터(445) 및 커플링(447)이 볼 나사 기구를 구성하고 있으며, 상기 볼 나사 기구가 리프터 승강 기구로서 기능하고 있다. 또한 리프터 승강 기구로서는 이러한 볼 나사 기구에 의한 것에 한정되지 않으며, 각종 방식의 구동 기구를 이용할 수 있다.

도 3b에 나타내는 바와 같이, 리프터 블레이드(441)는, 리프터 승강 기구의 작동에 의해, 하부 스테이지(31)에 유지된 블랭킷(BL)의 하방으로 퇴피하여 블랭킷(BL)으로부터 이격된 퇴피 위치(실선)와, 상면(441a)이 블랭킷(BL) 하면에 접촉하는 접촉 위치(점선)의 사이를 승강 이동 가능해지고 있다. 리프터 블레이드(441)는 전사 롤러(431)와는 독립적으로 승강 가능하다. 접촉 위치에서는, 리프터 블레이드(441)의 상면(441a)은 하부 스테이지(31)의 상면(31a)과 거의 동일한 Z방향 높이로 위치 결정된다. 따라서, 리프터 블레이드(441)가 접촉 위치에 있을 때, 리프터 블레이드(441)의 상면(441a)과 하부 스테이지(31)의 상면(31a)은 동일 수평면 내에 위치하게 된다. 이에 의해, 하부 스테이지(31)와 리프터 블레이드(441)가 하면에 접촉하는 블랭킷(BL)은 수평 자세로 지지된다.

리프터 블레이드(441)의 측면의 X방향에 있어서의 중앙 부근에, 갭 센서(446)가 부착되어 있다. 갭 센서(446)는 기판(SB)의 하면과 블랭킷(BL)의 상면 사이의 갭을 측정하는 것이며, 예를 들면 광 간섭식의 거리 검출기를 이용할 수 있다. 또한, 이 예에서는 갭 센서(446)는 리프터 블레이드(441)와 함께 승강한다. 그러나 이러한 승강은 필수가 아니며, 전사 롤러(431)의 근방에서 기판(SB)의 하면과 블랭킷(BL)의 상면 사이의 갭을 측정할 수 있으면 된다. 따라서, 예를 들면 플레이트 부재(45)나 프레임(442)에 갭 센서가 부착되어도 되고, 또 상부 스테이지(21)에 설치되어도 된다.

이러한 구성을 갖는 롤러 유닛(43) 및 리프터 유닛(44)은 모두 플레이트 부재(45)에 부착되고, 모터(524)의 회전에 의해 일체적으로 Y방향으로 이동한다. 모터(524)는 제어 유닛(9)에 설치된 롤러 주행 제어부(97)에 의해 제어되어 있다. 롤러 주행 제어부(97)로부터의 제어 신호에 따라 모터(524)가 회전하면, 볼 나사 기구(52)의 너트부(525)가 가이드 레일(51)을 따라 Y방향으로 이동한다. 그 때문에, 너트부(525)의 이동에 따라 롤러 유닛(43) 및 리프터 유닛(44)이 이동한다. 그 결과, 롤러 유닛(43)에 설치된 전사 롤러(431)가, 블랭킷(BL) 하면을 따라 Y방향으로 주행한다. 이와 같이, 가이드 레일(51) 및 볼 나사 기구(52)는, 전사 롤러(431)를 Y방향으로 주행시키는 롤러 주행 기구로서의 기능을 갖는다. 또한, 후술하는 바와 같이, 전사 롤러 블록(4)이 Y방향으로 이동할 때, 전사 롤러(431)는 블랭킷(BL)의 하면에 접촉하는 한편, 리프터 블레이드(441)는 블랭킷(BL)의 하면으로부터 이격되어 있다.

이와 같이, 전사 롤러(431)는, 롤러 승강 기구에 의한 Z방향의 승강 동작과, 롤러 주행 기구에 의한 Y방향의 주행 동작이 가능해지고 있다. 또, 리프터 블레이드(441)는, 리프터 승강 기구에 의한 Z방향의 승강 동작과, 롤러 주행 기구에 의한 Y방향의 주행 동작이 가능해지고 있다. 전사 롤러(431)(롤러 유닛(43)) 및 리프터 블레이드(441)(리프터 유닛(44))가 Y방향으로 주행할 때, 승강 핸드 유닛(33, 34)에 설치된 각 승강 핸드(331) 등과 롤러 유닛(43), 리프터 유닛(44)과의 간섭은 이하와 같이 하여 회피되고 있다. 또한, 이하에서는 승강 핸드 유닛(33, 34)에 설치된 한 쌍의 승강 핸드(331, 341)와 롤러 유닛(43)의 위치 관계를 예로서 설명하지만, 다른 승강 핸드에 대해서도 동일하다.

도 4a 및 도 4b는 전사 롤러 블록과 승강 핸드 유닛의 위치 관계를 도시하는 도면이다. 보다 구체적으로는, 도 4a 및 도 4b는 각각, 전사 롤러 블록(4) 및 승강 핸드 유닛(33, 34)을 Y방향 및 X방향에서 본 도면이다. 도면에 도시하는 바와 같이, 롤러 유닛(43) 및 리프터 유닛(44)은, 전사 롤러(431)가 하부 스테이지(31)에 유지된 블랭킷(BL)의 하면을 따르도록, Y방향으로 이동한다. X방향에 있어서, 대향 배치된 승강 핸드(331, 341)의 선단끼리는 이격되어 있다. 그리고, 이들 간극을 통해 롤러 유닛(43)의 아암(433), 롤러 승강 기구(434) 및 리프터 유닛(44)의 리프터 승강 기구(프레임(442), 볼 나사(443), 너트부(444), 모터(445) 및 커플링(447))가 주행한다. 따라서, 롤러 승강 기구(434)와 승강 핸드(331, 341)의 간섭은 구조적으로 회피되어 있다.

한편, 승강 핸드(331, 341)가 블랭킷(BL) 하면에 접촉 또는 근접한 상태에서는, 이들 승강 핸드(331, 341)와, 전사 롤러(431), 지지 부재(432) 및 리프터 블레이드(441)와의 접촉이 발생할 수 있다. 이 문제는, 승강 핸드(331, 341)가 일체적으로, 상면이 리프터 블레이드(441) 및 지지 부재(432)의 하면보다 하방 위치가 될 때까지 하강함으로써 회피된다. 즉, 롤러 유닛(43)의 Y방향으로의 주행에 동기하여, 승강 핸드 유닛(33, 34)이 각 승강 핸드(331(341), 332(342)) 등을 순차적으로 하방으로 퇴피시킨다. 이에 의해, 전사 롤러(431), 지지 부재(432) 및 리프터 블레이드(441)는 승강 핸드(331) 등의 상부를 통과하게 되어, 롤러 유닛(43) 및 리프터 유닛(44)과 승강 핸드(331) 등과의 간섭이 회피된다.

