KR101771838B1

KR101771838B1 - 박리 장치

Info

Publication number: KR101771838B1
Application number: KR1020160020611A
Authority: KR
Inventors: 미요시 우에노; 야요이 시바후지; 다카아키 야나기다; 가즈히로 쇼지
Original assignee: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Priority date: 2015-03-31
Filing date: 2016-02-22
Publication date: 2017-08-25
Also published as: JP6450238B2; JP2016190698A; KR20160117174A; TW201637876A; TWI624377B; CN106004000B; CN106004000A

Abstract

본 발명은, 서로 접합된 2장의 판상체를 박리시키는 박리 장치에 관한 것이다. 유지 수단(30)의 유지면(310)에 개구부(314)가 설치되고, 개구부(314)에 대해 제1 판상체를 지지하는 지지 부재가 설치된다. 박리의 진행을 규제하는 롤러 어셈블리(40)는, 축방향으로 이격되어 복수 설치되어 있다. 롤러 어셈블리(40)의 각각이 형성하는 접촉 닙이 축방향에 있어서 서로 이격되고, 접촉 닙의 박리 방향에 있어서의 후단부의 위치가 박리 방향에 있어서 동일하고, 유지면(310)의 개구부(314)는, 축방향에 있어서 서로 이웃하는 2개의 접촉 닙간의 갭부에 대응하는 위치에 설치된다.

Description

박리 장치{DETACHING APPARATUS}

이 발명은, 서로 접합된 2장의 판상체를 박리시키는 박리 장치에 관한 것이다.

유리 기판이나 반도체 기판 등의 판상체에 소정의 패턴이나 박막을 형성하는 기술로서, 다른 판상체에 담지된 패턴이나 박막(이하, 「패턴 등」이라고 한다)을 기판에 전사하는 것이 있다. 이 기술에 있어서는, 2장의 판상체를 밀착시켜 패턴 등을 한쪽에서 다른쪽으로 전사한 후, 패턴 등을 손괴시키지 않고 2장의 판상체를 박리할 필요가 있다.

이 목적을 위해서 이용 가능한 기술로서, 예를 들면 특허 문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 기술에 있어서는, 서로 밀착한 제1 판상체 및 제2 판상체로 이루어지는 밀착체가, 제1 판상체가 스테이지에 흡착 유지됨으로써 수평 자세로 유지된다. 그리고, 제2 판상체측에 배열된 복수의 박리 수단이 차례로 제2 판상체에 맞닿고, 제2 판상체를 유지하면서 제1 판상체로부터 이격하는 방향으로 이동함으로써, 제1 판상체와 제2 판상체의 사이의 박리가 소정의 박리 방향으로 진행한다. 이때, 롤러형의 접촉 부재가 제2 판상체의 표면에 맞닿으면서 박리 방향으로 이동함으로써, 박리가 일정한 속도로 진행하도록 관리된다.

일본국 특허공개 2014-189350호 공보

판상체의 크기가 대형이 되면, 상기 종래 기술에 있어서는 새로운 개량이 요구된다. 즉, 대형의 판상체는 휘기 쉽기 때문에, 판상체를 수평 상태로 유지하면서 장치에 반입 및 반출하기 위해서 특별한 기구가 필요하게 된다. 또, 판상체의 대형화에 수반하여 롤러형의 접촉 부재도 축방향으로 길어지기 때문에, 판상체에 인가되는 가압력이 롤러의 휨에 의해 불균일해지는 일이 있다. 이러한 가압력의 편차는, 피전사물의 손상이나 박리 불량의 원인이 될 수 있는 것이다.

이와 같이, 대형의 판상체에 대해서도 박리를 양호하게 실행하기 위해서는, 판상체나 롤러형 부재의 휨에 대한 대응이 필요하다. 이 점에 있어서, 상기 종래 기술에는 개량의 여지가 남아 있다.

이 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 서로 접합된 2장의 판상체를 박리시키는 박리 장치에 있어서, 대형의 판상체에 대해서도 박리를 양호하게 실행할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

이 발명의 일형태는, 주면들이 접합된 제1 판상체와 제2 판상체를 박리시키는 박리 장치에 있어서, 상기 목적을 달성하기 위해, 상면이 대략 수평인 유지면이며, 상기 유지면에 개구부가 설치되고, 상기 제2 판상체와는 반대측의 면이 하향으로 되어 상기 유지면에 올려지는 상기 제1 판상체를 유지하는 유지 수단과, 상기 개구부로부터 상기 유지면보다 상방에 상단부가 돌출된 돌출 위치와, 상기 개구부내에서 상기 유지면보다 하방으로 상기 상단부가 퇴피한 퇴피 위치의 사이를 이동하고, 상기 돌출 위치에서 상기 제1 판상체를 상기 유지면으로부터 이격시켜 하방으로부터 지지하는 지지 부재와, 상기 제2 판상체를 유지하여 상기 제1 판상체로부터 이격하는 방향으로 이동하고, 상기 유지 수단에 의해 유지되는 상기 제1 판상체로부터 상기 제2 판상체를 박리시키는 박리 수단과, 상기 제2 판상체 중 상기 제1 판상체와는 반대측의 면에 맞닿아, 상기 박리 수단에 의한 상기 제2 판상체의 박리의 진행을 규제하는 규제 수단을 구비하고 있다.

여기서, 상기 규제 수단은, 각각이 상기 제2 판상체에 맞닿아 상기 제2 판상체와의 사이에 접촉 닙을 형성하는 복수의 롤러 부재와, 상기 복수의 롤러 부재의 각각을, 상기 유지면에 평행한 축방향을 따른 회전축 둘레로 회전 가능하게, 또한 개별적으로 지지하는 지지부와, 상기 지지부를, 상기 유지면에 평행하고 또한 상기 축방향과 직교하는 박리 방향으로 이동시키는 이동 기구를 가지며, 상기 롤러 부재의 각각이 형성하는 상기 접촉 닙이 상기 축방향에 있어서 서로 이격하고, 상기 접촉 닙의 상기 박리 방향에 있어서의 후단부의 위치가 상기 박리 방향에 있어서 서로 동일하고, 상기 개구부는, 상기 축방향에 있어서 서로 이웃하는 2개의 상기 접촉 닙간의 갭부에 대응하는 위치에 설치된다.

이와 같이 구성된 발명에서는, 박리 수단이, 유지 수단의 유지면에 유지된 제1 판상체로부터 떼어 놓는 방향으로 제2 판상체를 이동시킴으로써, 박리가 실행된다. 그리고, 롤러 부재가 제2 판상체와 맞닿아 형성되는 접촉 닙이 박리의 진행을 규제하고, 상기 접촉 닙이 박리 방향으로 이동함으로써, 박리의 진행이 관리된다. 이로 인해, 박리를 양호하게 진행시킬 수 있다.

박리의 진행을 규제하기 위한 롤러 부재가 단일인 경우, 제2 판상체의 크기, 특히 롤러의 축방향에 있어서의 길이가 커지면, 축방향에 있어서의 롤러 지름의 변동이나 동작시의 휨이 발생하기 쉬워진다. 그 때문에, 접촉 닙에 있어서의 제2 판상체에 대한 접촉압이 축방향으로 편차가 생길 우려가 있다. 이와 같이 접촉압이 편차가 생기면, 박리를 규제하는 기능이 축방향 위치에 따라 다른 것이 원인이 되어 박리의 진행을 적정하게 관리할 수 없게 되고, 박리 불량의 원인이 될 수 있다. 또, 장척의 롤러 부재를 높은 가공 정밀도로 제조하기 위해 더욱 높은 제조 기술이 필요하게 되고, 장치 코스트의 상승을 초래한다.

한편, 본 발명에서는, 롤러 부재는 축방향으로 복수 배치되어 있고, 각 롤러 부재는 서로 독립하여 지지되어 있다. 그 때문에, 개개의 롤러 부재의 축방향 길이는 더욱 짧아도 되고, 롤러 지름의 변동이나 휨을 작게 할 수 있다. 이로 인해, 접촉 닙에 있어서의 접촉압을 균일하게 하여 박리를 양호하게 진행시킬 수 있다. 또, 장척 롤러를 제조하는 경우에 비해 제조 코스트를 억제할 수도 있다.

또, 본 발명에서는, 유지 수단의 유지면에 설치된 개구부에, 지지 부재가 설치되어 있다. 지지 부재는, 제1 판상체를 유지면으로부터 이격시킨 상태로 지지한다. 이로 인해, 예를 들면 접합된 제1 판상체와 제2 판상체가 유지면에 올려질 때 또는 박리 후의 제1 판상체가 유지면으로부터 반출될 때에, 제1 판상체의 휨을 억제하여 외부로부터의 액세스를 용이하게 할 수 있다.

유지면에 올려지는 제1 판상체 중 유지면의 개구부의 주연에 대응하는 부위에서는, 롤러 부재로부터의 가압을 받으면 상기 부위에 국소적으로 높은 응력이 작용하고, 제1 판상체가 손상될 우려가 있다. 또, 이러한 응력 집중이 박리 불량의 계기가 될 우려가 있다. 한편, 본 발명에서는, 복수의 롤러 부재에 의해 형성되는 복수의 접촉 닙간의 갭에 대응하는 위치에 개구부가 설치된다. 그 때문에, 개구부의 바로 위에 있어서 제1 및 제2 판상체가 롤러 부재로부터의 가압을 받는 일이 없다. 이로 인해, 개구부상에서의 가압에 기인하는 판상체의 손상이나 박리 불량을 방지할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에서는, 축방향으로 배치된 복수의 롤러 부재가 제2 판상체에 맞닿아 접촉 닙을 형성한다. 또, 유지 수단의 유지면 중 축방향에 있어서의 접촉 닙간의 갭에 해당되는 부위에 설치된 개구부로부터 돌출하여 제1 판상체를 지지하는 지지 부재가 설치되어 있다. 이 때문에, 본 발명에서는, 제1 및 제2 판상체의 크기가 대형이 된 경우에도 이들의 박리를 양호하게 실행할 수 있다.

