JP7336087B2 - 高分子フィルムの剥離方法、電子デバイスの製造方法、及び、剥離装置 - Google Patents
高分子フィルムの剥離方法、電子デバイスの製造方法、及び、剥離装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7336087B2 JP7336087B2 JP2022532249A JP2022532249A JP7336087B2 JP 7336087 B2 JP7336087 B2 JP 7336087B2 JP 2022532249 A JP2022532249 A JP 2022532249A JP 2022532249 A JP2022532249 A JP 2022532249A JP 7336087 B2 JP7336087 B2 JP 7336087B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polymer film
- peeling
- inorganic substrate
- laminate
- functional element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B43/00—Operations specially adapted for layered products and not otherwise provided for, e.g. repairing; Apparatus therefor
- B32B43/006—Delaminating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
- B32B37/0046—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by constructional aspects of the apparatus
- B32B37/0053—Constructional details of laminating machines comprising rollers; Constructional features of the rollers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B9/00—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00
- B32B9/04—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00 comprising such particular substance as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
- B32B9/045—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00 comprising such particular substance as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H41/00—Machines for separating superposed webs
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/04—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed mechanically, e.g. by punching
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
(1)高分子フィルムと無機基板とが密着した積層体を準備する工程Aと、
前記積層体の端部において、前記高分子フィルムと前記無機基板との間に剥離部分を形成する工程Bと、
前記工程Bの後、前記高分子フィルムの前記無機基板と密着していない非密着面と、前記剥離部分との間に静圧差を設けることにより、前記高分子フィルムを前記無機基板から剥離する工程Cとを含む高分子フィルムの剥離方法。
前記工程Aは、前記積層体の高分子フィルム上に機能素子が設けられた機能素子付きの積層体を準備する工程であることが好ましい。
前記高分子フィルムの前記非密着面側にローラーを配置し、前記ローラーにより、前記高分子フィルムを前記剥離部分方向に押圧する工程D-1と、
前記非密着面側を大気圧未満とする一方、前記剥離部分を大気圧とすることにより、前記静圧差を設ける工程D-2と、