종래 기술(일본국 특허공개 2014－144628호 공보)의 전사 장치와 비교하면, 본 실시 형태에서는 리프터 유닛(44)이 신설되어 있다. 이러한 구성으로 한 이유는, 다음에 설명하는 바와 같이, 전사 롤러(431)가 최초로 블랭킷(BL)에 접촉할 때의 블랭킷(BL)의 휘어짐을 억제함으로써, 패턴 등의 전사 위치를 정밀도 좋게 제어하기 위해서이다.

도 5a 및 도 5b는 블랭킷의 휘어짐의 문제를 설명하기 위한 도면이다. 보다 구체적으로는, 도 5a는 하부 스테이지(31) 및 승강 핸드(331) 등에 의해 지지되는 블랭킷(BL)을 도시하는 상면도이고, 도 5b는 블랭킷(BL)의 휘어짐량을 모식적으로 도시하는 도면이다. 도 5a에 도시하는 바와 같이, 이 전사 장치(1)에서는, 중앙부가 기판(SB)에 대응하는 개구부(311)로 된 테두리형상의 하부 스테이지(31)의 상면(31a)에 블랭킷(BL)이 놓여진다. 블랭킷(BL)의 하면 주연부가 하부 스테이지(31)의 상면(31a)에 접촉하여, 흡착 유지된다.

그리고, 주연부보다 내측의 중앙부의 하면이 개방 상태로 된 블랭킷(BL)에 대해, 승강 핸드(331~334, 341~344)가 하면으로부터 접촉함으로써, 블랭킷(BL)이 수평 자세로 지지된다. 그러나, 블랭킷(BL)의 중앙부는 지지 핸드(331) 등에 의해 부분적으로 지지되어 있는 것에 지나지 않으므로, 지지되고 있지 않은 부분의 하방으로의 휘어짐이 불가피적으로 발생한다. 특히, 대형의 기판에 대응하는 평면 사이즈가 큰 블랭킷(BL)에 있어서, 이러한 문제가 현저해진다. 전사 처리의 원리상, 블랭킷(BL)의 평면 사이즈가 증대해도 두께를 증가시키는 것은 어렵기 때문이다.

본원 발명자는, 하부 스테이지(31) 및 승강 핸드(331) 등에 의해 지지되는 블랭킷(BL)의 연직 방향(Z방향)의 변위량을, Y방향의 여러 위치에서 계측하였다. 그 결과, 이하의 것이 분명해졌다. 즉, 승강 핸드(331~334)에 의한 지지를 국소적으로 받는 도 5a의 직선(L1) 상에서는, 도 5b에 실선으로 나타내는 바와 같이, 승강 핸드(331) 등의 위치에서는 변위가 나타나지 않지만, 승강 핸드(331) 등으로부터 떨어진 위치에서 변위가 커져, 블랭킷(BL)이 하방으로 휘어져 있는 것이 도시되어 있다. 단 변위량은 비교적 작다.

한편, X방향에 있어서의 블랭킷(BL)의 거의 중심을 통과하는 도 5a의 직선(L2) 상에서는, 블랭킷(BL)의 중앙부를 향해 휘어짐량이 커지고 있다. 이 때, 전사 롤러(431)가 최초로 접촉하는 블랭킷(BL)의 영역(R1)에 대응하는 위치(Y1)에 있어서의 휘어짐량(Z1)은 비교적 작지만, 중앙 부분에 있어서 휘어짐량(Z2)이 특히 커진다.

실험적으로, X방향으로 나열되어 쌍을 이루는 승강 핸드(331, 341) 등을 각각 일체 형성하여 X방향으로 연속하는 핸드로 지지하도록 하여 직선(L2) 상에서 휘어짐을 계측한 케이스에서는, 도 5b에 점선으로 나타내는 바와 같이, 휘어짐량이 크게 저감되었다.

단, 이러한 지지 양태여도, 직선(L2) 상에서는 직선(L1) 상에서의 계측 결과보다 변위량이 커지고 있다. 이것은, 직선(L1)의 위치는 하부 스테이지(31)의 (＋X)측의 변에 가까우므로, 블랭킷(BL)은 승강 핸드(331~334)에 의한 지지와 하부 스테이지(31)(보다 구체적으로는 그 한 변)에 의한 지지를 받을 수 있는 것에 반해, 블랭킷(BL) 중앙부에서는 하부 스테이지(31)에 의한 지지가 미치고 있지 않기 때문이라고 추정된다.

이와 같이, 각각이 블랭킷(BL)의 하면에 부분적으로 접촉하는 복수의 승강 핸드(331) 등을 설치한 경우여도, 이러한 부재에 의한 지지를 받고 있지 않은 부분에서는 블랭킷(BL)의 휘어짐이 발생한다. 특히, 전사 롤러(431)를 접촉시키기 위해 블랭킷(BL) 하면을 개방시켜 둘 필요가 있으므로, 전사 롤러(431)의 바로 위쪽 위치를 지지할 수 없으며, 이 부분에서의 휘어짐을 저감하는 것이 어렵다.

도 6a 내지 도 6c는 블랭킷의 휘어짐과 전사 위치 어긋남의 관계를 도시하는 도면이다. 이 전사 장치(1)에서는, 도 6a에 도시하는 바와 같이, 기판(SB)과 블랭킷(BL)을 평행하게 근접 대향시킨 상태로 전사 롤러(431)가 블랭킷(BL)을 밀어올려 기판(SB)에 누름으로써, 블랭킷(BL) 상의 패턴(PT)을 기판(SB)에 전사한다. 기판(SB)으로의 패턴 전사 위치를 적정하게 유지하기 위해, 얼라이먼트 기구(37)에 의한 얼라이먼트 동작이 실행된다.

그러나, 블랭킷(BL)이 하방으로 휘어져 있을 때, 도 6b에 도시하는 바와 같이, 블랭킷(BL)의 주연부는 중앙부를 향해 끌어들여지도록 변위하고 있다. 이것에 기인하여, 블랭킷(BL) 표면의 어느 한 점 P는, 도 6b에 점선으로 나타내는 휘어짐이 없는 상태와 비교하여 Y방향으로 ΔY만큼 변위한 위치에 있다. 전사 롤러(431)는 블랭킷(BL)을 바로 위쪽으로 밀어올리므로, 점 P는 본래의 위치보다 ΔY만큼 어긋난 상태로 기판(SB)과 접촉하게 된다. 본원 발명자의 지견에 의하면, 기판(SB)과 블랭킷(BL)이 일단 접촉하면 양자가 패턴(PT)을 통해 강하게 밀착되므로, 전사 롤러(431)가 수평 방향으로 이동해도 기판(SB)과 블랭킷(BL)의 수평 방향의 상대 위치는 거의 변화하지 않는다.

따라서, 전사 위치의 어긋남량, 즉 블랭킷(BL)의 휘어짐에 기인하는 기판(SB)과의 사이의 위치 어긋남량은, 전사 롤러(431)가 최초로 접촉하는 위치에 있어서의 블랭킷(BL)의 위치 어긋남량에 의해 거의 결정된다고 할 수 있다. 환언하면, 전사 롤러(431)가 최초로 접촉할 때의 블랭킷(BL)의 위치 어긋남을 억제할 수 있으면, 기판(SB) 전체에 있어서의 전사 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 전사 롤러(431)가 최초로 접촉하게 되는 전사 롤러(431)의 바로 위쪽 위치에 있어서, 블랭킷(BL)의 휘어짐량(ΔZ)을 작게 함으로써, 수평 방향에 있어서의 위치 어긋남도 작게 할 수 있다.