도 1은, 이 발명에 따른 박리 장치의 일실시 형태를 나타내는 사시도이다.
도 2는, 이 박리 장치의 주요 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3a, 도 3b는, 롤러 유닛의 구조를 나타내는 도면이다.
도 4a, 도 4b, 도 4c는, 리프터 기구의 구성예를 나타내는 단면도이다.
도 5는, 이 박리 장치의 전기적 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 6a, 도 6b, 도 6c, 도 6d는, 박리 동작의 과정에 있어서의 각부의 동작을 나타내는 도면다.
도 7은, 롤러 유닛과 워크의 접촉 상태를 나타내는 도면이다.
도 8a, 도 8b, 도 8c는, 박리 롤러가 단일인 경우와 복수인 경우를 비교한 도면이다.
도 9a, 도 9b는, 스테이지 상의 개구부와 박리 롤러의 위치 관계를 나타내는 도면이다.
도 10은, 스테이지와 이것에 올려지는 워크의 위치 관계를 나타내는 도면이다.
도 11은, 박리 장치의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 12a, 도 12b는, 롤러 지름이 다른 박리 롤러의 조합예를 나타내는 도면이다.

도 1은 이 발명에 따른 박리 장치의 일실시 형태를 나타내는 사시도이다. 각 도면에 있어서의 방향을 통일적으로 나타내기 위해, 도 1 우하방에 나타내는 바와 같이 XYZ 직교좌표축을 설정한다. 여기서 XY평면이 수평면을 나타낸다. 또 Z축이 연직축을 나타내고, 더욱 자세히는, (-Z) 방향이 연직 하향 방향을 나타내고 있다.

이 박리 장치(1)는, 주면들이 서로 밀착한 상태로 반입되는 2장의 판상체를 박리시키기 위한 장치이다. 예를 들면 유리 기판이나 반도체 기판 등의 기판의 표면에 소정의 패턴을 형성하는 패턴 형성 프로세스의 일부에 있어서 이용된다. 더욱 구체적으로는, 이 패턴 형성 프로세스에서는, 피전사체인 기판에 대해 전사해야 할 패턴을 일시적으로 담지하는 담지체로서의 블랭킷 표면에, 패턴 형성 재료가 균일하게 도포된다(도포 공정). 그리고, 패턴 형상에 따라 표면 가공된 판을 블랭킷 상의 도포층에 꽉 누름으로써 도포층이 패터닝된다(패터닝 공정). 이렇게 하여 패턴이 형성된 블랭킷을 기판에 밀착시킴으로써(전사 공정), 패턴이 최종적으로 블랭킷으로부터 기판에 전사된다.

이때, 패터닝 공정에 있어서 밀착된 판과 블랭킷의 사이, 또는 전사 공정에 있어서 밀착된 기판과 블랭킷의 사이를 이격시키는 목적을 위해, 본 장치를 적합하게 적용하는 것이 가능하다. 물론 이들 양쪽에 이용되어도 되고, 이외의 용도로 이용되어도 된다. 예를 들면 담지체에 담지된 박막을 기판에 전사할 때의 박리 프로세스에도 적용할 수 있다. 이 외, 직접 또는 박막 등의 박층을 개재하여 밀착하는 2개의 판상체를 박리하는 프로세스 전반에, 본 장치를 적용하는 것이 가능하다. 이하, 패턴 및 박막을 총칭하여 「패턴 등」이라고 칭한다.

이 박리 장치(1)는, 케이스에 부착된 메인 프레임(11) 상에 스테이지 블록(3) 및 상부 흡착 블록(5)이 각각 고정된 구조를 갖고 있다. 도 1에서는 장치의 내부 구조를 나타내기 위해서 케이스의 도시를 생략하고 있다. 또, 이들 각 블록 외에, 이 박리 장치(1)는 제어 유닛(70)(도 5)을 구비하고 있다.

스테이지 블록(3)은, 판과 블랭킷이, 또는 기판과 블랭킷이 밀착되어 이루어지는 밀착체(이하, 「워크」라고 한다)를 올리기 위한 스테이지(30)를 갖고 있다. 스테이지(30)는, 상면이 대략 수평인 평면으로 된 수평 스테이지부(31)와, 상면이 수평면에 대해서 몇 도(예를 들면 2도 정도)의 기울기를 갖는 평면으로 된 테이퍼 스테이지부(32)를 구비하고 있다. 스테이지(30)의 테이퍼 스테이지부(32)측, 즉 (-Y)측의 단부 근방에는 초기 박리 유닛(33)이 설치되어 있다. 또, 수평 스테이지부(31)를 넘도록 롤러 유닛(4)이 설치된다.

한편, 상부 흡착 블록(5)은, 메인 프레임(11)으로부터 세워 설치됨과 더불어 스테이지 블록(3)의 상부를 덮도록 설치된 지지 프레임(50)을 구비하다. 지지 프레임(50)에는 제1 흡착 유닛(51), 제2 흡착 유닛(52), 제3 흡착 유닛(53) 및 제4 흡착 유닛(54)이 부착되어 있다. 이들 흡착 유닛(51~54)은 (＋Y)방향으로 차례로 늘어서 있다. 또한, 흡착 유닛의 설치수는 상기로 한정되지 않고 임의이다.

도 2는 이 박리 장치의 주요 구성을 나타내는 사시도이다. 더욱 구체적으로는, 도 2는, 박리 장치(1)의 각 구성 중 스테이지(30), 롤러 유닛(4) 및 제2 흡착 유닛(52)의 구조를 나타내고 있다. 스테이지(30)는, 상면(310)이 대략 수평면으로 된 수평 스테이지부(31)와 상면(320)이 수평면에 대해 몇 도 기운 테이퍼면으로 된 테이퍼 스테이지부(32)를 구비하고 있다. 수평 스테이지부(31)의 상면(310)은 올려지는 워크의 평면 크기보다 조금 큰 평면 크기를 갖고 있다.

테이퍼 스테이지부(32)는 수평 스테이지부(31)의 (-Y)측 단부에 밀착하여 설치되어 있고, 그 상면(320)은, 수평면(321)과 테이퍼면(322)을 갖고 있다. 더욱 구체적으로는, 테이퍼 스테이지부(32)의 상면(320) 중, 수평 스테이지부(31)와 접하는 부분은 수평 스테이지부(31)의 상면(310)과 같은 높이(Z방향 위치)에 위치하는 수평면(321)으로 되어 있다. 한편, 상기 수평면(321)보다 (-Y)방향측에서는, 테이퍼 스테이지부(32)의 상면(320)은, 수평 스테이지부(31)로부터 (-Y)방향으로 멀어짐에 따라 하방, 즉 (-Z)방향으로 후퇴하는 내림 구배를 갖는 테이퍼면(322)으로 되어 있다. 따라서, 스테이지(30) 전체에서는, 수평 스테이지부(31)의 상면(310)의 수평면과 테이퍼 스테이지부(32)의 상면(320) 중 수평면(321)이 연속해서 일체의 수평면으로 되어 있고, 상기 수평면의 (-Y)측 단부에 테이퍼면(322)이 접속되어 있다. 수평면(321)과 테이퍼면(322)이 접속하는 능선부(E)는 X방향으로 연장되는 직선상으로 되어 있다.

수평 스테이지부(31)의 상면(310)에는 격자상의 홈이 새겨져 있다. 더욱 구체적으로는, 수평 스테이지부(31)의 상면(310)의 중앙부에 격자상의 홈(311)이 형성된다. 또, 홈(311)이 형성된 영역을 둘러싸도록, 홈(312)이 수평 스테이지부(31)의 상면(310) 주연부에 형성되어 있다. 이들 홈(311, 312)은 제어 밸브를 통해 후술하는 부압 공급부(74)(도 5)에 접속되고, 부압이 공급됨으로써, 스테이지(30)에 올려지는 워크를 흡착 유지하는 흡착홈으로서의 기능을 갖는다. 2종류의 홈(311, 312)은 스테이지 상에서는 연결되어 있지 않고, 또 서로 독립된 제어 밸브를 통해 부압 공급부(74)에 접속되어 있다. 이 때문에, 양쪽의 홈을 사용한 강력한 흡착 외에, 한쪽의 홈만 사용한 흡착도 가능하게 되어 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 스테이지(30)의 (-Y)측 단부 근방에는 초기 박리 유닛(33)이 배치되어 있다. 초기 박리 유닛(33)은, 테이퍼 스테이지부(32)의 상방에서 X방향으로 연장 설치된 봉상의 가압 부재(331)를 갖고 있고, 가압 부재(331)는 지지 암(332)에 의해 지지되어 있다. 지지 암(332)은 연직 방향으로 연장 설치되는 가이드 레일(333)을 통해 기둥 부재(334)에 승강 가능하게 부착되어 있다. 승강기구(335)의 작동에 의해, 지지 암(332)이 기둥 부재(334)에 대해서 상하 이동한다. 기둥 부재(334)는 메인 프레임(11)에 부착된 베이스부(336)에 의해 지지되지만, 기둥 부재(334)의 Y방향 위치는, 위치 조정 기구(337)에 의해 베이스부(336) 상에서 소정의 범위내에서 조정 가능하게 되어 있다.