前記工程D-1及び前記工程D-2の後、前記ローラーの面を前記高分子フィルムの前記非密着面に対して平行に移動させ、前記ローラーの移動に応じて前記剥離を進行させる工程D-3とを含むことが好ましい。
前記非密着面側を大気圧以上とする一方、前記剥離部分を大気圧とする工程E-1と、
前記工程E-1の後、前記剥離部分を前記非密着面側の圧力よりも高い圧力とすることより、前記静圧差を設ける工程E-2とを含むことが好ましい。
前記積層体の前記高分子フィルム上には、機能素子が形成されており、
前記工程Cは、
前記高分子フィルムの前記非密着面側に多孔質柔軟体を配置し、前記多孔質柔軟体に前記機能素子を埋め込みつつ、前記多孔質柔軟体により前記高分子フィルムを前記剥離部分方向に押圧する工程F-1と、
前記非密着面側を大気圧未満とする一方、前記剥離部分を大気圧とすることにより、前記静圧差を設ける工程F-2とを含むことが好ましい。
前記積層体の前記高分子フィルム上には、機能素子が形成されており、
前記工程Cよりも前に、前記高分子フィルムの前記機能素子が設けられていない面上に、前記機能素子の厚さと同程度の厚さを有するスペーサーを設ける工程Xを含むことが好ましい。
前記積層体の前記高分子フィルム上には、機能素子が形成されており、
前記工程Cよりも前に、前記高分子フィルム上に埋め込み用部材を配置し、前記埋め込み用部材に前記機能素子を埋め込む工程Yを含むことが好ましい。
前記積層体の端部において、前記高分子フィルムと前記無機基板との間に剥離部分を設ける工程Bと、
前記工程Bの後、前記高分子フィルムの前記無機基板と密着していない側の非密着面と、前記剥離部分との間に静圧差を設けることにより、前記高分子フィルムを前記無機基板から剥離する工程Cと
を含むことを特徴とする電子デバイスの製造方法。
前記高分子フィルムの前記無機基板と密着していない側の非密着面と、前記積層体の端部に設けられた前記高分子フィルムと前記無機基板との剥離部分との間に静圧差を設ける静圧差形成手段を備えることを特徴とする剥離装置。
本実施形態に係る高分子フィルムの剥離方法は、
高分子フィルムと無機基板とが密着した積層体を準備する工程Aと、
前記積層体の端部において、前記高分子フィルムと前記無機基板との間に剥離部分を設ける工程Bと、
前記工程Bの後、前記高分子フィルムの前記無機基板と密着していない非密着面と、前記剥離部分との間に静圧差を設けることにより、前記高分子フィルムを前記無機基板から剥離する工程Cとを含む。
本実施形態に係る高分子フィルムの剥離方法においては、まず、高分子フィルムと無機基板とが密着した積層体を準備する(工程A)。図1は、積層体の一例を示す模式断面図である。図1に示すように、積層体10は、無機基板12と高分子フィルム14とを備える。無機基板12と高分子フィルム14とは密着している。無機基板12と高分子フィルム14とは、図示しないシランカップリング剤層を介して密着していてもよい。
なお、本実施形態では、あらかじめ別途製造した高分子フィルムを無機基板に接着する(積層する)ことにより積層体を得ることができる。積層の方法としては、後述するシランカップリング剤を用いた積層方法の他、既存公知の接着剤、接着シート、粘着剤、粘着シートなどを適用することも可能である。また、この時、前記接着剤、前記接着シート、前記粘着剤、前記粘着シートは、無機基板側に先につけてもよく、高分子フィルム側に先につけてもよい。
また、高分子フィルムと無機基板との積層体を作製する他の方法として、高分子フィルム形成用の高分子溶液あるいは高分子の前駆体の溶液を無機基板に塗布し、乾燥および、必要に応じて化学反応を行い、無機基板上で高分子をフィルム化することにより積層体を得る方法が挙げられる。高分子溶液として可溶性ポリイミドの溶液、高分子前駆体として化学反応によりポリイミドとなるポリアミド酸溶液などを用いることにより、高分子フィルムと無機基板との積層体を得ることができる。またその際に、無機基板にシランカップリング剤処理などの表面処理を行うことにより、高分子フィルムと無機基板との接着性を制御することも好ましい態様の一つである。この時、無機基板と高分子フィルムとの剥離強度をコントロールするため、既知の易剥離な高分子層(易剥離層)と主なる高分子層(高分子フィルム)との2層構成や、主層(高分子フィルム)と無機薄膜層との2層構成としてもよい。その他、剥離力をコントロールための既存の構成を適用してもよい。
易剥離な高分子層(易剥離層)と主なる高分子層(高分子フィルム)との2層構成の場合には、易剥離な高分子層(易剥離層)と無機基板との接着力が易剥離な高分子層(易剥離層)と主なる高分子層(高分子フィルム)との接着力よりも強く接着して、主なる高分子層(高分子フィルム)と易剥離な高分子層(易剥離層)との間で剥離する設計の場合と、易剥離な高分子層(易剥離層)と主なる高分子層(高分子フィルム)との接着力が、易剥離な高分子層(易剥離層)と無機基板との接着力より強く、易剥離な高分子層(易剥離層)と無機基板との間で剥離する設計の場合がある。