상기한 바와 같이, 블랭킷(BL)의 중앙부에 있어서의 지지 양태에 의해 휘어짐량은 변화한다. 그래서, 이 실시 형태에서는, 도 6c에 도시하는 바와 같이, 전사 롤러(431)가 블랭킷(BL)에 접촉하기에 앞서, 전사 롤러(431)보다 블랭킷(BL)의 중앙부에 가까운 (＋Y)측의 위치에서 리프터 블레이드(441)를 블랭킷(BL) 하면에 접촉시킨다. 이에 의해, 하방으로 휘어지는 블랭킷(BL)을 밀어올려 수평 자세로 유지하도록 하고 있다. 이렇게 함으로써, 전사 롤러(431)가 블랭킷(BL)에 접촉할 때의 블랭킷(BL)의 휘어짐을 작게 하여, 기판(SB)과 블랭킷(BL)의 접촉 위치의 Y방향으로의 어긋남를 작게 할 수 있다.

리프터 블레이드(441)에 의해 블랭킷(BL)이 지지된 상태로 전사 롤러(431)가 블랭킷(BL)에 접촉하도록 함으로써, 리프터 유닛(44)을 설치하지 않은 종래 기술에 비해, 기판(SB)에 있어서의 패턴(PT)의 전사 위치 어긋남를 반분 이하로 억제할 수 있었다.

리프터 블레이드(441)는 하방으로 휘어지는 블랭킷(BL)을 수평 상태로 유지하기 위한 것이며, 그 이상으로 블랭킷(BL)을 상승시키는 것은 아니다. 따라서, 리프터 블레이드(441)는, 블랭킷(BL)을 지지할 때, 그 상면(441a)이 하부 스테이지(31)의 상면(31a)과 거의 동일 수평면이 되어 블랭킷(BL) 하면에 접촉하는 접촉 위치에 위치 결정된다.

연직 방향에 있어서의 리프터 블레이드(441)의 위치 결정 제어에 대해서는, 기계적인 충돌이나 사전의 티칭 작업 등에 의해 상면(441a)이 하부 스테이지(31)의 상면(31a)과 동일 높이가 되도록 위치 설정을 행해도 된다. 또, 상부 스테이지(21)와 하부 스테이지(31)는 기판(SB)과 블랭킷(BL)이 소정 갭을 사이에 두고 대향하도록 간격 조정된다. 이것으로부터, 갭 센서(446)에 의해 검출되는 전사 롤러(431) 근방 위치에서의 기판(SB)과 블랭킷(BL)의 갭이 소정 갭량이 되도록 리프터 승강 제어부(96)가 리프터 블레이드(441)의 높이를 제어함으로써, 간접적으로 리프터 블레이드(441)와 하부 스테이지(31)의 높이 방향에 있어서의 위치 맞춤을 행하는 것도 가능하다. 이하에 설명하는 동작에서는 갭 센서(446)의 출력이 이용되는 것으로 한다.

다음에, 상기와 같이 구성된 전사 장치(1)에 의한 전사 처리에 대해 설명한다. 상술한 바와 같이, 여기에서는 블랭킷(BL)으로부터 기판(SB)에 패턴 또는 박막을 전사하는 전사 처리에 대해 설명하지만, 기판(SB)을 판(PP)으로 대체함으로써, 패터닝 처리에 있어서의 동작도 설명된다.

도 7은 이 전사 장치에 의한 전사 처리를 도시하는 흐름도이다. 또, 도 8a 내지 도 8d 및 도 9a 내지 도 9d는 전사 처리의 과정에 있어서의 각 부의 위치를 모식적으로 도시하는 도면이다. 전사 처리에서는, 처음에 패턴 또는 박막이 전사되어야 할 기판(SB)이 장치에 반입되어, 상부 스테이지(21)에 세팅된다(단계 S101). 상부 스테이지(21)는, 패턴 또는 박막이 전사되는 피전사면을 하향으로 하여 기판(SB)을 흡착 유지한다. 이어서, 기판(SB)에 전사해야 할 패턴 또는 박막을 담지하는 블랭킷(BL)이 장치에 반입되어, 하부 스테이지(31)에 세팅된다(단계 S102). 하부 스테이지(31)는, 패턴 또는 박막을 담지하는 담지면을 상향으로 하여 블랭킷(BL)을 흡착 유지한다.

다음에, 장치 각 부가 소정의 초기 위치로 위치 결정된다(단계 S103). 도 8a는 각 부의 초기 위치를 나타내고 있다. 상부 스테이지(21) 및 하부 스테이지(31)는, 기판(SB)과 블랭킷(BL)이 소정의 갭을 사이에 두고 평행하게 대향하도록 서로 근접 대향된다. 또, 승강 핸드(331, 341) 등은 상면이 하부 스테이지(31)의 상면과 동일 평면이 되는 위치까지 상승하여, 블랭킷(BL)의 하면에 접촉하여 블랭킷(BL)을 수평 자세로 지지한다. 전사 롤러(431)는, Y방향에 있어서의 기판(SB)의 한쪽 단부의 바로 아래 위치이고, 또한 블랭킷(BL)의 하면으로부터 하방으로 이격된 퇴피 위치에 위치 결정된다. 리프터 블레이드(441)도, 전사 롤러(431)의 (＋Y)측에 인접하는 위치이고, 또한 블랭킷(BL) 하면으로부터 이격된 퇴피 위치에 있다. 이어서, 기판(SB)과 블랭킷(BL)의 수평 방향 위치를 조정하는 얼라이먼트 처리가 행해진다(단계 S104). 즉, 수평 방향에 있어서 블랭킷(BL)에 담지된 패턴(PT) 또는 박막과 기판(SB)이 미리 정해진 위치 관계가 되도록, 얼라이먼트 기구(37)가 필요에 따라 얼라이먼트 스테이지(36)를 수평면 내에서 이동시킨다.

이 상태로부터, 도 8b에 도시하는 바와 같이, 리프터 블레이드(441)가 접촉 위치까지 상승하여, 블랭킷(BL)의 하면에 접촉하여 이를 지지한다(단계 S105). 이어서, 전사 롤러(431)가 상승하여 블랭킷(BL) 하면에 접촉한 후 다시 상승하여 블랭킷(BL)을 상향으로 가압한다(단계 S106). 리프터 블레이드(441)에 의해 블랭킷(BL)이 지지된 상태로 전사 롤러(431)가 블랭킷(BL)을 가압함으로써, 블랭킷(BL)과 기판(SB)의 수평 방향에 있어서의 위치 어긋남이 작게 억제된다.