후술하는 바와 같이, 스테이지 상면(310)의 소정 위치에 워크가 올려진 상태에서는, 워크의 (-Y)측 단부가 테이퍼 스테이지부(32)의 상방으로 돌출된다. 제어 유닛(70)으로부터의 제어 지령에 따라 지지 암(332)이 하방으로 이동하고, 가압 부재(331)의 하단이 워크에 맞닿아 이것을 하방으로 눌러 내린다. 이것이 박리의 계기를 만든다.

상기와 같이 구성된 스테이지(30)를 넘도록, 롤러 유닛(4)이 설치된다. 구체적으로는, 수평 스테이지부(31)의 X방향 양단부를 따라서, 1쌍의 가이드 레일(351, 352)이 Y방향으로 연장 설치되어 있고, 이들 가이드 레일(351, 352)은 메인 프레임(11)에 고정되어 있다. 그리고, 가이드 레일(351, 352)에 대해 슬라이딩 가능하게 롤러 유닛(4)이 부착되어 있다.

롤러 유닛(4)은, 가이드 레일(351, 352)과 각각 슬라이딩 가능하게 걸어맞춰지는 슬라이더(41, 42)를 구비하고 있다. 이들 슬라이더(41, 42)를 연결하도록, 스테이지(30) 상부를 넘어 X방향으로 연장 설치된 하부 앵글(43)이 설치되어 있다. 하부 앵글(43)에는 승강기구(44)를 통해 상부 앵글(45)이 승강 가능하게 부착되어 있다. 그리고, 상부 앵글(45)에 대해서 복수의, 이 예에서는 3기의 롤러 어셈블리(40)가 부착된다.

도 3a 및 도 3b는 롤러 유닛의 구조를 나타내는 도면이다. 더욱 구체적으로는, 도 3a는 롤러 유닛(4)의 주요부의 구조를 나타내는 분해 사시도이며, 도 3b는 롤러 유닛(4)의 주요부를 X방향에서 본 도면이다. 롤러 어셈블리(40)의 각각은, X방향을 길이 방향으로 하는 원주상의 박리 롤러(401)와, 박리 롤러(401)를 X방향에 따른 회전축 둘레로 회전 가능하게 지지하는 롤러 지지부(402)를 구비하고 있다.

박리 롤러(401)는, 예를 들면 철, 스테인리스강, 알루미늄 합금 또는 놋쇠 등의 금속재료에 의해 형성된 심금의 표면을, 탄성 재료, 예를 들면 고무에 의한 표면층에 의해 덮은 구조로 되어 있고, 그 표면은 탄성을 갖고 있다. 롤러 지지부(402)는 박리 롤러(401)를 회전 가능하게 축지지하고, 박리 롤러(401)는 회전축 둘레로 자유 회전한다.

각 롤러 어셈블리(40)는, 적절한 고정 부재, 예를 들면 나사(46)에 의해 상부 앵글(45)에 고정되어 있다. 상부 앵글(45)은, X방향으로 수직인 단면 형상이 대략 L자형이고, X방향으로 연장되는 부재이다. 상부 앵글(45)에는, Y방향을 길이 방향으로 하는 타원형 단면을 갖는 관통 구멍(451)이 복수 설치되어 있고, 관통 구멍(451)의 각각에 나사(46)가 삽입 통과된다. 1개의 롤러 어셈블리(40)에 대해서 2개의 관통 구멍(451)이, 롤러 지지부(402)의 X방향 양단부에 대응하여 설치되어 있다.

각 롤러 어셈블리(40)는 각각 2개의 나사(46)에 의해 상부 앵글(45)에 고정된다. 도 3b에 나타내는 바와 같이, 상부 앵글(45) 하부에는 연직 평면으로 마무리된 위치잡기용 기준면(452)이 설치되어 있다. 롤러 지지부(402)의 (＋Y)측 단면이 위치잡기용 기준면(452)에 부딪히게 됨으로써, 각 롤러 어셈블리(40)의 위치가 맞춰진다. 관통 구멍(451)이 긴 구멍으로 되어 있기 때문에, 각 롤러 어셈블리(40)의 상부 앵글(45)에의 부착 위치는, Y방향 및 Z축 둘레에 소정 범위에서 조정 가능하게 되어 있다. 또, 별도 준비된 심(스페이서)(403)이, 필요에 따라서 상부 앵글(45)과 롤러 지지부(402)의 사이에 끼워 넣어짐으로써, 롤러 어셈블리(40)의 Z방향 위치가 조정된다.

각 롤러 어셈블리(40)는 동일 구조이지만, 상기 구조가 채용됨으로써, 마무리 치수의 편차에 기인하는 위치 어긋남을 조정 작업에 의해 보정하는 것이 가능하게 되어 있다. 롤러 어셈블리(40)가 상부 앵글(45)에 조립될 때에는, 이들 위치 조정 기능을 이용하여 각 박리 롤러(401)의 회전축이 서로 일치하듯이 미리 조정이 이루어진다.

이 예에서는, 3기의 롤러 어셈블리(40)는 모두 동일한 구조를 갖고 있고, 박리 롤러(401)의 크기, 즉 직경 및 X방향 길이는 서로 동일하다. 그리고, 복수의 박리 롤러(401)의 회전축은 서로 일치한다. 그러나, 후술하는 바와 같이, 크기나 회전축이 서로 다른 복수의 박리 롤러도 사용 가능하다.

도 2로 되돌아가 설명을 계속한다. 상부 앵글(45)이 승강기구(44)에 의해 하방, 즉 (-Z)방향으로 하강되면, 스테이지(30)에 올려진 워크의 상면에 박리 롤러(401)의 하면이 맞닿는다. 한편, 상부 앵글(45)이 승강기구(44)에 의해 상방, 즉 (＋Z)방향의 위치에 위치 결정된 상태에서는, 박리 롤러(401)는 워크의 상면으로부터 상방으로 이격한 상태가 된다.

롤러 유닛(4)은, 메인 프레임(11)에 부착된 모터(353)에 의해 Y방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 더욱 구체적으로는, 하부 앵글(43)이, 모터(353)의 회전운동을 직선 운동으로 변환하는 변환 기구로서의 예를 들면 볼나사 기구(354)에 연결되어 있다. 모터(353)가 회전하면 하부 앵글(43)이 가이드 레일(351, 352)에 따라서 Y방향으로 이동하고, 이로 인해 롤러 유닛(4)이 Y방향으로 이동한다. 롤러 유닛(4)의 이동에 따라 박리 롤러(401)의 가동 범위는, (-Y)방향으로는 수평 스테이지부(31)의 (-Y)측 단부의 근방까지, (＋Y)방향으로는 수평 스테이지부(31)의 (＋Y)측 단부보다 외측, 즉 (＋Y)측으로 더 진행된 위치까지로 된다.

이어서, 제2 흡착 유닛(52)의 구성에 대해 설명한다. 또한, 제1 내지 제4 흡착 유닛(51~54)은 모두 동일 구조를 갖고 있고, 여기에서는 대표적으로 제2 흡착 유닛(52)의 구조에 대해 설명한다. 제2 흡착 유닛(52)은, X방향으로 연장 설치되어 지지 프레임(50)에 고정되는 빔 부재(521)를 갖고 있다. 빔 부재(521)에는 연직 하향, 즉 (-Z)방향으로 연장되는 1쌍의 기둥 부재(522, 523)가 X방향으로 서로 위치를 다르게 하여 부착되어 있다. 기둥 부재(522, 523)에는 도면에서는 숨어 있는 가이드 레일을 통해 플레이트 부재(524)가 승강 가능하게 부착되어 있고, 플레이트 부재(524)는 모터 및 변환 기구(예를 들면 볼나사 기구)로 이루어지는 승강기구(525)에 의해 승강 구동된다.

플레이트 부재(524)의 하부에는 X방향으로 연장되는 각봉상의 패드 지지 부재(526)가 부착되어 있다. 패드 지지 부재(526)의 하면에 복수의 흡착 패드(527)가 X방향으로 등간격으로 배열되어 있다. 도 2에서는 제2 흡착 유닛(52)을 실제의 위치보다 상방으로 이동시킨 상태를 나타내고 있지만, 승강기구(525)에 의해 플레이트 부재(524)가 하방으로 이동되었을 때, 흡착 패드(527)가 수평 스테이지부(31)의 상면(310)에 매우 근접한 위치까지 하강할 수 있다. 스테이지(30)에 워크가 올려진 상태에서는, 흡착 패드(527)는 워크의 상면에 맞닿는다. 각 흡착 패드(527)에는 후술하는 부압 공급부(74)로부터의 부압이 부여되고, 워크의 상면이 흡착 유지된다.

스테이지(30)의 수평 스테이지부(31)와 테이퍼 스테이지부(32)는 별체로 형성되어 분리 가능하게 되어 있다. 테이퍼 스테이지부(32)는 도시를 생략하는 수평 이동 기구에 의해 수평 스테이지부(31)에 대해서 수평 방향으로 접근·이격 이동 가능하게 되어 있다. 테이퍼 스테이지부(32)가 수평 스테이지부(31)의 측면으로 밀착함으로써, 수평 스테이지부(31)와 테이퍼 스테이지부(32)가 일체적으로 스테이지(30)로서 기능한다.