易剥離な高分子層(易剥離層)と無機基板との接着力が易剥離な高分子層(易剥離層)と主なる高分子層(高分子フィルム)との接着力より強く接着して、主なる高分子層(高分子フィルム)と易剥離な高分子層(易剥離層)との間で剥離する設計の場合については、無機基板に易剥離な高分子層(易剥離層)が堆積しているものが、本発明における無機基板に相当する。
無機薄膜層との2層構成の場合には、無機薄膜層を無機基板上に製膜して、その後に無機薄膜層の上に溶液あるいは高分子の前駆体の溶液を無機基板に塗布し、乾燥および、必要に応じて化学反応を行い、無機基板上で高分子をフィルム化することにより積層体を得る方法が挙げられる。この場合、無機基板上の無機薄膜と高分子層との間で剥離することになる。この場合、無機基板に無機薄膜が堆積しているものが、本発明における無機基板に相当する。
高分子溶液ないし高分子前駆体溶液を用いる手法の変形として、溶剤を含んだ半固体状態(高粘度ペースト状)の高分子フィルムを無機基板に圧着した後に追乾燥ないし必要に応じて化学反応を行い、高分子フィルムと無機基板との積層体を得ることもできる。より具体的には、ポリエチレンテレフタレートなどの支持フィルム上に目的とする高分子溶液ないし高分子前駆体溶液を塗布し、残溶剤分がウェットベースで5~40質量%程度となるまで半乾燥させることにより、塑性変形性を有する半固体のフィルムとすることができる(グリーンフィルムないしゲルフィルムと呼ばれることもある)。このようにして得られた半固体状態のフィルムを無機基板に圧着し、乾燥と熱処理などを行えば、高分子フィルムと無機基板との積層体を得ることができる。
本実施形態において、熱可塑性の高分子を用いる場合には、高分子を無機基板上に直接溶融押し出しすることにより積層体を得ることができる。また熱可塑性の高分子フィルムの場合には、無機基板と高分子フィルムとを重ね、加圧した状態で高分子の融点ないし軟化温度まで加熱することにより両者を圧着して積層体とすることができる。
高分子フィルム14の厚さは特に制限されないが、取り扱い性の観点より250μm以下が好ましく、100μm以下がより好ましく、50μm以下がさらに好ましい。厚さの下限については特に制限されないが、好ましくは3μm以上、より好ましくは5μm以上、さらに好ましくは10μm以上である。
本実施形態で用いられるシランカップリング剤は、特に限定されないが、アミノ基を有するカップリング剤を含むことが好ましい。
前記シランカップリング剤の好ましい具体例としては、N-2-(アミノエチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-2-(アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-2-(アミノエチル)-3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-トリエトキシシリル-N-(1,3-ジメチル-ブチリデン)プロピルアミン、2-(3,4-エポキシシクロへキシル)エチルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、p-スチリルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-(ビニルベンジル)-2-アミノエチル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン塩酸塩、アミノフェニルトリメトキシシラン、アミノフェネチルトリメトキシシラン、3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド、3-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、トリス-(3-トリメトキシシリルプロピル)イソシアヌレート、クロロメチルフェネチルトリメトキシシラン、クロロメチルトリメトキシシラン、アミノフェニルトリメトキシシラン、アミノフェネチルトリメトキシシラン、アミノフェニルアミノメチルフェネチルトリメトキシシランなどが挙げられる。