전사 롤러(431)가 블랭킷(BL) 하면에 접촉한 후도 상승을 계속함으로써, 도 8c에 도시하는 바와 같이, 블랭킷(BL)이 전사 롤러(431)에 의해 밀어올려지고, 최종적으로는 블랭킷(BL) 상면이 기판(SB)의 하면에 접촉한다. 이에 의해, 블랭킷(BL) 상면에 담지된 패턴 또는 박막(PT)이 기판(SB)에 밀착된다. 이와 같이 전사 롤러(431)가 블랭킷(BL)을 밀어올림으로써, 패턴 또는 박막(PT)이 기판(SB)에 눌러진다. 이렇게 해서 패턴 또는 박막(PT)이 기판(SB)에 전사된다. 리프터 블레이드(441)의 지지에 의해 블랭킷(BL)의 수평 방향의 위치 어긋남이 억제되어 있으므로, 패턴 또는 박막(PT)이 기판(SB)의 소정 위치에 적정하게 전사된다.

전사 롤러(431)의 가압에 의해 기판(SB)과 블랭킷(BL)이 접촉하면, 도 8d에 도시하는 바와 같이, 리프터 블레이드(441)가 하방으로 이동하여 블랭킷(BL)으로부터 이격된다(단계 S107). 그리고, 전사 롤러(431)가 (＋Y) 방향으로의 주행을 개시한다(단계 S108). 도 9a 및 도 9b에 도시하는 바와 같이, 전사 롤러(431)가 블랭킷(BL)을 기판(SB)에 누르면서 Y방향으로 이동함으로써, 패턴 또는 박막(PT)을 통해 블랭킷(BL)과 기판(SB)이 밀착되는 영역이 Y방향으로 확산되어 간다. 이렇게 해서 패턴 또는 박막(PT)이 순차적으로 기판(SB)으로 전사된다(전사 처리). 전사 롤러(431)는, 블랭킷(BL)을 일정한 가압력으로 가압할 수 있는 가압 위치까지 상승하여, 이 상태로 Y방향으로 주행한다.

이 때, 승강 핸드 기구(33, 34)는, 주행하는 롤러 유닛(43)과의 간섭을 피하기 위해, 승강 핸드(331(341), 332(342), 333(343), 334(344))를 롤러 유닛(43)의 이동에 따라 순차적으로 하강시켜 간다. 또, 리프터 유닛(44)은 롤러 유닛(43)과 함께 Y방향으로 주행하므로, 롤러 유닛(43)과 간섭하는 일은 없다.

전사 롤러(431)가 기판(SB)의 다른 쪽 단부 바로 아래의 종료 위치에 도달할 때까지(단계 S109), 롤러 유닛(43)의 주행이 계속된다. 이에 의해, 도 9c에 도시하는 바와 같이, 기판(SB) 전체가 블랭킷(BL)에 접촉하고, 기판(SB)으로의 패턴 또는 박막(PT)의 전사가 완료된다. 이 시점에서 롤러 유닛(43)의 이동이 정지되고, 도 9d에 도시하는 바와 같이, 롤러 유닛(43)이 블랭킷(BL)으로부터 이격되어 하방으로 퇴피한다(단계 S110). 이렇게 해서 밀착된 블랭킷(BL)과 기판(SB)이 일체적으로 반출되고(단계 S111), 이 전사 장치(1)에 있어서의 전사 처리는 종료한다.

이상과 같이, 이 실시 형태의 전사 장치(1)에서는, 전사 롤러(431)에 의해 블랭킷(BL)을 밀어올려 기판(SB)에 접촉시키면서 전사 롤러(431)가 Y방향으로 주행함으로써, 블랭킷(BL) 상의 패턴 또는 박막(PT)을 기판(SB)에 전사한다. 이 때, 전사 롤러(431)가 블랭킷(BL)에 최초로 접촉하기 전에, 전사 롤러(431)보다 블랭킷(BL)의 중앙측 위치에서 리프터 블레이드(441)가 블랭킷(BL) 하면에 접촉한다. 이에 의해, 블랭킷(BL)의 휘어짐을 보정하여 수평 자세에 가까워지고 있다. 그 때문에, 전사 롤러(431)가 최초로 블랭킷(BL)에 접촉할 때의 기판(SB)과의 위치 어긋남이 억제되어, 기판(SB)으로의 패턴 전사 위치 정밀도를 양호하게 유지할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 상기 실시 형태에서는, 기판(SB)이 본 발명의 「제1 판상체」에 상당하고, 블랭킷(BL)이 본 발명의 「제2 판상체」에 상당하고 있다. 또, 상기 실시 형태에서는, 상부 스테이지(21)가 본 발명의 「제1 유지 수단」으로서 기능하고 있으며, 그 하면(21a)이 본 발명의 「접촉면」에 상당하고 있다. 또, 하부 스테이지(31)가 본 발명의 「제2 유지 수단」 및 「지지 스테이지」로서 기능하고, 하부 스테이지(31)의 상면(31a)이 본 발명의 「지지면」에 상당한다.

또, 전사 롤러(431)가 본 발명의 「롤러 부재」로서 기능하고, 리프터 블레이드(441)가 본 발명의 「지지 부재」로서 기능하고 있다. 그리고, 리프터 블레이드(441)의 상면(441a)이 본 발명의 「접촉 부위」에 상당하고 있다. 또, 플레이트 부재(45)가 본 발명의 「이동 부재」로서 기능하고, 갭 센서(446)가 본 발명의 「갭 검출 수단」으로서 기능하고 있다.

또, 상기 실시 형태에서는, 승강 핸드 유닛(33, 34)이 본 발명의 「보조 지지 수단」으로서 기능하고 있으며, 승강 핸드(331~334, 341~344)의 각각이, 본 발명의 「보조 지지 부재」로서 기능하고 있다. 또, 얼라이먼트 제어부(94) 및 얼라이먼트 기구(37)가 일체로서, 본 발명의 「얼라이먼트 수단」으로서 기능하고 있다.

또한, 본 발명은 상기한 실시 형태에 한정되는 것이 아니며, 그 취지를 일탈하지 않는 한에 있어서 상술한 것 이외에 여러 가지의 변경을 행하는 것이 가능하다. 예를 들면, 상기 실시 형태의 전사 장치(1)에서는 리프터 유닛(44)이 롤러 유닛(43)과 일체적으로 주행한다. 그러나, 리프터 유닛(44)은 전사 롤러(431)가 블랭킷(BL)에 최초로 접촉할 때의 블랭킷(BL)의 휘어짐을 보정하는 것이며, 블랭킷(BL)이 기판(SB)에 접촉한 후에는 특별한 작용을 발휘하지 않는다. 이 의미에서는, 리프터 유닛이 롤러 유닛(43)을 일체적으로 주행할 필요는 없다. 예를 들면 다음과 같은 구성으로 할 수도 있다.