수평 스테이지부(31)의 상면(310)에는, 상기한 흡착홈(311, 312) 외에, 서로 형상이 다른 개구(313, 314)가 설치되어 있다. 더욱 구체적으로는, 수평 스테이지부(31)의 상면(310) 중 흡착홈(311)과 흡착홈(312) 사이의 평탄 부분의 복수 개소에, 타원 형상을 갖는 복수의 제1 개구(313)가 분산 배치된다. 또, 수평 스테이지부(31)의 상면(310)의 중앙부의 서로 이격하는 4개소에, 대략 원형의 제2 개구(314)가 설치되어 있다. 제1 개구(313) 및 제2 개구(314)는 모두, 수평 스테이지부(31)의 상면(310)에 있어서 흡착홈(311, 312)과는 접속하고 있지 않다. 이것을 가능하게 하기 위해서, 제2 개구(314)의 주위에서는 흡착홈(311)이 분단되어 있다. 이들 개구(313, 314)의 내부에는 리프터 기구가 설치되어 있다.

도 4a 내지 도 4c는 리프터 기구의 구성예를 나타내는 단면도이다. 여기에서는 제2 개구(314)에 설치되는 리프터 기구(36)를 예로 하여 그 구조를 설명한다. 그러나, 리프터 핀의 형상을 적절하게 변경함으로써, 제1 개구(313)에 설치되는 리프터 기구에도 같은 구조를 적용하는 것이 가능하다. 리프터 기구(36)는, 리프터 핀(361)과, 하우징(362)과, 구동부(363)를 구비하고 있다. 리프터 핀(361)은, 수평 스테이지부(31)에 설치된 제2 개구(314)에 삽입 통과되어 있다. 하우징(362)은 수평 스테이지부(31)의 저면에 부착되고, 구동부(363)는 하우징(362)에 설치되어 있고, 리프터 핀(361)을 승강시킨다. 구동부(363)로서는, 에어 실린더, 솔레노이드, 압전 액츄에이터 등의 각종 액츄에이터를 이용할 수 있다.

제어 유닛(70)으로부터의 제어 지령에 따라 구동부(363)가 작동함으로써, 리프터 핀(361)은, 도 4a에 나타내는 퇴피 위치와 도 4b에 나타내는 돌출 위치 사이를 승강 이동한다. 퇴피 위치는, 도 4a에 나타내는 바와 같이 리프터 핀(361)의 상단이 스테이지 상면(310)보다 하방으로 퇴피하는 위치이다. 돌출 위치는, 도 4b에 나타내는 바와 같이 리프터 핀(361)의 상단이 스테이지 상면(310)보다 상부로 돌출하는 위치이다. 도 4c에 나타내는 바와 같이, 복수의 리프터 핀(361)이 돌출 위치에 위치 결정됨으로써, 워크(WK)(후술)를 스테이지 상면(310)으로부터 이격한 상태로 지지하는 것이 가능해진다. 복수의 리프터 핀(361)의 상단이 동일 높이가 되도록 위치 결정되면, 워크(WK)를 수평 자세로 지지할 수 있다. 워크를 더욱 확실히 유지하기 위해서, 각 리프터 핀(361)이 흡착 유지 기능을 갖고 있어도 된다

도 5는 이 박리 장치의 전기적 구성을 나타내는 블럭도이다. 장치 각부는 제어 유닛(70)에 의해 제어된다. 제어 유닛(70)은, 장치 전체의 동작을 맡는 CPU(701)와, 각부에 설치된 모터류를 제어하는 모터 제어부(702)와, 각부에 설치된 밸브류를 제어하는 밸브 제어부(703)와, 각부에 공급되는 부압을 제어하는 부압 제어부(704)와, 유저로부터의 조작 입력의 접수나, 장치의 상태를 유저에게 알리는 기능을 갖는 유저 인터페이스(UI)부(705)를 구비하고 있다.

모터 제어부(702)는, 스테이지 블록(3)에 설치된 모터(353) 및 승강기구(335, 44, 365), 수평 이동 기구, 상부 흡착 블록(5)의 각 흡착 유닛(51~54)에 각각 설치된 승강기구(525) 등의 모터군을 구동 제어한다. 또한, 여기에서는 각 가동부의 구동원으로서 대표적으로 모터가 기재되어 있지만, 이것으로 한정되는 것이 아니라, 그 용도에 따라 예를 들면 에어 실린더, 솔레노이드, 압전 소자 등의 각종 액츄에이터가 구동원으로서 이용되어도 된다. 부압 제어부(704)는, 부압 공급부(74)가 발생하고 필요에 따라서 장치 각부에 공급되는 부압의 크기를 제어한다. 또한, 공장 용력 등 외부로부터 공급되는 부압을 이용 가능한 경우에는, 상기 박리 장치가 부압 공급부를 구비하고 있지 않아도 된다.

밸브 제어부(703)는, 부압 공급부(74)로부터 수평 스테이지부(31)에 설치된 흡착홈(311, 312)과 연결되는 배관 경로상에 설치되고 이들 흡착홈에 대해 소정의 부압을 개별적으로 공급하기 위한 밸브군(V3), 부압 공급부(74)로부터 각 흡착 유닛(51~54)의 흡착 패드(517) 등으로 연결되는 배관 경로 상에 설치되어 각 흡착 패드(517) 등에 소정의 부압을 공급하기 위한 밸브군(V5) 등을 제어한다.

이어서, 상기와 같이 구성된 박리 장치(1)의 동작에 대해 설명한다. 이 박리 장치(1)에 의해 실행되는 박리 동작은, 상술의 특허 문헌 1(일본국 특허공개 2014-189350호 공보)에 기재된 박리 장치에 있어서의 박리 동작과 기본적으로 동일하다. 그래서, 이 박리 장치(1)에 있어서의 박리 동작에 대한 자세한 설명을 생략 하고, 여기에서는 박리 동작에 있어서의 각부의 움직임을 간단하게 설명한다.

도 6a 내지 도 6d는 박리 동작의 과정에 있어서의 각부의 동작을 나타내는 도면이다. 여기에서는, 패턴 형성 재료에 의해 미리 소정의 패턴 등이 형성된 패턴 담지체로서의 블랭킷(BL)과, 이 패턴 등이 전사되는 피전사체로서의 기판(SB)이 패턴을 개재하여 접합된 것이 박리 대상물인 워크(WK)가 된다. 이 워크(WK)로부터 블랭킷(BL)과 기판(SB)을 박리시키는 동작에 대해 설명한다. CPU(701)가 소정의 제어 프로그램을 실행하고, 제어 유닛(70)이 장치 각부를 제어함으로써 박리 동작이 실행된다.

최초로, 박리 장치(1)에 외부로부터 워크(WK)가 반입되고 스테이지(30)의 소정 위치에 올려진다. 이때, 개구(313, 314)에 설치된 리프터 핀이 스테이지 상면(310)보다 상방으로 돌출된 돌출 위치에 위치 결정됨으로써, 외부의 반송 장치로부터의 워크(WK)의 수수를 용이하게 할 수 있다. 리프터 핀은 워크(WK)를 받은 후퇴피위치까지 하강하고, 이로 인해 워크(WK)는 스테이지 상면(310)에 올려진다.

워크(WK)가 반입된 직후의 초기 상태에서는, 워크(WK)가 흡착홈(311, 312)의 한쪽 또는 양쪽에 의해 흡착 유지된다. 초기 박리 유닛(33)의 가압 부재(331), 롤러 유닛(4)의 박리 롤러(401), 제1 내지 제4 흡착 유닛(51~54)의 흡착 패드(517~547)는 모두 워크(WK)로부터 이격되어 있다. 각 흡착 유닛(51~54)은, Y방향으로 주행하는 롤러 유닛(4)과 간섭하지 않도록, 흡착 패드(517~547)와 기판(SB)의 사이에 충분한 갭을 두고 배치된다. 또 박리 롤러(401)는, 제1 흡착 유닛(51)의 흡착 패드(517)보다 약간 (＋Y)측으로 기운 위치에서, 워크(WK)로부터 이격한 상태에 있다. 이 상태로부터 박리 동작이 실행된다.

박리 동작에서는, 최초로 제1 흡착 유닛(51)이 하강하고, 흡착 패드(517)가 기판(SB)의 (-Y)측 단부 상면에 맞닿아 부압에 의해 기판(SB)을 흡착 유지한다. 또, 박리 롤러(401)가 하강하여 기판(SB)의 상면에 맞닿는다. 이 상태로부터, 도 6a에 나타내는 바와 같이, 가압 부재(331)가 하강하여 블랭킷(BL)의 단부를 눌러 내린다. 블랭킷(BL)의 단부는 테이퍼 스테이지부(32)의 상방으로 돌출되어 있고, 그 하면과 테이퍼 스테이지(32)의 상면(320)의 사이에는 극간이 있다. 따라서, 가압 부재(331)가 블랭킷(BL)의 단부를 하방으로 가압함으로써, 블랭킷(BL)의 단부가 테이퍼 스테이지부(32)의 테이퍼면을 따라 하방으로 굴곡한다. 그 결과, 제1 흡착 유닛(51)에 의해 흡착 유지되는 기판(SB)의 단부와 블랭킷(BL)의 사이가 이격하고 박리가 개시된다.

계속해서, 도 6b에 나타내는 바와 같이, 제1 흡착 유닛(51)의 상승이 개시됨과 더불어, 박리 롤러(401)가 기판(SB) 표면에 맞닿아 전동하면서 (＋Y)방향으로 이동한다. 이로 인해, 기판(SB)과 블랭킷(BL)의 박리가 (＋Y)방향을 향해 진행한다. 박리 롤러(401)를 맞닿게 하고 있기 때문에, 박리 롤러(401)가 기판(SB)에 맞닿는 영역을 넘어 박리가 진행하는 일은 없다. 박리 롤러(401)를 기판(SB)에 맞닿게 하면서 일정 속도로 (＋Y)방향으로 이동시킴으로써, 박리의 진행 속도를 일정하게 유지할 수 있다.