前記シランカップリング剤としては、前記のほかに、n-プロピルトリメトキシシラン、ブチルトリクロロシラン、2-シアノエチルトリエトキシシラン、シクロヘキシルトリクロロシラン、デシルトリクロロシラン、ジアセトキシジメチルシラン、ジエトキシジメチルシラン、ジメトキシジメチルシラン、ジメトキシジフェニルシラン、ジメトキシメチルフェニルシラン、ドデシルリクロロシラン、ドデシルトリメトキシラン、エチルトリクロロシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリエトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、n-オクチルトリクロロシラン、n-オクチルトリエトキシシラン、n-オクチルトリメトキシシラン、トリエトキシエチルシラン、トリエトキシメチルシラン、トリメトキシメチルシラン、トリメトキシフェニルシラン、ペンチルトリエトキシシラン、ペンチルトリクロロシラン、トリアセトキシメチルシラン、トリクロロヘキシルシラン、トリクロロメチルシラン、トリクロロオクタデシルシラン、トリクロロプロピルシラン、トリクロロテトラデシルシラン、トリメトキシプロピルシラン、アリルトリクロロシラン、アリルトリエトキシシラン、アリルトリメトキシシラン、ジエトキシメチルビニルシラン、ジメトキシメチルビニルシラン、トリクロロビニルシラン、トリエトキシビニルシラン、ビニルトリス(2-メトキシエトキシ)シラン、トリクロロ-2-シアノエチルシラン、ジエトキシ(3-グリシジルオキシプロピル)メチルシラン、3-グリシジルオキシプロピル(ジメトキシ)メチルシラン、3-グリシジルオキシプロピルトリメトキシシランなどを使用することもできる。
前記カップリング剤としては、前記のほかに、1-メルカプト-2-プロパノール、3-メルカプトプロピオン酸メチル、3-メルカプト-2-ブタノール、3-メルカプトプロピオン酸ブチル、3-(ジメトキシメチルシリル)-1-プロパンチオール、4-(6-メルカプトヘキサロイル)ベンジルアルコール、11-アミノ-1-ウンデセンチオール、11-メルカプトウンデシルホスホン酸、11-メルカプトウンデシルトリフルオロ酢酸、2,2’-(エチレンジオキシ)ジエタンチオール、11-メルカプトウンデシトリ(エチレングリコール)、(1-メルカプトウンデイック-11-イル)テトラ(エチレングリコール)、1-(メチルカルボキシ)ウンデック-11-イル)ヘキサ(エチレングリコール)、ヒドロキシウンデシルジスルフィド、カルボキシウンデシルジスルフィド、ヒドロキシヘキサドデシルジスルフィド、カルボキシヘキサデシルジスルフィド、テトラキス(2-エチルヘキシルオキシ)チタン、チタンジオクチロキシビス(オクチレングリコレート)、ジルコニウムトリブトキシモノアセチルアセトネート、ジルコニウムモノブトキシアセチルアセトネートビス(エチルアセトアセテート)、ジルコニウムトリブトキシモノステアレート、アセトアルコキシアルミニウムジイソプロピレート、3-グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、2,3-ブタンジチオール、1-ブタンチオール、2-ブタンチオール、シクロヘキサンチオール、シクロペンタンチオール、1-デカンチオール、1-ドデカンチオール、3-メルカプトプロピオン酸-2-エチルヘキシル、3-メルカプトプロピオン酸エチル、1-ヘプタンチオール、1-ヘキサデカンチオール、ヘキシルメルカプタン、イソアミルメルカプタン、イソブチルメルカプタン、3-メルカプトプロピオン酸、3-メルカプトプロピオン酸-3-メトキシブチル、2-メチル-1-ブタンチオール、1-オクタデカンチオール、1-オクタンチオール、1-ペンタデカンチオール、1-ペンタンチオール、1-プロパンチオール、1-テトラデカンチオール、1-ウンデカンチオール、1-(12-メルカプトドデシル)イミダゾール、1-(11-メルカプトウンデシル)イミダゾール、1-(10-メルカプトデシル)イミダゾール、1-(16-メルカプトヘキサデシル)イミダゾール、1-(17-メルカプトヘプタデシル)イミダゾール、1-(15-メルカプト)ドデカン酸、1-(11-メルカプト)ウンデカン酸、1-(10-メルカプト)デカン酸などを使用することもできる。
次に、積層体10の端部において、高分子フィルム14と無機基板12との間に剥離部分18を形成する(工程B)。
高分子フィルム14に切り込みを入れる方法としては、刃物などの切削具によって高分子フィルム14を切断する方法や、レーザーと積層体10とを相対的にスキャンさせることにより高分子フィルム14を切断する方法、ウォータージェットと積層体10とを相対的にスキャンさせることにより高分子フィルム14を切断する方法、半導体チップのダイシング装置により若干ガラス層まで切り込みつつ高分子フィルム14を切断する方法などがあるが、特に方法は限定されるものではない。例えば、上述した方法を採用するにあたり、切削具に超音波を重畳させたり、往復動作や上下動作などを付け加えて切削性能を向上させる等の手法を適宜採用することもできる。