도 10a 및 도 10b는 리프터 유닛의 변형예를 도시하는 도면이다. 보다 구체적으로는, 도 10a는 변형예의 리프터 유닛을 포함하는 전사 롤러 블록을 X방향에서 본 도면이며, 도 10b는 그것을 Y방향에서 본 도면이다. 도 10a 및 도 10b에서는, 상기 실시 형태와 실질적으로 동일한 구성에는 동일 부호를 붙여 설명을 생략한다. 이 변형예의 리프터 유닛(46)은, X방향으로 위치를 다르게 하여 2세트, 서로 마주 보도록 배치되어 있다. 각 리프터 유닛(46)은, X방향 길이가 전사 롤러(431)의 약 반분으로 X방향으로 연장 설치된 리프터 블레이드(461)와, 리프터 블레이드(461)로부터 비스듬히 하향으로 연장되는 아암(462)과, 아암(462)을 경사 방향으로 승강시키는 리프터 승강 기구(463)를 구비하고 있다. 리프터 승강 기구(463)는 메인 프레임에 고정되고 있으며, 롤러 유닛(43)과 함께 주행하지 않는다.

도 10a 및 도 10b에 실선으로 나타내는 바와 같이, 리프터 승강 기구(463)에 의해 리프터 블레이드(461)가 아래쪽 위치에 위치 결정된 상태에서는, 리프터 블레이드(461)의 상단이 전사 롤러(431)의 지지 부재(432)의 하면보다 하방에 위치하고 있다. 또 X방향에 있어서 양 리프터 블레이드(461, 461) 사이가 비교적 크게 이격되어 있다. 이 때문에, 리프터 유닛(46)이 롤러 유닛(43)의 주행에 간섭하는 일은 없다.

한편, 리프터 승강 기구(463)가 작동하면, 도 10a 및 도 10b에 점선으로 나타내는 바와 같이 리프터 블레이드(461)가 X방향 성분 및 Z방향 성분을 갖는 비스듬히 상향으로 상승하여, 최종적으로 상단이 블랭킷(BL)의 하면에 접촉한다. 이 때 양 리프터 블레이드(461, 461)의 상단의 높이는 동일하고, 또 X방향에 있어서 양 리프터 블레이드(461, 461)간의 간격이 극히 작아지도록, 리프터 블레이드(461, 461)의 형상이 설정된다. 이에 의해, 전사 롤러(431)가 접촉하기 전의 블랭킷(BL)을 하부 스테이지(31)와 리프터 블레이드(461, 461)에 의해 지지하여, 블랭킷(BL)의 휘어짐을 억제할 수 있다. 이와 같이, 전사 롤러(431)와 함께 주행하지 않는 리프터 유닛을 이용해도, 상기와 동일한 효과를 얻는 것이 가능하다.

또, 상기 실시 형태의 리프터 유닛(46)은, 상면이 접촉면이 된 블레이드형상 부재인 리프터 블레이드(461)를 갖는다. 그리고, 리프터 블레이드(461)가 블랭킷(BL)을 하방으로부터 지지한 상태로 전사 롤러(431)에 의한 블랭킷(BL)의 밀어올림이 실행된다. 리프터 블레이드(461)가 블랭킷(BL) 하면을 미끄럼 마찰하는 것을 회피하기 위해, 전사 롤러(431)에 의한 블랭킷(BL)의 밀어올림 후, 리프터 블레이드(461)는 블랭킷(BL)으로부터 이격된다. 이를 대신하여, 이하와 같은 구성으로 해도 된다.

도 11a 내지 도 11c는 리프터 유닛의 다른 변형예를 도시하는 도면이다. 보다 구체적으로는, 도 11a는 이 변형예의 리프터 유닛을 포함하는 전사 롤러 블록을 X방향에서 본 도면이다. 또, 도 11b 및 도 11c는 이 변형예에 있어서의 전사 롤러 블록의 동작을 도시하는 도면이다. 또한, 이 변형예의 설명에서는, 상기 실시 형태와 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙여, 그 설명을 생략한다.

도 11a에 도시하는 바와 같이, 이 변형예의 리프터 유닛(47)은, XZ 평면에 평행하고 X방향을 길이 방향으로 하여 연장되는 원통 롤러형상의 리프터 롤러(471)를 구비하고 있다. 리프터 롤러(471)는, 지지 프레임(474)에 의해 X방향과 평행한 회전축 둘레로 회전 가능하게 지지되어 있으며, 플레이트 부재(45)에 부착된 리프터 승강 기구에 의해 승강 가능하게 지지되어 있다. 구체적으로는, 플레이트 부재(45)에 세워져 설치된 프레임(472)에 볼 나사(473)가 부착되어 있으며, 볼 나사(473)에 부착된 너트부가 지지 프레임(474)과 일체화되어 있다. 볼 나사(473)는 커플링(477)을 통해 연결된 모터(475)의 작동에 의해 회전하고, 이에 의해 지지 프레임(474)이 연직 방향(Z방향)으로 승강하여, 리프터 롤러(471)를 승강시킨다.

모터(475)는 제어 유닛(9)에 설치된 리프터 승강 제어부(96)에 의해 제어된다. 리프터 승강 제어부(96)로부터의 제어 신호에 따라 모터(475)가 회전함으로써, 리프터 롤러(471)가 승강 이동한다. 이와 같이, 프레임(472), 볼 나사(473), 지지 프레임(474), 모터(475) 및 커플링(477)이 볼나사 기구를 구성하고 있으며, 상기 볼 나사 기구가 리프터 승강 기구로서 기능하고 있다. 또한 리프터 승강 기구로서는 이러한 볼 나사 기구에 의한 것에 한정되지 않으며, 각종 방식의 구동 기구를 이용할 수 있다.

상기 실시 형태에 있어서의 리프터 블레이드(441)와 동일하게, 리프터 승강 기구의 작동에 의해, 리프터 롤러(471)는 하부 스테이지(31)에 유지된 블랭킷(BL)의 하방으로 퇴피하여 블랭킷(BL)으로부터 이격된 퇴피 위치와, 상단부가 블랭킷(BL) 하면에 접촉하는 접촉 위치의 사이를 승강 이동 가능해지고 있다. 리프터 롤러(471)는 전사 롤러(431)와는 독립적으로 승강 가능하다. 접촉 위치에서는, 리프터 롤러(471)의 상단부가 하부 스테이지(31)의 상면(31a)과 거의 동일한 Z방향 높이로 위치 결정된다. 따라서, 리프터 롤러(471)가 접촉 위치에 있을 때, 리프터 롤러(471)의 상단부와 하부 스테이지(31)의 상면(31a)은 동일 수평면 내에 위치하게 된다. 이에 의해, 하부 스테이지(31)와 리프터 롤러(471)가 하면에 접촉하는 블랭킷(BL)은 수평 자세로 지지된다.

도 11b에 도시하는 바와 같이, 이 변형예에서는, 리프터 롤러(471)가 블랭킷(BL) 하면에 접촉한 상태로, 전사 롤러(431)가 블랭킷(BL)의 밀어올림을 실행한다. 리프터 롤러(471)는, 전술한 실시 형태에 있어서의 리프터 블레이드(441)와 동일하게, 전사 롤러(431)가 블랭킷(BL)을 밀어올릴 때에 블랭킷(BL)을 수평 자세로 유지하는 기능을 가지며, 이에 의해 블랭킷(BL)의 위치 어긋남이 방지된다.