박리 롤러(401)가 통과한 후의 기판(SB)에 대해서, 흡착 유닛(52, 53, 54)이 차례로 하강하고, 블랭킷(BL)으로부터 박리한 후의 기판(SB)에 맞닿고 이것을 유지한다. 구체적으로는, 도 6c에 나타내는 바와 같이, 제2 흡착 유닛(52)은, 그 직하 위치를 박리 롤러(401)가 통과하면 하강을 개시하고 기판(SB)을 향해 진행한다. 흡착 패드(527)가 기판(SB) 상면에 맞닿으면, 부압 공급부(74)로부터 공급되는 부압에 의해, 제2 흡착 유닛(52)에 의한 기판(SB)의 흡착 유지가 개시된다.

제2 흡착 유닛(52)은, 기판(SB)의 흡착 유지를 개시하면 상승으로 바뀐다. 이 이후, 기판(SB)은, 제1 흡착 유닛(51)과 제2 흡착 유닛(52)에 의해 유지되게 된다. 이로 인해, 블랭킷(BL)으로부터의 박리가 진행하는 기판(SB)이 더욱 확실히 유지되고, 기판(SB)이 하향으로 휘어 블랭킷(BL)과 재접촉하거나, 흡착 패드(517)로부터 탈락하거나 하는 문제가 방지된다. 또, 기판(SB)과 블랭킷(BL)이 이미 박리된 박리 영역과, 아직 박리되어 있지 않는 미박리 영역의 경계선을 「박리 경계선」이라고 칭하기로 하면, 박리 경계선 근방에 있어서의 기판(SB)과 블랭킷(BL)의 각도를 적정하게 유지함으로써, 박리를 양호하게 진행시키는 효과도 얻을 수 있다.

다른 흡착 유닛(53, 54)도 마찬가지로, 상기 흡착 유닛의 하방을 박리 롤러(401)가 통과하면 하강을 시작하고, 흡착 패드가 기판(SB)에 맞닿은 시점에서 흡착 유지를 개시하고 상승함으로써, 기판(SB)을 상방으로 끌어올린다. 각 흡착 유닛은 스테이지(30)로부터 소정의 높이까지 상승한 시점에서 정지한다.

박리 진행 방향의 최하류측, 즉 가장 (＋Y)측인 흡착 유닛(54)이 기판(SB)을 유지하여 소정 위치까지 상승함으로써, 도 6d에 나타내는 바와 같이, 기판(SB)과 블랭킷(BL)이 완전하게 분리되고, 박리가 완료한다. 박리 롤러(401) 및 가압 부재(331)가 기판(SB), 블랭킷(BL)의 어느 것으로부터도 이격한 위치로 퇴피함으로써, 서로 분리된 기판(SB)과 블랭킷(BL)이 반출 가능해진다. 이때 리프터 핀이 다시 돌출 위치로 위치 결정됨으로써, 스테이지(30) 상에 남는 블랭킷(BL)이 스테이지 상면(310)으로부터 이격한 상태로 지지된다. 이로 인해, 외부의 반송 장치에의 블랭킷(BL)의 수수가 용이해진다. 이렇게 하여 기판(SB) 및 블랭킷(BL)이 반출되고, 박리 동작이 완료한다.

도 7은 롤러 유닛과 워크의 접촉 상태를 나타내는 도면이다. 스테이지(30)에 워크(WK)가 올려진 상태로 롤러 유닛(4)이 하강하면, 3개의 박리 롤러(401)가 각각 기판(SB)의 상면에 맞닿아 접촉 닙을 형성한다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 3개의 박리 롤러(401)와 기판(SB) 상면의 사이에 형성되는 3개의 접촉 닙을, (-X)측으로부터 (＋X)측으로 순서대로 부호 N1, N2, N3을 붙인다. 각 접촉 닙(N1, N2, N3)은, X방향에 있어서 서로 이격되어 있다. 즉, X방향에 있어서의 접촉 닙(N1, N2)간의 갭(G12), 접촉 닙(N2, N3)간의 갭(G23)은 모두 0보다 크다.

또, Y방향에 있어서는, 도면에 점선으로 나타내는 바와 같이, X방향으로 연장되는 접촉 닙(N1~N3)의 (-Y)측 단부의 위치가 동일하다. 롤러 유닛(4)의 이동에 따라 접촉 닙(N1~N3)은 (＋Y)방향으로 이동하고, 접촉 닙(N1~N3)의 (-Y)측 단부는 그 이동 방향에 있어서의 후단부에 해당한다. 블랭킷(BL)으로부터의 기판(SB)의 박리는 (＋Y)방향을 향해 진행하므로, 접촉 닙(N1~N3)의 (-Y)측 단부는 박리 진행 방향에 있어서의 후단부라고 할 수도 있다.

접촉 닙(N1~N3)의 후단부보다 박리 진행 방향에 있어서의 상류측, 즉 (-Y)측에서는, 흡착 유닛(51) 등에 의한 인상으로 기판(SB)이 이미 박리되고 블랭킷(BL)으로부터 이격한 상태에 있다. 한편, 이보다 하류측, 즉 (＋Y)측에서는, 박리 롤러(401)에 의해 박리의 진행이 규제되어 있고, 기판(SB)과 블랭킷(BL)은 아직 밀착한 상태에 있다. 따라서, 접촉 닙(N1~N3)의 후단부는, 박리 완료 영역과 미박리 영역의 경계에 해당된다.

3개의 접촉 닙(N1~N3)의 후단부의 Y방향 위치가 동일하고, 이 관계를 유지하면서 접촉 닙(N1~N3)이 (＋Y)방향으로 이동한다. 이로 인해, 박리 완료 영역과 미박리 영역 사이의 박리 경계선이 X방향으로 연장되는 일직선 상태인 채 (＋Y)방향으로 진행한다. 이로 인해, 박리의 진행 속도가 국소적으로 변동하는 것에 기인하는 응력 집중의 영향을 저감하여, 박리를 양호하게 진행시킬 수 있다. 박리 경계선의 혼란을 방지하기 위해서, 접촉 닙간의 갭(G12, G23)에 대해서는, 구조상 가능한 범위에서 좁게 하는 것이 바람직하다. 예를 들면 기판(SB)이 유리 기판과 같이 비교적 강성이 높은 것인 경우, 박리 롤러간의 갭은 10밀리미터 정도로 해도 박리 품질에 문제가 없는 것이, 본원 발명자의 실험에 의해 확인되어 있다.

일직선상의 박리 경계선을 형성한다는 관점에서는, 기판(SB)의 (-X)측 단부로부터 (＋X)측 단부까지를 단일의 롤러 부재로 가압하는 것이 이상적이다. 그러나, 기판 크기의 대형화를 도모하는 데에 있어서는, 이것은 반드시 용이한 것은 아니다.

도 8a 내지 도 8c는 박리 롤러가 단일인 경우와 복수인 경우를 비교한 도면이다. 박리 롤러를 단일 부재로 하는 경우, 도 8a에 나타내는 바와 같이, 롤러 부재(R)의 길이는, 적어도 X방향에 있어서의 기판(SB)의 길이보다 길지 않으면 안 된다. 근래에는 이 길이가 1미터 이상이 되는 경우도 있고, 이러한 길이로 충분한 강도를 갖는 롤러 부재를 치수 정밀도 좋게 제조하는 것은 어려워지고 있다. 롤러 지름을 크게 하는 것도 생각할 수 있지만, 그러면 접촉 닙의 근방에서 흡착 패드(517) 등을 기판(SB)에 맞닿게 할 수 없기 때문에, 박리의 품질에 문제가 생길 우려가 있다. 또, 롤러 질량의 증가에 따라 주위 부재의 고강성화·대형화가 필요하기 때문에, 제조 코스트가 증대하는 원인으로도 된다.

또, 도 8b에 나타내는 바와 같이, 장척의 롤러 부재(R)를 기판(SB)에 가압했을 때에 롤러 부재(R)가 휘고, 베어링에 가까운 단부 부근에서는 기판(SB)에 대해 충분한 가압력이 작용해도, 특히 중앙 부분에서 충분한 가압력이 더해지지 않는 경우가 있다. 이러한 불균일한 가압은, 박리 불량의 원인이 될 수 있다. 롤러 부재(R)에 백업 롤러를 맞닿게 함으로써 휨을 억제할 수도 있지만, 특히 롤러 표면이 탄성 재료로 구성되어 있는 경우, 표면층의 탄성변형에 의해, 백업의 효과를 충분히 얻을 수 없는 경우가 있다.

이러한 문제를 감안하여, 이 실시 형태의 롤러 유닛(4)에서는, 도 8c에 나타내는 바와 같이, 박리 롤러(401)를 X방향에 있어서 복수로 분할하고, 이들의 위치를 맞춘 다음 일체적으로 이동시킨다. 이렇게 함으로써, 단일의 롤러 부재와 같은 박리 규제 효과를 얻으면서, 상기한 단일 롤러의 문제점의 해소가 도모되고 있다. 즉, 각 박리 롤러(401)의 X방향 길이를 짧게 함으로써, 치수의 편차를 억제하고, 또 휨이 생기기 어려운 구조로 할 수 있다.

또, 개개의 박리 롤러(401)가 짧아도, 그것들이 단일의 지축에 의해 지지된 구조에서는, 지축의 휨에 의해 역시 가압력의 불균일을 초래하는 일이 있다. 이 실시 형태에서는, 각 박리 롤러(401)가 각각 독립하여 롤러 지지부(402)에 지지된다. 이로 인해, 각 박리 롤러(401)의 양단 위치의 변동이 억제되고, 기판(SB)에의 가압력을 더욱 균일하게 할 수 있다.