また、図示しないが、剥離部分18が再密着しないように、剥離状態を維持させるため、粘着性、接着性の無いフィルムやシートを剥離部分18に挟んでもよい。また、片面に粘着性、接着性の有るフィルムやシートを剥離部分18に挟んでもよい。また、金属部品(例えば、針)を剥離部分18に挟んでもよい。
前記工程Bの後、高分子フィルム14の無機基板12と密着していない側の面(非密着面14a)と、剥離部分18との間に静圧差を設けることにより、高分子フィルム14を無機基板12から剥離する(工程C)。
図2は、第1実施形態に係る剥離装置の模式断面図である。図2に示すように、第1実施形態に係る剥離装置20は、真空チャンバー30と、ローラー32と、真空チャック34と、ダミーフィルム36と、メッシュ状シート38とを備える。
なお、この状態では、ローラー32が高分子フィルム14を剥離部分18方向に押圧しているため、剥離は進行しない。
このように、剥離装置20では、ローラー32の面を高分子フィルム14の非密着面14aに対して平行に移動させ、ローラー32の移動に応じて剥離を進行させるため、剥離スピードをコントロールすることができる。その結果、高分子フィルム14に過度の負荷が掛かることを抑制することができる。
さらにローラー32の半径を変化させることにより、高分子フィルム14の剥離角度をコントロールすることができる。例えば、ローラー32の半径を小さくすれば、高分子フィルム14はそれに従った曲率半径で剥離し、ローラー32の半径を大きくすれば、高分子フィルム14はそれに従った曲率半径で剥離する。ローラー32の半径を小さくすることで剥離装置を小型化することができ、ローラー32の半径を大きくすることで、高分子フィルム14に形成された機能素子にかかる負荷を小さくすることができる。また、後述するように、サポートパーツ33により、ローラー32のローラー径とは別に剥離の曲率半径を規定することができる。
なお、真空チャンバー30及び真空チャック34は、本発明の静圧差形成手段に相当する。
前記ローラーの材質としては、ある程度の弾性を有する材質が好ましく、例えば、シリコーンゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、エチレンプロピレンゴム等を用いることができる。
前記ローラー材質の反発弾性率(JIS K 6255:2013)は、3~60%であることが好ましい。
前記ローラー材質のゴム硬度は、50~90であることが好ましく、非粘着性かつ帯電防止あるいは導電性のものが好ましい。
なお、本実施形態では、メッシュ状シート38を用いる場合について説明したが、剥離装置20において、メッシュ状シートを配置しない構成としてもよい。この場合、剥離した高分子フィルム14を都度、真空チャンバー30内から取り出せばよい。
なお本明細書における剥離角度はメッシュ厚、フィルム厚、および、ローラーの半径に依存する。剥離するフィルム厚に応じて適切なメッシュ厚とローラー半径を選択することで、剥離角度を所定の範囲に収めることができる。
本実施形態では、剥離後の高分子フィルムと無機基板は、ローラーで押されていないため概略平行で数mm離れている。そのため、一旦剥離した高分子フィルムは真空吸着されたまま無機基板とは再度接触しない。
図5は、第2実施形態に係る剥離装置の模式断面図である。図5に示すように、第2実施形態に係る剥離装置40は、真空チャック34と、ダイヤフラム42とを備える。
なお、この状態では、ダイヤフラム42が高分子フィルム14を剥離部分18方向に押圧しているため、剥離は進行しない。
剥離装置40では、非密着面14a側を大気圧以上としているため、剥離後の高分子フィルム14を保持することができる。
なお、真空チャック34及びダイヤフラム42は、本発明の静圧差形成手段に相当する。
しかしながら、本発明においてはこの例に限定されず、前記積層体の高分子フィルム上に機能素子が設けられた機能素子付きの積層体を用い、機能素子付き高分子フィルムを無機基板から剥離してもよい。この場合、積層体10を準備する工程Aの代わりに、機能素子付きの積層体11を準備する工程A-1を行えばよい。
第3実施形態では、機能素子付きの積層体11から、機能素子16付きの高分子フィルム14を剥離する場合について説明する。
なお、真空チャンバー30及び真空チャック34は、本発明の静圧差形成手段に相当する。
11 機能素子付きの積層体
12 無機基板
14 高分子フィルム
14a 非密着面
16 機能素子
18 剥離部分
20、22、40、50 剥離装置
30 真空チャンバー
32 ローラー
33 サポートパーツ
34 真空チャック
36 ダミーフィルム
38 メッシュ状シート
42 ダイヤフラム
52 多孔質柔軟体
62 スペーサー
64 埋め込み用部材
66 硬質シート
Claims (7)
- 高分子フィルムと無機基板とが密着した積層体を準備する工程Aと、