상기 실시 형태와 동일하게, 전사 롤러(431)가 블랭킷(BL)을 밀어올려 기판(SB)에 누른 후, 전사 롤러(431)는 Y방향으로 주행한다. 이 때, 전사 롤러(431)와 동일한 플레이트 부재(45)에 의해 지지된 리프터 롤러(471)도 전사 롤러(431)와 일체적으로 Y방향으로 주행한다. 주행에 앞서 리프터 롤러(471)를 블랭킷(BL)으로부터 이격시킨 경우에는, 리프터 롤러(471)는 블랭킷(BL)으로의 접촉 부위의 형상이 상이할 뿐이며, 그 작용은 상기 실시 형태에 있어서의 리프터 블레이드(441)의 작용과 어떠한 차이도 없다.

한편, 이 변형예에서는, 도 11c에 도시하는 바와 같이, 리프터 롤러(471)가 블랭킷(BL)의 하면에 접촉한 상태로 Y방향으로 주행하는 것이 가능하다. 리프터 롤러(471)가 회전함으로써 블랭킷(BL)에 대한 미끄럼 마찰이 방지된다. 또, 리프터 롤러(471)가 블랭킷(BL)을 지지함으로써, 롤러 주행을 위해 승강 핸드(331) 등이 하방으로 퇴피한 후에 있어서도 블랭킷(BL)의 휘어짐을 억제하여 그 자세를 유지해 두는 것이 가능해진다. 리프터 롤러(471)의 상단부의 높이를 하부 스테이지(31)의 상면(31a)과 동일 높이로 유지하면서 주행시키도록 하면, 전사 롤러(431)가 주행할 때의 블랭킷(BL)의 수평 자세를 보다 안정적으로 유지하는 것이 가능하다.

리프터 롤러(471)의 상단부가 하부 스테이지(31)의 상면(31a)보다 약간 상방으로 돌출되어도 상관없지만, 전사를 양호하게 행하게 하기 위해서는, 리프터 롤러(471)에 의한 밀어올림에 의해 블랭킷(BL)이 기판(SB)에 접촉하는 것은 피하는 것이 바람직하다. 따라서, 리프터 롤러(471)의 상단부는 적어도, 블랭킷(BL)을 밀어올린 상태의 전사 롤러(431)의 상단부보다는 하방에 있으며, 리프터 롤러(471)가 전사 롤러(431)보다 하방 위치에서 블랭킷(BL)에 접촉하는 것이 바람직하다.

이와 같이, 본 발명의 「지지 부재」로서는, 블레이드형상의 것 이외에, 예를 들면 롤러형상의 것을 이용하는 것이 가능하다. 이러한 롤러형상의 지지 부재를 설치한 경우, 지지 부재를 블랭킷(BL) 하면에 접촉시킨 후, 더 승강시킬 필요는 없다. 이 때문에, 지지 부재를 단독으로 승강시키는 기구는 반드시 필요없다. 따라서, 예를 들면 플레이트 부재(45)를 승강시킴으로써, 전사 롤러(431)와 리프터 롤러(471)를 일체적으로 승강시키기 위한 기구와, 플레이트 부재(45) 및 리프터 롤러(471)에 대해 전사 롤러(431)를 승강시키는 기구의 조합에 의해, 전사 롤러 블록을 구성하는 것도 가능하다.

또, 상기 실시 형태에서는 롤러 유닛(43) 및 리프터 유닛(44)(또는 리프터 유닛(47))이, 단일한 플레이트 부재(45) 상에 설치된 롤러 승강 기구 및 리프터 승강 기구에 의해 각각 승강 가능하게 지지되고, 이에 의해 전사 롤러(431)와 리프터 블레이드(441)(또는 리프터 롤러(471))가 독립적으로 승강 가능해지고 있다. 이를 대신하여, 예를 들면 롤러 유닛과 리프트 승강 기구를 갖고 있지 않은 리프터 블레이드(또는 리프터 롤러)가 승강 이동 가능한 플레이트 부재에 부착되고, 소정의 Z방향 범위에서는 전사 롤러(431)와 리프터 블레이드(441)(또는 리프터 롤러(471))가 일체적으로 승강하는 구성이어도 된다.

또, 상기 실시 형태에는 갭 센서(446)가 설치되어 있지만, 상기한 바와 같이, 리프터 블레이드(441)의 위치 결정은 기계적인 충돌이나 사전의 티칭 작업에 의해서도 제어 가능하고, 이 경우 갭 센서(446)는 생략되어도 된다.

또 상기 실시 형태의 리프터 블레이드(441)는 X방향 길이가 전사 롤러(431)와 거의 동일한 평판형상 부재이며, X방향에 있어서의 하부 스테이지(31)의 개구 길이의 대부분을 커버하는 것이다. 그러나, 블랭킷(BL)의 휘어짐이 큰 것은 블랭킷(BL)의 X방향에 있어서의 중앙 부분이므로, 적어도 이 부분이 지지되면 된다. 따라서, 리프터 블레이드(441)의 X방향 길이는 전사 롤러(431)보다 짧아도 된다. 단, 대향하는 한 쌍의 승강 핸드(331, 341) 사이에서의 휘어짐을 방지하는 관점에서는, 리프터 블레이드(441)의 길이가, 승강 핸드(331, 341) 사이의 X방향에 있어서의 간격보다 커지도록 하는 것이 바람직하다.

또, 상기 실시 형태는 블랭킷(BL)에 담지된 패턴 등의 피전사물을 기판(SB)에 전사하는 전사 장치이다. 그러나, 본 발명의 기술 사상은, 이러한 패턴 등을 전사하는 전사 장치에 한정되지 않으며, 예를 들면 패턴 등을 통하지 않고 2장의 판상체를 접합하는 기술에도 적용 가능하다.

이상, 구체적인 실시 형태를 예시하여 설명해 온 바와 같이, 이 발명에서는, 예를 들면, 제2 유지 수단은, 제2 판상체의 하면 중앙부에 대응하는 중앙부가 개구 하는 테두리형상의 지지 스테이지를 갖고, 지지 스테이지의 상면은 제2 판상체의 주연부 하면에 접촉하여 제2 판상체를 지지하는 평탄한 지지면으로 되어 있으며, 지지 부재는, 상면이 지지 스테이지의 지지면과 동일한 높이에 위치하여 제2 판상체를 지지하는 구성이어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 롤러 부재가 최초로 접촉하는 부위를 사이에 두는 양측에서 제2 판상체가 동일 높이로 지지되므로, 이 사이에서 제2 판상체의 수평 자세가 유지되어 휘어짐을 최소화할 수 있다.