또한, 박리 롤러를 분할함으로써, 스테이지에 설치된 개구부를 피해 기판(SB)을 가압할 수 있다는 효과가 있다. 즉, 이 실시 형태에서는, 도 8c에 나타내는 바와 같이, 박리 롤러(401)의 치수와 개구(314)의 위치와의 관계가, 서로 이웃하는 2개의 박리 롤러간의 갭부가 스테이지 상면(310)에 설치된 개구(314)의 상방에 위치하도록 설정되어 있다.

워크(WK)가 대형이 되면, 워크(WK)의 스테이지(30)에의 반입 및 스테이지(30)로부터의 반출시에 워크(WK)를 수평 자세로 유지하는 것이 곤란해진다. 이 실시 형태에서는, 스테이지 상면(310)에 분산 배치한 개구(313, 314)로부터 리프터 핀을 돌출시키고 워크(WK)를 하방으로부터 지지한다. 이렇게 함으로써, 워크(WK)의 휨을 억제하고, 수평 자세를 유지하도록 하고 있다. 그러나, 박리 롤러에 의한 가압의 점에서는, 스테이지는 가능한 한 평탄하고 개구가 없는 것이 바람직하다.

도 9a 및 도 9b는 스테이지 상의 개구부와 박리 롤러의 위치 관계를 나타내는 도면이다. 도 9a에 나타내는 바와 같이, 박리 롤러가 단일의 롤러 부재(R)인 경우, 혹은, 박리 롤러가 복수로 분할되어 있어도 1개의 롤러 부재(R)가 개구(314)의 상부에 배치되어 있을 때, 롤러 부재(R)에 의해 가압된 워크(WK)(기판(SB) 및 블랭킷(BL))가 개구(314)의 위치에서 개구(314)의 내부로 밀어넣어진다. 이때, 특히 개구(314)의 주연부에 상당하는 위치에서 기판(SB) 및 블랭킷(BL)에 응력 집중이 생기고, 이로 인해 기판(SB) 또는 블랭킷(BL)이 데미지를 받을 우려가 있다. 또, 기판(SB)과 블랭킷(BL)의 사이에 패턴 등이 담지되어 있을 때, 상기 위치에서 패턴 등의 단열을 초래할 우려가 있다.

이 실시 형태에서는, 도 9b에 나타내는 바와 같이, 수평 스테이지부(31)의 개구(314)의 상방에 2개의 박리 롤러(401)간의 갭부가 위치하도록 되어 있다. 또한, 박리 롤러(401)간의 간격(G12)(또는 G23)이, 개구(314)의 직경(더욱 엄밀하게는 X방향에 있어서의 개구 폭)(Dx)보다 커져 있다. 이 때문에, 개구(314)나 그 주연부의 상방에서 워크(WK)가 박리 롤러(401)에 가압되는 것이 회피되고, 상기와 같은 응력 집중은 발생하지 않는다.

상기한 바와 같이, 박리의 품질의 관점에서는, 스테이지 상의 개구 및 박리 롤러간의 갭은 가능한 한 작은 것인 것이 바람직하다. 따라서, 워크를 지지할 수 있는 강도를 확보 가능한 한에 있어서 리프터 핀을 가늘게 하고, 개구를 작게 하는 것이 바람직하다. 또, 박리 롤러간의 갭도 가능한 한 작게 하는 것이 바람직하다. 도 10은 스테이지와 워크의 위치 관계를 나타내는 면이다. 기판(SB)과 블랭킷(BL)이 밀착하여 이루어지는 워크(WK)에 있어서는, 블랭킷(BL)이 기판(SB)보다 큰 평면 크기를 갖고 있다. 이 때문에, 기판(SB)에서는 그 전면이 블랭킷(BL)에 대향하고 있다. 이에 대해서, 블랭킷(BL)은 그 중앙부분이 기판(SB)과 대향하고 있지만, 주연부는 기판(SB)과 대향하지 않는 여백 부분으로 되어 있다. 기판(SB)의 표면 영역 중 주연부를 제외한 중앙 부분에, 패턴 등이 효과적으로 전사되어 디바이스로서 기능하는 유효 영역(AR)이 설정된다.

워크(WK)는, 기판(SB)의 유효 영역(AR)의 전체가 수평 스테이지부(31)의 상면(310)에 위치하도록 스테이지(30)에 올려진다. 한편, 유효 영역(AR)보다 외측에 있어서, 기판(SB)의 (-Y)측 단부는 스테이지(30)의 수평면과 테이퍼면의 경계의 능선부(E)보다 약간 (-Y)측으로 돌출된 위치에 위치 결정된다.

도면에 있어서 도트를 붙인 영역(R1)은 흡착홈(311)에 의해 블랭킷(BL)이 흡착되는 영역을 나타내고 있다. 흡착홈(311)에 의해 흡착되는 영역(R1)은 유효 영역(AR) 전체를 커버한다. 또, 영역(R2)은 흡착홈(312)에 의해 블랭킷(BL)이 흡착되는 영역을 나타내고 있다. 흡착홈(312)은 유효 영역(AR)보다 외측에서 블랭킷(BL)을 흡착한다. 따라서, 예를 들면 흡착홈(312)만을 따라 블랭킷(BL)을 흡착하는 형태에서는, 유효 영역(AR) 내의 패턴 등이 흡착의 영향을 받는 것이 회피된다.

영역(R3)은, 박리의 개시시에 초기 박리 유닛(33)의 가압 부재(331)가 기판(SB)에 맞닿는 영역을 나타내고 있다. 이 영역(R3)에 있어서 블랭킷(BL)이 가압 부재(331)에 의해 하방, 즉 (-Z)방향으로 눌러 내려진다. 이로 인해, 기판(SB)과 블랭킷(BL)의 사이에서 박리가 개시된다.

영역(R4)은, 기판(SB) 상면 중 흡착 유닛(51)의 흡착 패드(517)에 의해 흡착되는 영역을 나타내고 있다. 기판(SB)이 이 영역(R4)에 있어서 흡착 유닛(51)에 의해 흡착 유지되고, 상방, 즉 (＋Z)방향으로 인상됨으로써, 기판(SB)이 블랭킷(BL)으로부터 이격하여 박리가 진행한다.

영역(R5)은, 스테이지 상의 개구(314)의 개구 위치를 나타내고 있다. 개구(314)는, 워크(WK)의 중앙부를 리프터 핀(361)으로 지지하기 위해서, 기판(SB)의 유효 영역(AR) 내에 설치되어 있다. 이 때문에, 개구(314)의 상방에서 워크(WK)가 박리 롤러(401)에 의한 가압을 받으면 패턴이 손상되는 경우가 있다. 이 실시 형태에서는, 개구(314)에 대응하는 영역(R5)은, 3개의 박리 롤러(401)와 기판(SB)의 사이에서 형성되는 접촉 닙(N1, N2, N3)의 사이에서 X방향으로 생기는 갭 부분에 설정되어 있다. 바꾸어 말하면, 기판(SB)의 유효 영역(AR) 중, 3개의 박리 롤러(401) 중 어느 하나와도 맞닿지 않는 부분의 하방에, 개구(314)가 설치된다.

이 예에서는, 개구(314)에 대응하는 영역(R5)이 X방향 및 Y방향으로 위치를 다르게 하여 2씩, 합계 4개 설치된다. X방향으로 위치가 다른 2개의 영역(R5)은, 접촉 닙(N1, N2) 사이의 갭 부분과, 접촉 닙(N2, N3) 사이의 갭 부분으로 분산 배치된다. 또, Y방향으로 위치가 다른 2개의 영역(R5)은, X방향으로는 동일 위치에 있고, 모두 접촉 닙의 갭 부분에 해당되는 위치에 있다. 이러한 배치로 함으로써, 4개의 영역(R5) 전부가 박리 롤러(401)에 의한 가압을 면한다. 이로 인해, 개구(314)에서의 패턴 단열 등을 방지할 수 있다.

한편, 박리를 양호하게 진행시키는 관점에서는, 기판(SB)의 (-X)측 단부로부터 (＋X)측 단부까지 가능한 한 연속하여 접촉 닙이 형성되는 것이 바람직하다. 그래서, X방향에 있어서의 개구(314)의 위치에, 개구(314)를 피하기 위한 최소한의 갭만을 설치하고, 그 이외의 영역에 대해서는 연속한 접촉 닙이 형성되도록 한다. 즉, 개구(314)의 X방향 길이와 대략 같은 폭을 가지며, 개구(314)의 위치를 포함하여 Y방향으로 연장되는 가상적인 띠상 영역을 생각했을 때, 기판(SB) 상면을 띠상 영역에 의해 구분하여 이루어지는 부분 영역의 각각에 1개씩 박리 롤러(401)가 맞닿는 것이 바람직하다. 각 박리 롤러(401)의 X방향 길이는 대응하는 부분 영역의 폭에 가능한 한 가까운 것이 더욱 바람직하다.

도 10에 나타내는 바와 같이, 이 예에서는, 기판(SB) 상면 중 개구(314)에 대응하는 영역(R5)을 포함하는 가는 띠상 영역 이외의 영역은, 3개의 박리 롤러(401)에 의해 형성되는 접촉 닙(N1~N3) 중 어느 하나가 통과하고, 박리 롤러(401)에 의한 가압을 받게 된다. 1개의 띠상 영역에 복수의 개구(314)가 설치됨으로써, 기판(SB) 중 박리 롤러(401)에 의해 가압되지 않는 영역의 면적을 늘리지 않고, 리프터 핀의 설치수를 많게 하는 것이 가능해진다.