前記積層体の端部において、前記高分子フィルムと前記無機基板との間に剥離部分を形成する工程Bと、
前記工程Bの後、前記高分子フィルムの前記無機基板と密着していない非密着面と、前記剥離部分との間に静圧差を設けることにより、前記高分子フィルムを前記無機基板から剥離する工程Cとを含み、
前記工程Cは、
前記高分子フィルムの前記非密着面側にローラーを配置し、前記ローラーにより、前記高分子フィルムを前記剥離部分方向に押圧する工程D-1と、
前記非密着面側を大気圧未満とする一方、前記剥離部分を大気圧とすることにより、前記静圧差を設ける工程D-2と、
前記工程D-1及び前記工程D-2の後、前記ローラーの面を前記高分子フィルムの前記非密着面に対して平行に移動させ、前記ローラーの移動に応じて前記剥離を進行させる工程D-3とを含み、
前記高分子フィルムと前記ローラーとの間にメッシュ状シートが配置されていることを特徴とする高分子フィルムの剥離方法。 - 高分子フィルムと無機基板とが密着した積層体を準備する工程Aと、
前記積層体の端部において、前記高分子フィルムと前記無機基板との間に剥離部分を形成する工程Bと、
前記工程Bの後、前記高分子フィルムの前記無機基板と密着していない非密着面と、前記剥離部分との間に静圧差を設けることにより、前記高分子フィルムを前記無機基板から剥離する工程Cとを含み、
前記工程Cは、
前記非密着面側を大気圧以上とする一方、前記剥離部分を大気圧とする工程E-1と、
前記工程E-1の後、前記剥離部分を前記非密着面側の圧力よりも高い圧力とすることより、前記静圧差を設ける工程E-2とを含むことを特徴とする高分子フィルムの剥離方法。 - 前記工程Aは、前記積層体の高分子フィルム上に機能素子が設けられた機能素子付きの積層体を準備する工程であることを特徴とする請求項1又は2に記載の高分子フィルムの剥離方法。
- 前記積層体の前記高分子フィルム上には、機能素子が形成されており、
前記工程Cよりも前に、前記高分子フィルムの、前記機能素子が設けられた面と同じ面であって、前記機能素子が設けられていない箇所に、前記機能素子の厚さと同程度の厚さを有するスペーサーを設ける工程Xを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の高分子フィルムの剥離方法。 - 前記積層体の前記高分子フィルム上には、機能素子が形成されており、
前記工程Cよりも前に、前記高分子フィルム上に埋め込み用部材を配置し、前記埋め込み用部材に前記機能素子を埋め込む工程Yを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の高分子フィルムの剥離方法。 - 高分子フィルムと無機基板とが密着した積層体と、前記積層体の前記高分子フィルム上に設けられた機能素子とを有する機能素子付きの積層体を準備する工程A-1と、
前記積層体の端部において、前記高分子フィルムと前記無機基板との間に剥離部分を設ける工程Bと、
前記工程Bの後、前記高分子フィルムの前記無機基板と密着していない側の非密着面と、前記剥離部分との間に静圧差を設けることにより、前記高分子フィルムを前記無機基板から剥離する工程Cと
を含み、
前記工程Cは、
前記高分子フィルムの前記非密着面側にローラーを配置し、前記ローラーにより、前記高分子フィルムを前記剥離部分方向に押圧する工程D-1と、
前記非密着面側を大気圧未満とする一方、前記剥離部分を大気圧とすることにより、前記静圧差を設ける工程D-2と、
前記工程D-1及び前記工程D-2の後、前記ローラーの面を前記高分子フィルムの前記非密着面に対して平行に移動させ、前記ローラーの移動に応じて前記剥離を進行させる工程D-3とを含み、
前記高分子フィルムと前記ローラーとの間にメッシュ状シートが配置されていることを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - 高分子フィルムと無機基板とが密着した積層体と、前記積層体の前記高分子フィルム上に設けられた機能素子とを有する機能素子付きの積層体を準備する工程A-1と、
前記積層体の端部において、前記高分子フィルムと前記無機基板との間に剥離部分を設ける工程Bと、
前記工程Bの後、前記高分子フィルムの前記無機基板と密着していない側の非密着面と、前記剥離部分との間に静圧差を設けることにより、前記高分子フィルムを前記無機基板から剥離する工程Cと
を含み、
前記工程Cは、
前記非密着面側を大気圧以上とする一方、前記剥離部分を大気圧とする工程E-1と、
前記工程E-1の後、前記剥離部分を前記非密着面側の圧力よりも高い圧力とすることより、前記静圧差を設ける工程E-2とを含むことを特徴とする電子デバイスの製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020106725 | 2020-06-22 | ||