또 예를 들면, 롤러 부재가 제2 판상체에 접촉을 개시하여 제2 판상체를 제1 판상체에 누른 후, 지지 부재가 제2 판상체로부터 이격되고, 그 후에 롤러 부재가 제2 판상체의 하면을 따라 이동하는 구성이어도 된다. 지지 부재는 롤러 부재가 제2 판상체에 접촉할 때에 제2 판상체의 자세를 유지하는 것이며, 롤러 부재가 제2 판상체에 접촉한 후에도 제2 판상체에 접촉하고 있을 필요는 반드시 없다. 지지 부재가 제2 판상체로부터 이격된 후에 롤러 부재가 이동하도록 함으로써, 지지 부재를 롤러 부재와 간섭하지 않는 위치로 퇴피시킬 수 있다.

또 예를 들면, 롤러 부재와 지지 부재가 일체적으로 이동하는 구성이어도 된다. 롤러 부재의 이동 방향에 있어서 롤러 부재의 전방에 위치하는 지지 부재는, 롤러 부재의 주행시에는 장애물이 될 수 있다. 지지 부재가 롤러 부재와 일체적으로 이동함으로써, 이러한 문제는 발생하지 않게 된다. 이 때 지지 부재가 제2 판상체로부터 이격되어 있으면, 지지 부재가 제2 판상체의 표면을 미끄럼 마찰하는 것이 회피된다.

혹은 예를 들면, 지지 부재는, 롤러 부재의 축과 평행한 축을 갖는 롤러형상을 가지며, 롤러 부재보다 하방 위치에서 제2 판상체의 하면에 접촉하면서, 롤러 부재와 일체적으로 제2 판상체의 하면을 따라 이동하는 구성이어도 된다. 이러한 구성에서는, 롤러 부재가 전동(轉動)함으로써 제2 판상체의 미끄럼 마찰이 회피된다. 또, 롤러 부재의 이동 중에 있어서도 지지 부재가 제2 판상체를 지지함으로써, 제2 판상체의 자세를 보다 안정적으로 유지할 수 있다.

이러한 경우, 예를 들면, 롤러 부재와 지지 부재가, 제2 판상체의 하면을 따라 이동하는 동일한 이동 부재에 부착되고, 또한, 높이 방향에 있어서의 위치가 서로 독립적으로 변경 가능해도 된다. 이러한 구성에 의하면, 단일한 이동 부재를 이동시킴으로써 롤러 부재와 지지 부재를 함께 이동시킬 수 있으며, 또 양자의 높이 방향 위치가 서로 독립적으로 변경됨으로써, 상기한 순서로의 접촉·이격이 가능해진다.

또 예를 들면, 본 발명에 있어서, 지지 부재는, 롤러 부재의 연장 설치 방향과 평행한 방향으로 연장되는 접촉 부위를 상단에 갖는 것이어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 롤러 부재의 연장 설치 방향을 따른 휘어짐을 효과적으로 억제할 수 있어, 위치 정밀도를 보다 향상시킬 수 있다.

또 예를 들면, 제2 판상체의 하면 중앙부에 대해 이격 접촉 가능하게 설치된 보조 지지 수단을 구비하고, 보조 지지 수단은, 제2 판상체의 하면을 따른 롤러 부재의 이동 방향에 있어서 롤러 부재의 전방 위치에서 제2 판상체의 하면 중앙부에 접촉하여 제2 판상체를 하방으로부터 지지하고, 롤러 부재의 이동에 따라 제2 판상체로부터 이격되어 롤러 부재를 통과시키는 구성이어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 제2 판상체의 자세를 유지하는 작용을 더욱 높일 수 있으므로, 제2 판상체의 휘어짐에 기인하는 위치 어긋남를 보다 효과적으로 억제할 수 있다.

이 경우 또한, 보조 지지 수단은, 각각이 제2 판상체의 하면에 부분적으로 접촉하여 제2 판상체를 지지하는 복수의 보조 지지 부재를 갖고 있어도 된다. 이와 같이 보조 지지 부재를 배치함으로써 제2 판상체의 전체적인 자세를 유지하는 것이 가능하지만, 지지를 받고 있지 않은 부분에서는 얼마간의 휘어짐을 피할 수 없다. 이러한 경우에 본 발명을 적용함으로써, 제2 판상체의 휘어짐을 저감시키는 것이 가능하다.

또 예를 들면, 제1 판상체와 제2 판상체 사이의 갭량을 검출하는 갭 검출 수단이 더 설치되고, 지지 부재의 높이가, 갭 검출 수단에 의해 검출되는 갭량에 의거하여 설정되는 구성이어도 된다. 제1 판상체와 제2 판상체 사이의 갭량이 실측되고, 그 결과에 의거하여 지지 부재의 높이가 설정됨으로써, 제2 판상체의 자세의 유지를 보다 확실한 것으로 할 수 있다.

또 예를 들면, 제1 유지 수단은, 제1 판상체의 상면에 접촉하는 평탄한 접촉면을 갖는 구성이어도 된다. 제1 판상체는 제2 판상체를 통해 롤러 부재로부터 가압을 받는다. 제1 판상체를 평탄면에 접촉시켜 둠으로써, 롤러 부재로부터의 가압에 의해 제1 판상체가 휘어지는 것을 방지하여, 전사를 양호하게 진행시킬 수 있다.

또 예를 들면, 수평 방향에 있어서의 제1 유지 수단과 제2 유지 수단의 상대 위치를 변화시키는 얼라이먼트 수단이 더 설치되어도 된다. 이러한 얼라이먼트 수단을 설치함으로써, 제1 판상체와 제2 판상체의 수평 위치를 조정하는 것이 가능하다. 단, 얼라이먼트가 행해진 상태로부터 실제로 제1 판상체와 제2 판상체가 접촉할 때까지 새로운 위치 어긋남이 발생하면 그 효과가 감쇄된다. 이러한 구성에 본 발명을 적용함으로써, 전사 위치를 보다 정밀도 좋게 제어하는 것이 가능해진다.

[산업상의 이용 가능성]

이 발명은, 유리 기판이나 반도체 기판 등의 각종 기판에 패턴이나 박막 등의 피전사물을 전사하는 처리에 대해 적합하게 적용 가능하다. 또, 패턴 등을 통하지 않고 2장의 판상체를 직접 접촉시키는 경우에도, 본 발명의 기술 사상을 적용 가능하다.