또 영역(R6)은, 스테이지 상의 개구(313)에 설치된 리프터 핀이 맞닿는 블랭킷(BL)의 하면 영역을 나타내고 있다. 이 리프터 핀은, 워크(WK) 중, 기판(SB)과 블랭킷(BL)이 서로 겹치는 영역으로서, 또한 유효 영역(AR)보다 외측의 영역에 있어서, 블랭킷(BL)의 하면에 맞닿는다. 이로 인해, 상기 리프터 핀에 의한 지지 시에, 유효 영역(AR) 내의 패턴 등에 가압력이 더해지는 것을 방지할 수 있다. 또 기판(SB)의 강성과 블랭킷(BL)의 강성으로 워크(WK)를 지지하므로, 대형으로 자중이 큰 워크(WK)여도 확실히 지지할 수 있다.

이와 같이, 이 실시 형태에서는, 개구(314)에서의 가압을 피하면서 기판(SB)의 가능한 한 넓은 범위를 박리 롤러(401)에 의해 가압하여 박리를 양호하게 진행시키는 관점, 및, 복수의 리프터 핀(361)을 배치하여 워크(WK)의 수평 자세를 유지하는 관점으로부터, 이들을 양립시키도록, 각부의 배치 및 치수가 정해져 있다.

이상과 같이, 이 실시 형태에서는, 블랭킷(BL)과 기판(SB)이 접합된 워크(WK)가 스테이지(30)에 의해 블랭킷(BL)이 흡착 유지된다. 그리고, 이것들을 서로 박리시키기 위해, 흡착 유닛(51) 등이 기판(SB)을 유지하면서 상방, 즉 블랭킷(BL)으로부터 이격하는 방향으로 이동한다. 이때, 박리 롤러(401)가 기판(SB)에 맞닿고, 흡착 유닛(51) 등의 이동으로 연동하여 박리 방향, 즉 (＋Y)방향으로 이동함으로써, 박리의 진행을 규제한다.

박리 롤러(401)는 박리 방향으로 직교하는 X방향으로 복수 배열되어 있고, 이것들이 일체적으로 박리 방향으로 이동한다. 이로 인해, 박리 완료 영역과 미박리 영역의 경계의 박리 경계선을 직선상으로 유지하면서 박리가 박리 방향을 따라 진행한다. 이렇게 함으로써, 박리의 진행 속도가 국소적으로 변동하는 것에 기인하는 박리 불량을 억제할 수 있다. 박리 롤러를 단일의 롤러 부재로 하는 경우, 롤러의 휨에 기인하여 가압력이 불균일해진다는 문제나, 롤러의 제조 코스트가 증대한다는 문제가 있다. 복수의 박리 롤러(401)로 분할함으로써, 이러한 문제를 회피할 수 있다.

또, 스테이지(30) 근방에서 워크(WK)를 수평 자세로 유지하기 위해서, 이 실시 형태에서는, 스테이지 상면(310)으로부터 리프터 핀(361)이 돌출하여 워크(WK)를 하면으로부터 지지한다. 리프터 핀(361)을 설치하기 위해서, 스테이지 상면(310)에는 개구(314)가 설치된다. 이 개구(314)는, 스테이지 상면(310) 중 복수의 박리 롤러(401)에 의해 형성되는 접촉 닙(N1~N3)간의 갭 부분에 대응하는 위치에 설치된다. 따라서, 개구(314)의 상방에서 워크(WK)가 박리 롤러(401)에 의해 가압되지 않는다. 그 결과, 개구(314)의 위치에서 워크(WK)에 응력 집중이 생기고 박리 불량을 일으키는 것이 방지된다.

이상 설명한 바와 같이, 이 실시 형태에서는, 블랭킷(BL) 및 기판(SB)이 각각 본 발명의 「제1 판상체」 및 「제2 판상체」에 상당하고 있다. 또, 상기 실시 형태에서는, 스테이지(30)가 본 발명의 「유지 수단」으로서 기능하고 있고, 수평 스테이지부(31)의 상면(310)이 본 발명의 「유지면」에 상당하고 있다. 또, 제2 개구(314)가, 본 발명의 「개구부」에 상당한다. 또, 상기 실시 형태에서는, 리프터 핀(361)이 본 발명의 「지지 부재」로서 기능하고, 흡착 유닛(51~54)이 각각 본 발명의 「박리 수단」으로서 기능하고 있다.

또, 롤러 유닛(4)이 본 발명의 「규제 수단」으로서 기능하고 있고, 박리 롤러(401)가 본 발명의 「롤러 부재」로서 기능하고 있다. 또, 롤러 지지부(402) 및 상부 앵글(45)이 각각 본 발명의 「지지 프레임」 및 「베이스 부재」로서 기능하고, 이것들이 일체적으로 본 발명의 「지지부」로서 기능한다. 또, 모터(353) 및 볼나사 기구(354)가 일체적으로 본 발명의 「이동 기구」로서 기능하고 있다.

또한, 본 발명은 상기한 실시 형태로 한정되는 것이 아니라, 그 취지를 일탈하지 않는 한에 있어서 상술한 것 이외로 여러 가지의 변경을 행하는 것이 가능하다. 예를 들면, 상기 실시 형태의 박리 장치(1)는, 본 발명의 「박리 수단」으로서 4조의 흡착 유닛(51~54)을 구비하고 있지만, 박리 수단의 설치수는 임의이며, 예를 들면 다음과 같이 1개만이어도 된다.

도 11은 박리 장치의 변형예의 주요부를 나타내는 도면이다. 이 변형예에서는, 상기 실시 형태의 박리 장치(1)로부터 제2~제4 흡착 유닛(52~54)이 생략되고, 1개의 흡착 유닛(51)만이 「박리 수단」으로서 설치되어 있다. 이 점을 제외한 각부의 구성은 상기 실시 형태와 동일하고, 자세한 설명을 생략한다. 이 변형예에서는, 워크(WK)를 이루는 기판(SB)의 (-Y)측 단부를 흡착 유닛(51)이 유지하고, 흡착 유닛(51)이 상승하는데 연동하여 박리 롤러(401)가 (＋Y)방향으로 이동함으로써 박리가 진행한다. 이와 같이, 박리 수단이 1개만인 구성에 있어서도, 상기한 스테이지(30) 및 롤러 유닛(4)를 적용하여, 상기 실시 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다.

또, 상기 실시 형태에서는, 3조의 롤러 어셈블리(40)가 동일 구조를 가지며, 3개의 박리 롤러(401)는 동일 크기를 갖고 있다. 그러나, 복수의 박리 롤러는 길이가 달라도 되고, 또, 다음에 예시하는 바와 같이, 박리 롤러의 직경이 달라도 된다.

도 12a 및 도 12b는 롤러 지름이 다른 박리 롤러의 조합예를 나타내는 도면이다. 도 12a에 나타내는 예에서는, (-X)측으로부터 (＋X)측을 향해 3개의 박리 롤러(461, 462, 463)가 늘어서 있다. 이 중 중앙의 박리 롤러(462)는 다른 박리 롤러(461, 463)보다 직경이 크고, 축방향(X방향) 길이가 짧다. 중앙의 박리 롤러(462)의 회전축(2점 쇄선으로 나타낸다)의 위치와, 다른 박리 롤러(461, 463)의 회전축(1점 쇄선으로 나타낸다)의 위치를 Z방향으로 다르게 함으로써, 이들을 모두 기판에 맞닿게 하는 것이 가능하다.

도 12b에 나타내는 바와 같이, 박리 롤러(461, 462, 463)가 각각 기판(SB)과 맞닿아 형성하는 접촉 닙(N61, N62, N63)은, 박리 방향인 (＋Y)방향에 있어서의 후단부, 즉 상기 접촉 닙의 (-Y)측 단부의 Y방향 위치가, 점선으로 나타내는 바와 같이 서로 맞춰지는 것이 필요하다. 상술한 바와 같이, 접촉 닙의 후단부는 박리 완료 영역과 미박리 영역의 경계이며, 복수의 박리 롤러가 이루는 접촉 닙에 있어서 후단부의 위치가 맞춰져 있으면 박리 경계선을 X방향의 일직선으로 할 수 있다. 접촉 닙의 전단부는 미박리 영역에 있고, 접촉 닙간에서 그 위치를 맞출 필요는 없다. 중앙의 박리 롤러(462)의 회전축의 위치와 다른 박리 롤러(461, 463)의 회전축의 위치를 Y방향으로 다르게 함으로써, 이러한 위치 관계를 나타내는 것이 가능하다.

이와 같이, 복수의 박리 롤러는, 형성되는 접촉 닙의 위치가 축방향으로 이격되고, 또한 박리 방향에 있어서의 접촉 닙 후단부의 위치가 맞춰져 있으면 되고, 동일한 형상을 가질 필요는 없다. 상기 실시 형태와 같이 모두를 동일 형상으로 한 경우, 다른 형상의 롤러 부재를 제조하는 경우에 비해 제조 코스트의 저감을 도모하는 것이 가능해진다. 한편, 접촉 닙의 크기를 다르게 할 필요가 있을 때는, 접촉 닙이 상기의 위치 관계가 되도록, 각 박리 롤러의 크기나 위치가 조정되면 된다.

또, 상기 실시 형태에서는, 3조의 롤러 어셈블리(40)의 전부에 대해서 상부 앵글(45)에 대한 위치 조정이 가능하게 되어 있다. 그러나, 복수의 박리 롤러 중 1개에 대해서는 미리 위치가 정해져 있어도 된다. 이 박리 롤러의 위치를 기준으로 하여 다른 박리 롤러의 위치 조정을 행함으로써, 상기와 같은 위치 관계를 얻을 수 있기 때문이다.

또, 상기 실시 형태는 3개의 박리 롤러(401)를 구비하지만, 박리 롤러의 개수는 이것으로 한정되지 않는다. 리프터 핀의 개수에 대해서도 마찬가지이다.

이상, 구체적인 실시 형태를 예시하여 설명해 온 바와 같이, 본 발명에 있어서는, 복수의 롤러 부재의 직경이 동일하고, 각각의 회전축이 일치하도록 배치되어도 된다. 복수의 롤러 부재를 동일 지름으로 함으로써, 부재의 제조 코스트의 저감을 도모할 수 있다. 롤러 부재의 직경이 같은 경우, 각각의 회전축을 일치시킴으로써, 접촉 닙의 위치를 맞추고, 또 각 접촉 닙간에서의 접촉압을 맞출 수 있다.

또, 지지부는, 롤러 부재의 각각을 개별적으로 지지하는 복수의 지지 프레임과, 복수의 지지 프레임을 일체적으로 유지하는 베이스 부재를 갖는 것이어도 된다. 롤러 부재마다 개별적으로 지지 프레임을 설치함으로써, 지지부의 조립이나 조정의 작업을 용이하게 할 수 있다. 또, 지지 프레임이 공통의 베이스 부재에 부착됨으로써, 접촉 닙간의 상대적인 위치 관계가 유지된 채, 베이스 부재의 이동에 따라 각 접촉 닙을 이동시키는 것이 가능해진다.

이 경우, 지지 프레임 중 적어도 하나는, 베이스 부재에 대한 부착 위치가 조정 가능한 것이 바람직하다. 이렇게 함으로써, 복수의 롤러 부재에 의해 형성되는 복수의 접촉 닙간의 위치 맞춤을 행할 수 있고, 롤러 부재에 의한 박리의 진행 관리를 더욱 적절히 행하는 것이 가능해진다.

또, 지지 프레임의 각각은, 하나의 롤러 부재의 축방향에 있어서의 양단부를 회전 가능하게 지지하는 것이어도 된다. 이러한 구성에서는, 각 롤러 부재의 양단 위치가 안정되므로, 접촉 닙에 있어서의 접촉압의 편차를 작게 할 수 있다.

또, 박리 수단은, 박리 방향에 있어서 롤러 부재보다 상류측에서 제2 판상체를 유지하는 것이어도 된다. 제2 판상체에 맞닿으면서 박리 방향으로 이동하는 롤러 부재의 상류측에서 박리 수단에 의해 제2 판상체를 제1 판상체로부터 이격시킴으로써, 제1 판상체와 제2 판상체의 박리를 박리 방향에 따라 한 방향으로 진행시킬 수 있다. 이 경우, 박리 수단은, 특히 제2 판상체의 박리 방향에 있어서의 상류측 단부를 유지하여 제1 판상체로부터 이격시키도록 구성되어도 된다.

또, 유지 수단의 유지면에는, 축방향으로 위치가 다른 복수의 개구부가 설치되어 있고, 제2 판상체의 제1 판상체와는 반대측의 주면 중, 개구부를 가상적으로 박리 방향으로 연장한 띠상 영역에 의해 구분되는 복수의 부분 영역의 각각에 대해, 롤러 부재가 1개씩 맞닿도록 구성되어도 된다. 축방향으로 위치를 다르게 하여 복수의 개구부를 설치하고 지지 부재를 설치함으로써, 제1 판상체를 더욱 안정적으로 지지할 수 있다. 이 경우, 축방향에 있어서 2개의 개구부의 사이에 1개의 롤러 부재를 배치하도록 하면, 개구부간의 영역에 대해서는 갭이 없는 연속된 접촉 닙을 형성할 수 있다.

또, 유지면에는, 축방향에 있어서 동일 위치 또한 박리 방향에 있어서 위치가 다른 복수의 개구부가 설치되어 있어도 된다. 박리 방향으로 위치를 다르게 하여 복수의 개구부를 설치함으로써, 제1 판상체를 더욱 안정적으로 지지할 수 있다. 이 경우, 복수의 개구부의 축방향 위치가 같으면, 그들 개구부를 피하기 위한 접촉 닙간의 축방향 갭 위치를 같게 할 수 있다.

또, 이 발명은, 롤러 부재의 각각이, 그 표면이 탄성 재료에 의해 형성되어 있는 경우에 특히 적합하다. 표면에 탄성층을 갖는 롤러 부재에서는, 장척이 되면 접촉압이 균일한 접촉 닙을 형성하는 것이 특히 어려워진다. 본 발명의 적용에 의해 복수의 롤러 부재를 설치함으로써, 접촉압이 균일한 접촉 닙을 형성하여 박리를 양호하게 진행시키는 것이 가능해진다.

이 발명에서는, 서로 접합된 2장의 판상체를 박리시키는 박리 처리에 적합하게 적용할 수 있고, 특히 판상체의 크기의 대형화에도 대응할 수 있는 것이다.

1: 박리 장치 4: 롤러 유닛(규제 수단)
30: 스테이지(유지 수단) 45: 상부 앵글(베이스 부재, 지지부)
51~54: 흡착 유닛(박리 수단)
310: (수평 스테이지부(31)의) 상면(유지면)
314: 제2 개구(개구부) 353: 모터(이동 기구)
354: 볼나사 기구(이동 기구) 361: 리프터 핀(지지 부재)
401: 박리 롤러(롤러 부재)
402: 롤러 지지부(지지 프레임, 지지부)
BL: 블랭킷(제1 판상체) SB: 기판(제2 판상체)

Claims

주면들이 접합된 제1 판상체와 제2 판상체를 박리시키는 박리 장치에 있어서,
상면이 수평인 유지면이며, 상기 유지면에 개구부가 설치되고, 상기 제2 판상체와는 반대측의 면이 하향으로 되어 상기 유지면에 올려지는 상기 제1 판상체를 유지하는 유지 수단과,
상기 개구부로부터 상기 유지면보다 상방으로 상단부가 돌출된 돌출 위치와, 상기 개구부내에서 상기 유지면보다 하방으로 상기 상단부가 퇴피한 퇴피 위치의 사이를 이동하고, 상기 돌출 위치에서 상기 제1 판상체를 상기 유지면으로부터 이격시켜 하방으로부터 지지하는 지지 부재와,
상기 제2 판상체를 유지하여 상기 제1 판상체로부터 이격하는 방향으로 이동하고, 상기 유지 수단에 의해 유지되는 상기 제1 판상체로부터 상기 제2 판상체를 박리시키는 박리 수단과,
상기 제2 판상체 중 상기 제1 판상체와는 반대측의 면에 맞닿아, 상기 박리 수단에 의한 상기 제2 판상체의 박리의 진행을 규제하는 규제 수단을 구비하고,
상기 규제 수단은,
각각이 상기 제2 판상체에 맞닿아 상기 제2 판상체와의 사이에 접촉 닙을 형성하는 복수의 롤러 부재와,
상기 복수의 롤러 부재의 각각을, 상기 유지면에 평행한 축방향을 따른 회전축 둘레로 회전 가능하게, 또한 개별적으로 지지하는 지지부와,
상기 지지부를, 상기 유지면에 평행하고 상기 축방향과 직교하는 박리 방향으로 이동시키는 이동 기구를 가지며,
상기 롤러 부재의 각각이 형성하는 상기 접촉 닙이 상기 축방향에 있어서 서로 이격하고, 상기 접촉 닙의 상기 박리 방향에 있어서의 후단부의 위치가 상기 박리 방향에 있어서 서로 동일하고, 상기 개구부는, 상기 축방향에 있어서 서로 이웃하는 2개의 상기 접촉 닙간의 갭부에 대응하는 위치에 설치되는 박리 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 복수의 롤러 부재의 직경이 동일하고, 각각의 회전축이 일치하는 박리 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 지지부는, 상기 롤러 부재의 각각을 개별적으로 지지하는 복수의 지지 프레임과, 상기 복수의 지지 프레임을 일체적으로 유지하는 베이스 부재를 갖는 박리 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 지지 프레임 중 적어도 하나는, 상기 베이스 부재에 대한 부착 위치가 조정 가능한 박리 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 지지 프레임의 각각은, 하나의 상기 롤러 부재의 상기 축방향에 있어서의 양단부를 회전 가능하게 지지하는 박리 장치.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 박리 수단은, 상기 박리 방향에 있어서 상기 롤러 부재보다 상류측에서 상기 제2 판상체를 유지하는 박리 장치.
청구항 6에 있어서,
상기 박리 수단은, 상기 제2 판상체의 상기 박리 방향에 있어서의 상류측 단부를 유지하여 상기 제1 판상체로부터 이격시키는 박리 장치.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유지면에는, 상기 축방향에 위치가 다른 복수의 상기 개구부가 설치되어 있고, 상기 제2 판상체의 상기 제1 판상체와는 반대측의 주면 중, 상기 개구부를 가상적으로 상기 박리 방향으로 연장한 띠형상 영역에 의해 구분되는 복수의 부분 영역의 각각에 대해, 상기 롤러 부재가 1개씩 맞닿는 박리 장치.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유지면에는, 상기 축방향에 있어서 동일 위치 또한 상기 박리 방향에 있어서 위치가 다른 복수의 개구부가 설치되어 있는 박리 장치.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 롤러 부재의 각각은, 표면이 탄성 재료에 의해 형성되어 있는 박리 장치.