JP2020106725 | 2020-06-22 | ||
PCT/JP2020/046212 WO2021260972A1 (ja) | 2020-06-22 | 2020-12-11 | 高分子フィルムの剥離方法、電子デバイスの製造方法、及び、剥離装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2021260972A1 JPWO2021260972A1 (ja) | 2021-12-30 |
JP7336087B2 true JP7336087B2 (ja) | 2023-08-31 |
Family
ID=79282228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022532249A Active JP7336087B2 (ja) | 2020-06-22 | 2020-12-11 | 高分子フィルムの剥離方法、電子デバイスの製造方法、及び、剥離装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7336087B2 (ja) |
KR (1) | KR20220162792A (ja) |
CN (1) | CN115697870A (ja) |
TW (1) | TW202200392A (ja) |
WO (1) | WO2021260972A1 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004142878A (ja) | 2002-10-24 | 2004-05-20 | Toray Ind Inc | 可撓性フィルムの剥離方法および剥離装置並びに回路基板 |
JP2013056774A (ja) | 2009-08-31 | 2013-03-28 | Asahi Glass Co Ltd | 電子デバイスの製造方法 |
JP2016190698A (ja) | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 株式会社Screenホールディングス | 剥離装置 |
JP2020093873A (ja) | 2018-12-11 | 2020-06-18 | 凸版印刷株式会社 | フィルム剥離装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4619462B2 (ja) | 1996-08-27 | 2011-01-26 | セイコーエプソン株式会社 | 薄膜素子の転写方法 |
-
2020
- 2020-12-11 JP JP2022532249A patent/JP7336087B2/ja active Active
- 2020-12-11 WO PCT/JP2020/046212 patent/WO2021260972A1/ja active Application Filing
- 2020-12-11 KR KR1020227038713A patent/KR20220162792A/ko unknown
- 2020-12-11 CN CN202080101709.4A patent/CN115697870A/zh active Pending
-
2021
- 2021-01-08 TW TW110100740A patent/TW202200392A/zh unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004142878A (ja) | 2002-10-24 | 2004-05-20 | Toray Ind Inc | 可撓性フィルムの剥離方法および剥離装置並びに回路基板 |
JP2013056774A (ja) | 2009-08-31 | 2013-03-28 | Asahi Glass Co Ltd | 電子デバイスの製造方法 |
JP2016190698A (ja) | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 株式会社Screenホールディングス | 剥離装置 |
JP2020093873A (ja) | 2018-12-11 | 2020-06-18 | 凸版印刷株式会社 | フィルム剥離装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20220162792A (ko) | 2022-12-08 |
WO2021260972A1 (ja) | 2021-12-30 |