1: 전사 장치
21: 상부 스테이지(제1 유지 수단)
21a: (상부 스테이지의) 하면(접촉면)
31: 하부 스테이지(제2 유지 수단, 지지 스테이지)
31a: (하부 스테이지의) 상면(지지면)
33, 34: 승강 핸드 유닛(보조 지지 수단)
37: 얼라이먼트 기구(얼라이먼트 수단)
45: 플레이트 부재(이동 부재)
94: 얼라이먼트 제어부(얼라이먼트 수단)
331~334, 341~344: 승강 핸드(보조 지지 부재)
431: 전사 롤러(롤러 부재)
441: 리프터 블레이드(지지 부재)
441a: (리프터 블레이드의) 상면(접촉 부위)
446: 갭 센서(갭 검출 수단)
471: 리프터 롤러(지지 부재)
BL: 블랭킷(제2 판상체)
SB: 기판(제1 판상체)

Claims (15)

1. 제1 판상체를, 하면이 개방된 상태로 수평 자세로 유지하는 제1 유지 수단과,
   제2 판상체의 주연부를 유지하고, 상기 제2 판상체의 상면이 상기 제1 판상체의 하면과 근접 대향하도록, 또한 상기 제2 판상체의 하면 중 상면측에서 상기 제1 판상체와 대향하는 하면 중앙부가 개방된 수평 자세로, 상기 제2 판상체를 유지하는 제2 유지 수단과,
   상기 제2 판상체의 하면을 따라 연장 설치된 롤러형상을 가지며, 상기 제2 판상체의 하면에 대해 이격 접촉 가능하게 구성되어, 상기 제2 판상체의 하면에 접촉하여 상기 제2 판상체를 상기 제1 판상체에 누르면서 상기 제2 판상체의 하면을 따라 이동하는 롤러 부재와,
   상기 제2 판상체의 하면에 대해 이격 접촉 가능하게 구성되고, 상단이 상기 제2 판상체의 하면에 접촉함으로써 상기 제2 판상체를 하방으로부터 지지하는 지지 부재를 구비하고,
   상기 롤러 부재가 상기 제2 판상체로부터 이격된 상태로, 상기 제2 판상체의 하면 중 상기 롤러 부재가 최초로 접촉하는 부분보다 상기 제2 판상체의 중심측의 위치에서, 상기 지지 부재가 상기 제2 판상체의 하면에 접촉하여 상기 제2 판상체를 지지하고,
   상기 지지 부재에 의해 지지된 상기 제2 판상체에 대해 상기 롤러 부재가 접촉을 개시하여 상기 제2 판상체의 하면을 따라 이동하고,
   상기 롤러 부재와 상기 지지 부재가 일체적으로 상기 제2 판상체의 하면을 따라 이동하는, 전사 장치.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 제2 유지 수단은, 상기 제2 판상체의 상기 하면 중앙부에 대응하는 중앙부가 개구하는 테두리형상의 지지 스테이지를 가지며, 상기 지지 스테이지의 상면은, 상기 제2 판상체의 주연부 하면에 접촉하여 상기 제2 판상체를 지지하는 평탄한 지지면으로 되어 있고,
   상기 지지 부재는, 상면이 상기 지지 스테이지의 상기 지지면과 동일한 높이에 위치하여 상기 제2 판상체를 지지하는, 전사 장치.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 롤러 부재가 상기 제2 판상체에 접촉을 개시하여 상기 제2 판상체를 상기 제1 판상체에 누른 후, 상기 지지 부재가 상기 제2 판상체로부터 이격되고, 그 후에 상기 롤러 부재가 상기 제2 판상체의 하면을 따라 이동하는, 전사 장치.
4. 삭제
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 지지 부재는, 상기 롤러 부재의 축과 평행한 축을 갖는 롤러형상을 가지며, 상기 롤러 부재보다 하방 위치에서 상기 제2 판상체의 하면에 접촉하면서, 상기 롤러 부재와 일체적으로 상기 제2 판상체의 하면을 따라 이동하는, 전사 장치.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 롤러 부재와 상기 지지 부재가, 상기 제2 판상체의 하면을 따라 이동하는 동일한 이동 부재에 부착되고, 또한, 높이 방향에 있어서의 위치가 서로 독립적으로 변경 가능한, 전사 장치.
7. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 지지 부재는, 상기 롤러 부재의 연장 설치 방향과 평행한 방향으로 연장되는 접촉 부위를 상단에 갖는, 전사 장치.
8. 청구항 1 내지 청구항 3 및 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제2 판상체의 상기 하면 중앙부에 대해 이격 접촉 가능하게 설치된 보조 지지 수단을 구비하고,
   상기 보조 지지 수단은, 상기 제2 판상체의 하면을 따른 상기 롤러 부재의 이동 방향에 있어서 상기 롤러 부재의 전방 위치에서 상기 제2 판상체의 상기 하면 중앙부에 접촉하여 상기 제2 판상체를 하방으로부터 지지하고, 상기 롤러 부재의 이동에 수반하여 상기 제2 판상체로부터 이격되어 상기 롤러 부재를 통과시키는, 전사 장치.
9. 청구항 8에 있어서,
   상기 보조 지지 수단은, 각각이 상기 제2 판상체의 하면에 부분적으로 접촉하여 상기 제2 판상체를 지지하는 복수의 보조 지지 부재를 갖는, 전사 장치.
10. 청구항 1 내지 청구항 3 및 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 판상체와 상기 제2 판상체 사이의 갭량을 검출하는 갭 검출 수단을 구비하고, 상기 지지 부재의 높이가, 상기 갭 검출 수단에 의해 검출되는 상기 갭량에 의거하여 설정되는, 전사 장치.
11. 청구항 1 내지 청구항 3 및 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 유지 수단은, 상기 제1 판상체의 상면에 접촉하는 평탄한 접촉면을 갖는, 전사 장치.
12. 청구항 1 내지 청구항 3 및 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    수평 방향에 있어서의 상기 제1 유지 수단과 상기 제2 유지 수단의 상대 위치를 변화시키는 얼라이먼트 수단을 구비하는, 전사 장치.
13. 제1 판상체를 하면이 개방된 상태로 수평 자세로 유지하고, 제2 판상체의 주연부를 유지하며, 상기 제2 판상체의 상면이 상기 제1 판상체의 하면과 근접 대향하도록, 또한 상기 제2 판상체의 하면 중 상면측에서 상기 제1 판상체와 대향하는 하면 중앙부가 개방된 수평 자세로, 상기 제2 판상체를 유지하는 유지 공정과,
    상기 제2 판상체의 하면을 따라 연장 설치된 롤러 형상을 가지며, 상기 제2 판상체의 하면을 따라 이동 가능하게 구성된 롤러 부재를, 상기 제2 판상체로부터 이격된 위치에 배치하는 롤러 배치 공정과,
    상기 제2 판상체의 하면에 대해 이격 접촉 가능하게 구성된 지지 부재의 상단을, 상기 롤러 부재보다 상기 제2 판상체의 중심측의 위치에서 상기 제2 판상체의 하면에 접촉시켜, 상기 제2 판상체를 하방으로부터 지지하는 지지 공정과,
    상기 지지 부재에 의해 지지된 상기 제2 판상체에 대해 상기 롤러 부재가 접촉을 개시하고, 상기 제2 판상체를 상기 제1 판상체에 눌러 상기 제2 판상체의 하면을 따라 이동하는 전사 공정을 구비하고,
    상기 전사 공정에서는, 상기 지지 부재가 상기 롤러 부재와 일체적으로 상기 제2 판상체의 하면을 따라 이동하는, 전사 방법.
14. 청구항 13에 있어서,
    상기 전사 공정에서는, 상기 롤러 부재가 상기 제2 판상체에 접촉하여 상기 제2 판상체를 상기 제1 판상체에 누른 후, 상기 지지 부재가 상기 제2 판상체로부터 이격되고, 그 후에 상기 롤러 부재가 상기 제2 판상체의 하면을 따라 이동하는, 전사 방법.
15. 삭제

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