CN115697870A (zh) | 2023-02-03 |
JPWO2021260972A1 (ja) | 2021-12-30 |
TW202200392A (zh) | 2022-01-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101458143B1 (ko) | 처리방법, 특히, 웨이퍼의 얇은 배면 처리방법, 웨이퍼-캐리어 배열 및 상기 타입의 웨이퍼-캐리어 배열의 제조방법 | |
JP5334135B2 (ja) | 積層装置 | |
JP5583140B2 (ja) | フレキシブル基板アセンブリを準備する方法およびその方法により準備されたフレキシブル基板アセンブリ | |
CN101657890B (zh) | 带粘接剂芯片的制造方法 | |
KR101486601B1 (ko) | 보호 유리 부착 유리 기판 및 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치의 제조 방법 | |
KR101456826B1 (ko) | 개편화된 접착제층을 갖는 접착제 시트의 제조 방법, 접착제 시트를 사용한 배선 기판의 제조 방법, 반도체 장치의 제조 방법 및 접착제 시트의 제조 장치 | |
WO2008047732A1 (fr) | Dispositif de serrage stationnaire, procédé de saisie de puce et appareil de saisie de puce | |
JP7400976B2 (ja) | 高分子フィルムの剥離方法、電子デバイスの製造方法、及び、剥離装置 | |
WO2007105611A1 (ja) | 保持治具、半導体ウエハの研削方法、半導体ウエハの保護構造及びこれを用いた半導体ウエハの研削方法、並びに半導体チップの製造方法 | |
WO2004066694A1 (ja) | 回路基板用部材、回路基板の製造方法および回路基板の製造装置 | |
WO2008050577A1 (en) | Process for producing resin porous membrane with adhesive layer, resin porous membrane with adhesive layer, and filter member | |
KR20150095670A (ko) | 전자 디바이스의 제조 방법 및 유리 적층체의 제조 방법 | |
JP6389528B2 (ja) | 第1の基板を剥離させるための装置と方法 | |
US9390956B2 (en) | Method for the temporary connection of a product substrate to a carrier substrate | |
JP2020059169A (ja) | 積層体、及び、積層体の製造方法 | |
JP6162428B2 (ja) | 支持装置 | |
US8614118B2 (en) | Component bonding method, component laminating method and bonded component structure | |
JP7336087B2 (ja) | 高分子フィルムの剥離方法、電子デバイスの製造方法、及び、剥離装置 | |
JP3763710B2 (ja) | 防塵用カバーフィルム付きウエハ支持台及びその製造方法 | |
KR102041675B1 (ko) | 무기재형 실리콘 점착필름 | |
CN111684579B (zh) | 晶片保持台 | |
WO2022230505A1 (ja) | 高分子フィルムの剥離方法、電子デバイスの製造方法、及び、剥離装置 | |
CN117223095A (zh) | 高分子膜的剥离方法、电子器件的制造方法以及剥离装置 | |
KR101736335B1 (ko) | 임시접합필름을 이용한 임시접합방법 | |
JP2019033214A (ja) | 半導体デバイスの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230426 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230721 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230803 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7336087 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |